In elektrischen Wechselstromversorgungsnetzen können Kurz- schlüsse und elektrische Überschläge nicht mit Sicherheit vermieden werden. Dabei steigt der Wechselstrom im betroffe- nen Stromkreis sehr schnell, d. h. in der ersten Halbwelle des Stromes, auf ein Vielfaches seines Nennwertes an, bis er durch geeignete Sicherungs-oder Schaltmittel unterbrochen wird. Als Folge davon treten in allen betroffenen Netzkompo- nenten wie Leitungen und Sammelschienen, Schaltern oder Transformatoren erhebliche thermische sowie mechanische Bela- stungen durch Stromkräfte auf. Da diese kurzzeitigen Lasten mit dem Quadrat des Stromes zunehmen, kann eine sichere Be- grenzung des Kurzschlußstromes auf einen niedrigeren Spitzen- wert die Anforderungen an die Belastungsfähigkeit dieser Netzkomponenten erheblich reduzieren. Dadurch lassen sich Ko- stenvorteile erzielen, etwa beim Aufbau neuer als auch beim Ausbau bestehender Netze, indem durch Einbau von Strombegren- zungseinrichtungen ein Austausch von Netzkomponenten gegen höher belastbare Ausführungsformen vermieden werden kann.

Mit supraleitenden Strombegrenzungseinrichtungen vom resisti- ven Typ kann der Stromanstieg nach einem Kurzschluß auf einen Wert von wenigen Vielfachen des Nennstromes begrenzt werden ; darüber hinaus ist eine solche Begrenzungseinrichtung kurze Zeit nach Abschalten wieder betriebsbereit. Sie wirkt also wie eine schnelle, selbstheilende Sicherung. Außerdem gewähr- leistet sie eine hohe Betriebssicherheit, da sie passiv wirkt, d. h. autonom ohne vorherige Detektion des Kurzschlus- ses und ohne aktive Auslösung durch ein Schaltsignal arbei- tet.

Resistive supraleitende Strombegrenzungseinrichtungen der eingangs genannten Art bilden eine seriell in einen Strom- kreis einzufügende supraleitende Schaltstrecke. Dabei wird der Übergang einer supraleitenden Leiterbahnanordnung vom praktisch widerstandslosen kalten Betriebszustand unterhalb der Sprungtemperatur Tc des Supraleitermaterials in den nor- malleitenden Zustand über Tc (sogenannter Phasenübergang) ausgenutzt, wobei der nun vorhandene elektrische Widerstand Rn der Leiterbahnanordnung den Strom auf eine akzeptable Höhe I = U/Rn begrenzt. Die Erwärmung über die Sprungtemperatur Tc geschieht dabei durch Joule'sche Wärme in dem Supraleiterma- terial der Leiterbahn selbst, wenn nach Kurzschluß die Strom- dichte j über den kritischen Wert je des Supraleitermaterials ansteigt, wobei das Material auch unter der Sprungtemperatur Tc bereits einen endlichen elektrischen Widerstand aufweisen kann. Im begrenzenden Zustand oberhalb der Sprungtemperatur Tc fließt in dem die Strombegrenzungseinrichtung enthaltenden Stromkreis ein Reststrom weiter, bis ein zusätzlicher mecha- nischer Trennschalter den Stromkreis völlig unterbricht.

Supraleitende Strombegrenzungseinrichtungen mit bekannten me- talloxidischen Hoch-Tc-Supraleitermaterialien, deren Sprung- temperatur Tc so hoch liegt, daß sie mit flüssigem Stickstoff von 77 K im supraleitenden Betriebszustand zu halten sind, zeigen eine schnelle Zunahme des elektrischen Widerstandes beim Überschreiten der kritischen Stromdichte ic. Die Erwär-

mung in den normalleitenden Zustand und somit die Strombe- grenzung geschieht dabei in verhältnismäßig kurzer Zeit, so daß der Spitzenwert des Kurzschlußstromes auf einen Bruchteil des unbegrenzten Stromes, etwa auf den 3-bis 10-fachen Nenn- strom begrenzt werden kann. Der supraleitende Strompfad der Leiterbahnanordnung ist dabei in Kontakt mit einem Kühlmit- tel, das ihn in verhältnismäßig kurzer Zeit nach einer Über- schreitung der kritischen Stromdichte je in den supraleiten- den Betriebszustand zurückzuführen vermag.

Die aus der eingangs genannten EP-A-Schrift entnehmbare, ent- sprechend arbeitende resistive Strombegrenzungseinrichtung enthält als Leiterbahnanordnung einen mäanderförmig gewunde- nen elektrischen Leiter aus einem Hoch-Tc-Supraleitermaterial (Abkürzung : HTS-Material), der beispielsweise aus einer 5 mm dicken Platte aus dem HTS-Material mittels Schlitzungen her- ausgearbeitet ist. Der elektrische Leiter ist selbsttragend, kann jedoch zur Erhöhung der mechanischen Stabilität auf ei- nem Trägerkörper angeordnet sein. Seine Endstücke sind als Kontaktstücke ausgebildet, an die externe Anschlußleiter zum Zweck der Einspeisung des zu begrenzenden Stromes anzuschlie- ßen sind.

Bei einer derartigen Leiterbahnanordnung mit einer einzigen, seriell in einen Stromkreis eingesetzten Leiterbahn ergeben sich Probleme hinsichtlich der räumlichen Variation der kri- tischen Stromdichte je im Supraleitermaterial ; d. h., es, er- gibt sich eine entsprechende Verteilung des kritischen Stro- mes Ic (x) mit 0 < x < 1, wobei 1 die Lange der Leiterbahn ist. Die Stelle x mit dem niedrigsten Ic, min bestimmt dann <BR> <BR> <BR> nicht nur den kritischen Strom Ic ; ges _ Ic, min der gesamten Lei- terbahn, sondern wird auch bei einem dynamischen Begrenzungs- vorgang eines Kurzschlusses als erste resistiv und demzufolge in der Begrenzungsphase am stärksten ohmsch aufgeheizt. Die Folge davon ist, daß in solchen Strombegrenzungseinrichtungen aufgrund dieser"Schwachstellen"an der Stelle x die maximale Schaltleistung entsprechend gering ist.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es deshalb, die Strom- begrenzungseinrichtung mit den eingangs genannten Merkmalen dahingehend auszugestalten, daß mit ihr eine vergleichsweise höhere maximale Schaltleistung ermöglicht wird. Außerdem soll ein Verfahren zu einer möglichst einfachen Herstellung einer solchen Begrenzungseinrichtung angegeben werden.

Diese Aufgabe wird bezüglich der Strombegrenzungseinrichtung erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß ihre Leiterbahnanordnung mehrere, zwischen ihren Endstücken parallelgeschaltete Teil- leiter mit zumindest annähernd gleicher Leiterlänge aufweist.

Bei einer solchen Ausgestaltung werden nämlich resistive Zo- nen mit geringerer kritischer Stromdichte je in den einzelnen Leiterbahnen niedrigeren Stromdichten, hingegen noch nicht beschaltete Bereiche mit höherem je größeren Stromdichten ausgesetzt. Daraus resultiert eine entsprechend geringere lo- kale thermische Belastung der Schwachstellen durch ohmsche Leistungsdissipation einerseits und ein zeitlich früheres und bei geringeren Nennspannungen auftretendes Schalten in den normalleitenden Zustand andererseits. Folglich wird vorteil- haft das supraleitende Material gleichmäßiger erwärmt, mecha- nisch geschont und wird eine schnellere Rückkühlung nach dem Begrenzungsvorgang ermöglicht. D. h., die mit der erfindungs- gemäßen Ausgestaltung der Begrenzungseinrichtung verbundenen Vorteile sind darin zu sehen, daß bei Uberströmen und damit im Begrenzungsfall eine Stromverteilung erreicht wird, die die Bedeutung der ic-variation und der Schwachstellen redu- ziert.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Teilleiter der Leiter- bahnanordnung derart auf dem Trägerkörper angeordnet werden, daß der größte Teil jedes Teilleiters einen allein ihm zuge- ordneten Oberflächenbereich des Trägerkörpers belegt, der räumlich getrennt ist von dem jedem weiteren Teilleiter zuge- ordneten Oberflächenbereich. Damit ist vorteilhaft eine mög-

lichst große räumliche Trennung der einzelnen Teilleiter bzw. ihrer Strompfade zu gewährleisten, die zu einer entsprechend gleichmäßigeren ohmschen Aufheizung bei einem Phasenübergang vom supraleitenden in den normalleitenden Zustand führen.

Diese Wirkung ist insbesondere dann zu erreichen, wenn die Leiterbahnanordnung mindestens drei parallelgeschaltete Teil- leiter aufweist.

Ein vorteilhaftes Verfahren zur Herstellung einer erfindungs- gemäßen Strombegrenzungseinrichtung ist dadurch gekennzeich- net, daß ihre Leiterbahnanordnung mittels Strukturierung min- destens einer auf dem Trägerkörper direkt oder indirekt auf- gebrachten Schicht aus dem Hoch-Tc-supraleitermaterial er- stellt wird. Mit an sich bekannten physikalischen oder chemi- schen Strukturierungsprozessen lassen sich nämlich die ein- zelnen Teilleiter auf verhältnismäßig einfache Weise ausbil- den.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Strombegrenzungseinrichtung bzw. des Verfahrens zu ihrer Her- stellung gehen aus den jeweils abhängigen Unteransprüchen hervor.

Ausführungsbeispiele von erfindungsgemäßen Strombegrenzungs- einrichtungen werden nachfolgend anhand der Zeichnung noch näher erläutert. Dabei zeigen jeweils schematisch deren Figur 1 einen Querschnitt durch einen Teil einer solchen Strombegrenzungseinrichtung, Figur 2 eine Aufsicht auf eine Leiterbahnanordnung dieser Strombegrenzungseinrichtung und Figur 3 eine Aufsicht auf eine weitere Ausführungsform einer Leiterbahnanordnung.

In den Figuren sind sich entsprechende Teile mit denselben Bezugszeichen versehen.

Bei der erfindungsgemäßen Strombegrenzungseinrichtung wird von an sich bekannten Ausführungsformen solcher Einrichtungen ausgegangen (vgl. z. B. die eingangs genannte EP-A-Schrift oder die DE 195 20 205 A). Der prinzipielle Aufbau dieser Einrichtung ist in Figur 1 als Ausschnitt aus einem Quer- schnitt durch eine solche Einrichtung angedeutet. Der allge- mein mit 2 bezeichnete Aufbau umfaßt dabei einen Trägerkörper 3 mit einer Dicke di und gegebenenfalls mindestens eine dar- auf aufgebrachte Zwischenschicht 4 einer Dicke d2. Diese Zwi- schenschicht sei als Teil des Trägerkörpers angesehen. Auf sie ist eine Schicht 5 aus einem HTS-Material mit einer Dicke d3 aufgebracht bzw. abgeschieden, die erfindungsgemäß struk- turiert ist. Die HTS-Schicht kann mit mindestens einer weite- ren Deckschicht wie z. B. einer Schutzschicht oder einer als Shuntwiderstand dienenden Schicht 6 abgedeckt sein. Eine sol- che Shuntwiderstandschicht ist für Strombegrenzeranwendungen insbesondere im Falle einer Verwendung eines isolierenden Trägerkörpers besonders vorteilhaft.

Der Trägerkörper 3 kann durch einen planaren oder gegebenen- falls auch gekrümmten Substratkörper wie z. B. in Rohrform ge- bildet sein. Er besteht zumindest teilweise aus einem elek- trisch isolierenden Material. Hierfür geeignete Materialien sind Keramiken wie z. B. MgO, SrTiO3, A1203 oder mit Y- stabilisiertes Zr02 (Abkürzung : "YSZ"). Besonders vorteilhaft werden Trägerkörper aus speziellem Glasmaterial vorgesehen, insbesondere wenn es um großflächige Körper geht. Eine ent- sprechende Platte kann beispielsweise eine Dicke d1 von eini- gen Millimetern haben. Daneben sind auch aus metallischem und elektrisch isolierendem Material zusammengesetzte Trägerkör- per geeignet. Insbesondere im Falle einer Verwendung von me- tallischen Teilen für den Trägerkörper ist die Zwischen- schicht 5 aus einem elektrisch isolierenden Material erfor- derlich. Eine solche Zwischenschicht kann auch als sogenannte Pufferschicht benötigt werden, um einerseits eine Wechselwir- kung zwischen dem auf sie aufzubringenden HTS-Material und dem Trägerkörpermaterial zu unterbinden und andererseits eine

Textur des aufzubringenden HTS-Materials zu fördern. Bekannte Pufferschichtmaterialien, die im allgemeinen in einer Dicke zwischen 0,1 und 2 um verwendet werden, sind YSZ, YSZ+CeO2 (als Doppelschicht), YSZ+Sn-dotiertes In203 (als Doppel- schicht), Ce02, Pr601i, MgO, SrTiO3 oder Lal-xCaxMn03.

Als HTS-Materialien kommen alle bekannten metalloxidischen Hoch-Tc-Supraleitermaterialien wie insbesondere YBa2cu3oî-x bzw. RBa2CU30'7-, (mit R = seltenes Erdmetall), TlBa2Ca2Cu309+x, HgBa2CaCu206+x. Bi2Sr2CaCu208x oder (Bi, Pb) 2Sr2Ca2Cu3011-x in Fra- ge. Selbstverständlich können von diesen Materialien einzelne oder mehrere Komponenten in bekannter Weise durch andere Ele- mente zumindest teilweise substituiert sein. Diese Mate- rialien werden mit einer Dicke d3 aufgebracht, die im allge- meinen bis einige um betragen kann.

Wie in Figur 1 ferner angedeutet ist, soll zumindest die HTS- Schicht in besonderer Weise zu einer Leiteranordnung 15 strukturiert sein. Als Strukturierungsprozeß kommen alle hierfür bekannten physikalischen oder chemischen Verfahren in Frage. Beispielsweise kann die Strukturierung mittels eines Lasers vorgenommen werden. Nach dem Strukturierungsprozeß weist die Leiterbahnanordnung 15 mehrere Teilleiter 15i auf.

Eine konkrete Ausgestaltungsmöglichkeit der Leiterbahnanord- nung 15 einer Strombegrenzungseinrichtung mit einer erfin- dungsgemäßen Unterteilung der Stromführung auf n parallelge- schaltete, zumindest weitgehend gleich lange Strompfade ist aus der Aufsicht der Figur 2 zu entnehmen. Die Leiteranord- nung umfaßt zwei Endstücke 10 und 11 mit einer Leiterbahn- breite b zur Kontaktierung in bekannter Weise mit Anschluß- leitern. Zwischen diesen Endstücken verlaufen n = 4 parallel- geschaltete Teilleiter 15i mit 1 < n. < Leiterbahnbrei- te im Bereich dieser Teilleiter beträgt dabei etwa b/n. Vor- teilhaft wird der Verlauf dieser Teilleiter so vorgesehen, daß eine möglichst große räumliche Trennung der Teilleiter untereinander erreicht wird. Dies wird gemäß dem dargestell-

ten Ausführungsbeispiel dadurch erreicht, daß jedem der Teil- leiter 15i bis 1S4 ein eigener Oberflächenbereich B1 bis B4 des Trägerkörpers 3 zugeordnet wird. In jedem dieser Oberflä- chenbereiche erstreckt sich der wesentlichste Teil-bis auf die direkten Verbindungsteilen mit den Endstücken-des je- weiligen Teilleiters. In den Bereichen verlaufen die Teillei- ter vorteilhaft jeweils im wesentlichen mäanderförmig.

Die Verkleinerung der Leiterbahnbreite b auf b/n im Bereich der Teilleiter 15i führt zum einen dazu, daß mikroskopische Variationen in der kritischen Stromdichte je nur in geringem Maße eine Rolle spielen. Die Leiterbahnanordnung wird deshalb im Schaltfalle auch bei geringen Nominalspannungen üblicher- weise an mehr als n-Stellen resistiv ; entsprechend geringer sind auch die lokalen Übertemperaturen. Zum anderen erhalten die einzelnen Strompfade mit dem Index i durch die räumliche Trennung entsprechend der makroskopischen ic-variation unter- schiedliche kritische Ströme Ic (i). Wird nun bei einem Stromanstieg während eines Schaltvorganges der Pfad i mit dem geringsten kritischen Strom Ic (i) an einer Schwachstelle re- sistiv, so erhöht sich der entsprechende Pfadwiderstand R (i), und der Strom verteilt sich vermehrt auf die restlichen Pfa- de. Im Resultat fließt somit der Strom gewissermaßen um diese Schwachstelle herum. Entsprechend reduziert ist die im Pfad deponierte Leistung P (i) = I2 (i) R (i), und die restlichen Pfa- de schalten durch die höhere Strombelastung zeitlich und be- züglich der anliegenden Spannung früher : Die Leiterbahnanord- nung läßt folglich die Stromverteilung materialschonend auf das dynamische Zuschaltung resistiver Bahnbrücken reagieren.

Es läßt sich feststellen, daß durch diese Eigenschaften vor- teilhaft der Phasenübergang und die ohmsche Aufheizung bei einem Schaltvorgang räumlich homogenisiert werden. Auch er- höht sich der kritische Gesamtstrom Ic, ges einer Paralle- lanordnung gegenüber einer seriellen Anordnung spürbar, so daß höhere Nominalströme und damit entsprechend höhere Schaltleistungen bei annähernd gleicher Pfadlänge möglich werden.

Die in Figur 3 gezeigte Ausführungsform einer Leiterbahnan- ordnung 15 unterscheidet sich von der nach Figur 2 zum einen in der Anzahl n=3 der Unterteilungen in somit drei Teilleiter 15i bis 153 in Ober f lachenbere i chen B, bis B3. Zum anderen sind die mäanderförmigen Leiterwindungen in den einzelnen Oberflächenbereichen um 90° verdreht verlaufend gegenüber dem Verlauf der Leiterwindungen nach Figur 2.

Gemäß einem konkreten Ausführungsbeispiel für beide Ausfüh- rungsformen nach den Figuren 2 und 3 von Leiteranordnungen 15 für HTS-Strombegrenzereinrichtungen kann eine Breite b der ungeteilten Leiterbahn von etwa 1,2 cm und eine jeweilige Ge- samtlänge der Strompfade von etwa 66 bzw. 65 cm vorgesehen sein. Mit entsprechenden Leiterbahnanordnungen 15 lassen sich dann unter Verwendung des HTS-Materials YBa2cu3o7-x mit einer kritischen Stromdichte je von etwa 104 A/cm2 Nennströme von etwa 1000 A schalten. Die einzelnen Strompfade formen dabei Bereiche, die im Mittel mehrere Zentimeter voneinander ent- fernt sind und somit in der Größenordnung der makroskopischen jc-Schwankungen der HTS-Schicht liegen.

Bei den anhand der Figuren erläuterten Ausführungsformen von erfindungsgemäßen Strombegrenzungseinrichtungen wurde davon ausgegangen, daß deren Leiteranordnungen jeweils nur einsei- tig auf einen Trägerkörper aufgebracht sind. Selbstverständ- lich ist auch ein beidseitiges Belegen der gegenüberliegenden Flächen eines Trägerkörpers mit einer einzigen oder auch mit mehreren Leiterbahnanordnungen möglich.