Beschreibung

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks, insbesondere eines Werkstücks das Glas oder Glaskeramik umfasst, entlang einer vorbestimmten Bearbeitungslinie.

Vorrichtungen und Verfahren zum Bearbeiten, insbesondere zum Trennen oder zum Filamentieren und anschließenden Trennen von Werkstücken

insbesondere aus Glas oder Glaskeramik, entlang einer vorbestimmten

Bearbeitungslinie unter Verwendung von gepulsten Laserstrahlen sind seit einigen Jahren bekannt.

Unter Ausnutzung des Kerr-Effektes kommt es bei hinreichend hoher Intensität eines Laserstrahls zu einer nichtlinearen Wechselwirkung zwischen dem elektromagnetischen Feld des Laserstrahls mit einem Werkstück zu einer Selbstfokussierung des Laserstrahls, bei der Fokaldurchmesser deutlich unter dem Durchmesser eines Gauß-Strahls erreicht werden. Durch die hohe

Intensität im Fokus entsteht im Werkstück ein Plasma, das defokussierend auf den Laserstrahl wirkt. Ist die Intensität des verbleibenden Laserstrahls groß genug wird der Laserstrahl erneut fokussiert usw.. Durch die wiederholende Anwendung von nichtlinearer Fokussierung und plasmabedingter

Defokussierung des Laserstrahls im gegenseitigen Gleichgewicht kommt es zur Ausbildung eines quasi„Wellenleiters", der auch als Filament bezeichnet wird. In einem für den Laserstrahl im wesentlichen transparenten Werkstück wirkt der derart geführte Laserstrahl entlang seiner Wegstrecke modifizierend auf das Werkstück: Es kommt zur Ausbildung filamentförmiger Veränderungen im Werkstück, die bei geeigneter Prozessführung (Z.B. Burst-Modus der Laserquelle) in Form von Mikrokanälen mit Durchmessern im

Submikrometerbereich ausgebildet werden können (US 2013/0126573 A1 ).

Alternativ hat sich in Weiterbildung der Filamentierung die Anwendung spezieller optischer Anordnungen als vorteilhaft erwiesen, die die Ausbildung eines entlang der Laserstrahlachse (Strahlrichtung) langgezogenen Fokusses, häufig auch als Brennlinie bezeichnet, ermöglichen. Hierzu werden beispielsweise sogenannte Axikons oder Linsen mit großer sphärischer Aberration verwendet (EP 2 754 524 A1 ), die die besondere Eigenschaft besitzen, Laserstrahlanteile in Abhängigkeit von ihrer Entfernung zur Laserstrahlachse auf verschiedene Fokuspunkte entlang eines Bereichs in Propagationsrichtung (Strahlrichtung) hinter der optischen Anordnung abzubilden. Somit kommt es zur Ausbildung einer in der Laserstrahlachse liegenden Brennlinie, deren Länge durch feste funktionale Abhängigkeiten vorhergesagt werden kann. Die Intensitätsverteilung quer der optischen Laserstrahlachse wird hierbei durch die Mathematik der

Besselfunktionen beschrieben; entlang der Laserstrahlachse wird ein

sogenannter Besselstrahl ausgebildet. Der Vorteil dieses Verfahrens liegt darin, dass das Filament nicht durch das kompliziert einzustellende Gleichgewicht von Selbstfokussierung und Plasma-Defokussierung eingestellt werden muss, sondern die Energie des Laserstrahls kontinuierlich von allen Seiten in Richtung Laserstrahlachse gebracht wird, so dass sich eine„kontinuierliche"

Intensitätsverteilung im Überlappbereich entlang der optischen Laserstrahlachse ausbildet, deren konkreter Verlauf entscheidend von der Intensitätsverteilung des ursprünglichen Laserstrahls beeinflusst wird. Beispiele für typische

Intensitätsverläufe bei Verwendung eines Gaußstrahls oder eines idealen Zylinderhut-Profils (Top-Hat-Profils. D.h. eine abschnittsweise konstante

Funktion, deren Funktionswert an den Rändern des Abschnitts durch einen (üblicherweise steilen) kontinuierlichen Übergang erreicht werden) sind in CN 102785031 A beschrieben. Die Verteilung der Intensität, die in ein Werkstück eingebracht werden kann, entlang der ursprünglichen Propagationsrichtung des Laserstrahls hat entscheidenden Einfluss auf die Länge des Filaments.

Bei Verwendung eines Burst-Modus kann durch die Summenwirkung der wiederholt an einer Stelle hochfrequent eingebrachten Laserpulse eine transiente thermische Wirkung des Laserstrahls hervorgerufen werden, die über die Modifikation des Materials des Werkstücks hinaus zu einer bleibenden Vorschädigung in Form von Mikrokanälen führt: Im Detail entsteht der

Mikrokanal durch den ersten Puls des Burstpulszuges, die Größe der

Schädigungszone um den Mikrokanal wird durch die nachfolgenden Pulse des Bursts sowie die Materialparameter eingestellt.

Bewegt sich das Werkstück während des Filamentierens entlang einer vorgegebenen Bearbeitungslinie (z. B. x-y-Koordinaten bzw. Koordinaten entlang der Oberfläche des Werkstücks, Sollkontur), so wird es entlang dieser

Bearbeitungslinie durch die nebeneinander in vorgegebenem Abstand erzeugten Mikrokanäle quasi perforiert. Durch nachfolgende Trennprozesse, beispielsweise erzeugen eines Temperaturschocks mit einem CO2-Lasers (Cleaving), können die Mikrokanäle durch Risse miteinander verbunden und das Werkstück entlang der Bearbeitungslinie getrennt werden (US 2015/165560 A). Vorteil der derart erzeugten Bruchflächen sind deren geringe Rauheit, hervorragende Formtreue und Festigkeit der hergestellten Kanten des Werkstücks.

Das Verfahren lässt sich bei Werkstücken mit größerer Dicke als Länge der Brennlinie durch sukzessive Abwendung in verschiedenen Materialtiefen auch auf relativ dicke Werkstücke, beispielsweise mit Dicken von 4 mm bis 16 mm anwenden.

Nachteil der beschriebenen Verfahren ist, dass die Transformation eines aus Sicht der Laserquelle„idealen" Gaußstrahls in einen Besselstrahl zu einer inhomogenen Intensitätsverteilung in der Brennlinie und damit zu

Inhomogenitäten in der Bruchfläche des zu bearbeitenden Werkstücks führt. Abweichungen vom idealen Gaußstrahl (M ² > 1 ) verschlechtern die Situation zusätzlich. Das aus Sicht des zu erzeugenden Filaments ideale Top-Hat-Profil hingegen ist nur schwer zu erzeugen.

Weitere Vorrichtungen oder Verfahren zum Bearbeiten von Werkstücken mittels eines gepulsten Laserstrahls sind in folgenden Schriften beschrieben: DE 10 2012 1 10 971 A1 , DE 10 2015 1 10 422 A1 , DE 10 2015 1 16 848 A1 , DE 10 2015 1 1 1 491 A1 , DE 10 2015 1 16 846 A1 , DE 10 2015 1 1 1 490 A1 , DE 10 2015 120 950 A1 , DE 10 2016 102 768 A1 , DE 10 2017 100 015.1 , DE 10 2017 206 461 .7, DE 10 2017 100 755.5, DE 10 2017 103 381 .5, EP 2 754 524 A1 , US 2005/0024743 A1 , KR 101 407994 B1 .

Weiterhin sind folgende Vorrichtungen und Verfahren zum Bearbeiten, insbesondere zum Trennen oder zum Filamentieren und anschließenden Trennen von Werkstücken aus Glas oder Glaskeramik, entlang einer

vorbestimmten Bearbeitungslinie unter Verwendung von gepulsten,

polychromatischen Laserstrahlen bekannt:

US 2012/0255935 A1 beschreibt ein Verfahren zum Bearbeiten eines

Werkstücks mittels eines gepulsten, polychromatischen Laserstrahls. Mittels einer Linse wird eine Brennlinie entlang der Strahlrichtung des Laserstrahls erzeugt wird, wobei die Brennlinie aus mehreren Fokussen besteht.

US 2016/167166 A1 beschreibt die Materialbearbeitung mit einem Laserstrahl einstellbarer Fokallänge.

JP 2010-158686 A beschreibt die Materialbearbeitung mit multispektraler

Energiequelle unter Erzeugung eines linienhaften Fokusses.

WO 2016/077171 A2 beschreibt das gemeinsame kollineare Einfädeln der

Strahlen mehrerer Laserquellen in ein gemeinsames Strahlführungssystem und

Bearbeitung eines Werkstücks mittels Laserstrahlen durch

wellenlängenabhängiges Fokussieren in unterschiedliche Materialtiefen des

Werksstücks.

Aus US 2005/0205536 A1 ist ein Verfahren und eine Vorrichtung zur

Strukturierung von Material mittels eines Laserstrahls bekannt, wobei der fokussierte Laserstrahl ein eingestelltes Wellenlängenverteilungsmuster aufweist.

Aus EP 2 250 529 B1 ist eine Quelle optischer Superkontinuumstrahlung bekannt.

Die Laserbearbeitung von Laminaten wird in der Schrift US 2016/0009066 A1 beschrieben.

Bei den bekannten Vorrichtungen und Verfahren lässt sich die Bearbeitungstiefe in einem Werkstück nicht oder nur sehr aufwendig selektiv und ungenau einstellen. Die so bearbeiteten Werkstücke lassen sich entlang einer

Bearbeitungslinie zum Teil gar nicht, nur recht ungenau oder mit mangelhafter Trennkannte durch äußere Einwirkung, insbesondere durch mechanische oder thermische Einwirkung, trennen.

Es ist Aufgabe der Erfindung eine Vorrichtung und ein Verfahren zum

Bearbeiten eines Werkstücks entlang einer vorbestimmten Bearbeitungslinie mittels eines gepulsten, polychromatischen Laserstrahls bereitzustellen.

Vorrichtung und Verfahren sollen sich besonders zum Bearbeiten von

Werkstücken aus Glas oder Glaskeramik oder von Werkstücken, die Glas oder Glaskeramik umfassen, z.B. Stapel aus Glas- oder Glaskeramikscheiben, Stapel aus Gläsern und Glaskeramiken unterschiedlicher chemischer

Zusammensetzung, Glas-Kunststoff-Laminate, eignen. Insbesondere soll sich das bearbeitete Werkstück durch äußere Einwirkung entlang der vorbestimmten Bearbeitungslinie, insbesondere durch mechanische oder thermische

Einwirkung, leicht, genau und reproduzierbar trennen lassen.

Gelöst wird die Aufgabe gemäß Anspruch 1 mittels einer Vorrichtung zum

Bearbeiten eines Werkstücks entlang einer vorbestimmten Bearbeitungslinie umfassend wenigstens

- Mittel zum Erzeugen eines gepulsten, polychromatischen Laserstrahls, - eine optische Anordnung zur Erzeugung einer Brennlinie entlang der Strahlrichtung des Laserstrahls, wobei die optische Anordnung eine chromatische Aberration zum wellenlängenabhängigen Fokussieren des Laserstrahls und wenigstens einem Filter zum wellenlängenabhängigen Filtern des Laserstrahls aufweist,

- Mittel zum Erzeugen einer Relativbewegung zwischen Laserstrahl und Werkstück entlang der vorbestimmten Bearbeitungslinie, um das

Werkstück mittels Einwirkung des fokussierten Laserstrahls zu

bearbeiten.

Die Vorrichtung zum Bearbeiten eines Werkstücks entlang einer vorbestimmten Bearbeitungslinie, weißt also folgende Mittel auf:

- Mittel zum Erzeugen eines gepulsten, polychromatischen Laserstrahls,

- eine optische Anordnung mit

a) chromatischer Aberration zum wellenlängenabhängigen

Fokussieren des Laserstrahls und mit

b) wenigstens einem Filter zum wellenlängenabhängigen Filtern des Laserstrahls

zur Erzeugung einer Brennlinie entlang der Strahlrichtung des

Laserstrahls,

- Mittel zum Erzeugen einer Relativbewegung zwischen Laserstrahl und Werkstück entlang der vorbestimmten Bearbeitungslinie, um das

Werkstück mittels Einwirkung der Brennlinie des Laserstrahls

(Laserstrahlbrennlinie) zu bearbeiten.

Die Erfinder konnten zeigen, dass sich mittels der erfindungsgemäßen

Vorrichtung die Bearbeitungstiefe in einem Werkstück selektiv und genau einstellen lässt. Die Vorrichtung eignet sich besonders gut zum Bearbeiten von Werkstücken aus Glas oder Glaskeramik oder von Werkstücken, die Glas oder Glaskeramik umfassen, z.B. Stapel aus Glas- oder Glaskeramikscheiben, Stapel aus Gläsern und Glaskeramiken unterschiedlicher chemischer Zusammensetzung, Glas-Kunststoff-Laminate.

Bei einem gepulsten, polychromatischen Laserstrahl mit insbesondere bestimmter Pulsdauer und mit bestimmten Wellenlängen des Laserstrahls kann mittels der optischen Anordnung mit chromatischer Aberration zum

wellenlängenabhängigen Fokussieren des Laserstrahls und mit wenigstens einem Filter zum wellenlängenabhängigen Filtern des Laserstrahls eine

Brennlinie entlang der Strahlrichtung des Laserstrahls erzeugt werden, bei der die Bearbeitungstiefe des Werkstücks selektiv und genau eingestellt werden kann. Insbesondere kann die Länge der Brennlinie über die Erzeugung unterschiedlicher Fokusse eingestellt werden.

Mittels eines Filters kann selektiv wenigstens eine Wellenlänge des Laserstrahls gefiltert werden, so dass wenigstens an einer bestimmten Stelle in der Brennlinie selektiv kein Fokus entsteht. Insbesondere ist es möglich durch einseitige oder beidseitige Begrenzung des optischen Spektrums (Einführung eines

Bandkantenfilters bzw. Bandpassfilters) einen definierten Start- oder Endpunkt der Brennlinie zu definieren. In einer gesonderten Ausführungsform wird insbesondere der Endpunkt (auf der dem Laser abgewandten Seite) definiert eingestellt, um beispielsweise eine Bearbeitung einer Unterlage auf der das Werkstück aufliegt zu vermeiden.

In weiteren Ausführungsformen werden Werkstücke, insbesondere Glas-Metall- Laminate von der Glasseite her bearbeitet ohne Modifikation oder Abtrag des Metalls. In einer weiteren Ausführungsform werden die entlang der Brennlinie erzeugten Mikrokanäle zur direkten Durchkontaktierung auf die metallische Schicht verwendet, die - abhängig von der Prozesskette - vor oder nach der Durchkontaktierung strukturiert werden kann. Typische Durchmesser der Mikrokanäle sind bevorzugt kleiner als 1 μιτι, besonders bevorzugt kleiner als 500 nm, ganz besonders bevorzugt kleiner als 300 nm. Mittels der optischen Anordnung kann das Filament durch eine chromatisch bedingte Transformation des einlaufenden Laserstrahls in einen besselartigen Strahl umgewandelt werden. DE 103 25 942 A1 und DE 10 2008 029 459 A1 zeigen spezielle Optiken bzw. Linsen, deren chromatische Aberration bewusst vergrößert wurde, um in Abhängigkeit von der Wellenlänge eine Fokussierung der Strahlanteile über einen Bereich der derart entstehenden Fokallinie hervor zu rufen. Die Fokusse dieser Systeme lassen sich über Bereiche von bis zu 30 cm verlängern. Ihre Anwendung finden diese Systeme im Bereich der hochpräzisen Abstands- und Konturvermessung bzw. bei transparenten Körpern auch zur Dickenmessung von ein- oder mehrschichtigen Substraten (als

Differenz mehrerer Abstandsmessungen). Grundsätzlich können diese Optiken bzw. Linsen auch als optische Anordnungen mit chromatischer Aberration für die vorliegende Erfindung verwendet werden.

Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung kann ein gepulster, polychromatischer Laserstrahl durch die chromatische Aberration der abbildenden Optik (optische Anordnung) wellenlängenselektiv in eine entsprechende Intensitätsverteilung entlang der Brennlinie umgewandelt werden. Durch Kombination von spektraler Energieverteilung von Laserquelle und Filter (Filterfunktionen) kann die

Intensitätsverteilung im Arbeitsvolumen entlang der Brennlinie exakt eingestellt werden.

Besonders vorteilhafte Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Vorrichtung werden im Folgenden beschrieben.

Die Mittel zum Erzeugen eines gepulsten, polychromatischen Laserstrahls umfassen vorzugsweise wenigstens einen Superkontinuum-Faserlaser oder sie umfassen Mittel zur spektralen Verbreiterung des Laserpulses, insbesondere Mittel zur Verstärkung gechirpter Pulse (Chirped Pulse Amplification).

Bei der Verstärkung gechirpter Pulse wird der Laserpuls über Gitter entlang der Wellenlänge räumlich aufgefächert und dann verstärkt. Ein Dünnfilmtransistorbildschirm (TFT-Display, Thin-Film-Transistor-Display) vor einem Gitter kann (unter Intensitätsverlust) einzelne Wellenlängenbereiche scharf ausblenden. Damit können einzelne Zonen der Brennlinie in

Laserstrahlrichtung ausgeblendet (gefiltert) werden. Beim Verstärken nach dem Abschatten kann die Verstärkerleistung auf die verbliebenen

Welllenlängenbereiche angewendet werden, so dass die Laserstrahlleistung proportional weniger sinkt als beim Seeder ursprünglich abgeschattet.

Injektionssähen (Injection-Seeder) ist hierbei eine Technik, die meistens auf gepulste Laser und optische parametrische Oszillatoren angewendet wird, meist mit dem Hauptziel, Emissionen mit einer schmaleren optischen Bandbreite (Linienbreite) zu erreichen. Im Wesentlichen bedeutet dies, dass Licht von einem Seed-Laser, der üblicherweise ein Einzelfrequenzlaser im

Dauerwellenbetrieb ist, in einen Q-geschalteten Slave-Laser oder in einen Nanosekunden-optischen parametrischen Oszillator zu Beginn einer

Pulsaufbauphase eingespeist wird. Ohne dieses Seed-Laserlicht würde der Slave-Laser oder OPO normalerweise auf Mehrfach-Resonator-Modi mit einer optischen Verstärkung von vergleichbarer Größe emittieren und die

Leistungsverteilung bei mehreren Modi kann von Puls zu Puls schwanken.

Wenn die optische Frequenz des Seed-Laserlichts nahe genug auf die

Resonanzfrequenz eines bestimmten Resonatormodus des Slave-Geräts liegt, kann dieser Modus mit einer viel höheren Leistung als einer ganzen höheren Leistung beginnen und kann daher im Ausgangsimpuls stark dominieren. Auf diese Weise wird die Emissionsbandbreite drastisch reduziert, verglichen mit der ungehinderten (freilaufenden) Emission, und das zeitliche Pulsprofil kann glatter sein, da ein Modus-Schlagen vermieden wird.

Die Mittel zum Erzeugen eines gepulsten, polychromatischen Laserstrahls stellen bevorzugt wenigstens folgendes bereit:

- Mittlere Laserleistungen von 5 Watt bis 120 Watt

- Pulsdauer des Laserstrahls von kleiner 1 ns, bevorzugt kleiner 1 ps

- Burst-Modus 12 bis 48 ns - Wellenlängenbereich des Laserstrahls 350 nm bis 2400 nm.

In einer Ausführungsform wird dabei die Wellenlänge der Laserquelle (Mittel zum Erzeugen eines gepulsten, polychromatischen Laserstrahls) auf einen Bereich eingeschränkt, in dem die Anzahl der Photonen zur Überbrückung der Bandlücke konstant bleibt.

Geeignete Mittel zum Erzeugen eines gepulsten, polychromatischen

Laserstrahls, insbesondere Laserquellen können auf verschiedenste Arten bereitgestellt werden.

Bekannte Superkontinuum-Faserlaser emittieren beispielsweise Pulse im

Bereich von kleiner 10 ps bei einer mittleren Leistung des Lasers von 20 Watt über einen Wellenlängenbereich von 350 nm bis 2400 nm. Derart verteilte Leistungsspektren erlauben die Bearbeitung von im Sichtbaren oder im

Nahinfraroten Bereich transparenter Werkstücke. Figur 1 zeigt die spektrale Leistungsdichte eines typischen weißen Faserlasers. Die obere Kurve zeigt den Verlauf für eine mittlere Leistung des Lasers von 20 Watt. Die untere Kurve zeigt den Verlauf für eine mittlere Leistung des Lasers von 10 Watt. Die mittlere Leistung des Lasers ergibt sich durch Integration.

Eine andere Art gepulste, polychromatische Laserstrahlen zu erzeugen, ergibt sich aus dem Zusammenhang zwischen spektraler Bandweite Δν und Pulsdauer

At

K

Δν Δτ > K Δτ >—

Δν

wobei Κ von der konkreten Pulsform abhängt nach

! Pulsform l(t) i Gauß I(t) = e 0,441

Hierbei ist Δτ die Pulsdauer, deren Wert als Halbwertsbreite (FWHM = Füll width at half maximum) der Intensitätsverteilung I (t) ermittelt wird und Dn die spektrale Bandbreite / Frequenzbreite des Pulses at FWHM.

Nachfolgende Figur 2 zeigt die spektrale Verbreiterung des Pulses Δλ in

Abhängigkeit der Pulsbreite Δτ in doppelt-logarithmischer Darstellung bei einer zentralen Wellenlänge von 1064 nm, wobei folgende Berechnungsformel zugrunde gelegt wurde:

κ λ ²

Δλ >

c Ar

Beim Übergang von ps- zu fs-Pulsen ist eine Verbreiterung des Pulses auf die Größenordnung n x 100 nm zu erwarten. Weitere Verkürzung der Pulsdauer bis hin zu Attosekunden-Pulsen erzeugt faktisch eine Weißlichtverteilung.

Nachteilig wirkt sich hierbei zunächst aus, dass die Wechselwirkung des kurzen fs-Pulses bzw. Attosekunden-Pulses mit dem Werkstück immer geringere Schädigungen im Material des Werkstücks hervorruft, so dass die

Bearbeitbarkeit bzw. die Trennbarkeit des Werkstücks immer weiter abnimmt (Durch die kurze Wechselwirkungszeit des Pulses (der Photonen) kann keine Kopplung zu den Phononen des Materials auftreten, so dass keine direkte Erwärmung des Materials geschieht). Ausgleich kann hier durch eine erhebliche Erhöhung der Anzahl der Burst-Modus-Pulse geschehen.

Die optische Anordnung mit chromatischer Aberration umfasst bevorzugt wenigstens eine Konvexlinse aus Quarzglas oder sie umfasst wenigstens zwei Beugungsgitter.

Eine Formung eines gepulsten, polychromatischen Laserstrahls im

Wellenlängenbereich unter 800 nm mit einer optischen Anordnung mit chromatischer Aberration, die eine Konvexlinse aus Quarzglas umfasst, ist in Figur 3 abgebildet. Eine vergrößerte Sicht der Brennlinie mit den verschiedenen Fokussen zeigt Figur 4. In dieser Ausführung unterscheiden sich die Fokusse bei 350 nm und 1000 nm um etwa 2 mm, d.h. die Fokuspunkte der Wellenlängen 350 nm und 1000 nm sind um ca. 2 mm voneinander getrennt. Um diese

Strecke kann also der Fokus durch spektrale Filterung gezielt verschoben werden. Diese Streckenverschiebung kann für verschiedene optische

Anordnungen mit handelsüblichen Raytrace-Programmen berechnet werden. Raytracing (dt. Strahlverfolgung oder Strahlenverfolgung) ist ein auf der

Aussendung von Strahlen basierender Algorithmus zur

Verdeckungsberechnung, also zur Ermittlung der Sichtbarkeit von

dreidimensionalen Objekten von einem bestimmten Punkt im Raum aus.

Ebenfalls mit Raytracing bezeichnet man mehrere Erweiterungen dieses grundlegenden Verfahrens, die den weiteren Weg von Strahlen nach dem

Auftreffen auf Oberflächen berechnen. In optischer Simulationssoftware wie beispielsweise Zemax wird der Weg eines Feldes von Lichtstrahlen, die von einem als segmentiert gedachten Objekt ausgehen, durch das abbildende optische System bis hin zum Detektor dargestellt.

Figur 5 zeigt die effektive Brennweite für das in Figur 3 gezeigte System im Wellenlängenbereich von 0,30 μιτι bis 0,80 μιτι (300 nm bis 800 nm).

In einer weiteren Ausführung (Figur 6) wird der gepulste Laserstrahl durch zwei Beugungsgitter (BG1 und BG2) in einen Ringstrahl konvertiert, bei dem die kürzere Wellenlänge des Strahlspektrums λ1 am äußeren Ring und die längere Wellenlänge des Strahlspektrums λ2 am inneren Ring liegt. Wird dieser

Ringstrahl nun mit einem Axikon oder einer ähnlichen Optik fokussiert, bilden sich mehrere Fokusse F1 und F2 aus, deren Lage von der Wellenlänge abhängt.

Der Filter ist bevorzugt ein Bandkantenfilter, insbesondere ein Hoch- oder Tiefpassfilter. Der Filter ist bevorzugt vor der optischen Anordnung mit chromatischer

Aberration im Strahlengang des Laserstrahls angeordnet. Er kann aber auch hinter der optischen Anordnung mit chromatischer Aberration im Strahlengang des Laserstrahls angeordnet werden (Es ist allerdings darauf zu achten, dass der Filter nicht in die Brennlinie hineinragt). Auch eine Anordnung von mehreren Filtern vor und/oder hinter der optischen Anordnung ist möglich.

Durch mehrere Filter können mehre Wellenlängen selektiv gefiltert werden, so dass die Brennlinie an mehreren Stellen selektiv keinen Fokus aufweist.

Die Verwendung von Bandkantenfiltern (Hoch- und Tiefpass) begrenzen die äußeren Positionen der Brennlinie, Bandsperren erlauben das Ausblenden bzw. die Inaktivierung einzelner Bereiche der Brennlinie. Die Kombination von spektraler Intensitätsverteilung der Laserquelle mit der Filterkurve der

verwendeten Filter bestimmt eingangsseitig der optischen Anordnung mit chromatischer Aberration die Intensitätsverteilung des Laserstrahls

(Mathematisch: Berechnung des Faltungsintegrals von Laserintensitätsverteilung und Filterkurve). Strahlausgangsseitig bestimmt die chromatische Aberration der optischen Anordnung die erreichte Intensitätsverteilung.

Das zu bearbeitende Werkstück ist vorzugsweise zumindest teilweise

transparent für den verwendeten Wellenlängenbereich des Lasers, dabei ist die Transmission des Werkstücks größer als 85 %, bevorzugt größer als 90 % besonders bevorzugt größer als 95 %.

Das zu bearbeitende Werkstück umfasst insbesondere Glas, Glaskeramik oder Kunststoff.

Die Vorrichtung ist insbesondere eine Vorrichtung zum Einbringen einer

Trennlinie entlang der das Werkstück durch äußere Einwirkung, insbesondere durch mechanische oder thermische Einwirkung getrennt werden kann. Die Vorrichtung ist insbesondere eine Vorrichtung zum Bearbeiten eines Werkstückstapels oder eines Werkstück-Laminats aus gleichen oder aus unterschiedlichen Materialien.

Gelöst wird die Aufgabe gemäß Anspruch 9 mittels eines Verfahrens zum Bearbeiten eines Werkstücks entlang einer vorbestimmten Bearbeitungslinie umfassend wenigstens die Schritte

- Erzeugen eines gepulsten, polychromatischen Laserstrahls,

- Führen des Laserstrahls durch eine optischen Anordnung zur Erzeugung einer Brennlinie entlang der Strahlrichtung des Laserstrahls, wobei die optische Anordnung eine chromatische Aberration zum

wellenlängenabhängigen Fokussieren des Laserstrahls und wenigstens einem Filter zum wellenlängenabhängigen Filtern des Laserstrahls aufweist,

- Erzeugen einer Relativbewegung zwischen Laserstrahl und Werkstück entlang der vorbestimmten Bearbeitungslinie, um das Werkstück mittels Einwirkung des fokussierten Laserstrahls zu bearbeiten.

Das Verfahrens zum Bearbeiten eines Werkstücks entlang einer vorbestimmten Bearbeitungslinie umfasst also wenigstens folgende Schritte:

- Erzeugen eines gepulsten, polychromatischen Laserstrahls,

- Führen des Laserstrahls durch

a) eine optische Anordnung mit chromatischer Aberration zum

wellenlängenabhängigen Fokussieren des Laserstrahls und

b) wenigstens einem Filter zum wellenlängenabhängigen Filtern des Laserstrahls

zur Erzeugung einer Brennlinie entlang der Strahlrichtung des Laserstrahls,

- Erzeugen einer Relativbewegung zwischen Laserstrahl und Werkstück entlang der vorbestimmten Bearbeitungslinie, um das Werkstück mittels Einwirkung der Brennlinie des Laserstrahls (Laserstrahlbrennlinie) zu bearbeiten. Bevorzugt wird der gepulste, polychromatische Laserstrahl mittels eines Superkontinuum-Faserlasers oder mittels spektraler Verbreiterung des Laserpulses, insbesondere mittels Verstärkung gechirpter Pulse erzeugt.

Beim Erzeugen des Laserstrahls wird bevorzugt wenigstens folgendes eingestellt:

Pulsdauer des Laserstrahls kleiner 1 ns, bevorzugt kleiner 1 ps

Burst-Modus 12 bis 48 ns

Wellenlängenbereich des Laserstrahls 350 nm bis 2400 nm.

Als optische Anordnung mit chromatischer Aberration können bevorzugt wenigstens eine Konvexlinse aus Quarzglas oder wenigstens zwei

Beugungsgitter verwendet werden.

Als Filter kann bevorzugt ein Bandkantenfilter, insbesondere ein Hoch- oder Tiefpassfilter, verwendet werden.

Bevorzugt wird ein Werkstück, das zumindest teilweise transparent für Wellenlängen des Lasers ist und das Glas, Glaskeramik oder Kunststoff umfasst, bearbeitet.

Das Verfahren ist bevorzugt ein Verfahren zum Einbringen einer Trennlinie entlang der das Werkstück durch äußere Einwirkung, insbesondere durch mechanische oder thermische Einwirkung trennbar ist.

Das Verfahren ist bevorzugt ein Verfahren zum Bearbeiten eines

Werkstückstapels oder eines Werkstück-Laminats aus gleichen oder aus unterschiedlichen Materialien.

Anhand der folgenden Ausführungsbeispiele wird die vorliegende Erfindung näher verdeutlicht. Figur 7 zeigt eine Vorrichtung (1 ) zum Bearbeiten eines Werkstücks (2) entlang einer vorbestimmten Bearbeitungslinie (3), wobei die Vorrichtung (1 ) folgende Mittel aufweist:

Mittel (4) zum Erzeugen eines gepulsten, polychromatischen Laserstrahls (5), eine optische Anordnung (6) mit chromatischer Aberration zum

wellenlängenabhängigen Fokussieren des Laserstrahls (5) und mit wenigstens einem Filter (7) zum wellenlängenabhängigen Filtern des Laserstrahls (5) zur Erzeugung einer Brennlinie (8) entlang der Strahlrichtung (Z-Richtung) des Laserstrahls,

Mittel zum Erzeugen einer Relativbewegung (nicht dargestellt) zwischen

Laserstrahl (5) und Werkstück (2) entlang der vorbestimmten Bearbeitungslinie (3), um das Werkstück (2) mittels Einwirkung der Brennlinie (8) des Laserstrahls (5) zu bearbeiten.

In Figur 8 ist der Vorteil der vorliegenden Erfindung dargestellt: Die Bearbeitung eines Werkstücks entlang einer vorbestimmten Bearbeitungslinie mittels gepulsten Laserstrahlen, wobei die Bearbeitungstiefe selektiv eingestellt ist.