Derartige Trocknungsvorrichtungen werden insbesondere bei der Fertigung von Kompakt-Scheiben (Compact Discs oder CD's), Mini-Scheiben (Mini Discs), Magneto-optischen Scheiben (Magneto-optical Discs), CD-Rom's, CD-R's, Photo-oder Video-Scheiben (Photo-CDs und/oder Video Discs) und/oder digitalen Video Discs (DVD's) eingesetzt.

Inbesondere bei der Fertigung von Substratscheiben, die aus zwei miteinander verklebten Teil-Substraten bestehen, werden während des Trocknungsvorgangs Glasplatten auf die Substratscheiben aufgelegt, um zu verhindern, daß sich das Substrat während des Trocknungsvorgangs wellt oder seine ebene Form verliert. Unter Trocknung ist dabei auch das Aushärten von Klebemitteln zu verstehen, mit denen beispielsweise zwei Substrate miteinander zu einer Sub- stratscheibe verklebt werden. Die zu trocknenden Sub- stratscheiben befinden sich üblicherweise auf einem Rund- schalttisch, der sich getaktet dreht und die Substrat- scheiben in einem Trocknungsbereich der Trocknungsvor- richtung bringen. Bevor die Substratscheiben in den Trocknungsbereich gelangen, werden die Glasplatten mit einem Glasplatten-Handler auf die Substratscheiben aufge- legt und nach dem Trocknungsvorgang wieder entfernt, nachdem die Substratscheiben aus der Trocknungsvorrich- tung gedreht wurden. Durch das Auflegen der Glasplatten auf die Substratscheiben mittels eines Glasplatten-Hand- lers ist es nicht zu vermeiden, daß auf die Substrat- scheiben ein ungleichmäßiger Druck ausgeübt wird. Dadurch verändert sich die zwischen den zu verklebenden Substra- ten befindliche Schicht aus Klebemittel, die im noch

nicht getrockneten bzw. nicht ausgehärteten Zustand in seiner Schichtdicke durch Druck verändert wird. Es hat sich herausgestellt, daß dies zu hohen AusschuBraten führt und die Qualität der fertigen Substratscheiben we- sentlich beeinträchtigt.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Trocknungsvorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, die mit einfachen technischen Mitteln und bei einfacher Handhabung der Vorrichtung geringere Ausschuß- raten und eine bessere Qualität der gefertigten Substrat- scheiben ermöglicht.

Die gestellte Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein an- heb-und absenkbares Oberteil gelöst, der die Glasplatte auf die auf einem Unterteil liegende Substratscheibe ab- senkt. Das Auflegen der Glasplatte geschieht erfindungs- gemäß also in der Trocknungsvorrichtung selbst, so daß der Zeitraum zwischen dem Auflegen der Glasplatte und dem Beginn des Trocknungsvorgangs sehr gering gehalten werden kann. Dies ist für die AusschuBrate und die Qualität der zu fertigenden Substratscheiben sehr wichtig, weil das zuvor mit hohem gerätetechnischen Aufwand gleichmäßig zwischen den zu verklebenden Substraten aufgebrachte Kle- bemittel seine Gleichmäßigkeit verliert und unterschied- liche Klebemittel-Schichtdicken zwischen den zu verkle- benden Substraten entstehen, die zu Ausschuß und geringer Qualität der Substratscheiben führen. Für die gleichmä- ßige Aufbringung der Klebemittelschicht vor dem Trock- nungsvorgang wird ein hoher Aufwand getrieben. Um die Vorteile der dadurch erreichten, gleichmäßigen Klebe- mittelschicht nicht zu verspielen, ist mit der erfin- dungsgemäßen Vorrichtung ein sehr kurzer Zeitraum zwi- schen dem Auflegen der Glasplatte und dem Beginn des Trocknungsvorgangs erreichbar.

Gemäß einer weiteren sehr vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung weist das Oberteil eine Glasplatten-Halterung auf, die sich beim Absenken des Oberteils zum Ablegen der Glasplatte auf das Substrat unter dieses absinkt. Auf diese Weise legt sich die Glasplatte ohne zusätzliche und ungleichmäßige Druckbelastung auf der Substratscheibe ab, wodurch der Druck der Glasscheibe über die gesamte Sub- stratscheiben-Fläche hinweg sehr gleichmäßig ist, da nur das Eigengewicht der Glasplatte diesen Auflagedruck be- wirkt. Auf diese Weise bleibt die zuvor gleichmäßig dicke Klebemittelschicht über die gesamte Substratscheiben-Flä- che im wesentlichen erhalten.

Vorzugsweise weist die Glasplatten-Halterung Haltebleche auf, auf denen im nicht abgesenkten Zustand des Oberteils Randbereiche der Glasplatte aufliegen. Der apparative Aufwand zum Ablegen der Glasplatte auf die Substratschei- be ist daher denkbar einfach und insbesondere ist es durch einfache Mittel möglich, die Lage der Haltebleche und damit die Halterung und Absenkung der Glasplatte mit einfachen Mitteln einzustellen.

Die Haltebleche sind vorzugsweise als Reflektionsflächen ausgebildet, beispielsweise dadurch, daß sie hochglanzpo- liert sind. Dadurch reflektieren sie die ulraviolette Strahlung insbesondere im Randbereich der zu trocknenden Substratschraube in geeigneter Weise, so daß die krit- ische Randtrocknung dadurch verbessert und beschleunigt wird. Da sich die Haltebleche nach Auflegen der Glas- platte auf die Substratscheibe unterhalb von ihr be- finden, ist es durch den Einsatz dieser Halteblech- bereiche unterhalb der Substratscheibe möglich. das von oben einfallende ultraviolette Licht auch auf den unteren Randbereich der Substratscheibe zu lenken.

Gemäß einer weiteren sehr vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung schließt die Glasplatte einen Bestrahlungs- raum fUr die Substratscheibe nach oben ab. Die Glasplatte bildet also eine Abschlußwand für den Bestrahlungsraum, was insbesondere von Vorteil ist, wenn die Trocknungsvor- richtung gemäß einer weiteren Ausführungsform eine Gas- einlaß-Einrichtung zum Einleiten eines die Luft im Be- handlungsraum verdrängenden Gases, beispielsweise zum Einleiten von Stickstoff aufweist. Durch das Verdrängen der im Behandlungsraum befindlichen Luft kann der darin enthaltene Sauerstoff nicht von der intensiven W-Strah- lung in Sauerstoffperoxid umgesetzt werden, das die W- Strahlung stark absorbiert und den Trocknungsvorgang be- hindert oder verzögert. Mit dem erfindungsgemäßen anheb- und absenkbaren Oberteil der Trocknungsvorrichtung ist es möglich, die Glasplatte nicht nur auf die Substratscheibe abzulegen, sondern alternative auch in einem gewünschten Abstand von der Substratscheibe zu belassen, sodaß zwi- schen Glasscheibe und Glasplatte ebenfalls die darin be- findliche Luft durch das eingelassene Gas verdrängt wer- den kann, und der Trocknungsvorgang über die gesamte Flä- che der Substratscheibe hinweg verbessert oder beschleu- nigt wird. Insbesondere ist es mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung auch möglich, schnell und ohne zusätzlichen Aufwand die Trocknungsweise der Substratscheiben zu ver- ändern, nämlich entweder die Glasplatte vollständig auf die Substratscheibe abzulegen, oder die Glasplatte in ei- nem gewählten Abstand über der Substratscheibe während des Trocknungsvorgangs zu halten.

Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung sind zwischen der Glasplatte und dem Substrat Abstandshalter vorgesehen. Der Abstandhalter kann dabei auf der Glasplatten-Halterung vorgesehen sein, sodaß da- durch die Glasplatte nicht auf die Substratscheibe abge- legt wird. Aufgrund des Abstandhalters, der eine ge- wünschte Dicke aufweisen kann, die dem gewünschten Ab-

stand zwischen Glasplatte und Substratscheibe entspricht, ist es ebenfalls lediglich durch Auflegen des Abstandhal- ters auf die Glasplattenhalterung möglich, die erfin- dungsgemäße Vorrichtung von der Funktionsweise mit aufge- legter Glasplatte in die Funktionsweise mit Zwischenraum zwischen Glasplatte und Substratscheibe umzurüsten.

Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung der Er- findung ist eine Dreheinrichtung vorgesehen, die den Oberteil in seinem angehobenen Zustand in den und aus dem Bestrahlungsraum dreht oder schwenkt. Die Dreheinrichtung ist dabei vorzugsweise in einer Hubvorrichtung zum Anhe- ben und Absenken des Oberteils integriert bzw. mit der Hubvorrichtung kombiniert, so daB die Antriebsvorrichtung für das Glasplattenhändling kompakt und einfach ausgebil- det ist.

Vorzugsweise weist die Dreheinrichtung einen Runddrehti- sch mit mehreren Oberteilen auf. Dadurch ist es möglich, die zuvor während des Trocknungsvorgangs aufgeheizten Glasplatten in eine Kühlstation zu bringen, die gemäß ei- ner weiteren Ausgestaltung der Erfindung vorgesehen ist.

Die Kühlstation kühlt also die nicht im Bestrahlungsraum der Trocknungsvorrichtung befindlichen Glasplatten, so daß diese dann wieder eine der Substratscheiben ver- gleichbare Temperatur aufweisen, wenn sie vor einem wei- teren Trocknungsvorgang auf eine Substratscheiben aufge- legt werden. Unterscheiden sich die Temperaturen zwischen der aufgelegten Glasplatte und der Substratscheibe we- sentlich, so führt dies wiederum zu einer Beeinträchti- gung der Produktionsqualität von Substratscheiben und zu erhöhtem Ausschuß.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung besteht darin, daß der Runddrehtisch vier Oberteile aufweist, von denen sich jeweils zwei Oberteile im Bestrahlungsraum der Trocknungsvorrichtung und jeweils zwei Oberteile in der

Kühlstation befinden. Bei dieser Ausführungsform wird al- so der Runddrehtisch jeweils um 180° gedreht und danach werden die beiden, sich über einem Unterteil befindlichen Oberteile gleichzeitig auf die Substratscheiben abge- senkt. Der Trocknungsvorgang erfolgt dann für zwei Sub- stratscheiben gleichzeitig in der Trocknungsvorrichtung.

Als Kühlmittel kann jedes geeignete Fluid eingesetzt wer- den. Vorteilhaft ist jedoch in diesem Zusammenhang ioni- sierte Luft, die in die Kühlstation eingeblasen wird und an den zu trocknenden Glasplatten vorbeistreicht.

Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung be- steht darin, das Unterteil der Trocknungsvorrichtung als Auflageteller für die Substratscheibe auszubilden, der drehbar ist. Auf diese Weise werden die auf dem Teller liegenden Substratscheiben im Bestrahlungsraum gleichmä- Bigen Bestrahlungsverhältnissen ausgesetzt und es erfolgt eine gleichmäßige und schnelle Trocknung bzw. Aushärtung des Klebemittels, wodurch die Produktionsqualität wieder- um verbessert wird.

Die Erfindung wird nachstehend anhand eines bevorzugten Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die Figuren er- lautet. Es zeigen : Fig. 1 eine schematische Darstellung einer erfindungsge- mäßen Trocknungsvorrichtung in Aufsicht, Fig. 2 einen Querschnitt entlang der in Fig. 1 einge- zeichneten Schnittlinie II-II bei angehobenem Oberteil, Fig. 3 eine vergrößerte Querschnittsdarstellung des Ober- und Unterteils mit abgesenktem Oberteil, und Fig. 4 einen Teilausschnitt der dargestellten Ausfüh- rungsform in Aufsicht zur Erläuterung der Einrich- tungen zum Drehen von Auflagetellern in der Be- strahlungsstation 8.

Die dargestellte Ausführungsform einer Trocknungsvorrich- tung weist gemäß Fig. 1 einen Rundschalttisch 1 mit acht Auflagepositionen 2 für zu trocknende Substratscheiben 3 auf. Ein Glashandler 4 weist vier Arme 5 auf, an deren Enden jeweils ein Oberteil 6 der Trocknungsvorrichtung angebracht ist. Der Glashandler 4 ist in der Mitte von einer Säule 7 gehalten, die dreh-bzw. verschwenkbar ist und angehoben bzw. abgesenkt werden kann. Eine Bestrah- lungsstation 8 befindet sich in einem Bereich von zwei Auflagepositionen 2, und im Bereich der nicht in der Be- strahlungsstation 8 befindlichen Oberteilen 6 befindet sich eine Kühlstation 9.

Die zu trocknenden Substratscheiben 3, die zuvor in einem vorausgegangenen Fertigungsschritt aus zwei Substraten zusammengeklebt wurden, werden mittels eines Substrat- scheibenhandlers 10 auf Auflagepositionen 2 des Rund- schalttischs 1 gelegt. Um Wiederholungen hinsichtlich der dem Trocknungsvorgang vorausgegangenen oder nachfolgenden Fertigungsschritte zu vermeiden, wird auf die nicht vor- veröffentlichte DE-OS-197 18 471 mit Anmeldetag 30. April 1997 verwiesen, die auf die Inhaberin des vorliegenden Schutzrechts zurückgeht.

Der Rundschalttisch 1 dreht sich im Uhrzeigersinn schrittweise um jeweils 45°, so daß jeweils zwei Sub- stratscheiben 10 in die Bestrahlungsstation 8 gelangen.

Danach wird der Glashandler 4 um 180° gedreht, so daß je- weils eine Glasscheibe 11 auf die in der Bestrahlungs- station 8 befindlichen Substratscheiben 10 aufgelegt wer- den können. Die bei dieser Drehbewegung in die Kühlsta- tion 9 gelangenden beiden anderen Glasscheiben 11 werden dort beispielsweise mit ionisierter Luft gekühlt.

Die getrockneten Substratscheiben 10 werden nach Austritt aus der Bestrahlungsstation 8 von einem weiteren Handler 12 ergriffen und aus der Trocknungs-Vorrichtung entfernt.

Wie insbesondere aus Fig. 2 zu ersehen ist, weist die Be- strahlungsstation 8 obere UV-Lampen 21 und untere W-Lam- pen 22 auf, zwischen denen der Oberteil 6 und ein Unter- teil 23 angeordnet sind. Ein Verschluß 24 unter der obe- ren UV-Lampe 21 und ein Verschluß 25 über der unteren UV- Lampe 22 ermöglicht eine gesteuerte, kontrollierte UV-Be- strahlung der auf dem Unterteil 23 liegenden Substrat- scheibe 10.

Während der Unterteil 23 stationär ist, ist das Oberteil 6 über einen Arm 26 mit einer kombinierten Dreh-und Hub- vorrichtung 27 verbunden, die in Fig. 2 als Teilschnitt schematisch dargestellt ist, und mit der das Oberteil 6 angehoben und abgesenkt, sowie senkrecht zur Zeichnungs- ebene aus dem Bestrahlungsraum 28 gedreht bzw. geschwenkt wird.

Fig. 3 zeigt einen vergrößerten Ausschnitt aus der in Fig. 2 dargestellten Vorrichtung, und zwar das Oberteil 6 und das Unterteil 23 in einem Zustand, in dem das Ober- teil 6 auf das Unterteil 23 abgesenkt ist.

Das Oberteil 6 weist einen rechteckigen Rahmen 31 auf.

Auf der Unterseite des Oberteils 6 befindet sich minde- stens an den seitlichen Rahmenteilen 31 jeweils eine Glasplatten-Halterung 32,33, die bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel als gebogenes Blechteil mit jeweils einer Auflagekante 34,35 für die Auflage der Glasplatte 11 ausgebildet ist. Die Glasplatten-Halterung 32,33 ist mittels Schrauben 36,37 auf der Unterseite des Oberteils 6 befestigt.

Während die Glasplatte 11 bei abgehobenem Oberteil 6 (vergleiche Fig. 2) in ihren Randbereichen auf der Aufla- gekante 34 bzw. 35 der Glasplatten-Halterung 32,33 auf- liegt, kommt sie bei Absenken des Oberteils 6 von den Auflagekanten 34,35 frei, weil diese sich so weit nach unten absenken, daß die Glasplatte 11 beim Absenken des Oberteils 6 auf die in Fig. 3 gestrichelt dargestellte Substratscheibe 10 zur Auflage kommt. Die Glasplatte 11 wird also sanft auf die Substratscheibe 3 aufgelegt und drückt gleichmäßig mit ihrem Eigengewicht darauf, so daB sie die Substratscheibe 3 während des unmittelbar nach dem Auflegen der Glasplatte 11 beginnenden Trocknungsvor- gangs die Substratscheibe 3 flach und eben hält.

Wie am besten aus Fig. 3 zu ersehen ist, befindet sich am Rahmen 31 des Oberteils 6 eine GaseinlaBeinrichtung 40, über die beispielsweise Stickstoff in den Bestrahlungsraum eingelassen wird. Bei dem in Fig. 3 dargestellten Ausführungsbeispiel liegt die Glasplatte 11 auf der Substratscheibe 3 auf. Soll dagegen zwischen Glasplatte und Substratscheibe ein Zwischenraum vorhanden sein, um auch dort die Luft und damit den bei der Trocknungsvorrichtung nachteiligen Sauerstoff in der Luft durch Stickstoff zu verdrängen, wird das Oberteil 5 weni- ger weit abgesenkt, nämlich so weit, daß ein gewünschter Zwischenraum zwischen Glasplatte 11 und Substratscheibe 3 aufrechterhalten bleibt. In diesem Falle bleibt die Glasplatte 11 auf der Auflagekante 34 bzw. 34 der Glas- platten-Halterung 32 bzw. 33 liegen und wird auch während des Trocknungsvorgangs in dieser Stellung gehalten.

Bei der dargestellten Ausführungsform weist das Unterteil 23 einen Auflageteller 41 mit einer Auflageglasplatte 42 auf, auf der die Substratscheibe 3 liegt. Der Auflagetel- ler 41 ist durch Rollen 43,44,45 drehbar und gleichzei- tig in ihrer Lage geführt. Bei dem dargestellten Ausfüh- rungsbeispiel sind drei Rollen 43,44,45 um jeweils 120°

zueinander winkelmäßig versetzt vorgesehen, wobei in Fig.

1 jedoch nur zwei Rollen 43,44 dargestellt sind.

Fig. 4 zeigt einen Ausschnitt des Rundschalttisches 1 mit Auflagetellern 41, die an ihren Rändern jeweils mit den um 120° zueinander versetzten Rollen 43,44,45 geführt und gelagert sind. Wenn bei einer Drehung des Rundschalt- tisches 1 im Uhrzeigersinn der Auflageteller 41 mit da- rauf befindlichen Substratscheibe 3 in die Bestrahlungs- station 8 gelangt, kommt der Rand des Auflagetellers 41 im Kontakt mit einer Antriebsrolle 46, die am Ende eines Tragarms 47 gelagert ist und angetrieben wird. Während des Trocknungsvorgangs wird der Auflageteller 41 und da- mit auch die Substratscheibe 3, gegebenenfalls zusammen mit der auf der Substratscheibe 3 liegenden Glasplatte 11, gedreht, so daß sich eine gleichmäßige und schnelle Trocknung und Aushärtung der Substratscheibe bzw. des Klebemittels ergibt. Aus Gründen der Übersichtlichkeit wurde der Glashandler 4 bei der in Fig. 4 dargestellten Ansicht nicht wiedergegeben.

Die Erfindung wurde zuvor anhand eines bevorzugten Aus- führungsbeispiels beschrieben. Dem Fachmann sind jedoch Ausgestaltungen und Abwandlungen möglich, ohne daß da- durch der Erfindungsgedanke verlassen wird. Beispielswei- se ist zum Transport der zu trocknenden Substratscheiben unter die Bestrahlungssstation 8 statt eines Rundschalt- tisches 1 auch eine lineare Transporteinrichtung einseh- bar.