以下、この発明につき図面を参照しつつ� ��細に説明する。なお、この発明を実施する� ��めの最良の形態(以下実施形態という)によ� �この発明が限定されるものではない。また� �下記実施形態における構成要素には、当業� �が容易に想定できるもの、実質的に同一の� �の、いわゆる均等の範囲のものが含まれる� �

 (実施形態1)
 図1は、実施形態1に係る先端工具案内装置� �模式的に示す斜視図である。図1に示すよう� ��、本実施形態に係る先端工具案内装置1は、 加圧水型軽水炉原子力発電設備に設けられる 蒸気発生器の水室100の内部に設けられる。先 端工具案内装置1は、水室100に設けられる管� �101及び管台101に接続した円筒管102の間の溶� �部分の内周面である処理面103に各種処理を� �す。

 先端工具案内装置1は、旋回支持部20と、� ��ライドテーブル30と、可動部材としてのマ� �ピュレータ40と、先端工具50と、制御装置60� �を備える。なお、水が溜められる水室100に� �いて鉛直方向下側を底面部104、鉛直方向上� �を天井部105とする。旋回支持部20は、水室100 の底面部104から天井部105にかけて直立した状 態で設けられる。また、旋回支持部20は、旋� ��軸TLを軸に旋回する。

 スライドテーブル30は、可動部材として� �スライド部32がテーブル部31に対してスライ� ��できるスライド機構を有する。また、スラ� ��ドテーブル30は、旋回支持部20に着脱できる ように連結される。マニピュレータ40は、先� ��工具50を処理面103に案内し、先端工具50を処 理面103に押し付ける。また、マニピュレータ 40は、スライドテーブル30に着脱できるよう� �連結される。

 先端工具50は、処理面103に対してショッ� �ピーニング処理、検査処理、切削処理など� �処理を行う。また、先端工具50は、マニピュ レータ40の先端に着脱できるように連結され� ��。このように、先端工具案内装置1は、旋回 支持部20、スライドテーブル30、マニピュレ� �タ40、先端工具50に、それぞれ解体、組み立� ��できるように構成される。制御装置60は、� �端工具案内装置1の各部に電気的、流体駆動� ��に接続され、前記各部の諸動作を制御する� ��

 旋回支持部20は、土台部材としての下部� �ース21と、旋回部22と、上部支持部23とを有� �る。下部ベース21は、水室100の底面部104に接 触して設置される。これにより、下部ベース 21は、旋回部22の土台の機能を果たす。また� �下部ベース21は、例えば表面の摩擦抵抗が比 較的大きい部材によって形成されると好まし い。これにより、下部ベース21は、旋回部22� �底面部104から滑るおそれを抑制できる。

 旋回部22は、下部ベース21を介して底面部 104に設けられる。また、旋回部22は、柱状に� ��成されると共に、下部ベース21上で旋回移� �できる。上部支持部23は、旋回部22と天井部1 05との間に設けられる。また、上部支持部23� �、旋回部22に設けた伸縮機構により旋回支持 部20の旋回軸TL方向に伸縮できる。

 ここで、旋回支持部20の設置方法を説明� �る。まず、先端工具案内装置1の設置作業員� ��、下部ベース21を水室100の底面部104に設置� �る。次に、先端工具案内装置1の設置作業員� ��、前記伸縮機構により、上部支持部23を天� �部105に向かって伸ばす。これにより、上部� �持部23は、水室100の天井部105に押し付けられ る。よって、旋回支持部20は、天井部105から� ��回軸TL方向の反力を受ける。結果として、� �回支持部20は、水室100の底面部104及び天井部 105に対し、鉛直方向に突っ張った状態で固定 される。

 スライドテーブル30は、テーブル部31と、 スライド部32と、第1ツールチェンジャ33と、� ��ライドテーブル支持部34とを有する。テー� �ル部31は、一方の端部である旋回支持部側端 部31aが旋回支持部20に旋回支持部20に対して� �動できるように連結され、他方の端部であ� �スライドテーブル支持部側端部31bがスライ� �テーブル支持部34と連結される。スライド部 32は、テーブル部31上を駆動源の駆動力によ� �て、テーブル部31の長手方向にスライド移動 する。

 第1ツールチェンジャ33は、スライド部32� �着脱できるように設けられる。第1ツールチ� ��ンジャ33により、マニピュレータ40は、スラ イド部32に装着される。スライドテーブル支� ��部34は、一方の端部であるスライドテーブ� �側端部34aがテーブル部31のスライドテーブル 支持部側端部31bにテーブル部31に対して回動� ��きるように連結される。また、スライドテ� ��ブル支持部34の他方の端部である旋回支持� �側端部34bは、旋回支持部20の下部ベース21側� ��部材に連結される。

 ここで、スライドテーブル30の旋回支持� �20への設置方法を説明する。まず、先端工具 案内装置1の設置作業員は、テーブル部31の旋 回支持部側端部31aを旋回支持部20の上部支持� ��23側の部位に連結する。次に、先端工具案� �装置1の設置作業員は、スライドテーブル支� ��部34のスライドテーブル側端部34aを、収容� �置から支持位置に回動させて、スライドテ� �ブル支持部34の旋回支持部側端部34bを旋回部 22の下部ベース21側の部位に連結する。これ� �より、スライドテーブル30は、旋回支持部20� ��対して角度を有して設置される。

 マニピュレータ40は、例えば7つの軸によ� ��て回動する、いわゆる7軸マニピュレータで ある。マニピュレータ40は、第2ツールチェン ジャ41を有する。第2ツールチェンジャ41は、� ��端工具50を装着できるように形成される。� �ニピュレータ40の一方の端部であるスライド テーブル側端部40aは、スライドテーブル30の� ��1ツールチェンジャ33に着脱できるように連� ��される。また、マニピュレータ40の他方の� �部である先端工具側端部40bには、第2ツール� ��ェンジャ41が設けられている。マニピュレ� �タ40は、制御装置60により、その動作が制御� ��れる。

 なお、本実施形態では、マニピュレータ4 0は、いわゆる7軸マニピュレータであると説� ��したが、本実施形態に係るマニピュレータ4 0の可動軸の数はこれに限定されない。

 先端工具50は、例えば、上記の処理面103� �ショットピーニング処理を行う工具や、上� �の処理面103を検査する工具や、切削補修を� �る工具等である。以下の説明では、ショッ� �ピーニング処理を行う工具を先端工具50とし て用いた場合について説明する。なお、ショ ットピーニング処理とは、複数の球体である ショットを高速度で金属表面に衝突させる処 理である。ショットが処理対象の表面に衝突 すると、処理対象の表面に球状の凹みが形成 される。これにより、処理対象の表面の疲労 強度が増す。この他、ショットピーニング処 理は、耐摩耗性の向上、耐応力腐食割れ特性 の向上、放熱性の向上、流体抵抗の減少等の 効果を有する。

 図2は、実施形態1に係る先端工具を示す� �式図である。図2に示すように、先端工具50� �、工具本体51と、マニピュレータ取付部52と� ��ショット射出口53と、全方向転動ローラ54と 、エアシリンダ55と、第1保持部材56と、第2保 持部材57と、第3保持部材58とを有する。本実� ��形態に係る先端工具50は、第1保持部材56と� �第2保持部材57と、第3保持部材58との3つの部� ��で、工具本体51がマニピュレータ40に対して 3軸を回転軸として回動する機構を構成する� �に特徴がある。

 工具本体51は、ショットピ-ニング処理を� ��う工具である。本実施形態では、例えば、� ��具本体51は、略直方体に形成される。マニ� �ュレータ取付部52は、図1に示す第2ツールチ� ��ンジャ41に先端工具50を取り付ける部材であ る。ショット射出口53は、処理面103に向けて� ��ョットが射出される開口である。つまり、� ��端工具50を使用する際、ショット射出口53は 処理面103と対向する。

 全方向転動ローラ54は、工具本体51のショ ット射出口53を有する面に複数個、例えば6個 設けられる。全方向転動ローラ54は、処理面1 03に押し当てられることにより、処理面103と� ��触する。全方向転動ローラ54は、全方向に� �動することにより、ショット射出口53が処理 面103に対して一定距離を保ちつつ処理面103に 沿って移動できるように機能する。

 エアシリンダ55は、一方の端部がマニピ� �レータ取付部52に取り付けられ、他方の端部 が第1保持部材56に取り付けられる。また、エ アシリンダ55はそのシリンダの軸線方向に伸� ��できる。このとき、エアシリンダ55の軸線� �向は、先端工具50を処理面103に押し付ける方 向と一致する。これにより、エアシリンダ55� ��、先端工具50が処理面103に押し付けられる� �に、マニピュレータ取付部52と第1保持部材56 との間のダンパ装置として機能する。

 第1保持部材56は、第2保持部材57及び第3保 持部材58を介して工具本体51と連結される。� �って、エアシリンダ55は、結果としてマニピ ュレータ取付部52と工具本体51との間のダン� �装置として機能する。具体的には、エアシ� �ンダ55は、マニピュレータ40により先端工具5 0が処理面103に押し付けられると処理面103か� �の反力によって収縮する。

 また、エアシリンダ55は、マニピュレー� �40により先端工具50が処理面103から離れると� ��長する。これにより、エアシリンダ55は、� �理面103に対するショット射出口53の距離をエ アシリンダ55の可動範囲内で一定に保つ。つ� ��り、エアシリンダ55は、工具本体51と処理面 103との隙間の微妙なずれを吸収する。

 第1保持部材56は、第1回動連結部材56aによ り第2保持部材57に対して回動できるように第 2保持部材57と連結される。このとき、第2保� �部材57は、第1回動軸RL01を回動の軸として第1 保持部材56に対して回動できる。第2保持部材 57は、第2回動連結部材57aにより第3保持部材58 に対して回動できるように第3保持部材58と連 結される。このとき、第3保持部材58は、第1� �動軸RL01と直交する第2回動軸RL02を回動の軸� �して第2保持部材57に対して回動できる。

 第3保持部材58は、第3回動連結部材58aによ り工具本体51に対して回動できるように工具� ��体51と連結される。このとき、工具本体51は 、第1回動軸RL01及び第2回動軸RL02と互いに直� �する第3回動軸RL03を回動の軸として第3保持� �材58に対して回動できる。

 第1回動連結部材56a、第2回動連結部材57a� �第3回動連結部材58aは、部材同士を回動でき� ��ように連結する部材であるが、所定のモー� ��ント以上のモーメントを加えることにより� ��部材同士が回動するように構成されると好� ��しい。つまり、第1回動連結部材56a、第2回� �連結部材57a、第3回動連結部材58aは、所定の� ��動抵抗を有すると好ましい。これにより、� ��ニピュレータ40によって処理面103に押し付� �られる際、処理面103から受ける反力以外の� �による工具本体51の回動を抑制できる。

 例えば、第1回動軸RL01を重力方向と仮定� �、第2回動連結部材57aに回動抵抗がないもの� ��仮定する。このとき工具本体51には重力が� �1回動軸RL01方向に働く。よって、工具本体51� ��、第2回動軸RL02を軸に回動するおそれがあ� �。第1回動連結部材56a、第2回動連結部材57a、 第3回動連結部材58aが所定の回動抵抗を有す� �ことで、先端工具案内装置1を操作する操作� ��業員が望まない工具本体51の回動を抑制で� �る。なお、前記操作作業員が望まない工具� �体51の回動とは、先端工具50が他部材と干渉� ��引き起こす回動であったり、先端工具50に� �る処理の不良を引き起こす回動である。

 また、第1回動軸RL01、第2回動軸RL02、第3� �動軸RL03は、一点で直交するように構成し、� ��つ、工具本体51の重心を前記一点と一致す� �ように先端工具50を構成するとより好ましい 。これにより、先端工具50は、第1回動連結部 材56a、第2回動連結部材57a、第3回動連結部材5 8aの回動抵抗を比較的小さくしても工具本体5 1の姿勢を維持できる。これにより、先端工� �50は、先端工具案内装置1の操作作業員が望� �ない工具本体51の重力による回動をさらに抑 制できる。

 また、先端工具30は、第1回動連結部材56a� ��第2回動連結部材57a、第3回動連結部材58aの� �動を機械的に所定の範囲に規制するストッ� �ーが設けられてもよい。このように構成さ� �ても、先端工具50は、先端工具案内装置1の� �作作業員が望まない工具本体51の重力による 回動をさらに抑制できる。

 また、工具本体51がマニピュレータ40に対 して3軸を回転軸として回動する機構は、工� �本体51と処理面103との隙間のずれを補正でき る範囲で可動できればよい。一般に、前記ず れの量はわずかであるため、第1回動軸RL01、� ��2回動軸RL02、第3回動軸RL03の回動範囲は、前 記ずれを補正できる範囲に設定されると好ま しい。これにより、例えば、作業者が望まな い工具本体51の重力による回動があった場合� ��も、前記作業者が望まない前記回動の量を� ��小限に抑制できる。

 上記構成をまとめると、工具本体51は、� �ニピュレータ40から順に、マニピュレータ取 付部52と、エアシリンダ55と、第1保持部材56� �、第2保持部材57と、第3保持部材58とを介し� �連結される。さらに、工具本体51は、互いに 直交し合う3つの回動軸を軸にマニピュレー� �40に対して回動できるように図1に示すマニ� �ュレータ40の第2ツールチェンジャ41に装着さ れる。

 上記構成により、先端工具50は、マニピ� �レータ40により、所定の力で処理面103に押し 付けられると、エアシリンダ55がダンパ装置� ��して機能する。また、全方向転動ローラ54� �処理面103に接触する。先端工具50は、3軸を� �転軸として工具本体51がマニピュレータ40に� ��して回動する機構を介してマニピュレータ4 0と連結されている。これにより、先端工具50 は、前記所定の力で処理面103に押し付けられ ることにより、3つの回動軸を軸に工具本体51 がマニピュレータ40に対して回動する。

 よって、先端工具案内装置1は、工具本体 51と処理面103との隙間のずれを抑制する。つ� ��り、先端工具案内装置1は、先端工具50の処� ��面103からの浮き上がりを抑制できる。なお� ��前記所定の力とは、エアシリンダ55の可動� �囲内でエアシリンダ55が力を吸収でき、かつ 、第1回動連結部材56a、第2回動連結部材57a、� ��3回動連結部材58aが回動できる範囲の力をい う。

 なお、本実施形態では、先端工具50は、3� ��を回動軸として工具本体51がマニピュレー� �40に対して回動する機構を有するものとして 説明したが、本実施形態はこれに限定されな い。先端工具50は、前記回動する機構を備え� ��くても、以下に説明する構成により、工具� ��体51と処理面103との隙間のずれを処理不良� �きたさない範囲で抑制できる。

 また、回動軸の数は3軸に限定されず、処 理面103の形状を考慮し、前記回動する機構を 1軸または2軸で構成してもよい。これにより� ��先端工具50の構成を簡素化できる。但し、� �端工具50が、3軸を回転軸として工具本体51が 回動するように構成することにより、より好 適に工具本体51と処理面103との隙間のずれを� ��制できる。

 なお、本実施形態では、第1保持部材56と� ��第2保持部材57と、第3保持部材58とで、3軸を 回転軸として工具本体51がマニピュレータ40� �対して回動する機構を構成したが、本実施� �態はこれに限定されない。例えば、全方向� �回動するボールと、前記ボールを保持する� �持部材とで、工具本体51がマニピュレータ40� ��対して回動する機構を構成してもよい。こ� ��により、先端工具50に対して、先端工具50の 構成数の低減、簡素化、軽量化などの効果が 期待できる。

 ここで、図1に示す先端工具案内装置1は� �マニピュレータ40によって先端工具50を静止� ��造部材である処理面103に押し付ける。なお� ��静止構造部材とは、外部から力をかけても� ��動しない部材である。例えば、静止構造部� ��は、管台101、円筒管102、底面部104、天井部1 05、後述する図3に示す水室仕切板106、後述す る図5に示すホールドダウンリング107などで� �る。

 マニピュレータ40によって先端工具50が処 理面103に押し付けられると、先端工具案内装 置1は、処理面103から反力を受ける。このと� �、前記反力の向きによっては、先端工具案� �装置1がたわんだりねじれるおそれがある。� ��体的に、旋回支持部20と、スライドテーブ� �30と、スライドテーブル支持部34とが存在す� ��面に沿う方向の前記反力に対する先端工具� ��内装置1の剛性は、比較的高い。しかしなが ら、前記面に直交する方向の力、つまり旋回 支持部20が旋回する方向の前記反力に対する� ��端工具案内装置1の剛性は、比較的低い。

 これにより、先端工具案内装置、特に下� ��ベース21がたわんだりねじれたり、ずれた� �する。これによって、先端工具50と処理面103 との隙間にずれが生じるおそれがある。つま り、先端工具50が処理面103から浮き上がるお� ��れがある。よって、先端工具案内装置1を補 強する必要がある。

 しかしながら、水室100の内部は、放射能� ��ベルが通常の環境と比較して高い。よって� ��先端工具案内装置1の設置作業員は、安全を 確保するために水室100内に滞在する時間に制 限が設けられる。なお、前記制限は、例えば 2分程度である。よって、先端工具案内装置1� ��設置及び先端工具案内装置1の補強を迅速に 行えるように、先端工具案内装置1は構成さ� �る。

 図3は、実施形態1に係る先端工具案内装� �の全体を示す斜視図である。本実施形態に� �る先端工具案内装置1の下部ベース21は、水� �100の内部に存在する水室仕切板106に対して� �付けられて拘束されている点に特徴がある� �なお、下部ベース21の拘束とは、下部ベース 21が底面部104に対して動かないように固定さ� ��る状態、下部ベース21の剛性が高められ、� �部ベース21のたわみが抑制されている状態を いう。

 図3に示すように、先端工具案内装置1は� �補強部材としての押付部材10Aを備える。押� �部材10Aは、水室100の内壁面に沿う形状に湾� �して設けられる。また、押付部材10Aは、一� �の端部である下部ベース側端部10Aaが、下部� ��ース21と接触して設けられる。さらに、押� �部材10Aは、他方の端部である天井面側端部10 Abが、水室100の天井部105に接触して設けられ� ��。

 このとき、押付部材10Aの天井面側端部10Ab と天井部105との間に働く摩擦力が天井面側端 部10Abに働く天井部105に沿う方向の力よりも� �きくなるように天井面側端部10Abは、天井部1 05に対して接触すると好ましい。具体的には� ��押付部材10Aの天井面側端部10Abは、天井部105 に対して略垂直接触すると好ましい。つまり 、押付部材10Aの天井面側端部10Ab近傍の長手� �向に伸びる仮想の線である仮想線VL01と、天� ��部105とが直交するように、天井面側端部10Ab は天井部105と接触すると好ましい。これによ り、天井面側端部10Abが、天井部105の表面で� �るおそれを抑制できる。

 なお、押付部材10Aは、水室100の内壁面に� ��う形状に湾曲して設けられると説明したが� ��実施形態はこれに限定されない。押付部材1 0Aは、直線を含む形状に形成されてもよいし� ��水室100の内壁面から離れて設けられてもよ� ��。押付部材10Aが水室100の内壁面に沿う形状� ��湾曲して設けられると、水室100の内壁面が� ��付部材10Aの補強部材の機能を果たし、より� ��実に押付部材10Aは、下部ベース21を拘束で� �る。

 図4は、実施形態1に係る下部ベースと押� �部材の下部ベース側端部を拡大して模式的� �示す断面図である。図4に示すように、下部� ��ース21は、水室仕切板106に接触して設けら� �る。ここで、水室仕切板106と接触する下部� �ース21の面を水室仕切板側接触面21aとする。 押付部材10Aの下部ベース側端部10Aaは、水室� �切板側接触面21aと対向する下部ベース21の面 である押付部材側接触面21bと接触して配設さ れる。

 このとき、押付部材10Aの下部ベース側端� ��10Aaは、下部ベース21の押付部材側接触面21b� ��対して垂直に接触すると好ましい。つまり� ��押付部材10Aの下部ベース側端部10Aa近傍の長 手方向に伸びる仮想の線である仮想線VL02と� �下部ベース21の押付部材側接触面21bとが直交 するように、天井面側端部10Abは天井部105と� �触すると好ましい。

 押付部材10Aの下部ベース側端部10Aaは、下 部ベース21の押付部材側接触面21bの形状に合� ��せて形成されると好ましい。つまり、下部� ��ース側端部10Aaの先端部の肉厚を下部ベース 21の押付部材側接触面21b近傍の肉厚と、略同� ��に形成すると好ましい。

 これにより、下部ベース側端部10Aaの先端 部の肉厚が下部ベース21の押付部材側接触面2 1b近傍の肉厚よりも小さいことによる、下部� ��ース21と水室100を構成する部材との隙間に� �付部材10Aの下部ベース側端部10Aaが滑り込む� ��それを抑制できる。また、下部ベース側端� ��10Aaの先端部の肉厚が下部ベース21の押付部� ��側接触面21b近傍の肉厚よりも大きいことに� ��る、押付部材10Aの下部ベース側端部10Aaが旋 回部22と干渉するおそれを抑制できる。

 図3に示すように、押付部材10Aは、下部ベ ース側端部10Aaと天井面側端部10Abとの間に押� ��手段としての押付シリンダ11Aを有する。押� ��シリンダ11Aは、押付部材10Aの長手方向に沿� ��て伸縮できる。

 ここで、押付シリンダ11Aが伸びた状態の� ��付シリンダ11Aを含む押付部材10Aの長手方向� ��長さは、下部ベース21から天井部105までの� �室100の内壁面に沿う長さよりも大きく設定� �れる。これにより、下部ベース21は、押付部 材10Aから水室仕切板106側に力を受ける。つま り、下部ベース21は、水室仕切板106と押付部� ��10Aとによって挟まれる力を受ける。これに� ��り、下部ベース21は、水室仕切板106と押付� �材10Aとによって拘束される。

 下部ベース21が、水室仕切板106と押付部� �10Aとによって拘束されると、下部ベース21は 、外部から力が働いたときの底面部104からの 相対的な移動量が低減されると共に、下部ベ ース21の剛性も向上する。これにより、先端� ��具案内装置1は、下部ベース21のたわみ及び� ��じれ及びずれを抑制できる。よって、先端� ��具案内装置1は、先端工具50と処理面103との� ��間にずれが生じるおそれ、つまり先端工具5 0が処理面103から浮き上がるおそれを抑制で� �る。

 また、本実施形態では、先端工具50は、� �ョットピーニング処理を行うものとして説� �したが、本実施形態はこれに限定されない� �例えば、先端工具50は、切削、研削処理を行 う工具でもよい。切削、研削処理は、ショッ トピーニング処理よりもさらに先端工具案内 装置1に剛性を要求する。本実施形態1に係る� ��端工具案内装置1は、押付部材10Aによって、 下部ベース21の剛性が高められる。よって、� ��実施形態1に係る先端工具案内装置1は、切� �、研削の処理不良も抑制できる。

 また、押付シリンダ11Aは、先端工具案内� ��置1の設置作業員が作業しやすい位置に設け られると好ましい。上述したように、作業員 による水室100内の作業時間は、作業員の安全 面から制限されている。よって、押付シリン ダ11Aが、作業員が作業しやすい位置に設けら れることにより、先端工具案内装置1の設置� �業を迅速化できる。

 なお、押付部材10Aの天井面側端部10Abは、 例えば表面の摩擦抵抗が比較的大きい部材に よって形成されると好ましい。これにより、 押付部材10Aが突っ張った状態のときに、天井 面側端部10Abが天井部105から滑るおそれを抑� �できる。結果として、先端工具案内装置1の� ��置作業を迅速化できる。上述したように、� ��端工具案内装置1を設置する作業時間には制 限がある。よって、わずかな時間であっても 、先端工具案内装置1の設置作業を迅速化で� �る効果は大きい。

 (実施形態2)
 図5は、実施形態2に係る先端工具案内装置� �全体を示す斜視図である。実施形態1に係る� ��端工具案内装置1の押付部材10Aは、下部ベー ス21と天井部105との間で突っ張ることにより� ��下部ベース21を水室仕切板106に押付けたが� �本実施形態に係る先端工具案内装置2の押付� ��材10Bは、下部ベース21とホールドダウンリ� �グ107の固定爪107aとの間で突っ張ることによ� ��、下部ベース21を水室仕切板106に押付ける� �に特徴がある。なお、上述の実施形態と同� �の効果を奏する構成には、同一の符号を付� �。また、上述の実施形態と同一の構成及び� �果は説明を省略する。

 ここで、一般的に、水室100の管台101には� ��図5に示すように、ホールドダウンリング107 が設けられている。ホールドダウンリング107 は、先端工具案内装置2の設置作業員やメン� �ナンス作業員などが、作業中に円筒管102へ� �下しないように蓋を装着するための部材で� �る。よって、ホールドダウンリング107には� �前記蓋を固定するための凹部である固定爪10 7aが形成されている。

 図5に示すように、先端工具案内装置2は� �押付部材10Bを備える。押付部材10Bは、例え� �水室100の内壁面に沿う形状に湾曲して設け� �れる。また、押付部材10Bは、一方の端部で� �る下部ベース側端部10Baが、下部ベース21と� �触して設けられる。さらに、押付部材10Bは� �他方の端部であるホールドダウンリング側� �部10Bbが、ホールドダウンリング107の固定爪1 07aに嵌め合わされて固定される。

 上記のように、ホールドダウンリング側� ��部10Bbは、ホールドダウンリング107の固定爪 107aに嵌め合わされる。よって、ホールドダ� �ンリング側端部10Bbのホールドダウンリング1 07への嵌め合い部分である嵌合部10Bcは、固定 爪107aの形状に合わせて形成されると好まし� �。これにより、ホールドダウンリング側端� �10Bbが、固定爪107aから外れるおそれを抑制で きる。

 また、一般的に固定爪107aは、ホールドダ ウンリング107に複数設けられる。ホールドダ ウンリング側端部10Bbの嵌合部10Bcが嵌め込ま� ��る固定爪107aは、前記複数の中から適宜選択 できるが、押付部材10Bの長手方向に力が負荷 されたときに、嵌合部10Bcが固定爪107aから外� ��にくい固定爪107aを選択すると好ましい。

 本実施形態に係る押付部材10Bは、実施形� ��1に係る押付部材10Aの押付シリンダ11Aに変え て、例えば、押付手段としてのジャッキボル ト11Bを備える。ジャッキボルト11Bは、ボルト とナットとから構成され、ナットを回転させ ることにより、ジャッキボルト11Bの長手方向 の長さが変化する。

 押付部材10Bは、下部ベース側端部10Baとホ ールドダウンリング側端部10Bbとの間にジャ� �キボルト11Bを有する。さらに、ジャッキボ� �ト11Bは、ジャッキボルト11Bの長手方向と、� �付部材10Bの長手方向とが一致するように設� �られる。これにより、ジャッキボルト11Bの� �ットを回転させることで、押付部材10Aの長� �方向の長さが変化する。なお、本実施形態� �これに限定されず、押付部材10Bは押付シリ� �ダ11Aを備えてもよい。

 これにより、押付部材10Bは、下部ベース2 1の押付部材側接触面21bと、ホールドダウン� �ング107の固定爪107aとの間で突っ張った状態� ��なる。よって、下部ベース21は、押付部材10 Bによって水室仕切板106に押付けられる。結� �として、下部ベース21は、水室仕切板106と押 付部材10Bとによって拘束される。

 なお、押付部材10Bは、下部ベース21の押� �部材側接触面21bと、ホールドダウンリング10 7の固定爪107aとの間で突っ張った状態となる� ��説明したが、本実施形態はこれに限定され� ��い。例えば、押付部材10Bは、下部ベース側� ��部10Baが下部ベース21の押付部材側接触面21b� ��接触すれば、下部ベース21のたわみ量を低� �できる。つまり、押付部材10Bは、押付手段� �備えなくてもよい。但し、押付部材10Bが、� �付手段を備える方が、下部ベース21の剛性は 向上する。よって、先端工具案内装置2は、� �記たわみやずれに起因する先端工具50の処理 面103からの浮き上がりをより好適に抑制でき る。

 下部ベース21が、水室仕切板106と押付部� �10Bとによって拘束されると、下部ベース21は 、外部から力が働いたときの底面部104からの 相対的な移動量が低減されると共に、下部ベ ース21の剛性も向上する。これにより、先端� ��具案内装置2は、下部ベース21のたわみ及び� ��じれ及びずれを抑制できる。よって、先端� ��具案内装置2は、先端工具50と処理面103との� ��間にずれが生じるおそれ、つまり先端工具5 0が処理面103から浮き上がるおそれを抑制で� �る。

 さらに、ホールドダウンリング107は、一� ��的に水室100の天井部105よりも旋回支持部20� �傍に位置するため、本実施形態に係る押付� �材10Bは、実施形態1に係る押付部材10Aよりも� ��型化できる。これにより、先端工具案内装� ��2の設置作業をより迅速化できる。

 なお、実施形態1に係る押付部材10A及び本 実施形態に係る押付部材10Bは、静止構造部材 間で突っ張る点で共通する。上述の実施形態 で、前記静止構造部材を天井部105及び水室仕 切板106と、ホールドダウンリング107及び水室 仕切板106とを例にあげて説明したが、本実施 形態はこれに限定されない。水室100内に存在 する静止構造部材であれば、押付部材10A及び 押付部材10Bは、いかなる部材間に設けられて もよい。

 (実施形態3)
 図6は、実施形態3に係る先端工具案内装置� �全体を示す斜視図である。上述の実施形態� �係る先端工具案内装置は、押付部材によっ� �下部ベース21を拘束したが、本実施形態に係 る先端工具案内装置3の補強部材10Cは、補強� �材によってスライドテーブル30を拘束する点 に特徴がある。なお、上述の実施形態と同一 の効果を奏する構成には、同一の符号を付す 。また、上述の実施形態と同一の構成及び効 果は説明を省略する。

 ここで、上述したように、旋回支持部20� �、スライドテーブル30と、スライドテーブル 支持部34とが存在する面と直交する方向の反� ��、つまり旋回支持部20が旋回する方向の反� �に対する先端工具案内装置3の剛性は、比較� ��低い。よって、本実施形態に係る先端工具� ��内装置3は、図6に示すように、旋回支持部20 が旋回する方向の力に対する補強機能を有す る補強部材10Cを有する。

 補強部材10Cは、例えばスライドテーブル3 0のテーブル部31に設けられる。なお、本実施 形態はこれに限定されず、例えば、補強部材 10Cは、スライドテーブル30のスライドテーブ� ��支持部34に設けられてもよい。補強部材10C� �、旋回支持部20の旋回軸TLから所定の距離を� ��する部位に設けられればよい。このとき、� ��記所定の距離は大きければ大きいほど、補� ��部材10Cが負担できる旋回支持部20の旋回軸TL に働く外部からのモーメントの大きさが向上 する。

 また、本実施形態では、補強部材10Cは、� ��えば略正ハの字形状になるように旋回軸TL� �含む仮想面に対して面対称に2つ設けられる� ��なお、正ハの字とは、2つの補強部材10Cの端 部のうち、ホールドダウンリング107側のそれ ぞれの端部であるホールドダウンリング側端 部10Cb間の距離が、スライドテーブル30側のそ れぞれの端部であるスライドテーブル側端部 10Ca間の距離よりも大きい状態をいう。つま� �、正ハの字とは、スライドテーブル側端部10 Caからホールドダウンリング側端部10Cbに向か う程、互いの補強部材10C間の距離が広がる状 態をいう。

 なお、本実施形態はこれに限定されず、� ��えば、補強部材10Cは、互いに対向するよう� ��直線状に設けられてもよい。また、補強部� ��10Cの設置個数は、2つに限定されない。

 例えば、補強部材10Cの設置個数は、2つ以 上でもよいし、1つでもよい。但し、補強部� �10Cを1つ設けた場合、補強部材10Cが負担する� ��は、旋回支持部20が旋回する方向の反力の� �ち一方の反力のみとなる。また、補強部材10 Cを3つ以上設けた場合、先端工具案内装置3の 大型化のおそれがある。よって、補強部材10C は、2つ設けられると、先端工具案内装置3の� ��強効果と先端工具案内装置3の大型化のおそ れの抑制とを両立できる。

 補強部材10Cの一方の端部をスライドテー� ��ル側端部10Caとし、他方の端部をホールドダ ウンリング側端部10Cbとする。スライドテー� �ル側端部10Caは、回動軸RL04を軸としてスライ ドテーブル30に対して回動できるようにスラ� ��ドテーブル30のテーブル部31に連結される。 このとき、回動軸RL04は、スライドテーブル30 の長手方向と直交する線に対して所定の角度 を有する。これにより、2つの補強部材10Cは� �正ハの字形状になるように回動する。

 なお、略正ハの字形状とは、補強部材10C� ��ホールドダウンリング側端部10Cbがホールド ダウンリング107と接触する状態のときに、ス ライドテーブル側端部10Caからホールドダウ� �リング側端部10Cbに向かう程、補強部材10Cが� ��いに開く形状をいう。

 ホールドダウンリング側端部10Cbは、スラ イドテーブル側端部10Caがスライドテーブル30 に対して回動することで、ホールドダウンリ ング107と接触する。ホールドダウンリング側 端部10Cbのホールドダウンリング107と接触す� �部位は、摩擦抵抗が比較的大きい部材によ� �て形成されると好ましい。また、ホールド� �ウンリング側端部10Cbのホールドダウンリン� ��107と接触する部位は、吸盤や磁石等の吸着� ��段を有して構成されてもよい。これにより� ��ホールドダウンリング側端部10Cbが、ホール ドダウンリング107の表面で滑るおそれを抑制 できる。

 補強部材10Cのホールドダウンリング側端� ��10Cbがホールドダウンリング107と接触してい る際に、補強部材10Cに旋回方向の力や旋回軸 TLと直交する方向の力が働くと、前記補強部� ��10Cは、ホールドダウンリング側端部10Cbがホ ールドダウンリング107側に押し付けられる方 向に回動しようとする。

 しかしながら、ホールドダウンリング側� ��部10Cbは、ホールドダウンリング107に接触し ている。よって、補強部材10Cの回動を規制す るストッパを備えなくても補強部材10Cの回動 を規制できる。なお、補強部材10Cは、補強部 材10Cの回動を規制するストッパを備えてもよ い。

 上記構成により、先端工具50を処理面103� �押し付けるときに生じる、旋回支持部20が旋 回する方向の反力を補強部材10Cが受ける。こ れにより、補強部材10Cが設けられるスライド テーブル30のねじれが拘束される。結果とし� ��、先端工具案内装置3の旋回支持部20が旋回� ��る方向の反力に対する剛性が向上する。よ� ��て、先端工具案内装置3は、先端工具50と処� ��面103との隙間にずれが生じるおそれ、つま� ��先端工具50が処理面103から浮き上がるおそ� �を抑制できる。

 図7は、実施形態3に係る補強部材の収納� �様子を示す斜視図である。上述のように、� �強部材10Cのスライドテーブル側端部10Caは、� ��動軸RL04を軸としてスライドテーブル30に対� ��て回動できる。よって、旋回支持部20が旋� �する際や、先端工具案内装置3の設置作業員� ��よる設置作業などの際に、補強部材10Cを図7 に示すようにスライドテーブル30と隣接する� ��うに収納できる。これにより、先端工具案� ��装置3は、先端工具案内装置3の設置作業員� �よる設置及び撤去作業を簡素化、つまり迅� �化できる。

 なお、本実施形態に係る補強部材10Cは、� ��ライドテーブル側端部10Caに電動モータを備 えてもよい。図1に示す制御装置60が、前記電 動モータを制御することで、自動で必要なと きに補強部材10Cによって先端工具案内装置3� �補強できる。

 また、本実施形態に係る補強部材10Cは、� ��動軸RL04を軸としてスライドテーブル30に対� ��て回動するものとして説明したが、本実施� ��態はこれに限定されない。本実施形態に係� ��補強部材10Cは、補強部材10Cのスライドテー� ��ル側端部10Caがスライドテーブル30に対して� ��脱できるように構成されてもよい。