Title:
COPPER METAL FILM, METHOD FOR PRODUCING SAME, COPPER METAL PATTERN, CONDUCTIVE WIRING LINE USING THE COPPER METAL PATTERN, COPPER METAL BUMP, HEAT CONDUCTION PATH, BONDING MATERIAL, AND LIQUID COMPOSITION
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2011/034016
Kind Code:
A1
Abstract:
Disclosed are: a copper metal film which has good adhesion to a substrate, low volume resistivity, and good deep-part metal properties; and a method for producing a copper metal film, wherein the copper metal film can be produced by reducing a substrate to a deep part thereof without damaging the substrate.
Specifically disclosed is a copper metal film that is characterized by being obtained by processing a copper-based particle deposited layer, which contains copper oxide as well as a transition metal in the form of a metal, an alloy or a transition metal complex containing a metal element, with a gaseous formic acid and/or formaldehyde that is heated to 120˚C or higher. The copper oxide is preferably copper (I) oxide and/or copper (II) oxide. The transition metal, alloy or metal complex are preferably a metal selected from the group consisting of Cu, Pd, Pt, Ni, Ag, Au and Rh, an alloy containing the metal, or a complex containing the metal element, respectively.
Inventors:
NAKAKO, Hideo (48, Wadai, Tsukuba-sh, Ibaraki 47, 〒3004247, JP)
中子 偉夫 (〒47 茨城県つくば市和台４８ 日立化成工業株式会社内 Ibaraki, 〒3004247, JP)
YAMAMOTO, Kazunori (48, Wadai, Tsukuba-sh, Ibaraki 47, 〒3004247, JP)
山本 和徳 (〒47 茨城県つくば市和台４８ 日立化成工業株式会社内 Ibaraki, 〒3004247, JP)
KUMASHIRO, Yasushi (48, Wadai, Tsukuba-sh, Ibaraki 47, 〒3004247, JP)
神代 恭 (〒47 茨城県つくば市和台４８ 日立化成工業株式会社内 Ibaraki, 〒3004247, JP)
YOKOZAWA, Shunya (1-1, Nishishinjuku 2-chome, Shinjuku-k, Tokyo 49, 〒1630449, JP)
横澤 舜哉 (〒49 東京都新宿区西新宿二丁目１番１号 日立化成工業株式会社内 Tokyo, 〒1630449, JP)
中子 偉夫 (〒47 茨城県つくば市和台４８ 日立化成工業株式会社内 Ibaraki, 〒3004247, JP)
YAMAMOTO, Kazunori (48, Wadai, Tsukuba-sh, Ibaraki 47, 〒3004247, JP)
山本 和徳 (〒47 茨城県つくば市和台４８ 日立化成工業株式会社内 Ibaraki, 〒3004247, JP)
KUMASHIRO, Yasushi (48, Wadai, Tsukuba-sh, Ibaraki 47, 〒3004247, JP)
神代 恭 (〒47 茨城県つくば市和台４８ 日立化成工業株式会社内 Ibaraki, 〒3004247, JP)
YOKOZAWA, Shunya (1-1, Nishishinjuku 2-chome, Shinjuku-k, Tokyo 49, 〒1630449, JP)
横澤 舜哉 (〒49 東京都新宿区西新宿二丁目１番１号 日立化成工業株式会社内 Tokyo, 〒1630449, JP)
Application Number:
JP2010/065698
Publication Date:
March 24, 2011
Filing Date:
September 13, 2010
Export Citation:
Assignee:
HITACHI CHEMICAL COMPANY, LTD. (1-1 Nishishinjuku 2-chome, Shinjuku-ku Tokyo, 49, 〒1630449, JP)
日立化成工業株式会社 (〒49 東京都新宿区西新宿二丁目１番１号 Tokyo, 〒1630449, JP)
NAKAKO, Hideo (48, Wadai, Tsukuba-sh, Ibaraki 47, 〒3004247, JP)
中子 偉夫 (〒47 茨城県つくば市和台４８ 日立化成工業株式会社内 Ibaraki, 〒3004247, JP)
YAMAMOTO, Kazunori (48, Wadai, Tsukuba-sh, Ibaraki 47, 〒3004247, JP)
山本 和徳 (〒47 茨城県つくば市和台４８ 日立化成工業株式会社内 Ibaraki, 〒3004247, JP)
KUMASHIRO, Yasushi (48, Wadai, Tsukuba-sh, Ibaraki 47, 〒3004247, JP)
神代 恭 (〒47 茨城県つくば市和台４８ 日立化成工業株式会社内 Ibaraki, 〒3004247, JP)
YOKOZAWA, Shunya (1-1, Nishishinjuku 2-chome, Shinjuku-k, Tokyo 49, 〒1630449, JP)
日立化成工業株式会社 (〒49 東京都新宿区西新宿二丁目１番１号 Tokyo, 〒1630449, JP)
NAKAKO, Hideo (48, Wadai, Tsukuba-sh, Ibaraki 47, 〒3004247, JP)
中子 偉夫 (〒47 茨城県つくば市和台４８ 日立化成工業株式会社内 Ibaraki, 〒3004247, JP)
YAMAMOTO, Kazunori (48, Wadai, Tsukuba-sh, Ibaraki 47, 〒3004247, JP)
山本 和徳 (〒47 茨城県つくば市和台４８ 日立化成工業株式会社内 Ibaraki, 〒3004247, JP)
KUMASHIRO, Yasushi (48, Wadai, Tsukuba-sh, Ibaraki 47, 〒3004247, JP)
神代 恭 (〒47 茨城県つくば市和台４８ 日立化成工業株式会社内 Ibaraki, 〒3004247, JP)
YOKOZAWA, Shunya (1-1, Nishishinjuku 2-chome, Shinjuku-k, Tokyo 49, 〒1630449, JP)
International Classes:
C23C20/02; B22F1/02; H01B1/20; H01B5/14; H01B13/00; H05K1/09
Attorney, Agent or Firm:
MIYOSHI, Hidekazu et al. (Toranomon Kotohira Tower, 2-8 Toranomon 1-chom, Minato-ku Tokyo 01, 〒1050001, JP)
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