本申请要求于 2019年 2月 25 日递交的中国专利申请第 201910137494.0 号的优先权， 在此全文引用上述中国专利申请公开的内容以 作为本申请的一 部分。 技术领域

本公开的实施例涉及一种防着组件以及蒸镀设 备。 背景技术

有机电致发光 （OLED） 显示器件因其自发光、 广视角、 对比度高、 功耗 低、 反应速度快、 重量轻薄、 柔软显示、 屏幕可卷曲、 温度适应性强、 制作 工艺简单等优点， 成为了光电显示技术领域的研究热点。

通常 OLED采用蒸镀工艺制作，根据不同膜层的需求� �积不同的有机材料 或者无机材料， 从而形成有机发光显示器件。 在制备有机发光二极管显示器 件的过程中， 较为关键的技术是发光层的镀膜， 要实现发光层发光， 还需要 形成阴极和阳极以实现导电功能。 目前， 一般采用金属腔室来蒸镀阴极， 蒸 镀工艺腔室的腔壁会使用防着板进行保护， 防着板用于对未利用的蒸镀材料 进行阻挡， 防止未利用的蒸镀材料粘附到蒸镀工艺腔室的 腔壁上， 从而避免 未利用的蒸镀材料对蒸镀设备中的部件造成损 坏。 发明内容

本公开至少一实施例提供一种防着组件， 该防着组件包括： 主防着板， 其中， 所述主防着板的至少部分表面为凹面， 所述凹面配置为承载蒸镀材料。

例如， 在本公开至少一实施例提供的防着组件中， 所述主防着板的横截 面的形状为弧形。

例如， 在本公开至少一实施例提供的防着组件中， 所述弧形为圆形的一 部分， 或者， 所述弧形为椭圆形的一部分。

例如， 在本公开至少一实施例提供的防着组件中， 所述主防着板的具有 所述凹面的一侧的表面设置有第一网孔层。

例如， 本公开至少一实施例提供的防着组件， 还包括冷却部件， 其中， 所述冷却部件设置在所述主防着板的背离所述 凹面的一侧， 且位于所述主防 着板的边緣处。

例如， 在本公开至少一实施例提供的防着组件中， 所述冷却部件包括非 接触式冷却部件或者接触式冷却部件。

例如， 在本公开至少一实施例提供的防着组件中， 所述冷却部件包括冷 却媒介， 所述冷却媒介包括气体冷却媒介或者液体冷却 媒介。

例如， 在本公开至少一实施例提供的防着组件中， 所述防着组件包括彼 此分离的至少两个所述冷却部件。

例如， 本公开至少一实施例提供的防着组件， 还包括副防着板， 其中， 所述副防着板设置在所述主防着板的具有所述 凹面的一侧， 且所述副防着板 被配置为在辅助所述主防着板时至少一部分位 于所述主防着板的防护区域 内。

例如， 在本公开至少一实施例提供的防着组件中， 通过马达驱动所述副 防着板的至少一部分移动至所述主防着板的防 护区域内。

例如， 在本公开至少一实施例提供的防着组件中， 所述副防着板为平面 型防着板。

例如， 在本公开至少一实施例提供的防着组件中， 所述副防着板的远离 所述主防着板的一侧的表面设置有第二网孔层 。

本公开至少一实施例还提供一种蒸镀设备， 包括上述任一项所述的防着 组件和蒸发源。

例如， 在本公开至少一实施例提供的蒸镀设备中， 所述主防着板的与所 述凹面相对的表面向背离所述蒸发源的蒸发口 的一侧凸起。

例如， 本公开至少一实施例提供的蒸镀设备， 还包括待蒸镀基板， 其中， 所述蒸发源将蒸镀材料蒸镀到所述待蒸镀基板 上， 所述待蒸镀基板位于所述 蒸发源和所述防着组件之间。 附图说明

为了更清楚地说明本公开实施例的技术方案， 下面将对实施例的附图作 简单地介绍， 显而易见地， 下面描述中的附图仅仅涉及本发明的一些实施 例， 而非对本发明的限制。

图 1为一种防着组件和蒸发源的结构示意图；

图 2为本公开一实施例提供的一种防着组件的结� �示意图；

图 3为本公开再一实施例提供的一种防着组件的� �构示意图；

图 4为本公开又一实施例提供的一种防着组件的� �构示意图；

图 5为本公开又一实施例提供的一种防着组件的� �构示意图；

图 6为本公开一实施例提供的一种蒸镀设备的结� �示意图；

图 7为本公开再一实施例提供的一种蒸镀设备的� �构示意图； 以及 图 8为本公开又一实施例提供的一种蒸镀设备的� �构示意图。 具体实施方式

为使本发明实施例的目的、 技术方案和优点更加清楚， 下面将结合本发 明实施例的附图， 对本发明实施例的技术方案进行清楚、 完整地描述。 显然， 所描述的实施例是本发明的一部分实施例， 而不是全部的实施例。 基于所描 述的本发明的实施例， 本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提 下所获 得的所有其他实施例， 都属于本发明保护的范围。

除非另外定义， 本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本 发明所属 领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义 。 本公开中使用的“第一”、 “第 二”以及类似的词语并不表示任何顺序、 数量或者重要性， 而只是用来区分不 同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似 的词语意指出现该词前面的元件或者 物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件 及其等同， 而不排除其他元件 或者物件。 “连接”或者“相连”等类似的词语并非限定 于物理的或者机械的连 接， 而是可以包括电性的连接， 不管是直接的还是间接的。“上”、 “下”、 “左”、 “右”等仅用于表示相对位置关系， 当被描述对象的绝对位置改变后， 则该相 对位置关系也可能相应地改变。

在蒸镀工艺中， 通常在对待蒸镀基板进行蒸镀工艺之前， 需要对蒸发源 进行升温处理， 在此升温处理的过程中蒸镀的温度不稳定。 如果在温度不稳 定的条件下就在待蒸镀基板上形成蒸镀材料， 蒸镀材料会不均勾地粘附在待 蒸镀基板上， 这样会影响沉积薄膜的均勾性， 因此， 需要先在防着板上沉积 该部分蒸镀材料， 直到蒸镀的温度稳定后再将待蒸镀基板移动至 蒸发源的上 方， 使得蒸镀材料蒸镀到待蒸镀基板上。 在蒸镀基板上完成蒸镀过程之后， 需要将蒸镀基板从蒸发源的上方移除， 同时需要对蒸发源进行降温处理， 由 于蒸发源还具有一定的温度， 蒸镀材料还在不断地被蒸出， 此时需要用防着 板对该部分蒸镀材料进行承载， 以防止该部分蒸镀材料粘附到蒸镀工艺腔室 的腔壁上而难以清除， 从而对蒸镀设备中的部件造成损坏。

例如， 图 1 为一种防着组件和蒸发源的结构示意图， 如图 1所示， 该防 着组件 01的表面平整， 当蒸镀材料的密度大， 形成的膜层较厚时， 在蒸镀过 程中蒸镀材料容易在防着组件的中间区域累积 ， 造成沉积的蒸镀材料的厚度 不均勾， 且该表面平整的防着组件 01对蒸镀材料的承载量较小， 该防着组件 01使用较短的时间后， 其上承载的蒸镀材料就会出现掉落（peeling）� �现象，进 而会影响产品质量， 且掉落的蒸镀材料易堵住蒸发源的蒸发口， 造成蒸发源 的蒸发口发生塞孔的风险。 因此， 在短时间内就需要停机对防着组件 01进行 更换， 从而浪费了生产时间， 影响了产品的生产效率。

本公开的发明人发现， 可以对防着组件的形状进行改进， 使蒸镀材料的 积累具有一定的方向性， 这样蒸镀到防着组件的中间部分的蒸镀材料由 于重 力的作用会向防着组件的边緣流动， 从而使得承载在防着组件中间区域的蒸 镀材料的量减少， 减轻或者避免蒸镀材料从防着组件中间区域掉 落的现象， 从而降低了蒸镀材料掉落堵住蒸发源的蒸发口 的风险。

例如， 图 2为本公开一实施例提供的一种防着组件的结� �示意图， 如图 2 所示， 该防着组件 10包括： 主防着板 11， 其中， 该主防着板 11的至少部分 表面为凹面 111， 该凹面 111配置为承载蒸镀材料 12。

例如， 在使用包括防着组件的蒸镀设备进行蒸镀的过 程中， 主防着板 11 的凹面 111朝向蒸发源的蒸发口 （例如， 坩埚喷嘴， 图 2中未示出）， 用以防 止蒸发源的蒸发口 （例如， 坩埚喷嘴） 被堵塞。

例如， 如图 2所示， 主防着板 11的横截面的形状为弧形。

需要说明的是， 该横截面是指在防着组件 10进行正常的蒸镀工艺时， 在 垂直于水平面的方向上主防着板 11的横截面。

例如， 当主防着板 11 的截面为弧形时， 即主防着板 11 整体形成了朝向 背离蒸发源的蒸发口 （例如， 坩埚喷嘴） 方向的凸起， 以使得主防着板 11朝 向蒸发源的蒸发口 （例如， 坩埚喷嘴） 的一侧表面为凹面， 该结构可以降低 主防着板 11的制造难度， 从而降低了主防着板 11的制造成本。

例如， 该弧形为圆形的一部分， 或者， 该弧形为椭圆形的一部分。 例如， 当弧形为椭圆形的一部分时， 可以进一步增大主防着板 11朝向蒸 发源的蒸发口一侧的表面积， 以更好地减小主防着板 11正对蒸发源的蒸发口 中部所形成的蒸镀材料 12的积累量， 从而有效降低了主防着板 11上材料剥 落的风险， 进而降低了蒸发源的蒸发口发生塞孔的风险。

需要说明的是， 上述凹面 111 可以是光滑的弧面， 还可以是多个连续分 布或间断分布的平面 （例如， 平面为矩形等） 构成的面。

例如， 图 3 为本公开再一实施例提供的一种防着组件的结 构示意图。 如 图 3所示， 该防着组件 10包括主防着板 11和第一网孔层 13， 该主防着板 11 的具有凹面 111的一侧的表面设置有该第一网孔层 13。

例如， 该主防着板 11的至少部分表面为凹面 111， 该第一网孔层 13也具 有凹面 131，蒸镀材料 12粘附在第一网孔层 13的凹面 131中以及第一网孔层 13的网孔中，这样可以进一步增大主防着板 11朝向蒸发源的蒸发口一侧的表 面积， 以进一步增加蒸後材料 12在防着组件 10上的附着量。

例如， 通过第一网孔层 13中的孔隙不仅可保证蒸镀材料能够进入孔隙� �� 还可以使得在孔隙内表面上的蒸镀材料出现轻 微掉落现象时阻挡其掉落。 此 外， 该孔隙还可以增大第一网孔层 13内表面的面积， 从而可以进一步增大主 防着板 11用于承载蒸镀材料的面积。

需要说明的是， 第一网孔层 13在增大主防着板 11的具有凹面 111一侧的表 面积的同时， 使得主防着板 11上的蒸镀材料可积累的量增多， 当蒸镀材料 12 的积累量相同时， 设置第一网孔层 13的主防着板 11更不容易发生材料剥落的 现象。 即该第一网孔层 13增大了用于承载蒸镀材料的面积， 从而增大了对蒸 镀材料的承载量， 因此， 该防着组件 10使用较长时间后蒸镀材料才会出现掉 落的现象， 从而延长了防着组件 10的更换周期， 进而减少了生产时间的浪费， 也就减少了对产品生产效率造成的影响。

例如， 图 4 为本公开又一实施例提供的一种防着组件的结 构示意图。 如 图 4所示， 该防着组件 10还包括冷却部件 14， 其中， 该冷却部件 14设置在 主防着板 11的背离凹面 111的一侧， 且位于主防着板 11的边緣处， 该冷却部 件 14配置为对主防着板 11的边緣进行冷却。

需要说明的是， 在主防着板 11上安装冷却部件 14后， 材料会累积在温 度较低的部位， 即冷却部件 14对应的主防着板 11 的边緣处， 从而可以进一 步减少蒸镀材料 12在主防着板 11的凹面 111 中部的积累厚度。 即相对于主 防着板 11的凹面 111中部的蒸镀材料，对应主防着板 11的边緣部分的蒸镀材 料 12更容易剥落。 在后续使用包括防着组件 10的蒸镀设备时， 从该主防着 板 11的边緣剥落的蒸镀材料并不会跌落至蒸发源� ��蒸发口中， 造成蒸发源的 蒸发口堵塞， 从而可有效降低蒸发源的蒸发口发生塞孔的风 险。

例如， 如图 4所示， 该冷却部件 14包括非接触式冷却部件或者接触式冷 却部件。

例如， 该冷却部件 14包括冷却媒介， 冷却媒介包括气体冷却媒介或者液 体冷却媒介等。

例如， 该非接触式冷却可以是风冷等， 该接触式冷可以是半导体冷却、 液冷等。

例如， 该防着组件 10包括彼此分离的至少两个冷却部件 14。

例如， 如图 4所示， 该防着组件 10包括两个冷却部件 14。 本公开的实施 例对此不作限定。

需要说明的是， 该防着组件 10也可以仅包括一个冷却部件 14， 或者， 该 防着组件 10也可以包括三个或者三个以上的冷却部件 14, 或者， 也可以在防 着组件 10的整个边緣都布设冷却部件 14。

还需要说明的是， 当设置多个冷却部件 14, 对主防着板 11的边緣进行冷 却时， 可以使得蒸镀材料 12主要位于主防着板 11 的边緣处， 从而可以有效 降低蒸发源的蒸发口发生塞孔的风险。

例如， 在一个示例中， 该冷却部件 14包括冷却管路， 该冷却管路覆盖在 主防着板 11上。 例如， 该冷却管路的形状为 U型， 从而可以对主防着板 11的边 緣进行均勾的冷却。

例如， 图 5 为本公开又一实施例提供的一种防着组件的结 构示意图。 如 图 5所示， 该防着组件 10还包括副防着板 15， 该副防着板 15设置在主防着 板 11的具有凹面 111的一侧， 且副防着板 15被配置为在辅助主防着板 11时 至少一部分位于主防着板 11的防护区域内。

例如， 主防着板 11对蒸镀材料的承载量有限， 当主防着板 11对蒸镀材 料的承载达到一定程度时， 需要有新的防着板来承载持续喷出的蒸镀材料 。

例如， 该副防着板 15为平面型防着板， 这样可以在不需要使用副防着板 15时方便地移开副防着板 15 ; 在需要使用副防着板 15时， 将副防着板 15移 动至主防着板 11的防护区域内。 例如， 如图 5所示， 可以通过马达 18驱动副防着板 15的至少一部分移 动至主防着板 15的防护区域内。

例如， 该副防着板 15的形状不限于上述中的平面型， 该副防着板 15也 可以具有凹面， 即该副防着板 15的横截面的形状也可以为弧形。

例如， 当该防着组件 10用于蒸镀设备中时， 副防着板 15可以辅助遮蔽 蒸发源的蒸发口， 当副防着板 15对蒸发源的蒸发口进行遮蔽时， 副防着板 15 设于主防着板 11朝向蒸发源的蒸发口的一侧， 且副防着板 15的至少一部分 位于主防着板 11的防护区域内。

例如， 副防着板 15可以阻挡从主防着板 11掉落下来的剥落材料， 从而 可以进一步防止剥落的蒸镀材料堵塞蒸发源的 蒸发口， 以起到双重保护的作 用。

例如， 在一个实施例中， 可以在每个主防着板 11的侧面都设置一个副防 着板 15， 该副防着板 15和与其对应的主防着板 11起到双重保护作用， 或者， 在两个或者几个主防着板 11之间设置一个或者多个副防着板 15 ,在需要的时 候利用马达将副防着板 15驱动到需要阻挡的位置， 使其对蒸发源的蒸发口进 行遮蔽。

例如， 主防着板 11和副防着板 15可以是铰链连接或者卡扣连接等。 例如， 如图 5所示， 副防着板 15的远离主防着板 11的一侧的表面设置 有第二网孔层 16， 该第二网孔层 16进一步增大了副防着板 15的远离主防着 板 11的一侧的表面的表面积。

本公开至少一实施例还提供一种蒸後设备， 该蒸後设备包括上述任一实 施例提供的防着组件和蒸发源。 例如， 该防着组件配置为防止蒸发源的蒸发 口被堵塞。

例如， 图 6为本公开一实施例提供的一种蒸镀设备的结� �示意图。如图 6 所示， 在整个蒸镀设备 200中， 可以将主防着板 11的朝向蒸发源 20的蒸发 口的一侧设置为凹面， 即， 主防着板 11具有向背离蒸发源 20的蒸发口一侧 凸起的非平面几何构型。 当主防着板 11 的朝向蒸发源 20的蒸发口的一侧为 凹面时， 增大了主防着板 11朝向蒸发源 20的蒸发口 （例如， 坩埚喷嘴） 一 侧的表面积， 使得单位时间内， 蒸镀材料 12在主防着板 11正对蒸发源 20的 蒸发口的中部所形成的蒸镀材料 12的积累量减少， 且蒸发源 20的蒸发口喷 出蒸镀气体后， 气体附着在主防着板 11 的中部后可以向主防着板 11 的两侧 边部流动， 最后固化在主防着板 11的两侧边部上， 进一步减小了主防着板 11 正对蒸发源 20的蒸发口的中部所形成的蒸镀材料 12的积累量， 可以降低主 防着板 11上材料剥落的风险， 从而进一步降低蒸发源 20的蒸发口发生塞孔 的风险。

需要说明的是， 由于主防着板 11 的朝向蒸发源 20的一侧的表面为凹面 111， 该凹面 111增大了主防着板 11的朝向蒸发源 20—侧的表面积， 从而使 得在单位时间内， 在主防着板 11 的朝向蒸发源 20的一侧的中间区域形成的 蒸镀材料 12的积累量减少， 从而可以有效降低主防着板 11上材料剥落的风 险， 进而减少蒸发源 20发生塞孔的风险。

例如， 如图 6所示， 主防着板 11的横截面的形状为弧形。 当主防着板 11 的横截面为弧形时， 即当主防着板 11 整体形成朝向背离蒸发源 20的蒸发口 （例如， 掛揭喷嘴） 方向的凸起时， 主防着板 11 的朝向蒸发源 20的蒸发口 （例如， 坩埚喷嘴） 的一侧表面为凹面， 该凹面结构可以降低主防着板 11的 制造难度， 从而可以降低主防着板 11的制造成本。

例如， 该弧形为圆形的一部分， 或者， 该弧形为椭圆形的一部分。 当弧 形为椭圆形的一部分时， 可进一步增大主防着板 11朝向蒸发源 20的蒸发口 一侧的表面积， 以更好地减小主防着板 11 的正对蒸发源 20的蒸发口的中间 区域所形成的蒸镀材料 12的积累量， 从而可以有效降低主防着板 11上材料 剥落的风险， 进而降低蒸发源 20的蒸发口发生塞孔的风险。

例如， 该凹面 111 可以是光滑的弧面， 还可以是多个连续分布或间断分 布的平面 （例如， 平面为矩形等） 构成的面。

例如， 该蒸後设备 200中的防着组件 10包括主防着板 11和第一网孔层 13， 该主防着板 11的具有凹面 111的一侧的表面设置有该第一网孔层 13。

例如， 该蒸镀设备 200中的主防着板 11的至少部分表面为凹面 111， 该 第一网孔层 13也具有凹面 131，蒸镀材料 12粘附在第一网孔层 13的凹面 131 中以及第一网孔层 13的网孔中， 这样可以进一步增大主防着板 11朝向蒸发 源的蒸发口一侧的表面积， 以进一步增加蒸镀材料 12在防着组件 10上的附 着量。

例如， 通过第一网孔层 13中的孔隙不仅可保证蒸镀材料能够进入孔隙� �� 还可以使得当在孔隙内表面上的蒸镀材料出现 轻微掉落现象时阻挡其掉落。 此外， 该孔隙还可以增大第一网孔层 13内表面的面积， 从而可以进一步增大 主防着板 11用于承载蒸镀材料的面积。

需要说明的是， 第一网孔层 13在增大主防着板 11的具有凹面 111一侧的表 面积的同时， 使得主防着板 11上的蒸镀材料可积累的量增多。 当蒸镀材料 12 的积累量相同时， 设置第一网孔层 13的主防着板 11更不容易发生材料的剥落 现象。 即该第一网孔层 13增大了用于承载蒸镀材料的面积， 从而增大了对蒸 镀材料的承载量， 因此， 当该蒸镀设备 200中的防着组件 10使用较长时间后蒸 镀材料才会出现掉落现象， 从而延长了该蒸镀设备 200中防着组件 10的更换周 期， 进而减少了生产时间的浪费， 减少了对产品的生产效率造成的影响。

如图 6所示，该蒸镀设备 200中的防着组件 10还包括冷却部件 14,其中， 该冷却部件 14设置在主防着板 11 的背离凹面 111 的一侧， 且位于主防着板 11的边緣处， 该冷却部件 14配置为对主防着板 11的边緣进行冷却。

需要说明的是， 在主防着板 11上安装冷却部件 14后， 材料会累积在温 度较低的部位， 即冷却部件 14对应的主防着板 11 的边緣处， 从而可以减少 蒸镀材料 12在主防着板 11的凹面 111 中部的材料的积累厚度。 即当蒸镀材 料 12内部分材料出现剥落现象时， 相对于位于主防着板 11 的凹面 111 的中 间区域的蒸镀材料， 对应主防着板 11的边緣部分的蒸镀材料 12更容易剥落。 在使用蒸镀设备 200时， 从该主防着板 11的边緣部分剥落的蒸镀材料并不会 跌落至蒸发源 20的蒸发口中造成蒸发源 20的蒸发口堵塞， 从而可以有效降 低蒸发源 20的蒸发口发生塞孔的风险。

例如， 该冷却部件 14包括非接触式冷却部件或者接触式冷却部件� �� 该非 接触式冷却可以是风冷等， 该接触式冷可以是半导体冷却、 液冷等。

例如， 该冷却部件 14包括冷却媒介， 冷却媒介包括气体冷却媒介或者液 体冷却媒介。

例如， 该防着组件 10包括彼此分离的至少两个冷却部件 14。

例如， 如图 6所示， 该防着组件 10包括两个冷却部件 14， 本公开的实施 例对此不作限定。

需要说明的是， 该防着组件 10也可以仅包括一个冷却部件 14， 或者， 该 防着组件 10也可以包括三个或者三个以上的冷却部件 14, 或者， 也可以在防 着组件 10的整个边緣都布设冷却部件 14。

还需要说明的是， 当设置多个冷却部件 14, 对主防着板 11的边緣进行冷 却时， 可以使得蒸镀材料 12主要位于主防着板 11 的边緣处， 从而可以有效 降低蒸发源的蒸发口发生塞孔的风险。

例如， 该冷却部件 14包括冷却管路， 该冷却管路覆盖在主防着板 11上。 例如， 该冷却管路的形状为 U型， 从而可以对主防着板 11进行均勾的冷却。

例如， 图 7 为本公开再一实施例提供的一种蒸镀设备的结 构示意图。 如 图 7所示， 该蒸镀设备 200中的防着组件 10还包括副防着板 15 , 该副防着板 15设置在主防着板 11的具有凹面 111的一侧， 且副防着板 15被配置为在辅 助主防着板 11时至少一部分位于主防着板 11的防护区域内。

例如， 主防着板 11对蒸镀材料的承载量有限， 当主防着板 11对蒸镀材 料的承载达到一定程度时， 需要有新的防着板来承载持续喷出的蒸镀材料 。

例如， 该副防着板 15为平面型防着板， 这样可以方便在不需要使用副防 着板 15时移开副防着板 15, 在需要使用副防着板 15时， 将副防着板 15移动 至主防着板 11的防护区域内。

例如， 该副防着板 15的形状不限于上述中的平面型， 该副防着板 15也 可以具有凹面， 即该副防着板 15的截面形状也可以为弧形。

例如， 当该防着组件 10用于蒸镀设备中时， 副防着板 15可以辅助遮蔽 蒸发源的蒸发口。 当副防着板 15对蒸发源的蒸发口进行遮蔽时， 副防着板 15 设于主防着板 11朝向蒸发源的蒸发口的一侧， 且副防着板 15被配置为在辅 助主防着板 11时至少一部分位于主防着板 11的防护区域内。

例如， 副防着板 15可以阻挡从主防着板 11掉落下来的剥落材料， 从而 可以进一步防止剥落的蒸镀材料堵塞蒸发源的 蒸发口， 以起到双重保护的作 用。

例如， 可以在每个主防着板 11的侧面都设置一个副防着板 15 , 该副防着 板 15和与其对应的主防着板 11起到双重保护作用， 或者， 在两个或者几个 主防着板 11之间设置一个或者多个副防着板 15， 在需要的时候利用马达 18 将副防着板 15驱动到需要阻挡的位置， 使其对蒸发源的蒸发口进行遮蔽。

例如， 主防着板 11和副防着板 15还可以是铰链连接或者卡扣连接等。 例如， 如图 7所示， 该副防着板 15的远离主防着板 11的一侧的表面设 置有第二网孔层 16， 该第二网孔层 16进一步增大了副防着板 15的远离主防 着板 11的一侧的表面的表面积。

例如， 图 8 为本公开又一实施例提供的一种蒸镀设备的结 构示意图， 如 图 8所示， 该蒸镀设备 200还包括待蒸镀基板 17, 蒸发源 20将蒸镀材料蒸镀 到待蒸镀基板 17上， 该待蒸镀基板 17位于蒸发源 20和防着组件 10之间。 例如， 在对蒸发源 20进行升温处理的过程中， 先将待蒸镀基板 17从蒸 发源 20的正上方移开， 在防着组件 10上沉积该部分蒸镀材料， 直到蒸镀的 温度稳定后再将待蒸镀基板 17移动至蒸发源 20的正上方， 使得蒸镀材料蒸 镀到待蒸镀基板上。 当在待蒸镀基板 17上完成蒸镀过程之后， 需要将待蒸镀 基板 17从蒸发源 20的上方移开， 同时需要对蒸发源 20进行降温处理， 由于 蒸发源 20还具有一定的温度， 蒸镀材料还在不断地被蒸出， 此时需要用防着 组件 10对该部分蒸镀材料进行承载， 以防止该部分蒸镀材料粘附到蒸镀设备 的部件上而难以清除， 从而对蒸镀设备中的部件造成损坏。

本公开至少一实施例提供的防着组件以及蒸镀 设备， 具有以下至少一项 有益效果：

( 1 )本公开至少一实施例提供的防着组件，对防� �组件的形状进行改进， 使蒸镀材料的积累具有一定的方向性， 这样蒸镀到防着组件的中间部分的蒸 镀材料由于重力的作用会向防着组件的边緣流 动， 从而使得承载在防着组件 中间区域的蒸镀材料的量减少。

(2) 本公开至少一实施例提供的防着组件， 减轻或者避免了蒸镀材料从 防着组件中间区域掉落的现象， 从而降低了蒸镀材料掉落堵住蒸发源的蒸发 口的风险。

有以下几点需要说明：

( 1 ) 本发明实施例附图只涉及到与本发明实施例涉 及到的结构， 其他结 构可参考通常设计。

(2) 为了清晰起见， 在用于描述本发明的实施例的附图中， 层或区域的 厚度被放大或缩小， 即这些附图并非按照实际的比例绘制。 可以理解， 当诸 如层、 膜、 区域或基板之类的元件被称作位于另一元件“ 上”或“下”时， 该元件 可以“直接”位于另一元件 “上”或“下”， 或者可以存在中间元件。

(3 ) 在不冲突的情况下， 本发明的实施例及实施例中的特征可以相 互组合以得到新的实施例。

以上所述， 仅为本发明的具体实施方式， 但本发明的保护范围并不局限 于此， 本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范 围为准。