Kontaktstift und Testsockel mit Kontaktstiften

Die Erfindung betrifft einen Kontaktstift und einen Testsockel, welcher mehrere Kontaktstifte enthält.

Eine automatische Testumgebung (englisch: automatic test equipment (ATE) ) , in der integrierte Schaltungen hinsichtlich ihrer korrekten Funktion geprüft werden, besteht im Wesentlichen aus einem Messgerät, beispielsweise einem Netz- werkanalysator, einem sogenannten Loadboard (deutsch: Lastplatte) , die eine Leiterplatte als applikationsspezifische Schnittstelle zwischen dem universell einsetzbaren Messgerät und der integrierten Schaltung als applikationsspezifisches Messobjekt (englisch: device under test (DUT) ) darstellt, und einem Handhabungsautomaten, der die integrierte Schaltung in einen auf dem Loadboard befestigten Testsockel einfügt, an den Testsockel andrückt und wieder entfernt.

Für einen vollständigen und korrekten Test der integrierten Schaltung weist der Testsockel eine bestimmte Anzahl von typischerweise in zwei oder vier Reihen jeweils angeordneten Kontaktstiften auf, die jeweils eine optimale elektrische Verbindung zwischen einer Kontaktfläche der zu testenden integrierten Schaltung - die im Folgenden als erste Kontakt- fläche bezeichnet wird - und einer zugehörigen, auf dem

Testsockel befindlichen Kontaktfläche - die im Folgenden als zweite Kontaktfläche bezeichnet wird - bilden.

Aus der EP 0 906 007 Bl geht ein derartiger Kontaktstift hervor, der die Kontaktfläche einer zu vermessenden integrierten Schaltung mit der Kontaktfläche des Testsockels verbindet .

Ein derartiger Kontaktstift weist zwei elastische Bereiche auf, mit denen jeweils unabhängig voneinander zwei elektri- sehe Verbindungen zwischen dem Kontaktstift und jeweils einer der beiden Kontaktflächen erzielt werden kann.

Da die Kontaktflächen von integrierten Schaltungen aus Zinn oder anderen leitenden Kontaktwerkstoffen hergestellt sind, können sich nachteilig durch z.B. Oxidation über der Zeit Schichten an diesen Kontaktflächen bilden, die den elektrischen Kontakt zwischen der Kontaktfläche und dem zugehörigen Kontaktbereich des Kontaktstiftes verschlechtern. Durch eine Reibbewegung der beiden Kontaktbereiche des Kontaktstifts, die jeweils parallel zu den Kontaktflächen verläuft und beim Einsetzen des zu testenden Messobjekts in den Testsockel auftritt, werden Partikel aus diesen beispielsweise Zinnoxid-Schichten entfernt und damit jeweils der elektrische Kontakt wieder hergestellt bzw. verbessert.

Der Kontaktstift der EP 0 906 007 Bl weist aber nachteilig eine vergleichsweise große räumliche Ausdehnung auf. Im Zuge zunehmender Miniaturisierung von integrierten Schaltungen ist ein derartiger Kontaktstift nicht geeignet.

Aufgabe der Erfindung ist es deshalb, einen Kontaktstift und ein diese Kontaktstifte enthaltenden Testsockel zu schaffen, der diesen Nachteil überwindet.

Die Aufgabe wird durch einen erfindungsgemäßen Kontaktstift mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 und durch einen erfindungsgemäßen Testsockel mit den Merkmalen des Patentanspruchs 17 gelöst. Vorteilhafte technische Erweiterungen sind in den jeweils abhängigen Patentansprüchen berücksichtigt .

Der Kontaktstift gemäß Patentanspruch 1 weist einen Mittelbereich und als Elastizitäten zwei Federarme auf. Der erste und zweite Federarm ist jeweils mit seinem ersten Ende mit dem Mittelbereich verbunden und weist an seinem zweiten Ende jeweils einen Kontaktbereich zur elektrischen Kontaktierung mit der ersten Kontaktfläche des zu vermessenden Messobjekts bzw. mit der zweiten Kontaktfläche des Testsockels auf. Im Folgenden wird der Kontaktbereich des ersten Federarms als erster Kontaktbereich und der Kontaktbereich des zweiten Federarms als zweiter Kontaktbereich bezeichnet .

Um den erfindungsgemäßen Kontaktstift möglichst raumsparend zu gestalten, werden das erste Ende des ersten Federarms mit einem ersten Ende des im Wesentlichen länglich ausgeführten Mittelbereichs und das erste Ende des zweiten Federarms mit dem ersten Ende oder dem zweiten Ende des Mittelbereiches verbunden. Außerdem sind der erste und zweite Federarm im Bereich ihres ersten Endes jeweils in einem Winkel zur Mittelachse des Mittelbereichs orientiert, der kleiner oder gleich 90° ist.

Beide technische Maßnahmen ermöglichen vorteilhaft, dass der Kontaktstift mit seinen beiden Federarmen, deren Längen jeweils funktionsbedingt am wesentlichsten die Ausdehnung des Kontaktstiftes beeinflussen, ein minimiertes geometrisches Volumen aufweist. Däneben weist ein miniaturisierter Kontaktstift kürzere Signalpfade auf und optimiert somit zu- sätzlieh die Hochfrequenz-Übertragungscharakteristik des Kontaktstifts .

In einer bevorzugten Variante sind der erste und der zweite Federarm mit ihren ersten Enden jeweils an einem unter- schiedlichen Ende des Mittelbereiches mit dem Mittelbereich verbunden. Alternativ ist auch eine zweite Variante realisierbar, in der der erste und der zweite Federarm mit ihren ersten Enden jeweils am selben Ende des Mittelbereiches mit dem Mittelbereich verbunden sind. Um die Länge des ersten und zweiten Federarms bei gleichbleibender Gesamtelastizität des Kontaktstifts weiterhin im Hinblick auf eine weitere Miniaturisierung des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes zu verkürzen, sind bevorzugt in einer ersten Erweiterung des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes parallel zum ersten und zweiten Federarm weitere erste Federarme und/oder weitere zweite Federarme mit dem Mittelbereich verbunden. Die Federarme verjüngen sich in Richtung der Kontaktbereiche. Der erste Federarm, der zweite Federarm und die weiteren ersten und zweiten Federarme sind hierbei vorteilhaft durch jeweils einen Schlitz voneinander beabstandet, der beim verwendeten LIGA (Lithographie-Galvanik- Abformung) -Prozess für den Kontaktstift typischerweise in der gleichen Größenordnung wie die durchschnittliche Breite der Federarme ist. Bei Anwendung eines anderen Fertigungsprozesses sind auch Schlitze realisierbar, die deutlich kleiner als die durchschnittliche Breite der Federarme sind.

Die zweiten Enden der weiteren ersten und zweiten Federarme sind mit dem ersten Federarm bzw. dem zweiten Federarm verbunden, wenn das zu testende Messobjekt mit einem Stempel des Handhabungsautomaten in den Testsockel gedrückt wird.

Um die mechanische Stabilität des erfindungsgemäßen Kontakt- Stifts zu erhöhen, sind die zweiten Enden der weiteren ersten Federarme und der weiteren zweiten Eederarme in einer zweiten Erweiterung der Erfindung mit einer lateralen Erweiterung des zweiten Endes des ersten bzw. zweiten Federarms mittels Steckverbindung miteinander verbunden.

Hierzu sind in einer ersten Untervariante der zweiten Erweiterung der Erfindung die zweiten Enden der weiteren ersten Federarme und der weiteren zweiten Federarme jeweils als stiftförmige Erweiterungen ausgeformt, die in zugehörigen Vertiefungen in der lateralen Erweiterung des zweiten Endes des ersten Federarms bzw. des zweiten Federarms eingeführt und gesteckt sind.

In einer zweiten Untervariante der zweiten Erweiterung der Erfindung weisen die zweiten Enden der weiteren ersten Federarme und der weiteren zweiten Federarme jeweils eine Vertiefung auf, in die zugehörige zusätzliche stiftförmige Erweiterungen eingeführt und gesteckt sind, die in der lateralen Erweiterung des zweiten Endes des ersten Federarms bzw. des zweiten Federarms ausgeformt sind.

Anstelle einer fixen Verbindung zwischen den ersten Enden der weiteren ersten und der weiteren zweiten Federarme und dem Mittelbereich kann alternativ in einer dritten Erweite- rung der Erfindung auch eine Steckverbindung zwischen den ersten Enden der weiteren ersten und der weiteren zweiten Federarme und dem Mittelbereich realisiert sein:

In einer ersten Untervariante der dritten Erweiterung der Erfindung sind die ersten Enden der weiteren ersten und zweiten Federarme als stiftförmige Erweiterungen ausgeformt, die in zugehörigen Vertiefungen des Mittelbereiches eingeführt und gesteckt sind. Alternativ sind in einer zweiten Untervariante der dritten erfindungsgemäßen Variante im Mit- telbereich stiftförmige Erweiterungen ausgeformt, die in zugehörigen Vertiefungen an den ersten Enden der weiteren ersten und zweiten Federarme eingeführt und gesteckt sind.

Eine zusätzliche mechanische Stabilisierung des Federstifts wird in einer vierten Erweiterung der Erfindung bevorzugt dadurch verwirklicht, dass zwischen der lateralen Erweiterung des zweiten Endes des ersten Federarms und dem zweiten Ende des Mittelbereiches und/oder zwischen der lateralen Erweiterung des zweiten Endes des zweiten Federarms und dem zweiten Ende bzw. dem ersten Ende des Mittelbereiches je- weils eine zusätzliche Steckverbindung realisiert ist. Hierbei wird vorteilhaft die Hochfrequenz-

Übertragungscharakteristik des Kontaktstiftes zusätzlich verbessert, da über diese beiden Steckverbindungen jeweils ein zusätzlicher verkürzter Signalpfad geschaffen wird.

In einer ersten Untervariante der vierten Erweiterung der Erfindung weist die laterale Erweiterung des zweiten Endes des ersten Federarms und/oder des zweiten Federarms jeweils eine Vertiefung auf, wobei in die Vertiefung am zweiten Ende des ersten Federarms die laterale stiftförmige Erweiterung des zweiten Endes des Mittelbereiches und/oder in die Vertiefung am zweiten Ende des zweiten Federarms die laterale stiftförmige Erweiterung des zweiten Endes bzw. des ersten Endes des Mittelbereiches eingeführt und gesteckt ist.

Alternativ ist in einer zweiten Untervariante der vierten Erweiterung der Erfindung die laterale Erweiterung des zweiten Endes des ersten Federarms und/oder des zweiten Feder- arms stiftförmig ausgeformt, wobei die stiftförmige laterale Erweiterung des zweiten Endes des ersten Federarms in einer zugehörigen am zweiten Ende des Mittelbereiches ausgeformten Vertiefung eingeführt und gesteckt ist und/oder die stiftförmige laterale Erweiterung des zweiten Endes des zweiten Federarms in einer zugehörigen am zweiten bzw. ersten Ende des Mittelbereiches ausgeformten Vertiefung eingeführt und gesteckt ist.

Bevorzugt verlaufen die einzelnen ersten und zweiten Feder- arme in einer ersten Ausprägungsform jeweils linear, da in dieser ersten Ausprägungsform die Kombination aus minimiertem Volumen und maximierter Elastizität optimiert ist, sofern weitere erste und zweite Federarme vorgesehen sind. In einer zweiten Ausprägungsform von Federarmen verlaufen die einzelnen ersten und zweiten Federarme jeweils konkav gebogen zum Mittelbereich. Hierbei wird eine geringfügig hö ^¬ here Elastizität erzielt, da die Federarme geringfügig län- ger sind, während das erforderliche Volumen gegenüber der ersten Ausprägung geringfügig vergrößert ist.

In einer dritten Ausprägungsform von Federarmen weisen die einzelnen ersten und zweiten Federarme jeweils einen konvex gebogenen Verlauf zum Mittelbereich auf. Das erforderliche

Volumen ist bei dieser Ausprägung eines Kontaktstifts am geringsten. Die Elastizität des Kontaktstifts ist aber deutlich schlechter, da in dieser Ausprägung nur wenige weitere erste und zweite Federarme realisierbar sind, die zusätzlich deutlich kürzer ausgeformt sind.

Innerhalb einer vierten Ausprägungsform sind die ersten und zweiten Federarme mäanderförmig ausgeformt. Aufgrund der Mäanderform weisen die ersten und Federarme jeweils die größte Länge auf. Die vierte Ausprägungsform eines Kontaktstiftes ist für Applikationen geeignet, die eine deutlich geringere Breite bei geringeren Anforderungen an die Höhe erfordern.

Um einen möglichst guten Abreibvorgang zwischen dem ersten Kontaktbereich des Kontaktstiftes und der ersten Kontaktfläche am Messobjekt und gleichzeitig einen möglichst geringen Abreibvorgang zwischen dem zweiten Kontaktbereich des Kontaktstiftes und der zweiten Kontaktfläche am Testsockel zu erzielen, ist der Winkel zwischen einer Achse, die zwischen dem ersten und zweiten Ende des ersten Federarms verläuft, und der Längsachse des Mittelbereichs signifikant größer als der Winkel zwischen einer Achse, die zwischen dem ersten und zweiten Ende des zweiten Federarms verläuft, und der Längsachse des Mittelbereichs ausgelegt. Der Winkel zwischen der Achse, die zwischen dem ersten und zweiten Ende des ersten Federarms verläuft, und der Längsachse des Mittelbereichs ist beispielsweise um den Faktor 1,5 größer als der Winkel zwischen der Achse, die zwischen dem ersten und zweiten Ende des zweiten Federarms verläuft, und der Längsachse des Mittelbereichs. Der Winkel zwischen der Achse, die zwischen dem ersten und zweiten Ende des ersten Federarms verläuft, und der Längsachse des Mittelbereichs ist bevorzugt um den Faktor 2,0 größer als der Winkel zwischen der Achse, die zwischen dem ersten und zweiten Ende des zweiten Federarms verläuft, und der Längsachse des Mittelbereichs. Der Winkel zwischen der Achse, die zwischen dem ersten und zweiten Ende des ersten Federarms verläuft, und der Längsachse des Mittelbereichs ist besonders bevorzugt um den Faktor 2,5 größer als der Winkel zwischen der Achse, die zwischen dem ersten und zweiten Ende des zweiten Federarms verläuft, und der Längsachse des Mittelbereichs.

Der größere Winkel zwischen der Achse, die zwischen dem ers- ten und zweiten Ende des ersten Federarms verläuft, und der Längsachse des Mittelbereichs gegenüber dem Winkel zwischen der Achse, die zwischen dem ersten und zweiten Ende des zweiten Federarms verläuft, und der Längsachse des Mittelbereichs bewirkt bei näherungsweise gleiche Länge des ersten und zweiten Federarms eine Bewegung des ersten Kontaktbereichs in paralleler Richtung zur ersten Kontaktfläche, die größer als die Bewegung des zweiten Kontaktbereichs in paralleler Richtung zur zweiten Kontaktfläche ist. Die längere Bewegung des ersten Kontaktbereichs an der ersten Kontaktfläche gegenüber der Bewegung des zweiten Kontaktbereichs an der zweiten Kontaktfläche bewirkt ein großflächigeres Abschaben von beispielsweise Zinnoxid- Partikeln an der ersten Kontaktfläche, insbesondere ein Abschaben von beispielsweise Zinnoxid-Partikeln im Bereich der Kontakt- spitze des Kontaktbereichs, die den elektrischen Kontakt zur ersten Kontaktfläche bildet.

Im erfindungsgemäßen Testsockel ist eine der Anzahl von ers- ten Kontaktflächen des DUTs entsprechende Anzahl von erfindungsgemäßen Kontaktstiften angeordnet. Die Anordnung der erfindungsgemäßen Kontaktstifte erfolgt typischerweise in Analogie zur Anordnung der ersten Kontaktflächen bei einer integrierten Schaltung in zwei oder vier Reihen, die um ei- nen bestimmten Versatz versetzt zur Lage der zwei bzw. vier Seiten der rechteckigen Grundfläche der integrierten Schaltung angeordnet sind. Eine andere Anordnung von erfindungs- gemäßen Kontaktstiften innerhalb eines erfindungsgemäßen Testsockels, beispielsweise in einer Gitter- oder Matrixan- Ordnung, und jede zukünftig verwendete Anordnung von erfindungsgemäßen Kontaktstiften ist ebenfalls möglich und von der Erfindung mit abgedeckt.

Die einzelnen erfindungsgemäßen Kontaktstifte sind über je- weils mindestens eine Befestigungsvorrichtung mit dem erfindungsgemäßen Testsockel mechanisch verbunden und stehen jeweils mit zugehörigen zweiten Kontaktflächen des erfindungsgemäßen Testsockels in einem elektrischen Kontakt. Alternativ können die einzelnen erfindungsgemäßen Kontaktstifte auch in einem Modul integriert sein, das vom erfindungsgemäßen Testsockel trennbar ist. Schließlich können die einzelnen erfindungsgemäßen Kontaktstifte einer einzigen Reihe in einem Modul integriert sein, das ebenfalls vom er- findungsgemäßen Testsockel trennbar ist.

Die einzelnen Ausprägungsformen, Varianten, Untervarianten und Erweiterungen des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes und des erfindungsgemäßen Testsockels werden im Folgenden anhand der Zeichnung im Detail erläutert. Die Figuren der Zeichnung zeigen:

Fig. 1 eine Darstellung eines erfindungsgemäßen Kon- taktstiftes mit einem linear verlaufenden Federarm pro Kontaktseite,

Fig. 2A eine Darstellung einer ersten Variante einer ersten Erweiterung eines erfindungsgemäßen Kontaktstiftes,

Fig. 2B eine Darstellung einer zweiten Variante einer ersten Erweiterung eines erfindungsgemäßen Kontaktstiftes,

Fig. 3A eine Darstellung einer ersten Untervariante einer zweiten Erweiterung eines erfindungsgemäßen Kontaktstiftes, Fig. 3B eine Darstellung einer zweiten Untervariante einer zweiten Erweiterung eines erfindungsgemäßen Kontaktstiftes,

Fig. 4A eine Darstellung einer ersten Untervariante einer dritten Erweiterung eines erfindungsgemäßen Kontaktstiftes,

Fig. 4B eine Darstellung einer zweiten Untervariante einer dritten Erweiterung eines erfindungsge- mäßen Kontaktstiftes,

Fig. 5A eine Darstellung einer ersten Untervariante einer vierten Erweiterung eines erfindungsgemäßen Kontaktstiftes, Fig. 5B eine Darstellung einer zweiten Untervariante einer vierten Erweiterung eines erfindungsgemäßen Kontaktstiftes, Fig. 6A eine Darstellung einer zweiten Ausprägungs- form eines erfindungsgemäßen Kontaktstifts,

Fig. 6B eine Darstellung einer dritten Ausprägungs- form eines erfindungsgemäßen Kontaktstifts,

Fig. 6C eine Darstellung einer vierten Ausprägungs- form eines erfindungsgemäßen Kontaktstifts,

Fig. 7 eine Darstellung eines erfindungsgemäßen Kon- taktstiftes mit unterschiedlichen Längen der

Abreibwege an den einzelnen Kontaktseiten,

Fig. 8A eine Darstellung eines erfindungsgemäßen

Testsockels in der Draufsicht,

Fig. 8B eine seitliche Querschnittsdarstellung eines erfindungsgemäßen Testsockels,

Fig. 8C eine dreidimensionale Darstellung eines er- findungsgemäßen Testsockels mit eingelagerten

Modulen,

Fig. 8D eine dreidimensionale Darstellung eines erfindungsgemäßen Testsockels mit ausgelagerten Modulen und

Fig. 9 eine Darstellung eines erfindungsgemäßen

Kontaktstifts mit einzelnen Signalpfaden. Im Folgenden werden die einzelnen Ausprägungsformen, Varianten, Untervarianten und Erweiterungen des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes anhand der Figuren im Detail erläutert: Der erfindungsgemäße Kontaktstift stellt ein mikromechanisches Bauteil dar. Der erfindungsgemäße Kontaktstift wird bevorzugt mittels LIGA-Prozess hergestellt. Daneben sind andere mikromechanische Prozesse für die Herstellung des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes ebenfalls möglich und von der Erfindung mit abgedeckt.

Aufgrund des mikromechanischen Prozesses weist der erfindungsgemäße Kontaktstift bei einer homogenen Dicke eine primär zweidimensionale Geometrie (Höhe und Breite des erfin- dungsgemäßen Kontaktstiftes) auf. Die Höhe und Breite des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes liegt jeweils typischerweise zwischen einem und drei Millimeter, während die Dicke typischerweise ungefähr einem Zehntel Millimeter beträgt. Bei einer bevorzugten Anwendung des LIGA- Prozesses besteht der erfindungsgemäße Kontaktstift typischerweise aus einem Metall, Metalllegierungen oder Verbindungsystemen aus metallischen und nichtmetallischen Elementen z.B. NiP. Die Seitenflächen an den Übergängen zwischen der Ober- und Unter- seite des primär in der Höhe und der Breite ausgerichteten erfindungsgemäßen Kontaktstiftes ist mit einer Beschichtung, beispielsweise einer Goldbeschichtung, versehen.

In einer ersten, stark vereinfachten Ausprägung eines erfin- dungsgemäßen Kontaktstiftes 100 gemäß Fig. 1, die eine zweidimensionale Darstellung des Kontaktstiftes in den Dimensionen Höhe und Breite zeigt, besteht der erfindungsgemäße Kontaktstift 100 aus einem länglich ausgeformten Mittelbereich 1, einem ersten Federarm 2 und einem zweiten Federarm 3 _X . Der erste und zweite Federarm 2i und 3i weisen jeweils eine längliche lineare Ausformung auf, deren Breite jeweils typi ^¬ scherweise geringer als die Breite des Mittelbereiches 1 ausgeprägt ist. Der erste Federarm 2 ist an seinem ersten Ende 4i mit einem ersten Ende 5 des Mittelbereiches 1 - mit dem in Fig. 1 rechtsseitig dargestellten Ende des Mittelbereiches - ver ^¬ bunden. Der zweite Federarm 3i ist an seinem ersten Ende 6 mit dem zweiten Ende 7 des Mittelbereiches 1 - mit dem in Fig. 1 linksseitig dargestellten Ende 7 des Mittelbereiches 1 - verbunden.

Der erste und zweite Federarm 2 _± und 3i sind jeweils im Bereich ihres ersten Endes 4 _X bzw. 6i in einen Winkel φ _χ bzw. φ _2/ der kleiner oder gleich 90° ist, zum Mittelbereich 1 orientiert. Hierbei ergibt sich der Orientierungswinkel φ _χ zwischen dem ersten Federarm 2 im Bereich ihres ersten Endes 4 _X und dem Mittelbereich 1 als Winkel zwischen einer Tangente an der ersten Feder 2i im Bereich ihres ersten Endes 4i und der innerhalb des Mittelbereiches 1 befindlichen Längsachse

9 des Mittelbereichs 1, der im Fall eines linearen ersten Federarms 2 dem Winkel zwischen der Längsachse 8 des ersten Federarms 2 , d.h. der Achse zwischen dem ersten Ende 4χ und dem zweiten Ende Iii des ersten Federarms 3 _lr und der inner- halb des Mittelbereiches 1 befindlichen Längsachse 9 des Mittelbereiches 1, entspricht. Der Orientierungswinkel φ ₂ ergibt sich äquivalent als Winkel zwischen einer Tangente an der zweiten Feder 3 _X im Bereich ihres ersten Endes 6i und der Längsachse 9 des Mittelbereichs 1, der im Fall eines linea- ren zweiten Federarms 3i dem Winkel zwischen der Längsachse

10 des zweiten Federarms 3 _X , d.h. der Achse zwischen dem ersten Ende 6i und dem zweiten Ende 15i des zweiten Federarms

3i, und der Längsachse 9 des Mittelbereiches 1, entspricht. Am zweiten Ende Iii des ersten Federarms 2i ist ein erster Kontaktbereich 12 ausgeformt, der bei eingedrückten Zustand des zu vermessenden Messobjekts, d.h. der zu vermessenden integrierten Schaltung, in den Testsockel einen elektrischen Kontakt zu einer zugehörigen ersten Kontaktfläche 13 des Messobjekts bildet.

Wie aus Fig. 1 hervorgeht, besteht dieser erste Kontaktbereich 12 bevorzugt aus einer in Richtung der ersten Kontakt - fläche 13 weisenden, wulstförmigen Erweiterung mit einer Kontaktzone 14, die den eigentlichen elektrischen Kontakt mit der ersten Kontaktfläche 13 des Messobjekts herstellt.

Daneben weist der erste Kontaktbereich 12 eine in Fig. 1 nicht dargestellte Erhebung oder Spitze auf, die beim- Einsetzen des zu vermessenden Messobjekts in den Testsockel zusammen mit dem ersten Kontaktbereich 12 eine geringfügige translatorische Bewegung an der ersten Kontaktfläche 13 ausführt. Aufgrund der Federkraft des ersten Federarms 2i und der scharfkantigen Ausprägung der zusätzlichen Erhebung oder Spitze werden durch die translatorische Bewegung des ersten Kontaktbereichs 12 Partikel einer Oxid-Schicht auf der ersten Kontaktfläche 13 abgeschabt . Diese Oxid-Schicht auf der ersten Kontaktfläche 13 bildet sich aufgrund von Oxidation im Laufe der Zeit und verschlechtert den elektrischen Kontakt. Durch das Abschaben der Partikel dieser Oxid-Schicht wird der elektrische Kontakt zwischen der ersten Kontaktfläche 13 und dem ersten Kontaktbereich 12 des ersten Federarms 2i wieder verbessert.

Am zweiten Ende 15 _x des zweiten Federarms 3i ist ein zweiter Kontaktbereich 16 ausgeformt, der eine in Richtung einer zweiten Kontaktfläche 17 im Testsockel weisende, wulstförmi- ge Erweiterung mit einer Kontaktspitze 18 darstellt. Diese Kontaktspitze 18 bildet den eigentlichen elektrischen Kon- takt zwischen dem zweiten Kontaktbereich 16 des zweiten Federarms 3i und der zweiten Kontaktfläche 17 im Testsockel.

Zur mechanischen Befestigung des Kontaktstiftes 100 im Test- sockel ist im Mittelbereich 1 mindestens ein Rastmittel vorgesehen. In der Darstellung der Fig. 1 sind beispielsweise an den beiden Enden des Mittelbereiches 1 jeweils ein Rastmittel 19χ und 19 ₂ vorgesehen, die jeweils mit einem korrespondierenden Rastmittel im Testsockel eine formschlüssige Verbindung bilden. Alternativ zur formschlüssigen Verbindung ist von der Erfindung auch eine kraftschlüssige Verbindung zwischen Kontaktstift und Testsockel mit abgedeckt. Hierbei steht ein Kontaktmittel im Kontaktstift 100 oder im Testsockel mit einer korrespondierenden Kontaktfläche im Testso- ekel bzw. im Kontaktstift 100 im Kraftschluss .

Durch die Federkraft, die der erste Federarm 2 ± des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes auf die erste Kontaktfläche 13 des zu vermessenden Messobjekts und der zweite Federarm 3i auf die zweite Kontaktfläche 17 im Testsockel ausübt, ist eine ausreichende elektrische Verbindung zwischen der ersten Kontaktfläche 13 des zu vermessenden Messobjekts und dem erfindungsgemäßen Kontaktstift bzw. zwischen dem erfindungsgemäßen Kontaktstift 100 und der zweiten Kontaktfläche 17 im Testsockel garantiert.

Um die Länge des ersten Federarms 2i und des zweiten Federarms 3i zu verkürzen und damit den erfindungsgemäßen Kontaktstift 100 zusätzlich zu verkleinern, weist ein erfindungsgemäßer Kontaktstift 100 in einer ersten Erweiterung zusätzlich zum ersten Federarm 2 weitere erste Federarme 2 ₂ und 2 ₃ und zusätzlich zum zweiten Federarm 3i weitere zweite Federarme 3 ₂ und 3 ₃ auf. In einer ersten Untervariante der ersten Erweiterung des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes 100 gemäß Fig. 2A verlaufen diese weiteren ersten Federarme 2 ₂ und 2 ₃ parallel zum ersten Federarm 2i und sind mit ihren ersten Enden 4 ₂ bzw. 4 ₃ am ersten Ende 5 des Mittelbereiches 1 bzw. benachbart zum ersten Ende 5 des Mittelbereiches 1 mit dem Mittelbereich 1 verbunden. Die einzelnen ersten Federarme 2 _lt 2 ₂ und 2 ₃ sind jeweils durch einen Schlitz voneinander getrennt, dessen durchschnittliche Breite typischerweise in der Größenordnung der durchschnittlichen Breite der einzelnen ersten Federarme 2 _X , 2 ₂ und 2 ₃ liegt.

Auch der zweite Federarm 3± und die weiteren zweiten Federarme 3 ₂ und 3 ₃ verlaufen parallel zueinander und sind mit ihren ersten Enden 6 ₂ und 6 ₃ am zweiten Ende 7 des Mittelbereiches 1 bzw. benachbart zum zweiten Ende 7 des Mittelbereiches 1 mit dem Mittelbereich 1 verbunden. Auch die einzelnen zweiten Federarme 6 _lt 6 ₂ und 6 ₃ sind jeweils durch einen Schlitz voneinander getrennt, dessen durchschnittliche Breite typi- scherweise in der Größenordnung der durchschnittlichen Breite der einzelnen zweiten Federarme 3i, 3 ₂ und 3 ₃ liegt.

Die Anzahl der parallelen ersten und zweiten Federarme ist nicht wie in Fig. 2A beschränkt. Von der Erfindung ist auch jede beliebige andere Anzahl von parallelen ersten bzw.

zweiten Federarmen abgedeckt, sofern sie entlang der Länge des Mittelbereiches 1 mit dem Mittelbereich 1 unter Zwischenschaltung eines jeweiligen Schlitzes zu verbinden sind. In einer zweiten Untervariante der ersten Erweiterung des erfindungsgemäßen Kontaktstifts 100, die in Fig. 2B dargestellt ist, sind der zweite Federarm 3 _X und alle weiteren zweiten Federarme 3 ₂ und 3 ₃ am selben Ende bzw. benachbart zum selben Ende des Mittelbereiches 1 - nämlich am ersten Ende 5 und benachbart zum ersten Ende 5 des Mittelbereiches 1 mit dem Mittelbereich 1 verbunden - , an dem auch der erste Federarm 2i und alle weiteren ersten Federarme 2 ₂ und 2 ₃ mit dem Mittelbereich 1 verbunden sind. In der ersten Erweiterung des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes 100 weisen alle weiteren ersten Federarme 2 ₂ und 2 ₃ und alle weiteren zweiten Federarme 3 ₂ und 3 ₃ jeweils zweite Enden 11 ₂ , H3 bzw. 15 ₂ , 15 ₃ auf, die im gedrückten Zustand des zu vermessenden Messobjekts im Testsockel den ersten Feder- arm 2 bzw. den zweiten Federarm 3i berühren, wie in Fig. 9 dargestellt ist. Auf diese Weise entstehen über die weiteren ersten Federarme 2 ₂ und 2 ₃ und die weiteren zweiten Federarme 3 ₂ und 3 ₃ zusätzliche Signalpfade, die das Hochfrequenz - Übertragungsverhalten des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes 100 zusätzlich vorteilhaft verbessern.

In einer zweiten Erweiterung des erfindungsgemäßen Kontakt - Stiftes 100 sind die zweiten Enden 11 ₂ , 11 ₃ und 15 ₂ , 15 ₃ der weiteren ersten Federarme 2 ₂ und 2 ₃ bzw. weiteren zweiten Fe- derarme 3 ₂ und 3 ₃ jeweils mit einer lateralen Erweiterung des zweiten Endes Iii des ersten Federarms 2 _X bzw. mit einer lateralen Erweiterung des zweiten Endes 15i des ersten Federarms 3i verbunden. Hierzu weist in einer ersten Untervariante der zweiten Erweiterung des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes 100 gemäß Fig. 3A die laterale Erweiterung 20 des zweiten Endes ll _x des ersten Federarms 2 _X jeweils mehrere Vertiefungen 21 ₂ und 21 ₃ auf, in die die zweiten Enden 11 ₂ und 11 ₃ der weiteren ersten Federarme 2 ₂ und 2 ₃ jeweils hineingeführt und gesteckt sind.

Die zweiten Enden 11 ₂ und 11 ₃ der weiteren ersten Federarme 2 ₂ und 2 ₃ bilden mit den zugehörigen Vertiefungen 21 ₂ und 21 ₃ in der lateralen Erweiterung 20 des zweiten Endes Iii des ersten Federarms 2 _τ jeweils eine Steckverbindung. In dieser Steckverbindung weisen die einzelnen zweiten Enden 11 ₂ und 11 ₃ der weiteren ersten Federarme 2 ₂ und 2 ₃ gegenüber den zugehörigen Vertiefungen 21 ₂ und 21 ₃ eine gewisse axiale und radiale Gleitmöglichkeit auf. Sie sind aber in ihrer axialen und radialen Relativbewegung zur zugehörigen Vertiefung 21 ₂ und 21 ₃ begrenzt.

Äquivalent hierzu sind die zweiten Enden 15 ₂ und 15 ₃ der weiteren zweiten Federarme 3 ₂ und 3 ₃ jeweils in zugehörigen Vertiefungen 22 ₂ und 22 ₃ einer lateralen Erweiterung 23 des zweiten Endes 15i des zweiten Federarms 3i jeweils eingeführt und gesteckt. Auch die zweiten Enden 15 ₂ und 15 ₃ der weiteren zweiten Federarme 3 ₂ und 3 ₃ bilden mit den zugehörigen Vertiefungen 22 ₂ und 22 ₃ der lateralen Erweiterung 23 des zweiten Endes 15 _x des zweiten Federarms 3i jeweils eine Steckver- bindung.

In einer zweiten Untervariante der zweiten Erweiterung des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes 100, die in Fig. 3B dargestellt ist, weisen die zweiten Enden 11 ₂ und 11 ₃ der weiteren ersten Federarme 3 ₂ und 3 ₃ jeweils eine Vertiefung 24 ₂ bzw.

24 ₃ auf. In diese Vertiefungen 24 ₂ und 24 ₃ sind zugehörige stiftformige Erweiterungen 25 ₂ bzw. 25 ₃ der lateralen Erweiterung 20 des zweiten Endes Iii des ersten Federarms 2i eingeführt und gesteckt. Diese stiftformige Erweiterungen 25 ₂ bzw. 25 ₃ sind wiederum näherungsweise lateral, d.h. in einem Winkel von näherungsweise 90°, zur lateralen Erweiterung 20 des zweiten Endes Iii des ersten Federarms 2 _X ausgerichtet. Die stiftförmigen Erweiterungen 25 ₂ und 25 ₃ bilden mit den zugehörigen Vertiefungen 24 ₂ bzw. 24 ₃ an den zweiten Enden 11 ₂ und 11 ₃ der weiteren ersten Federarme 2 ₂ und 2 ₃ jeweils eine Steckverbindung.

Äquivalent sind stiftformige Erweiterungen 26 ₂ und 26 ₃ an der lateralen Erweiterung 23 des zweiten Endes 15 _χ des zweiten Federarms 3 _X in zugehörigen Vertiefungen 27 ₂ bzw. 27 ₃ an den zweiten Enden 15 ₂ bzw. 15 ₃ der weiteren zweiten Federarme 3 ₂ bzw. 3 ₃ eingeführt und gesteckt. Diese stiftförmigen Erweiterungen 26 ₂ und 26 ₃ sind ebenfalls näherungsweise lateral, d.h. in einem Winkel von näherungsweise 90°, zur lateralen Erweiterung 23 des zweiten Endes 15 _x des zweiten Federarms 3i ausgerichtet. Die stiftförmigen Erweiterungen 26 ₂ und 26 ₃ bilden ebenfalls mit den zugehörigen Vertiefungen 27 ₂ bzw. 27 ₃ an den zweiten Enden 15 ₂ bzw. 15 ₃ der weiteren zweiten Federarme 3 ₂ bzw. 3 ₃ jeweils eine Steckverbindung.

In einer dritten Erweiterung des erfindungsgemäßen Kontakt- Stiftes 100 gemäß Fig. 4A bilden die ersten Enden der weiteren ersten und zweiten Federarme mit dem Mittelbereich 1 jeweils eine Steckverbindung, während die zweiten Enden der weiteren ersten und zweiten Federarme mit den jeweiligen lateralen Erweiterungen der zweiten Enden des ersten und zweiten Federarms jeweils fest verbunden sind.

Hierbei weisen in einer ersten Untervariante der dritten Er- Weiterung des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes 100 die ersten Enden 4 ₂ und 4 ₃ der weiteren ersten Federarme 2 ₂ bzw. 2 ₃ jeweils eine Vertiefung 27 ₂ bzw. 27 ₃ auf, während die zweiten Enden 11 ₂ und 11 ₃ der weiteren ersten Federarme 2 ₂ bzw. 2 ₃ mit der lateralen Erweiterung 20 des ersten Endes Iii des ersten Federarms 2i fest verbunden sind.

In den Vertiefungen 27 ₂ und 27 ₃ an den ersten Enden 4 ₂ und 4 ₃ der weiteren ersten Federarme 2 ₂ bzw. 2 ₃ sind zugehörige laterale Erweiterungen 28 ₂ und 28 ₃ des Mittelbereiches 1 einge- führt und gesteckt. Diese lateralen Erweiterungen 28 ₂ und 28 ₃ weisen die gleiche Orientierung wie die weiteren ersten Federarme 2 ₂ und 2 ₃ auf und ragen an passenden Positionen des Mittelbereiches 1 benachbart zum ersten Ende 5 des Mittelbereiches 1 aus dem Mittelbereich 1 heraus. Damit ist gewähr- leistet, dass die weiteren ersten Federarme 2 ₂ und 2 ₃ paral- lel zum ersten Federarm 2 und voneinander jeweils beabstandet durch einen Schlitz, dessen durchschnittliche Breite näherungsweise der durchschnittlichen Breite der einzelnen ersten Federarme 2 , 2 ₂ und 2 ₃ entspricht, angeordnet sind. Die lateralen Erweiterungen 28 ₂ und 28 ₃ des Mittelbereiches 1 bilden mit den zugehörigen Vertiefungen 27 ₂ und 27 ₃ an den ersten Enden 4 ₂ und 4 ₃ der weiteren ersten Federarme 2 ₂ bzw. 2 ₃ jeweils eine Steckverbindung. Äquivalent weisen die ersten Enden 6 ₂ und 6 ₃ der weiteren zweiten Federarme 3 ₂ bzw. 3 ₃ jeweils eine Vertiefung 29 ₂ bzw. 29 ₃ auf, während die zweiten Enden 15 ₂ und 15 ₃ der weiteren zweiten Federarme 3 ₂ bzw. 3 ₃ mit der lateralen Erweiterung 23 des zweiten Endes 15i des zweiten Federarms 3i fest verbunden sind.

In den Vertiefungen 29 ₂ und 29 ₃ an den ersten Enden 6 ₂ und 6 ₃ der weiteren zweiten Federarme 3 ₂ bzw. 3 ₃ sind zugehörige laterale Erweiterungen 30 ₂ und 30 ₃ des Mittelbereiches einge- führt und gesteckt. Diese lateralen Erweiterungen 30 ₂ und 30 ₃ weisen ebenfalls die gleiche Orientierung wie die weiteren zweiten Federarme 3 ₂ und 3 ₃ auf und ragen an passenden Positionen des Mittelbereiches 1 benachbart zum zweiten Ende 7 des Mittelbereiches 1 aus dem Mittelbereich 1 heraus. Diese lateralen Erweiterungen 30 ₂ und 30 ₃ des Mittelbereiches 1 bilden mit den zugehörigen Vertiefungen 29 ₂ und 29 ₃ an den ersten Enden 6 ₂ und 6 ₃ der weiteren zweiten Federarme 3 ₂ bzw. 3 ₃ jeweils eine Steckverbindung. In einer zweiten Untervariante der dritten Erweiterung des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes 100 gemäß Fig. 4B sind die zweiten Enden 11 ₂ und 11 ₃ der weiteren ersten Federarme 2 ₂ bzw. 2 ₃ fest mit der lateralen Erweiterung 20 des zweiten Endes Iii des ersten Federarms 2 _X verbunden, während die ersten Enden 4 ₂ und 4 ₃ der weiteren ersten Federarme 2 ₂ bzw. 2 ₃ in zugehörigen Vertiefungen 31 ₂ bzw. 31 ₃ eingeführt und gesteckt sind, die in lateralen Erweiterungen 30 ₂ bzw. 30 ₃ des Mittelbereiches 1 ausgeformt sind. Diese lateralen Erweiterungen 30 ₂ und 30 ₃ des Mittelbereiches 1 weisen mit ihren Vertiefun- gen 31 ₂ bzw. 31 ₃ näherungsweise eine gleiche Orientierung wie die zugehörigen weiteren ersten Federarmen 2 ₂ und 2 ₃ auf und ragen an geeigneten Positionen des Mittelbereiches 1 benachbart zum ersten Ende 5 des Mittelbereiches 1 aus dem Mittelbereich 1 heraus. Damit ist gewährleistet, dass die weiteren ersten Federarme 2 ₂ und 2 ₃ parallel zum ersten Federarm 2i und voneinander jeweils beabstandet durch einen Schlitz angeordnet sind, dessen durchschnittliche Breite näherungsweise der durchschnittlichen Breite der einzelnen ersten Federarme 2 _l 2 ₂ und 2 ₃ entspricht.

In einer vierten Erweiterung des erfindungsgemäßen Kontakt- Stiftes 100 wird im gesteckten Zustand des zu vermessenden Messobjekts im Testsockel eine zusätzliche mechanische Stabilisierung des elastisch ausgelegten erfindungsgemäßen Kon- taktstiftes dadurch erzielt, dass die laterale Erweiterung

20 des zweiten Endes Iii des ersten Federarms 2 _X mit dem zweiten Ende 7 des Mittelbereiches 1 und die lateralen Erweiterung 23 des zweiten Endes 15i des zweiten Federarms 3i mit dem ersten Ende 5 bzw. mit dem zweiten Ende 7 des Mit- telbereichs 1 jeweils in einer Steckverbindung steht.

In einer ersten Untervariante der vierten Erweiterung des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes 100 gemäß Fig. 5A, die auf der ersten Untervariante der ersten Erweiterung des erfin- dungsgemäßen Kontaktstiftes gemäß Fig. 2A aufbaut, ist hierzu in der lateralen Erweiterung 20 des zweiten Endes Iii des ersten Federarms 2i eine Vertiefung 34 vorgesehen. In diese Vertiefung 34 ist eine laterale Erweiterung 35 am zweiten Ende 7 des Mittelbereiches 1 eingeführt und gesteckt. Damit es zu einer Steckverbindung zwischen der lateralen Erweite- rung 35 des Mittelbereiches 1 und der Vertiefung 34 in der lateralen Erweiterung 20 des zweiten Endes Iii des ersten Federarms 2χ kommt, weisen die laterale Erweiterung 35 des Mittelbereiches 1 und die Vertiefung 34 in der lateralen Erwei- terung 20 des ersten Kontaktbereichs 12 im gesteckten Zustand näherungsweise eine gleiche Orientierung und eine näherungsweise zueinander korrespondierende Form auf .

Äquivalent ist in der lateralen Erweiterung 23 des zweiten Endes 15 _χ des zweiten Federarms 3i eine Vertiefung 36 vorgesehen, in die eine laterale Erweiterung 37 am ersten Ende 5 des Mittelbereiches 1 eingeführt und gesteckt ist. Auch die Vertiefung 36 in der lateralen Erweiterung 23 des zweiten Endes 15i des zweiten Federarms 3 _X und die laterale Erweite- rung 37 des Mittelbereiches 1 weisen näherungsweise gleiche Orientierung und näherungsweise eine zueinander korrespondierende Form auf, damit eine Steckverbindung zwischen der lateralen Erweiterung 37 des Mittelbereiches 1 und der Vertiefung 36 in der lateralen Erweiterung 23 des zweiten Endes 15i des zweiten Federarms 3i sicher zustande kommt.

In der zweiten Untervariante der vierten Erweiterung des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes 100 gemäß Fig. 5B ist die laterale Erweiterung 20 des zweiten Endes Iii des ersten Feder- arms 2 _X in einer Vertiefung 38, die in einer lateralen Erweiterung 35 am zweiten Ende 7 des Mittelbereiches 1 ausgeformt ist, eingeführt und gesteckt. Damit es zu einer sicheren Steckverbindung zwischen der lateralen Erweiterung 20 des zweiten Endes Iii des ersten Federarms 2 _X und der Vertiefung 38 in der lateralen Erweiterung 35 des Mittelbereiches 1 kommt, weisen die laterale Erweiterung 20 und die Vertiefung 38 im gesteckten Zustand näherungsweise eine gleiche Orientierung und näherungsweise jeweils zueinander korrespondierende Formen auf . Äquivalent ist die laterale Erweiterung 23 des zweiten Endes 15i des zweiten Federarms 3i in einer Vertiefung 39 eingeführt und gesteckt, die in einer lateralen Erweiterung 37 am ersten Ende 5 des Mittelbereiches 1 ausgeformt ist. Auch für die Steckverbindung zwischen der Erweiterung 23 und der Vertiefung 39 gilt, dass die Orientierungen der Erweiterung 23 und der Vertiefung 39 näherungsweise gleich sind und die Formen der Erweiterung 23 und der Vertiefung 39 näherungsweise zueinander korrespondierende Formen aufweisen.

Während in einer ersten Ausprägungsform des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes 100 die einzelnen ersten und zweiten Federarme jeweils einen linearen Verlauf, d.h. einen geradlinigen Verlauf, aufweisen, sind in einer zweiten Ausprägungs- form des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes 100 gemäß Fig. 6A alle ersten Federarme 2 _{l t} 2 ₂ und 2 ₃ und alle zweiten Federarme 3i, 3 ₂ und 3 ₃ jeweils konkav zum Mittelbereich 1 gebogen. Die Orientierung der einzelnen ersten Federarme 2 _{l t} 2 ₂ und 2 ₃ und der einzelnen zweiten Federarme 3i, 3 ₂ und 3 ₃ im Bereich des jeweiligen ersten Endes 4i, 4 ₂ und 4 ₃ bzw. 6i, 6 ₂ und 6 ₃ zur Längsachse 9 des Mittelbereichs 1 ergibt sich aus dem Winkel φι bzw. φ ₂ zwischen der Tangente an die einzelnen ersten Federarme 2i, 2 ₂ und 2 ₃ und der einzelnen zweiten Federarme 3i, 3 ₂ und 3 ₃ im Bereich des jeweiligen ersten Endes 4 _X , 4 ₂ und 4 ₃ bzw. 6i, 6 ₂ und 6 ₃ und der Längsachse 9 des Mittelbereichs 1. Bei der ersten Ausprägungsform des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes 100 sind die Winkel φι und φ ₂ jeweils kleiner oder gleich 90°. Auch in der zweiten Ausprägungsform des erfindungsgemäßen

Kontaktstiftes 100 ist eine Anordnung mit einer beliebigen Anzahl von im erfindungsgemäßen Kontaktstift 100 jeweils realisierbaren ersten und zweiten Federarmen, insbesondere mit einem einzigen ersten und einem einzigen zweiten Federarm, von der Erfindung mit abgedeckt. In einer dritten Ausprägungsform des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes 100 gemäß Fig. 6B sind die einzelnen Federarme 2i, 2 ₂ und 2 ₃ und die einzelnen zweiten Federarme 3i, 3 ₂ und 3 ₃ jeweils konvex zum Mittelbereich 1 gebogen. Die Orientierung der einzelnen ersten Federarme 2 , 2 ₂ und 2 ₃ und der einzelnen zweiten Federarme 3 _lr 3 ₂ und 3 ₃ im Bereich des jeweiligen ersten Endes 4 _l7 4 ₂ und 4 ₃ bzw. βχ, 6 ₂ und 6 ₃ des jeweiligen ersten bzw. zweiten Federarms 2 _lr 2 ₂ und 2 ₃ bzw. 3i, 3 ₂ und 3 ₃ zum Mittelbereich 1 ergibt sich aus dem Winkel φι bzw. φ ₂ zwischen der Tangente an die einzelnen ersten Federarme 2i, 2 ₂ und 2 ₃ und der einzelnen zweiten Federarme 3i, 3 ₂ und 3 ₃ im Bereich des jeweiligen ersten Endes 4 _i( 4 ₂ und 4 ₃ bzw. 6i, 6 ₂ und 6 ₃ und der Längsachse 9 des Mittelbereichs 1. Bei der ersten Ausprägungsform des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes 100 sind die Winkel φι und φ ₂ jeweils kleiner o- der gleich 90° .

Für die dritte Ausprägungsform des erfindungsgemäßen Kon- taktstiftes 100 ist ebenfalls eine beliebige Anzahl von im erfindungsgemäßen Kontaktstift 100 jeweils realisierbaren ersten und zweiten Federarme, insbesondere eines einzigen ersten und einzigen zweiten Federarms, von der Erfindung mit abgedeckt .

In der vierten Ausprägungsform des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes 100 sind der erste Federarm 2 und der zweite Federarm 3χ gemäß Fig. 6C jeweils mäanderförmig geformt. . Wie aus Fig. 6C hervorgeht, ist das erste Ende 4i des ersten Federarms 2 am zweiten Ende 7 des Mittelbereiches 1 und das erste Ende 6 des zweiten Federarms 3i am ersten Ende 5 des Mittelbereiches 1 mit dem Mittelbereich 1 verbunden. Alternativ können die ersten Enden i und β _λ des ersten bzw. zwei- ten Federarms 2i bzw. 3i auch am entgegengesetzten Ende 5 bzw. 7 mit dem Mittelbereich 1 verbunden sein.

Zusätzlich zum ersten und zweiten mäanderförmig geformten Federarm 2 _λ und 3i können weitere in Fig. 6C nicht dargestellte erste und zweite Federarme vorgesehen sein, die parallel zum ersten Federarm 2 _X bzw. zum zweiten Federarm 3i und durch ein Schlitz jeweils voneinander getrennt mit dem Mittelbereich 1 verbunden sind. Diese weiteren ersten und zweiten Federarme verlaufen nicht vollständig mäanderförmig und erstrecken sich nur bis zu einem Bereich zwischen der ersten und zweiten Windung des ersten und zweiten Federarms 2χ und 3i entlang des ersten bzw. zweiten Federarms 2 _X bzw. 3i.

Die Orientierung des ersten Federarms 2 und des zweiten Federarms 3i im Bereich des jeweiligen ersten Endes 4i bzw. 6i des ersten bzw. zweiten Federarms 2 bzw. 3 ± zum Mittelbereich 1 ergibt sich aus dem Winkel φι bzw. φ ₂ zwischen der Tangente an die einzelnen ersten Federarme 2 _{l r} 2 ₂ und 2 ₃ und der einzelnen zweiten Federarme 3 _X , 3 ₂ und 3 ₃ im Bereich des jeweiligen ersten Endes 4i, 4 ₂ und 4 ₃ bzw. 6 _{l t} 6 ₂ und 6 ₃ und der Längsachse 9 des Mittelbereichs 1. Bei der vierten Aus- prägungsform des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes 100 sind die Winkel φι und φ ₂ jeweils kleiner oder gleich 90°.

Beim Eindrücken eines zu vermessenden Messobjekts in den Testsockel führen der erste Kontaktbereich 12 des ersten Federarms 2i und der zweite Kontaktbereich 16 des zweiten Fe- derarms 3i jeweils eine rotatorische Bewegung um ihr Rotationszentrum durch, das entlang der Längsachse 8 des ersten Federarms 2 _{l r} d.h. der Achse zwischen dem ersten Ende 4 _X und dem zweiten Ende 11χ des ersten Federarms 2 _X/ bzw. entlang der Längsachse 10 des zweiten Federarms 3 _{l t} d.h. der Achse zwischen dem ersten Ende β und dem zweiten Ende 15i des zweiten Federarms 3 _lt wandert.

Diese rotatorische Bewegung des ersten Kontaktbereichs 12 des ersten Federarms 2 _X und des zweiten Kontaktbereichs 16 des zweiten Federarms 3 _X lässt sich jeweils, wie in Fig. 7 dargestellt ist, in zwei translatorische Bewegungskomponenten zerlegen, nämlich in eine parallel zur ersten bzw. zweiten Kontaktfläche 13 bzw. 17 verlaufende translatorische Be- wegungskomponente und in eine senkrecht zur ersten bzw.

zweiten Kontaktfläche 13 bzw. 17 verlaufende translatorische Bewegungskomponente .

Die translatorische Bewegung des ersten Kontaktbereichs 12, die parallel zur ersten Kontaktfläche 13 verläuft, ist aufgrund des dabei auftretenden vorteilhaften Abschabens von Belägen auf der ersten Kontaktfläche 13 durchaus erwünscht. Die translatorische Bewegung des zweiten Kontaktbereichs 16, die parallel zur zweiten Kontaktfläche 17 verläuft, ist da- gegen trotz des Abriebs von störenden Belägen auf der zweiten Kontaktfläche 17 nicht so sehr erwünscht.

Während die erste Kontaktfläche 13 jedes in den Testsockel eingedrückten Messobjekts einen derartigen Abreibvorgang beim Eindrücken des Messobjekts in den Testsockel erfährt, wird die zweite Kontaktfläche 17 im Testsockel nur bei der Montage des Testsockels auf die Lastplatte einem derartigen Abreibvorgang unterworfen.. Somit ist im Bereich der zweiten Kontaktfläche 17, wie in Fig. 7 durch die deutlich kürzere Länge des horizontalen Pfeiles an der Kontaktzone 18 des zweiten Kontaktbereichs 16 angedeutet ist, eine deutlich kleinere Abreibbewegung als im Bereich der ersten Kontaktfläche 13 gewünscht, wie in Fig. 7 durch die deutlich größere Länge des horizontalen Pfeiles an der Kontaktspitze 14 des ersten Kontaktbereichs 12 zu erkennen ist.

Um eine parallel zur zweiten Kontaktfläche 16 verlaufende translatorische Abreibbewegung des zweiten Kontaktbereichs 16 zu realisieren, die deutlich kürzer als die parallel zur ersten Kontaktfläche 13 verlaufende translatorische Abreibbewegung des ersten Kontaktbereichs 12 ist, ist der Orientierungswinkel φ ₂ ' zwischen der Längsachse 10 des zweiten Federarms 3 i und der Längsachse 9 des Mittelbereichs 1 deutlich kleiner als der Orientierungswinkel φχ " zwischen der Längsachse 8 des ersten Federarms 2 χ und der Längsachse 9 des Mittelbereichs 1 zu gestalten. Für die Dimensionierung der Orientierungswinkel φχ ' und φ ₂ ' des ersten Federarms 2i bzw. des zweiten Federarms 3 χ sind bevorzugt folgende Parametrierungen durchzuführen:

Der Winkel φχ ^' zwischen der Längsachse 8 des Federarms 2χ und der Längsachse 9 des Mittelbereichs 1 ist beispielsweise um den Faktor 1 , 5 größer als der Winkel φ ₂ ' zwischen der Längsachse 10 des zweiten Federarms 3 χ und der Längsachse des Mittelbereichs. Der Winkel φχ ^' zwischen der Längsachse 8 des Federarms 2 χ und der Längsachse 9 des Mittelbereichs 1 ist be- vorzugt um den Faktor 2 , 0 größer als der Winkel φ ₂ ^' zwischen der Längsachse 10 des zweiten Federarms 3 χ und der Längsachse 9 des Mittelbereichs 1 . Der Winkel φχ ' zwischen der Längsachse 8 des Federarms 2 χ und der Längsachse 9 des Mittelbereichs 1 ist besonders bevorzugt um den Faktor 2 , 5 größer als der Winkel φ ₂ ^' zwischen der Längsachse 10 des zweiten Federarms

3 χ und der Längsachse 9 des Mittelbereichs 1 .

Die senkrecht zur ersten und zweiten Kontaktfläche 13 und 17 jeweils verlaufenden Bewegungskomponenten des ersten bzw. zweiten Kontaktbereichs 12 bzw. 16 sind bei den obig empfoh- lenen Parametrierungen für den Orientierungswinkel φι ^' zwischen der Längsachse 8 des Federarms 2 _± und der Längsachse 9 des Mittelbereichs 1 und für den Orientierungswinkel φ ₂ ^' zwischen der Längsachse 8 des Federarms 2 _X und der Längsachse 9 des Mittelbereichs 1 näherungsweise gleich, wie aus Fig. 7 zu erkennen ist.

Im Fall der ersten Ausprägungsform des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes, d.h. bei näherungsweise linearen Verlauf des ersten und zweiten Federarms 2 _X und 2 ₂ entsprechen die Orientierungswinkel φι ' und φ ₂ ' zwischen der Längsachse 8 des ersten Federarms 2 i bzw. der Längsachse 10 des zweiten Federarms 3 _X und der Längsachse 9 des Mittelbereichs 1 den zugehörigen Orientierungswinkeln φχ und φ ₂ des ersten Federarms 2 ± bzw. des zweiten Federarms 3 χ im Bereich des ersten Endes 4i des ersten Federarms 2 _λ bzw. im Bereich des ersten Endes 6i des zweiten Federarms 3 χ .

Im Fall der zweiten Ausprägungsform (konkav gebogene Feder- arme) , der dritten Ausprägungsform (konvex gebogenen Federarmen) und der vierten Ausprägungsform (mäanderförmige gestaltete Federarme) liegt ein derartiger Zusammenhang nicht mehr vor. Die Orientierungswinkel φι ' und φ ₂ ' zwischen der Längsachse 8 des ersten Federarms 2 bzw. der Längsachse 10 des zweiten Federarms 3 _X und der Längsachse 9 des Mittelbereichs 1 müssen separat zu den zugehörigen Orientierungswinkeln φι und φ ₂ des ersten Federarms 2 bzw. des zweiten Federarms 3 i im Bereich des ersten Endes 4i des ersten Federarms 2 χ bzw. im Bereich des ersten Endes 6i des zweiten Fe- derarms 3 _X eingestellt werden.

Aus Fig. 9 gehen in gestrichelten Linien die einzelnen Signalpfade im erfindungsgemäßen Kontaktstift hervor, falls das zu vermessende Testobjekt in den Testsockel gedrückt ist und sich der erfindungsgemäße Kontaktstift somit im komprimier- ten Zustand befindet. In Fig. 9 ist eine Kombination einer ersten Erweiterung des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes (mehrere parallele erste und zweite Federarme) und einer vierten Erweiterung des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes (zusätzliche Verbindung des zweiten Endes des ersten und zweiten Federarms mit dem zweiten bzw. ersten Ende des Mittelbereichs) und die Verwendung der zweiten Ausprägungsform für einen erfindungsgemäßen Kontaktstift (konkav gebogene erste und zweite Federarme) dargestellt.

Die parallelen Signalpfade verkürzen einerseits die Signalwege des Hochfrequenzsignals zwischen ersten und zweiten Kontaktbereich und vermindern andererseits die ohmschen Verluste innerhalb des Kontaktstifts. Insgesamt wird die Hoch- frequenz-Übertragungscharakteristik des erfindungsgemäßen Kontaktstifts damit deutlich verbessert.

Im Folgenden wird der erfindungsgemäße Testsockel anhand der Figuren 8A bis 8D im Detail erläutert:

Die Draufsicht der Fig. 8A zeigt einen erfindungsgemäßen Testsockel 200, in dessen Zentrum ein Steckplatz 201 für ein zu vermessenden Messobjekts, insbesondere für eine zu vermessende integrierte Schaltung. Die in Fig. 8A nicht darge- stellte integrierte Schaltung weist im Wesentlichen eine quadratische Grundfläche auf, an deren Unterseite im Bereich der vier Seiten jeweils eine bestimmte Anzahl von ersten Kontaktflächen 13 vorgesehen ist. Alternativ kann auch eine beliebig dimensionierte rechteckige Grundfläche vorliegen, an deren Unterseite im Bereich von zwei oder vier Seiten jeweils eine bestimmte Anzahl von ersten Kontaktflächen 13 vorgesehen ist. Die an der Unterseite der integrierten

Schaltung vorgesehenen ersten Kontaktflächen 13 stehen, falls die integrierte Schaltung im Steckplatz 201 des erfin- dungsgemäßen Testsockel 200 gesteckt ist, mit zugehörigen erfindungsgemäßen Kontaktstiften 100 jeweils in einen elektrischen Kontakt.

Hierzu sind, wie in Fig. 8A dargestellt ist, in insgesamt vier Reihen jeweils eine bestimmte Anzahl N von erfindungsgemäßen Kontaktstiften 100n, 100i ₂ , ...100m, 100 ₂₁ , 100 ₂₂ , ...100 _2N , 100 ₃₁ , 100 ₃₂ , 100 _3N , 100 ₄ i, 100 ₄₂ , 100 _4N angeordnet. Bei im Testsockel 200 gesteckter integrierter Schaltung befinden sich innerhalb des Testsockels 200 die in insgesamt vier Reihen jeweils angeordneten Kontaktstifte somit jeweils unterhalb der vier Reihen von ersten Kontaktflächen 13, die an der Unterseite an den vier Seitenrändern der zu vermessenden integrierten Schaltung vorgesehen sind. Zusätzlich können auch im Bereich innerhalb der vier Reihen, insbesondere im Zentrum, Kontaktstifte verteilt sein, die mit korrespondierenden ersten Kontaktflächen in einem elektrischen Kontakt stehen.

In der seitlichen Querschnittsdarstellung des erfindungsge- mäßen Testsockels 200 gemäß Fig. 8B ist das zu vermessende

Messobjekt 300, d.h. die zu testende integrierte Schaltung 300, in einem Steckplatz 201 gesteckt. In dieser Darstellung sind beispielhaft die beiden erfindungsgemäßen Kontaktstifte 100i ₂ und IOO ₃₂ in der Seitenansicht und die erfindungsgemäßen Kontaktstifte IOO ₄₁ , 100 ₄₂ , 100 _4N in der Frontansicht dargestellt.

Während der erfindungsgemäße Kontaktstift 100i ₂ im Testsockel 200 mit seinem ersten Kontaktbereich 12 mit der ersten Kon- taktfläche 13 _i2 der zu testenden integrierten Schaltung 300 und mit seinem zweiten Kontaktbereich 16 mit der zweiten Kontaktfläche 17 _i2 jeweils in einen elektrischen Kontakt steht, besteht zwischen dem ersten Kontaktbereich 12 des erfindungsgemäßen Kontaktstift 100 ₃₂ und der ersten Kontaktflä- che 13 ₃₂ der zu testenden integrierten Schaltung 300 und zwi- sehen dem zweiten Kontaktbereichs 16 des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes 100 ₃₂ und der zweiten Kontaktfläche 17 ₃₂ im Testsockel 200 jeweils ein elektrischer Kontakt. Idealerweise erstrecken sich die einzelnen zweiten Kontaktflächen 17 bis an die Unterseite des erfindungsgemäßen Testsockels 200 und bilden dort elektrische Anschlüsse für eine jeweilige Verbindung zum Loadboard, einer als Lastplatte bezeichnete Leiterplatte. Dieses Loadboard ist entweder mit dem erfindungsgemäßen Testsockel mechanisch und elektrisch verbunden oder separat zum Testsockel und zum Messgerät positioniert und mit dem Testsockel bzw. dem Messgerät jeweils über elektrische Leitungen verbunden. Alternativ können, wie in Fig. 8B dargestellt ist, die elektrischen Anschlüsse von den zugehörigen zweiten Kontakt - flächen distanziert im erfindungsgemäßen Testsockel angeordnet sein. In diesem Fall sind die beiden zweiten Kontaktflächen 17i ₂ und 17 ₃₂ jeweils über eine elektrische Signalleitung 204i ₂ bzw. 204 ₃₂ mit den elektrischen Anschlüssen 203 ₁₂ bzw .

203 ₃₂ elektrisch verbunden. Über diese elektrischen Anschlüsse 203 _X2 und 203 ₃₂ werden zwischen dem „Loadboard" und den ersten Kontaktflächen 13 _i2 bzw. 13 ₃₂ der zu testenden integrierten Schaltung 300 Test- oder Messsignale zu Testzwecken ausgetauscht.

Am Beispiel des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes 100i ₂ wird die mechanische Befestigung des erfindungsgemäßen Kontaktstiftes IOO ₁₂ mit dem Testsockel 200 erläutert: Die Rastmit- tel 19i und 19 ₂ , die jeweils am ersten bzw. zweiten Ende 5 bzw. 7 des zum erfindungsgemäßen Kontaktstift 100i ₂ gehörigen Mittelbereiches 1 vorgesehen sind, stehen mit korrespondierenden Rastmitteln 202 _x und 202 ₂ des Testsockels 200 jeweils in einer formschlüssigen mechanischen Verbindung. In den Figuren 8C und 8D ist jeweils eine Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Testsockels 200" dargestellt, bei der die einzelnen erfindungsgemäßen Kontaktstifte einer Reihe jeweils in einem separierbaren Modul 205 _x , 205 ₂ , 205 ₃ und 205 ₄ integriert sind, das jeweils in den erfindungsgemäßen Testsockel 200" einlagerbar ist und damit mit den erfindungsgemäßen Testsockel 200' mechanisch verbindbar ist (siehe Fig. 8C) und jeweils aus den erfindungsgemäßen Testsockel 200" auch wieder auslagerbar ist und damit vom erfindungsge- mäßen Testsockel 200" wieder mechanisch trennbar ist (siehe Fig. 8D) .

Neben den einzelnen erfindungsgemäßen Kontaktstiften einer Reihe enthält ein derartiges separierbares Modul 205i, 205 ₂ , 205 ₃ und 205 ₄ jeweils auch die zu den einzelnen Kontaktstiften 100 jeweils gehörigen zweiten Kontaktflächen 13 und Rastmittel 202 _x und 202 ₂ sowie optional die elektrische Signalleitungen 204 und die elektrische Anschlüsse 205. Zur optimalen und vor allem homogenen Temperierung aller

Kontaktstifte sind bevorzugt innerhalb des erfindungsgemäßen Testsockels Luftkanäle vorgesehen, die über geeignet positionierte Anschlüsse am Testsockel die einzelnen Kontaktstifte mit geeignet temperierter Spülluft versorgen.

Neben der Auslagerung der in einer jeweils eine Reihe angeordneten Kontaktstifte in jeweils ein separierbares Modul 205i, 205 ₂ , 205 ₃ und 205 ₄ ist von der Erfindung auch die Auslagerung der in allen vier Reihen insgesamt angeordneten Kontaktstifte in jeweils einem einzigen separierbaren Modul mit abgedeckt.

Schließlich sind von der Erfindung auch Testsockel mit einer anderen Anordnung der einzelnen erfindungsgemäßen Kontakt - stifte, beispielsweise in einer Matrix bzw. in einem Gitter, mit abgedeckt. Auch hierbei ist die Möglichkeit der Integration aller erfindungsgemäßen Kontaktstifte in einem einzigen separierbaren Modul oder die Integration von Teilbereichen von jeweils benachbarten erfindungsgemäßen Kontaktstiften in jeweils einem separierbaren Modul von der Erfindung mit abgedeckt .

Die Erfindung ist nicht auf die dargestellten Ausprägungs- formen, Varianten und Untervarianten beschränkt. Von der Er- findung sind insbesondere alle Kombinationen der in der Beschreibung jeweils offenbarten Merkmale, der in den Patentansprüchen jeweils beanspruchten Merkmale und der in den Figuren der Zeichnung jeweils dargestellten Merkmale mit abgedeckt, soweit sie technisch sinnvoll sind.