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Title:
DEVICE AND METHOD FOR RECORDING AN X-RAY DIFFRACTION DIAGRAM FOR CRYSTALLINE MATERIALS
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2006/039919
Kind Code:
A1
Abstract:
The invention relates to a device and a method for determination of orientation in polycrystalline materials, comprising a detector (1), illuminated with X-ray radiation with which the material under investigation is irradiated. The detector (1) has a cylindrical embodiment and is mounted such as to rotate and arranged about the detector (1) serially in the direction of rotation, are a reading device (2) and an erasing device (3). During illumination, the detector (1) is rotated about the cylindrical axis (5) thereof, such that a continuous illumination, data recording and erasing can be carried out.

Inventors:
Bunge
Hans
Joachim
Application Number:
PCT/DE2005/001845
Publication Date:
April 20, 2006
Filing Date:
October 14, 2005
Export Citation:
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Assignee:
Technische, Universität Clausthal (Adolph-Roemer-Strasse 2A, Clausthal-Zellerfeld, 38678, DE)
Bunge, Hans-peter (Lärchenstrasse 13, Wolfratshausen, 82515, DE)
Bunge, Helga (Ahornweg 15, Clausthal-Zellerfeld, 38678, DE)
International Classes:
G01N23/207; G03B42/02
Foreign References:
US4543479A1985-09-24
US5590167A1996-12-31
US6510197B12003-01-21
Other References:
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 015, no. 415 (P - 1265) 22 October 1991 (1991-10-22)
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 015, no. 084 (P - 1172) 27 February 1991 (1991-02-27)
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 018, no. 031 (P - 1677) 18 January 1994 (1994-01-18)
Attorney, Agent or Firm:
Stornebel, Kai (Gramm, Lins & Partner GbR Theodor-Heuss-Str. 1, Braunschweig, 38122, DE)
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Claims:
Patentansprüche
1. Vorrichtung zur Registrierung von Röntgenbeugungsdiagrammen kristalliner Materialien, mit einem Detektor, der mit Röntgenstrah lung belichtet wird, mit der das untersuchte Material bestrahlt wur¬ de, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor (1 ) zylinderförmig ausgebildet und drehbar gelagert ist und dass in Drehrichtung hin¬ tereinander eine Leseeinrichtung (2) und eine Löscheinrichtung (3) um den Detektor (1 ) herum angeordnet sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor (1 ) motorisch angetrieben ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem bestrahlten Material (10) und dem Detektor (1) eine Blende (4) angeordnet ist.
4. Vorrichtung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Probenhalter (10a; 20, 21 ) dem Detektor (1) zugeordnet ist, in dem die Materialien (10) gehalten sind.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Probenhalter (20, 21 ) als eine Abroll und eine Aufrollspule ausge bildet oder dreh oder verschiebbar gelagert ist.
6. Vorrichtung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Leseeinrichtung (2) als ein Lesekopf und die Löscheinrichtung (3) als eine Belichtungslampe ausgebildet ist.
7. Vorrichtung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Leseeinrichtung (2) und die Löschein¬ richtung (3) im wesentlichen gleichmäßig von der Belichtungsstelle (100) entfernt um den Detektor (1 ) angeordnet sind.
8. Vorrichtung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Leseeinrichtung (2) parallel zu der Zy¬ linderachse (5) des Detektors (1) verfahrbar gelagert ist.
9. Vorrichtung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass dem Detektor (1 ) eine Strahlenquelle (30) zugeordnet ist, die Röntgenstrahlen (31 ) mit einer Wellenlänge zwi¬ schen 0,05 A und 2 A aussendet.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlenquelle (30) eine Synchrotronstrahlenquelle ist.
11. Verfahren zur Registrierung von Röntgenbeugungsdiagrammen kri¬ stalliner Materialien, bei dem ein Detektor von Röntgenstrahlen be lichtet wird, mit denen die Materialien bestrahlt wurden, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor (1) zylindrisch ausgebildet ist und während der Belichtung um seine Zylinderachse (5) gedreht wird.
12. Verfahren nach Anspruch 11 , dadurch gekennzeichnet, dass eine in Drehrichtung der Belichtungsstelle (100) nachgeordnete Leseein¬ richtung (2) dem Detektor (1) zugeordnet ist, über die kontinuierlich Daten von der Detektoroberfläche (11) ausgelesen werden.
13. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass über eine Löscheinrichtung (3) Daten von dem Detektor (1) vor der nächsten Belichtung gelöscht werden.
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekenn¬ zeichnet, dass die Materialien mit Röntgenstrahlen (31) mit einer Wellenlänge zwischen 0,05 A und 2 A bestrahlt werden.
15. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekenn zeichnet, dass der Detektor (1) mit konstanter Geschwindigkeit o der bekannter Zeitabhängigkeit gedreht wird.
16. Vorrichtung nach Ansprüchen 11 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Belichtung, das Auslesen und das Löschen simultan erfol gen.
Description:
Vorrichtung und Verfahren zur Registrierung von Röntgenbeugungs- diagrammen kristalliner Materialien

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Registrierung von Röntgenbeu- gungsdiagrammen kristalliner Materialien nach dem Oberbegriff des An¬ spruchs 1 sowie ein Verfahren zur Registrierung von Röntgenbeugungs- diagrammen kristalliner Materialien nach dem Oberbegriff des Anspruchs 11.

Zur Messung der Textur und Mikrostruktur kristalliner, insbesondere poly¬ kristalliner Materialien jeglicher Art werden diese mit Röntgenstrahlen be- strahlt und vorzugsweise durchleuchtet und Beugungseffekte an dem Kris¬ tallgitter ausgewertet. Zur Registrierung der Röntgenstrahlen wird ein Flä¬ chendetektor verwendet, der nach dem Bildplattenprinzip (image-plate) arbeitet. Um auch relativ große Materialstärken durchleuchten zu können, ist eine hochenergetische Röntgenstrahlung vorteilhaft, insbesondere ist die hochenergetische Synchrotronstrahlung besonders gut zur Messung der Textur kristalliner Materialien geeignet.

Die Registrierung von Röntgenbeugungsdiagrammen zur Textur- oder Mikrostrukturbestimmung mittels Bildplatten umfasst grundsätzlich drei Schritte, nämlich die Belichtung der Bildplatte durch den Röntgenstrahl, der in den Probenkörper eindrang oder diesen durchdrang, das Auslesen des latenten Bildes mit Hilfe eines Laserstrahls sowie das Löschen der Restinformation durch Lichteinstrahlung.

Diese drei Schritte müssen nacheinander ausgeführt werden. Eine techni¬ sche Realisierung dieser Schritte sieht vor, dass eine Bildplatte aus einer Messapparatur entnommen und in ein Lesegerät eingesetzt wird. Dort wird die Bildplatte ausgelesen, gegebenenfalls werden die Restinformationen durch Lichteinstrahlung gelöscht und anschließend wird die Bildplatte wie¬ der in die Messapparatur eingesetzt.

Eine Weiterbildung sieht vor, dass die Bildplatte automatisch aus einer Messposition in eine Leseposition und aus dieser wieder zurück in die Messposition verfahren wird. In kinematischer Umkehr ist vorgesehen, dass die Bildplatte an dem Messort verbleibt und ein Lesearm vor die Bildplatte gefahren wird. Auch hier wird die Bildinformation über einen La¬ serstrahl ausgelesen und die Bildplatte abschließend gelöscht. Allen die¬ sen Verfahren und Vorrichtungen ist es gemein, dass die Bildplatte wäh- rend der Belichtung unbewegt bleibt.

Ein alternatives Verfahren sieht vor, dass die Detektoren während der Be¬ lichtung verschoben werden. Nachteilig daran ist einmal der diskontinuier¬ liche, zeitaufwendige Betrieb, dass die Detektorabmessungen den maxi- malen Verfahrweg und damit die zu untersuchende Objektgröße begren¬ zen und dass bei einer spiralförmigen Auslesung der Bildplatte eine Kor¬ rekturfunktion erforderlich ist, die im Zentrum des Detektors unbestimmt ist. Das Detektorzentrum ist daher für quantitative Messungen nicht nutz¬ bar.

Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Registrierung von Rönt- genbeugungsdiagrammen kristalliner Materialien bereitzustellen, die die vorgenannten Nachteile nicht aufweisen.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 11 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen beschrieben.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung sieht einen Detektor vor, der mit Rönt¬ genstrahlung belichtet wird, mit der das untersuchte Material zuvor be¬ strahlt wurde. Der Detektor ist zylinderförmig ausgebildet und drehbar ge¬ lagert und in Drehrichtung hintereinander sind eine Leseeinrichtung und eine Löscheinrichtung für das Detektorbild um den Detektor herum ange¬ ordnet. Dadurch ist es möglich, eine kontinuierliche Messung durchzufüh¬ ren, die grundsätzlich unbeschränkt fortgesetzt werden kann. Somit ist es möglich, große Proben zu untersuchen bzw. Untersuchungen an langen Bändern durchzuführen, indem die Röntgenbeugungsdiagramme, die bei der Bestrahlung der kristallinen Proben erzeugt werden, registriert und anschließend ausgewertet werden.

Vorzugsweise ist der Detektor motorisch angetrieben, um eine gleichmä¬ ßige und ggf. steuerbare Drehgeschwindigkeit zu gewährleisten, so dass die ausgelesenen Daten präzise den entsprechenden Probenbereichen zugeordnet werden können.

Um unerwünschte, bei der Röntgenuntersuchung auftretenden Effekte der Röntgenbeugung auszuschließen, ist zwischen dem bestrahlten Material und dem Detektor eine Blende angeordnet, die beispielsweise linien- oder halbkreisförmig ausgebildet ist. Auf diese Art und Weise kann eine präzise Texturbestimmung erfolgen.

Ein dem Detektor zugeordneter Probenhalter, in dem die Materialien, die untersucht werden sollen, gehalten sind, ist zwischen der Blende und ei¬ ner Strahlungsquelle angeordnet. Der Probenhalter kann als eine Abroll-

und eine Aufrollspule ausgebildet sein, um bandartige Materialien einfach untersuchen zu können. Ebenfalls ist es vorgesehen, dass der Probenhal¬ ter dreh- oder verschiebbar ausgebildet ist, um beispielsweise während der Bestrahlung der Probe den Bestrahlungsort auf der Probe zu ändern.

Die Leseeinrichtung ist als ein Lesekopf und die Löscheinrichtung als eine Belichtungslampe ausgebildet, so dass das latente Bild, das auf der De¬ tektoroberfläche, also das auf dem Zylindermantel vorhandene Bild, zu¬ nächst über einen Laserstrahl ausgelesen und dann über eine Belich- tungslampe vollständig ausgelöscht wird.

Zweckmäßigerweise sind die Belichtungsstelle, die Leseeinrichtung und die Löscheinrichtung im wesentlichen gleichmäßig zueinander beabstan¬ det um den Detektor angeordnet, so dass zwischen der Belichtungsstelle, der Leseeinrichtung und der Löscheinrichtung ein Winkel von ca. 120° besteht.

Um die gesamte Höhe des Detektors mit der Leseeinrichtung erfassen zu können, ist diese parallel zu der Zylinderachse des Detektors verfahrbar gelagert.

Dem Detektor ist in einer Weiterbildung eine Strahlenquelle zugeordnet, die Röntgenstahlen in einer Wellenlänge zwischen 0,05 A und 2 A aus¬ sendet. Insbesondere bei kurzwelligen Röntgenstrahlen von ungefähr 0,05 bis 0,1 A Wellenlänge kann eine Messung der Texturstruktur und der Mik¬ rostruktur von Materialien gut durchgeführt werden, da die hochenergeti¬ sche Strahlung die Probe durchdringt und präzise Bilder liefert. Die Wel¬ lenlänge von 0,05 bis 0,1 A ist die derzeit mit einem Synchrotron erreich¬ bare Wellenlänge, sollte höherenergetische Strahlung vorhanden sein, kann diese ebenfalls eingesetzt werden. Eine solche Strahlung steht ins¬ besondere in Form von Synchrotronstrahlung zur Verfügung, jedoch kann

als Strahlenquelle auch eine Grobstruktur-Röntgenröhre mit harter Strah¬ lung verwendet werden. Die Vorrichtung ist jedoch auch für längerwellige Röntgenstrahlung mit einer Wellenlänge von ungefähr 1 A bis 2A geeignet, wie sie üblicherweise in der Röntgenfeinstrukturanalyse verwendet wird. Statt einer Durchleuchtung wird das Röntgenbeugungsdiagramm auf dem Wege der Rückstrahlung registriert. Die Wellenlänge der Röntgenstrah¬ lung kann in Abhängigkeit von der vorhandenen Strahlenquelle und dem zu untersuchenden Material gewählt werden.

Das erfindungsgemäße Verfahren zur Registrierung von Röntgenbeu- gungsdiagrammen kristalliner Materialien sieht vor, dass ein Detektor von Röntgenstrahlen belichtet wird, mit denen die Materialien zuvor bestrahlt, insbesondere durchstrahlt worden. Der Detektor ist zylindrisch ausgebildet und wird während der Belichtung um seine Zylinderachse gedreht. Dabei ist es vorgesehen, dass durch eine der Belichtungsstelle nachgeordnete Leseeinrichtung kontinuierlich Daten von der Detektoroberfläche ausgele¬ sen werden.

Nach dem Auslesen der Daten werden die verbliebenen Restdaten von der Detektoroberfläche vor einer erneuten Belichtung gelöscht.

Zur genauen Zuordnung der ausgelesenen Daten ist es vorgesehen, dass der Detektor mit einer konstanten Geschwindigkeit um seine Drehachse gedreht wird. Alternativ ist es vorgesehen, dass die Geschwindigkeit in Abhängigkeit von der Probe oder der Prozessführung verändert wird. Bei zeitabhängigen Prozessen wie der Rekristallisation finden die interessie¬ renden Effekte nicht konstant statt, vielmehr ist häufig ein exponentieller Verlauf zu beobachten oder zu erwarten. Um bei solchen Prozessverläu¬ fen gezielt die Auflösung in dem interessierenden Abschnitt zu erhöhen, kann die Drehgeschwindigkeit und die Lesegeschwindigkeit erhöht wer¬ den. Es kann somit ein Geschwindigkeitsprofil gefahren werden, das an

den zu beobachtenden Prozess angepasst ist. Ebenfalls kann bei der Be¬ trachtung aufgerollter Proben bei einem angetriebenen Aufrollkörper die Zunahme der Bandgeschwindigkeit durch den sich vergrößernden Umfang durch eine erhöhte Drehgeschwindigkeit kompensiert werden.

Um eine kontinuierliche Datenerfassung und damit eine kontinuierliche Texturanalyse durchführen zu können, wird die Belichtung, das Auslesen und das Löschen simultan durchgeführt, so dass auch Messungen an sehr langen Bändern oder sehr großen Materialien, die vor der Blende vorbei bewegt werden, möglich sind. Ebenfalls ist eine Messung und Registrie¬ rung über einen langen Zeitraum möglich, so dass Prozesse ununterbro¬ chen beobachtet und analysiert werden können.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird anhand der beigefügten Figu¬ ren näher erläutert werden. Es zeigen:

Figur 1 - eine schematische Darstellung der Vorrichtung in perspekti- vischer Darstellung;

Figur 2 - eine schematische Darstellung der Vorrichtung in Draufsicht; sowie

Figur 3 - eine Abwicklung der Detektoroberfläche.

In der Figur 1 ist ein Detektor 1 gezeigt, der eine zylindrische Form mit einem Durchmesser D und einer Mantelhöhe H hat. Auf der Außenseite 11 , die gleichzeitig die Mantelfläche des Zylinders bildet, ist quasi eine Bildplatte endlos angeordnet. Der Detektor 1 ist drehbar um eine Zylinder¬ achse 5 gelagert und vorzugsweise motorisch angetrieben.

Um die Mantelfläche 11 des zylinderförmigen Detektors 1 belichten zu können, werden Röntgenstrahlen 31 , vorzugsweise Synchrotronstrahlung, von einer Strahlenquelle 30 auf das zu untersuchende Material 10 gerich¬ tet, das in einem Probenhalter 10a gehalten ist. Diese Strahlung durch¬ dringt das zu untersuchende Material 10 und wird an dem Kristallgitter des zu untersuchenden Materials 10 gebeugt. Die durch das Material 10 durchtretenden Röntgenstrahlen werden über eine Blende 4, die zwischen dem Material 10 und dem Zylinderdetektor 1 angeordnet ist, durch Öff¬ nungen 41 , 42 hindurch gelassen und treffen auf eine Belichtungsstelle 100 auf der Mantelfläche 11 des Zylinderdetektors 1 auf.

Durch die Drehung des Zylinderdetektors 1 um die Drehachse 5 um den Drehwinkel δ wird die belichtete Stelle wegbewegt. In Drehrichtung nach¬ geordnet ist eine Leseeinrichtung 2, beispielsweise ein Laser, dem Detek-

tor 1 zugeordnet. Die Leseeinrichtung 2 ist parallel zu der Zylinderachse 5 verfahrbar gelagert und kann somit die gesamte Höhe H der Mantelfläche des Detektors 1 erfassen. Über die Leseeinrichtung 2 wird das latente Bild auf der Oberfläche 11 des Detektors 1 ausgelesen.

Der Leseeinrichtung 2 in Drehrichtung nachgeordnet ist eine Löscheinrich¬ tung 3 in Gestalt von Beleuchtungslampen, mit denen das Restbild auf der Oberfläche 11 des Detektors 1 gelöscht wird. Anschließend kann die O- berfläche 11 des Zylinderdetektors 1 erneut belichtet werden.

Das Belichten an der Belichtungsstelle 100, das Auslesen durch die Aus¬ lesevorrichtung 2 sowie das Löschen durch die Belichtungslampen 3 er¬ folgt simultan und in Abhängigkeit von der Drehgeschwindigkeit für die belichtete Stelle etwas zeitversetzt. Der Belichtungs,- Auslese- und Löschprozess kann beliebig fortgeführt werden, wobei zur Untersuchung der Materialtextur neben kurzwelliger Röntgenstrahlung auch längerwelli¬ ge Röntgenstrahlung geeignet ist, die üblicherweise in der Röntgenfein- strukturanalyse eingesetzt wird.

In der Figur 2 ist eine Ausgestaltung der Erfindung zu sehen, die im we¬ sentlichen den gleichen Aufbau wie die Figur 1 aufweist, allerdings ist zwi¬ schen der Strahlenquelle 30 und der Blende 4 ein Probenhalter in Gestalt zweier Rollen 20 und 21 vorgesehen, die aufgerolltes, zu untersuchendes Material auf- bzw. abrollen. Aufgrund der Möglichkeit einer kontinuierlichen Belichtung und Erfassung von Daten über den Detektor 1 , ist die Vorrich¬ tung gemäß Figur 2, insbesondere zur Registrierung von Röntgenbeu- gungsdiagrammen zur Bestimmung von Textur- und Mikrostrukturdaten an langen Bändern, sogenannten „Endlos-Bändem", geeignet.

In der Figur 3 ist eine Abwicklung der Mantelfläche 11 des Detektors 1 gezeigt, anhand der die Anordnung der jeweiligen Einrichtungen und der

Ablauf des Bθlichtens, des Auslesens und des Löschens zu erkennen ist. Über der abgewickelten Mantelfläche 11 ist ein Maßstab in Gradeinteilung aufgetragen, wobei bei 0° die Belichtungsstelle 100 angeordnet ist, in ei¬ nem Bereich um 120° eine Auslesestelle A vorliegt, bei der über eine nicht dargestellte Leseeinrichtung 2 das latente Bild ausgelesen wird, während im Bereich von 240°, also bei einer 2/3-Drehung, in einem Löschbereich L über eine Löscheinrichtung die belichtete Oberfläche für eine erneute Be¬ lichtung an der Belichtungsstelle 100, also bei 360°, vorbereitet wird.

Die Belichtung findet nicht über die gesamte Höhe H, sondern abzüglich eines oberen und unteren Randes Δ H statt. Die Blendeneinrichtung 4 ist halbkreisförmig ausgebildet, alternativ können auch schlitzförmige Blen¬ den gerader Form vorgesehen sein.

An der Belichtungsstelle 100 treffen die Röntgenstrahlen, die durch das bestrahlte Material hindurch gegangen sind und Röntgenbeugungseffek- ten unterworfen wurden, auf die Oberfläche auf und bilden dort die Rönt- genbeugungserscheinungen ab. Während der Belichtung wird der Zylinder 1 weitergedreht, so dass kontinuierlich die Mantelfläche 11 belichtet wird. Bei einer Dritteldrehung, also bei der Position 120°, wird über einen Lese¬ kopf der belichtete Bereich ausgelesen, wobei der Lesekopf eine parallel zur Zylinderachse 5 ausgerichtete Bewegung ausführt, so dass die ge¬ samte Mantelhöhe H, zumindest aber der belichtete Bereich H-2ΔH er- fasst wird.

Nachdem die Leseeinrichtung den auszulesenden Bereich überstrichen hat, wird sie an die Ausgangsposition zurückverfahren, wobei die Leseein¬ richtung nur in einer Verfahrrichtung Daten aufnimmt, also entweder wäh¬ rend der Verfahrbewegung nach oben oder nach unten. Der Rücklauf der Leseeinrichtung erfolgt daher ohne Lesefunktion, wobei dies entweder durch Abschalten der Leseeinrichtung oder durch mechanische Blockie-

rung, beispielsweise über eine Blende, sichergestellt werden kann. Wichtig bei dem Auslesen ist, dass der Lesestreifen in einer Breite ΔL ohne Über¬ lagerung und ohne Lücken sich an den nächsten Lesestreifen anschließt, so dass eine vollständige Auslesung der Bildinformation ohne Überlage- rungen oder Fehlstellen möglich ist.

Nach einer weiteren Drittelumdrehung, also bei einer Position 240°, wird über eine Löscheinrichtung in dem Löschbereich L die Manteloberfläche 11 in einen belichtungsfähigen Zustand gebracht, so dass nach einer wei- teren Drehung um 120° eine erneute Belichtung an der Belichtungsstelle 100 erfolgen kann. Dies kann beliebig lange fortgeführt werden, so dass sehr große Objekte vermessen werden können. Diese Messobjekte oder das bestrahlte Material können entweder vor der Belichtungsstelle 100 gedreht oder translatorisch bewegt werden, um verschiedene Bereiche des Messobjektes untersuchen zu können. Ebenfalls ist es möglich, zeit¬ abhängige Prozesse zu verfolgen und ohne Unterbrechung zu analysie¬ ren. Ebenfalls kann unter Aufbringung äußerer Einflüsse auf das bestrahl¬ te Material, beispielsweise durch Aufbringen einer Zugspannung oder An¬ legen eines magnetischen Feldes, untersucht werden, wie sich die Textur oder Mikrostruktur der kristallinen oder polykristallinen Materialien verän¬ dert bzw. wie sich die Röntgenbeugungsdiagramme unter bestimmten, physikalischen Einflüssen verändern.

Die Drehgeschwindigkeit des Detektors 1 kann dabei konstant sein, wenn dies erforderlich ist, dies erleichtert eine Auswertung der erfassten Daten. Sind für einen bestimmten Zeitbereich Daten mit erhöhter Auflösung not¬ wendig, kann die Drehgeschwindigkeit erhöht werden. Wird das zu be¬ strahlende Material relativ zu der Blende 4 oder der Strahlenquelle 30 an dem Detektor 1 vorbei bewegt, kann die Drehgeschwindigkeit synchron zu der Verschiebegeschwindigkeit eingestellt werden, um eine präzise Zu-

Ordnung der erfassten Daten zu der Messstelle an dem zu untersuchen¬ den Material zu ermöglichen.