GEGENSTAND DER ERFINDUNG

Die Erfindung betrifft einen beschichteten Schneideinsatz aus einem Hartmetall-, Cermet-, oder Keramik-Substratkörper und einer darauf mittels CVD-Verfahren aufgebrachten mehrlagigen Be- schichtung, welche ausgehend von der Substratoberfläche eine oder mehrere Hartstofflagen, über den Hartstofflagen eine alpha-Aluminiumoxid (α-ΑΙ ₂ 0 ₃ ) - Lage und optional wenigstens ab- schnittsweise über der a-AI ₂ 0 ₃ -Lage eine oder mehrere weitere Hartstofflagen als Dekor- oder Verschleißerkennungslagen aufweist.

HINTERGRUND DER ERFINDUNG

Schneideinsätze für die Werkstoffbearbeitung, insbesondere für die zerspanende Metallbearbeitung, bestehen aus einem Hartmetall-, Cermet-, oder Keramiksubstratkörper, der in den meisten Fällen zur Verbesserung der Schneid- und/oder Verschleißeigenschaften mit einer ein- oder mehrlagigen Oberflächenbeschichtung versehen ist. Die Oberflächenbeschichtungen bestehen aus übereinander angeordneten Hartstofflagen aus Carbiden, Nitriden, Oxiden, Carbonitriden, Oxinitriden, Oxicarbiden, Oxicarbonitriden, Boriden, Boronitriden, Borocarbiden, Borocarbonitri- den, Borooxinitriden, Borooxocarbiden oder Borooxocarbonitriden der Elemente der Gruppen IVa bis Vlla des Periodensystems und/oder des Aluminiums, gemischtmetallischen Phasen sowie Phasengemischen der vorgenannten Verbindungen. Beispiele für die vorgenannten Verbindun- gen sind TiN, TiC, TiCN und AI2O ₃ . Ein Beispiel für eine gemischtmetallische Phase, bei der in einem Kristall ein Metall teilweise durch ein anderes ersetzt ist, ist TiAIN. Beschichtungen der vorgenannten Art werden durch CVD-Verfahren (chemische Dampfphasenabscheidung), PCVD- Verfahren (Plasma-unterstützte CVD-Verfahren) oder durch PVD-Verfahren (physikalische Dampfphasenabscheidung) aufgebracht. In nahezu jedem Material herrschen Eigenspannungen infolge von mechanischer, thermischer und/oder chemischer Behandlung. Bei der Herstellung von Schneideinsätzen durch Beschichten eines Substratkörpers mittels CVD-Verfahren resultieren Eigenspannungen beispielsweise zwischen der Beschichtung und dem Substrat und zwischen den einzelnen Lagen der Beschichtung aus den unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten der Materialien. Die Eigenspannungen können Zugeigenspannungen oder Druckeigenspannungen sein. Beim Aufbringen einer Beschichtung mittels PVD-Verfahren werden zusätzliche Spannungen durch den lonenbeschuss bei diesem Verfahren in die Beschichtung eingebracht. In mittels PVD-Verfahren aufgebrachten Be- schichtungen herrschen in der Regel Druckeigenspannungen vor, wogegen CVD-Verfahren übli- cherweise Zugeigenspannungen in der Beschichtung erzeugen.

Die Wirkung der Eigenspannungen in der Beschichtung und im Substratkörper können ohne erheblichen Einfluss auf die Eigenschaften des Schneideinsatzes sein, sie können aber auch erhebliche vorteilhafte oder nachteilige Auswirkungen auf die Verschleißbeständigkeit des Schneideinsatzes haben. Zugeigenspannungen, welche die Dehngrenze des jeweiligen Materials übersteigen, verursachen Brüche und Risse in der Beschichtung senkrecht zur Richtung der Zugeigenspannung. Im Allgemeinen ist ein gewisses Maß an Druckeigenspannung in der Beschichtung erwünscht, da dadurch Oberflächenrisse verhindert oder geschlossen und die Ermüdungseigenschaften der Beschichtung und damit des Schneideinsatzes verbessert werden. Zu hohe Druckeigenspannungen können jedoch zu Haftungsproblemen und Abplatzen der Beschichtung führen.

Es gibt 3 Arten von Eigenspannungen: Makrospannungen, die über makroskopische Bereiche des Materials nahezu homogen verteilt sind, Mikrospannungen, die in mikroskopischen Berei- chen, wie beispielsweise einem Korn, homogen sind, und inhomogene Mikrospannungen, die auch auf einer mikroskopischen Ebene inhomogen sind. Aus praktischer Sicht und für die mechanischen Eigenschaften eines Schneideinsatzes sind die Makrospannungen von besonderer Bedeutung. Eigenspannungen werden üblicherweise in der Einheit Megapascal (MPa) angegeben, wobei Zugeigenspannungen ein positives Vorzeichen (+) und Druckeigenspannungen ein negatives Vorzeichen (-) aufweisen.

Es ist bekannt, dass Hartmetallschneidwerkzeuge, die mit Hartstoffschichten wie beispielsweise TiN, TiC, TiCN, TiAIN, AI2O ₃ oder Kombinationen davon beschichtet sind, hervorragende Verschleißbeständigkeit aufweisen können, jedoch können sie bei thermomechanischer Wechselbe- anspruchung in unterbrochenen Schneidoperationen, wie sie beispielsweise beim Kurbelwellenfräsen auftritt, aufgrund eines Verlustes an Zähigkeit gegenüber unbeschichteten Schneidwerkzeugen oder solchen, die mittels PVD-Verfahren beschichtet sind, eher ausfallen. Ähnliches gilt für die Drehbearbeitung im unterbrochenen Schnitt oder unter ungünstigen Schnittbedingungen (z. B. durch Maschine oder Werkstück-Spannung bedingte Vibrationen). Für solche Anwendungen unter ungünstigen Bedingungen werden bisher CVD-Beschichtungen mit begrenzter Schichtdicke (selten mehr als 10 μιη) eingesetzt, da die unter anderem durch Zugspannungen bedingte Versprödung des Schneidstoffs mit der Dicke der CVD-Beschichtung zunimmt. Hoch verschleißfeste Schneidstoffsorten haben dagegen häufig Schichtdicken von 20 μιη oder mehr, können aber nur im kontinuierlichen Schnitt unter günstigen Bedingungen eingesetzt werden. Bei Schneideinsätzen zur Drehbearbeitung von Stahl oder Guss sind also sowohl eine hohe Verschleißfestigkeit als auch eine hohe Zähigkeit erwünscht, zwei Eigenschaften, die häufig nicht gleichzeitig erzielt werden können. Die DE-A-197 19 195 beschreibt einen Schneideinsatz mit einer mehrlagigen Beschichtung, die in einem kontinuierlichen CVD-Verfahren bei Temperaturen zwischen 900°C und 1 100°C abgeschieden wird. Der Wechsel des Materials in der mehrlagigen Beschichtung von einer zur nächsten Lage erfolgt durch eine Veränderung der Gaszusammensetzung in dem CVD-Verfahren. Die äußerste Schicht (Deckschicht) besteht aus einer ein- oder mehrphasigen Schicht aus Carbiden, Nitriden oder Carbonitriden von Zr oder Hf, in der innere Druckeigenspannungen vorherrschen. Die darunter liegenden Schichten bestehen aus TiN, TiC oder TiCN und weisen ausnahmslos innere Zugeigenspannungen auf. Die in der äußeren Schicht gemessene Druckeigenspannung liegt zwischen -500 und -2.500 MPa. Hierdurch soll die Bruchzähigkeit verbessert werden. Zur Erhöhung der Druckeigenspannungen in der Beschichtung des Substratkörpers von Schneideinsätzen oder anderen Werkzeugen ist es bekannt, diese einer mechanischen Oberflächenbehandlung zu unterziehen. Bekannte mechanische Behandlungsverfahren sind das Bürsten und die Strahlbehandlung. Bei der Strahlbehandlung wird ein feinkörniges Strahlmittel mit Korngrößen bis etwa 600 μιη mittels Pressluft unter erhöhtem Druck auf die Oberfläche der Be- Schichtung gerichtet. Eine solche Oberflächenbehandlung kann in der äußersten Schicht sowie auch den darunter liegenden Schichten Zugeigenspannungen vermindern oder Druckeigenspannungen erhöhen. Bei der Strahlbehandlung unterscheidet man zwischen Trockenstrahlbehandlung, bei der das feinkörnige Strahlmittel in trockenem Zustand eingesetzt wird, und Nassstrahlbehandlung, bei der das körnige Strahlmittel in einer Flüssigkeit suspendiert vorliegt. Es wurde festgestellt, dass die Auswahl des Strahlmittels einen erheblichen Einfluss auf die Veränderungen der Eigenspannungen in der Beschichtung und in dem Substrat des Schneideinsatzes hat, insbesondere die Härte des Strahlmittels im Verhältnis zur Härte und Dicke der Beschichtung. Es konnte gezeigt werden, dass bei Verwendung eines Strahlmittels, dessen Härte größer als die Härte der äußersten Schicht der Beschichtung ist, der Verschleißmechanismus beim Strahlen Abrasion ist und hohe Druckspannungen nur an den nahen Oberflächenbereichen der Schicht bis ca. 1 μιη Eindringtiefe entstehen, die sehr schnell wieder relaxieren. In tiefer liegenden Schichten oder im Substrat findet im Wesentlichen keine Erniedrigung der Zugspannungen oder Erhöhung der Druckspannungen statt. Die nach dem Beschichtungsprozeß vorherr- sehende Eigenspannung im Substrat bleibt unverändert. Eine Erhöhung der Zähigkeit des Werkzeugs kann nicht erreicht werden.

Ist die Härte des Strahlmittels gleich der Härte der äußersten Schicht der Beschichtung, so ist der Verschleißmechanismus beim Strahlen Oberflächenzerrüttung und es entstehen hohe Druck- Spannungen die sich bis in tiefere Schichtlagen und abhängig von der Schichtdicke auch bis ins Substrat auswirken können. Bei dicken Schichten (>>10 μιη) kann beim Nassstrahlen die Spannung im Substrat nur wenig verändert und die Zugfähigkeit erhöht werden. Will man trotzdem die Druckspannung im Substrat auch bei dicken Schichten erhöhen, so muss man sehr lange Trockenstrahlen, was zu einer Erhöhung der Störungen im Gitter führt und Haftungsprobleme der Beschichtung verursachen kann.

Ist die Härte des Strahlmittels kleiner als die Härte der äußersten Schicht der Beschichtung, wird als Verschleißmechanismus dieser äußersten Schicht ebenfalls im Wesentlichen Oberflächenzerrüttung (shot peening) angenommen. Die Verschleißrate an der äußersten Beschichtung ist ge- ringer, so dass längere Strahlzeiten ohne nennenswerten Abtrag der Schicht möglich sind. Ein weiterer Vorteil ist, dass dabei keine oder nur geringe Störungsgrade in die obersten Lagen der Beschichtung eingebaut werden. Je nach Wahl der Verfahrensparameter (unter anderem Strahlmittel, -druck, -dauer und -Winkel) und Schichtdicke können Eigenspannungs-Änderungen in unterschiedlichen Tiefen des Verbundes aus Hartmetall und Beschichtung erreicht werden. D.h. als Ergebnis der Strahlbehandlung können Druckspannungen in unterschiedlichen Lagen der Beschichtung oder auch im Substrat vorliegen.

Die DE-A-101 23 554 beschreibt ein Strahlverfahren unter Verwendung eines körnigen Strahlmittels mit maximalem Durchmesser von 150 μιη. Dadurch wird in der äußersten Schicht und den darunter liegenden, vorzugsweise bis in den oberflächennahen Bereich des Substrats hinein, eine Absenkung von Zugeigenspannungen oder Erhöhung von Druckspannungen erreicht. In der obersten Schicht werden vorzugsweise Druckspannungen von einigen GPa erreicht.

Schneideinsätze mit einer äußeren Verschleißschutzschicht aus Alpha- oder Gamma- Aluminiumoxid für die Metallbearbeitung sind seit vielen Jahren im Einsatz und werden in der Literatur ausführlich beschrieben. Es hat sich gezeigt, dass Alpha-Aluminiumoxid- Beschichtungen mit bestimmten Vorzugsorientierungen des Kristallwachstums bei der Abschei- dung im PVD- oder CVD-Verfahren besondere Vorteile, insbesondere verbessertes Verschleißverhalten, haben können, wobei für unterschiedliche Anwendungen des Schneideinsatzes auch unterschiedliche Vorzugsorientierungen der Aluminiumoxidschicht besonders vorteilhaft sein können. Die Vorzugsorientierung des Wachstums wird in der Regel in Bezug auf die über die Miller-Indizes definierten Ebenen, z. B. die (001 )-Ebene, des Kristallgitters angegeben und als Textur oder Fasertextur bezeichnet und über einen sog. Texturkoeffizienten (TC) definiert. Beispielsweise sollen Schneideinsätze mit einer Verschleißschicht aus Alpha-Aluminiumoxid mit (OOI )-Textur gegenüber anderen Vorzugsorientierungen Vorteile bei der Stahlbearbeitung hinsichtlich Freiflächen- und Kolkverschleiß sowie plastischer Verformung haben.

Die US-A-2007/0104945 beschreibt Schneidwerkzeuge mit a-AI ₂ 0 ₃ -Verschleißchichten mit (001 )- Textur und kolumnarer Mikrostruktur. Diese Vorzugsorientierung zeigt sich durch hohe Intensitä- ten des (006)-Peaks im Röntgenbeugungsspektrum (XRD-Diffraktogramm) und wird erreicht, indem sowohl die Keimbildung als auch das Wachstum der a-AI ₂ 0 ₃ -Schicht im CVD-Verfahren unter bestimmten Bedingungen durchgeführt werden. Die Keimbildung erfolgt bei -Ξ 1000°C auf einer TiAICNO-Anbindungsschicht durch ein mehrstufiges Verfahren, bei dem die Substrate nacheinander definierten Gaskonzentrationen von TiCI ₄ und AICI ₃ , Spülschritten unter N ₂ und definierten H ₂ 0-Konzentrationen ausgesetzt werden. Anschließend wird die Keimbildung von a-AI ₂ 0 ₃ durch Wachstum ohne katalytische Zusätze fortgesetzt, und schließlich findet bei 950 bis 1000°C das Schichtwachstum zur gewünschten Schichtdicke unter definiertem Konzentrationsverhältnis von CO/C0 ₂ und in Anwesenheit typischer Katalysatoren, wie H ₂ S, S0 ₂ oder SF ₆ , in Konzentrationen < 1 Vol.-% statt.

Die EP 1 953 258 beschreibt ebenfalls Schneidwerkzeuge mit a-AI ₂ 0 ₃ -Verschleißchichten mit (001 )-Textur auf Hartmetallsubstraten mit einer mit Co-Binder angereicherter Randzone. Die Vorzugsorientierung der a-AI ₂ 0 ₃ -Verschleißchicht wird durch eine Keimbildung analog der US-A- 2007/0104945 erreicht, allerdings wird davon abweichend beim weiteren Wachstum der Schicht das Verhältnis CO/C0 ₂ allmählich erhöht. Die EP-A-2 014 789 beschreibt ebenfalls Schneidwerkzeuge mit a-AI ₂ 0 ₃ -Verschleißchichten mit (OOI )-Textur auf Hartmetallsubstraten mit einer mit Co-Binder angereicherter Randzone, die sich besonders zur Zerspanung von Stahl bei hohen Schnittgeschwindigkeiten, insbesondere zum Stahldrehen, eignen sollen.

AUFGABE DER ERFINDUNG

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindungen bestand in der Bereitstellung von Schneideinsätzen für die spanende Metallbearbeitung, insbesondere die Drehbearbeitung von Stahl- oder Guss- werkstoffen, die eine gegenüber dem Stand der Technik verbesserte Verschleißbeständigkeit aufweisen, insbesondere erhöhte Beständigkeit zugleich gegen Verschleißformen, die bei kontinuierlicher Beanspruchung auftreten, wie Freiflächenverschleiß, Kolkverschleiß und plastische Verformung, als auch gegen Verschleißformen, die bei thermomechanischer Wechselbeanspru- chung auftreten, wie Ausbrüche, Bruch und Kammrisse, und die somit einem breiteren Anwendungsbereich bieten als bekannte Schneideinsätze.

BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG

Gelöst wird diese Aufgabe durch einen Schneideinsatz aus einem Hartmetall-, Cermet-, oder Keramik-Substratkörper und einer darauf mittels CVD-Verfahren aufgebrachten mehrlagigen Be- schichtung mit einer Gesamtschichtdicke von 5 bis 40 μιη, welche ausgehend von der Substratoberfläche eine oder mehrere Hartstofflagen, über den Hartstofflagen eine alpha-Aluminiumoxid (α-ΑΙ ₂ 0 ₃ ) - Lage mit einer Lagendicke von 3 bis 20 μιη und optional wenigstens abschnittsweise über der a-AI ₂ 0 ₃ -Lage eine oder mehrere weitere Hartstofflagen als Dekor- oder Verschleißerkennungslagen aufweist, wobei die a-AI ₂ 0 ₃ -Lage eine kristallographische Vorzugsorientierung aufweist, charakterisiert durch

> 5 für die (0 0 12) Wachstumsrichtung mit

wobei

l(hkl) die durch Röntgenbeugung gemessenen Intensitäten der Beugungsreflexe sind, lo(hkl) die Standardintensitäten der Beugungsreflexe nach pdf-Karte 42-1468 sind,

n die Anzahl der für die Berechnung verwendeten Reflexe ist und für die Berechnung von TC(0 0 12) folgende Reflexe verwendet werden:

(0 1 2), (1 0 4), (1 1 0), (1 1 3), (1 1 6), (3 0 0) und (0 0 12), die a-AI ₂ 0 ₃ -Lage eine Eigenspannung im Bereich von 0 bis +300 MPa aufweist und

das Substrat innerhalb eines Bereichs von 0 bis 10 μιη von der Substratoberfläche ein Ei- genspannungs-Minimum im Bereich von -2000 bis -400 MPa aufweist.

Es wurde überraschenderweise gefunden, dass man bei einem Schneideinsatz mit einer Be- schichtung der hierin beschriebenen Art bei der spanenden Metallbearbeitung, insbesondere bei der Drehbearbeitung von Stahl- oder Gusswerkstoffen, eine gegenüber bekannten Schneideinsätzen verbesserte Verschleißbeständigkeit und einem breiteren Anwendungsbereich erzielen kann, wenn die als Verschleißschicht dienende harte a-AI ₂ 0 ₃ -Lage eine kristallographische Vorzugsorientierung mit einem Texturkoeffizienten TC (0 0 12) > 5 und gleichzeitig eine niedrige Zugeigenspannung im Bereich von 0 bis +300 MPa oder sogar eine Druckeigenspannung auf- weist und gleichzeitig das Substrat in einer Zone, die von der Substratoberfläche bis zu einer Eindringtiefe von 10 μιη reicht und als "nahe Interface-Substrat-Zone" des Substratkörpers bezeichnet wird, eine Druckeigenspannung im Bereich von -2000 bis -400 MPa aufweist.

Die erfindungsgemäße Kombination aus der kristallographischen Vorzugsorientierung der AI2O ₃ - Lage und den definierten Parametern der Eigenspannungen der Al ₂ 0 ₃ -Lage und des Substratkörpers in der nahen Interface-Substrat-Zone liefert Schneideinsätze, sich dadurch auszeichnen, dass sie sowohl eine erhöhte Beständigkeit gegen Verschleißformen, die bei kontinuierlicher Beanspruchung auftreten, wie Freiflächenverschleiß, Kolkverschleiß und plastische Verformung, als auch gegen Verschleißformen, die bei thermomechanischer Wechselbeanspruchung auftreten, wie Ausbrüche, Bruch und Kammrisse. Demgegenüber sind bekannte Schneideinsätze in der Regel für eine bestimmte Beanspruchungsart ausgelegt und optimiert und besitzen daher häufig einen begrenzten und sehr spezifischen Anwendungsbereich. Der erfindungsgemäße Schneideinsatz besitzt hingegen aufgrund seiner erhöhten Beständigkeit gegen verschiedene Verschleißformen, nämlich solchen, die überwiegend bei kontinuierlicher Beanspruchung auftreten, und solchen, die überwiegend bei thermomechanischer Wechselbeanspruchung auftreten, einen breiteren Anwendungsbereich als bekannte Schneideinsätze.

In einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Schneideinsatzes umfasst die Herstellung des Schneideinsatzes, dass man das Substrat nach dem Aufbringen der mehrlagigen Beschichtung einer Trocken- oder Nassstrahlbehandlung, vorzugsweise einer Trockenstrahlbe- handlung, unter Verwendung eines körnigen Strahlmittels unterzieht, wobei das Strahlmittel vorzugsweise eine geringere Härte als Korund (01-AI2O ₃ ) aufweist.

Die erfindungsgemäßen Eigenspannungen in der Al ₂ 0 ₃ -Lage u nd i m Substratkörper des Schneideinsatzes lassen sich mit Vorteil dadurch erzielen, dass man den Schneideinsatz nach dem Aufbringen der mehrlagigen Beschichtung auf das Substrat einer Trocken- oder Nassstrahlbehandlung unter Verwendung eines körnigen, Strahlmittels unterzieht. Dabei sollte das Strahlmittel eine geringere Härte als Korund (01-AI2O ₃ ) aufweisen, insbesondere wenn die mehrlagige Beschichtung eine große Dicke besitzt. Beispielsweise eignen sich als Strahlmittel Partikel aus Stahl, Glas oder Zirkoniumdioxid {Zr0 ₂ ). Die Strahlbehandlung wird zweckmäßigerweise bei einem Strahlmitteldruck von 1 bar bis 1 0 bar durchgeführt. Die Verwendung eines Strahlmittels, das eine geringere Härte als Korund hat, im vorgenannten Druckbereich hat den Vorteil, dass dabei keine oder nur geringe Störungsgrade in die obersten Lagen der Beschichtung eingebaut werden. Die a-AI ₂ 0 ₃ -Lage und die darunter angeordneten Lagen der Beschichtung zeigen nur wenig Veränderung in ihren Eigenspannungen.

Besonders bevorzugt ist die Trockenstrahlbehandlung, da sie einen gleichmäßigeren Eintrag des Strahldrucks in die Beschichtung und den Substratkörper über die gesamte Oberfläche gewährleistet als die Nassstrahlbehandlung. Bei der Nassstrahlbehandlung dämpft die Bildung eines Flüssigkeitsfilms auf der bestrahlten Oberfläche den Eintrag von Eigenspannungen gegenüber der Trockenstrahlbehandlung bei vergleichbaren Strahldruckbedingungen erheblich ab. Dadurch besteht die Gefahr, dass der Eintrag des Strahldrucks an den Kanten des Werkzeugs, d. h. auch an den wichtigen Schneidkanten, erheblich höher ist als auf den glatten Oberflächen, was dazu führen kann, dass die Kanten unter dem Strahldruck beschädigt werden, bevor es überhaupt zu einem wesentlichen oder zumindest ausreichenden Eintrag auf den für Schneidvorgänge wesentlichen Flächen des Werkzeugs, insbesondere der Spanfläche, kommt. Mittels Trockenstrahlbehandlung sind auch höhere Drücke über einen langen Zeitraum möglich, ohne dass das Werkzeug hierdurch beschädigt wird. Die für das Einbringen bzw. Einstellen der erfindungsgemäßen Eigenspannungen in die 01-AI2O ₃ - Lage und den Substratkörper erforderliche Dauer der Strahlbehandlung und der erforderliche Strahldruck sind Parameter, die der Fachmann innerhalb der hierin definierten Grenzen durch einfache Experimente an ungestrahlten Schneideinsätzen ermitteln kann. Eine pauschale Angabe ist hier nicht möglich, da die sich einstellenden Eigenspannungen nicht nur von der Dauer der Strahlbehandlung und dem Strahldruck abhängen, sondern auch von dem Aufbau und der Dicke der Gesamtbeschichtung und auch von der Zusammensetzung und Struktur des Substrats. Aller- dings hat der Strahldruck dabei im Vergleich zur Strahldauer den wesentlich größeren Einfluss auf die Veränderung der Eigenspannungen in der Beschichtung und dem Substratkörper. Die Dauer der Strahlbehandlung darf nicht zu kurz sein, damit die gewünschten Veränderungen der Eigenspannungen bis in den Substratkörper vordringen und sich die erfindungsgemäßen Eigen- spannungswerte einstellen können. Die optimale Dauer der Strahlbehandlung hängt auch von der hierfür verwendeten Anlage, dem Abstand, der Art und der Ausrichtung der Strahldüsen und von der Bewegung der Strahldüsen über dem bestrahlten Werkzeug ab. Für die Herstellung des erfindungsgemäßen Schneideinsatzes geeignete Strahlbehandlungsdauern liegen im Bereich von 10 bis 600 Sekunden, sie können aber auch im Bereich von 15 bis 60 Sekunden liegen. Ins- besondere wenn durch die Strahlbehandlung zunächst eine oder mehrere Lagen über der a-AI ₂ 0 ₃ -Lage abgetragen werden sollen, ist eine längere Strahlbehandlungsdauer zweckmäßig oder erforderlich. Geeignete Strahlmitteldrücke liegen im Bereich von 1 bis 10 bar, vorzugsweise 2 bar bis 8 bar, besonders bevorzugt 3 bar bis 5 bar. Die Erfindung ist jedoch nicht auf die vorgenannten Strahlbehandlungsdauern und Strahlmitteldrücke beschränkt.

Das Strahlmittel kann beispielsweise Stahl, Glas oder Zr0 ₂ sein. Die erfindungsgemässen Eigen- spannungszustände können mit jedem der genannten oder anderen geeigneten Strahlmitteln eingestellt werden. Der Fachmann kann in Kenntnis der Erfindung ein nach Verfahrens- oder anlagentechnischen oder tribologischen Gesichtspunkten günstiges Medium auswählen und durch einfache Versuche geeignete Strahlparameter finden. Vorzugsweise besteht das Strahlmittel aus kugelförmigen Partikeln. Die mittlere Korngröße des Strahlmittels liegt zweckmäßigerweise im Bereich von 20 bis 450 μιη, vorzugsweise 40 bis 200 μιη, besonders bevorzugt 50 bis 100 μιη, sie hat jedoch keinen wesentlichen Einfluss auf die Erzeugung von Druckeigenspannungen in dem Substratkörper. Jedoch beeinflusst die mittlere Korngröße des Strahlmittels die Oberflächen- rauheit der äußersten Schicht der Beschichtung. Eine geringe mittlere Korngröße (feine Körnung) liefert bei der Bestrahlung eine glatte Oberfläche, wogegen eine hohe mittlere Korngröße eine rauhe Oberfläche ergibt. Für die erfindungsgemäße Werkzeuge ist die Erzeugung einer glatten Oberfläche und somit die Verwendung eines Strahlmittels mit geringer mittlerer Korngröße bevorzugt. Die Vi ckers- Härten der vorgenannten Strahlmittel liegen etwa im Bereich von 500 bis 1500. AI2O ₃ (Korund) ist erfindungsgemäß als Strahlmittel in der Regel nicht geeignet.

Der Strahlwinkel, d. h. der Winkel zwischen dem Behandlungsstrahl und der Oberfläche des Werkzeugs, hat ebenfalls einen wesentlichen Einfluss auf den Eintrag von Druckeigenspannungen. Bei einem Strahlwinkel von 90° erfolgt der maximale Eintrag von Druckeigenspannungen. Geringere Strahlwinkel, d. h. schräges Einstrahlen des Strahlmittels, führen zu einer stärkeren Abrasion der Oberfläche und geringerem Druckeigenspannungseintrag. Die stärkste Abrasions- Wirkung wird bei Einstrahlwinkeln von etwa 15° bis 40° erzielt. Bei geringeren Strahlwinkeln kann es erforderlich sein, einen höheren Strahldruck und/oder eine längere Strahldauer zu wählen, um einen Eintrag von Druckeigenspannungen zu erzielen, der dem Eintrag bei einem Strahlwinkel von 90° entspricht, bei dem auch die hierin beschriebenen Beispiele durchgeführt wurden. In Kenntnis der Erfindung kann der Fachmann jedoch diese bei geringeren Strahlwinkeln anzuwendenden Parameter leicht ermitteln.

Der Begriff "oberflächennaher Bereich" des Substratkörpers bezeichnet einen Bereich von der äußersten Oberfläche des Substratkörpers bis zu einer Eindringtiefe von maximal 1 bis 2 μιτι in Richtung des Inneren des Substratkörpers. Die zerstörungsfreie und phasenselektive Analyse von Eigenspannungen erfolgt mittels Röntgendiffraktionsverfahren. Die weitverbreitet angewendete winkeldispersive Messung nach dem sin ² ijj-Verfahren liefert einen Mittelwert für den Eigen- spannungsanteil in einer Ebene und erlaubt in WC-Substraten Eigenspannungsmessungen nur bis zu sehr geringen Eindringtiefen von maximal 1 bis 2 μιτι von der Oberfläche aus, d. h. nur im "oberflächennahen Bereich" des Substratkörpers.

Der Begriff "nahe Interface-Substrat-Zone" des Substratkörpers bezeichnet einen Bereich von der äußersten Oberfläche des Substratkörpers bis zu einer Eindringtiefe von etwa 10 μιη in Richtung des Inneren des Substratkörpers. Analysen des Eigenspannungsverlaufs in der "nahen Interface- Substrat-Zone" waren mit der bisher angewendeten Methode der winkeldispersiven Messung mit konventionellen Laborquellen nicht möglich. Zum einen ist die Eindringtiefe der winkeldispersiven Messung wie oben erwähnt auf eine nur sehr geringe Distanz von der äußersten Oberfläche des Substratkörpers begrenzt. Darüber hinaus liefert die winkeldispersive Messung nach dem sin ² ijj- Verfahren nur einen Mittelwert in einer Ebene, weshalb sich mit dieser Methode stufenweise Ver- änderungen oder Gradientenverläufe der Eigenspannungen innerhalb kurzer Distanzen mit dieser Methode nicht messen lassen. Für die Analyse der Eigenspannungen in der "nahen Interface- Substrat-Zone" des Substratkörpers bis zu einer Eindringtiefe von etwa 10 μιη wurde daher für die gattungsgemäßen Schneideinsätze eine energiedispersive Messung angewendet, die die Analyse von Eigenspannungsverläufen bis zu einer Eindringtiefe von etwa 10 μιη unter Erfas- sung der Veränderung der Eigenspannungen innerhalb dieses Bereichs erlaubt.

Die Beschichtung des erfindungsgemäßen Schneideinsatzes besteht aus einer Abfolge verschiedener Einzellagen. Diese unterschiedlichen Lagen besitzen bereits vor der Strahlbehandlung aufgrund ihrer unterschiedlichen Zusammensetzungen, Herstellungsbedingungen und Positionen innerhalb der Beschichtung in der Regel auch unterschiedliche Eigenspannungen, d. h. Zugoder Druckspannungen unterschiedlicher Größen. Durch die Strahlbehandlung verändern sich die Eigenspannungen in den einzelnen Lagen wiederum aufgrund ihrer unterschiedlichen Zusammensetzungen, Herstellungsbedingungen und Positionen innerhalb der Beschichtung unterschiedlich stark. Entsprechendes gilt auch für das Substrat, wo die Eigenspannungen und Veränderungen der Eigenspannungen in unterschiedlichen Tiefen von der Oberfläche aus auch un- terschiedlich groß sein können. Die Messung der Eigenspannungen ist erfindungsgemäß auf einen Bereich von der Substratoberfläche bis zu einer Eindringtiefe von 10 μιη begrenzt. In WC- Substraten ist eine Messung der Eigenspannungen in viel größeren Tiefen technisch nicht möglich. In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung bestehen die über der Substratoberfläche und unter der a-AI ₂ 0 ₃ -Lage angeordneten Hartstofflagen und die optional über der a-AI ₂ 0 ₃ -Lage wenigstens abschnittsweise angeordneten Hartstofflagen aus Carbiden, Nitriden, Oxiden, Carbo- nitriden, Oxinitriden, Oxicarbiden, Oxicarbonitriden, Boriden, Boronitriden, Borocarbiden, Boro- carbonitriden, Borooxinitriden, Borooxocarbiden, Borooxocarbonitriden der Elemente der Grup- pen IVa bis VI la des Periodensystems und/oder des Aluminiums und/oder gemischtmetallischen Phasen und/oder Phasengemischen der vorgenannten Verbindungen.

In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung bestehen die über der Substratoberfläche und unter der a-AI ₂ 0 ₃ -Lage angeordneten Hartstofflagen aus TiN, TiCN und/oder TiAICNO bestehen, wobei die Hartstofflagen jeweils Schichtdicken im Bereich von 0,1 μιη bis 15 μιη aufweisen.

Insbesondere die Lage aus TiAICNO eignet sich als Anbindungslage unmittelbar unter der a-AI ₂ 0 ₃ -Lage. Wenn unmittelbar unter der a-AI ₂ 0 ₃ -Lage eine Hartstofflage aus TiAICNO ange- ordnet ist, weist diese vorzugsweise eine Schichtdicke im Bereich von 0,1 μιη bis 1 μιη auf. Die TiAICNO-Lage verbessert die Haftung der a-AI ₂ 0 ₃ -Lage und fördert das Wachstum des Aluminiumoxids in der Alpha-Modifikation und mit der erfindungsgemäßen Vorzugsorientierung. Aufgrund ihrer Zusammensetzung und Mikrostruktur liefert sie eine hervorragende Anbindung an die TiCN-Schicht. Eine gute Anbindung der Schichten untereinander ist wichtig, um hohe Drücke bei der Strahlbehandlung anwenden zu können, ohne dass die Schichten abplatzen.

Hartstofflagen aus TiN oder TiCN, wenn eine oder mehrere davon vorhanden sind, weisen vorzugsweise Schichtdicken im Bereich von 2 μιτι bis 15 μιη, besonders bevorzugt im Bereich von 3 μιη bis 10 μιη auf. Vorzugsweise ist unter der Anbindungslage aus TiAICNO und unter der a-AI ₂ 0 ₃ -Lage eine TiCN- Lage angeordnet,, die zweckmäßigerweise die vorgenannte Schichtdicke im Bereich von 2 μιτι bis 15 μιη, vorzugsweise im Bereich von 3 μιη bis 10 μιη aufweist. Die TiCN-Schicht wird vorzugsweise im Hochtemperatur-CVD-Verfahren (HT-CVD) oder im Medium-Temperatur-CVD- Verfahren (MT-CVD) aufgebracht, wobei das MT-CVD-Verfahren für die Herstellung von Zerspanwerkzeugen bevorzugt ist, da es kolumnare Schichtstrukturen liefert und aufgrund der niedrigeren Abscheidungstemeperatur Zähigkeitsverluste im Substrat vermindert.

In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung weisen die über der Substratober- fläche und unter der a-AI ₂ 0 ₃ -Lage angeordneten Hartstofflagen Lagen aus TiN, TiCN und/oder TiAICNO zusammen eine Gesamtschichtdicke im Bereich von 3 μιη bis 16 μιη, vorzugsweise im Bereich von 5 μιη bis 12 μιτι, besonders bevorzugt im Bereich von 7 μιτι bis 1 1 μιη auf.

In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung weist die mehrlagige Beschichtung ausgehend von der Substratoberfläche folgende Lagenabfolge auf: TiN - TiCN - TiAICNO - 01-AI2O ₃ , wobei optional wenigstens abschnittsweise über der a-AI ₂ 0 ₃ -Lage eine TiN-Lage, eine TiC-Lage, eine TiCN-Lage oder eine Kombination daraus vorgesehen sind.

Der erfindungsgemäße Schneideinsatz kann wenigstens abschnittsweise über der a-AI ₂ 0 ₃ -Lage eine oder mehrere weitere Hartstofflagen aufweisen, vorzugsweise eine TiN-Lage, eine TiC- Lage, eine TiCN-Lage oder eine Kombination daraus. Solche Lagen werden häufig als Dekor- und/oder Verschleißerkennungslagen auf das schwarz erscheinende 01-AI2O ₃ aufgebracht und besitzen selbst eine gelbgoldene oder grausilberne Farbe und können als Indikator für eine Benutzung des Werkzeugs dienen, da diese Lagen bei der Metallbearbeitung abgetragen werden. Üblicherweise sind solche Dekor- und/oder Verschleißerkennungslagen nicht auf solchen Flächen des Werkzeugs aufgebracht bzw. werden nach der Abscheidung auf dem gesamten Werkzeugkörper von solchen Flächen wieder entfernt, die bei der Metallbearbeitung direkt mit dem Metall in Kontakt treten, z. B. den Spanflächen, da sie je nach Bearbeitungsverfahren und Werkstückmaterial nachteilige Auswirkungen auf die Bearbeitung haben können. Üblicherweise wer- den die Dekor- und/oder Verschleißerkennungslagen von den entsprechenden Flächen durch Strahl- oder Bürstbehandlung abrasiv abgetragen. Eine solche abrasive Entfernung der dünnen oder weichen Dekorschichten kann einen Eintrag von Druckeigenspannungen in die verbleibende a-AI ₂ 0 ₃ -Lage bewirken, allerdings nur in oberflächennahen Bereichen von < 1 μιτι Eindringtiefe, so dass keine signifikante Veränderung des erfindungsgemäßen Eigenspannungszustands der a-AI ₂ 0 ₃ -Schicht entsteht. Aufgrund der geringen Schwächung von Röntgenstrahlung durch a-AI ₂ 0 ₃ ist dieser oberflächennahe Bereich durch röntgenographische Eigenspannungsmessung messtechnisch ohnehin kaum oder nur durch Extrapolation zugänglich. Bei den hier verwendeten Messparametern des sin ² ijj-Verfahrens und Kippwinkeln bis ψ = 89,5° stammt die ermittelte Eigenspannung der a-AI ₂ 0 ₃ -Lage aus einer Informationstiefe von ca. > 1 ,5 μιη. Zur Einstellung des erfindungsgemäßen Eigenspannungszustands im Schneidwerkzeug wird eine Strahlbehandlung mit einem Strahlmittel angewendet, dessen Härte vorzugsweise kleiner als die Härte der a-AI ₂ 0 ₃ -Lage ist. Es wird dann als Verschleißmechanismus, der auf die 01-AI2O ₃ - Lage wirkt, im Wesentlichen Oberflächenzerrüttung (shot peening) angenommen. Es erfolgt kein wesentlicher Abtrag der a-AI ₂ 0 ₃ -Lage und es werden durch diesen Mechanismus und dieses Verfahren hohe Druckeigenspannungen in dem Substratkörper erzeugt, selbst wenn die Gesamtschichtdicke der Beschichtung bis zu 40 μιη groß ist.

Die Gesamtschichtdicke der Beschichtung beträgt wenigstens 5 μιη, bevorzugt wenigstens 10 μιη, besonders bevorzugt wenigstens 15 μιη. Eine zu geringe Gesamtschichtdicke der Beschich- tung hat den Nachteil, dass kein ausreichender Verschleißschutz durch die Beschichtung mehr gewährleistet ist.

In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung besteht der Substratkörper aus Hartmetall, vorzugsweise enthaltend 4 bis 12 Gew.-% Co, Fe und/oder Ni, vorzugsweise Co, op- tional 0,5 bis 10 Gew.-% kubische Carbide der Metalle der Gruppen IVb, Vb und Vlb des Periodensystems, vorzugsweise Ti, Nb, Ta oder Kombinationen davon, und als Rest WC.

In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung besteht der Substratkörper aus Hartmetall der vorgenannten Zusammensetzung und weist eine gegenüber der nominellen Gesamtzusammen- setzung des Substratkörpers mit Co-Binderphase angereicherte und von kubischen Carbiden abgereicherte Oberflächenzone auf, die ausgehend von der Substratoberfläche eine Dicke von 5 μιη bis 30 μιη, vorzugsweise von 10 μιη bis 25 μιη besitzt, wobei der Gehalt an Co in der mit Co-Binderphase angereicherten Oberflächenzone wenigstens 1 ,5-mal höher ist als im Kern des Substrats und der Gehalt an kubischen Carbiden in der mit Co-Binderphase angereicherten Oberflächenzone höchstens das 0,5-fache des Gehalts an kubischen Carbiden im Kern des Substrats beträgt.

Das Vorsehen einer mit Co-Binderphase angereicherten Oberflächenzone in dem Hartmetallsubstrat verbessert die Zähigkeit des Substratkörpers und eröffnet einen breiteren Anwendungsbe- reich des Werkzeugs, wobei Hartmetallsubstrate mit einer mit Co-Binderphase angereicherten Oberflächenzone vorzugsweise für Schneidwerkzeuge für die Bearbeitung von Stahl eingesetzt werden, wogegen Schneidwerkzeuge für die Bearbeitung von Gusseisen vorzugsweise ohne eine solche mit Co-Binderphase angereicherte Oberflächenzone hergestellt werden.

Die vorliegende Erfindung umfasst auch ein Verfahren zur Herstellung des hierin beschriebenen erfindungsgemäßen Schneideinsatzes, bei dem man

auf einen Substratkörper aus Hartmetall-, Cermet-, oder Keramik mittels CVD-Verfahren eine mehrlagige Beschichtung mit einer Gesamtschichtdicke von 5 bis 40 μιη aufbringt, welche ausgehend von der Substratoberfläche eine oder mehrere Hartstofflagen, über den Hartstofflagen eine alpha-Aluminiumoxid (01-AI2O ₃ ) - Lage mit einer Lagendicke von 1 bis 20 μιη und optional wenigstens abschnittsweise über der a-AI ₂ 0 ₃ -Lage eine oder mehrere weitere Hartstofflagen als Dekor- oder Verschleißerkennungslagen aufweist, wobei die Abscheidungsbedingungen für die a-AI ₂ 0 ₃ -Lage so gewählt werden, dass die a-AI ₂ 0 ₃ -Lage eine kristallographische Vorzugsorientierung aufweist, charakterisiert durch einen Texturkoeffizienten TC (0 0 12) > 5 für die (0 0 12)

wobei

l(hkl) die durch Röntgenbeugung gemessenen Intensitäten der Beugungsreflexe sind, lo(hkl) die Standardintensitäten der Beugungsreflexe nach pdf-Karte 42-1468 sind,

n die Anzahl der für die Berechnung verwendeten Reflexe ist und

für die Berechnung von TC(0 0 12) folgende Reflexe verwendet werden:

(0 1 2), (1 0 4), (1 1 0), (1 1 3), (1 1 6), (3 0 0) und (0 0 12),

und man das Substrat nach dem Aufbringen der mehrlagigen Beschichtung einer Trocken- oder Nassstrahlbehandlung, vorzugsweise einer Trockenstrahlbehandlung, unter Verwendung eines körnigen Strahlmittels unterzieht, wobei das Strahlmittel vorzugsweise eine geringere Härte als Korund (a-AI ₂ 0 ₃ ) aufweist und wobei man den Strahldruck, die Strahldauer und den Strahlwinkel der Strahlbehandlung so auswählt, dass die a-AI ₂ 0 ₃ -Lage nach der Strahlbehandlung eine Eigenspannung im Bereich von 0 bis +300 MPa aufweist und das Substrat nach der Strahlbehandlung innerhalb eines Bereichs von 0 bis10 μιη von der Substratoberfläche ein Eigenspannungs- Minimum im Bereich von -2000 bis -400 MPa aufweist.

MESSVERFAHREN

Die zerstörungsfreie und phasenselektive Analyse von Eigenspannungen ist nur durch Röntgen- diffraktionsverfahren möglich (siehe zum Beispiel V. Hauk. Structural and Residual Stress Analy- sis by Nondestructive Methods. Elsevier, Amsterdam, 1997"). Das weitverbreitet angewendete sin ² ijj-Verfahren (E. Macherauch, P. Müller, Z. angew. Physik 13 (1961 ), 305) für die Röntgen- analyse von Eigenspannungen beruht auf der Annahme eines homogenen Spannungszustandes innerhalb der Eindringtiefe des Röntgenstrahles und liefert nur einen Mittelwert für den Span- nungsanteil in einer Ebene. Daher ist das sin ² ijj-Verfahren nicht für die Untersuchung von mehrlagigen, strahlbehandelten CVD-Systemen geeignet, in denen innerhalb kurzer Distanzen steile oder stufenweise Veränderungen der Eigenspannung erwartet werden. Stattdessen werden in solchen Fällen weiterentwickelte Verfahren wie z.B. das "Universal Plot-Verfahren" angewendet, die auch in dünnen Schichten die Erfassung von Eigenspannungsgradienten erlauben (Ch. Genzel in: E.J. Mittemeijer, P. Scardi (Herausg.) Diffraction Analysis of the Microstructure of Materials. Springer Series in Material Science, Band 68 (2004), S. 473; Ch. Genzel, Mat. Science and Technol. 21 (2005), 10). Da die erfindungsgemäßen Eigenspannungen mit Vorteil durch eine Trockenstrahl-Behandlung unter Verwendung eines Strahlmittels erzielt werden, dessen Härte geringer als diejenige des Korunds (a-AI ₂ Os) ist, werden in der a-AI ₂ 0 ₃ -Lage keine oder nur sehr geringe Störungsgrade und nur eine geringe Veränderung der Eigenspannung herbeigeführt. Optional über der a-AI ₂ 0 ₃ -Lage angeordnete Dekor- oder Verschleißerkennungslagen werden durch abrasiv wirkende Verfahren entfernt, die ihrerseits den Eigenspannungszustand in der verbleibenden a-AI ₂ 0 ₃ -Lage nur in den nahen Oberflächenbereichen der Schicht bis ca. 1 μιη Eindringstiefe verändern. Bei den hier verwendeten Messparametern stammt das Messsignal der a-AI ₂ 0 ₃ -Lage aus einer Informationstiefe von ca. > 1 ,5 μιη. Da die Messdaten keinen Hinweis auf starke Eigenspannungstiefengradienten in der a-AI ₂ 0 ₃ -Lage lieferten, wurden diese nach dem sin ² ijj-Verfahren ausgewertet.

Die Eigenspannungen der Schichten wurden in dem winkeldispersiven Diffraktionsmodus auf einem GE Inspection Technologies (vormals Seifert), 5-Circle-Diffraktometer ETA (Ch. Genzel, Adv. X-Ray Analysis, 44 (2001 ), 247.) durchgeführt. Die für die Messungen und die Bestimmung der Eigenspannungen angewendeten Parameter sind in der nachstehenden Tabelle 1 zusam- mengefasst. Die zerstörungsfreie Analyse der Eigenspannungsverteilung im Bereich der Grenzfläche zwischen dem Substratkörper und der Beschichtung ist nur durch Hochenergie-Röntgendiffraktion unter Verwendung intensiver paralleler Synchrotronstrahlung möglich. Um den Einfluss des Strahlverfahrens auf den Zustand der Eigenspannung in der Nähe der Substratoberfläche zu ermitteln, wurde energiedispersive Diffraktion angewendet. Dabei wurde das "modifizierte Multi- Wellenlängen-Verfahren" (wie es in C. Stock, Promotionsarbeit, TU Berlin, 2003; Ch. Genzel, C. Strock, W. Reimers, Mat. Sei. Eng., A 372 (2004), 28, beschrieben ist) benutzt, welches das Tie- fenprofil der Eigenspannungen in dem Substrat bis zu einer vom Substratmaterial abhängigen Eindringtiefe liefert. Bei WC-Co-Substraten beträgt diese Eindringtiefe etwa 10 μιη. Die Experimente wurden auf dem Materialforschungsmessplatz EDDI (Energy Dispersive Diffraction) durchgeführt, welche von dem Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH auf dem Synchrotron-Speicherring BESSY betrieben wird (Ch. Genzel, I. A. Denks, M. Klaus, Mat. Sei. Forum 524-525 (2006), 193). Die entsprechenden experimentellen Parameter sind in Tabelle 2 angegeben.

Tabelle 1 : Experimentelle Parameter für die Eigenspannungsanalyse der Beschichtung

Strahlung CuKa (ohne Kß-Filter) 40 kV / 45 mA (Langfeinfokus)

Diffraktionsmodus winkeldispersiv

Optische Elemente • Primärstrahl: polykapillare Halblinse

• Gebeugter Strahl: Parallelstrahloptik

(0,4° Soller-Blende+ 001-LiF Monochromator)

Reflexionen Al ₂ 0 ₃ : 1 16 (29 = 57,5°)

Messbereich in 2Θ: 56,0° < 2Θ < 59,0°; Δ2Θ = 0,05°

Ψ-Bereich 0° ...89.5° (sin = 0 ... 0,99996)

Schrittweite für 0 < ψ < 80°: Asin ² i|j = 0,05°; für ψ > 80°: Δψ = 0,5°

Messdauer 15s / Stufe in Δ2Θ (0,05°)

Beugungslinienauswertung Pearson VN-Funktion für die Ka und Ka2-Linien

Lineare Absorptionskoeffizienten μ _Α ΐ2θ3 = 124 cm ^"

Elastische Diffraktionskonstanten Al ₂ 0 ₃ : Si (1 16) = - 0,474 x 10 ^"b MPa ^" '

(DEC) ^* » ¹ / ₂ s ₂ (024) = 2,83 x 10 ^"6 MPa ^"1

' Berechnet anhand der Einkristall-Elastizitätskonstanten von AI2O ₃ (Landoldt-Börnstein, New Series, Group III, Band 1 1 , Springer, Berlin, 1979) und TiN (W. Kress, P. Roedhammer, H. Bilz, W. Teuchert, A. N. Christensen. Phys. Rev. B17 (1978), 1 1 1.) nach dem Eshelby-Kröner-Modell (J. D. Eshelby. Proc. Roy. Soc. (London) A241 (1957), 376; E. Kröner, Z. Physik 151 (1958), 504.) Tabelle 2: Experimentelle Parameter für die Eigenspannungsanalyse in den Substratkörpern

Strahlung weiße Synchrotronstrahlung, E = [10keV ... 120keV]

Diffraktionsmodus energiedispersiv

Strahlquerschnitt 0,25 x 0,25 mm ²

Absorber 2 cm Graphit

Optik im gebeugtem Strahl Doppelspaltsystem mit einer Öffnung von 0,03 x 5 mm ²

Diffraktionswinkel 2Θ = 1 1 °

Detektor Festkörper-LEGe-Detektor (Canberra)

Messmodus symmetrischer ψ -Modus (Reflexion), ψ = 0° ... 89°,

Δψ = 4° für 0 < ψ < 70°

Δψ = 2° ίϋΓ 70° < ψ < 80°

Δψ = 1 ° für 80° < ψ < 89°

Messdauer 60 s / Diffraktionsspektrum

ausgewertete Beugungslinien 001 ,101 , 110, 002, 201 , 112

Elastische Diffraktionskonstanten entnommen aus B. Eigenmann, E. Macherauch, Mat.-Wiss. u.

Werkstofftechn. 27 (1996), 426

Kalibrierung mit spannungsfreiem W-Pulver unter den gleichen experimentellen Bedingungen

Die Texturmessungen wurden auf einem Diffraktometer XRD3003PTS der Firma GE Sensing and Inspection Technologies unter Verwendung von Cu K _a -Strahlung durchgeführt. Die Röntgenröhre wurde bei 40 kV und 40 mA im Punktfokus betrieben. Primärseitig wurde eine Polykapillar- Halblinse mit einer Messöffnung mit fester Größe verwendet, wobei die bestrahlte Fläche der Probe so gewählt wurde, dass der Röntgenstrahl nur auf der beschichteten Fläche auftrifft. Se- kundärseitig wurden ein Sollerspalt mit 0,4° Divergenz und ein 0,25 mm starker Ni K _ß -Filter verwendet. Es wurden in θ-26-Anordnung -Scans im Winkelbereich 20° < 2Θ < 100° mit einer Schrittweite von 0,25° durchgeführt. Die Messungen wurden an einer flachen Oberfläche des beschichteten Schneideinsatzes durchgeführt, vorzugsweise an der Freifläche. Die Messungen wurden direkt an der Aluminiumoxidlage als äußerste Lage durchgeführt. Im Falle, dass über der zu vermessenden Aluminiumoxidlage eine weitere Lage vorhanden ist, so wird diese vor der Messung durch ein Verfahren entfernt, das die Messergebnisse nicht wesentlich beeinflusst, beispielsweise durch Ätzen. Zur Berechnung des Texturkoeffizienten TC(0 0 12) wurden die Peak- höhenintensitäten verwendet. Auf die gemessenen Rohdaten wurden Untergrundabzug und ein parabolischer Peakfit an 5 Messpunkten angewendet. Es wurden keine weiteren Korrekturen der Peakintensitäten, wie etwa K _{a 2} -Stripping oder Dünnschichtkorrekturen, vorgenommen.

Die zum Einstellen des erfindungsgemäßen Eigenspannungszustands verwendete Strahlbehand- lung erzeugt keine signifikante Veränderung von Integrallinienbreiten und Intensitäten der Beugungsreflexe. Die Auswirkungen abrasiv wirkender Nachbehandlungsverfahren, welche zur Entfernung von über der a-AI ₂ 0 ₃ -Schicht angeordneten Decklagen angewendet werden, sind erfahrungsgemäß zwar gering, aber nicht ausgeschlossen. Deshalb ist die Messung der Textur bei den erfindungsgemäßen Schneideinsätzen an Flächen durchzuführen, die solchen Nachbehand- lungsschritten nicht unterzogen wurden, beispielsweise an Freifläche des Schneideinsatzes. folgt definiert:

wobei

l(hkl) die wie oben beschrieben durch Röntgenbeugung gemessenen und korrigierten Intensitäten der Beugungsreflexe sind,

lo(hkl) die Standardintensitäten der Beugungsreflexe nach pdf-Karte 42-1468 sind,

n die Anzahl der für die Berechnung verwendeten Reflexe ist und

für die Berechnung von TC(0 0 12) folgende Reflexe verwendet werden:

(0 1 2), (1 0 4), (1 1 0), (1 1 3), (1 1 6), (3 0 0) und (0 0 12).

Die durch den Texturkoeffizienten TC(0 0 12) gegebene relative Intensität des (0 0 12)- Beugungsreflexes ist ein Maß für die (0 0 1 )-Vorzugsorientierung bzw. Fasertextur der 0AI ₂ O ₃ - Schicht. Alternativ zur Auswertung des (0 0 12)-Reflexes kann die Textur auch über den (0 0 6)- Beugungsreflex als TC(0 0 6) ausgewertet werden. Die Verwendung des (0 0 12)-Reflexes ist aber für die erfindungsgemäßen Beschichtungen zu bevorzugen, weil der (0 0 6)-Reflex des 0AI ₂ O ₃ nicht immer sicher vom häufig sehr intensiven (2 0 0)-Reflex des TiCN getrennt werden kann. BEISPIELE

Beispiel 1 WC/Co-Hartmetallsubstratkörper (Wendeschneidplatten verschiedener Zusammensetzungen (HM1 , HM2, HM3, HM4, HM5 und HM6) wurden im CVD-Verfahren der Schichtabfolge TiN - MT- TiCN - 0AI2O ₃ - HT-TiCN mit verschiedenen Schichtdicken der einzelnen Lagen beschichtet. Zwischen der MT-TiCN-Schicht und der a-AI ₂ 0 ₃ -Schicht wurde eine dünne (< 1 μιη) Anbindungsund Nukleationsschicht aus TiAICNO abgeschieden. Alle Beschichtungen wurden in einem CVD- Reaktor vom Typ Bernex BPX325S mit radialer Gasströmung hergestellt.

Die MT-TiCN-Schicht wurde bei einem Druck von 90 mbar und folgenden Gaskonzentrationen abgeschieden (Prozentangaben in Bezug auf die Gase im CVD-Verfahren bedeuten Vol.-%): 2,0% TiCI ₄ , 0,5% CH ₃ CN, 10% N ₂ , 87,5% H ₂ .

Zwischen der MT-TiCN-Schicht und der a-AI ₂ 0 ₃ -Schicht wurde eine dünne (< 1 μιη) Anbindungsund Nukleationsschicht in drei Prozessschritten abgeschieden.

1. Ti(C,N) - Dauer: 20 min, Temperatur: 1000°C, Druck: 500 mbar, Gaskonzentrationen: 5% CH ₄ , 2% TiCI ₄ , 25% N ₂ , Rest H ₂

2. (Ti,AI)(C,N,0) - Dauer: 15 min, Temperatur: 1000°C, Druck: 75 mbar, Gaskonzentrationen: 5% CO, 1 % AICI ₃ , 2% TiCI ₄ , 25% N ₂ , Rest H ₂

3. (Ti,AI)(C,N,0) - Dauer 5 min, Temperatur: 1000°C, Druck: 175 mbar, Gaskonzentrationen: 5% CO, 2,5% C0 ₂ , 1 % AICI ₃ , 2% TiCI ₄ , 20% N ₂ , Rest H ₂ Anschliessend wurde die a-AI ₂ 0 ₃ -Schicht durch folgendes Verfahren nukleiert:

1. Spülen mit Ar, Dauer 5 min

2. Behandlung mit 2% TiCI ₄ , 2% AICI ₃ , Rest H ₂ , bei T=1000°C, p = 175 mbar, Dauer 5 min

3. Spülen mit Ar, Dauer 5 min

4. Oxidation mit 2,5% C0 ₂ , 12% CO, Rest H ₂ bei T=1000°C, p = 175 mbar, Dauer 5 min 5. Spülen mit Ar, Dauer 5 min

6. Behandlung mit 2,5% AICI ₃ , Rest H ₂ , bei T=1000°C, p = 175 mbar, Dauer 1 min

Zur weiteren Nukleation wurde eine dünne a-AI ₂ 0 ₃ -Startschicht ohne Verwendung katalytischer Verbindungen unter folgenden Bedingungen abgeschieden:

T = 1010°C; p = 75 mbar; 2,5% C0 ₂ ; 2,0% HCl; 2,0% CO; 2,0% AICI ₃ ; Rest H ₂ , Dauer 40 min Die Wachstumsbedingungen der erfindungsgemässen a-AI ₂ 0 ₃ -Schicht wurden wie folgt gewählt: T = 1010 °C, p = 85 mbar, Gaskonzentrationen: 91% H ₂ , 3,0% C0 ₂ , 0,5% H ₂ S, 3,5% HCl, 2,5% AICI ₃ . Alle Gaskomponenten wurden gleichzeitig in den angegebenen Konzentrationen eingeleitet.

Die erzeugten a-AI ₂ 0 ₃ -Schichten hatten eine sehr hohe (001)- Vorzugsorientierung mit Texturkoeffizienten TC(0012) > 5.

Als Referenz wurden Hartmetallsubstratkorper gleicher Zusammensetzungen ebenfalls mit der Schichtabfolge TiN - MT-TiCN - a-AI ₂ 0 ₃ - HT-TiCN mit gleichen Schichtdicken der einzelnen Lagen beschichtet, wobei ebenfalls zwischen der MT-TiCN-Schicht und der a-AI ₂ 0 ₃ -Schicht eine dünne (< 1 μιη) Anbindungs- und Nukleationsschicht aus TiAICNO abgeschieden wurde. Darauf wurde die a-AI ₂ 0 ₃ -Schicht nach dem Stand der Technik nukleiert. Die Wachstumsbedingungen der a-AI ₂ 0 ₃ -Schicht nach dem Stand der Technik wurden wie folgt gewählt:

T = 1015 °C, p = 65 mbar, Gaskonzentrationen: 92,3% H ₂ , 3,5% C0 ₂ , 0,2% H ₂ S, 2,0% HCl, 2,0%

Die a-AI ₂ 0 ₃ -L a g e n nach dem Stand der Technik weisen nur eine moderate (001)- Vorzugsorientierung auf.

Die Zusammensetzungen der verwendeten Hartmetallsubstratkorper sind in Tabelle 3 angegeben. Die Schichtdicken der einzelnen Lagen und der für die a-AI ₂ 0 ₃ -Lage bestimmte Texturkoeffizient TC(0012) sind in Tabelle 4 angegeben.

Tabelle 3: Hartmetalzzusammensetzungen

Hartmetall Zusammensetzung (Gew.-%) Härte HV3

kubisches

Co WC Sonst.

Metallcarbid

HM1 7 86,5 5 0,5 1500

HM2 7,5 87 5 0,5 1500

HM3 6 94 - - 1600

HM4 5 86,5 8 0,5 1500

HM5 5,5 86 8 0,5 1550

HM6 10 81 8,5 0,5 1300 Tabelle 4:

Die Texturkoeffizienten TC[0 0 12] sind angegeben als Mittelwerte von Messungen an >6 ver- schiedenen Schneideinsätzen aus mindestens 2 verschiedenen Beschichtungs-Chargen.

Die Schneidplatten wurden anschließend einer Strahlbehandlung unterzogen und die Eigenspannungen der a-AI ₂ 0 ₃ -Lage sowie des Substratkörpers in der nahen Interface-Substrat-Zone (NISZ) gemessen. Die Ergebnisse sind in Tabelle 5 wiedergegeben. Der Wert„Eigenspannung NISZ Substrat" ist jeweils der Minimalwert innerhalb der gemessenen Eigenspannungs-Verläufe in der "nahen Interface-Substrat-Zone".

Tabelle 5: Ergebnisse der Eigenspannungsmessungen an Schneideinsätzen

Tabelle 5 (Forts.): Ergebnisse der Eigenspannungsmessungen an Schneideinsätzen

Beispiel 2 - Zerspanversuche

Mit den gemäß Beispiel 1 hergestellten Schneidplatten wurden Nockenwellen einer Außenbearbeitung im unterbrochenen Schnitt gemäß folgenden Versuchsparametern unterzogen:

Werkstück: Nockenwelle

Material: 16MnCr5 (R _m =600-700N/mm ² )

Bearbeitung; Längsdrehen im unterbrochenen Schnitt; Nassbearbeitung

Schnittdaten: v _c = 220 m/min

f = 0,4 mm

a _p = 2,5 mm

Werkzeuggeometrie: DNMG150608-NM4

Standweg: Stand der Technik: Schneideinsatz 1 1 nach Tabelle 5: 54 Bauteile

Erfindung: Schneideinsatz 14 nach Tabelle 5: 80 Bauteile

Figur 1 zeigt das Werkzeug nach dem Stand der Technik (Schneideinsatz 1 1 gemäß Tabelle 5) nach der Bearbeitung von 54 Bauteilen. Es sind nach Standzeitende sowohl Kolkverschleiß zu erkennen als auch Kerbverschleiß und Ausbrüche an der Schneidkante. Kolkverschleiß ist eine typische Verschleißform beim Drehen von Stahlwerkstoffen, die aufgrund mangelnder Verschleißfestigkeit bei hoher Schneidentemperatur durch thermische Überlastung des Werkzeugs entsteht. Die Kerben und Ausbrüche an der Schneidkante sind dagegen Anzeichen für eine unzureichende Zähigkeit des Werkzeugs unter den gewählten Arbeitsbedingungen.

Figur 2 zeigt den erfindungsgemäßen Schneideinsatz (Schneideinsatz 14 gemäß Tabelle 5) nach der Bearbeitung von 80 Bauteilen. Der Schneideinsatz hat deutlich weniger ausgeprägten Kolkverschleiß und keinen Kerben.

Beispiel 3 - Zerspanversuche

Gemäß Beispiel 1 hergestellte Schneidplatten wurden dem sogenannten Leistedrehtest (Test im stark unterbrochenen Schnitt) unterzogen. Bei diesem Test wird das Zähigkeitsverhalten von Wendeschneidplatten untersucht, indem eine mit vier Leisten aus Vergütungsstahl bestückte Welle in einem Außen-Längs-Drehprozess bearbeitet wird. Die Leisten, die hierbei zerspant wer- den, stellen nur einen Teil des Umfangs dar, so dass eine stark schlagende Wirkung auf die Werkzeugschneiden auftritt. Als Standweg des Werkzeugs wird die Anzahl der Eintritte in die Werkstücke bis zum Versagen der Schneide durch Bruch bestimmt (Schlagzahl).

Material: 42CrMo4; R _m = 800 N/mm ²

Bearbeitung; Längsdrehen im unterbrochenen Schnitt; Trockenbearbeitung

Schnittdaten: v _c = 170

f = 0,32 mm

a _p = 2,5 mm

Werkzeuggeometrie: CNMG 120412-NM4

Standweg / Schlagzahl (jeweils Mittelwert aus 6 getesteten Schneideinsätzen):

Stand der Technik: Schneideinsatz 15 gemäß Tabelle 5 497 Schläge

Erfindung: Schneideinsatz 18 gemäß Tabelle 5 2946 Schläge

Beispiel 4 - Zerspanversuche

Mit gemäß Beispiel 1 hergestellten Schneidplatten wurden Pumpengehäuse aus Kugelgraphit- guss GGG50 einer Drehbearbeitung (Schruppen im unterbrochenen Schnitt) gemäß folgenden Versuchsparametern unterzogen:

Werkstück: Pumpengehäuse

Material: GGG50

Bearbeitung; Drehen im unterbrochenen Schnitt; Trockenbearbeitung

Schnittdaten: v _c = 190 m/min

f = 0,5 mm

a _p = 3,0 mm

Werkzeuggeometrie: WNMA080412

Standweg: Stand der Technik: Schneideinsatz 3 gemäß Tabelle 5 70 Bauteile

Erfindung: Schneideinsatz 6 gemäß Tabelle 5 200 Bauteile