Title:
DEVICE FOR EMITTING VACUUM ULTRAVIOLET LIGHT
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2011/027881
Kind Code:
A1
Abstract:
A new device for emitting ultraviolet light, in particular, vacuum ultraviolet light, is provided in which the drawbacks of ultraviolet emitting devices currently in use, that is, the problems of large size, high electric-power consumption, short life, and unstable intensity, have been remedied. The device for emitting vacuum ultraviolet light is characterized by being equipped with: a light-emitting substrate comprising a transparent substrate constituted of lithium fluoride, magnesium fluoride, calcium fluoride, barium fluoride, or the like and, formed on the transparent substrate, a thin layer of a metal fluoride, such as LuLiF4, LaF3, BaF2, or CaF2, that has been doped with atoms of, for example, neodymium (Nd), thulium (Tm), or erbium (Er); and an electron beam source such as a thermal-electron gun or a field-emission electron gun. The device is further characterized in that the light-emitting substrate and the electron beam source are disposed in a vacuum atmosphere and that the electron beam source irradiates electron beams upon the thin metal fluoride layer to make the layer emit light containing a wavelength component of vacuum ultraviolet light.
Inventors:
ONO, Shingo (C/O National University Corporation Nagoya Institute of Techonology, 29 Aza Kiichi, Gokiso-cho, Syowa-ku, Nagoya-sh, Aichi 61, 〒4660061, JP)
小野 晋吾 (〒61 愛知県名古屋市昭和区御器所町字木市２９番 国立大学法人名古屋工業大学内 Aichi, 〒4660061, JP)
SUYAMA, Toshihisa (1-1 Mikage-cho, Shunan-sh, Yamaguchi 48, 〒7458648, JP)
須山 敏尚 (〒48 山口県周南市御影町１番１号 株式会社トクヤマ内 Yamaguchi, 〒7458648, JP)
FUKUDA, Kentaro (1-1 Mikage-cho, Shunan-sh, Yamaguchi 48, 〒7458648, JP)
福田 健太郎 (〒48 山口県周南市御影町１番１号 株式会社トクヤマ内 Yamaguchi, 〒7458648, JP)
ISHIZU, Sumito (1-1 Mikage-cho, Shunan-sh, Yamaguchi 48, 〒7458648, JP)
石津 澄人 (〒48 山口県周南市御影町１番１号 株式会社トクヤマ内 Yamaguchi, 〒7458648, JP)
KAWAGUCHI, Noriaki (1-1 Mikage-cho, Shunan-sh, Yamaguchi 48, 〒7458648, JP)
小野 晋吾 (〒61 愛知県名古屋市昭和区御器所町字木市２９番 国立大学法人名古屋工業大学内 Aichi, 〒4660061, JP)
SUYAMA, Toshihisa (1-1 Mikage-cho, Shunan-sh, Yamaguchi 48, 〒7458648, JP)
須山 敏尚 (〒48 山口県周南市御影町１番１号 株式会社トクヤマ内 Yamaguchi, 〒7458648, JP)
FUKUDA, Kentaro (1-1 Mikage-cho, Shunan-sh, Yamaguchi 48, 〒7458648, JP)
福田 健太郎 (〒48 山口県周南市御影町１番１号 株式会社トクヤマ内 Yamaguchi, 〒7458648, JP)
ISHIZU, Sumito (1-1 Mikage-cho, Shunan-sh, Yamaguchi 48, 〒7458648, JP)
石津 澄人 (〒48 山口県周南市御影町１番１号 株式会社トクヤマ内 Yamaguchi, 〒7458648, JP)
KAWAGUCHI, Noriaki (1-1 Mikage-cho, Shunan-sh, Yamaguchi 48, 〒7458648, JP)
Application Number:
JP2010/065214
Publication Date:
March 10, 2011
Filing Date:
September 06, 2010
Export Citation:
Assignee:
National University Corporation Nagoya Institute of Techonology (29 Aza Kiichi, Gokiso-cho Syowa-ku, Nagoya-sh, Aichi 61, 〒4660061, JP)
国立大学法人名古屋工業大学 (〒61 愛知県名古屋市昭和区御器所町字木市２９番 Aichi, 〒4660061, JP)
TOKUYAMA CORPORATION (1-1 Mikage-cho, Shunan-shi Yamaguchi, 48, 〒7458648, JP)
株式会社トクヤマ (〒48 山口県周南市御影町１番１号 Yamaguchi, 〒7458648, JP)
TOHOKU UNIVERSITY (2-1-1 Katahira, Aoba-ku Sendai-shi Miyagi, 77, 〒9808577, JP)
国立大学法人東北大学 (〒77 宮城県仙台市青葉区片平二丁目１番１号 Miyagi, 〒9808577, JP)
ONO, Shingo (C/O National University Corporation Nagoya Institute of Techonology, 29 Aza Kiichi, Gokiso-cho, Syowa-ku, Nagoya-sh, Aichi 61, 〒4660061, JP)
小野 晋吾 (〒61 愛知県名古屋市昭和区御器所町字木市２９番 国立大学法人名古屋工業大学内 Aichi, 〒4660061, JP)
SUYAMA, Toshihisa (1-1 Mikage-cho, Shunan-sh, Yamaguchi 48, 〒7458648, JP)
須山 敏尚 (〒48 山口県周南市御影町１番１号 株式会社トクヤマ内 Yamaguchi, 〒7458648, JP)
FUKUDA, Kentaro (1-1 Mikage-cho, Shunan-sh, Yamaguchi 48, 〒7458648, JP)
福田 健太郎 (〒48 山口県周南市御影町１番１号 株式会社トクヤマ内 Yamaguchi, 〒7458648, JP)
国立大学法人名古屋工業大学 (〒61 愛知県名古屋市昭和区御器所町字木市２９番 Aichi, 〒4660061, JP)
TOKUYAMA CORPORATION (1-1 Mikage-cho, Shunan-shi Yamaguchi, 48, 〒7458648, JP)
株式会社トクヤマ (〒48 山口県周南市御影町１番１号 Yamaguchi, 〒7458648, JP)
TOHOKU UNIVERSITY (2-1-1 Katahira, Aoba-ku Sendai-shi Miyagi, 77, 〒9808577, JP)
国立大学法人東北大学 (〒77 宮城県仙台市青葉区片平二丁目１番１号 Miyagi, 〒9808577, JP)
ONO, Shingo (C/O National University Corporation Nagoya Institute of Techonology, 29 Aza Kiichi, Gokiso-cho, Syowa-ku, Nagoya-sh, Aichi 61, 〒4660061, JP)
小野 晋吾 (〒61 愛知県名古屋市昭和区御器所町字木市２９番 国立大学法人名古屋工業大学内 Aichi, 〒4660061, JP)
SUYAMA, Toshihisa (1-1 Mikage-cho, Shunan-sh, Yamaguchi 48, 〒7458648, JP)
須山 敏尚 (〒48 山口県周南市御影町１番１号 株式会社トクヤマ内 Yamaguchi, 〒7458648, JP)
FUKUDA, Kentaro (1-1 Mikage-cho, Shunan-sh, Yamaguchi 48, 〒7458648, JP)
福田 健太郎 (〒48 山口県周南市御影町１番１号 株式会社トクヤマ内 Yamaguchi, 〒7458648, JP)
International Classes:
H01J63/06; H01J61/44
Attorney, Agent or Firm:
ONO, Hisazumi et al. (Nippon Shuzo bldg, 1-21 Nishi-shimbashi 1-chome, Minato-k, Tokyo 03, 〒1050003, JP)