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Title:
DEVICE AND METHOD FOR EVACUATING A CHAMBER AND PURIFYING THE GAS EXTRACTED FROM SAID CHAMBER
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2013/087713
Kind Code:
A2
Abstract:
The invention relates to a device for evacuating a chamber (14) and for purifying the gas extracted from said chamber (14) of any foreign substances. The device comprises a dry-condensing vacuum pump (15) having an input (17) connected to the chamber to be evacuated (14) and which is suitable for maintaining the input pressure at a constant level at the output (18) despite variable conditions. An intermediate line (19) which connects to the output (18) of the dry-condensing vacuum pump (15) and a liquid ring vacuum pump (20), the input of which is connected to the intermediate line (19), are additionally provided. The invention also relates to a corresponding method. The invention makes it possible to purify the gas of any foreign substances reliably and effectively.

Inventors:
KOESTERS HEINER (DE)
GOTTSCHLICH UWE (DE)
Application Number:
EP2012/075262
Publication Date:
June 20, 2013
Filing Date:
December 12, 2012
Export Citation:
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Assignee:
STERLING INDUSTRY CONSULT GMBH (Lindenstraße 170, Itzehoe, 25509, DE)
International Classes:
F04B41/06; F04C19/00; F04C23/00
Domestic Patent References:
WO1989012169A11989-12-14
Foreign References:
FR1129872A1957-01-28
US3956072A1976-05-11
Attorney, Agent or Firm:
GLAWE DELFS MOLL, HAMBURG (Postfach 13 03 91, Hamburg, 20103, DE)
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Claims:
Patentansprüche 1. Vorrichtung zum Evakuieren eines Raums (14) und zum Reinigen des aus dem Raum (14) abgesaugten Gases von mitgeführten Fremdstoffen, mit folgenden Merkmalen: a. eine trockenverdichtende Vakuumpumpe (15), deren Eingang (17) an den zu evakuierenden Raum (14) angeschlossen ist und die geeignet ist, den Eingangsdruck trotz variabler Bedingungen am Ausgang (18) konstant zu halten;

b. eine Zwischenleitung (19), die sich an den Ausgang (18) der trockenverdichtenden Vakuumpumpe (15) anschließt;

c. eine Flüssigkeitsringvakuumpumpe (20), deren Eingang an die Zwischenleitung (19) angeschlossen ist . 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die trockenverdichtende Vakuumpumpe (15) dazu ausgelegt ist, an der Eingangsseite (17) einen Druck zwischen 1 mbar und 40 mbar, vorzugsweise zwischen 2 mbar und 30 mbar, weiter vorzugsweise zwischen 5 mbar und 20 mbar zu erzeugen. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn¬ zeichnet, dass die trockenverdichtende Vakuumpumpe (15) dazu ausgelegt ist, in der Zwischenleitung (19) einen Druck zwischen 80 mbar und 300 mbar, vorzugswei se zwischen 100 mg und 150 mbar zu erzeugen, 4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass am Ausgang (18) der trockenverdichtenden Vakuumpumpe (18) und/oder in der Zwischen- leitung (19) eine Öffnung (22} zum Zuführen von Spülgas vorgesehen ist. 5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Öffnung ein zwischen einer Welle und dem Gehäuse der trockenverdichtenden Vakuumpumpe (15) bestehender Spalt ist. 6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe (20) mit einem Einlass (23) und einem Auslass (24) für die Betriebsflüssigkeit versehen ist, die einen Zu- fluss und einen Abfluss der Betriebsflüssigkeit während des Betriebs der Pumpe (20) zulassen. 7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass ein Sensor (28) zum Ermitteln der Leitfähigkeit der Betriebsflüssigkeit vorgesehen ist. 8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekenn¬ zeichnet, dass eine Steuereinrichtung (30) vorgesehen ist, die den Zufluss und den Abfluss der Betriebsflüs¬ sigkeit in Abhängigkeit von der Konzentration an

Fremdstoffen in der Betriebsflüssigkeit einstellt. 9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass in der Betriebsflüssigkeit der Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe (20) ein Lösungsmittel enthalten ist, das auf die in dem Gas enthaltenen Fremdstoffe abgestimmt ist.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass ein pH-Sensor (29) zum Ermitteln des pH-Werts der Betriebflüssigkeit vorgesehen ist.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass eine Steuereinrichtung (30) vorgesehen ist, die dazu ausgelegt ist, den pH-Wert der Betriebsflüssigkeit in Abhängigkeit von den Messwerten des pH-Sensors einzustellen .

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass in der Zwischenleitung (19) eine Verbrennungseinrichtung (34) angeordnet ist. 13. Verfahren zum Evakuieren eines Raums (14) und zum Reinigen des aus dem Raum abgesaugten Gases von mitge¬ führten Fremdstoffen mit folgenden Schritten:

a. Ansaugen des Gases aus dem Raum (14);

b. Erhöhen des Drucks auf einen Wert unterhalb Atmo- Sphärendruck, wobei eine Pumpe (15) verwendet wird, die geeignet ist, den Eingangsdruck auch dann konstant zu halten, wenn der Ausgangsdruck variabel ist;

c. Weiterleiten des Gases zu einer Flüssigkeitsring- Vakuumpumpe (20) , die das Gas bei Atmosphärendruck abgibt.

Description:
Vorrichtung und Verfahren zum Evakuieren eines Raums und zum Reinigen des aus dem Raum abgesaugten Gases

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung, mit der ein Raum evakuiert werden kann und das aus dem Raum abgesaugte Gas von mitgeführten Fremdstoffen gereinigt werden kann. Die Vorrichtung umfasst eine trockenverdichtende Vakuumpumpe, deren Eingang an den zu evakuierenden Raum angeschlossen ist. Die Vakuumpumpe ist geeignet, den Eingangsdruck trotz variabler Bedingungen am Ausgang, insbesondere trotz vari- ablen Drucks am Ausgang, konstant zu halten. Die Erfindung betrifft außerdem ein entsprechendes Verfahren,

Solche Vorrichtungen können beispielsweise in Abscheidungs- prozessen, wie beispielsweise CVD (Chemical Vapor Depositi- on) -Prozessen zur Anwendung kommen. CVD-Prozesse werden in vielen Bereichen der Industrie genutzt, um Schichten bei reduziertem Druck auf unterschiedlichen Substraten zu erzeugen. Hierzu werden gasförmige Metallverbindungen bei ho ¬ hen Temperaturen und/oder mit Plasmaunterstützung an der Substratoberfläche zu dem gewünschten Schichtsystem umge ¬ setzt. Die realisierbaren, relativ hohen, Gasdrücke ermöglichen hohe Aufwachsraten und haben deshalb zu einer weiten Verbreitung in allen Bereichen der Vakuumbeschichtungstech- nologie geführt. Ein Nachteil dieser hohen Aufwachsraten ist, dass die Abscheidungsreaktionen nicht nur auf dem Substrat, sondern in allen Bereichen der Beschichtungsanlage stattfinden. Dies betrifft nicht nur die Prozesskammerwände, sondern auch die Leitungen und Einrichtungen zwischen der Prozesskammer und dem Austritt der Abgase, Darüber hinaus sind die gasförmigen Ausgangs- und Zwischenprodukte im allgemeinen toxisch und korrosiv, daher sind derartige CVD Anlagen immer auch mit einer entsprechenden Abgasbehandlung ausgestattet .

Um die Ablagerungen in der Prozesskammer zu entfernen wer- den in modernen CVD Anlagen, zwischen den Prozessschritten, Ätzprozesse gefahren, die die Ablagerungen in der Prozesskammer in leichter verdampfbare Substanzen umsetzt. Ein typischer Vertreter dieser Substanzen ist Ammoniumchlorid, welches in der weiteren Leitungsführung immer wieder zum Aufwachsen an den Wänden neigt. Dies betrifft insbesondere die Vakuumpumpe und die Druckseite der Vakuumpumpe, da hier, entsprechend des Kontinuitätsgesetzes, der Volumenstrom stark zurückgeht und den Feststoffen daher die Möglichkeit zum Aufwachsen gibt.

Um die daraus resultierenden Probleme zu lösen, gibt es in industriellen Anlagen grundsätzlich heute zwei Lösungsstra ¬ tegien. Der Einbau von Kühlfallen nach der Prozesskammer, mit geheizter Leitung bis zur Kühlfalle, um die kondensier- baren Substanzen an einer Stelle zu sammeln. Diese Vorgehensweise hat den Nachteil, dass die Kühlfallen regelmässig gereinigt/entleert werden müssen. Die andere Strategie ist die intensive Beheizung der Leitungen und das ausgiebige Zugeben von Inertgas, um einen ausreichenden Volumenstrom auch auf der Druckseite der Vakuumpumpe zu erreichen.

Nachteilig sind hier der Energieverbrauch, die thermische und thermisch korrosive Belastung der Rohrleitungen, Ventile etc. Darüber hinaus belastet der Inertgasstrom die Ab- gasreinigung, die im Allgemeinen aus einem Abgaswäscher besteht. Zudem sind die Abgaswäscher sehr anfällig gegen Verstopfung an dem Gaseintritt, da hier bei hohem Druck und niedrigem Volumenstrom die Temperatur stark abfällt.

Der Erfindung liegt ausgehend vom eingangs genannten Stand der Technik die Aufgabe zu Grunde, eine Vorrichtung und ein Verfahren vorzustellen, mit denen das aus dem Raum abgesaugte Gas günstig und zuverlässig gereinigt werden kann, Ausgehend vom eingangs genannten Stand der Technik wird die Aufgabe gelöst mit den Merkmalen der unabhängigen Ansprüche. Vorteilhafte Ausführungsformen finden sich in den Unteransprüchen . In vielen Anwendungsfällen ist es von großer Bedeutung, dass der Druck in dem zu evakuierenden Raum (beispielsweise der Prozesskammer des CVD-Prozesses) zuverlässig konstant gehalten werden kann. An den Raum wird deswegen eine trockenverdichtende Vakuumpumpe angeschlossen, die dies leis- ten kann, auch wenn die Bedingungen am Ausgang der Pumpe nicht zuverlässig konstant gehalten werden können. Eine Pumpe ist grundsätzlich nur dann geeignet, den Eingangsdruck trotz variabler Bedingungen am Ausgang konstant zu halten, wenn die Pumpe eine Mehrzahl von hintereinander an- geordneten Arbeitskammern umfasst . Eingang und Ausgang sind dann durch eine Mehrzahl von Dichtspalten voneinander getrennt. Ein Beispiel für eine Pumpe, die dies leisten kann, ist eine Schrauben-Vakuumpumpe. Ein Beispiel für eine Pum ¬ pe, die nicht geeignet ist, den Eingangsdruck trotz variab- 1er Bedingungen am Ausgang konstant zu halten, ist eine

Wälzkolbenpumpe. Hier sind Eingang und Ausgang durch lediglich einen Dichtspalt voneinander getrennt, so dass eine Änderung am Ausgang sich über den Leckfluss unmittelbar auf die Bedingungen am Eingang auswirkt. Wälzkolbenpumpen werden deswegen typischerweise als Vorpumpen in einer mehrere Pumpen umfassenden Anordnung verwendet. Solche konventionellen Pumpenanordnungen mit einer Wälzkolbenpumpe als Vor- pumpe, wie sie etwa in der FR 1129872 und der US 3,956,072 beschrieben sind, haben mit der Erfindung nichts zu tun.

An den Ausgang der trockenverdichtenden Vakuumpumpe ist ü- ber eine Zwischenleitung eine Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe angeschlossen. Die Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe wäre als solche aus zwei Gründen nicht geeignet, direkt an den zu evakuierenden Raum angeschlossen zu werden. Erstens kann die Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe kein Vakuum erzeugen, das unterhalb des Dampfdrucks der Betriebsflüssigkeit liegt. In dem zu evakuierenden Raum ist aber häufig ein niedrigerer Druck gefordert. Zweitens kann aus der Betriebsflüssigkeit der Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe ein Dampf-Partialdruck in Richtung Saugseite entweichen. Dies ist nicht akzeptabel, weil es möglich sein muss, in dem zu evakuierenden Raum de- finierte Bedingungen aufrechtzuerhalten.

Der Erfindung liegen die folgenden Gedanken zu Grunde, In dem zu evakuierenden Raum herrscht eine Atmosphäre, in der die Feststoffe in dem Gas gelöst sind. Um zu vermeiden, dass beim Durchgang des Gases durch die erfindungsgemäße

Vorrichtung die Feststoffe kondensieren und sich an Elementen der Pumpe niederschlagen, muss einerseits der Druck des Gases niedrig gehalten werden und muss andererseits der Volumenstrom hochgehalten werden, so dass das Gas sich mit hinreichender Geschwindigkeit bewegt.

Mit der erfindungsgemäßen trockenverdichtenden Vakuumpumpe wird vor diesem Hintergrund der Druck erhöht, jedoch auf einen Wert, der noch deutlich unterhalb des Atmosphären- drucks liegt. Damit liegt in der Zwischenleitung der Druck so niedrig und die Geschwindigkeit so hoch, dass noch keine Kondensation stattfindet. Zur Kondensation kommt es erst in der Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe, Hier können die Stoffe allerdings sofort von der Betriebsflüssigkeit der Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe aufgenommen werden und abtransportiert werden, so dass es aus diesem Grund nicht zu den unerwünschten Ablagerungen kommt. Der Begriff Kondensation umfasst insbesondere den Fall, dass ein Stoff unmittelbar aus der gasförmigen Phase in die feste Phase übergeht. Ein weiterer Abgaswäscher hinter der Flüssigkeitsring- Vakuumpumpe ist bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung nicht erforderlich .

Der Druck an der Eingangsseite der trockenverdichtenden Vakuumpumpe kann beispielsweise zwischen 1 mbar und 40 mbar, vorzugsweise zwischen 2 mbar und 30 mbar, weiter vorzugsweise zwischen 5 mbar und 20 mbar liegen. Der Druck in der Zwischenleitung kann beispielsweise zwischen 80 mbar und

300 mbar, vorzugsweise zwischen 100 mbar und 150 mbar lie ¬ gen .

Eine weitere Möglichkeit, der Kondensation entgegenzuwir- ken, besteht darin, am Ausgang der trockenverdichtenden Va ¬ kuumpumpe und/oder in der Zwischenleitung ein Spülgas einzuspeisen. Das Spülgas in diesem Bereich einzuspeisen, hat den Vorteil, dass mit einer kleinen Menge Gas eine deutli ¬ che Erhöhung des Volumenstroms und damit der Geschwindig- keit erreicht werden kann. Die Öffnung zum Zuführen des

Spülgases kann ein geeignet angeordnetes Ventil sein. Möglich ist es auch, das Spülgas durch eine Öffnung zuzufüh ¬ ren, die in der trockenverdichtenden Vakuumpumpe zwischen einer Welle und dem Gehäuse besteht und die ohnehin abgedichtet werden muss. In diesem Fall kann das Spülgas gleichzeitig als Sperrgas der trockenverdichtenden Vakuumpumpe dienen.

Die Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe ist vorzugsweise mit einem Einlass und einem Auslass für die Betriebsflüssigkeit versehen. Diese sind weiter vorzugsweise so gestaltet, dass ein Zufluss und ein Abfluss der Betriebsflüssigkeit während des Betriebs der Pumpe möglich sind. Dies ist wünschenswert, damit Betriebsflüssigkeit, die mit Fremdstoffen ange ¬ reichert ist, durch frische Betriebsflüssigkeit ersetzt werden kann. Die Pumpe kann in dieser Ausführungsform so gestaltet sein, dass das Gehäuse der Flüssigkeitsring- Vakuumpumpe mit einer Eingangsöffnung für den Zufluss der Betriebsflüssigkeit und mit einer Ausgangsöffnung für den Abfluss der Betriebsflüssigkeit versehen ist. Möglich sind auch Gestaltungen, bei denen die Betriebsflüssigkeit zu ¬ nächst durch denselben Auslass aus der Pumpe austritt wie der Gasstrom. In der sich anschließenden Leitung kann die Betriebsflüssigkeit von dem Gasstrom separiert werden.

Für den Fluss der Betriebsflüssigkeit gibt es mehrere Möglichkeiten. Es kann die aus der Flüssigkeitsring-Vakuum- pumpe abgeführte Flüssigkeit entsorgt werden und eine ent ¬ sprechende Menge frischer Flüssigkeit nachgeführt werden. Denkbar ist auch ein Kreislauf, bei dem die aus der Flüs ¬ sigkeitsring-Vakuumpumpe abgeführte Flüssigkeit der Pumpe teilweise oder vollständig wieder zugeführt wird. Es kann ferner vorgesehen sein, die Verdichtungswärme über einen eingebauten Wärmetauscher abzuführen. In allen Fällen ist es wünschenswert, die Betriebsflüssigkeit erst dann zu entsorgen, wenn sie hinreichend mit

Fremdstoffen angereichert ist. Dazu kann es vorgesehen sein, mit einem Sensor die Leitfähigkeit der Betriebsflüs- sigkeit zu ermitteln. Aus der Leitfähigkeit kann auf den Gehalt an Fremdstoffen geschlossen werden. Der Sensor kann beispielsweise an der Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe oder einer Leitung oder einem Behälter, durch den die Betriebsflüssigkeit geleitet werden, angeordnet sein. Die Vorrich- tung kann so eingerichtet sein, dass in Abhängigkeit vom

Gehalt an Fremdstoffen nur soviel Betriebsflüssigkeit zugeführt und abgeführt wird, wie erforderlich ist.

Die Betriebsflüssigkeit kann Wasser sein. Möglich ist es auch, dass die Betriebsflüssigkeit ein Lösungsmittel enthält, das auf die in dem Gas enthaltenen Fremdstoffe abgestimmt ist. Ein solches Lösungsmittel kann dazu beitragen, das Gas besonders wirksam zu reinigen. Mitunter werden von dem Gas Stoffe mitgeführt, die entweder sauer oder basisch sind. In diesem Fall kann es zur Reinigung des Gases beitragen, wenn im Gegenzug die Betriebs ¬ flüssigkeit entsprechend basisch oder sauer ist. Es kann zu diesem Zweck ein pH-Sensor vorgesehen sein, um den pH-Wert der Betriebsflüssigkeit zu ermitteln. Es kann ferner eine Steuereinrichtung vorgesehen sein, die den pH-Wert in Abhängigkeit von den Messwerten des pH-Sensors einstellt. Dies kann beispielsweise geschehen, indem der Betriebsflüs ¬ sigkeit Wasser zugeführt wird, wenn es lediglich darum geht, die Betriebsflüssigkeit zu neutralisieren. Möglich ist es auch, der Betriebsflüssigkeit eine Säure oder eine Lauge zuzuführen, wenn der pH-Wert in der entsprechenden Richtung verändert werden soll . Einige Fremdstoffe in dem Gas lassen sich am besten durch Verbrennen beseitigen. Es kann zu diesem Zweck eine

Verbrennungseinrichtung vorgesehen sein, die vorzugsweise in der Zwischenleitung angeordnet ist . Dabei kann es sich um eine thermische Verbrennung handeln, also eine mit beispielsweise Erdgas gespeiste Flamme, die mit dem Gas in Kontakt gebracht wird. Möglich ist auch eine katalytische Verbrennung, bei der das Gas mit einer erhitzten Oberfläche aus einem katalytischen Material in Kontakt gebracht wird. Durch die Verbrennung können die Fremdstoffe in dem Gas in eine Form gebracht werden, in der sie von der Betriebsflüs ¬ sigkeit aufgenommen werden. Die Erfindung betrifft außerdem ein Verfahren zum Evakuie ¬ ren eines Raums und zum Reinigen des aus dem Raum abgesaug ¬ ten Gases von mitgeführten Fremdstoffen. Bei dem Verfahren wird Gas aus dem Raum angesaugt. Der Druck wird auf einen Wert unterhalb Atmosphärendrucks erhöht, wobei eine Pumpe verwendet wird, die geeignet ist, den Eingangsdruck auch dann konstant zu halten, wenn der Ausgangsdruck variabel ist. Das Gas wird zu einer Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe weitergeleitet, die das Gas bei Atmosphärendruck abgibt. Bei dem Verfahren werden der Druck und der Volumenstrom des an die Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe weitergeleiteten Gases so eingestellt, dass noch keine Kondensation der Fremdstoffe stattfindet. Die Fremdstoffe kondensieren erst in der Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe und werden dort von der Be ¬ triebsflüssigkeit aufgenommen und abgeführt. Das Verfahren kann mit weiteren Merkmalen fortgebildet werden, die oben mit Bezug auf die erfindungsgemäße Vorrichtung beschrieben sind . Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen anhand vorteilhafter Ausführungsformen beispielhaft beschrieben. Es zeigen: Fig. 1: eine Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung .

Eine Prozesskammer eines CVD-Prozesses bildet den zu evakuierenden Raum 14. Der Eingang 17 einer Schrauben- Vakuumpumpe 15 ist an den zu evakuierenden Raum 14 angeschlossen. In der Leitung zwischen dem zu evakuierenden Raum 14 und der Schrauben-Vakuumpumpe 15 ist ein Druckmin- derungs-Ventil 16 angeordnet, durch das der Druck in dem Raum 14 höher eingestellt werden kann als der Druck am Ein- gang 17 der Schrauben-Vakuumpumpe 15. Im vorliegenden Beispiel herrscht in dem Raum 14 ein Druck von 80 mbar und am Eingang 17 der Schrauben-Vakuumpumpe 15 liegt ein Druck von 20 mbar an. Die Schrauben-Vakuumpumpe 15 hat die Aufgabe, den Druck am Eingang 17 konstant zu halten, auch wenn die Bedingungen am Ausgang 18 der Schrauben-Vakuumpumpe 15 variieren. Mit der Schrauben-Vakuumpumpe 15 wird das Gas auf einen Druck von etwa 120 mbar komprimiert und über den Ausgang 18 abgegeben. An den Ausgang 18 der Schrauben-Vakuumpumpe 15 schließt sich eine Zwischenleitung 19 an, die zu einer Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe 20 führt. Die Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe

20 komprimiert das Gas weiter, so dass es über den Ausgang

21 bei Atmosphärendruck abgegeben werden kann.

Die Schrauben-Vakuumpumpe 15 und die Flüssigkeitsring- Vakuumpumpe 20 sind so aufeinander abgestimmt, dass in der Zwischenleitung 19 der Druck des Gases hinreichend niedrig und der Volumenstrom hinreichend hoch ist, so dass dort noch keine Kondensation der von dem Gas mitgeführten Fremdstoffe erfolgt. Zur Kondensation kommt es erst durch den v/eiteren Druckanstieg in der Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe 20. Die Fremdstoffe werden dann sofort von der Betriebsflüssigkeit der Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe 20 aufgenommen und können sich folglich nicht an Elementen der Vorrichtung anlagern . In der Zwischenleitung 19 ist außerdem ein Ventil 22 angeordnet, über das Luft aus der Umgebung in die Zwischenleitung 19 als Spülgas eingelassen werden kann. Indem an dieser Stelle Spülgas eingelassen wird, genügt ein geringes Volumen an Spülgas, um den Volumenstrom in der Zwischenlei- tung 19 deutlich zu erhöhen. Durch das Spülgas kann also der Ablagerung der Fremdstoffe weiter entgegengewirkt werden .

Im Laufe des Betriebs reichern sich immer mehr Fremdstoffe in der Betriebsflüssigkeit an. Über einen Einlass 23 und einen Auslass 24 ist es deswegen möglich, der Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe 20 während des Betriebs neue Betriebsflüssigkeit zuzuführen bzw. alte Betriebsflüssigkeit abzuführen. Dabei besteht zwischen der Flüssigkeitsring-Vakuum- pumpe 20 und einem Vorratsbehälter 25 über eine Zuleitung 26 und eine Rückleitung 27 ein geschlossener Kreislauf für die Betriebsflüssigkeit. Während des Betriebs wird also laufend Betriebsflüssigkeit ausgetauscht, wodurch sich der Vortrag in dem Vorratsbehälter 25 immer weiter mit Fremd- Stoffen anreichert.

Mit einem Sensor 28 wird die Leitfähigkeit der Betriebsflüssigkeit in dem Vorratsbehälter 25 laufend gemessen. Aus der Leitfähigkeit kann auf den Gehalt an Fremdstoffen geschlossen werden, so dass bei Überschreiten eines vorgegebenen Schwellwerts die Betriebsflüssigkeit nicht weiter verwendet v/erden kann.

Die Messwerte von dem Sensor 28 werden einer Steuereinheit 30 zugeführt. Ist der Schwellwert überschritten, steuert die Steuereinheit 30 ein Ventil 31 an, so dass dem Behälter 25 ein Teil der nicht mehr brauchbaren Betriebflüssigkeit entnommen wird. Anschließend wird der Behälter 25 mit einer entsprechenden Menge an frischer Betriebflüssigkeit aufgefüllt. Über die Steuereinheit 30 wird außerdem eine Pumpe 32 angesteuert, über die der Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe 20 die Betriebsflüssigkeit zugeführt wird.

Mit einem weiteren Sensor 29 wird der pH-Wert der Betriebs ¬ flüssigkeit in dem Vorratsbehälter 25 gemessen. Führt bei ¬ spielsweise das Gas saure Fremdstoffe mit sich, kann es für die Reinigung des Gases vorteilhaft sein, wenn die Be- triebsflüssigkeit basisch ist. Durch die Aufnahme der sau ¬ ren Fremdstoffe sinkt der pH-Wert der Betriebsflüssigkeit ab, bis irgendwann die Aufnahme der sauren Fremdstoffe nicht mehr gewährleistet ist. Dies wird mit dem Sensor 29 ermittelt. Sobald ein entsprechender Messwert des Sensors 29 vorliegt, steuert die Vorrichtung 30 ein Ventil 33 an, über das der Betriebsflüssigkeit zusätzliche Lauge zugeführt wird. Dadurch behält die Betriebsflüssigkeit dauerhaft die gewünschten basischen Eigenschaften. Sind die in dem Gas mitgeführten Fremdstoffe basisch, ist der Ablauf über den Sensor 29, die Steuereinrichtung 30 und das Ventil 33 genau umgekehrt. In der Zwischenleitung 19 ist schließlich eine Verbrennungseinrichtung 34 angeordnet. Diese wird aktiviert, wenn in dem Gas Fremdstoffe mitgeführt sind, die erst nach einer Verbrennung von der Betriebsflüssigkeit der Flüssigkeits- ring-Vakuumpumpe 20 aufgenommen werden können.