PALISSON JULIEN (FR)
BUNOD PHILIPPE (FR)
RIOUFRAYS SYLVAIN (FR)
HADJ-RABAH SMAIL (FR)
REVENDICATIONS MODIFIÉES reçues par le Bureau international le 28 Janvier 2014 (28.01.2014) Revendications modifiées 1. Procédé de détection pour le contrôle d'étanchéité de produits scellés caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes : on place: au moins un produit qui a été scellé (2) au préalable sous atmosphère d'air, d'azote, ou d'argon, dans une enceinte (3) (étape 101), on abaisse, la pression dans l'enceinte (3) à une pression de vide secondaire inférieure à 10'' mbar et, tout en poursuivant le pom ag sous vide secondaire dans l'enceinte (3), on ionise les gaz contenus dans l'enceinte pour surveiller révolution dans l'enceinte (3) de la concentration d'au moins une espèce gazeuse ionisée du volume gazeux contenu dans le produit scell (2) pa rmi l'azote, l'oxygène ou l'argon, par analyse par specUrométrie d'émission optique (étape 103). 2. Procédé de détection selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'avant d'abaisser )a pression dans l'enceinte (3) à une pression de vide secondaire, le procédé de détection comporte une étape préalable de détection de grosses fuites (étape 102) dans laquelle on surveille l'évolution dans l'enceinte de la concentration d'au moins une espèce gaxeuse . 3. Procédé de détection selon la revendication 2, caractérisé en ce que dans l'étape de détection de grosses fuites, on surveille la concentration d'oxygène. 4. Procédé de détection selon Tune des revendications 2 ou 3, caractérisé en ce que dans l'étape de détection de grosses fuites, on abaisse la pression dans l'enceinte (3) à une pression de vide grossier, supérieure à lmbar. 5. Procédé de détection selon l'une des revendications 2 à 4, caractérisé en ce que dans l'étape de détection de grosses fuites, on remplace l'atmosphère de l'enceinte contenant le produit scellé par un gaz de purge et on surveille l'évolution dans l'enceinte de la concentration d'au moins une espèce gazeuse du volume gazeux contenu dans le produit scellé, distincte du gaz de purge, 6. Procédé de détection selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que dans le cas d'une mesure par spectrométrie d'émission optique, on surveille l'évolution du rapport des intensités d'une raie spccLrale distincdve d'azote ou d'oxygène 26 sur une raie spectrale distinctive de vapeur d'eau dans le spectre représentatif des es èces galeuses présences dans l'enceinte (3). 7. Procédé de détection selon la revendication précédente, caractérisé en ce qu'on surveille révolution du rapport des intensités d'une raie spectrale distinctive d'azote sur une raie spectrale distinctive de vapeur d'eau. l'rocédé de détection scion l'une des revendications 6 ou 7, caractérisé en ce qu'on compare le rapport des intensités de la raie spectrale distinctive de l'air et d'une raie spectrale distinctive de vapeur d'eau, avec des rapports d'intensité obtenus pour une pluralité de fuites calibrées au cours d'une descente en pression dans l'enceinte pour quanti fief la fuite. 9. Procédé de détection scion l'une des (revendications précédentes, caractérisé en ce qu'on abaisse la pression dans l'enceinte (3) à une pression de vide secondaire au moins inférieure à 102 mbar. 10. Installation de détection pour Je contrôle d'étancheité de produits scellés comportant : une enceinte (3) configurée pour recevoir au moins un produit qui a été scellé (2) sous atmosphère d'air, d'azote ou d'argon, un groupe de: pompage (4) comportant une pompe à vide primaire (4b) cl une pompe à vide nirbomoléculaire (4a) raccordées en série, l'entrée de la pompe à vide turbomoléculaire (4a) étant raccordée à la sortie de l'enceinte (3), un détecteur de gaz ionisés (7) comportant un moyen d'ionisation des gaz, raccordé à l'enceinte (3), le détecteur de gaû ionisés comportant : - une chambre apte à. être mise en conimunication avec l'enceinte, - un spccLromèlre d'émission optique raccordé à une fenêtre optique de. la. chambre, et - un dispositif de génération de. plasma agencé autour de. la chambre, formant un moyen d'ionisation des a du délccLeur de gaz ionisés, apte à générer un plasma sur les espèces gazeuses présente, dans la chambre, 27 une unité de traitement (¾) connectée au délectent de gaa ionises (7) pour recevoir des signaux représentatifs de l'évolution d'espèces gazeuses, caractérisée en c que l'unité de traitement (8) est configurée pour surveiller l'évolution dans l'enceinte de la concentration d'au moins une espèce gazeus ionisée du volume az ux contenu da s le produit scellé parmi l'azote, l'oxygène, l'argon, et pour comparer l'évolution de la concentration de ladite espèce, gazeuse ionisée à des évolutions calibrées de concentration d'espèce gazeuse d référence, pour ide.nri.fier la présence d'une fuite dudir produit scellé. (2)· |