Beschreibung

Das Rückdünnen von Produktsubstraten ist in der Halbleiterindustrie häufig erforderlich und kann mechanisch und/oder chemisch erfolgen. Zum

Rückdünnen werden die Produktsubstrate in der Regel auf einem Träger vorübergehend fixiert.

Es sind verschiedene Verfahren zur Auflösung oder Zerstörung der

Verbindungsschicht bekannt, wie beispielsweise die Verwendung von UV- Licht, Laserstrahlen oder Temperatureinwirkung. Andere Ansätze verfolgten eine Trennung durch Lösungsmittel.

Das Ablösen stellt sich zunehmend als einer der kritischsten Prozessschritte dar, da die dünnen Substrate mit Substratdicken von wenigen μ ι ^η beim

Ablösen/Abziehen leicht brechen oder durch die für den Vorgang des

Ablösens notwendigen Kräfte Schaden erleiden.

Darüber hinaus haben die dünnen Substrate kaum bis keine Formstabilität und rollen sich typischerweise ohne Stützmaterial ein. Während der Handhabung der rückgedünnten Substrate ist mithin eine Fixierung und Unterstützung der Substrate praktisch unumgänglich. Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine verbesserte Vorrichtung bzw. ein verbessertes Verfahren zum zumindest teilweisen Lösen einer Verbindungsschicht eines temporär verbondeten Substratstapels zur

Verfügung zu stellen.

Diese Aufgabe wird mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung bzw. mit dem erfindungsgemäßen Verfahren gemäß den nebengeordneten Ansprüchen gelöst.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben. In den Rahmen der Erfindung fallen auch sämtliche

Kombinationen aus zumindest zwei von in der Beschreibung, den Ansprüchen und/oder den Figuren angegebenen Merkmalen. Bei angegebenen

Wertebereichen sollen auch innerhalb der genannten Grenzen liegende Werte als Grenzwerte offenbart und in beliebiger Kombination beanspruchbar sein.

Die Vorrichtung weist erfindungsgemäß mindestens einen Ring auf, wobei der Substratstapel innerhalb des mindestens einen Rings platzierbar ist, wobei der mindestens eine Ring eine Mehrzahl von Düsen aufweist, wobei die Düsen zumindest über einen Teil des Umfangs des mindestens einen Rings verteilt angeordnet sind, wobei die Düsen auf die Verbindungsschicht ausgerichtet sind, wobei die Vorrichtung derart ausgebildet ist, dass

Lösungsmittel aus den Düsen auf einen Randbereich der Verbindungsschicht spritzbar ist.

Durch die ringförmig angeordneten Düsen ist vorteilhaft ein gleichmäßiges Auflösen zumindest eines Teils der Verbindungsschicht möglich. Dadurch kann vorteilhaft erreicht werden, dass die Trennung des Substratstapels relativ schonend und schnell erfolgen kann. Mit Vorteil wird die

Verbindungsschicht lediglich teilweise gelöst, das heißt nur angelöst, so dass der Substratstapel noch ausreichend fest verbunden bleibt, so dass er ohne beschädigt zu werden einer anderen Bearbeitungsstation zugeführt werden kann. So kann insbesondere erreicht werden, dass die Verbindungsschicht in einem ersten Schritt lediglich angelöst wird und in einem darauf folgenden zweiten Schritt erst vollständig aufgelöst wird. Dadurch kann das Trennen des Substratstapels noch schonender und noch schneller erfolgen. Außerdem kann die Halterung des Substratstapels vereinfacht werden, da nur eine Seite des Substratstapels festgehalten werden muss. Durch diese einfache

Halterung kann der Aufbau der Vorrichtung erheblich vereinfacht werden, so dass es möglich ist, mehrere Substratstapel gleichzeitig zu bearbeiten.

Weiterhin kann durch den einfachen Aufbau der Halterung außerdem eine Reinigung des Substratstapels in der Vorrichtung erfolgen.

Es ist jedoch grundsätzlich mit der vorliegenden Erfindung auch möglich, die Verbindungsschicht in einem Arbeitsgang vollständig aufzulösen und den Substratstapel komplett zu trennen.

Die Erfindung weist insbesondere die folgenden Vorteile auf:

- es können mehrere Substratstapel gleichzeitig bearbeitet werden

- die Bearbeitungszeiten verringern sich

- es sind keine rotierenden Teile erforderlich

- vergleichsweise einfacher Aufbau

- auch die Substratstapelträger bzw. -Halterungen können gereinigt

werden

Die erfindungsgemäße Vorrichtung und das Verfahren eignen sich

insbesondere zur Lösung, insbesondere Anlösung, von Substratstapeln, die nur partiell, mit Vorzug nur peripher in ihrem Randbereich, verbondet sind. Mit besonderem Vorzug werden die erfindungsgemäße Vorrichtung und das erfindungsgemäße Verfahren zur Anlösung zweier Substrate, die nur bereichsweise, insbesondere mit einem ZoneBond® Prozess, miteinander temporär verbondet wurden, verwendet.

Der S ubstratstapel weist mindestens zwei Substrate auf, die über die

Verbindungsschicht, zumindest bereichsweise, temporär miteinander verbondet sind. Bei den beiden Substraten kann es sich um einen Träger, insbesondere um einen Halbleiterwafer, und ein Produktsubstrat,

insbesondere um einen Halbleiterwafer, handeln. Der Substratstapel kann auch aus drei oder mehr Substraten und/oder aus mehreren Schichten bestehen, insbesondere ein 3 -Wafer-Stack (Triple Stack) sein.

Das Produktsubstrat ist insbesondere auf eine Dicke zwischen 0,5 μιη und 250 pm gedünnt. Als Träger wird bevorzugt ein Trägersubstrat mit einer Dicke zwischen 50 p m und 5000 pm, besonders bevorzugt zwischen 500 pm und 1000 p m verwendet.

Die Substrate können jede beliebige Form besitzen, insbesondere eine runde Form. Der Durchmesser der Substrate ist insbesondere industriell genormt. Für Wafer sind die industrieüblichen Durchmesser 1 Zoll, 2 Zoll, 3 Zoll, 4 Zoll, 5 Zoll, 6 Zoll, 8 Zoll, 12 Zoll und 1 8 Zoll.

Für die Verbindungsschicht kommt eine Folie oder ein Kleber, insbesondere ein lösbarer Kleber, bevorzugt ein Thermoplast, in Frage, der insbesondere selektiv in einem Randbereich des Trägersubstrat-Produktsubstrat-Verbundes, mit Vorzug in einer Randzone von 0, 1 mm bis 20,0 mm Breite, besonders bevorzugt von 0, 1 bis 10,0 mm, mit größerem Vorzug von 0, 1 bis 5,0 mm, mit größtem Vorzug von 0, 1 bis 2,0 mm, mit allergrößtem Vorzug von 0, 1 bis 1 ,0 mm Breite aufgebracht wird. Alternativ kann der Kleber insbesondere vollflächig aufgebracht werden, wobei die Klebekraft bevorzugt im Zentrum durch eine haftreduzierende Schicht, insbesondere ein Fluorpolymer, vorzugsweise Teflon, reduziert sein kann. Die, insbesondere chemische, Anlösung der Verbindungsschicht ist für das Produktsubstrat besonders schonend und die Anlösung kann sehr schnell erfolgen, insbesondere wenn nur Randbereiche des Produktsubstrats mit einer Verbindungsschicht versehen sind, so dass das Lösungsmittel insbesondere von der Seite her schnell wirken kann. In einer bevorzugten

erfindungsgemäßen Ausführungsform wird ein Anlösen am Rand erreicht, sodass die Trennung bzw. das Ablösen rasch und ohne Einwirkung starker Kräfte unmittelbar danach insbesondere in einer separaten Station

durchgeführt werden kann. Die vollständige Ablösung erfolgt insbesondere durch die Kombination von chemischem Lösen (Auflösen) und mechanischer Einwirkung.

Die Vorrichtung bzw . das Verfahren kann insbesondere zum Anlösen,

Ablösen und/oder Reinigen des Substratstapels bzw. des Produktsubstrats ausgebildet sein. Die Vorrichtung kann modulartig ausgebildet und

insbesondere Teil einer Gesamtanlage sein. Die Vorrichtung kann aber auch selbst eine Gesamtanlage mit mehreren Modulen zum Beispiel Anlösemodui, Ablösemodul und/oder Reinigungsmodul sein. Die Module können

clusterförmig und/oder sternförmig um ein Zentralmodul herum, insbesondere mit einer Bewegungseinrichtung für die Substrate bzw. Substratstapel (zum Beispiel einem Robotersystem), angeordnet werden.

Der Erfindung liegt insbesondere der Gedanke zugrunde, das Produktsubstrat schonend vom Trägersubstrat anzulösen und zwar insbesondere für mehrere Substratstapel gleichzeitig. Es ist insbesondere vorgesehen, dass die

Anlösung der Verbindungsschicht, bevorzugt in konzentrischen Bahnen, insbesondere Kreisen, vom Umfang der Verbindungsschicht zum Zentrum der Verbindungsschicht erfolgt. Die Erfindung betrifft insbesondere eine

Vorrichtung und ein Verfahren zum schnellen Anlösen von mehreren

Substratstapeln gleichzeitig. Die Prozesszeit wird durch die Düsen (Düsen umfassen auch Schlitze und Bohrungen) , die insbesondere direkt auf die Verbindungsschicht (bzw. in das Bondinterface) sprühen, reduziert.

Insbesondere wird bei diesem Prozess der Substratstapel nicht rotiert, insbesondere bleibt der Substratstapel während des Lösens der

Verbindungsschicht unbewegt. Ein besonderer erfindungsgemäßer Vorteil besteht darin, dass kontinuierlich frisches oder zumindest wieder

aufbereitetes Lösungsmittel zum Lösen der Verbindungsschicht verwendet wird. Damit wird eine neue und erfindungsgemäße Vorrichtung zum Lösen der Verbindungsschicht offenbart, die sich eindeutig von Vorrichtungen unterschiedet, in denen der Substratstapel vollständig von Lösungsmittel umgeben wird, welches im Laufe der Zeit durch die Komponenten der Verbindungsschicht verunreinigt wird.

Erfindungsgemäß weist die Vorrichtung mindestens einen Ring auf. Der mindestens eine Ring ist mit Vorzug in 0, 1 bis 1 5 mm, mit größerem Vorzug in 0, 1 bis 10 mm, mit größtem Vorzug in 0, 1 bis 8 mm, mit allergrößtem Vorzug in 0, 1 bis 5 mm Abstand zum Substratstapel und/oder zur

Verbindungsschicht angebracht. Dadurch ist ein besonders effizientes Lösen bzw. Anlösen der Verbindungsschicht möglich.

Der mindestens eine Ring ist insbesondere mit einer Lösungsmittelleitung ausgestattet, die zu der Mehrzahl an Düsen führt. Die Düsen sind bevorzugt über den gesamten Umfang, insbesondere gleichmäßig voneinander beabstandet, des mindestens einen Ringes verteilt angeordnet. Dadurch ist vorteilhaft ein besonders gleichmäßiges Lösen bzw. Anlösen der

Verbindungsschicht möglich.

Der mindestens eine Ring weist bevorzugt mindestens 60, mit größerem Vorzug mehr als 70, mit größerem Vorzug mehr als 80, mit noch größerem Vorzug mehr als 100, mit ganz besonderem Vorzug mehr als 120 Düsen, insbesondere am ganzen Umfang des mindestens einen Ringes, auf. Es ist bevorzugt vorgesehen, dass die Düsen einen Durchmesser von 0,01 bis 10 mm, mit Vorzug von 0,01 bis 7 mm, mit größerem Vorzug von 0,01 bis 5 mm, mit größtem Vorzug von 0, 1 bis 2 mm aufweisen. Dadurch ist vorteilhaft ein besonders effizientes Lösen bzw. Anlösen der Verbindungsschicht möglich.

Der Querschnitt und/oder die Form der Düsen können variieren und die Düsenströmung ist insbesondere abhängig von der B auform der Düsen.

Insbesondere durch, bevorzugt in der Horizontalebene, schwenkbare Düsen bzw. Düsenhalterungen kann ein gleichmäßiges, und insbesondere

vollständiges, Bespritzen der Verbindungsschicht erreicht werden. Der Schwenkungsgrad der Düsen bzw. der Düsenhalterungen beträgt insbesondere 1 ° bis 20°, bevorzugt 1 ° bis 15°.

In einer besonderen Ausführungsform weist der mindestens eine Ring genau eine Düse auf. Dadurch wird die Verbindungsschicht lediglich örtlich begrenzt angelöst. Insbesondere durch eine, bevorzugt in der

Horizontalebene, schwenkbare Düse bzw. Düsenhalterung kann ein

gleichmäßiges Bespritzen der Verbindungsschicht im Örtlich begrenzten Winkelbereich der Düse erreicht werden . Die dadurch angelöste Stelle dient als Sollbruchstelle für die (u. a. mechanische) Trennung bzw. für das Ablösen von Produktsubstrat vom Trägersubstrat, insbesondere in einer separaten Station.

Die Düsen können radial bewegt werden. Insbesondere könne die Düsen bis an die Peripherie der Substrate, insbesondere die Verbindungsschicht bewegt werden und diese, falls nötig, sogar kontaktieren. Eine ontaktierung ist aber auf Grund des Verschmutzungsrisikos der Düse durch die Komponenten der Verbindungsschicht nicht erwünscht. Der maximale Verfahrweg einer Düse ist dabei größer als 0 mm, vorzugsweise größer als 0.5 mm, noch bevorzugter mehr als 1 mm, am bevorzugtesten mehr als 5 mm, am allerbevorzugtesten mehr als 10 mm.

Um den Substratstapel in der (An-)Löseposition innerhalb des mindestens einen Ringes zu halten, ist der mindestens eine Ring bevorzugt mit

mindestens einer, insbesondere schwenkbaren, Halterung, insbesondere mit mindestens einem Fixierungspin zum Befestigen des Substratstapels, ausgestattet. Dadurch ist vorteilhaft eine verbesserte Befestigung des

Substratstapels möglich. In einer weiteren beispielhaften Ausführung ist eine Vakuumeinrichtung auf der Halterung angeordnet.

Mehrere Ringe, insbesondere mit den korrespondierenden Halterungen, können, insbesondere vertikal, übereinander, insbesondere gestapelt, angeordnet werden und können insbesondere in einer geschlossenen Kammer untergebracht werden. Die übereinander angeordneten Ringe sind

insbesondere miteinander verbunden und werden, insbesondere mittels

Verbindungs- bzw. Versorgungsleitungen, mit Lösungsmittel, insbesondere mittels einer, insbesondere leistungsstarken, Umwälzpumpe, versorgt.

Mit Vorzug können 2 bis 30 Ringe, mit größerem Vorzug 2 bis 15, mit größtem Vorzug 2 bis 10, mit allergrößtem Vorzug 2 bis 5 Ringe

übereinander angeordnet werden, sodass vorteilhaft mehrere Substratstapel , insbesondere gleichzeitig, behandelt werden können.

Die vorliegende Erfindung ermöglicht insbesondere durch den Ring und das Lösungsmittelleitungssystem (im Folgenden auch Common Rail System genannt) ein gleichmäßiges Besprühen, insbesondere vom gesamten

Verbindungsschichtumfang, ohne den Substratstapel und/oder den Ring drehen zu müssen. In einer alternativen Ausführungsform sind der Ring bzw. die Ringe und/oder die Halterungen beweglich, insbesondere drehbar, ausgebildet. Zur Halterung und Transport von Substraten wie z.B . Wafer bzw. S ubstratstapel werden diese auf eine Aufnahmeeinrichtung aufgebracht. Als Aufnahmeeinrichtung eignet sich insbesondere ein Probenhalter (engl. :

chuck). Um ein vollständiges und/oder schnelleres Lösen bzw. Anlösen zu ermöglichen, wird eine Rotation von Substrat und/oder Düse i.e. Ring durchgeführt. Dabei erfolgt eine Relativrotation zwischen den Düsen und dem Substratstapel. Mit Vorzug befindet sich der Substratstapelhalter auf einer Welle, welche um Ihre Achse in Rotation versetzt werden kann. Anstatt der Drehung ist auch eine Oszillation des Substratstapelhalters um die Welle möglich. Dabei kann eine Drehung bzw. Oszillation so eingestellt werden, dass durch die Oszillation zumindest jener Winkel, der zwischen zwei Düsen liegt, abgedeckt wird. Dadurch wird der gesamte Verbindungsschichtumfang abgedeckt und es können weniger Düsen eingesetzt werden.

Durch die erfindungsgemäße Vorrichtung und das erfindungsgemäße

Verfahren ist es insbesondere möglich, mehrere Substratstapel nacheinander in die übereinander angeordneten, insbesondere gestapelten, Ringe der Vorrichtung zu laden, um dann gleichzeitig die Randzonen zu lösen bzw. zumindest anzulösen (z.B . in einem Edge Zone Rel ease Prozess-Schritt).

Besonders bevorzugt weist die Vorrichtung eine einschwenkbare

Abschirmung auf, sodass, wenn das Lösen bzw . Anlösen beendet ist und der unterste Substratstapel zur Reinigung entnommen wird, die Abschirmung die Verunreinigung vom untersten Substratstapel durch Tropfen von oben verhindert. Ist die Abschirmung eingeschwenkt, kann der Substratstapei gereinigt und dann getrocknet werden. Zum Holen des nächsten

Substratstapels geht die Abschirmung wieder auf. Die Abschirmung dient als Tropfschutz- bzw. Spritzschutzvorrichtung und wird manuell, automatisch und/oder halbautomatisch gesteuert. Die Abschirmung kann z. B . mittels eines Aktuators von der eingeschwenkten, schützenden Position in eine

Ausgangsposition (nicht dargestellt) gebracht werden. Die darauf fallenden Tropfen werden z.B . über eine Schräge abgeführt. Die Abschirmung kann jede Form haben, mit Vorzug rund, rechteckig oder quadratisch. Die

Abschirmung erstreckt sich über die Ringe der Vorrichtung bzw. schließt mit einer Abdichtung ab, sodass es zu keiner Verunreinigung durch Tropfen von oben kommen kann.

Bevorzugt weist die Vorri chtung eine, insbesondere in vertikaler Richtung, bewegliche Aufnahmeeinrichtung zur Aufnahme des Substratstapels auf. Die Aufnahmeeinrichtung dient dem Transport des Substratstapels . Die

Aufnahmeeinrichtung transportiert den Substratstapel zum Ring hin und/oder vom Ring weg. Die Aufnahmeeinrichtung dient somit zum Laden und/oder Entladen des Ringes. Vorteilhaft kann der Substratstapel auf der

Aufnahmeeinrichtung fixiert werden. Als Aufnahmeeinrichtung eignet sich insbesondere ein Probenhalter (engl. : chuck). Die Aufnahmeeinrichtung bringt bevorzugt einzelne Substratstapel in die (An-)Löseposition bzw. (An- )Lösepositionen. In einer vorteilhaften Ausführung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Aufnahmeeinrichtung bzw. die Vorrichtung Ladestifte aufweist, die den Substratstapel auf der Halterung absetzen bzw. von der Halterung aufnehmen.

Vorteilshalber ist bevorzugt vorgesehen, den untersten Substratstapel mit der, insbesondere in z-Richtung, beweglichen Aufnahmeeinrichtung soweit aus der Vorrichtung rauszufahren und mit der schwenkbaren Abschirmung abzudecken, dass eine R einigung und Trocknung mit Lösungsmittel möglich ist. Die Vorrichtung weist mit Vorzug einen, insbesondere einschwenkbaren, Arm mit mindestens einer Düse auf, der für die Reinigung der oberen Seite des Substratstapels verwendet werden kann. Der Arm kann in einer weiteren Ausführungsform als Arm mit hydraulisch ausfahrbarem Teleskopausleger in den, insbesondere abgeschlossenen, Raum über den S ubstratstapeln

eingeführt werden. Unter und/oder über der Aufnahmeeinrichtung und/oder im untersten und/oder obersten Ring kann sich zumindest eine weitere Düse, insbesondere eine BSR (back side rinse) Düse, befinden, die insbesondere in Richtung zum Zentrum des Substratstapels zeigt, sodass auch die untere und/oder die obere Seite des Substratstapels gereinigt werden kann. Besonders vorteilhaft ist es, wenn mindestens zwei Lösungsmittel-Leitungen für die Düse bzw . Düsen vorhanden sind . Mit Vorzug werden auf der unteren und/oder oberen Seite der Aufnahmeeinrichtung und/oder im untersten und/oder obersten Ring 1 bis 60 Düsen eingesetzt, mit größerem Vorzug 1 bis 10, mit größtem Vorzug 1 bis 6 , mit allergrößtem Vorzug 1 bis 3 Düsen angeordnet. In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform kann diese Düse bzw. können diese Düsen bewegt werden, insbesondere von der Mitte der Aufnahmeeinrichtung zum Rand hin, wobei sie bevorzugt eine gleichförmige, insbesondere lineare, Bewegung ausführen. Andere Bewegungsabläufe wie z.B . eine spiralförmige Bewegung der Düse bzw. Düsen sind möglich. Für eine gute Flächendeckung kann eine bzw. können rotierende und/oder schwenkende Düse bzw. Düsen verwendet werden. Auch die Substrat-Halterungen selber können mit diesen Düsen gereinigt werden. Der Abstand zwischen den Düsen und der

Oberfläche eines Substrats kann vorzugsweise ebenfalls eingestellt werden. Der maximale Verfahrweg einer Düse ist dabei größer als 0 mm,

vorzugsweise größer als 1 mm, noch bevorzugter mehr als 25 mm, am bevorzugtesten mehr als 50 mm, am allerbevorzugtesten mehr als 100 mm.

Der Substratstapel wird, insbesondere auf der Aufnahmeeinrichtung, während der Reinigung, insbesondere an seinem Umfang, mit Vorzug von 15, mit größerem Vorzug von 9, mit größtem Vorzug von 6, mit allergrößtem Vorzug von 3 Fixierungspins festgehalten. Dadurch kann vorteilhaft eine besonders effiziente Reinigung erfolgen. Bevorzugt ist die Aufnahmeeinrichtung so gestaltet, dass ein Roboter den Substratstapel entnehmen kann. In einer weiteren erfindungsgemäßen Ausführung werden in der Aufnahmeeinrichtung keine Ladestifte verwendet, um Verunreinigungen möglichst gering zu halten oder zu verhindern.

Mit der vorliegenden Erfindung wird gemäß einer bevorzugten

Ausführungsform Lösungsmittel, das bei einem Reinigungsprozess anfällt, nicht mehr entsorgt, sondern, insbesondere durch Destillation, abgetrennt und wiederverwendet. Organische sowie wässrige Lösungsmittel werden insbesondere durch fraktionierte Destillation und anschließende

Kondensation aufbereitet. Das Abtrennen und Recycling kann in einen voll automatischen Reiniger integriert werden. Ein Vorteil ist die Reduktion der Kosten. Außerdem steht bereits erwärmtes Lösungsmittel zur Verfügung, was den Reinigungsprozess und/oder den (An-)Löseprozess beschleunigt. Alternativ können Lösungsmittel durch weitere Lösungsmittel

Reinigungsmethoden wie z.B . Rektifikation, Filtration, Zentrifugalreinigung, Adsorption, usw. gereinigt werden.

In einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist

vorgesehen, dass das Lösungsmittel zum Reinigen des Substratstapels und/oder des Produktsubstrats nach dem vollständigen Ablösen (engl , debonden) in einem Kreis gepumpt wird und - in einer Weiterentwicklung - durch Düsen, die in einem Düsenkörper über der, insbesondere ganzen, Substratoberfläche angeordnet sind, austritt. Dies kann insbesondere auch in einer separaten Station bzw. Modul stattfinden. In einer weiteren

Ausführungsform ist vorgesehen, dass die Düsen über einer Teilfläche der Substratfläche angeordnet sind. Somit kann insbesondere ein

Reinigungsdreieck entstehen. Durch die tortenförmige Ausgestaltung des Düsenkörpers kann beim Rotieren des Substrats bzw. Substratstapels eine gleichmäßige Verteilung des Lösungsmittels über die Substratoberfläche erreicht werden. Die Aufnahmeeinrichtung wird in dieser weiteren

erfindungsgemäßen Ausführungsform durch einen Motor (nicht dargestellt) in Rotation versetzt. Eine sehr häufig verwendete Art der Fixierung vom Substrat auf der Aufnahmeeinrichtung erfolgt mit Hilfe von Vakuum bzw. Unterdruck. Die Substrataufnahraeeinrichtung hat Vakuumbahnen auf der gesamten Fläche oder auf definierten Zonen der Fläche, z.B . die Außenzonen der Fläche. Mit Vorteil verläuft der Unterdruckkanal konzentrisch,

insbesondere kreisförmig, zu einem Zentrum Z der Aufnahmeeinrichtung, insbesondere vollumfänglich. Hierdurch wird eine gleichmäßige Fixierung erreicht. Weiterhin kann bei Bedarf die Kontur der Aufnahmefläche gegenüber der Aufnahmeebene der Aufnahmefläche zurückgesetzt sein, sodass V ertiefungen gebildet werden, die die Auflagefläche verkleinern bzw . verändern. Je nach Bedarf kann die Aufnahmefläche der

Aufnahmeeinrichtung reduziert werden, sodass sich eine kleinere

Kontaktfläche zwischen Substrat und Probenhalter ergibt. Weitere

Möglichkeiten der Fixierung am Probenhalter sind die mechanische Fixierung durch Klemmen oder eine elektrostatischen Fixierung. Auch Probenhalter mit Pins werden eingesetzt. Spezialklebstoffe können auch eingesetzt werden. Die Anzahl und Verteilung der Düsen im Düsenkörper beeinflusst die

Qualität und Homogenität der Reinigung. Mit Vorzug werden mehr als eine Düse, mit größerem Vorzug mehr als 5 Düsen, mit größtem Vorzug mehr als 10 Düsen, mit allergrößtem Vorzug mehr als 50 Düsen eingesetzt. Der Spritzabstand zwischen Düse und Substratoberfläche beträgt mit Vorzug zwischen 0, 1 bis 100 mm, mit größerem Vorzug zwischen 0, 1 bis 50 mm, mit größtem Vorzug zwischen 0,2 bis 20 mm. Der Spritzwinkel und die

Spritzbreiten können je nach Düsenart und Spritzabstand variieren.

Das Lösungsmittel wird in der Lösungsmittelleitung bzw. im Common Rail insbesondere für die Grob-Reinigung im Kreis gepumpt. Das Lösungsmittel gelangt durch Versorgungsleitungen in den Düsenkörper. Mit Vorzug werden 1 bis 60, mit größerem Vorzug 1 bis 20, mit größtem Vorzug 1 bis 10, mit allergrößtem Vorzug 1 bis 6 Versorgungsleitungen eingesetzt. Die

übereinander gestapelten Ringe sind insbesondere in einer geschlossenen Kammer angeordnet und der unterste Ring wird in einer bevorzugten Ausführungsform zum Reinigen des Substratstapels verwendet. Wird der Ring zum Reinigen des Produktsubstrats nach dem Ablösen verwendet, wird das Produktsubstrat insbesondere auf eine Klebefolie, bevorzugt mit einem Film- Frame, gespannt und kann in einem Reinigungsmodul mit einem Reinigungs- Ring gereinigt werden. Die Reinigungszeit kann mit diesem Reinigungs-Ring erheblich verkürzt werden. Der Durchmesser der Düsen für den

Reinigungsschritt beträgt insbesondere 0, 1 bis 5 mm, bevorzugt 0,2 bis 1 mm. Das Reinigen kann im gleichen Modul durchgeführt werden und/oder auf einer separaten Station. Es können auch mehrere Reinigungsschritte im gesamten Prozess durchgeführt werden. In einer weiteren Ausführungsform kann bei Bedarf der Reinigungsring rotiert werden.

Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele sowie anhand der Zeichnungen; diese zeigen in:

Figur l a: eine schematische Aufsicht einer erfindungsgemäßen

Vorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform mit einer Schnittlinie A-A,

Figur 1 b : eine schematische Querschnittansicht eines Teilabschnitts der

Vorrichtung aus Figur l a entlang der Schnittlinie A-A,

Figur l c: eine schematische Querschnittansicht einer erfindungsgemäßen

Vorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform,

Figur 2a: eine Querschnittsansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform,

Figur 2b : eine Aufsicht auf eine Aufnahmeeinrichtung gemäß einer

bevorzugten Ausführungsform, Figur 3 : eine Querschniitsansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform,

Figur 4a: eine Querschnittsansicht einer Aufnahmeeinrichtung gemäß einer anderen Ausführungsform,

Figur 4b: eine Aufsicht der Aufnahmeeinrichtung aus Figur 4a,

Figur 5a: eine schematische Aufsicht einer beispielhaften

Ausführungsform eines Düsenkörpers und

Figur 5b : eine Querschnittsansicht eines weiteren beispielhaften

Düsenkörpers .

In den Figuren sind gleiche Bauteile und B auteile mit der gleichen Funktion mit den gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet und werden daher jeweils auch nur einmal benannt.

Figur l a zeigt schematisch eine Aufsicht einer erfindungsgemäßen

Vorrichtung 22 gemäß einer ersten Ausführungsform mit einer Schnittlinie A- A. Figur l b zeigt einen schematischen Halbteil einer Querschniitsansicht der Vorrichtung 22 entlang der Schnittl inie A-A. Der andere Halbteil ist spiegelbildlich ausgeführt.

Wie in der Ausführungsform gemäß Figur l a und lb gezeigt, weist die

Vorrichtung 22 einen Ring 1 auf. Der Ring 1 ist mit schwenkbaren

Halterungen 3 mit Fixierungspins 7 ausgestattet, um einen Substratstapel 2 in einer Anlöseposiüon zu halten. Die Fixierungspins 7 sind vorteilhaft zylindrisch oder leicht konisch angespitzt, können aber auch andere geeignete Formen und/oder Größen haben. Der Substratstapel 2 besteht aus einem Trägersubstrat 5 und einem Produktsubstrat 6, die über eine

Verbindungsschicht 4, z.B . eine Klebeschicht, temporär miteinander verbondet sind.

Der Ring 1 ist mit Vorzug in 0, 1 bis 15 mm, mit größerem Vorzug in 0, 1 bis 10 mm, mit größtem Vorzug in 0, 1 bis 8 mm, mit allergrößtem Vorzug in 0, 1 bis 5 mm Abstand zum Substratstapel 2 angebracht.

Der Ring 1 ist mit einer Lösungsmittel-Leitung 9 (im Folgenden auch

Common Rail 9 genannt) ausgestattet, in die Bohrungen, vorzugsweise Düsen l a, führen. Die Bohrungen, vorzugsweise Düsen l a, haben mit Vorzug einen Durchmesser von 0,01 bis 10 mm, mit größerem Vorzug von 0 ,01 bis 7 mm, mit größtem Vorzug von 0,01 bis 5 mm, mit allergrößtem Vorzug von 0, 1 bis 2 mm. Die Düsen l a sind am ganzen Umfang des Rings 1 angeordnet. Der Abstand der Düsen l a zueinander hängt vom Material und der abzulösenden Randzone (im Folgenden auch Randbereich oder Edge Zone genannt) ab und liegt im Bereich von 1 bis 50 mm, bevorzugt im Bereich von 3 bis 20 mm. Die Düse l a spritzt Lösungsmittel auf den Randbereich der

Verbindungsschicht 4 (angedeutet mit einem Lösungsmittelstrahl 8).

Der Durchmesser des Produktsubstrats 6 stimmt vorzugsweise mit dem Durchmesser des Trägersubstrats 5 im Wesentlichen überein. Die Dicke des Produktsubstrats 6 ist insbesondere geringer als die Dicke des

Trägersubstrats 5.

Die Lösungsmittel-Leitungen 9 werden mit Lösungsmittel gefüllt und das Lösungsmittel tritt aus den Düsen l a mit hohem Druck aus . Der Druck ist dabei größer gleich 1 bar, vorzugsweise größer als 5 bar, noch bevorzugter größer als 10 bar, am bevorzugtesten größer als 20 bar. Wird die Anlage unter Vakuum betrieben und ist der Umgebungsdruck kleiner als 1 bar, so kann der Druck des Lösungsmittels, sofern notwendig ebenfalls kleiner als 1 bar sein. Der Druck des Lösungsmittels muss aber auf alle Fälle größer sein als der Umgebungsdruck. Das Lösungsmittel wird im Kreis gepumpt (nicht dargestellt) und grob gefiltert, um eine Verstopfung der Düsen l a zu verhindern. Für eine erfindungsgemäße Ausführungsform, in welcher das Lösungsmittel durch Destillation abgetrennt und wiederverwendet wird, ist das Lösungsmittel bereits beheizt.

Die Prozesszeit z.B . beim Anlösevorgang (Edge Zone Release (EZR)

Vorgang) hängt vom Material , i.e. vom Klebstoff, und von der Breite der (Kleber-) Randzone ab. Die Randzone kann so schmal wie möglich gestaltet werden, um die Prozesszeit bzw. Anlösezeit zu verringern.

In einer alternativen Ausführungsform zu Figur 1 b ist der Ring 1 und/oder die Halterung 3 ' drehbar ausgebildet. Als Halterung 3 ' i.e.

Aufnahmeeinrichtung eignet sich insbesondere ein Probenhalter (engl. :

chuck). Um ein vollständiges und/oder schnelleres Lösen bzw. Anlösen zu ermöglichen, erfolgt eine Relativrotation zwischen den Düsen l a und dem Substratstapel 2. Mit Vorzug befindet sich der Substratstapelhalter 3 ' auf einer Welle, welche um Ihre Achse in Rotation versetzt werden kann. In dieser Ausführungsform ist die Halterung 3 ' nicht schwenkbar sondern wird mit einer Welle zentrisch geführt (nicht dargestellt). Vorteilhaft wird die Aufnahmeeinrichtung 10 eingesetzt (siehe Figur 2a) . Die

Aufnahmeeinrichtung 10 bewegt sich zuerst, insbesondere angetrieben über eine Welle 1 2, in der z-Richtung nach oben und bringt den Substratstapel 2 in die Betriebsposition. Diese Welle kann dann auch um Ihre Achse in Rotation versetzt werden (nicht dargestellt). Anstatt der Drehung ist auch eine

Oszillation der Halterung 3 ' um die Welle möglich. Dabei kann eine Drehung bzw. Oszillation so eingestellt werden, dass durch die Oszillation zumindest jener Winkel , der zwischen zwei Düsen l a liegt, abgedeckt wird. Dadurch wird der gesamte Verbindungsschichtumfang abgedeckt und es können weniger Düsen l a eingesetzt werden. Figur 1 c zeigt einen Halbteil einer schematischen Querschnittansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 22 gemäß einer zweiten Ausführungsform. Der andere Halbteil ist spiegelbildlich ausgeführt. In Figur l c sind drei, insbesondere identisch ausgebildete, Ringe 1 sowie korrespondierende Halterungen 3 vertikal übereinander gestapelt angeordnet. Alle Ringe 1 sind in einer geschlossenen Kammer untergebracht (nicht dargestellt). Die gestapelten Ringe 1 sind miteinander verbunden und werden mittels

Verbindungs- bzw. Versorgungsleitungen 9 mit Lösungsmittel mittels einer leistungsstarken Umwälzpumpe versorgt.

Mehrere Ringe 1 können in beliebiger Anzahl übereinander angeordnet werden, mit Vorzug 2 bis 30, mit größerem Vorzug 2 bis 15 , mit größtem Vorzug 2 bis 10, mit allergrößtem Vorzug 2 bis 5 Ringe 1 , sodass mehrere Substratstapel 2 gleichzeitig behandelt werden können.

Figur 2a zeigt schematisch eine Querschnittsansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 22 gemäß einer dritten Ausführungsform. Die Vorrichtung 22 kann wie in der Figur l c beschrieben ausgebildet sein, wobei die Vorrichtung 22 zusätzlich eine Aufnahmeeinrichtung 10 aufweist. Der obere Ring 1 ist in dieser Darstellung bereits mit einem Substratstapel 2 beladen. Ein zweiter Substratstapel befindet sich auf der Aufnahmeeinrichtung 10.

Der Substratstapel 2 kann zuvor von einem Roboter (nicht dargestellt) auf die Aufnahmeeinrichtung (insbesondere ein Chuck) 10 geladen worden sein. Die Aufnahmeeinrichtung 10 ist so ausgebildet, dass der Roboter den

Substratstapel 2 nach dem Lösen bzw. Anlösen wieder entnehmen kann.

Vorteilhaft wird der Substratstapel 2 auf der parallel zur z-Richtung

(Vertikalrichtung) beweglichen Aufnahmeeinrichtung 10 fixiert. Die

Aufnahmeeinrichtung 10 bewegt sich, insbesondere angetrieben über eine Welle 12, in der z-Richtung nach oben und bringt den Substratstapel 2 in die Nahe der mittleren Halterung 3. Danach laden bewegliche Ladestifte 1 1 den Substratstapel 2 auf die mittlere Halterung 3.

In einer vorteilhaften Ausführung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Halterungen 3 eingeschwenkt werden können und die Ladestifte 1 1 den Substratstapel 2 darauf absetzen können. Die Fixierungspins 7 verhindern ein Verrutschen des Substratstapels 2 auf der Halterung 3. In einer weiteren beispielhaften Ausführung ist alternativ oder optional eine

V akuumeinrichtung auf den, insbesondere schwenkbaren, Halterungen 3 angeordnet.

Dieser Vorgang wird wiederholt bis alle Substratstapel 2 geladen bzw . alle Ringe 1 beladen sind. Danach wird das Spritzen des Lösungsmittels aus den Düsen l a gestartet.

Figur 2b zeigt eine Aufsicht auf eine Aufnahmeeinrichtung 10 einer bevorzugten Ausführungsform. Die Aufnahmeeinrichtung 10 verfügt, um einen Substratstapel 2 von der Halterung 3 aufzunehmen bzw. auf der

Hal terung 3 abzulegen, über einen nicht dargestellten Hebemechanismus mit Ladestiften 1 1 . Der Hebemechanismus kann z.B . in der Aufnahmeeinrichtung 10 integriert werden und mittels eines Steuerungsnetzwerkes betrieben werden. Die Aufnahmeeinrichtung 10 wie in Figur 2b gezeigt verfügt über drei Aussparungen 1 3 für die Ladestifte 1 1. Weiters weist die Auflagefläche der Aufnahmeeinrichtung 10 gemäß einer beispielhaften Ausführungsform kreisförmige, konzentrisch zum Zentrum angeordnete, Aussparungen auf. Diese Aussparungen sind vorteilhaft, um eine Reinigung des Substratstapels 2 von unten durchführen zu können. Die Aussparungen können auch andere geeignete Formen aufweisen, z.B . wabenförmig oder kreisförmig ausgebildet sein, und/oder andere Flächendeckungen haben. Nach dem Spritzvorgang wird der unterste Substratstapel 2 von den

Ladestiften 1 1 angehoben. Danach werden die Halterungen 3 ausgeschwenkt und die Ladestifte 1 1 setzen den Substratstapel 2 auf der

Aufnahmeeinrichtung 10 ab. Die Aufnahmeeinrichtung 1 0 fährt in eine definierte untere Position, um die Reinigung des Substratstapels 2 zu ermöglichen bzw . durchzuführen.

Figur 3 zeigt schematisch eine Querschnittsansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 22 gemäß einer vierten Ausführungsfoxm. Figur 3 zeigt eine Ausführungsform, in der der Substratstapel 2 mit Lösungsmittel, z.B . reinem Lösungsmittel oder einem Lösungsmittel-Gemisch, gereinigt und mit schnell trocknenden Lösungsmitteln getrocknet wird. Die Aufnahmeeinrichtung 10 fährt in eine definierte untere Position, um die Reinigung des Substratstapels 2 zu ermöglichen bzw. durchzuführen. Die übereinander gestapelten Ringe 1 sowie die Aufnahmeeinrichtung 10 sind in einer geschlossenen Kammer 16 angeordnet.

Oberhalb dieser unteren Position befindet sich ein einschwenkbarer Arm 14 mit einer Düse 141 für die Substratstapel-Reinigung durch Lösungsmittel. Besonders bevorzugt ist die Verwendung einer einschwenkbaren

Abschirmung (nicht dargestellt) in der Vorrichtung 22, sodass, wenn das Lösen bzw. Anlösen beendet ist und der unterste Substratstapel 2 zur

Reinigung entnommen wird, die Abschirmung die Verunreinigung vom untersten Substratstapel 2 durch Tropfen von oben verhindert. Ist die

Abschirmung eingeschwenkt, kann der Substratstapel 2 gereinigt bzw. dann getrocknet werden. Zum Aufnehmen des nächsten Substratstapels 2 geht die Abschirmung wieder auf.

Vorteilshalber ist vorgesehen, den jeweils untersten Substratstapel 2 mit der in z-Richtung beweglichen Aufnahmeeinrichtung 10 soweit nach unten aus dem Ringstapel rauszufahren und mit der schwenkbaren Abschirmung abzudecken, dass eine Reinigung und Trocknung mit Lösungsmittel möglich ist. Der einschwenkbare Arm 14 mit der Düse 141 wird für die Reinigung der oberen S eite vom Substratstapel 2 verwendet. Unter der Aufnahmeeinrichtung 10 befindet sich eine weitere Düse 1 5, die in Richtung zum Zentrum des Substratstapels 2 zeigt, sodass auch die untere Seite vom Substratstapel 2 gereinigt werden kann. In dieser beispielhaften Ausführungsform wird der Substratstapel 2 während des Reinigungsschritts nur am Umfang von drei Fixierungspins 10a festgehalten.

Der Substratstapel 2 wird von der Aufnahmeeinrichtung 10 mit einem

Roboter entladen und z.B . auf einen Film-Frame Mounter oder zum nächsten Modul (z.B . für Edge Zone Debonding EZD) geführt. Alternativ dient z.B . eine Bufferstation zum Zwischenlagern des Substratstapeis 2 , bevor dieser im Prozess weiter verarbeitet wird, i.e. z.B . bis wieder Plätze zum

Weiterverarbeiten in der, insbesondere automatischen, Anlage frei sind.

Figur 4a zeigt schematisch eine weitere beispielhafte Ausführungsform der Aufnahmeeinrichtung 10 in einer Seitenansicht. Figur 4b zeigt eine Aufsicht der in z-Richtung beweglichen Aufnahmeeinrichtung 10 aus der Figur 4a. Der Substratstapel 2 (nicht dargestellt) wird nur am Umfang mit drei

Fixierungspins 10a festgehalten. Die Aufnahmeeinrichtung 10 weist drei längliche Arme 101 auf, die sich vom Zentrum der Aufnahmeeinrichtung 10 radial nach außen erstrecken und im Winkelabstand von 120° zueinander gleichmäßig beabstandet sind. Die Enden der Arme 101 liegen auf einem Kreis K. Die Arme 101 sind gleich lang ausgebildet. Die Arme 101 sind stabförmig mit gleich bleibendem Querschnitt ausgebildet. An den radial außen liegenden Enden der Arme 101 ist eine horizontal angeordnete

Auflagefläche für den Substratstapel 2 angeordnet. Auf dieser Auflagefläche befindet sich der Fixierungspin 10a. Diese Ausführungsform ermöglicht eine besonders effiziente Reinigung des Substratstapels 2 Die Kontur der Auflagefläche und die Form der Aufnahmeeinrichtung 10 sind im Übrigen nicht auf die Ausführungsbeispiele gemäß Figur 2b und Figur 4b beschränkt.

Figuren 5a und 5b zeigen Düsenkörper 17, 19 gemäß zweier Weiterbildungen der erfindungsgemäßen Vorrichtung 22. Die Düsenkörper 17, 19 können oberhalb des Produktsubstrats 6 mit der Substratoberfläche 6o angeordnet werden. Dadurch kann das Produktsubstrat 6 besonders effizient,

insbesondere von oben, gereinigt werden, insbesondere nachdem der

Substratstapel 2 vollständig getrennt worden ist,

Figur 5a zeigt gemäß einer ersten Ausführungsform einen Düsenkörper 17 (mit einem so genannten Reinigungsdreieck), dessen Düsen 18 lediglich auf einem Teilbereich des Düsenkörpers 17 bzw. der Oberfläche des

Düsenkörpers 17 angeordnet sind. Dieser Teilbereich umfasst insbesondere ein Kreisflächensegment, welches sich vom Zentrum aus über einen Winkel von etwa 90° erstreckt. Der Düsenkörper 1.7 und/oder das Produktsubstrat 6 können insbesondere rotiert werden, um eine besonders gründliche Reinigung der Oberfläche 6o zu erreichen.

Figur 5b zeigt einen Düsenkörper 19 gemäß einer zweiten Ausführungsform, dessen Düsen 1 8 nicht nur über einen Teilbereich sondern über die gesamte Oberfläche des Düsenkörpers 19 verteilt angeordnet sind. Der Düsenkörper 19 ist vollflächig mit den Düsen 18 ausgestattet.

Das Lösungsmittel bzw. Lösungsmittel-Gemisch wird im Common Rai! 9 insbesondere für die Grob-Reinigung im Kreis gepumpt. Das Lösungsmittel wird durch Versorgungsleitungen 20 in den Düsenkörper 17 bzw. 19 gepumpt.

Die Vorrichtung 22 weist den Düsenkörper 17 oder 19 insbesondere zum Reinigen des Produktsubstrats 6 nach dem Ablösen (Edge Zone Debonding EZD) auf. Das Produktsubstrat 6 ist insbesondere auf eine Klebe-Folie 21 mit einem Film-Frame gespannt und wird insbesondere in einem separaten Reinigungsmodul gereinigt.

Bezugszeichenliste

1 Ring

l a Düse

2 Substratstapel

3 , 3 ' Halterung

4 Verbindungsschicht

5 Trägersubstrat

6 Produktsubstrat

6o Substratoberfläche

7 Fixierungspin

8 Lösungsmittelstrahl

9 Lösungsmittelleitung

10 Aufnahmeeinrichtung

10a Fixierungspin

101 Arm

1 1 Ladestift

12 Welle

13 Aussparung

14 Arm

141 Düse

15 Düse

16 Kammer

17 Düsenkörper

18 Düse Düsenkörper Versorgungsleitung Folie

Kreis