Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Behandeln von Substraten in einem Fluid-Behälter mit einer über den

Fluid-Behälter bringbaren Substrattransporteinrichtung, die wenigstens eine Substrat-Halteeinrichtung aufweist, die die Substrate in einer ersten Stellung hält und in einer zweiten freigibt. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zum Transportieren von Substraten.

Eine derartige Vorrichtung ist aus der auf dieselbe An¬ melderin zurückgehende DE-A 44 13 077 bekannt. Eine Haube dient bei dieser Vorrichtung dazu, den Fluid-Behälter, in dem die Substrate behandelt werden, während des Proze߬ vorgangs von oben abzudecken, und über diese Haube ein Fluid, etwa ein Gasgemisch, einzuleiten, das gemäß dem Marangoni-Prinzip das Trocknen der Wafer verbessert, die aus dem Fluidbad bewegt werden.

Auf der Oberseite des Fluid-Beckens ist, mit diesem fest verbunden, eine Halterungseinrichtung vorgesehen, die die Wafer nach dem Herausfahren aus dem Behandlungsfluid über der Fluidoberflache halten. Zum Transport der Substrate aus dieser Stellung, beispielsweise zum Zurückstellen der Wafer in einen Waferträger, wird die Haube aufgeklappt, so daß ein Greifer die von den Halterungen gehaltenen Substrate ergreifen und in einen Substratträger umhorden kann. Das Beladen der Vorrichtung mittels des Greifers erfolgt in umgekehrter Reihenfolge. Danach wird die Haube wieder über die vom Greifer auf die Halterungen einge¬ setzten Substrate geschwenkt.

Obgleich die bekannte Vorrichtung mit gutem Erfolg arbei- tet, weist sie dennoch Nachteile auf. Jede Umhordung mit einem zusätzlichen Greifer benötigt Zeit, die die Produk¬ tivität der Anlage beeinträchtigt. Jede Umhortung birgt

grundsätzlich auch die Gefahr einer möglichen Beschädi¬ gung der Substrate. Darüber hinaus ist die Lage der Sub¬ strate auf den Halterungen nach dem Aufklappen bzw. vor dem Zuklappen der Haube labil, weil die Substrate ledig¬ lich auf der Unterseite in Schlitzen der Halterungen ge¬ halten werden. Auch sind für jedes Becken derartige Hal¬ terungen und die zur Verschiebung der Halterungen benö¬ tigten Antriebseinrichtungen erforderlich, wodurch der Herstellungs- und Wartungsaufwand hoch ist.

Aus der US 5,313,966 ist eine Wafer-Reinigungsvorrichtung bekannt, die ebenfalls die eingangs genannten Merkmale mit einer Transporteinrichtung aufweist, die die Wafer in ein chemisches Bad einsetzt oder aus ihm herausnimmt. Die Wafer befinden sich dabei in einer Kassette, die an einem Transportarm hängt und die durch Auf- bzw. Abbewegung des Transportarms in das chemische Bad eingetaucht bzw. aus ihm heraus angehoben wird. Gemäß einer Ausführungsform dieser Vorrichtung befinden sich der Transportarm und die Kassette in einer Glocke, die abdichtend über dem chemi¬ schen Bad angeordnet ist und mit einer Pumpe evakuiert wird. Die Verwendung einer Kassette im chemischen Bad ist jedoch mindestens aus zwei Gründen nachteilig: zum einen muß das Volumen des Chemie-Bades groß sein, um die Kaε- sette aufnehmen zu können. Dadurch sind auch die Abmes¬ sungen der Anlage groß und insbesondere ist eine große Menge an Behandlungsfluid erforderlich, das teuer ist und insbesondere auch nur mit hohem Aufwand wiederaufbereitet werden kann. Zum anderen ist das Trocknen der Substrate nicht oder nur sehr schwer möglich, so daß die bekannte

Vorrichtung auch hinsichtlich des Trocknungsvorgangs der Substrate keine Aussage macht.

Aus der US 5, 443,540 ist eine Vorrichtung zum Trocknen von Substraten bekannt, bei der ein Substrat-Paket in ei¬ ne abschließbare Kammer von oben einbringbar und in die¬ ser Kammer auf und ab bewegbar ist. In der Substrathalte-

einrichtung bleiben die Substrate sowohl während des Transports als auch während der Behandlung im Behand- lungsfluid gehalten und werden für die Behandlung nicht freigegeben.

Aus den Druckschriften JP 60-106135 A2 (Abstract) , US 5,299,901 und US 4,176,751 sind Vorrichtungen zum Behan¬ deln von Substraten bekannt, bei denen die Substrate so¬ wohl während des Transports als auch während der Behand- lung in Kassetten verbleiben und nicht freigegeben wer¬ den.

Aus der WO 95/02473 AI ist eine Ultraschall-Reinigungs¬ vorrichtung bekannt, bei der sich die Substrate während der Behandlung ohne Kassette im Fluidbehälter befinden. Eine Substrattransporteinrichtung zum Transport der Substrate und insbesondere eine Transporteinrichtung mit einer Substrat-Halteeinrichtung für das wahlweise Halten und Freigeben der Substrate ist dieser Druckschrift nicht zu entnehmen.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vor¬ richtung zu schaffen und ein Verfahren anzugeben, die bzw. das mit einem geringen Herstellungs- und Wartungs- aufwand auskommt, eine sichere Behandlung und Handhabung der Substrate ermöglicht, den Behandlungsvorgang der Substrate vereinfacht, und/oder mit kleinerem Behältervo¬ lumen und dadurch mit weniger Behandlungsfluid auskommt.

Die gestellte Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch ge¬ löst, daß die Substrat-Halteeinrichtung eine drehbare Haltestange ist. Die Haltestange benötigt keinen Raum au¬ ßerhalb der Substrat-Transporteinrichtung, beispielsweise keine Greiferarme, so daß der Raumbedarf für die erfin- dungsgemäße Vorrichtung wesentlich geringer ist als bei herkömmlichen Einrichtungen. Dies hat den Vorteil, daß das Behältervolumen der Fluid-Behälter wesentlich gerin-

ger sein kann, da raumbeanspruchende Greiferarme oder dergleichen nicht erforderlich sind. Darüber hinaus sind die Betätigungseinrichtungen für die erfindungsgemäße Haltestange bzw. zum Drehen derselben wesentlich einfa- eher sowohl hinsichtlich des Herstellungs- als auch des

Wartungsaufwands und auch der Steuer- und Drehvorgang ist wesentlich zuverläßlicher und substratschonender als dies mit herkömmlichen Greiferarmen der Fall ist. Die Halte¬ stange ist dabei vorteilhafterweise durch Drehung aus der ersten, die Substrate haltenden Stellung in eine zweite, die Substrate freigebende Stellung drehbar. Dadurch er¬ gibt sich eine sehr einfaches Umstellung vom Halten der Substrate in die Freigabestellung und umgekehrt, was ins¬ besondere auch zur Beschleunigung des Verfahrensablaufs und damit zur Erhöhung der Produktivität der Vorrichtung beiträgt.

Gemäß einer sehr vorteilhaften Ausgestaltung der Erfin¬ dung weist die Transporteinrichtung wenigstens zwei ge- genüberliegende Wände mit Schlitzen für die Substrate auf. Die Schlitze dienen dabei der Führung und Halterung während des Einschiebens der Substrate in die Transport¬ einrichtung bei die Substrate freigebender Stellung der Haltestange und/oder zur Halterung der Substrate, wenn sie mit der Haltestange in der Transporteinrichtung ge¬ halten werden.

Die Haltestange ist dabei in wenigstens einer Wand ange¬ ordnet und erstreckt sich vorzugsweise über die Breite eines Substrat-Pakets, das von der Transporteinrichtung transportiert wird bzw. werden soll.

Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist die Transporteinrichtung eine Haube. Da- durch ergibt sich die Möglichkeit, die Substrate ohne Greifer lediglich dadurch in einen Substratträger zu bringen bzw. aus einem Substratträger zu holen, daß die

gesamte Haube über den Substratträger gebracht wird, der sich etwa neben dem Fluid-Becken befindet. Da kein zu¬ sätzlicher Umhordungsprozeß mit einem eigenen Greifer er¬ forderlich ist, können die Wafer wesentlich schneller um- gehordet und es kann die Gefahr von Waferbeschädigungen verringert werden. Durch die Integration des Substrat- transferε in der Haube ist es auch möglich, für mehrere Prozeßstationen bzw. Fluid-Becken nur eine Haube vorzuse- hen, da dieselbe Haube für mehrere Prozeßstationen dient, und die Substrate selbst mit transportiert. Es ist daher nicht mehr erforderlich, daß jede Prozeßstation bzw. je¬ der Fluid-Behälter eine Haube und/oder eigene Substrat- Halterungen oberhalb des Behälters aufweisen muß, um die Substrate - wie bei bekannten Vorrichtungen - einem Grei- fer zugänglich zu machen. Mit der erfindungsgemäßen Vor¬ richtung ist die Behandlung und Handhabung von Substraten wesentlich einfacher, sicherer und mit einem geringerem Herstellungs- und Wartungsaufwand möglich. Insbesondere auch die Größe des Fluid-Behälters und damit die Menge des üblicherweise sehr teuren Behandlungsfluids können wesentlich reduziert werden.

Die Haltestange weist wenigstens einen Bereich auf, der in der die Substrate haltenden ersten Stellung in den In- nenraum der Transporteinrichtung bzw. der Haube vorsteht. Bei scheibenförmigen Substraten, beispielsweise bei Sili- zium-Wafern, befindet sich die Haltestange unterhalb ei¬ ner Scheibenhälfte, wenn sich die Scheiben in der Haube befinden. Im Falle, daß rechteckformige oder guadratische Substrate behandelt werden sollen, befindet sich die Substrat-Haltestange bei von der Transporteinrichtung oder Haube aufgenommenen Substraten unterhalb der Sub- stratseitenkanten.

Die beispielsweise in Form einer Haltestange ausgebildete erfindungsgemäße Substrat-Halteeinrichtung erstreckt sich vorzugsweise über die gesamte Breite der die Halteein-

richtung aufnehmenden Seitenwand. Dies trifft auch für den in den Innenraum hineinragenden Bereich oder Vor¬ sprung zu, so daß sämtliche nebeneinanderstehenden Substrate in der die Substrate haltenden, ersten Stellung auf der Substrat-Halteeinrichtung aufliegen und dadurch in der Transporteinrichtung oder Haube gehalten werden können.

Gemäß einer weiteren sehr vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist die drehbare Haltestange so ausgebildet, daß sie in der die Substrate freigebenden, zweiten Stel¬ lung mit der Seitenwand-Innenfläche abschließt. Die Hal¬ testange weist also vorzugsweise eine ebene Fläche auf, die mit der Seitenwand-Innenfläche der Transporteinrich- tung oder Haube eine einheitliche Wandfläche bildet, wenn die Haltestange sich in der Stellung befindet, in der die Substrate freigegeben sind.

Im freigegebenen Zustand der Substrate werden diese vor- zugsweise von einer dem Fluid-Behälter zugeordneten Hal¬ terung, etwa einer messerartigen Leiste von unten gehal¬ ten und durch Absenken dieser Halterung in den Fluid-Be¬ hälter gebracht. Im Falle, daß die Haube dabei ebenfalls mit einem Fluid, beispielsweise einem Gas oder einem Gas- gemisch beaufschlagt wird, wie dies etwa in Zusammenhang mit dem Trocknen von Wafern nach dem Marangoni-Prinzip vorgesehen ist, sollte die Haube nach außen dicht sein. Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung der Er¬ findung ist die Haltestange in der Seitenwand der Haube daher so angeordnet und angebracht, daß sie zumindest in ihrer zweiten, die Substrate freigebenden Stellung die Seitenwand nach außen abdichtet. Sollte dies nicht oder nur mit hohem Aufwand möglich sein, so besteht eine al¬ ternative Ausführungsform auch darin, die Substrat-Halte- einrichtung mittels eines Gehäuses nach außen abzuschlie¬ ßen.

Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung weist die Haltestange einen im wesentlichen rechteckförmigen Querschnitt auf. In der die Substrate freigebenden, zweiten Stellung schließt dabei eine Recht- eckfläche mit der Seitenwand-Innenfläche ab.

Gemäß einer weiteren sehr vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung weist die Haltestange einen viereckigen, sechseckigen, achteckigen oder allgemein einen polygonen Querschnitt auf, so daß je nach den gegebenen Verhältnis¬ sen verschiedene Formen oder Ausbildungen des ins innere der Haube ragenden Teils der Haltestange für das Halten der Substrate in der ersten Stellung vorgesehen sind. Da¬ durch ist es möglich, mit derselben Haltestange unter- schiedliche, an die jeweiligen Substrate, Substratdicken und/oder Substratabstände angepaßte Halteelemente mit ei¬ ner einzigen Haltestange vorzusehen. Durch entsprechendes Drehen der Haltestange sind daher verschiedene Steg-Vor¬ sprünge zum wahlweisen Halten der Substrate möglich. Dies ergibt sich auch bei einer im Querschnitt runden Halte¬ stange, bei der wenigstens ein Kreissegment im Quer¬ schnitt entfernt ist.

Gemäß einer weiteren sehr vorteilhaften Ausgstaltung der Erfindung weist die Haltestange in den Längsbereichen, an denen die Substrate in der ersten, die Substrate halten¬ den Stellung anliegen, Schlitze für die Substrate auf. Dadurch ergibt sich für die Substrate ein sicherer Halt und der Abstand zwischen den Substraten wird dadurch si- eher aufrechterhalten. Dabei ist es vorteilhaft, die zu¬ vor beschriebenen, verschiedenen Steg-VorSprünge, Berei¬ che und/oder polygonen Flächen der Haltestange mit Schlitzen zu versehen, die unterschiedlich Abstände, un¬ terschiedliche Schlitzbreiten und/oder unterschiedliche Schlitztiefen für unterschiedlich dicke Substrate oder für Substrate mit unterschiedlicher Packungsdichte auf¬ weisen.

Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung entsprechen die Abschnitte zwischen den Schlitzen den Abständen zwischen den Substraten eines Substratpakets. Gemäß einer beson- ders vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung sind die Abstände zwischen den Schlitzen halb so groß wie die Ab¬ stände zwischen den Substraten eines Substratpakets, d.h. jeder zweite Schlitz der Haltestange bzw. des Steg-Vor- sprungs, oder des ins Innere der Transporteinrichtung vorstehenden Bereichs und/oder der polygonen Fläche der Haltestange ist bei Einführen eines Substratpakets mit einem Substrat besetzt.

Ganz allgemein ist es erfindungsgesmäß auch möglich, die Abstände zwischen den Schlitzen als ganzzahligen Bruch¬ teil zu den Abständen zwischen den Substraten eines Sub¬ stratpakets zu wählen, so daß beispielsweise nur jeder dritte, vierte oder fünfte Schlitz mit einem Substrat ei¬ nes eingebrachten Substratpakets besetzt ist.

Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung der Er¬ findung weist die Haltestange eine dritte Stellung auf, in der ein erster Teil des Substrats gehalten und ein zweiter Teil freigegeben ist. Vorzugsweise wird jeweils jedes zweite Substrat gehalten und jedes dazwischenlie¬ gende Substrat freigegen. Auf diese Weise ist es in der dritten Stellung der Haltestange, die durch Drehen der Haltestange eingenommen werden kann, möglich, einen er¬ sten Teil der Substrate, etwa ein erstes bereits in die Transporteinrichtung eingebrachtes Substratpaket zu hal¬ ten und einen zweiten Teil von Substraten, etwa ein zwei¬ tes Substratpaket im freigegebenen Teil der Haltestange, an der sich die Schlitze zur Durchführung dieser Sub¬ strate befinden, zusätzlich und versetzt zum ersten Teil der Substrate bzw. des ersten Substratpakets in die

Transporteinrichtung einzuführen. Wie im weiteren noch im einzelnen beschrieben werden wird, wird danach die Halte-

stange in die erste Stellung gebracht bzw. gedreht, in der sie dann alle Substrate sowohl des ersten als auch des nachfolgend eingebrachten zweiten Substratpakets hält. Auf diese Weise ist es mög-lich, das Substratpaket auf einfache Weise zu verdichten und zwei Substratpakete mit doppelten Subtratabständen zu einem Substratpaket mit einfachen Substratabständen, also ohne Lücke, zusammenzu¬ führen.

Insbesondere dann, wenn die Substrat-Transporteinrichtung eine Haube ist, die auch bei dem Prozessieren der Sub¬ strate in einem Fluid-Behälter über dem Fluid-Behälter angeordnet ist, ist es vorteilhaft, wenn die Haltestange in ihrer ersten, zweiten und/oder dritten Stellung die Seitenwand der Tranεporteinrichtung bzw. der Haube nach außen abdichtet.

Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist die erfindungsgemäße Haube gleichzeitig ei- ne Prozeßhaube, die beispielsweise das Fluid-Becken wäh¬ rend des Behandlungsprozesses nach außen abschließt und deren Innenraum mit zur Behandlung der Substrate herange¬ zogen wird. Sehr vorteilhaft ist es dabei, wenn die Haube Einlaßöffnungen zum Einlassen von wenigstens einem Fluid, beispielsweise einem Gas oder einem Gasgemisch aufweist. Derartige Verfahren und Vorrichtungen sind in den auf die Anmelderin der vorliegenden Anmeldung zurückgehenden nicht vorveröffentlichten DE-A 195 46 990, DE-A 196 15 108 oder DE-A 196 15 970.9 beschrieben, deren Gegenstände insofern zum Inhalt der vorliegenden Anmeldung gemacht werden.

Beispielsweise ist es vorteilhaft, in der Haube Einla߬ öffnungen oder Diffuser zum Einlassen von Isopropyl-Alko- hol oder einer Isopropyl-Alkohol enthaltenden Gasmischung vorzusehen, wenn die Haube für eine Trocknungsprozeß nach dem Marangoni-Verfahren eingesetzt wird.

Gemäß einer weiteren, vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung weist die Haube eine Schließvorrichtung auf der dem Fluid-Behälter zugewandten Seite auf. Auf diese Weise ist es möglich, die in der Haube befindlichen Substrate beim Transport von einem Behandlungsprozeß zum anderen gegenüber dem Außenraum abzuschirmen, um zu verhindern, daß während des Transportes mit der Haube Verunreinigun¬ gen an dies Substrate gelangen können. Gemäß einer sehr vorteilhaften Ausführungsform der Erfin¬ dung ist eine Substrat-Lade- und/oder Entladestation zum Be- und/oder Entladen der Transporteinrichtung vorgese¬ hen. Die Lade- und/oder Entladestation für die Substrate ist dabei vorzugsweise neben den Fluid-Behältern angeord- net, so daß die Transporteinrichtung, vorzugsweise in

Form einer Haube, von der Lade- und/oder Entladestation über den Fluid-Behälter, und umgekehrt, bringbar ist.

Vorzugsweise weist die Substrat-Lade- und/oder Entlade- Station einen unter die Transporteinrichtung schiebbaren Substratträger-Halter auf, so daß ein Substrate enthal¬ tender Substratträger unter die Transporteinrichtung ge¬ schoben und von dort die Substrate in die Transportein¬ richtung gebracht werden können, oder ein leerer Sub- stratträger zur Aufnahme der Substrate aus der Transport¬ einrichtung beim Entladen in die Aufnahmestellung ge¬ bracht wird.

Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung weist der Substratträger-Halter wenigstens zwei Verschiebestellungen auf, die in Richtung der Substratpa¬ ket-Achsen zueinander um einen halben Substratabstand versetzt sind. Auf diese Weise ist es möglich, zunächst ein Substratpaket in die Transporteinrichtung zu bringen, um dann ein weiteres Substratpaket, das zum ersten Sub¬ stratpaket um einen halben Substratabstand versetzt ist, ebenfalls in die Transporteinrichtung zu bringen, und

zwar dann, wenn die Haltestange in ihrer dritten Stellung ist, in der das erste Substratpaket gehalten ist und das zweite Substratpaket beispielsweise durch entsprechende durchgehende Schlitze in dem in die Transporteinrichtung vorstehenden Bereich der Haltestanges über diese hinweg zusätzlich in die Transporteinrichtung gebracht werden kann, so daß dadurch mit einfachen Mitteln und einer ein¬ fachen Vorgehensweise eine Verdichtung der Substrate in der Transporteinrichtung möglich wird. Auf diese Weise ist es möglich, pro Paketvolumen beispielsweise die dop¬ pelte Anzahl von Substraten in einem Fluid-Behälter zu behandeln, obgleich die Substrate in den Substratträgern mit doppelten Abstand zueinander angeordnet sind. Dies ermöglicht eine wesentlich höhere Produktivität hinsieht- lieh des Zeitaufwands und eine erhebliche Einsparung an Behandlungsfluid.

Vorzugsweise weist die Lade- und/oder Entladestation eine Substratanheb-Vorrichtung zum Anheben und Absenken der Substrate in die Transporteinrichtung bzw. aus der Trans¬ porteinrichtung auf. Eine derartige Substratanheb-Vorri¬ chtung weist vorzugsweise wenigstens einen sich über die Breite des Substratpakets erstreckenden Steg auf, der zur Aufnahme oder sicheren Halterung der Substrate in Längε- richtung des Stegs bzw. der Stege Schlitze oder Einker¬ bungen aufweist. Eine drartige Substratanheb-Vorrichtung kann beispielsweises in gleicher oder ähnlicher Weise ausgeführt werden, wie dies für das Anheben und Absenken der Substrate aus einem oder in einen Fluid-Behälter in der DE-A-44 13 077 oder den zuvor genannten, nicht vor¬ veröffentlichten deutschen Anmeldungen derselben Anmelde¬ rin beschrieben ist.

Die Aufgabe der Erfindung wird auch durch ein Verfahren zum Transportieren von Substraten mit einer Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche dadurch gelöst,

daß der Beladungsvorgang der Transporteinrichtung mit den Substraten folgende Verfahrensschritte aufweist: a) Drehen der Haltestange in die die Substrate freigeben¬ den zweite Stellung, b) Einschieben der Substrate in die Transporteinrichtung bis sich wenigstens die breitesten Bereiche der Substrate über der Haltestange befinden und c) Drehen der Haltestange in die erste, die Substrate haltende Stellung. Das Entladen der Transporteinrichtung erfolgt in umge¬ kehrter Weise, indem die Haltestange aus der ersten, die Substrate haltenden Stellung in die zweite, die Substrate freigebende Stellung gedreht und die Substrate dann aus der Transporteinrichtung gebracht werden. Zum Einschieben und Herausfahren der Substrate in die Transporteinrich¬ tung bzw. aus der Transporteinrichtung ist vorzugsweise eine Halterungsvorrichtung in Form einer messerartigen Leiste vorgesehen, die auf- und abbewegbar ist. Eine der¬ artige Halterungsvorrichtung sowie deren Antriebseinrich- tung ist beispielsweise in der DE-A-44 13 077 oder den zuvor genannten, nicht vorveröffentlichten deutschen An¬ meldungen derselben Anmelderin beschrieben, so daß zur Vermeidung von Wiederholungen darauf Bezug genommen wird, und diese Ausführungen insofern zum Inhalt der vorliegen- den Anmeldung gemacht werden.

Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens für die Substratverdichtung in der Transporteinrichtung sind folgende Verfahrens- schritte nacheinander vorgesehen: a) Drehen der Haltestange in die die Substrate freigeben¬ de zweite Stellung, b) Einschieben eines ersten Substratpakets in die Trans¬ porteinrichtung, bis sich wenigstens die breitesten Be- reiche der Substrate über der Haltestange befinden,

c) Drehen der Haltestange in die dritte Stellung, in der das eingeschobene Substratpaket von der Haltestange ge¬ halten wird, d) Einschieben eines zweiten Substratpakets, das in sei¬ ner Lage bezüglich des ersten Substratpakets um einen halben Substrat-Abstand in Längsrichtung der Haltestange versetzt ist und e) Drehen der Haltestange in die zweite Stellung _x in der alle Substrate gehalten werden.

Auf diese Weise ist es möglich, das Substratpaket, wel¬ ches in einem Substrathalter mit normalem Abstand zwi¬ schen den Substraten liegen, zu einem Substratpaket mit doppelter Substratdichte zu verdichten. Bei einem Sub- strathalter mit zum Beispiel 25 Wafern kann daher durch das Zusammenfügen von zwei Substratpaketen mit normaler Beabstandung nur ein Substratpaket mit einer doppelten Dichte der Substrate, nämlich mit 50 Substraten auf ein¬ fache Weise, sicher und zuverlässig gebildet werden, so daß bei der Behandlung des Halb-Abstand-Substratpakets gegenüber einem Normal-Abstand-Substratpaket bei der Be¬ handlung in den Fluid-Behältern eine wesentlich größere Produktivität und die Verwendung wesentlich geringerer Fluidmengen möglich ist.

Das Entladen der Transporteinrichtung läuft in umgekehr¬ ter Reihenfolge ab, in dem die Haltestange aus der zwei¬ ten, alle Substrate erhaltenden Stellung in die dritte Stellung gedreht wird, bei der jedes zweite Substrat von der Haltestange freigegeben und etwa durch Absenken der

Haltevorrichtung entladen wird. Nach dem Entladen des er¬ sten Substratpakets wird die Haltestange aus der dritten Stellung in die zweite Stellung gedreht, in der auch das zweite, noch in der Transporteinrichtung befindliche Sub- stratpaket freigegeben wird.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn am Ende des Verfah¬ rensschrittes d) sowohl das erste als auch das zweite Substratpaket so weit angehoben werden, daß während des Drehens der Haltestange gemäß Verfahrensschritt e) in die zweite Stellung, in der alle Substrate gehalten werden, keine Substrate auf der Haltestange aufliegen. Auf diese Weise entsteht beim Drehen der Haltestange kein Abrieb an den Substraten und/oder an der Haltetange, so daß die Entstehung von Partikeln insofern nicht möglich ist.

Mit der Erfindung ist es auch möglich, ein verdichtetes Substratpaket zu schaffen, das aus mehr als zwei Aus- gangs-Substratpaketen besteht.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand bevorzugter Ausfüh¬ rungsbeispiele unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 Eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vor- richtung mit einer Substrat-Halteeinrichtung in

Form einer Haltestange, die sich in einer die Substrate in einer Haube haltenden Stellung be¬ findet, Fig. 2 die in Fig. 1 dargestellte Ausführungsform, bei der sich die Haltestange in der die Substrate freigebenden Stellung befindet, Fig. 3 eine weitere Ausführungsform der erfindungs¬ gemäßen Vorrichtung in Blickrichtung von oben auf die Haltestange, Fig. 4 eine Querschnittsdarstellung entlang der in

Fig. 3 eingezeichneten Schnittlinie IV-IV, Fig. 5 eine Querεchnittsdarstellung entlang der in

Fig. 4 eingezeichneten Schnittlinie V-V; Fig. 6 eine Darstellung der Vorrichtung gemäß den Fig. 3 bis 5 in Blickrichtung VI mit Darstellung der hydraulischen Antriebsvorrichtung für die Hal¬ testange,

Fig. 7 eine vergrößerte Darstellung der Haltestange in

Blickrichtung von oben auf die Haltestange, Fig. 8 eine Querschnittsdarstellung der Haltestange entlang der in Fig. 7 eingezeichneten Schnittlinie VIII-VIII,

Fig. 9 eine Querschnittsdarstellung der in Fig. 7 eingezeichneten Schnittlinie IX-IX und Fig.10 eine schematische Darstellung der erfindungs¬ gemäßen Vorrichtung mit einer Substrat-Lade- und/oder Entladestation zum Be- und/oder Entladen der Transporteinrichtung.

Die Ausführungsform gemäß Fig. 1 und 2 umfaßt einen Fluid-Behälter 1 mit Halteschlitzen 2 für die einzuset- zenden Substrate 3 sowie einer Halterungsvorrichtung 4 in Form einer messerartigen Leiste, mit denen die Substrate 3 in den Fluid-Behälter 1 abgesenkt oder aus ihm heraus¬ gehoben werden (vgl. Fig. 2) .

Über dem Fluid-Behälter 2 befindet sich Transporteinrich¬ tung in Form einer Haube 5, an deren einen Seitenwand 9 eine Substrat-Halteeinrichtung 6 vorgesehen ist. Bei der dargestellten Ausführungsform der Substrat-Halteeinrich¬ tung 6 ist eine im wesentlichen im Querschnitt rechteck- förmige Haltestange 7 vorgesehen, die um eine Achse 8 drehbar ist. Die Haltestange 7 ist in einer Seitenwand 9 der Haube 5 angeordnet und erstreckt sich im wesentliche über die gesamte Breite dieser Sietenwand 9. Ein Gehäuse 10 schließt den Bereich der Seitenwand 9, an dem sich die Substrat-Halteeirichtung 6 befindet, nach außen ab.

In Fig. 1 ist die Substrat-Haltevorrichtung 6 in einer ersten, die Substrate 3 haltenden Stellung gezeigt. Die im Querschnitt im wesentlichen rechteckformige Stange 7 befindet sich in einer Drehlage, in der ein Bereich bzw. Steg-Vorsprung 11 in den Innenraum der Haube 5 ragt und die Substrate 3 in der Haube 5 hält.

Fig. 2 zeigt die Substrat-Halteeinrichtung in der die Wa¬ fer freigebenden zweiten Stellung. Die um die Achse 8 drehbare Stange 7 wurde gegenüber der Stellung in Fig. 1 um 90° im Uhrzeigersinn gedreht, so daß der Steg-Vor¬ sprung 11 nicht mehr in den Innenraum der Haube 5 ragt. Vielmehr schließt nunmehr eine lange Seite 12 der im Querschnitt rechteckförmigen Stange 7 mit der Innenfläche der Seitenwand 9 ab, so daß die Wafer 3 nach unten glei- ten und auf der Halterungsvorrichtung 4 des Fluid-Behäl- ters 1 in dieses abgesenkt werden können.

Wie aus Fig. 2 ersichtlich ist, weisen die Ausschnitts- flachen der Seitenwand 9, bezüglich der Außenflächen der Haltestange 7, die den Ausschnittsflächen der Seitenwand 9 in dieser Stellung gegenüber liegen, eine komplementäre Form auf und schließen dadurch die für die Haltestange 7 vorgesehen Öffnung in der Seitenwand 9 nach außen ab, insbesondere dann, wenn sich die Substrat-Halteeinrich- tung in der in Fig. 2 gezeigten, die Substrate freigeben¬ den Stellung befindet.

Die Bereiche der Haltestange 7, die in der ersten, in Fig. 1 dargestellten Stellung mit den Wafern in Berührung kommen und diese in der Haube 5 halten, sind vorzugsweise mit Schlitzen zum sicheren Halt und zur Fixierung eines definierten Abstands zwischen den Wafern 3 versehen.

In dem in Fig. 1 dargestellten Zustand sind die Substrate 3 durch die Substrat-Halteeinrichtung 8 und die in der Haube 5 vorgesehenen Halteschlitze 15 in ihrer Lage si¬ cher gehalten, so daß die gesamte Haube 5 zusammen mit den Substraten 3 an einen anderen Ort, beispielsweise über einen weiteren Fluid-Behälter oder über einen leeren Substratträger gebracht werden können, ohne daß eine wei¬ tere Hordung etwa mittels eines Greifers erforderlich ist. Dieselbe Haube 5 kann daher sowohl als Prozeßhaube

als auch als Transporteinrichtung verwendet werden. Durch eine relative Horizontalbewegung zwischen der Haube 5 und einer Substratanhebe-Vorrichtung werden die in der Haube 5 befindlichen Substrate 3 über den Substratträger ge- bracht und in ihn abgesetzt. Die Substrat-Halteeinrich¬ tung 6 wird durch Drehen der Haltestange 7 geöffnet und durch eine weitere Relativbewegung der Sulbstsrate 3 zwi¬ schen der Haube 5 und dem Substratträger bzw. dem Substrat-Messer werden die Substrate 3 auf einfache Weise umgehordet. In entsprechender Weise werden die Substrate aus einem Subtratträger in die Haube 5 umgehordet, wobei nach Umhordung dann die Substrat-Halteeinrichtung 6 wie¬ der in die Fig. 1 dargestellte, die Substrate 3 haltende Stellung gebracht wird.

Es ist möglich, nicht nur an einer, sondern an beiden Seitenwänden 9, 13 der Haube 5 jeweils eine Substrat-Hal¬ teeinrichtung 6 vorzusehen. Auch ist es möglich, die in den Fig. 1 und 2 gezeigte Haltestange 7 der Substrat-Hal- teeinrichtung 6 mit einer anderen Querschnittsform auszu¬ bilden. Statt drehbaren Stangen ist es auch möglich, für die Substrat-Halteeinrichtung 6 wenigstens eine Klappe vorzusehen, die aus der Seitenwand 9 der Haube 5 wahl¬ weise nach innen auεklappbar ist.

Die Fig. 3 bis 6 zeigen Darstellungen und Querschnitte einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vor¬ richtung mit einer Transporteinrichtung in Form einer Haube 20. Wie insbesondere aus Fig. 4 ersichtlich ist, befindet sich die eine andere als in den Fig. 1 und 2 dargestellte Ausführungsform aufweisende Haltestange 21 innerhalb der die Haltestange 21 tragenden Seitenwand 22, so daß Dichtungsschwierigkeiten an dieser Stelle nicht auftreten. Die Substrate 3 werden dabei durch mit Schlit- ze versehenen Bandelementen 23, 24 gehalten, wobei im

Element 24 eine Ausnehmung 25 für die Haltestange 21 vor¬ gesehen ist.

Wie aus den Fig. 3 und 5 und insbesondere aus Fig. 6 er¬ sichtlich ist, befindet sich auf der Außenseite einer Wand 26 der Haube 20 eine Antriebseinrichtung 27, die im dargestellten Ausführungsbeispiel hydraulisch betätigt wird, einen Doppelzylinder aufweist und drei Schaltstel¬ lungen besitzt, die im nachfolgenden insbesondere anhand der Fig. 7, 8 und 9 noch im einzelnen beschrieben werden. Eine Antriebsstange 28, die durch die hydraulische An- triebseinrichtung 27 nach rechts und links verschoben wird, ist als Zahnstange ausgebildet und dreht eine Welle 29 der Haltestange 21.

Die Antriebseinrichtung zum Drehen der Haltestange 21 kann in unterschiedlichen Ausführungsformen, beispiels¬ weise mit einem Linearmotor realisiert werden, wobei die Antriebseinrichtung 27 mit einem Doppelzylinder jedoch eine besonders einfache und zuverlässiges Ausführungsform darstellt, weil drei Schaltstellungen ohne weitere Rege- lung oder Wegabfragen auf einfache Weise und zuverlässig eingenommen werden, und bei Vorrichtungen dieser Art oh¬ nehin Hydraulikeinrichtungen vorhanden sind.

Zur Abdichtung des Inneren der Haube 20 nach außen sind an den Endbereichen der Welle 29 Dichtungselemente, etwa Dichtungsringe 30 vorgesehen.

In Fig. 7 ist die Haltestange 21 des Ausführungsbeispiels gemäß den Fig. 3 bis 6 in vergrößertem Maßstab darge- stellt, wobei sich die Seitenwand 22, an bzw. in der die Haltestange 21 angeordnet ist, in Fig. 7 auf der unteren Längsseite befindet, und die Haltestange 21 in Blickrich¬ tung von oben, also parallel zu den Substratebenen gese¬ hen wird. Die obere Längsεeite der Haltestange 21 in Fig. 7 ist dem Inneren der Transporteinrichtung bzw. Haube 20 zugewandt.

Bei der in den Fig. 7 bis 9 dargestellten Ausführungsform einer Haltestange 21 sind in Achsenrichtung jeweils ab¬ wechselnd zwei unterschiedliche Ausführungsformen von Schlitzen oder Einschnitten vorgesehen, deren Querschnit- te aus den Fig. 8 und 9 ersichtlich sind.

Im Schnittbereich VIII-VIII der Fig. 7 ist ein Schlitz 31 in die Haltestange 21 eingeschnitten oder eingefräst, dessen Breite so gewählt ist, daß ein Substrat 3 hin- durchgleiten kann, und dessen Querschnittsfläche einem Kreissegment 32 entspricht, wie dies in Fig. 8 darge¬ stellt ist. Bei der in Fig. 7 und 8 dargestellten Dreh¬ stellung der Haltestange 21 liegen Randbereiche der Sub¬ strate 3 auf den dem Innenraum der Haube 20 zugewandten Abschnitten 33 der Schlitzböden auf und werden dadurch von der Haltestange 21 in ihrer Lage gehalten.

Bei Drehen der Haltestange 21 im Gegenuhrzeigersinn ge¬ langen die Schlitze 31 in eine Stellung, bei der die Schlitzböden 34 bzw. die Abschnitte 33 der Schlitzböden 34 die Substrate 3 nicht mehr halten, so daß diese durch die Schlitze 31 nach unten gleiten können, oder Substrate 3 von unten durch die Schlitze 31 in dieser Stellung über die Haltestange 21 nach oben in die Transporteinrichtung gebracht werden können. Nach dem Beladen der Transport¬ einrichtung 20 mit Substraten 3 wird die Haltestange 21 um etwa 90° im Uhrzeigersinn in die in Fig. 7 darge¬ stellte Stellung gedreht, so daß die eingebrachten Sub¬ strate 3 in der Transporteinrichtung gehalten werden.

Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung befinden sich zwischen den anhand von Fig. 8 beschriebenen Schlitzen 31 jeweils Schlitze 35 mit For¬ men, die nachfolgend anhand von Fig. 7 und 9 erläutert werden, wobei Fig. 9 eine Querschnittsdarstellung entlang der in Fig. 7 eingezeichneten Schnittlinie IX-IX wieder¬ gibt.

Der Schlitz 35 im Querschnittsbereich IX-IX weist ein Schlitzsegment 36 auf, das dem Kreis- oder Schlitzsegment 32 des Schlitzes 31 im Querschnittsbereich VIII-VIII ent- spricht. Darüber hinaus weist der Schlitz 35 jedoch ein weiteres Schlitzsegment 37 auf, das bezüglich des Schlitzsegments 36 um 90° gedreht ausgebildet ist. Bei dem in Fig. 9 dargestellten Querschnitt werden also die Substrate 3, die sich in den Schlitzen 35 befinden, nicht gehalten und können aus der Transporteinrichtung 20 ent¬ fernt bzw. in die Transporteinrichtung 20 eingeschoben werden. Dies bedeutet, daß die Substrate 3, die sich im Schlitz 31 befinden, von der Haltestange 21 gehalten, und die Substrate 3, die sich im Schlitz 35 befinden, freige- geben werden.

Bei Drehung der Haltestange 21 aus der in den Fig. 8 und 9 dargeteilten Drehstellung um 90° im Gegenuhrzeigersinn befinden sich sowohl die Schlitze 31 als auch die Schlit- ze 35 in einer Stellung, in der sämtliche Substrate 3 freigegeben sind.

Bei Drehung der Haltestange 21 aus der in Fig. 8 und 9 dargestellten Drehstellung um 90° im Uhrzeigersinn werden auch die Substrate, die sich im Querschnittsbereich IX-IX oberhalb der Haltestange 21 befinden, vom Schliltzboden 38 bzw. vom Abschnitt 39 des Schlitzbodens 38 des Schlit¬ zes 35 gehalten, so daß sowohl die Substrate im Quer¬ schnittsbereich VIII-VIII als auch im Querschnittsbereich IX-IX von der Haltestange 21 gehalten werden.

Die Funktionsweise der erfindungsgemmäßen Vorrichtung mit der in den Fig. 7 bis 9 dargestellten Haltestange 21 ist folgende:

Bei einer Drehstellung der Haltestange 21, die gegenüber der in den Fig. 7 bis 9 dargestellten Drehstellung um 90°

im Gegenuhrzeigersinn gedreht ist, wird zunächst ein Sub- stratpaket mit Substratabständen, die den Abständen der Schlitze 31 entsprechen, durch die Schlitze 31 über die Haltestange 21 eingeschoben. Danach wird die Haltestange 21 um 90° im Uhrzeigersinn gedreht. In dieser Stellung wird ein zweites Substratpaket, dessen Substrat 3 densel¬ ben Abstand wie die Substrate des ersten Substratpakets aufweisen, jedoch um einen halben Substratabstand dazu versetzt sind, in die Schlitze 35 eingeschoben. Dies ist möglich, weil das Segment 37 deε Schlitzes 35 in dieser Stellung der Haltestange 21 die Substrate durchläßt.

Nachdem das zweite, gegenüber dem ersten um einen halben Substratabstand versetzte Substratpaket durch die Segmen- te 37 des Schlitzes 35 über die Haltestange 21 in die Transportvorrichtung eingeschoben ist, wird eine nicht dargestellte Substratanheb-Vorrichtung, die beispielswei¬ se ein messerartiger Steg sein kann und etwa in der DE-44 13 077 derselben Anmelderin beschrieben ist, noch etwas weiter angehoben, so daß auch die im Schlitz 31 bereits gehaltenen Substrate 3 des ersten Substratpakets nochmals etwas angehoben werden und von der Haltestange 21 frei¬ kommen. Erst danach wird die Haltestange 21 nochmals um 90° im Uhrzeigersinn gedreht, so daß die Substrate 3 so- wohl des ersten als auch des zweiten Substratpakets von der Haltestange 21 gehalten werden. Da die Substrate bei¬ der Pakete beim Drehen der Haltestange 21 nicht mehr auf ihr Aufliegen, wird ein Abrieb an den Substraten oder an der Haltestange 21 bei dessen Drehung vermieden.

Durch die Ausführungsform der Haltestange 21 gemäß den Fig. 7 bis 9 ist es also möglich, auf einfache Weise Substratpakete zu verdichten und beispielsweise Substrat¬ pakete mit normalem Abstand zu Substratpaketen mit halbem Abstand zuverlässich und ohne die Gefahr einer Berührung der Substrate untereinander auf einfache Weise zusammen¬ zuführen. Dadurch können zwei Substratpakete mit normalem

Substratabstand gleichzeitig in einem Fluid-Behälter be¬ handelt werden, so daß sich erhebliche Produktiongsstei- gerungen ergeben und große Mengen an Behandlungsfluid eingespart werden können.

Das Entladen der Transporteinrichtunmg kann entweder in einem Vorgang, oder schrittweise unter Bildung von wie¬ derum zwei Substratpaketen mit doppeltem Abstand der Substrate 3 untereinander erfolgen. Sollen alle Substrate 3, die sich sowohl in den Schlitzen 31 als auch in den Schlitzen 35 befinden, gleichzeitig aus der Transportvor¬ richtung ausgebracht werden, wird die Haltestange 21 in eine Drehstellung gebracht, wie sie durch Drehen der Hal- testange 21 aus der in den Fig. 7 bis 9 dargestellten

Stellung um 90° im Gegenuhrzeigersinn ergibt. Sollen die beiden Substratpakete jedoch getrennt ausgebracht werden, wird die Haltestange 21 zunächst in die in den Fig. 7 bis 9 dargestellte Drehstellung gebracht und erst dann um 90° im Gegenuhrzeigersinn gedreht, so daß auch die Substrate 3, die sich in den Schlitzen 31 befinden, entladen werden können.

In Fig. 10 ist eine schematische Darstellung eines Aus- führungsbeispielε der erfindungsgemäßen Vorrichtung in

Aufsicht wiedergegeben, bei der neben einem Fluid-Behäl¬ ter 1 mit Führungsschlitzen 2 in den Seitenwänden und ei¬ ner Halterungsvorrichtung, beispielsweise einem Substrat¬ messer 4, eine Be- und Entladestation 40 vorgesehen ist, die einen Substratträger-Halter 41 aufweist, der wie eine Schublade in Richtung des Doppelpfeils 43 verschiebbar ist und einen Substratträger 42 unter die anhand der Fig. 1 bis 9 beschriebenen Transporteinrichtung, beispielswei¬ se eine Transporthaube 5, 20 bringen. Der Substratträger- Halter 41 weist dabei vorzugsweise zwei Verschiebestel- lungen für die Lage der Transportträger unterhalb der Transportvorrichtung auf, die sich voneinander um einen

halben Abstand, mit denen die Substrate im Substratträger 42 stehen, unterscheiden. Dadurch ist es auf einfache Weise möglich, zwei normale Substratabstände aufweisende Substratpakete um einen halben Substratabstand versetzt unter die Transportvorrichtung zu bringen, um dadurch ei¬ ne Verdichtung des Substratpakets in der Transportvor¬ richtung mit halbem Substratabstand zu erreichen, wie dies im Zusammenhang mit den Fig. 7 bis 9 im einzelnen beschrieben ist.

In Fig. 10 ist eine Substratanheb-Vorrichtung, ein soge¬ nannter Pusher, mit dem Bezugszeichen 44 versehen, um die Substrate in der Lade- und/oder Entladestation 40 in die in Fig. 10 nicht dargestellte Transportvorrichtung zu schieben.

Nach dem Beladen der Transportvorrichtung bzw. der Haube 5 wird diese in der durch den Pfeil 45 angedeuteten Rich¬ tung über den Fluid-Behälter 1 gebracht und gegebenen- falls dort zur Abdichtung auf diesen abgesenkt. Danach wird die Halterungsvorrichtung 4, beispielsweise ein Sub¬ stratmesser, aus dem Fluidbehälter 1 nach oben unter die in der Transporteinrichtung gehaltenen Substrate 3 ge¬ bracht, das sie dann übernimmt, wenn die Haltestange 7 bzw. 21 die Substrate freigibt.

Die Erfindung wurde zuvor anhand bevorzugter Ausführungs¬ beispiele beschrieben. Dem Fachmann sind jedoch Ausge¬ staltungen und Abwandlungen möglich, ohne daß dadurch der Erfindunggedanken verlassen wird. Beispielsweise ist die erfindungsgemäße Vorrichtung auch ohne die Verwendung ei¬ ner Haube und ohne Zusammenhang mit einem Fluid-Behälter einsetzbar, beispielsweise lediglich zum Transport und/oder zur Verdichtung von Substraten bzw. Substratpa- keten. Obgleich die Erfindung anhand von Ausführungsbei- spielen zur Verdichtung von zwei Substratpaketen zu einem Substratpaket erläutert wurde, ist die erfindungsgemaße

Transportvorrichtung auch zur Verdichtung von mehr als zwei Paketen zu einem Paket geeignet. Zu diesem Zwecke kann die Haltestange 7 bzw. 21 mit entsprechenden Berei¬ chen von Schlitzen und Schlitzform-Wiederholungen in Ach¬ senrichtung ausgestattet werden, und die Be- und Entla¬ destation 40 kann nehrere Verschiebestellungen aufweisen, die in Richtung der Substratpaketachse zueinander um bei¬ spielsweise ein Drittel oder ein Viertel der Substratab¬ stände der zu verdichtenden Substratpakete versetzt sind.