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Title:
CUTTING DEVICE AND CUTTING METHOD FOR ADHESIVE TAPE, AND APPLYING DEVICE AND APPLYING METHOD FOR ADHESIVE TAPE
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2009/072377
Kind Code:
A1
Abstract:
This aims to provide a cutting device and an applying device for an adhesive tape. These devices comprise a cutter (27) driven in directions to come close to and away from an adhesive tape (2), for cutting the adhesive tape when driven in the direction to come closer, a holding block (38) for blocking the warpage of the adhesive tape together with a release tape (8) by a pushing force received from the cutter, when the adhesive tape is to be cut by the cutter, an applied portion (28) integrated with the cutter for pushing the vicinity of that portion of the adhesive tape which is cut by the cutter when the adhesive tape is cut by the cutter, so that the adhesive tape is applied thereto, and a push member (33) for pushing elastically the vicinity of that portion of the adhesive tape which is pushed and applied to the applied portion, thereby to push the adhesive tape elastically and in an unapplied state, when the adhesive tape is cut by the cutter so that the cutter is driven in the direction away from the adhesive tape, till that portion of the adhesive tape which is applied to the applied portion is peeled from the release tape.

Inventors:
MINAMIHAMA, Etsuo (())
南浜 悦郎 (())
MORI, Haruo (())
森 治雄 (())
Application Number:
JP2008/070610
Publication Date:
June 11, 2009
Filing Date:
November 12, 2008
Export Citation:
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Assignee:
SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION (5-1 Kasama 2-chome, Sakae-ku Yokohama-sh, Kanagawa 10, 2478610, JP)
芝浦メカトロニクス株式会社 (〒10 神奈川県横浜市栄区笠間二丁目5番1号 Kanagawa, 2478610, JP)
MINAMIHAMA, Etsuo (())
南浜 悦郎 (())
MORI, Haruo (())
International Classes:
B65H35/07; B26D1/06
Foreign References:
JPH08133560A1996-05-28
JP2002255434A2002-09-11
JP2003051517A2003-02-21
Attorney, Agent or Firm:
SUZUYE, Takehiko et al. (1-12-9Toranomon, Minato-ku, Tokyo 01, 1050001, JP)
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Claims:
 離型テープに貼着された粘着テープを切断する粘着テープの切断装置であって、
 上記粘着テープに対して接離する方向に駆動され接近方向に駆動されたときに上記粘着テープを切断するカッタと、
 このカッタによって上記粘着テープを切断するときに上記粘着テープが上記離型テープとともに上記カッタから受ける押圧力によって撓むのを阻止する保持部材と、
 上記カッタに一体に設けられこのカッタによって上記粘着テープを切断するときにこの粘着テープの上記カッタによって切断される箇所の近傍を押圧して上記粘着テープが貼着される貼着部と、
 上記粘着テープの上記貼着部に押圧貼着された部分の近くを弾性的に押圧し、上記粘着テープが上記カッタによって切断されてこのカッタが上記粘着テープから離れる方向に駆動されたときに、上記粘着テープの上記貼着部に貼着された部分が上記離型テープから剥離されるまで、この粘着テープを弾性的かつ非貼着状態で押圧する押え部材と
 を具備したことを特徴とする粘着テープの切断装置。
 駆動手段によって上記粘着テープに対して接離する方向に駆動される駆動部材を有し、この駆動部材に上記カッタが設けられるとともに、上記押え部材がばねによって弾性的に変位可能に設けられていることを特徴とする請求項1記載の粘着テープの切断装置。
 離型テープに貼着された粘着テープを切断する粘着テープの切断装置であって、
 上記粘着テープを切断するカッタを有し、このカッタは上記粘着テープの幅方向に対して所定の角度で傾斜して配置されていることを特徴とする粘着テープの切断装置。
 離型テープに貼着された粘着テープを切断するカッタを備えた粘着テープの切断装置であって、
 上記カッタは、一側面が垂直面、他側面が傾斜面、先端が平坦面に形成されていて、
 上記カッタが前進して粘着テープを切断してから後退するとき、上記垂直面と上記粘着テープの切断された面との接触抵抗によって上記粘着テープの切断部分が上記離型テープから剥離されることを特徴とする粘着テープの切断装置。
 離型テープに貼着された粘着テープを切断するカッタを備えた粘着テープの切断装置であって、
 上記カッタを上昇方向に駆動して上記粘着テープを切断した後で、上記カッタを下降させる前に、このカッタを上記粘着テープの切断方向と交差する方向に駆動する駆動手段を備えていることを特徴とする粘着テープの切断装置。
 離型テープに貼着された粘着テープを、上記離型テープをハーフカットして切断するカッタを備えた粘着テープの切断方法であって、
 上記粘着テープを上記カッタによって切断する工程と、
 上記カッタによって切断された上記粘着テープの切断箇所の近傍を上記離型テープから剥離する工程と
 を具備したことを特徴とする粘着テープの切断方法。
 離型テープに貼着された粘着テープを所定長さに切断して基板の上面に貼着する粘着テープの貼着装置であって、
 上記粘着テープに対して接離する方向に駆動され接近方向に駆動されたときに上記粘着テープを切断するカッタと、
 このカッタによって所定の長さに切断された上記粘着テープを上記離型テープとともに上記基板に加圧して貼着する加圧ツールと、
 上記離型テープの幅方向に対して軸線を相対的に所定の角度で傾斜させた状態で上記基板に貼着された粘着テープから上記離型テープを剥離する離型ローラと
 を具備したことを特徴とする粘着テープの貼着装置。
 上記離型テープの幅方向に対して上記離型ローラが軸線を所定の角度で傾斜させて配置されていることを特徴とする請求項7記載の粘着テープの貼着装置。
 上記基板が載置されこの基板を回転方向に位置決め可能なステージを有し、
 上記基板に粘着テープを貼着してから上記離型テープを剥離するときに、上記ステージによって基板を回転させて上記離型テープの幅方向に対して上記離型ローラの軸線を所定の角度で傾斜させることを特徴とする請求項7記載の粘着テープの貼着装置。
 離型テープに貼着された粘着テープを所定長さに切断して基板の上面に貼着する粘着テープの貼着方法であって、
 上記粘着テープを上記カッタによって切断する工程と、
 上記カッタによって所定の長さに切断された上記粘着テープを上記離型テープとともに上記基板に加圧して貼着する工程と、
 上記離型テープの幅方向に対して軸線を相対的に所定の角度で傾斜させた状態の離型ローラによって上記基板に貼着された粘着テープから上記離型テープを剥離する工程と
 を具備したことを特徴とする粘着テープの貼着方法。
Description:
粘着テープの切断装置及び切断 法、粘着テープの貼着装置及び貼着方法

 この発明は離型テープに貼着された粘着 ープをカッタによって切断する粘着テープ 切断装置及び切断方法、切断された粘着テ プを基板に貼着する粘着テープの貼着装置 び貼着方法に関する。

 たとえば、液晶ディスプレイパネルやプ ズマディスプレイパネルに代表されるフラ トパネルディスプレイなどの製造工程にお ては、ガラス製の基板の側部上面に、TCP(Tap e Carrier Package)などの電子部品を異方性導電 部材からなる粘着テープを介して貼着する 程がある。

 上記電子部品を上記基板の側部上面に貼 する前に、基板の側部上面に所定の長さに 断された上記粘着テープを貼着する工程が る。粘着テープは離型テープに貼着されて て、これらは供給リールに巻装されている

 基板の側部上面に電子部品を粘着テープ よって貼着する場合、まず、離型テープと もに供給リールから繰り出された粘着テー を所定長さに切断する。このときの粘着テ プの切断長さは、たとえば上記基板の側部 面に設けられた複数の端子からなる端子部 長さに対応する長さに設定される。

 ついで、所定長さに切断された粘着テー を、たとえばチャックなどによって上記離 テープとともに引き出して、テーブルに載 された基板の側部上面の上記端子部に対向 るよう位置決めした後、切断された粘着テ プを加圧ツールによって基板に加圧して貼 する。

 そして、粘着テープを基板に貼着したな ば、その粘着テープから離型テープを離型 ーラなどによって剥離する。

 特許文献1には、供給リールから粘着テープ を離型テープとともに繰り出し、その粘着テ ープのカッタによって切断する部位を保持ブ ロックに対向させ、その状態でカッタを上昇 方向に駆動して上記粘着テープを所定の長さ に切断することが示されている。

特開2003-51517号公報

 上記カッタの先端部は通常、先端にゆく つれて鋭利となる楔状に形成されていて、 の先端部によって図12Aに示すように上記粘 テープaを保持ブロックbに離型テープcを介 て押圧して切断するようにしている。その き、粘着テープaを確実に切断するために上 記離型テープcをその厚さの約半分程度まで 断するということがある。つまり、離型テ プcをハーフカットするようにしている。

 ところで、粘着テープaを先端が鋭利なカ ッタによって切断して離型テープcがハーフ ットされると、粘着テープaは粘性に富むた 、カッタの先端部によって押圧さて上記離 テープcのハーフカット部に残留することに なる。粘着テープaのハーフカット部に残留 た残留部分dは、切断部分において離型テー cのハーフカット部に強固に付着しているば かりか、粘着テープaから分断されずに連続 た状態にある。

 そのような状態で所定の長さに切断され 粘着テープaを、図12Bに示すように基板eに 圧して貼着した後、上記離型テープcを、た えば剥離用のローラなどによって基板eに貼 着された粘着テープaから矢印R方向に剥離し うとすると、粘着テープaから分断されずに 離型テープcのハーフカット部に付着残留し 残留部分dによって粘着テープaが離型テープ cと一緒に捲れ上がるということがあり、そ ような場合には粘着テープaの貼着不良を招 ということになる。

 なお、このような粘着テープaの捲れ上が りは、図12Bに示す離型テープcの剥離が開始 れる端部Aにおいて発生し、図12Aに示す剥離 終了する端部Bで発生することはない。

 この発明は、粘着テープを切断して基板 貼着してから離型テープを剥離するとき、 着テープの端部が捲れ上がることがないよ 粘着テープを切断できるようにした粘着テ プの切断装置及び切断方法、粘着テープの 着装置及び切貼着方法を提供することにあ 。

 上記課題を解決するためにこの発明は、離 テープに貼着された粘着テープを切断する 着テープの切断装置であって、
 上記粘着テープに対して接離する方向に駆 され接近方向に駆動されたときに上記粘着 ープを切断するカッタと、
 このカッタによって上記粘着テープを切断 るときに上記粘着テープが上記離型テープ ともに上記カッタから受ける押圧力によっ 撓むのを阻止する保持部材と、
 上記カッタに一体に設けられこのカッタに って上記粘着テープを切断するときにこの 着テープの上記カッタによって切断される 所の近傍を押圧して上記粘着テープが貼着 れる貼着部と、
 上記粘着テープの上記貼着部に押圧貼着さ た部分の近くを弾性的に押圧し、上記粘着 ープが上記カッタによって切断されてこの ッタが上記粘着テープから離れる方向に駆 されたときに、上記粘着テープの上記貼着 に貼着された部分が上記離型テープから剥 されるまで、この粘着テープを弾性的かつ 貼着状態で押圧する押え部材と
 を具備したことを特徴とする粘着テープの 断装置を提供することにある。

 また、この発明は、離型テープに貼着され 粘着テープを切断する粘着テープの切断装 であって、
 上記粘着テープを切断するカッタを有し、 のカッタは上記粘着テープの幅方向に対し 所定の角度で傾斜して配置されていること 特徴とする粘着テープの切断装置にある。

 この発明は、離型テープに貼着された粘着 ープを、上記離型テープをハーフカットし 切断するカッタを備えた粘着テープの切断 置であって、
 上記カッタは、一側面が垂直面、他側面が 斜面、先端が平坦面に形成されていて、
 上記カッタが前進して粘着テープを切断し から後退するとき、上記垂直面と上記粘着 ープの切断された面との接触抵抗によって 記粘着テープの切断部分が上記離型テープ ら剥離されることを特徴とする粘着テープ 切断装置を提供することにある。

 また、この発明は、離型テープに貼着され 粘着テープを切断するカッタを備えた粘着 ープの切断装置であって、
 上記カッタを前進方向に駆動して上記粘着 ープを切断した後で、上記カッタを後退さ る前に、このカッタを切断方向と交差する 向に駆動する駆動手段を備えていることを 徴とする粘着テープの切断装置を提供する とにある。

 また、この発明は、離型テープに貼着され 粘着テープを切断するカッタを備えた粘着 ープの切断方法であって、
 上記粘着テープを上記カッタによって切断 る工程と、
 上記カッタによって切断された上記粘着テ プの切断箇所の近傍を上記離型テープから 離する工程と
 を具備したことを特徴とする粘着テープの 断方法を提供することにある。

 また、この発明は、離型テープに貼着され 粘着テープを所定長さに切断して基板の上 に貼着する粘着テープの貼着装置であって
 上記粘着テープに対して接離する方向に駆 され接近方向に駆動されたときに上記粘着 ープを切断するカッタと、
 このカッタによって所定の長さに切断され 上記粘着テープを上記離型テープとともに 記基板に加圧して貼着する加圧ツールと、
 上記離型テープの幅方向に対して軸線を相 的に所定の角度で傾斜させた状態で上記基 に貼着された粘着テープから上記離型テー を剥離する離型ローラと
 を具備したことを特徴とする粘着テープの 着装置を提供することにある。

 また、この発明は、離型テープに貼着され 粘着テープを所定長さに切断して基板の上 に貼着する粘着テープの貼着方法であって
 上記粘着テープを上記カッタによって切断 る工程と、
 上記カッタによって所定の長さに切断され 上記粘着テープを上記離型テープとともに 記基板に加圧して貼着する工程と、
 上記離型テープの幅方向に対して軸線を相 的に所定の角度で傾斜させた状態の離型ロ ラによって上記基板に貼着された粘着テー から上記離型テープを剥離する工程と
 を具備したことを特徴とする粘着テープの 着方法を提供することにある。

図1はこの発明の第1の実施の形態を示 粘着テープの貼着装置の概略的構成図であ 。 図2Aは所定長さに切断された粘着テー を基板の一側部の端子部に貼着した状態の 面図である。 図2Bは基板の一側部に電子部品を貼着 た平面図である。 図3は切断装置のカッタによって粘着テ ープを切断するときの説明図である。 図4は上記カッタによって粘着テープを 切断した後、カッタが下降したときの説明図 である。 図5は上記カッタを下降させることで、 粘着テープの端部が離型テープから剥離され た状態の説明図である。 図6は型ローラの配置状態を示す平面図 である。 図7Aはこの発明の第2の実施の形態を示 す離型テープ及び粘着テープに対するカッタ の配置を示す平面図である。 図7Bはカッタによって切断された粘着 ープの下面図である。 図7Cはカッタを示す側面図である。 図8Aはこの発明の第3の実施の形態を示 すカッタの側面図である。 図8Bは粘着テープの切断部分の拡大断 図である。 図8Cはカッタによって粘着テープの端 が離型テープから剥離される状態の説明図 ある。 図9Aはこの発明の第4の実施の形態を示 すカッタの側面図である。 図9Bはカッタの動きを示す説明図であ 。 図9Cは粘着テープの端部がカッタによ て剥離される状態の説明図である。 図10Aは粘着テープを所定の長さに切 するために一対の切断線を形成した他の実 の形態を示す説明図である。 図10Bは同じく粘着テープを所定の長 に切断するために図10Aによって形成された 対の切断線の部分を除去する他の実施の形 を示す説明図である。 図11Aは基板に粘着テープを貼着した きの平面図である。 図11Bは粘着テープを貼着した後、基 をステージとともに角度βで回転させたとき の平面図である。 図12Aは従来の粘着テープの切断部分 示す拡大断面図である。 図12Bは同じく粘着テープを基板に貼 してから離型テープを剥離するときの説明 である。

 以下、図面を参照しながらこの発明の実 の形態を説明する。

 図1乃至図6はこの発明の第1の実施の形態 係る異方性導電性部材からなる粘着テープ2 の貼着装置を示し、この貼着装置は基板ステ ージ5を備えている。この基板ステージ5はベ ス6を有し、このベース6の上面にX駆動源6a Y駆動源6b及びθ駆動源6cによってX、Y及びθ方 向に駆動されるテーブル7が設けられている

 上記テーブル7上には、図2Aに示すように 晶ディスプレイパネルなどの2枚のガラス板 を貼り合わせた基板Wが供給されて吸着保持 れるようになっている。基板Wの上面の一側 には複数の端子1aが所定間隔で形成された 子部1が基板Wの一側の長手方向に沿って所定 長さで設けられている。

 上記端子部1には後述するように所定の長 さに切断された、両面粘着性の異方性導電部 材からなる上記粘着テープ2が貼着されるよ になっている。そして、粘着テープ2が貼着 れた端子部1には、図2Bに示すように1つ若し くは複数のTCPなどの電子部品3が圧着される

 図1に示すように、上記粘着テープ2は一 面に透光性の樹脂テープからなる離型テー 8が貼着されて供給リール9に巻かれていて、 粘着テープ2を下にして一対のガイドローラ11 にガイドされた部分が上記テーブル7に載置 れた上記基板Wの端子部1の上面に対向して水 平に走行するようになっている。

 上記テーブル7の上方には加圧ツール13が 下駆動機構14によって図中矢印で示す上下 向に駆動可能に設けられている。粘着テー 2は、後述する切断装置23によって所定長さ 切断され、その切断された部分がテーブル7 に載置された基板Wの端子部1に対向する位 まで搬送されると、その位置で停止する。

 停止後に加圧ツール13が下降し、上記基 Wに粘着テープ2の所定長さに切断された部分 が貼着される。その後、上記離型テープ8は 駆動機構16によって一体的に矢印-X方向に駆 される第1、第2の離型ローラ10a,10bによって 着テープ2から剥離され、巻取りリール12に き取られるようになっている。

 上記第1の離型ローラ10aは図1に示すよう 離型テープ8の下面側に位置するように配置 れている。第2の離型ローラ10bは上記第1の 型ローラ10aよりも粘着テープ2の送り方向(図 1及び図6に+Xで示す)上流側に上記第1の離型ロ ーラ10aと軸線を平行にして配置されている。 これら第1、第2の離型ローラ10a,10bは図6に示 ように軸線Oを上記離型テープ8の幅方向に平 行な直線Lに対してβで示す所定の角度で傾斜 して配置されている。

 したがって、第1、第2の離型ローラ10a,10b 駆動機構16によって図1に示す矢印-Xで示す 向に駆動されると、離型テープ8は基板Wに貼 着された粘着テープ2の送り方向の上流側に 置する幅方向の一端(図6にE1で示す)から他端 (図6にE2で示す)に向かって徐々に剥離される うになっている。

 上記粘着テープ2と離型テープ8との搬送 、搬送手段としての送り装置20によって行な われる。この送り装置20は離型テープ8を挟持 可能に形成されたチャック21を有する。この ャック21は図示しないガイド体によって回 不能にガイドされ、サーボモータ22bによっ 回転駆動される駆動ねじ22aにより直線駆動 れるようになっている。

 したがって、上記チャック21が離型テー 8を挟持した状態で上記駆動ねじ22aを回転駆 し、このチャック21を図1に矢印+Xで示す方 へ駆動すれば、上記離型テープ8とともに粘 テープ2を+X方向へ搬送し、この粘着テープ2 を所定の位置、つまり基板Wの端子部1に対向 るよう位置決めできるようになっている。

 上記粘着テープ2は基板Wよりも搬送方向 流側において、上記切断装置23によって所定 の長さに切断される。この切断装置23は図3と 図4に示すように軸線を垂直にして上記粘着 ープ2の下方に配置された駆動手段としての リンダ25を有する。このシリンダ25のロッド 25aには駆動部材26が取付けられている。この 動部材26はシリンダ25によって図1に矢印で す上下方向に駆動される。

 上記駆動部材26の上面の、上記粘着テー 2の搬送方向の下流側に位置する一端部には ッタ27が立設されている。このカッタ27は先 端が鋭利となる楔状に形成された歯部27aを有 するとともに、この歯部27aの、上記粘着テー プ2の搬送方向の上流側に位置する一側には 端が平坦面28aとなった貼着部28が一体形成さ れている。この平坦面28aは上記歯部27aの先端 よりも所定寸法低い位置に形成されている。

 上記貼着部28の平坦面28aは、後述するよ に上記カッタ27の歯部27aが上記粘着テープ2 切断し、かつ上記離型テープ8がハーフカッ されたとき、上記粘着テープ2のカッタ27に って切断される部位近傍で、搬送方向の上 側の部分を押圧するようになっている。

 上記平坦面28aは上記粘着テープ2が貼着さ れ易いよう、たとえば粗面に形成されている 。それによって、上記粘着テープ2の上記平 面28aによって押圧された部分は、その平坦 28aに貼着するようになっている。

 上記駆動部材26の上面の、上記粘着テー 2の搬送方向の上流側に位置する他端部には 持片31が設けられている。この支持片31には 保持孔32が形成されていて、この保持孔32に 押え部材33が上下方向にスライド可能に支持 されている。

 上記押え部材33の上端面33aは後述するよ に粘着テープ2を押圧したとき、その粘着テ プ2が貼着されることのない非貼着面に形成 されている。非貼着面は、たとえばシリコン 樹脂やフッ素樹脂などのような滑沢性を有す る樹脂をコーティングすることで形成される 。

 上記押え部材33には下端面に開放した保 孔34が形成されている。この保持孔34にはば 35が収容されていて、このばね35は上記押え 部材33を上昇方向に付勢している。なお、押 部材33の下端には、ばね35によって上昇方向 に付勢された上記押え部材33が上記保持孔34 ら抜け出るのを阻止する鍔36が設けられてい る。

 上記押え部材33がばね35によって上昇方向 に付勢された状態において、押え部材33の上 面33aは上記カッタ27の歯部27aの先端と同等 いはわずかに上方に位置している。この実 の形態ではわずかに高い位置に設定されて る。

 上記切断装置23の上方には、上記粘着テ プ2を挟んで保持部材としての保持ブロック3 8が配設されている。上記粘着テープ2の上面 貼着された離型テープ8は上面を上記保持ブ ロック38の下面に接触させながら送られるよ になっている。

 離型テープ8が保持ブロック38の下面に接 した状態で、上記シリンダ25が作動して駆 部材26が上昇方向に駆動されると、粘着テー プ2が上記押え部材33の上端面33aによって上記 保持ブロック38の下面に押圧保持される。

 さらに、駆動部材26が上昇方向に駆動さ ると、押え部材33はばね35を圧縮変形させて 対的に下方へ変位する。ついで、上記駆動 材26に設けられたカッタ27の歯部27aの先端が 粘着テープ2を切断する。そして、駆動部材26 が上昇限まで駆動されると、上記カッタ27は 着テープ2を切断するとともに、離型テープ 8の厚さ方向の約半分を切断するハーフカッ の位置まで上昇する。

 上記駆動部材26が上昇限まで駆動された 、下降方向に駆動されると、カッタ27は駆動 部材26とともに下降するが、押え部材33はば 35の復元力によって上端面33aが粘着テープ2 押圧し続ける。

 上記カッタ27がさらに下降すると、粘着 ープ2がカッタ27に一体形成された貼着部28の 平坦面28aに貼着しているため、図5に示すよ に粘着テープ2のカッタ27によって切断され 部分の搬送方向の上流側に位置する端部が 記離型テープ8から剥離される。

 そのとき、粘着テープ2のカッタ27によっ 切断される部分の上流側の部分は押え部材3 3によって弾性的に保持されているから、上 粘着テープ2の切断された端部が上記離型テ プ8から確実に剥離されることになる。

 つぎに、上記構成の貼着装置によって基板W の側辺部に粘着テープ2を貼着する場合につ て説明する。 
 まず、上記切断装置23によって上記粘着テ プ2は所定の長さに切断される。つまり、粘 テープ2が送り装置20によって送られて位置 めされると、シリンダ25が作動して駆動部 26を上昇方向に駆動する。

 上記カッタ27が上昇限まで駆動されると このカッタ27によって粘着テープ2が切断さ るとともに、離型テープ8がハーフカットさ る。それと同時に、粘着テープ2のカッタ27 よって切断される部分の近くは押え部材33 上端面33aによって押圧保持される。

 上記カッタ27が上昇限まで駆動されて粘 テープ2を切断し終わると、下降方向に駆動 れる。上記カッタ27には貼着部28が形成され 、この貼着部28の平坦面28aには上記粘着テー 2の上記カッタ27によって切断される箇所の り方向の上流側の端部が貼着される。

 そのため、粘着テープ2を切断後、カッタ 27が下降方向に駆動されると、図5に示すよう に上記粘着テープ2の切断された部分の搬送 向上流側の端部が上記貼着部28によって下方 へ引張られて上記離型テープ8から剥離され 。

 それによって、粘着テープ2のカッタ27に る切断箇所の搬送方向上流側の端部は、離 テープ8のハーフカット部に残留する上記粘 着テープ2の残留部分2aから確実に分離される ことになる。

 このようにして、粘着テープ2を上記切断 装置23によって所定の長さに切断したならば その切断された部分が基板Wの端子部1に対 するよう送り装置20によって上記粘着テープ 2を離型テープ8とともに搬送位置決めする。

 粘着テープ2が位置決めされると、加圧ツ ール13が下降方向に駆動されて上記粘着テー 2の所定長さに切断された部分が基板Wの一 部の上面の端子部1に加圧されて貼着される 粘着テープ2を貼着して加圧ツール13が上昇 ると、一対の離型ローラ10a,10bが駆動機構16 よって-X方向に駆動されて離型テープ8を粘 テープ2から剥離する。

 そのとき、離型テープ8の剥離が開始され る粘着テープ2の端部、つまり粘着テープ2の ッタ27によって切断された箇所の搬送方向 流側に位置する端部は、上述したように離 テープ8のハーフカット部に残留する残留部 2aと確実に分離されている。

 そのため、離型テープ8を離型ローラ10a,10 bによって剥離し始めたとき、粘着テープ2の 部がハーフカット部に残留する残留部分2a 介して離型テープ8に引張られるということ ないから、上記粘着テープ2の端部を基板W ら捲れ上がらせることなく、上記離型テー 8を上記粘着テープ2から剥離することができ る。

 上記離型ローラ10a,10bは離型テープ8の幅 向に対して角度βで傾斜して設けられている 。そのため、離型ローラ10a,10bが駆動機構16に よって-X方向に駆動されて離型テープ8を粘着 テープ2から剥離するとき、離型テープ8は粘 テープ2の送り方向の上流側に位置する幅方 向の一端E1から徐々に剥離されることになる

 それによって、離型テープ8を粘着テープ 2から剥離するとき、離型テープ8が粘着テー 2を引張る力が低減されるから、仮に離型テ ープ8のハーフカット部に残留する残留部分2a と粘着テープ2が確実に分断されていないこ があっても、基板Wに貼着された粘着テープ2 を基板Wから捲れ上がらせることなく、上記 型テープ8を上記粘着テープ2から剥離するこ とができる。

 また、離型テープ8を粘着テープ2から剥 するときに、幅方向の一端E1から徐々に剥離 されることになるから、幅方向全体を同時に 剥離する場合に比べて粘着テープ2の単位面 当たりに加わるに引張り力が増大する。

 そのため、一対の離型ローラ10a,10bの駆動 にともない粘着テープ2の離型テープ8に残留 た残留部分2aが確実に切断されるから、そ ことによっても粘着テープ2が基板Wから捲く れ上がるのが防止される。

 図7A,図7B,図7Cはこの発明の第2の実施の形 を示す。この実施の形態は切断装置を構成 るカッタ27が粘着テープ2の幅方向に対して 度θで傾斜して配置されている。上記カッ 27は第1の実施の形態と同様、シリンダ25によ って上下方向に駆動される。

 図7Bに切断線Sで示すように、上記カッタ2 7によって粘着テープ2を斜めに切断すると、 着テープ2を基板Wに貼着して離型テープ8を 型ローラ10a,10bによって剥離する際、粘着テ ープ2の搬送方向上流側に位置する先端面は 度θで傾斜している。

 そのため、離型テープ8のハーフカット部 に残留する粘着テープ2の残留部分2aと、離型 テープ8の剥離が開始される粘着テープ2の傾 した先端との接続は、カッタ27が粘着テー 2の幅方向に対して直交している場合に比べ 非常にわずかで、接続強度も低いから、粘 テープ2の端部を基板Wから捲れ上がらせる となく、離型テープ8を剥離することができ 。

 なお、上記第1の実施の形態に示されたカ ッタ27を、第2の実施の形態のカッタ27のよう 粘着テープ2の幅方向に対して角度θで傾斜 て配置してもよい。

 図8A,図8B,図8Cはこの発明の第3の実施の形 を示す。この実施の形態は切断装置を構成 るカッタ127の断面形状の変形例である。図8 Aに示すように、このカッタ127は粘着テープ2 搬送方向上流側に位置する一側面が垂直面1 27aに形成され、下流側に位置する他側面が傾 斜面127bに形成されていて、上端面は平坦面12 7cとなっている。

 そして、上記カッタ127は第1の実施の形態 と同様、駆動手段としてのシリンダ25によっ 図8Aに矢印で示す上下方向に駆動されるよ になっている。なお、カッタ127の垂直面127a 粘着テープ2が貼着し易い粗面に形成されて いる。

 上記構成のカッタ127によって粘着テープ2 を切断すると、粘着テープ2の切断される部 は上記カッタ127の平坦面127cによって分断さ る。しかも、上記カッタ127の粘着テープ2の 搬送方向上流側に位置する一側面は垂直面127 aで、下流側に位置する他側面は傾斜面127bで る。

 そのため、上記カッタ127によって切断さ た粘着テープ2の、離型テープ8のハーフカ ト部に残留する残留部分2aは、図8Bに示すよ に上記カッタ127の垂直面127aによって上記粘 着テープ2の上流側の端部と分断された状態 なる。

 そして、離型テープ8をハーフカットして 粘着テープ2を切断し終わったならば、カッ 127を図8Cに矢印で示すように下降方向に駆動 すると、上記カッタ127の上昇時に垂直面127a よって切断された粘着テープ2の上流側の端 が、粗面に形成された上記垂直面127aに摺接 或いは貼着して下方へ押し下げられるから、 粘着テープ2の切断箇所の上流側の端部が離 テープ8から剥離される。

 それによって、粘着テープ2の切断箇所の 上流側の端部がハーフカット部に残留する残 留部分2aと連続していたとしても、その残留 分2aから確実に分断されるから、所定長さ 切断された粘着テープ2を基板Wに貼着後、離 型テープ8を剥離するとき、上記粘着テープ2 端部が離型テープ8によって捲られるのが防 止される。

 図9A,図9B,図9Cはこの発明の第4の実施の形 を示す。この実施の形態の切断装置を構成 るカッタ27の断面形状は第1、第2の実施の形 態と同様、楔形であるが、カッタ27を駆動す 駆動手段が第1、第2の実施の形態と異なる

 すなわち、上記駆動手段は上記カッタ27 図9Aに矢印Xで示す粘着テープ2の長手方向に う水平方向(X方向)及び矢印Zで示す上下方向 であるZ方向に駆動するX・Z駆動源41である。 のX・Z駆動源41は、上記カッタ27を図9BにS1で 示す下降した初期位置からS2で示す+Z方向の 昇位置に駆動して離型テープ8をハーフカッ する状態で粘着テープ2を切断する。

 ついで、S3で示す-X方向、つまり粘着テー プ2の送り方向の上流側に向かってわずかに 動した後、S4で示す-Z方向である下降方向に 動してから、S1で示す+X方向に駆動して初期 位置に戻すようになっている。

 このように、上記カッタ27が粘着テープ2 切断した後、-X方向に駆動されると、粘着 ープ2の切断箇所の上流側に位置する端部が 記カッタ27の側面によって-X方向に押圧され る。ついで、カッタ27は-Zで示す方向に下降 る。

 カッタ27が-Z方向に下降すると、上記粘着 テープ2の切断箇所の上流側の端部は、図9Cに 示すようにカッタ27との接触抵抗によって離 テープ8から剥離されるから、離型テープ8 ハーフカット部に残留する粘着テープ2の残 部分2aに対して確実に分離される。

 したがって、所定長さに切断された粘着 ープ2を基板Wに貼着した後、その粘着テー 2から離型テープ8を剥離する際、剥離端とな る上記粘着テープ2の切断時における上流側 端部が離型テープ8のハーフカット部に残留 る残留部分2aによって捲られることなく、 型テープ8を粘着テープ2から剥離することが できる。

 上記各実施の形態においては、粘着テー 2を所定の長さで切断する際、図10Aに示すよ うに粘着テープ2を狭い間隔で2箇所に切断線S を形成し、一対の切断線Sの間の部分を図10B 示すように除去し、所定寸法で切断された 着テープ2間に中抜き部42を形成するように てもよい。

 このような場合であっても、上述した第1 乃至第4の実施の形態のようにして離型テー 8のハーフカット部に残留する粘着テープ2の 残留部分2aを、粘着テープ2の搬送方向下流側 に位置する端部と分離することで、離型テー プ8の剥離を確実に行うことが可能となる。

 上述した第2乃至第4の実施の形態におい も、第1の実施の形態と同様、粘着テープ2を 基板Wに貼着した後、離型テープ8を剥離する 、一対の離型ローラ10a,10bが離型テープ8の 方向に対して角度βで傾斜していることによ って、基板Wに貼着された粘着テープ2を基板W から捲れ上がらせることなく、離型テープ8 剥離することが可能となる。

 第1の実施の形態では第1、第2の離型ロー 10a,10bの軸線Oを上記離型テープ8の幅方向に 行な直線Lに対して図6にβで示す所定の角度 で傾斜して配置したが、図11Aに示すように一 対の離型ローラ10a,10bを、これらの軸線が離 テープ8の幅方向に沿う直線と平行になるよ 配置する。つまり、第1、第2の離型ローラ10 a,10bの軸線Oを基板Wが載置されたステージ5のY 方向(図11Aに示す)に沿う移動方向と平行にな よう配置する。

 そして、粘着テープ2を加圧ツール13によ て基板Wに貼着した後、離型テープ8の剥離 開始する前に、図11Bに示すようにステージ5 基板Wとともにθ駆動源6cによって水平方向 角度βで回転させる。

 それによって、粘着テープ2に貼着された 離型テープ8は一対の離型ローラ10a,10bの軸線O に対して基板Wとともに角度βで傾斜する。し たがって、その状態で離型ローラ10a,10bを駆 機構16によって図1に示す-X方向に駆動すれば 、離型テープ8は基板Wに貼着された粘着テー 2の幅方向一端から他端に向かって徐々に剥 離されるから、粘着テープ2を基板Wから捲れ がらせることなく、離型テープ8を剥離する ことができる。

 つまり、離型ローラ10a,10b或いは離型テー プ8のいずれかを傾斜させる、つまり離型ロ ラ10a,10bと離型テープ8を相対的に角度βで傾 させ、その状態で粘着テープ2から離型テー プ8を剥離すれば、粘着テープ2の幅方向の一 から他端に向かって徐々に剥離することが きるから、剥離時に離型テープ8が粘着テー プ2に加える引張力が低減し、粘着テープ2の くれ上りを防止することが可能となる。

 また、離型テープ8を粘着テープ2から剥 するときに、幅方向の一端から徐々に剥離 れることになるから、幅方向全体を同時に 離する場合に比べて粘着テープ2の単位面積 たりに加わるに引張り力が増大する。

 そのため、一対の離型ローラ10a,10bの駆動 にともない粘着テープ2の離型テープ8に残留 た残留部分2aが確実に切断されるから、そ ことによっても粘着テープ2が基板Wから捲く れ上がるのが防止される。

 離型ローラ10a,10bと離型テープ8を相対的 角度βで傾斜させておけば、粘着テープ2を 断する切断装置を構成するカッタは第1乃至 4の実施の形態に示された構造以外のもので あっても差し支えない。つまり、切断装置に よって粘着テープ2を切断したときに、粘着 ープ2と離型テープ8に残留する粘着テープ2 残留部分2aが確実に分断されていなくとも、 粘着テープ2を基板Wから捲れあがらせること く、離型テープ8を剥離することが可能であ る。

 また、離型ローラ10a,10bと離型テープ6の 方を逆方向に傾けることで、これら両者を 対的に傾斜させるようにしてもよい。

 また、粘着テープ2を切断するとき、離型 テープ6をハーフカットするようにした例を げて説明したが、離型テープ6をハーフカッ しない場合であっても、粘着テープを切断 るとき粘着テープがカッタによって強く押 されてその一部が離型テープ6に付着残留す るから、そのような場合であってもこの発明 を適用することで、基板に貼着された粘着テ ープ2が捲くれ上ることなく、離型テープ6を 離することが可能となる。

 この発明によれば、粘着テープをカッタ よって切断したならば、粘着テープの切断 所の近傍を離型テープから剥離するように たから、粘着テープの端部が捲れる上がる となく、離型テープを剥離することが可能 なる。

 また、基板に貼着された粘着テープから 型テープを剥離するとき、離型ローラの軸 を離型テープの幅方向に対して相対的に傾 させて剥離するため、離型テープは切断さ た粘着テープの幅方向の一端から徐々に剥 される。そのため、離型テープを粘着テー から剥離するときの粘着抵抗が低減される ら、粘着テープの端部が捲れる上がること く、離型テープを剥離することが可能とな 。