Schutzvorrichtung gegen elektrostatische Entladungen Stand der Technik Die Erfindung geht aus von einer Schutzvorrichtung nach der Gattung des unabhängigen Anspruchs. Aus der noch nicht veröffentlichten deutschen Patentanmeldung mit dem Aktenzeichen 1 97 46 410.6 ist bereits eine solche Schutzvorrichtung bekannt, bei der im ESD-Fall (ESD ist die Abkürzung für den englischen Ausdruck für elektrostatische Entladung, electrostatic discharge") eine vertikal angeordnete Transistordiode durch einen lateralen Sperrschichtberührungseffekt (engl."punch-through effect") durchgeschaltet wird. Bei der dort beschriebenen Schutzvorrichtung jedoch ist die Haltespannung (engl."snap back voltage"), d. h. die Spannung, die mindestens zwischen Kollektor und Emitter nach dem Durchbruch anliegen muß, damit die Diode durchgeschaltet bleibt, auf einen Wert begrenzt, der im wesentlichen durch die Schichtdicke des Oberflächengebiets der Halbleiteranordnung, in dem die Schutzvorrichtung eingebracht ist, vorgegeben ist.

Vorteile der Erfindung Die erfindungsgemäße Schutzvorrichtung mit den kennzeichnenden Merkmalen des unabhängigen Anspruchs hat infolge einer im inaktiven Zustand der Schutzvorrichtung hochohmigen Kollektoranbindung demgegenüber bei gleichbleibender Durchbruchspannung den Vorteil einer

erhöhten Haltespannung. Dadurch können mit in der Halbleiteranordnung integrierte Schaltkreise vor ESD-Pulsen geschützt werden, die mit höheren Spannungen betrieben werden. Wird ein integrierter Schaltkreis beispielsweise mit 25 Volt betrieben, so muß die Haltespannung des Schutzelements größer als 25 Volt sein, damit bei einem ESD- Puls die Betriebsspannung nach Ableitung des ESD-Pulses durch das Schutzelement das Schutzelement nicht in durchgeschaltetem Zustand verharren läßt. Die erfindungsgemäße Anordnung ermöglicht die Bereitstellung eines entsprechenden Schutzelements in platzsparender Weise, da nicht mehr, wie bisher, mehrere Schutzelemente kombiniert werden müssen, um eine ausreichend hohe Haltespannung zu gewährleisten.

Durch die in den abhängigen Ansprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der im unabhängigen Anspruch angegebenen Schutzvorrichtung möglich.

Besonders vorteilhaft ist das Vorsehen einer Sinkerelektrode, die zum einen als Schutz vor parasitären Strömen dient und mit der zum andern über eine entsprechende Wahl des Abstands zur Anschlu$schicht gezielt die Haltespannung der mittels einer vertikal angeordneten Transistordiode realisierten Schutzvorrichtung eingestellt werden kann.

Zeichnung Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen Figur 1 eine Schutzvorrichtung, die bereits in der oben zitierten, noch nicht veröffentlichten deutschen Patentanmeldung beschrieben ist, Figur 2 ein

Ausführungsbeispiel der Erfindung und Figur 3 ein Strom- Spannungs-Diagramm.

Beschreibung der Ausführungsbeispiele Figur 1 zeigt eine Querschnittsseitenansicht einer Schutzvorrichtung, die auf einem p-dotierten Halbleitersubstrat 30 angeordnet ist. Auf das Substrat 30 ist ein n-dotiertes Oberflächengebiet 52 epitaktisch aufgebracht, wobei zwischen dem Oberflächengebiet und dem Substrat eine stark n-dotierte vergrabene Schicht 54 angeordnet ist. An der Oberfläche 10 des Oberflächengebiets 52 ist eine p-dotierte Wanne 50 eingebracht, in die wiederum ein stark p-dotiertes Gebiet 40 sowie, dazu unmittelbar benachbart, ein stark n-dotiertes Gebiet 56 eingebracht ist, die beide über eine metallische Emitterelektrode 44 an der Oberfläche miteinander elektrisch verbunden sind. Eine an der Oberfläche angeordnete Isolationsoxidschicht 100 trennt die p-Wanne 50 von einer dazu benachbart in die Oberfläche eingebrachten stark n-dotierten Anschlußschicht 42, die über eine Kollektorelektrode 46 elektrisch kontaktiert werden kann. Die Anschlußschicht 42 überlappt mit einer in das Oberflächengebiet 52 eingebrachten stark n-dotierten Sinkerelektrode 540, die wiederum teilweise mit der vergrabenen Schicht 54 überlappt. Die Dotierung der p-Wanne 50 liegt typischerweise in einem Bereich von 10 cm 3. Die n-Dotierung des Oberflächengebiets 52 liegt typischerweise in einem Bereich von 1015 cm, die Dotierung der stark n- dotierten Anschlußschicht 42 in einem Bereich von typischerweise 1019 cm.

Für den Einsatz einer derartigen Vorrichtung als ESD-Schutz ist die Sperrpolung des pn-Übergangs zwischen der p-Wanne 50 und dem Oberflächengebiet 52 relevant. Der Abstand zwischen der p-Wanne und der Anschlußschicht 42 ist derart dimensioniert, da$ die mit zunehmender Sperrspannung

wachsende Verarmungszone im Oberflächengebiet 52 die Anschlußschicht 42 erreicht, bevor die Durchbruchspannung zwischen der p-Wanne 50 und dem Oberflächengebiet 52 erreicht ist. Somit erfolgt zwischen der Wanne 50 und der Anschlußschicht 42 ein Durchbruch infolge des Sperrschichtberührungseffekts.

Figur 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Schutzvorrichtung. Gleiche Bezugszeichen wie in Figur 1 bezeichnen gleiche oder ähnliche Bestandteile und werden im folgenden nicht nochmals beschrieben. Die Anschlußschicht 42 ist beabstandet zur p-Wanne 50 angeordnet ; der Abstand ist mit y"markiert. Darüberhinaus ist die Anschlußschicht 42 beabstandet zur Sinkerelektrode 540 angeordnet ; der entsprechende Abstand ist mit"x"markiert. x ist hierbei eine positive Größe, das heißt die Anschlußschicht 42 und die Sinkerelektrode überlappen nicht, vielmehr befindet sich im Verlauf der Dotierkonzentration entlang der Oberfläche von der Sinkerelektrode hin zu der Anschlußschicht 42 ein lokales Minimum, das durch das Zwischengebiet 600 gebildet wird, das Teil des Oberflächengebiets 52 ist.

Durch die p-Wanne 50 als Basis, die über das stark p- dotierte Gebiet 40 und die Emitterelektrode 44 mit dem als Emitter fungierenden stark n-dotierten Gebiet 56 kurzgeschlossen ist, und der vergrabenen Schicht 54 als Kollektor wird eine Transistordiode (Dreischichtdiode) gebildet. Die elektrische Anbindung des Kollektors über die Kollektorelektrode 46 erfolgt mittels der stark n-dotierten Anschlußschicht 42. Zur Verwendung als ESD-Schutz wird die Transistordiode in Sperrichtung gepolt, also beispielsweise das Massepotential an die Emitterelektrode 44 und das positive Potential eines gegen elektrostatische Entladungen zu schützenden Anschlusses eines benachbarten integrierten Schaltkreises an die Kollektorelektrode 46 gelegt. Solange die Potentialdifferenz zwischen den Elektroden unterhalb der

Durchbruchspannung liegt, sperrt die Transistordiode (analog zur Anordnung nach Figur 1). Ferner ist die Anschlußschicht 42 nur sehr hochohmig mit der vergrabenen Schicht verbunden, da jeder mögliche Strompfad zwischen der Anschlußschicht und der vergrabenen Schicht durch das (relativ zur vergrabenen Schicht und zur Anschlußschicht schwach dotierte) Oberflächengebiet verläuft. Dies führt jedoch dazu, daß im Falle eines Durchbruchs die Transistordiode eine im Vergleich zur Anordnung nach Figur 1 erhöhte Haltespannung aufweist. Über den Abstand x der Anschlußschicht zur Sinkerelektrode ist der Wert der Haltespannung einstellbar, er nimmt mit größer werdendem x zu. Die Durchbruchspannung ist weitgehend unabhängig von der Haltespannung und ebenfalls wählbar durch entsprechende Auslegung des Abstands Y- Die Sinkerelektrode 540 ist für das Funktionsprinzip der Anordnung nicht erforderlich und kann daher weggelassen werden. Sie ist jedoch nützlich, um die Schutzvorrichtung gegen andere Schaltkreise abzugrenzen und so parasitäre Effekte beziehungsweise Leckströme ins Substrat zu unterbinden. Entsprechende Vorrichtungen wie in Figur 2 beschrieben sind auch mit vertauschten Dotierungen realisierbar.

Figur 3 zeigt ein Diagramm des Stroms I in willkürlichen Einheiten zwischen Kollektorelektrode 46 und Emitterelektrode 44 in Abhängigkeit von der elektrischen Spannung in Volt zwischen diesen Elektroden. Die Kurve x0 charakterisiert eine Anordnung gemäß Figur 1, die Kurven x2, x4, x8 und x10 die erfindungsgemäße Anordnung gemäß Figur 2, wobei die Ziffern hinter dem x jeweils den Abstand der AnschluBschicht 42 von der Sinkerelektrode 540 in Mikrometern angeben. Sobald die Spannung den Wert von zirka 57 Volt erreicht, werden alle Anordnungen in Sperrichtung niederohmig, wobei durch das relative Minimum der Spannung

nach dem Durchbruch die Haltespannung gegeben ist. Im Falle der Anordnung nach Figur 1 beträgt die Haltespannung zirka 25 Volt. Für x griser als Null ist die Haltespannung erhöht, die Durchbruchspannung bleibt, wie gesagt, weitgehend gleich. Für große x sind kaum noch Unterschiede erkennbar, der Grenzfall maximaler Haltespannung bei ausschließlicher Variation von x ist also durch das Weglassen der Sinkerelektrode gegeben.

Die erhöhte Haltespannung erklärt sich durch die hochohmige Anbindung der vergrabenen Schicht an die Anschlußschicht.

Die Transistorfunktion ist also eigentlich beeinträchtigt, was aber für die Funktion als ESD-Schutzelement unerheblich ist, da beim Durchschalten der Anordnung in Sperrichtung das Oberflächengebiet von Ladungsträgern überschwemmt und somit niederohmig wird. Dies wird durch einen zusätzlich auftretenden Avalanche-Effekt zwischen Anschlußschicht und Oberflächengebiet unterstützt, der zusätzliche Ladungsträger generiert. Die neuartige Schutzvorrichtung weist also einen stark stromabhängigen Kollektorwiderstand auf, der im "richtigen"Zeitpunkt, d. h. zum Zeitpunkt des Durchbruchs, also wenn die Schutzfunktion aktiviert wird, niederohmig wird, um eine Ableitung eines ESD-Pulses zu gewährleisten.

Bei großen Abständen zwischen Sinkerelektrode und Anschlußschicht (8 bzw. 10 Mikrometer) tritt der Avalanche- Effekt zwischen Anschlußschicht und Oberflächengebiet klar hervor : die betreffenden Kennlinien zeigen im Hochstrombereich eine kleinere Steigung als im Falle x=0, d. h. der Hochstromwiderstand der Kollektoranbindung ist dann sogar erniedrigt im Vergleich zu einer Anordnung, bei der die vergrabene Schicht relativ niederohmig über die Sinkerelektrode mit der Anschlußschicht verbunden ist.