本実施例の作業装置は、液晶パネルを構� ��するガラス基板にペーストを塗布する塗布� ��置に関する。

 ≪構成≫
 図5に示すように、本実施例の塗布装置20は� ��門型に配置されたベースユニット12と、ベ� �スユニット12の間に配設されたテーブルユニ ット13とを主たる構成要素とする。
 ベースユニット12は、第1の方向(Y方向)に延� ��される架台1a、1bと、これらに支持されるガ ントリフレーム2とにより構成される。ガン� �リーフレーム2の下端は、回転手段14a、14bに� ��合されており、これにより、ガントリーフ� ��ーム2は架台1a、1bと回動自在に支持されて� �る。ガントリフレーム2には、作業部たる塗� ��ヘッド29が複数配設される。

 架台1a、1bはL字形状であり、第1の方向に沿� ��て並設され、逆さの凸溝を構成する。テー� ��ルユニット13は、その凸溝に嵌合されるよ� �設置され、水平方向に延出されたテーブル� �ニット支持部19a、19bの上面(低い位置にある� ��面)により支持される。
 架台1a、1bは、下面にレベルアジャスタ62を� ��し、床面と本装置との水平レベルを調整す� ��ことができる。

 架台1aの高い位置にある上面にはリニアガ� �ド7a、リニアモータ固定子24a、およびリニア スケール26aが設けられており、架台1bの高い� ��置にある上面にはリニアガイド7b、リニア� �ータ固定子24b、およびリニアスケール26bが� �けられている。
 回転手段14a、14bの下面は、リニアモータ可� ��子25a、25bと接合されており、リニアガイド7 a、7b、およびリニアモータ固定子24a、24bと協 働してガントリーフレーム2を第1の方向に移� ��自在とし、またリニアスケール26a、26bによ� ��ガントリーフレーム2の移動を高精度として いる。

 図6は、回転手段14aの断面構成図である。
 回転手段14aは、軸台41a、回転軸42a、ベアリ� ��グ43a、および絶対値エンコーダ44aで構成さ� ��る。回転軸42aは、ベアリング43aを介して軸� ��41aと係合され、軸台41aに対し回動する。回� ��軸42aの上面は、ガントリーフレーム2と接合 される。軸台41aの下面中央部にリニアモータ 可動子25aが配設され、下面辺縁部にリニアガ イド7aが位置し、リニアモータ可動子25aの両� ��方にリニアモータ固定子24aが位置する。
 なお、回転手段14bも同様の構成である。

 ベアリング43aの上方に配設される絶対値エ� ��コーダ44aは、軸台41aと回転軸42aとの相対回� ��角度を検出する機器であり、相対回転角度� ��検出して制御装置101に記憶することができ� ��。すなわち、ベースユニット12とテーブル� �ニット13の位置調整後、絶対値エンコーダ44a に最適化された相対回転角度を記憶しておく ことで、移送に伴い変形等した作業装置を復 元する際の調整作業の効率化および高精度化 をはかることが可能となる。
 なお、絶対値エンコーダ44aを備えることが� ��ましいが、必須の構成要素ではない。

 ガントリフレーム2に複数配設される塗布ヘ ッド29は、液体を吐出するノズル30を有する� �各塗布ヘッド29は、図示しないリニアモータ により、ガントリフレーム2の延設方向に移� �自在である。また、塗布ヘッド29はそれぞれ 独立して移動することが可能である。
 ガントリフレーム2が移動する第1の方向(Y方 向)と、塗布ヘッド29が移動する第2の方向(X方 向)とは互いに直交する。各塗布ヘッド29は、 ノズル30をワークに近づく方向ないしは遠ざ� ��る方向(Z方向)に移動させる昇降機構を備え� ��いる。すなわち、塗布ヘッド29の有するノ� �ル30とワークをXYZ方向に相対動することが可 能である。

 テーブルユニット13は、テーブル架台31とそ の上部に配設されるワークテーブル9とから� �成され、テーブル架台31はワークテーブル9� �回転する回転機構を有する。すなわち、図� �しないθモータ105の動力によりワークテーブ ル32が回転することができる。
 テーブルユニット13は、架台1a、1bから延出� ��るテーブルユニット支持部19a、19bに支持さ� ��、架台連結ガイド33a、33bにより連結される� ��

 架台連結ガイド33aの構成を説明する。
 図7は、前記架台連結ガイド33aの断面構成を 示す図面である。 
 架台連結ガイド33aは、ガイドレール51aとガ� ��ドブロック52aとベアリング53aで構成される� ��
 ガイドレール51aは、テーブルユニット支持� ��19aの上面で第1の方向(Y方向)に延設される長 尺部材である。ガイドブロック52aは、テーブ ル架台31下部に接合される長尺部材であって� ��ガイドレール51に嵌装することができる。
 ベースユニット12にテーブルユニット13を連 結する際は、ベースユニット12の側方からガ� ��ドブロック52aをガイドレール51aに嵌装し、� ��1の方向をスライドすることで、テーブルユ ニット13を取り付けることができる。テーブ� ��ユニット13を分離する際は、ベースユニッ� �12の外側に向かってテーブルユニット13を第1 の方向をスライドすることで、円滑かつ容易 に分離することができる。
 ガイドレール51aとガイドブロック52aは、一� ��的なリニアガイドと同じ構成であり、ガイ� ��レール51a上をガイドブロック52aが円滑にス� ��イドし、且つ、スライド方向に対し直交す� ��方向(すなわちX方向およびZ方向)のガタが小 さくなるよう構成されている。
 なお、架台連結ガイド33bも同様の構成であ� ��。

 ベースユニット12とテーブルユニット13と を連結することにより、ベースユニット12と� ��ーブルユニット13との相対位置、および、� �台1aと架台1bとの間隔が定まり、且つ、架台1 aと架台1bが互いに第1の方向に向かって平行� �位置関係に調整される。

 ≪移設手順≫
 本実施例の塗布装置20の移設作業において� �、まず、テーブルユニット13をベースユニッ ト12から分離する。分離作業は、テーブル架� ��31を架台1a、1bの外側に向かって第1の方向を スライドさせることにより行うことができる 。
 続いて、ガントリーフレーム2を回動させな がら架台1aと架台1bとの間隔を狭くする。す� �わち、ガントリーフレーム2を、θ方向ない� �はその逆方向に回転させる力をかけると、� �転手段14a、14bが回動するとともに、リニア� �ータ可動子25a、25bがスライド動することで� �ガントリーフレーム2と架台1a、1bが構成する 角度が直角から鋭角に変化する。これにより 、ベースユニット12は、折り畳むようにして� ��の荷姿がコンパクトになるため、移設に伴� ��運搬作業を容易に行うことができる。

 運搬作業終了後、ベースユニット12とテー� �ルユニット13とを組み立てるにあたっては、 まずコンパクトに変形されたベースユニット 12を元の形状に戻す作業を行う。すなわち、� ��ントリーフレーム2が架台1a、1bと直交する� �置となるように力をかけると、回転手段14a� �14bを回動するとともに、リニアモータ可動� �25a、25bがスライド動し、架台1a、1bとの間隔� ��拡げられる。
 ここで、図12に図示するとおり、本実施例� �調整具18によれば、架台1a、1bを作業に適し� �間隔で保持することが可能である。すなわ� �、調整具18を、架台連結ガイド33a、33bに通す ことにより、リニアガイド7a、7b間の平行調� �および高さ調整を行うことができるよう、� �め所定の距離に形成された部材が設けられ� �おり、調整後には調整具18の締結孔181a、181b� ��架台1a、1bをネジ等により結合することがで きる。なお、図12では、調整具18を架台連結� �イド33a、33bに通して調整しているが、リニ� �ガイド7a、7bに通して調整するようにしても� ��い。
 この際、分離前に絶対値エンコーダ44aによ� ��記憶した回転角度の値を利用して、復元時� ��回転角度を調整すると、調整作業を精度良� ��簡単に行うことができる。 
 最後に、テーブル架台31を架台連結ガイド33 a、33bによりベースユニット12に連結し、テー ブル架台31を所定の位置にセットすることで� ��設作業が完了する。

 ≪動作≫
 本実施例の塗布装置20の動作を、図11に示す 制御ブロック図を参照しながら説明する。
 本実施例の塗布装置20は、設定・表示器・� �力手段100から制御装置101に送られれた、ロ� �ット動作手順に関するプログラム情報や、� �布に必要な各種パラメータ情報に基づき動� �する。
 作業対象となるワークであるガラス基板が� ��ークテーブル9に設置されると、ワークテー ブル9に配設されたセンサ102がガラス基板を� �出した後、制御装置101が電磁弁103をONとし、 ワークテーブル9にガラス基板を真空吸着し� �固定する。
 続いて、塗布ヘッド29が備えるCCDカメラ104� �てガラス基板上に印刷された基準マーク位� �を検出すると、ガントリーフレーム2の延設� ��向および移動方向で規定されるX-Y軸に対す� ��ガラス基板の載置位置の傾きを算出し、θ� �ータ105を駆動しワークテーブル32をθ回転す� ��ことでガラス基板のずれを補正する。

 次に、複数の塗布ヘッド29を、そのノズル30 がガラス基板上のXY平面の所定位置となるよ� ��移動させた後、ノズル30とガラス基板との� �リアランスが所望量となるよう塗布ヘッド29 をZ方向に下降させる。なお、塗布ヘッド29は 、予めペーストが充填された貯留容器を備え ている。
 塗布ヘッド29の移動が完了すると、制御装� �101からディスペンスコントローラ111へ吐出� �号が出力され、ノズル30よりペーストを吐出 しながら複数の塗布ヘッド29がXY移動する。� �の動作により、ガラス基板に所定の塗布形� �が形成される。ここで、本実施例の塗布装� �20は、複数の塗布ヘッド29を有するため、複� ��の同一塗布パターンを同時に描画形成させ� ��ことができる。

 Yモータ69およびXモータ70に対する制御は、� ��ータコントローラ106が各モータの位置制御� ��行い、モータドライバ107が各モータへ通電� ��る電流量を制御することで行う。
 塗布ヘッド29のY方向への移動は、ガントリ� ��フレーム2が接続される複数のXモータ70を、 リニアスケール109の位置情報を基に制御する ことにより行う。塗布ヘッド29のZ方向への移 動は、ノズル30とガラス基板の隙間を検出す� ��センサ102の位置情報に基づきZモータ110を制 御することにより行う。

 以上の動作を行う本実施例の塗布装置20� �おいて、塗布形状の形成を高精度に行うた� �には、ベースユニット12とテーブルユニット 13の位置関係が高精度に調整されている必要� ��ある。ここで、本実施例の塗布装置20は、� �設時に部品レベルの分解が不要であり、ま� �分離前の回転角度の値を絶対値エンコーダ44 aが記憶しているため、ベースユニット12とテ ーブルユニット13の位置関係の調整を容易か� ��効率的に行うことができるため、移設コス� ��を最小限とすることが可能である。

 本実施例の作業装置は、ワークに接着剤� ��の液材を塗布する塗布装置に関し、より具� ��的には、ワーク上に液材を塗布形成させる� ��置であって、同一形状の描画パターンを同� ��に複数形成させるのに適した塗布装置であ� ��。すなわち、本実施例の塗布装置20は、ワ� �クテーブル9上に載置されたワークに対し、X モータ70とYモータ69の作動により、塗布ヘッ� ��29に対しワークテーブル9をX-Y方向に移動さ� ��ることで所望の描画パターンを形成するも� ��である。 

 図8は、第2の実施例にかかる作業装置の斜� �図である。
 架台1aの上面にはリニアガイド63が延設され ており、ガントリーフレーム2の一端をスラ� �ド動することを可能としている。
 実施例1と同様に、架台1a、1bはL字形状であ� ��、第1の方向に沿って並設され、テーブルユ ニット支持部19a、19bの上面テーブルユニット 13を支持する。また、架台1a、1bは、床面と本 装置との水平レベルを調整するレベルアジャ スタ62を下部に有している。

 ガントリーフレーム2の下端は、回転手段14a 、14bを介してガントリーベース65a、65bと接続 されている。ガントリーベース65aはリニアガ イド63の延設方向(Y方向)に可動自在に配設さ� ��るが、ガントリーベース65bは架台1bの上面� �固定して接続されている。
 回転手段14a、14bは、実施例1と同じ構成であ り、これによりガントリーフレーム2は回動� �能とされる。

 ガントリーフレーム2には、液材を収納する 液材貯留容器(図示せず)を備える塗布ヘッド2 9が複数搭載され、これらはガントリーフレ� �ム2が有する図示しないモータにより、それ� ��れ独立してガントリフレーム2の延設方向に 可動自在とされる。かかる構成により、本塗 布装置の複数の塗布ヘッド29は、その間隔を� ��望する間隔(すなわち、描画パターンの間隔 )に適宜調整することを可能としている。
 描画パターンに応じて、複数の塗布ヘッド2 9の間隔を所望間隔に調整した後、ノズル30か ら図示しない吐出装置により液材を吐出させ るとともに、ワークテーブル9を相対動させ� �ことにより、ワーク表面に所望形状の液材� �よる塗布描画を行うことができる。

 架台1a、1bの有するテーブルユニット支持部 19a、19bの上面には、架台連結ガイド33a、33bを 構成する長尺部材が配設されている。
 テーブル架台31を架台1a、1bの延出方向(すな わちY方向)にスライドさせることにより、架� ��連結ガイド33a、33bの作用によりテーブル架� ��31と架台1a、1bとを円滑かつ容易に接合・分� ��することができる。

 図9は、架台連結ガイド33aの断面構成を示す ものである。
 架台連結ガイド33aは、凸状ブロック81と精� �良く溝状に形成された凹状レール82で構成さ れる。凸状ブロック81は架台31の下面に接合� �れており、凸状ブロック81が凹状レール82上� ��スライド動することで、架台31をY方向にス� ��イド自在に構成している。なお、凸状ブロ� ��ク81と凹状レール82はV溝形状、U溝形状等の� ��意の形状とすることができる。
 なお、架台連結ガイド33bも同様の構成であ� ��。
 また、架台連結ガイド33a、33bは、テーブル� ��台31がスライドする方向に対し直交する方� �(すなわち、X方向およびZ方向)のガタを小さ� ��するよう構成されており、架台連結ガイド3 3a、33bと架台1a、1bとを精度良く連結させるこ とができる。
 架台連結ガイド33a、33bの嵌合部は、円滑に� ��ライドできるよう精度良く加工されている� ��とはいうまでもない。

 ≪移設手順≫
 本実施例の塗布装置20の移設作業において� �、まず、テーブルユニット13をベースユニッ ト12から分離する。分離作業は、テーブル架� ��31を連結ガイド33a、33bにより架台1a、1bの外� ��に移動させることにより行うことができる� ��
 続いて、回転手段14bを回転中心として、ガ� ��トリーフレーム2を回動させながら架台1aと� ��台1bとの間隔を狭くする。すなわち、ガン� �リーフレーム2を、θ方向に回転させる力を� �けると、回転手段14a、14bが回動するととも� �、ガントリーベース65aがリニアガイド63上を スライド動することで、ガントリーフレーム 2と架台1a、1bが構成する角度が直角から鋭角� ��変化する。これにより、ベースユニット12� �、折り畳むようにしてその荷姿がコンパク� �になるため、移設に伴う運搬作業を容易に� �うことができる。

 運搬作業終了後、ベースユニット12とテー� �ルユニット13とを組み立てるにあたっては、 まずコンパクトに変形されたベースユニット 12を元の形状に戻す作業を行う。すなわち、� ��ントリーフレーム2が架台1a、1bと直交する� �置となるように力をかけると、回転手段14a� �14bを回動するとともに、ガントリーベース65 aがスライド動し、架台1a、1bとの間隔が拡げ� ��れる。
 この際、分離前に絶対値エンコーダ44aによ� ��記憶した回転角度の値を利用して、復元時� ��回転角度を調整すると、調整作業を精度良� ��簡単に行うことができる。 
 最後に、テーブル架台31を架台連結ガイド33 a、33bによりベースユニット12に連結し、テー ブル架台31を所定の位置にセットすることで� ��設作業が完了する。

 以上のとおり、本実施例の装置は、一のリ� ��アガイドで折りたたみを可能とする構成で� ��るから、実施例1の装置よりも低コストで装 置を構成できる。
 また、架台連結ガイドを簡単な溝構造とし� ��いるため、実施例1の装置よりも低コストで 装置を構成することができる。

 本実施例の作業装置は、ワークに接着剤等� ��液材を塗布する塗布装置に関する。
 本実施例の塗布装置20は、図10に示すように 、ユニットテーブル支持部19a、19bの上面に形 成されたV形状の溝と、テーブルユニット13の 下面に形成されたV形状の突起とにより構成� �れる架台連結ガイド33a、33bを有する点に特� �がある。
 テーブルユニット13とベースユニット12との 連結作業は、点線で示す台車3上にテーブル� �台31を積載して行う。台車3を用いることに� �り、テーブルユニット13の移動および位置調 整が容易となり、連結作業にかかる工数を短 縮することができる。その効果は、特に、テ ーブルユニット13のサイズが大きくなるほど� ��著となる。
 なお、テーブルユニット13とベースユニッ� �12とを連結した後、台車3をテーブルユニッ� �13から容易に脱離させることができるよう、 高さ調節機構を備えるのが好ましい。