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Title:
DEVICE FOR CONNECTING A VACUUM CHAMBER TO A VACUUM VALVE
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2012/027763
Kind Code:
A1
Abstract:
A device for connecting a vacuum chamber (1) to a vacuum valve (2) comprises first and second walls (14, 15), of which one wall is part of the vacuum chamber (1) and the other wall is part of the vacuum valve (2), at least one elastic seal (17) for sealing the second wall (15) relative to the first wall (14) and connecting screws (18), which had a shaft (18b, 18b') having a screw thread and a head (18a) and which, for the purpose of connecting the first wall (14) to the second wall (15), are screwed by their screw threads with a respective tightening force into the threaded holes (21) in the second wall (15), wherein the first wall (14) is positioned between front‑side stop surfaces (23), which lie in the region between the first wall (14) and the second wall (15), and a rear‑side stop surfaces (24), which lie on that side of the first wall (14) which faces away from the second wall (15). At least part of the tightening force of a respective connecting screw (18), which amounts to at least 50% of the tightening force of the respective connecting screw (18), is transmitted via at least one force transmitting element (19, 20, 28, 33, 37, 38) without a force flow via the first wall (14) to the second wall (15).

Inventors:
ROHNER RICO (CH)
BERNHART HELMUT (AT)
DUELLI BERNHARD (AT)
Application Number:
PCT/AT2011/000316
Publication Date:
March 08, 2012
Filing Date:
July 27, 2011
Export Citation:
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Assignee:
VAT HOLDING AG (CH)
ROHNER RICO (CH)
BERNHART HELMUT (AT)
DUELLI BERNHARD (AT)
International Classes:
H01L21/67; F16K51/02
Domestic Patent References:
WO2008106634A22008-09-04
Foreign References:
US20080226419A12008-09-18
US4941769A1990-07-17
US20080095593A12008-04-24
US3913959A1975-10-21
US20030044256A12003-03-06
US20080075403A12008-03-27
US20020062808A12002-05-30
GB1442161A1976-07-07
US20080258091A12008-10-23
Attorney, Agent or Firm:
HOFMANN, Ralf et al. (AT)
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Claims:
Patentansprüche Vorrichtung zur Verbindung einer Vakuumkammer (1 ) mit einem Vakuumventil (2) umfassend

eine erste Wand (14), welche Teil der Vakuumkammer (1) oder Teil des mit der Vakuumkammer (1 ) verbundenen Vakuumventils (2) ist,

eine zweite Wand (15), welche, falls die erste Wand (14) Teil der Vakuumkammer (1) ist, Teil des Vakuumventils (2) ist oder welche, falls die erste Wand Teil des Vakuumventils (2) ist, Teil der Vakuumkammer (1 ) ist, und welche Gewindebohrungen (21) aufweist,

mindestens eine an einer der beiden Wände (14, 15) gehaltene und mit der anderen der beiden Wände (14, 15) zusammenwirkende elastische Dichtung (17) zur Abdichtung der zweiten Wand (15) gegenüber der ersten Wand (14), Verbindungsschrauben (18), die einen Schaft (18b, 18b') mit einem Schraubengewinde und einem Kopf (18a) aufweisen und die zur Verbindung der ersten Wand (14) mit der zweiten Wand (15) mit ihren Schraubengewinden mit einer jeweiligen Anzugskraft in die Gewindebohrungen (21 ) der zweiten Wand (15) eingeschraubt sind,

wobei die erste Wand (14) zwischen vorderseitigen Anschlagflächen (23), die im Bereich zwischen der ersten Wand (14) und der zweiten Wand (15) liegen, und rückseitigen Anschlagflächen (24), die auf der von der zweiten Wand (15) abgewandten Seite der ersten Wand (14) liegen, positioniert ist,

dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Teil der Anzugskraft einer jeweiligen Verbindungsschraube (18), der mindestens 50% der Anzugskraft der jeweiligen Verbindungsschraube (18) beträgt, über mindestens ein Kraftübertragungselement (19, 20, 28, 33, 37, 38) ohne einen Kraftfluss über die erste Wand (14) auf die zweite Wand (15) übertragen wird. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die erste Wand (14) Durchtrittsöffnungen (22) aufweist, durch welche sich die Verbindungsschrauben (18) erstrecken.

Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der auf die axialen Richtungen der Verbindungsschrauben (18) bezogene Abstand (a) zwischen den von den vorderseitigen und rückseitigen Anschlagflächen (23, 24) in axialer Richtung der Verbindungsschrauben (18) ausgebildeten Begrenzungen der Bewegung der ersten Wand (14) größer als die Dicke (d) der ersten Wand (14) ist, wobei die erste Wand (14) mit Spiel zwischen den vorderseitigen und rückseitigen Anschlagflächen (23, 24) positioniert ist.

Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass eine jeweilige Verbindungsschraube (18) mindestens ein Kraftübertragungselement (19, 20, 28, 33, 38) durch eine Durchgangsöffnung durch das mindestens eine Kraftübertragungselement durchsetzt.

Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das von der jeweiligen Verbindungsschraube (18) durchsetzte Kraftübertragungselement (28, 38) oder eines der von der jeweiligen Verbindungsschraube durchsetzten Kraftübertragungselemente (19) mindestens eine der vorderseitigen Anschlagflächen (23) aufweist.

Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass das von der jeweiligen Verbindungsschraube (18) durchsetzte Kraftübertragungselement (28) oder mindestens eines der von der jeweiligen Verbindungsschraube (18) durchsetzten Kraftübertragungselemente (20) mindestens eine der rückseitigen Anschlagflächen (24) aufweist.

Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass für zumindest einen Teil der Verbindungsschrauben (18) das von der jeweiligen Verbindungsschraube durchsetzte Kraftübertragungselement oder mindestens eines der von der jeweiligen Verbindungsschraube (18) durchsetzten Kraftübertragungselemente (19, 33) zumindest teilweise in der jeweiligen Durchtrittsöffnung (22) durch die erste Wand (14) angeordnet ist. 8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei Kraftübertragungselemente (19, 20, 33) von der jeweiligen Verbindungsschraube (18) durchsetzt sind, von denen mindestens eines hülsenförmig ausgebildet ist und mindestens eines in Form einer Beilagscheibe ausgebildet ist.

Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen zwei von einer jeweiligen Verbindungsschraube (18) durchsetzten Kraftübertragungselementen (19, 20) ein federelastisches Kraftübertragungselement (28) angeordnet ist, welches eine federelastische Kraft gegen ein Zusammendrücken der beiden Kraftübertragungselemente (19, 20) aufbringt, zwischen denen es angeordnet ist.

Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest für einen Teil der Seitenränder der ersten Wand (14) der jeweilige Seitenrand der ersten Wand (14) in mindestens einen Zwischenraum zwischen ersten und zweiten Haltestegen (28a, 28b) ragt, welche vorderseitige und rückseitige Anschlagflächen (23, 24) bilden und die jeweils von mindestens einem Kraftübertragungselement ausgebildet werden, welches von mindestens einer der Verbindungsschrauben (18) durchsetzt wird. 1 1. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass das Kraftübertragungselement (37) oder mindestens eines der Kraftübertragungselemente (37, 38) von dem, bzw. von denen zumindest ein Teil der Anzugskraft einer jeweiligen Verbindungsschraube (18) auf die zweite Wand (15) übertragen wird, von einer Schulter der jeweiligen Verbindungsschraube (18) gebildet wird, die zwi- sehen zwei Abschnitten eines Schaftes (18b) der Verbindungsschraube ausgebildet ist, welche unterschiedliche Durchmesser aufweisen. 12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 1 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die erste Wand (14) und die zweite Wand (15) über ihre gesamten Ausdehnungen voneinander beabstandet sind.

13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Kraftübertragungselemente (19, 20, 28, 33, 37, 38) bezogen auf alle Richtungen, die parallel zu einer Ebene liegen, welche rechtwinklig zu den Verbindungsschrauben (18) steht, unverschiebbar gegenüber der zweiten Wand (15) gehalten sind, und für die beiden Wände (14, 15) zumindest in eine dieser Richtungen ein Freiraum für eine Wärmeausdehnung bzw. -Schrumpfung einer der Wände gegenüber der anderen der Wände ausgebildet ist.

14. Vakuumventil und Verbindungsteile zur Verbindung des Vakuumventils (2) mit einer Vakuumkammer (1),

wobei das Vakuumventil eine Wand (15), welche mit einer Wand (14) der Vakuumkammer verbindbar ist und welche Gewindebohrungen (21) aufweist, und mindestens eine an der Wand (15) des Vakuumventils (2) gehaltene elastische Dichtung (17) umfasst, und

wobei die Verbindungsteile Verbindungsschrauben umfassen, welche einen Schaft (18b, 18b') mit einem Schraubengewinde und einen Kopf (18a) aufweisen und welche zur Verbindung der Wand (14) der Vakuumkammer (1 ) mit der Wand (15) des Vakuumventils (2) in die Gewindebohrungen der Wand (15) des Vakuumventils (2) mit einer jeweiligen Anzugskraft einschraubbar sind, wobei von den Verbindungsteilen vorderseitige und rückseitige Anschlagflächen (23, 24) ausgebildet werden, die in axialer Richtung der Verbindungsschrauben (18) beabstandet sind und zwischen denen die Wand (14) der Vakuumkammer (1 ) positionierbar ist,

dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Teil der Anzugskraft der jeweiligen Verbindungsschraube (18), der mindestens 50% der Anzugskraft der jeweiligen Verbindungsschraube (18) beträgt, über mindestens ein Kraftübertragungselement (19, 20, 28, 33, 37, 38) der Verbindungsteile auf die Wand (15) des Vakuumventils (2) ohne einen über die Wand (14) der Vakuumkammer (1 ) verlaufenden Kraftfluss übertragbar ist.

Description:
Vorrichtung zur Verbindung einer Vakuumkammer mit einem Vakuumventil

Die Erfindung bezieht sich auf Vorrichtung zur Verbindung einer Vakuumkammer mit einem Vakuumventil umfassend

eine erste Wand , welche Teil der Vakuumkammer oder Teil des mit der Vakuumkammer verbundenen Vakuumventils ist,

eine zweite Wand, welche, falls die erste Wand Teil der Vakuumkammer ist, Teil des Vakuumventils ist oder welche, falls die erste Wand Teil des Vakuumventils ist, Teil der Vakuumkammer ist, und welche Gewindebohrungen aufweist,

mindestens eine an einer der beiden Wände gehaltene und mit der anderen der beiden Wände zusammenwirkende elastische Dichtung zur Abdichtung der zweiten Wand gegenüber der ersten Wand,

Verbindungsschrauben, die einen Schaft mit einem Schraubengewinde und einem Kopf aufweisen und die zur Verbindung der ersten Wand mit der zweiten Wand mit ihren Schraubengewinden mit einer jeweiligen Anzugskraft in die Gewindebohrungen der zweiten Wand eingeschraubt sind,

wobei die erste Wand zwischen vorderseitigen Anschlagflächen, die im Bereich zwischen der ersten Wand und der zweiten Wand liegen, und rückseitigen Anschlagflächen, die auf der von der zweiten Wand abgewandten Seite der ersten Wand liegen, positioniert ist. Weiters bezieht sich die Erfindung auf ein Vakuumventil und Verbindungsteile zur Verbindung des Vakuumventils mit einer Vakuumkammer,

wobei das Vakuumventil eine Wand, welche mit einer Wand der Vakuumkammer verbindbar ist und welche Gewindebohrungen aufweist, und mindestens eine an der Wand des Vakuumventils gehaltene elastische Dichtung umfasst, und

wobei die Verbindungsteile Verbindungsschrauben umfassen, welche einen Schaft mit einem Schraubengewinde und einen Kopf aufweisen und welche zur Verbindung der Wand der Vakuumkammer mit der Wand des Vakuumventils in die Gewindeboh- rungen der Wand des Vakuumventils mit einer jeweiligen Anzugskraft einschraubbar sind, wobei von den Verbindungsteilen vorderseitige und rückseitige Anschlagflächen ausgebildet werden, die in axialer Richtung der Verbindungsschrauben beabstandet sind und zwischen denen die Wand der Vakuumkammer positionierbar ist.

Prozesskammern von Vakuumanlagen werden in bestimmten Vakuumprozessen auf hohe Temperaturen aufgeheizt, beispielsweise auf bis zu 300 °C. Eine solche Prozesskammer ist über ein offen- und schließbares Vakuumventil mit einer weiteren Vakuumkammer (=Transferkammer) verbunden, von der aus die Zufuhr der zu bearbeitenden Substrate in die Prozesskammer erfolgt. Diese weitere Kammer weist eine gegenüber der aufgeheizten Prozesskammer relativ geringe Temperatur auf, vorzugsweise von höchstens 50°C. Durch diese Temperaturunterschiede kommt es beim Aufheizen der Prozesskammer zu unter-schiedlichen Wärmeausdehnungen, die zu unzulässig hohen Verspannungen der Teile führen können. Weiters können durch die Wärmeübertragung von der Prozesskammer über das Vakuumventil sehr hohe Energieverluste über das Vakuumventil auftreten, die im Bereich mehrerer kW liegen können. Aus der US 2008/0258091 A1 geht eine Vorrichtung zur Verbindung einer auf höhere Temperaturen aufheizbaren Prozesskammer mit einem Vakuumventil hervor, welches seinerseits mit einer Transferkammer verbunden ist. Hierbei durchsetzen Verbindungsschrauben, die in Gewindebohrungen in einer Wand des Ventils eingeschraubt sind, Durchtrittsöffnungen in einer Wand eines Flansches der Vakuum- kammer (=Prozesskammer) mit Spiel. Eine das Ventil gegenüber der Vakuumkammer abdichtende elastische Dichtung ist in einer Aufnahmenut in der Wand des Ventils angeordnet. In der Wand des Ventils sind weitere Vertiefungen ausgebildet, in denen Distanzteile angeordnet sind, welche über die Wand des Ventils etwas vorstehen und die maximale Annährung der Wand der Vakuumkammer an die Wand des Vakuumventils begrenzen. Die Distanzteile sind aus einem Material mit einem gegenüber der Wand der Vakuumkammer niedrigen Reibungskoeffizienten ausgebildet oder weisen eine Beschichtung mit einem solchen Material auf. Dadurch wird eine in Reinräumen unerwünschte Produktion von Partikeln bei der thermischen Ausdehnung der Vakuumkammer verringert und ein Gleiten der Wand der Vakuumkammer gegenüber der Wand des Vakuumventils ermöglicht. Zudem sind diese Abstandsteile aus einem Material mit einer geringen Wärmeleitfähigkeit ausgebildet, um den Wärmeübergang zwischen der Vakuumkammer und dem Vakuumventil zu verringern. Bei dieser Einrichtung kann es aber zu Verspannungen bezogen auf die axialen Richtungen der Verbindungsschrauben kommen, beispielsweise durch eine Wärmeausdehnung der Wand der Vakuumkammer, wodurch ein Gleiten der Wand der Vakuumkammer gegenüber der Wand des Vakuumventils behindert wird. Wei- ters sind die Distanzteile in Bereichen neben den Verbindungsschrauben angeordnet, wodurch es aufgrund von Momenten zu Verbiegungen des Flansches der Vakuumkammer kommen kann. Durch Verspannungen in Folge von Wärmeausdehnungen werden diese Momente noch erhöht. Aufgabe der Erfindung ist es, eine vorteilhafte Verbindung zwischen einer Vakuumkammer, welche auf höhere Temperaturen aufgeheizt wird, insbesondere auf Temperaturen von über 150°C, und einem Vakuumventil bereit zu stellen. Erfindungsgemäß gelingt dies durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 bzw. durch ein Vakuumventil und Verbindungsteile mit den Merkmalen des Anspruchs 14.

Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird zumindest ein Teil der Anzugskraft einer jeweiligen Verbindungsschraube, mit der diese in die Gewindebohrung in der zweiten Wand eingeschraubt ist, wobei dieser Teil mindestens 50% der Anzugskraft der jeweiligen Verbindungsschraube beträgt, über mindestens ein Kraftübertra- gungselement auf die zweite Wand übertragen, und zwar ohne dass für diesen Teil der Anzugskraft der jeweiligen Verbindungsschraube ein über die erste Wand verlaufender Kraftfluss vorliegt. Ein weiterer Teil der Anzugskraft einer jeweiligen Verbindungsschraube, der höchstens 50% der Anzugskraft einer jeweiligen Verbindungsschraube beträgt, kann gegebenenfalls auf die erste Wand übertragen wer- den. Mit anderen Worten ausgedrückt verläuft über die erste Wand höchstens 50% des Kraftflusses der Anzugskraft einer jeweiligen Verbindungsschraube und über das mindestens eine Kraftübertragungselement verläuft mindestens 50% des Kraftflusses der Anzugskraft der jeweiligen Verbindungsschraube. Hierbei kann, wie dies in einem vorteilhaften Ausführungsbeispiel der Erfindung vorgesehen ist, der gesamte Kraftfluss (100%) oder zumindest im Wesentlichen der gesamte Kraftfluss (d. h. zumindest 95%) der Anzugskraft der jeweiligen Verbindungsschraube über das min- destens eine Kraftübertragungselement verlaufen und somit über die erste Wand kein Kraftfluss (0%) oder zumindest im Wesentlichen kein Kraftfluss (d. h. weniger als 5%) der Anzugskraft der jeweiligen Verbindungsschraube erfolgen. Falls in einem weiteren Ausführungsbeispiel der Erfindung ein gewisser Teil des Kraftflusses über die erste Wand erfolgt, so wird der durch die Anzugskraft der jeweiligen Verbin- dungsschraube bewirkte Kraftfluss also aufgeteilt, d. h. ein Teil von mindestens 50%, vorzugsweise mindestens 70%, fließt über das mindestens eine Kraftübertragungselement und ein Teil von höchstens 50%, vorzugsweise höchstens 30% fließt über die erste Wand. Die Anzugskraft, mit der eine jeweilige Verbindungsschraube in das jeweilige

Schraubengewinde der zweiten Wand eingeschraubt wird, entspricht der Auszugskraft, die auf das Schraubengewinde der jeweiligen Verbindungsschraube wirkt und die somit auch auf das Gewinde der jeweiligen Gewindebohrung wirkt und von diesem als Gegenkraft aufgebracht werden muss. Die Auszugskraft wird über das jewei- lige Gewinde der Gewindebohrung auf die zweite Wand abgeleitet bzw. übertragen.

Das mindestens eine Kraftübertragungselement ist somit von der zumindest teilweise über ihn fließenden Anzugskraft der jeweiligen Verbindungsschraube mit der ers- ten Wand verspannt.

Durch die erfindungsgemäße Ausbildung mit mindestens einem Kraftübertragungselement, über welches zumindest 50% der Anzugskraft einer jeweiligen Verbindungsschraube ohne Kraftfluss über die erste Wand auf die zweite Wand übertragen wird, kann eine stabile Verbindung mit der zweiten Wand ausgebildet werden, wobei Bewegungen aufgrund von Wärmeausdehnungen bzw. -Schrumpfungen von einer der beiden Wände gegenüber der anderen der beiden Wände ohne Überwin- dung großer entgegenwirkender Kräfte er-möglicht werden. Partikelproduktionen und/oder Verschleiß beispielsweise von gleitbeschichteten Teilen können dadurch vermindert werden. Wie bereits erwähnt, wird in einem vorteilhaften Ausführungsbeispiel der Erfindung vorgesehen, dass die gesamte oder zumindest im Wesentlichen die gesamte Anzugskraft einer jeweiligen Verbindungsschraube über mindestens ein Kraftübertragungselement auf die zweite Wand übertragen. Hierzu ist der auf die axialen Richtungen der Verbindungsschrauben bezogene Abstand zwischen den von den vor- derseitigen und rückseitigen Anschlagflächen ausgebildeten Begrenzungen, der Bewegung der ersten Wand, bezogen auf die axiale Richtung der Verbindungsschrauben, größer als die Dicke der ersten Wand. Die erste Wand ist also mit Spiel zwischen den vorderseitigen und rückseitigen Anschlagflächen positioniert. Die erste Wand kann in dieser Ausführungsform somit nicht an die vorderseitigen und die rückseitigen Anschlagflächen gleichzeitig angedrückt sein. Das Spiel, welches die Bewegung der ersten Wand gegenüber den von den vorderseitigen und rückseitigen Anschlagflächen ausgebildeten Begrenzungen aufweist, ist günstigerweise größer als 0,1 mm. Beispielsweise kann dieses Spiel kleiner als 0,5mm sein. Dieses Spiel wird durch die Elastizität der mindestens einen elastischen Dichtung aufgenommen. Je nach Position der Wand zwischen den vorderseitigen und rückseitigen Anschlagflächen ist diese mindestens eine elastische Dichtung mehr oder weniger gequetscht. Für alle aufgrund der Bewegungen der ersten Wand zwischen den von den vorderseitigen und rückseitigen Anschlagflächen gebildeten Begrenzungen möglichen Quetschungen der mindestens einen elastischen Dichtung liegt einerseits eine ausreichende Verpressung zur gegenseitigen Abdichtung der beiden Wände vor, andererseits liegt eine nicht zu starke Verpressung vor, um nicht einen zu großem Stress auf die mindestens eine elastische Dichtung auszuüben, durch welche diese beschädigt oder vorzeitig verschlissen werden könnte.

Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass die Kraftübertragungselemente von den Verbindungsschrauben getrennte Teile sind. Als Verbin- dungsteile, mit denen das Vakuumventil mit der Vakuumkammer unter Zwischenschaltung mindestens eines elastischen Dichtrings verbunden wird, sind somit Verbindungsschrauben und mindestens ein Typ von Kraftübertragungselementen vorhanden. Jede der Verbindungsschrauben durchsetzt hierbei mindestens ein Kraft- Übertragungselement, über welches zumindest ein Teil der Anzugskraft der Verbindungsschraube ohne Kraftfluss über die erste Wand auf die zweite Wand übertragen wird (direkt oder über mindestens ein weiteres Kraftübertragungselement).

Eine mögliche Ausführungsvariante sieht hierbei vor, dass das von der jeweiligen Verbindungsschraube durchsetze Kraftübertragungselement oder mindestens eines der von der jeweiligen Verbindungsschraube durchsetzten Kraftübertragungselemente zumindest teilweise in einer jeweiligen Durchtrittsöffnung angeordnet ist, welche die erste Wand durchsetzt und durch welche somit auch der Schaft der jeweiligen Verbindungsschraube verläuft. Zumindest für einen Teil der Verbindungs- schrauben liegt hierbei ein Spiel zwischen dem zumindest teilweise in der Durchtrittsöffnung angeordneten Kraftübertragungselement und der Durchtrittsöffnung und/oder zwischen dem Schaft der Verbindungsschraube und dem mindestens einen vom Schaft der Verbindungsschraube durchsetzten und zumindest teilweise in der Durchtrittsöffnung durch die erste Wand liegenden Kraftübertragungselement vor. Durch dieses Spiel wird eine Wärmeausdehnung und -Schrumpfung einer der beiden Wände gegenüber der anderen der beiden Wände ermöglicht. Das Spiel liegt bezogen auf zumindest eine Richtung vor, die parallel zu einer rechtwinklig zu den Verbindungsschrauben stehenden Ebene liegt. Es kann sich hierbei um eine Hauptwärmeausdehnungs- und Hauptwärmeschrumpfungsrichtung handeln. In an- dere Richtungen kann günstigerweise zumindest ein kleineres Spiel vorliegen. Es kann auch in alle Richtungen parallel zur genannten Ebene ein gleich großes Spiel vorliegen.

In einer weiteren möglichen Ausführungsvariante wird vom mindestens einen von der jeweiligen Verbindungsschraube durchsetzen Kraftübertragungselement einer der Seitenränder der ersten Wand umgriffen. Es sind hierzu erste und zweite Haltestege vorhanden, die von mindestens einem Kraftübertragungselement gebildet werden und von denen der erste Haltesteg eine der vorderseitigen Anschlagflächen für die erste Wand und der zweite Haltesteg eine der rückseitigen Anschlagflächen für die erste Wand bildet. Ein Randabschnitt der ersten Wand ragt somit zwischen diese beiden Haltestege. Günstigerweise sind diese beiden Haltestege an einem Basisabschnitt eines einzelnen Kraftübertragungselements angeordnet, von welchem sie seitlich abstehen. Für alle Seitenränder der ersten Wand ist mindestens ein Kraftübertragungselement vorhanden, von dem dieser Seitenrand umgriffen wird.

Zumindest an einem der Seitenränder, vorzugsweise an zumindest einem von jeweils zwei gegenüberliegenden Seitenrändern der ersten Wand, ist ein Spiel zwischen dem Seitenrand der ersten Wand und dem mindestens einen von der jeweiligen Verbindungsschraube durchsetzten Kraftübertragungselement vorhanden, durch welches ein Freiraum für eine Wärmeausdehnung und -Schrumpfung einer der beiden Wände gegenüber der anderen der beiden Wände in die entsprechende Rich- tung bereitgestellt wird.

Auch Mischformen der genannten ersten und zweiten Ausführungsvarianten sind denkbar und möglich. In einer anderen möglichen Ausführungsform der Erfindung bilden die Kraftübertragungselemente nicht von den Verbindungsschrauben unabhängige Teile sondern werden von einer Schulter der jeweiligen Verbindungsschraube gebildet, die zwischen zwei Abschnitten der Verbindungsschraube ausgebildet ist, welche unterschiedliche Durchmesser aufweisen. Diese Schulter der jeweiligen Verbindungs- schraube kann hierbei direkt gegen die zweite Wand (in einem Bereich neben der Gewindebohrung in der zweiten Wand, in welche diese Verbindungsschraube eingeschraubt ist) verspannt sein. Möglich ist auch eine Verspannung gegen ein Abstandsteil, insbesondere eine Beilagscheibe, welches zwischen der Schulter der Verbindungsschraube und der zweiten Wand liegt. Dieses Abstandsteil bildet somit ein weiteres Kraftübertragungselement, über welches zumindest ein Teil der Anzugskraft, vorzugsweise die gesamte Anzugskraft dieser Verbindungsschraube auf die zweite Wand übertragen wird (ohne Kraftfluss über die erste Wand). Im letzteren Fall werden also erste Kraftübertragungselemente von den Schultern der Verbindungsschrauben und zweite Kraftübertragungselemente von zwischen den Schultern der Verbindungsschrauben und der zweiten Wand angeordneten Abstandsteilen gebildet. Die rückseitigen Anschlagflächen können hierbei günstigerweise von den Köp- fen der Verbindungsschrauben gebildet werden. Die vorderseitigen Anschlagflächen können beispielsweise vom Abstandsteil oder von einem zwischen der ersten Wand und der zweiten Wand eingelegten Ring gebildet werden. Vorteilhafterweise besitzt die erste Wand gegenüber den vorderseitigen und rückseitigen Anschlagflächen ein Spiel.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung werden im Folgenden anhand der beiliegenden Zeichnung erläutert. In dieser zeigen:

Fig. 1 einen schematischen Schnitt durch ein in erfindungsgemäßer Weise mit einer Vakuumkammer verbundenes Vakuumventil (Schnittlinie AA von Fig. 2);

Fig. 2 einen Schnitt entlang der Linie BB von Fig. 1 ;

Fig. 3 einen vergrößerten Ausschnitt von Fig. 1 ;

Fig. 4 ein zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung, in einem Schnitt analog Fig. 1 ; Fig. 5 und 6 eine Ansicht und eine Seitenansicht einer möglichen Ausführungsform des Kraftübertragungselementes für das Ausführungsbeispiel von Fig. 4;

Fig. 7 einen Teilschnitt (analog Fig. 3) eines dritten Ausführungsbeispiels;

Fig. 8 einen Teilschnitt (analog Fig. 3) eines vierten Ausführungsbeispiel;

Fig. 9 einen Teilschnitt (analog Fig. 3) eines fünften Ausführungsbeispiels und Fig. 10 einen Teilschnitt (analog Fig. 3) eines sechsten Ausführungsbeispiels.

Ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den Fig. 1 bis 3 dargestellt. Ein Vakuumventil 2 ist in erfindungsgemäßer Weise mit einer Vakuumkammer 1 verbunden. Das Vakuumventil 2, welches in Fig. 1 nur stark schematisiert dargestellt ist, um- fasst ein Ventilgehäuse mit ersten und zweiten Offnungen 4, 5, die einen Durchgang durch das Vakuumventil ausbilden. Im geschlossenen Zustand des Vakuumventils ist die Öffnung 4 von einem Verschlussglied 6 vakuumdicht verschlossen (möglich wäre in modifizierten Formen des Ventils auch ein Verschluss der Öffnung 5 oder beider Öffnungen 4, 5). Das Verschlussglied 6 ist an einer Ventilstange 7 angebracht, die von einer Betätigungseinheit 8, beispielsweise einer Kolben-Zylinder-Einheit verschiebbar ist. Zum vollständigen Öffnen des Vakuumventils wird das Verschlussglied 6 ausgehend von der in Fig. 1 dargestellten Stellung durch Verschiebung der Ven- tilstange 7 in die Richtung des Pfeils 9 in einen neben den Öffnungen 4, 5 liegenden Bereich verschoben, wodurch der Durchgang durch das Vakuumventil freigegeben wird. Zum vollständigen Schließen des Vakuumventils wird ausgehend von der in Fig. 1 dargestellten Stellung die Dichtung 10 des Verschlussgliedes 6 an das Ventilgehäuse im Bereich neben der Öffnung 4 angedrückt. Dies kann beispielsweise durch einen zusätzlichen, im Verschlussglied 6 vorhandenen Aktuator erfolgen, durch den eine die Dichtung 10 aufweisende Ventilplatte des Verschlussgliedes an das Ventilgehäuse 3 angedrückt wird. Auch eine Verkippung der Ventilstange 7 um eine rechtwinklig zur Ventilstange 7 stehende Achse ist hierzu möglich. Weiters kann das Verschlussglied 6 mit einem Spreizmechanismus versehen sein, so dass beim Andrücken des Verschlussgliedes 6 an einen Anschlag (nicht dargestellt in Fig. 1) mittels der Betätigungseinheit 8 das Verschlussglied aufgespreizt wird.

Die Art des Öffnens und Schließens des Vakuumventils 2 kann in unterschiedlicher Weise entsprechend dem Stand der Technik erfolgen und ist nicht Gegenstand der vorliegenden Erfindung.

Das Vakuumventil 2 ist mit einer weiteren Vakuumkammer 1 1 vakuumdicht verbunden. Hierbei überlappt die Öffnung 5 des Ventilgehäuses 3 mit einer Öffnung 12 der Vakuumkammer 1 1 zumindest teilweise. Die Verbindung erfolgt unter Zwischen- Schaltung einer elastischen Dichtung 13, die beispielsweise in einer Nut im Ventilgehäuse 3 gehalten ist und an den Flansch der Vakuumkammer 1 1 angedrückt ist. Die Verbindung erfolgt in herkömmlicher Weise mittels Schrauben, die in Fig. 1 nur durch strichlierte Linien angedeutet sind. Die vakuumdichte Verbindung zwischen der Vakuumkammer 1 und dem Vakuumventils 2 erfolgt durch eine Verbindung der Wand 14 der Vakuumkammer 1 mit der Wand 15 des Ventilgehäuses 3 des Vakuumventils mittels weiter unten beschriebe- nen Verbindungsteilen. Im verbundenen Zustand überlappen eine Öffnung 16 der Vakuumkammer 1 mit der Öffnung 4 des Ventilgehäuses 3 zumindest teilweise. Die Abdichtung erfolgt durch eine zwischen den beiden Wänden 14, 15 angeordnete ringförmige elastische Dichtung 17, die die Öffnungen 4 im Ventilgehäuse 3 und 16 in der Wand 14 der Vakuumkammer 1 umgibt. Die elastische Dichtung 17 ist im gezeigten Ausführungsbeispiel in einer Nut in der Wand 15 des Vakuumventils 2 gehalten und an eine Dichtfläche der Wand 14 angedrückt. Auch eine umgekehrte Ausbildung (Halterung in einer Nut in der Wand 14) ist denkbar und möglich. Bei der Vakuumkammer 1 kann es sich beispielsweise um eine Prozesskammer einer Vakuumanlage handeln, in der mindestens ein Vakuumprozess bei einer erhöhten Temperatur durchgeführt wird. Bei der Vakuumkammer 1 1 kann es sich beispielsweise um eine Transferkammer einer Vakuumanlage handeln, von der aus die zu bearbeitenden Werkstücke im geöffneten Zustand des Vakuumventils 2 in die Vakuum- kammer 1 transportiert werden und von dieser, nach Durchführung des Prozesses entnommen werden. Während der Durchführung des Prozesses ist das Vakuumventil 2 üblicherweise geschlossen.

Die Temperatur, auf weiche die Vakuumkammer 1 bei der Durchführung des Vaku- umprozesses aufgeheizt wird, kann über 150°C, gegebenenfalls über 250°C (insbesondere bis 300°C) betragen. Das Vakuumventil 2 soll hierbei möglichst„kühl" bleiben, vorzugsweise soll die Temperatur des Vakuumventils 2 unter 70°C, besonders bevorzugt unter 50°C betragen. Als Verbindungsteile zur mechanischen Verbindung der Vakuumkammer 1 mit dem Vakuumventil 2, wobei die elastische Dichtung 17 zwischen den Wänden 14, 15 verquetscht ist, dienen im Ausführungsbeispiel von Fig. 1 bis Fig. 3 Verbindungsschrauben 18 und Kraftübertragungselemente 19, 20. Die Verbindungsschrauben 18 und die Kraftübertragungselemente 19, 20 bilden Verbindungsteile zur Verbindung der Vakuumkammer 1 mit dem Vakuumventil 2. Die Verbindungsschrauben 18 sind in als Sacklochbohrungen ausgeführte Gewindebohrungen eingeschraubt, welche in die Wand 15 des Vakuumventils eingebracht sind. Es ist hierbei eine Mehrzahl von Gewindebohrungen vorhanden, die ringförmig um die Öffnung 4 mit jeweiligem Abstand zueinander angeordnet sind. In jede der Gewindebohrungen 21 ist eine Verbindungsschraube 18 mit einem Schraubengewinde, welches der Schaft 18b der jeweiligen Verbindungsschraube 18 aufweist, eingeschraubt. Die Verbindungsschrauben 18 durchsetzen Durchtrittsöffnungen 22 in der Wand 14 der Ventilkammer. Die Durchtrittsöffnungen 22 umgeben somit die Öffnung 16 ringförmig (mit jeweiligem Abstand zueinander). Die Durchtrittsöffnun- gen 22 sind beispielsweise wie dargestellt in einem überstehenden, ringförmigen Abschnitt der Wand 1 ausgebildet, der eine Art Flansch bildet.

Die Verbindungsschrauben 18 weisen parallel zueinander liegende Längsachsen 25 auf.

Von jeder der Verbindungsschrauben 18 werden ein Kraftübertragungselement 19 und ein Kraftübertragungselement 20 durchsetzt. Die Kraftübertragungselemente 19 sind hülsenförmig ausgebildet und stützen sich an der Wand 15 des Vakuumventils 2 ab. Die Kraftübertragungselemente 20 sind in Form von Beilagscheiben ausgebildet und jeweils zwischen dem Kraftübertragungselement 19 und dem Kopf 18a der Verbindungsschraube angeordnet und zwischen diesen geklemmt.

Die Kraftübertragungselemente 19, 20 sind zwischen Köpfen 18a der Verbindungsschrauben 18 und der Wand 15 des Vakuumventils 2 verspannt. Im Anlagebereich weist die Wand 15 vorzugsweise wie dargestellt Vertiefungen auf, in welche die Kraftübertragungselemente 19 ragen.

Die Kraftübertragungselemente 19 weisen jeweils an ihrem an der Wand 15 anliegenden Ende einen nach außen abstehenden, ringförmigen Bund 19a auf. Die von der Wand 15 des Vakuumventils 2 abgewandte Fläche des Bundes 19a bildet eine vorderseitige Anschlagfläche 23. Die der Wand 15 des Vakuumventils 2 zugewandte Fläche des Kraftübertragungselementes 20 bildet eine rückseitige Anschlagfläche 24. Die Wand 14 der Vakuumkammer 1 ist zwischen den beiden Anschlagflächen 23, 24 positioniert. Die vorderseitige Anschlagfläche 23 liegt somit im Bereich zwischen der Wand 14 der Vakuumkammer 1 und der Wand 15 des Vakuumventils 2. Die rückseitige Anschlagfläche 24 liegt somit auf der von der Wand 15 des Vakuumventils 2 abgewandten Seite der Wand 14 der Vakuumkammer 1 . Der in Richtung der Längsachse 25 der Verbindungsschraube 18 gemessenen Abstand a zwischen der vorderseitigen und der rückseitigen Anschlagfläche 23, 24 ist größer als die in die gleiche Richtung gemessene Dicke d der Wand 14 der Vakuumkammer. Die Wand 14 hat somit ein Spiel zwischen der vorderseitigen Anschlagfläche 23 und der rückseitigen Anschlagfläche 24.

In den Fig. ist die Wand 14 an die rückseitigen Anschlagflächen 24 anliegend dargestellt und hat somit einen Abstand von den vorderseitigen Anschlagflächen 23. Im Sinne einer solchen Anlage wirkt die von der Verpressung der elastischen Dichtung 17 herrührende Kraft. Es könnten aber weitere Kräfte z. B. auf die Vakuumkammer 1 einwirken, durch welche die Wand 14 an die vorderseitigen Anschlagflächen 23 angedrückt wird, beispielsweise durch Verspannungen bei der Aufstellung der Vakuumanlage (z. B. nicht vollständig nivellierte Aufstellungen) oder durch ein Vakuum in der Vakuumkammer 1 und/oder im Vakuumventil 2 und/oder in der Vakuumkammer 1 1 hervorgerufene Kräfte. Die Wand 14 wäre dann von den rückseitigen Anschlagflächen 24 beabstandet.

Der durch die Anzugskraft einer jeweiligen Verbindungsschraube 18 bewirkte Kraft- fluss erfolgt in diesem Ausführungsbeispiel somit vom Kopf 18a der Verbindungs- schraube 18 über die Kraftübertragungselemente 20, 19 auf die Wand 15 des Vakuumventils 2. Dieser Kraftfluss ist in Fig. 3 durch einen Pfeil 26 angedeutet. Wenn die Wand 14 der Vakuumkammer 1 von den rückseitigen Anschlagflächen 24 beabstandet ist, erfolgt 100% des von den Anzugkräften der Verbindungsschrauben 18 bewirkten Kraftflusses über die Kraftübertragungselemente 20, 19. Wenn die Wand 14 an den rückseitigen Anschlagflächen 24 anliegt, so kann ein sehr geringer Teil des Kraftflusses (der kleiner als 5% ist) durch die elastische Kraft der mindestens einen elastischen Dichtung 17 über die Wand 14 der Vakuumkammer 1 und die mindestens eine elastische Dichtung 17 verlaufen.

Bezogen auf zumindest eine Richtung, die parallel zu einer Ebene 50 liegt, welche ihrerseits rechtwinklig zu den Längsachsen 25 der Verbindungsschrauben 18 steht, weisen die die Durchtrittsöffnungen 22 durchsetzenden Kraftübertragungselemente 19 ein Spiel gegenüber den Rändern dieser Durchtrittsöffnungen 22 auf. Es liegt somit ein Freiraum für eine Wärmeausdehnung der Wand 14 vor, wenn die Vakuumkammer 1 aufgeheizt wird. Dieser Freiraum wird zumindest in die Hauptwärmeaus- dehnungsrichtung vorgesehen. Bevorzugterweise ist für alle Richtungen parallel zur Ebene 50 ein solcher Freiraum vorgesehen (durch ein Spiel des jeweiligen Kraftübertragungselementes 19 gegenüber der Wand 14). Ein solcher Freiraum ist auch dann gegeben, wenn an einer Stelle der Wand 14, welche einen Fixpunkt darstellt, kein Spiel zwischen dem jeweiligen Kraftübertragungselement 19 und dem Rand der Durchtrittsöffnung 22 vorliegt, welche vom Kraftübertragungselement 19 durchsetzt wird.

Die Wand 14 der Vakuumkammer 1 und die Wand 15 des Vakuumventils 2 sind über ihre gesamten Ausdehnungen voneinander beabstandet, stehen also nicht unmit- telbar miteinander in Kontakt. Eine Wärmeübertragung kann somit nur über die diese beiden Wände 14, 15 verbindenden Teile erfolgen. Im Ausführungsbeispiel besteht ein Wärmeübertragungsweg über die mindestens eine elastische Dichtung. Ein weiterer Wärmeübertragungsweg besteht über die Kraftübertragungselemente 20 und weiter entweder über die Kraftübertragungselemente 19 oder über die Verbin- dungsschrauben 18. Vorteilhafterweise werden diese Teile aus schlecht wärmeleitenden Materialien ausgebildet oder es wird zumindest eines der in einem jeweiligen Wärmeübertragungsweg liegenden Teile aus einem schlecht wärmeleitendem Material ausgebildet. Die mindestens eine elastische Dichtung 17 kann beispielsweise aus Viton bestehen. Die Kraftübertragungselemente 19, 20 bestehen vorzugsweise aus Materialien mit guten Gleiteigenschaften, zumindest in den Bereichen, welche die Anschlagflächen 23, 24 bilden. Sie können hierzu beispielsweise mit Materialien mit guten Gleiteigenschaften beschichtet sein. Als Materialien kommen beispielsweise Edelstahl mit ei- ner Beschichtung beispielsweise aus Molybdändisulfid oder Wolframdisulfid oder einer Kunststoffschicht, wie Teflon, in Frage. Auch eine Ausbildung ganz aus Metall, wie z. B. Amco (Nickel-Bronze-Legierung) oder ganz aus Kunststoff, wie beispielsweise Peek, ist denkbar und möglich. Ein zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den Fig. 4 bis 6 dargestellt. Abgesehen von den im Folgenden beschriebenen Unterschieden entspricht dieses Ausführungsbeispiel dem zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiel.

Als Verbindungsteile zur Verbindung der Vakuumkammer 1 mit dem Vakuumventil 2 sind wiederum Verbindungsschrauben 18 vorgesehen. Diese durchsetzen in diesem Ausführungsbeispiel aber keine Durchtrittsöffnungen 22 durch die Wand 14 der Vakuumkammer. Die in die Gewindebohrungen 21 der Wand 15 des Vakuumventils 2 eingeschraubten Verbindungsschrauben 18 liegen neben einem jeweiligen Seitenrand 27 der Wand 14.

Als weitere Verbindungsteile sind Kraftübertragungselemente 28 vorhanden. Diese werden von den Verbindungsschrauben 18 durch Durchgangsöffnungen 29 durchsetzt. Die Kraftübertragungselemente 28, die in diesem Ausführungsbeispiel leisten- förmig ausgebildet sind (vgl. Fig. 5) besitzen erste und zweite Haltestege 28a, 28b, welche von einem Basisabschnitt 28c des jeweiligen Kraftübertragungselementes 28 seitlich abstehen. Diese Haltestege 28 a, 28b übergreifen den jeweiligen Seitenrand 27 der Wand 14, d. h. der Seitenrand 27 ragt in den Zwischenraum zwischen den beiden Haltestegen 28a, 28b. Die Haltestege 28a weisen auf ihrer von der Wand 15 des Vakuumventils 2 abgelegenen Seite die vorderseitige Anschlagfläche 23 und die Haltestege 28b weisen auf ihrer der Wand 15 des Vakuumventils 2 zugewandten Seite die rückseitige Anschlagfläche 24 auf. Diese Anschlagflächen 23, 24 sind wiederum in Richtung der Längsachsen 25 der Verbindungsschrauben 18 in einem Abstand a zueinander angeordnet, der größer als die Dicke d der Wand 14 der Vakuumkammer 1 ist, so dass die Wand 14 zwischen den Haltestegen 28a, 28b ein entsprechendes Spiel aufweist. Die Wand 14 kann somit an den Haltestegen 28b anliegen (beispielsweise durch die Spannung der mindestens einen elastischen Dichtung 17) und von den Haltestegen 28a beabstandet sein oder an den Haltestegen 28a anliegen (durch eine auf die Vakuumkammer 1 und/oder das Vakuumventil 2 und/oder die Vakuumkammer 1 1 einwirkende Kraft) und von den Haltestegen 28b beabstandet sein. Die Kraftübertragungselemente 28 sind zwischen den Köpfen 18a der Verbindungsschrauben 18 und der Wand 15 des Vakuumventils 2 verspannt. Im Anlagebereich weist die Wand 15 vorzugsweise wie dargestellt Vertiefungen auf, in welche die Kraftübertragungselemente 28 ragen. Die von den Anzugskräften der Verbindungsschrauben 18 bewirkten Kraftflüsse (in Fig. 4 symbolisiert durch den Pfeil 30) verlaufen somit vollständig oder nahezu vollständig vom Kopf 18a der jeweiligen Verbindungsschraube 18 über das Kraftübertragungselement 28 auf die Wand 15 des Vakuumventils 2. Den Stirnflächen 31 der Seitenränder 27 der Wand 14 der Vakuumkammer 1 sind

Anlageflächen 32 der Kraftübertragungselemente 28 zugeordnet. Zumindest in eine Richtung parallel zur Ebene 50, die rechtwinklig zu den Längsachsen 25 der Verbindungsschrauben 18 steht, ist der Abstand der Anlageflächen 32 größer als die Ausdehnung der Wand 14 der Vakuumkammer 1 . D. h. zumindest auf einer Seite bezo- gen auf diese Richtung liegt ein Abstand b zwischen der Stirnfläche 31 und der Anlagefläche 32 vor (in Fig. 4 ist dieser Abstand b beim oben dargestellten Kraftübertragungselement 28 ersichtlich). Es liegt somit ein Freiraum für eine Wärmeausdehnung der Wand 14 vor, wenn die Vakuumkammer 1 aufgeheizt wird. Dieser Freiraum wird zumindest in die Hauptwärmeausdehnungsrichtung vorgesehen. Bevorzugter- weise ist für alle Richtungen parallel zur Ebene 50 ein solcher Freiraum vorgesehen. Die leistenförmigen Kraftübertragungselemente 28 erstrecken sich jeweils über einen Abschnitt der Länge eines Seitenrandes der Wand 14 der Vakuumkammer 1 oder über die gesamte Länge eines Seitenrandes der Wand 14 der Vakuumkammer 1 , wobei die Umfangskontur der Wand 14 rechtwinklig sein kann. Jeder der Seiten- ränder ist zumindest von einem Kraftübertragungselement 28 gehalten.

Eine alternative Ausführungsform könnte darin bestehen, dass für jede der Verbindungsschrauben 18 ein eigenes Kraftübertragungselement 28 mit einem Basisabschnitt 28c und seitlich davon abstehenden Haltestegen 28a, 28b vorgesehen wird.

Eine weitere Ausführungsvariante könnte darin bestehen, dass die Kraftübertragungselemente 28 zweigeteilt ausgebildet sind, wobei eines der Teile den Haltesteg 28a und das andere der Teile den Haltesteg 28b aufweist. Die Teile der Kraftübertragungselemente 28 werden durch die Verbindungsschrauben 18 gegeneinander und gegen die Wand 15 verspannt.

Die Kraftübertragungselemente 28 können wiederum aus den gleichen Materialien bestehen, wie im Zusammenhang mit dem ersten Ausführungsbeispiel beschrieben. Das in Fig. 7 dargestellte Ausführungsbeispiel entspricht dem Ausführungsbeispiel von Fig. 1 bis 3 abgesehen von folgenden Unterschieden:

Zwischen den Kraftübertragungselementen 19, 20 ist hier ein federelastisches Kraftübertragungselement 33 angeordnet, welches von einer Tellerfeder gebildet wird. Der von der Anzugskraft der jeweiligen Verbindungsschraube 18 bewirkte Kraftfluss erfolgt somit vom Kopf 18a der Verbindungsschraube 18 über das scheibenförmige Kraftübertragungselement 20, über das federnde Kraftübertragungselement 33 und über das Kraftübertragungselement 19 auf die Wand 15 des Vakuumventils 2 (symbolisiert durch den Pfeil 34).

Ein viertes Ausführungsbeispiel ist in Fig. 8 dargestellt. Dieses entspricht dem in Fig. 7 dargestellten Ausführungsbeispiel mit folgenden Unterschieden: Die Verbindungsschrauben 18 sind in diesem Ausführungsbeispiel soweit angezogen, dass der Abstand a zwischen den Anschlagflächen 23, 24 der Dicke d der Wand 14 der Vakuumkammer 1 entspricht. Die Wand 14 liegt also gleichzeitig an der vor- derseitigen Anschlagfläche 23 und an der rückseitigen Anschlagfläche 24 an. Hierbei erfolgt allerdings der hauptsächliche Kraftfluss (Pfeil 35) immer noch über die Kraftübertragungselemente 19, 20 und 33. Ein demgegenüber geringerer Teil des Kraftflusses (Pfeil 36), vorzugsweise weniger als 20% des gesamten Kraftflusses, erfolgt hier aber auch vom Kopf 18a der Verbindungsschraube 18 über das scheibenförmige Kraftübertragungselement 20, die Wand 14 der Vakuumkammer und das Kraftübertragungselement 19 auf die Wand 15 des Vakuumventils 2. Da über die Wand 14 der Vakuumkammer 1 aber nur ein Teil des Kraftflusses erfolgt, wird auf diese auch in diesem Ausführungsbeispiel keine zu hohe Zwängung ausgeübt, so dass diese sich bei einer Wärmeausdehnung gegenüber den Teilen, an denen sie anliegt (dies sind die Kraftübertragungselemente 19, 20 an ihren Anschlagflächen 23, 24) verschieben kann, ohne dass es zu einer starken Produktion von Partikeln bzw. zu einem starken Verschleiß kommt. Dennoch wird durch den Kraftfluss entlang des Pfeils 35 eine stabile Ausbildung der gesamten Verbindung erreicht. Ein fünftes Ausführungsbeispiel ist in Fig. 9 dargestellt. Dieses entspricht dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel, abgesehen von den folgenden Unterschieden:

Die Verbindungsschrauben 18 weisen in diesem Ausführungsbeispiel einen Schaft 18b' auf, der zwei Bereiche mit unterschiedlichem Durchmesser besitzt, zwischen denen eine Schulter ausgebildet ist. Diese Schulter bildet ein Kraftübertragungselement 37, über welches ein Teil der Anzugskraft, mit der die Verbindungsschraube 38 angezogen ist, auf die Wand 15 des Vakuumventils 2 übertragen wird. Der Kraftfluss erfolgt hierbei über ein weiteres scheibenförmiges Kraftübertragungselement 38, welches zwischen dem von der Schulter gebildeten Kraftübertragungselementes 37 und der Wand 15 des Vakuumventils 2 angeordnet ist und zwischen diesen geklemmt ist. Der Kraftfluss ist in Fig. 9 durch den Pfeil 39 symbolisiert. Die vorderseitigen Anschlagflächen 23 werden in diesem Ausführungsbeispiel von den von der Wand 15 des Vakuumventils 2 abgewandten Flächen der scheibenförmigen Kraftübertragungselemente 38 gebildet. Die rückseitigen Anschlagflächen 24 werden von den der Wand 15 des Vakuumventils 2 zugewandten Flächen der Köpfe 18a der Verbindungsschrauben 18 gebildet. Der Abstand a zwischen den vorderseitigen und rückseitigen Anschlagflächen 23, 24 ist im in Fig. 9 dargestellten Ausführungsbeispiel größer als die Dicke d der Wand 14 der Vakuumkammer 1.

Ein sechstes Ausführungsbeispiel ist in Fig. 10 dargestellt. Dieses entspricht dem in Fig. 9 dargestellten Ausführungsbeispiel mit folgenden Unterschieden:

Die das Kraftübertragungselement 37 bildende Schulter ist hier direkt an die Wand 15 des Vakuumventils 2 angedrückt. Die Anzugskraft der jeweiligen Verbindungsschraube 18 wird somit direkt über dieses Kraftübertragungselement 37 direkt auf die Wand 15 des Vakuumventils 2 übertragen (der Kraftfluss ist durch den Pfeil 40 symbolisiert). Zwischen der Wand 14 der Vakuumkammer und der Wand 15 des Vakuumventils 2 ist ein scheibenförmiger Ring 41 angeordnet. Die von der Wand 15 abgewandte Seitenfläche des Rings bildet die vorderseitige Anschlagfläche 23 für die Wand 14. Wenn der Ring 41 an der Wand 15 anliegt, so ist der Abstand a zwi- sehen der vorderseitigen Anschlagfläche 23 und der vom Kopf 18a der Verbindungsschraube 18 gebildeten rückseitigen Anschlagfläche 24 größer als die Dicke d der Wand 14. Wenn die Wand 14 an der rückseitigen Anschlagfläche 24 anliegt, liegt der Ring 41 somit lose zwischen der Wand 14 und der Wand 15. In einer weiteren Ausführungsvariante könnte zwischen dem Ring 41 und der Wand 15 auch ein Federelement angeordnet sein, das beispielsweise in Form einer Tellerfeder ausgebildet ist. Ein Teil des von der Anzugskraft der jeweiligen Verbindungsschraube 18 bewirkten Kraftflusses würde dann vom Kopf der Verbindungsschraube 18 über die Wand 14, den Ring 41 und das Federelement auf die Wand 15 erfolgen, wobei dieser Teil des Kraftflusses kleiner als 50% der gesamten Anzugskraft der jeweiligen Verbindungsschraube 18 wäre. In allen Ausführungsbeispielen könnte die Ausbildung bezüglich der Wände 14, 15 auch umgekehrt sein. Die Gewindebohrungen 21 , in die die Verbindungsschrauben 18 eingeschraubt sind, wären dann in der Wand 14 der Vakuumkammer 1 angeordnet. Die Verbindungsschrauben 18 könnten dann Durchtrittsöffnungen 22 in einer Wand des Vakuumventils durchsetzen (in zu den in den Fig. 1 bis 3 und 7 bis 10 dargestellten Ausführungsbeispielen analogen Ausführungsbeispielen), wobei am Vakuumventil eine entsprechende Wand, von der ein Verbindungsflansch ausgebildet wird, vorzusehen wäre. Stattdessen könnten auch Kraftübertragungselemente 28, welche von den Verbindungsschrauben durchsetzt werden, mit Seitenrändern einer Wand des Vakuumventils zusammenwirken (in dem Ausführungsbeispiel der Fig. 4 bis 6 analogen Ausführungsbeispielen).

Ein Freiraum für eine Wärmeausdehnung und -Schrumpfung in zumindest eine Richtung parallel zur Ebene 50 könnte auch durch ein Spiel zwischen der jeweiligen Verbindungsschraube und zumindest einem von der jeweiligen Verbindungsschraube durchsetzten Kraftübertragungselement geschaffen werden (wobei wieder ein Fixpunkt vorgesehen sein könnte, an dem kein Spiel vorliegt). Auch eine Kombination der beschriebenen Spiele (zwischen Kraftübertragungselement und Wand einerseits und zwischen Verbindungsschraube und Kraftübertragungselement andererseits) ist möglich.

L e g e n d e

zu den Hinweisziffern:

1 Vakuumkammer 28 Kraftübertragungselement

2 Vakuumventil 28a Haltesteg

3 Ventilgehäuse 28b Haltesteg

4 Öffnung 28c Basisabschnitt

5 Öffnung 29 Durchgangsöffnung

6 Verschlussglied 30 Pfeil

7 Ventilstange 31 Stirnfläche

8 Betätigungseinheit 32 Anlagefläche

9 Pfeil 33 Kraftübertragungselement

10 Dichtung 34 Pfeil

11 Vakuumkammer 35 Pfeil

12 Öffnung 36 Pfeil

13 elastische Dichtung 37 Kraftübertragungselement

14 Wand 38 Kraftübertragungselement

15 Wand 39 Pfeil

16 Öffnung 40 Pfeil

17 elastische Dichtung 41 Ring

18 Verbindungsschraube 50 Ebene

18a Kopf

18b, 18b' Schaft

19 Kraftübertragungselement

19a Bund

20 Kraftübertragungselement

21 Gewindebohrung

22 Durchtrittsöffnung

23 vorderseitige Anschlagfläche

24 rückseitige Anschlagfläche

25 Längsachse

26 Pfeil

27 Seitenrand