Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Reinigung und Verflüssigung von He lium, umfassend

- einen Kaltkopf, mit einem raumtemperaturwarmen, hinteren Endabschnitt, und zumindest einer hintersten, im Betrieb wärmsten Kühlstufe und einer vordersten, im Betrieb kältesten Kühlstufe, wobei der raumtemperaturwarme Endabschnitt und die Kühlstufen entlang einer Erstreckungsrichtung des Kaltkopfs aufeinander folgend angeordnet sind,

- ein Adsorberbett, das thermisch an den Kaltkopf gekoppelt ist,

- und ein vakuumisoliertes Speichergefäß für verflüssigtes Helium. Eine solche Vorrichtung ist aus der JP Hll-118349 A (= Referenz [Dl]) bekannt geworden.

Flüssiges Helium findet in den Bereichen Anwendung, in denen Kühlmittel mit be- sonders tiefen Temperaturen gebraucht werden. Unter normalen Druckbedingun gen liegt Helium bei 4,2 K in flüssiger Form vor. Beispielsweise kann Helium als Kühlmittel beim Einsatz supraleitender Magneten verwendet werden, um den Supraleiter unterhalb seiner Sprungtemperatur zu halten. In der Praxis werden solche supraleitenden Magneten zum Beispiel bei der Magnetresonanzspektrosko- pie (NMR), beim Betrieb von Teilchenbeschleunigern und bei der Kernspintomo graphie (MRT) im Bereich der medizinischen Diagnostik verwendet.

Helium ist weiterhin ein vielseitig verwendeter Rohstoff, der auch in gasförmiger Form genutzt wird. Dabei findet Helium beispielsweise Anwendung in der Lebens- mittelindustrie, wo es als Treib- oder Packgas genutzt wird, in der Schweißtech nik, wo es als Inertgas eingesetzt wird, in Gasentladungsröhren oder als Traggas für Ballons und Luftschiffe, um nur einige Bereiche zu nennen. Für diese Vielzahl von Anwendungsbeispielen bedarf es jedoch einer ausreichend guten Versorgung mit Helium.

Helium liegt anteilig in einigen Erdgasquellen vor. Dieses Gasgemisch wird geför dert und das Helium abgetrennt. Zwar wurden in den letzten zwei Dekaden im mer wieder neue heliumhaltige Erdgasquellen erschlossen. Der Verbrauch von Helium ist jedoch groß und steigt ständig. Dies schlägt sich dann in steigenden Preisen nieder. Außerdem ist Helium eine nicht-erneuerbare Ressource, weshalb es geboten scheint, den Verbrauch von frisch gefördertem Helium zu reduzieren, indem bereits gefördertes Helium zurückgewonnen wird.

Solch eine Rückgewinnung geschieht beispielsweise oft in NMR- Laboratorien, in denen das aus dem supraleitenden Magneten abgedampfte Helium wieder aufge fangen und für eine weitere Verwendung verflüssigt wird. Viele NMR- Laboratorien haben einen täglichen Verbrauch an flüssigem Helium von weniger als 50 Litern. In solchen Fällen erfolgt die Verflüssigung des Heliums oft mit Hilfe von Verflüssi gern auf Basis von Kryokühlern (etwa Pulsrorhkühlern oder GM-Kühlern). Solche Verflüssiger reagieren besonders empfindlich auf die Reinheit des Heliumgases, welches ihnen zugeführt wird.

Es gibt dabei mehrere Ursachen, wie Verunreinigungen in den Heliumkreislauf ei nes Heliumrückgewinnungssystems gelangen können. Beispielsweise gelangt je des Mal, wenn eine Leitung des Heliumrückgewinnungssystems geöffnet wird, et was Luft in den Heliumkreislauf. Häufig verfügen Heliumrückgewinnungssysteme über Ballonspeicher, deren Haut zumindest teilweise für Luft und Feuchtigkeit durchlässig ist, wodurch diese unerwünschten Bestandteile dem Heliumkreislauf zugeführt werden. Weiterhin sind in die Heliumrückgewinnungssysteme oft Pum pen und Kompressoren integriert, bei denen im Betrieb Ölnebel und Crackingpro dukte des Pumpenöls in den Heliumkreislauf gelangen.

Solcherlei Verunreinigungen frieren im Verflüssiger an den kalten Flächen eines sogenannten Kaltkopfes aus. Als Folge bildet sich nach und nach eine Schicht ge frorener Verunreinigungen aus, die den Kaltkopf zunehmend isoliert. Mit der Zeit ist der Kaltkopf thermisch so isoliert, dass keine ausreichend kalten Oberflächen mehr zur Verfügung stehen und das Helium nicht mehr - oder nicht mehr mit der gewünschten Rate - verflüssigt werden kann. Wenn der Verflüssiger über Rohr leitungen oder Blenden mit kleinem Querschnitt verfügt, besteht zusätzlich die Gefahr, dass diese von den gefrorenen Verunreinigungen verstopft werden. Um die Verunreinigungen zu entfernen, muss der Verflüssiger auf Raumtemperatur aufgewärmt werden, was ein teurer und zeitraubender Prozess ist.

Um eine ausreichende Reinheit des Heliumgases sicherzustellen, wird dem Ver flüssiger üblicherweise ein sogenannter kryogener Purifier vorgeschaltet. Dazu wird das zu reinigende Heliumgas in diesem Purifier meist auf eine Temperatur zwischen 40 und 100 K abgekühlt und durch ein Adsorberbett (beispielsweise eine Schüttung aus Aktivkohle) geleitet. Im Adsorberbett frieren dann auf der großen Oberfläche, die durch die Aktivkohle zur Verfügung gestellt wird, die Ver- unreinigungen aus. Um eine gute Reinigungswirkung zu erzielen, muss der kryo gene Purifier regelmäßig regeneriert werden. Hierzu wird das Adsorberbett auf Raumtemperatur aufgewärmt, damit die adsorbierten Verunreinigungen desor- bieren und anschließend abgepumpt werden können. Die Kühlung dieser kryoge nen Purifier erfolgt entweder über flüssigen Stickstoff, was den Nachteil mit sich bringt, dass dieser mit der Zeit verdampft und regelmäßig nachgefüllt werden muss, oder über einen separaten Kryokühler für den Purifier. Solche separaten kryogenen Purifier sind beispielsweise durch folgende Internetveröffentlichungen bekannt geworden:

- „AUTOMATIC HELIUM PURIFIER" der Firma Cryomech Inc, Syracuse (New York, USA), vgl. https://www.cryomech.com/articles/automatic-helium-purifier/ vom 14.04.2021 (= Referenz [D8]);

- „Helium gas purifier" der Firma Quantum Design GmbH, Darmstadt (Hessen, DE), vgl. https://qd-europe.com/ch/en/product/helium-gas-purifier/ vom 14.04.2021 (= Referenz [D9]);

- „Cryogenic Purificiation" der Firma Quantum Technology Corp, Sqamish (British Columbia, CA), vgl. https://quantum-technology.com/purify/cryogenic-purification .html vom 14.04.2021 (= Referenz [D10]);

- „KDHPS-CC Helium Purifier" der Firma CSIC Pride (Nanjing) Croygenic Technol ogy Co., Ltd., Nanjing (Jiangsu, CN), vgl. https://www.724pridecryogenics.com/en/prodetail.asp?id=701 vom 15.04.2021 (= Referenz [Dil]);

Der separate Purifier trägt erheblich zum Gesamtenergieverbrauch der Helium rückgewinnungsanlage bei und bringt zusätzliche Wartungskosten mit sich, da der Purifier mit einem eigenen Kaltkopf und einem eigenen Kompressor betrieben wird. Der separate Purifier erhöht zudem die technische Komplexität der Anlage, da ein zweiter Kompressor, ein weiterer Stromanaschluss, zusätzlicher Platz für die Aufstellung und möglicherweise ein zusätzlicher Anschluss für die Wasserküh lung benötigt wird, um nur einige Beispiele zu nennen. Weiterhin wird das Helium, welches das Adsorberbett des Purifiers passiert hat, auf Raumtemperatur aufgewärmt, bevor es zum Verflüssiger geleitet wird, um dort dann wieder abgekühlt zu werden. Dies ist thermodynamisch ineffizient.

In der JP 4 570 546 B2 (= Referenz [D2]) wird ein Verflüssiger beschrieben, der zwei Kaltköpfe mit jeweils zwei oder mehreren Kühlstufen umfasst, welcher He lium abkühlt und anschließend verflüssigt. Auf eine vorherige Reinigung des Heli umgases wird nicht eingegangen.

Die WO 2016/005463 Al (= Referenz [D3]) beschreibt eine Vorrichtung, in der Kaltfallen zur Reinigung eines Gasstroms eingesetzt werden können. Es werden Gegenstromwärmer eingesetzt, um thermodynamisch effizienter zu sein. Gekühlt wird in der Vorrichtung nur bei den zwei Temperaturniveaus, die an den beiden Stufen des Kaltkopfes verfügbar sind.

In der EP 2 567 159 Bl (= Referenz [D4]) wird ein Verflüssiger beschrieben, der Helium mit einem Kryokühler verflüssigt. Um die Effizienz der Verflüssigung zu steigern, wird der Druck im System erhöht, wodurch sich das gasförmige Helium bereits bei höheren Temperaturen verflüssigen lässt. Um die Verunreinigung, die sich am Kaltkopf absetzen, zu entfernen, wird der Kaltkopf in regelmäßigen Ab ständen erwärmt, damit sich die Verunreinigungen lösen. Die Verunreinigungen fallen allerdings ins Speichervolumen mit dem flüssigen Helium aus, wodurch die Verunreinigungen nicht aus dem Heliumsystem entfernt werden. Durch die Er wärmung des Kaltkopfes erhöht sich zudem die Wärmelast auf das Heliumbad.

Die KR 10 2142312 Bl (= Referenz [D5]) beschreibt einen Verflüssiger für He lium, der mit einem Purifier verbunden ist.

In der CN 107677045 A (= Referenz [D6]) wird eine Vorrichtung zur Reinigung von Helium beschrieben. Die Reinigung erfolgt über einen Wärmetauscher und einen Phasenseparator. Aus Wang, „Intermediate cooling from pulse tube and regenerator in a 4K pulse tube cryocooler", Cryogenics 48(3): 154-159 (= Referenz [D7]) ist bekannt ge worden, Wärmetauscher thermisch an ein Pulsrohr eines Kaltkopfs und einen Re generator zu koppeln, da dort Kühlleistung abgegriffen werden kann, ohne die Kühlleistung der kältesten Kühlstufe signifikant zu verschlechtern.

Die eingangs erwähnte JP Hll-118349 A beschreibt eine Vorrichtung, mit der Heliumgas gereinigt und verflüssigt werden kann. Ein Purifier ist hierbei an die erste Stufe eines ersten Kaltkopfes über ein Wärmekontaktelement gekoppelt. Hierdurch wird der Purifier auf die Temperatur der ersten Stufe des ersten Kalt kopfes von ca. 60 K gekühlt und die Verunreinigungen aus dem durchgeleiteten Heliumgas können ausgefroren werden. Das gereinigte Heliumgas wird dann an den Kühlstufen des ersten und eines zweiten Kaltkopfs des Kryokühlers weiterge leitet, weiter gekühlt und zuletzt an der zweiten Kühlstufe des zweiten Kaltkopfs verflüssigt.

Nachteilig bei diesem Vorgehen ist es, dass die Verunreinigungen im Purifier bei sehr viel tieferen Temperaturen als für die meisten Verunreinigungen nötig aus gefroren werden. Dies ist thermodynamisch ineffizient. Zudem ist der Aufbau der Vorrichtung aufwändig.

Aufgabe der Erfindung

Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung zur Verfügung zu stellen, durch die Helium einfach und effizient gereinigt und verflüssigt werden kann.

Beschreibung der Erfindung

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Vorrichtung der eingangs genannten Art, die dadurch gekennzeichnet ist, dass durch die Vorrichtung ein Gasraum eingerichtet ist, in den der Kaltkopf mit seinen Kühlstufen hineinragt und der das Adsorberbett enthält, wobei der Gasraum von dem raumtemperaturwarmen Endabschnitt des Kalt kopfs, an welchem ein Einspeisungsanschluss für zu reinigendes Heliumgas aus gebildet ist, entlang des Kaltkopfs und über das Adsorberbett zur kältesten Kühl stufe des Kaltkopfs führt, und dass eine thermische Kopplung des Kaltkopfs zum Adsorberbett von wenigs tens zwei Auskopplungsorten am Kaltkopf zu wenigstens zwei Einkopplungsorten am Adsorberbett eingerichtet ist, wobei ein Auskopplungsbereich, über den sich die Auskopplungsorte am Kaltkopf verteilen, eine Länge in Erstreckungsrichtung des Kaltkopfs von wenigstens 5 cm aufweist, und wobei ein Einkopplungsbereich, über den sich die Einkopplungsorte am Ad sorberbett verteilen, eine Länge in Erstreckungsrichtung des Kaltkopfs von we nigstens 5 cm aufweist.

Die vorliegende Erfindung schlägt vor, dass der Verflüssiger und das Adsorber bett in eine Einheit integriert und mit einem einzigen Kaltkopf betrieben werden. Das Adsorberbett und der Kaltkopf sind thermisch über mehrere Aus- und Ein kopplungsorte, die entlang der Erstreckungsrichtung des Kaltkopfs verteilt sind, gekoppelt. Dabei können mehrere diskrete (voneinander getrennte) Aus- und Einkopplungsorte eingerichtet sein, oder eine Vielzahl von Aus- und Einkopplung sorten folgt unmittelbar aufeinander, so dass praktisch eine kontinuierliche ther mische Kopplung eingerichtet ist. Hierdurch können im Adsorberbett unterschied liche Temperaturen für die Adsorption von Verunreinigungen eingerichtet wer den. Hierfür können diskrete (separate) Bereiche im Adsorberbett mit unter schiedlichen Temperaturen oder ein Temperaturgradient innerhalb des Adsorber betts eingerichtet werden.

Am Einspeisungsanschluss wird zu verflüssigendes, möglicherweise verunreinig tes Heliumgas zugleitet („zu reinigendes Heliumgas"), um dieses mit dem Adsor berbett von den Verunreinigungen zu befreien. Wird das zu reinigende Heliumgas durch den eingerichteten Gasraum geleitet, können Verunreinigungen wie etwa Wasser, Kohlenwasserstoffe, Sauerstoff oder Stickstoff im Adsorberbett bei ver gleichsweise hohen Temperaturen, und oft bei der höchstmöglichen Temperatur adsorbiert/ausgefroren werden. Insbesondere können verschiedene Arten von Verunreinigungen in unterschiedlichen Bereichen im Adsorberbett bei unter schiedlichen Temperaturen adsorbiert/ausgefroren werden. Thermodynamisch ist dies effizienter als ein Adsorbieren/Ausfrieren aller Verunreinigungen bei einer einzigen, einheitlichen Temperatur, die so tief gewählt werden muss, dass auch diejenigen Verunreinigungen, die bei den tiefsten Temperaturen adsorbiert/aus gefroren werden, mit erfasst werden können.

Die Adsorption von Verunreinigungen findet über einen gewissen Temperaturbe reich statt. Dieser Temperaturbereich liegt oberhalb des Gefrierpunkts der jewei ligen Verunreinigung. Je tiefer die Temperatur, desto größer ist der Anteil der ad sorbierten Verunreinigung im Vergleich zum Anteil der Verunreinigung im Heli umgas, wobei am Gefrierpunkt die Verunreinigung praktisch vollständig adsor biert ist. Vereinfachend wird auch bei einer Adsorption oberhalb des Gefrier punkts hier von „Ausfrieren" der Verunreinigung gesprochen. Der adsorbierte An teil der Verunreinigung ist, neben der Temperatur, unter anderem abhängig von der Größe der Oberfläche des Adsorberbetts, weiterhin vom Material des Adsor berbetts und dem Partialdruck der jeweiligen Verunreinigung. Die Temperatur, bei der im Gleichgewicht 50% der jeweiligen Verunreinigung vom Adsorberbett gebunden ist und 50% in der Gasphase verbleibt, wird hier als Adsorptionstem peratur bezeichnet. Diese Adsorptionstemperatur wird im Folgenden dazu ver wendet, die Temperatur bzw. einen diese Temperatur umgebenden Temperatur bereich, bei der die Adsorption der betreffenden Verunreinigung im Wesentlichen stattfindet, zu indizieren.

Im Rahmen der Erfindung kann die jeweilige Adsorptionswärme der verschiede nen Verunreinigungen bei einer vergleichsweise hohen, und oft bei der höchst möglichen Temperatur aufgenommen werden, also für einen Großteil der Verun reinigungen bei einer höheren Temperatur als der tiefsten, im Adsorberbett be reitgestellten Temperatur. Die Bereitstellung von Kühlleistung bei dieser höheren Temperatur ist deutlich einfacher (effizienter) als die Bereitstellung von Kühlleis tung bei der tiefsten, im Adsorberbett bereitgestellten Temperatur. Die kälteste Kaltstufe des Kaltkopfs hat (im Betrieb) eine Temperatur T _k , die aus reicht, um durch den Gasraum strömendes, gasförmiges Helium zu verflüssigen; im Falle eines Heliumgasdrucks von ca. 1 bar hat die kälteste Kühlstufe typi scherweise eine Temperatur T _k von ca. 4,2 K. Beim Durchfließen des Gasraums wird das gasförmige Helium entlang der Erstreckungsrichtung des Kaltkopfs vom raumtemperaturwarmen Ende zur kältesten Kühlstufe hin allmählich abgekühlt. Hierdurch kann die thermodynamische Effizienz bei der Verflüssigung des Heli ums verbessert werden.

Das Adsorberbett kann als einteiliger, durchgehender Adsorber im Gasraum aus gebildet sein, oder kann mehrere separate Adsorber im Gasraum umfassen. Un ter dem Adsorberbett wird die Gesamtheit aller im Gasraum angeordneter Adsor ber verstanden.

Reinigung und Verflüssigung des Heliumgases erfolgen in einem einheitlichen Gasraum, der um einen einzigen Kaltkopf eingerichtet ist. Ein weiterer Kaltkopf, der ausschließlich für die Kühlung des Adsorberbetts zuständig wäre, ist im Rah men der Erfindung nicht erforderlich; zudem kann ein Transport des Heliumgases zwischen einem separaten Purifier und einem Verflüssiger, der in der Regel mit einer Erwärmung des Heliumgases einher geht und thermodynamisch ineffizient wäre, vermieden werden. Der Platzbedarf der erfindungsgemäßen Vorrichtung kann gering gehalten und die Reinigung und Verflüssigung von Heliumgas ther modynamisch besonders effizient gestaltet werden.

Der Kaltkopf stellt die aktive Kühlleistung bereit. Das Adsorberbett ist als passi ves Bauteil an den Kaltkopf thermisch gekoppelt. Eine thermische Kopplung zwi schen einem Auskopplungsort am Kaltkopf und einem Einkopplungsort am Adsor berbett wird typischerweise eingerichtet durch einen direkten Festkörperkontakt oder durch Strahlung/Konvektion über einen (kleinen) Spalt, wobei der (kleine) Spalt bevorzugt eine Breite von maximal 1/3, besonders bevorzugt von maximal 1/5, ganz besonders bevorzugt von maximal 1/10 der Länge des Auskopplungs bereichs aufweist. Typischerweise ist die Breite des Spalts dann < 5 mm, oft < 3 mm. Die thermische Kopplung kann im Falle von Strahlung/Konvektion verbes sert werden, je kleiner die Breite des (kleinen) Spalts ist. Die Begriffe Auskopp lungsort am Kaltkopf und Einkopplungsort am Adsorberbett definieren keine be stimmte Wärmeflussrichtung.

Der Auskopplungsbereich am Kaltkopf wird durch die in Erstreckungsrichtung des Kaltkopfs am weitesten auseinanderliegenden Auskopplungsorte begrenzt.

Ebenso wird der Einkopplungsbereich am Adsorberbett durch die in Erstreckungs richtung des Kaltkopfs am weitesten auseinander liegenden Einkopplungsorte be- grenzt. Die Länge des Auskopplungsbereichs in Erstreckungsrichtung des Kalt kopfs von wenigstens 5 cm, bevorzugt wenigstens 8 cm, besonders bevorzugt wenigstens 10 cm, stellt sicher, dass im Betrieb am Kaltkopf unterschiedlich kalte Bereiche des Kaltkopfs zur Kühlung des Adsorberbetts genutzt werden. Die Länge des Auskopplungsbereichs in Erstreckungsrichtung des Kaltkopfs von wenigstens 5 cm, bevorzugt wenigstens 8 cm, besonders bevorzugt wenigstens 10 cm, stellt sicher, dass im Betrieb entsprechend unterschiedliche kalte Bereiche im Adsor berbett für das Ausfrieren der verschiedenen Verunreinigungen des zu reinigen den Heliumgases eingerichtet werden. In vorteilhafter Weise kann das Adsorberbett so ausgeformt sein, dass es zumin dest lokal einen Anteil ANT des für einen Heliumgasfluss zur Verfügung stehen den Querschnitts des Gasraums (senkrecht zur Erstreckungsrichtung des Kalt kopfs) einnimmt, mit ANT > 90%, bevorzugt ANT > 95%, besonders bevorzugt ANT = 100%. In besonders vorteilhafter Weise kann das Adsorberbett so ausge- formt sein, dass es über eine Reinigungslänge in Erstreckungsrichtung des Kalt kopfs von wenigstens 5 cm, bevorzugt wenigstens 8 cm, besonders bevorzugt wenigstens 10 cm, den Anteil ANT des für einen Heliumgasfluss zur Verfügung stehenden Querschnitts des Gasraums, gemessen senkrecht zur Erstreckungs richtung des Kaltkopfs, einnimmt.

Durch einen hohen Wert von ANT wird der Anteil von zu reinigendem Heliumgas, das am Adsorbermaterial vorbei strömen kann, minimiert, und dadurch die Reini- gungswirkung der Vorrichtung bzw. des Adsorberbetts maximiert. Bevorzugt ent spricht die Reinigungslänge, in der der hohe Anteil ANT gegeben ist, wenigstens 75%, bevorzugt wenigstens 90%, ganz besonders bevorzugt 100% der Länge des Einkopplungsbereichs.

Bei der Bestimmung von ANT werden Bereiche von Porosität innerhalb des Ad sorbers dem vom Adsorberbett eingenommenen Anteil des Querschnitts des Gas raums zugerechnet. Der lokale Querschnitt des Gasraums entspricht typischer weise dem lokalen Innenquerschnitt eines Kaltkopfbehälters oder eines Halsrohrs des Speichergefäßes, abzüglich des lokalen Querschnitts des Kaltkopfs.

Das Adsorberbett ist bevorzugt so im Gasraum angeordnet, dass der vollständige Gasstrom von zu reinigendem Helium das Adsorberbett durchfließen muss, ins besondere über eine Mindestlänge von 5 cm, bevorzugt 8 cm, besonders bevor zugt 10 cm, entlang der Erstreckungsrichtung des Kaltkopfs und/oder unter Durchdringung von zwei Adsorberbettbereichen mit einer Temperaturdifferenz von wenigstens 50 K, bevorzugt 100 K. Um den Heliumgasstrom vollständig durch das Adsorberbett zu führen wird der Querschnitt des Gasraums vollständig vom Adsorberbett eingenommen (ANT=100%). Entsprechend können praktisch alle Verunreinigungen aus dem der Vorrichtung von außen zufließenden, zu reini genden Heliumgas im Adsorberbett ausgefiltert (ausgefroren) werden, und die kälteste Kaltstufe ist besonders gut vor Verunreinigungen geschützt.

Bevorzugte Varianten der Erfindung

Bei einer bevorzugten Variante der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist vorgese hen, dass eine Auskopplungs-Temperaturdifferenz am Kaltkopf zwischen einem hintersten, dem raumtemperaturwarmen Ende des Kaltkopfs am nächsten lie genden Auskopplungsort und einem vordersten, der kältesten Kühlstufe am nächsten liegenden Auskopplungsort wenigstens 50 K, bevorzugt wenigstens 100 K beträgt, und dass eine Einkopplungs-Temperaturdifferenz am Adsorberbett zwischen ei nem hintersten, dem raumtemperaturwarmen Ende des Kaltkopfs am nächsten liegenden Einkopplungsort und einem vordersten, der kältesten Kühlstufe am nächsten liegenden Einkopplungsort wenigstens 50 K, bevorzugt wenigstens 100 K beträgt. Diese Temperaturdifferenzen lassen sich in der Praxis gut einreichten, und führen zu einer erheblichen Steigerung der thermodynamischen Effizienz, verglichen mit einer einheitlichen Adsorbertemperatur. Die verschiedenen Verun reinigungen können bei einer vergleichsweise hohen, und oft bei der höchstmög lichen Temperatur ausgefroren werden.

Bevorzugt ist weiterhin eine Ausführungsform, die vorsieht, dass zwischen zu mindest einem Teilabschnitt des Kaltkopfs und zumindest einem Teilabschnitt des Adsorberbetts entlang der Erstreckungsrichtung des Kaltkopfs eine kontinuierli che thermische Kopplung eingerichtet ist, wobei sich der jeweilige Teilabschnitt des Kaltkopfs in Erstreckungsrichtung des Kaltkopfs über wenigstens eine Länge von 5 cm erstreckt, und der jeweilige Teil abschnitt des Adsorberbetts in Erstreckungsrichtung des Kaltkopfs über wenigs tens eine Länge von 5 cm erstreckt. Die kontinuierliche thermische Kopplung er folgt grundsätzlich zumindest näherungsweise orthogonal zur Erstreckungsrich tung. Durch die kontinuierlich eingerichtete thermische Kopplung zwischen dem Teilabschnitt des Kaltkopfs und dem Teilabschnitt des Adsorberbetts kann in dem Teilabschnitt des Adsorberbetts ein Temperaturgradient eingerichtet werden, so dass im Adsorberbett (innerhalb des vom Temperaturgradienten überspannten Temperaturbereichs) alle Temperaturen Vorkommen; eine Verunreinigung, deren Adsorptionstemperatur in diesem überspannten Temperaturbereich liegt, kann bei der Adsorptionstemperatur ausfrieren. Zum anderen kann die Kühlleistung des Kaltkopfs, der ebenfalls einen Temperaturgradienten ausbildet, bei der Ad sorptionstemperatur der Verunreinigung zur Verfügung gestellt werden. Dies ist thermodynamisch hoch effizient. Die Längen des jeweiligen Teilabschnitts des Kaltkopfs und des Adsorberbetts in Erstreckungsrichtung des Kaltkopfs haben sich in der Praxis besonders bewährt; bevorzugt betragen die Längen der Teilab schnitte wenigstens 8 cm, besonders bevorzugt wenigstens 10 cm in Erstre- ckungsrichtung des Kaltkopfs. Über diese Längen kann in der Regel ein ausrei chend großer Temperaturgradient eingerichtet werden. Ein Teilabschnitt des Kalt kopfs (und ein zugehöriger Teilabschnitt des Adsorberbetts) kann zwischen dem raumtemperaturwarmen Endabschnitt und der wärmsten Kühlstufe eingerichtet sein. Ein jeweiliger weiterer Teilabschnitt des Kaltkopfs (und ein zugehöriger Teil abschnitt des Adsorberbetts) kann jeweils zwischen zwei Kühlstufen (zB der wärmsten Kühlstufe und der kältesten Kühlstufe bei einem insgesamt zweistufi gen Kaltkopf) eingerichtet sein. Ein jeweiliger Teilabschnitts des Kaltkopfs er streckt sich typischerweise wenigstens über die Hälfte einer Länge eines Regene ratorrohres, das zwischen dem raumtemperaturwarmen Endabschnitt und der wärmsten Kühlstufe oder zwischen zwei Kühlstufen des Kaltkopfs verläuft. Ein Teilabschnitt des Kaltkopfs und ein Teilabschnitt des Adsorberbetts, zwischen de nen eine kontinuierliche thermische Kopplung eingerichtet ist, umfassen jeweils eine Vielzahl von Auskopplungsorten bzw. Einkopplungsorten.

In einer bevorzugten Weiterbildung dieser Ausführungsform ist vorgesehen, dass ein hinterer Teilabschnitt des Kaltkopfs zwischen dem raumtemperaturwarmen Endabschnitt und der wärmsten Kühlstufe eingerichtet ist, und ein mit diesem kontinuierlich thermisch gekoppelter, hinterer Teilabschnitt des Adsorberbetts eingerichtet ist, wobei die wärmste Kühlstufe eine Temperatur T _w aufweist, dass entlang des hinteren Teilabschnitts des Kaltkopfs in Erstreckungsrichtung des Kaltkopfs der Kaltkopf einen kontinuierlichen Temperaturgradienten aufweist, der eine Temperaturdifferenz TD _HKK mit TD _HKK >(293K-T _w )/2 überspannt, und dass entlang des hinteren Teilabschnitts des Adsorberbetts in Erstreckungs richtung des Kaltkopfs das Adsorberbett einen kontinuierlichen Temperaturgradi enten aufweist, der eine Temperaturdifferenz TD _HAD mit TD _HAD >(293K-T _w )/2 über spannt. Durch das so eingerichtete Adsorberbett können Verunreinigungen des zu reinigenden Heliumgases, deren Adsorptionstemperaturen oberhalb der Tem peratur T _w der wärmsten Kühlstufe liegen, bei oder nahe ihrer Adsorptionstempe ratur ausgefroren werden, was thermodynamisch effizient ist. Für T _w gilt meist T _W >40K oder T _W >50K, und/oder weiterhin T _W <150K oder T _W <100K oder T _W <80K. Weiterhin bevorzugt ist eine Weiterbildung dieser Ausführungsform, die dadurch gekennzeichnet ist, dass wenigstens ein weiterer Teilabschnitt des Kaltkopfs zwi schen einer wärmeren Kühlstufe und einer kälteren Kühlstufe des Kaltkopfs ein gerichtet ist, und wenigstens ein mit diesem kontinuierlich thermisch gekoppel ter, weiterer Teilabschnitt des Adsorberbetts eingerichtet ist, wobei jeweils die wärmere Kühlstufe eine obere Temperatur T _0b aufweist und die kältere Kühlstufe eine untere Temperatur T _unt aufweist, dass jeweils entlang des weiteren Teilabschnitts des Kaltkopfs in Erstreckungs richtung des Kaltkopfs der Kaltkopf einen kontinuierlichen Temperaturgradienten aufweist, der eine Temperaturdifferenz TDWKK mit TDw _KK >(To _b -T _U n _t )/2 überspannt, und dass jeweils entlang des weiteren Teilabschnitts des Adsorberbetts in Erstre ckungsrichtung des Kaltkopfs das Adsorberbett einen kontinuierlichen Tempera turgradienten aufweist, der eine Temperaturdifferenz TDWAD mit TD _AD >(T _0b - T un _t )/2 überspannt. Durch ein weiteres so eingerichtetes Adsorberbett können Verunreinigungen des zu reinigenden Heliumgases, deren Adsorptionstemperatu ren unterhalb der Temperatur T _0b und oberhalb der Temperatur T _unt liegen, nahe oder bei ihren Adsorptionstemperaturen ausgefroren werden, was thermodyna misch effizient ist. Umfasst der Kaltkopf genau zwei Kühlstufen, so ist T _0b zu gleich T _w , und die Temperatur T _unt ist zugleich T _k und ist so gewählt, dass Helium verflüssigt werden kann.

Bevorzugt ist auch eine Ausführungsform, bei der das vakuumisolierte Speicher gefäß mit einem Halsrohr ausgebildet ist, wobei der Kaltkopf in das Halsrohr hin einragt und das Adsorberbett im Halsrohr angeordnet ist, und eine Innenwand des Halsrohrs den Gasraum lateral begrenzt, und der Gasraum nach unten hin in das vakuumisolierte Speichergefäß offen ist. Dieser Aufbau ist besonders einfach und kostengünstig; zudem können relativ große Querschnitte für die Reinigung des Heliumgases eingerichtet werden.

Ebenso bevorzugt ist eine Ausführungsform, bei der die Vorrichtung einen Kalt kopfbehälter umfasst, wobei der Kaltkopf in den Kaltkopfbehälter hineinragt und das Adsorberbett im Kaltkopfbehälter angeordnet ist, und wobei der Kaltkopfbe hälter den Gasraum nach außen begrenzt. Der Kaltkopfbehälter erleichtert die Führung des Heliumgasstroms im Gasraum. Das Adsorberbett kann besonders einfach um den Kaltkopf platziert und fixiert werden, insbesondere einfacher als im Falle einer direkten Anordnung von Kaltkopf und Adsorberbett im Halsrohr des Speichergefäßes. Zudem kann mit dem Kaltkopfbehälter eine gewisse thermische Isolation von der Umgebung des Kaltkopfbehälters erreicht werden, insbesondere während einem Ausheizen des Adsorberbetts.

Eine bevorzugte Weiterbildung ist dadurch gekennzeichnet, dass der Kaltkopfbe hälter vakuumisoliert ausgebildet ist. Hierdurch kann der Kaltkopfbehälter ther misch besser von seiner Umgebung isoliert werden. Besonders während eines Ausheizens des Adsorberbetts kann der Wärmeeintrag vom Kaltkopfbehälter in das vakuumisolierte Speichergefäß minimiert werden.

Vorteilhaft ist eine Weiterentwicklung dieser Weiterbildung, bei der der Kaltkopf behälter außerhalb des vakuumisolierten Speichergefäßes angeordnet ist, insbe sondere wobei ein unterseitiger Ablauf des Kaltkopfbehälters über eine Leitung mit dem vakuumisolierten Speichergefäß verbunden ist. Dadurch kann während eines Ausheizens des Adsorberbetts der Wärmeeintrag vom Kaltkopfbehälter in das vakuumisolierte Speichergefäß minimiert werden. Zudem ist eine Auftren nung von Speichergefäß und der Baugruppe des Kaltkopfbehälters vereinfacht möglich, um beispielsweise die Baugruppe und insbesondere den Kaltkopf von starken Magnetfeldern fern zu halten, wenn das Speichergefäß für einen Helium transfer in unmittelbare Nähe eines supraleitenden Magnets gebracht werden muss. Die Leitung ist bevorzugt mit einer thermischen Isolation versehen.

Eine vorteilhafte Weiterbildung sieht vor, dass der Kaltkopfbehälter in das vaku umisolierten Speichergefäß hineinragt, insbesondere in ein Halsrohr des vakuumisolierten Speichergefäßes. Das im Kalt kopfbehälter verflüssigte Helium kann dann direkt in das vakuumisolierte Spei chergefäß abgelassen werden, wodurch ein Wärmeeintrag in das verflüssigte He- lium und Wärmeverluste im Transferpfad zwischen Kaltkopfbehälter und Spei chergefäß minimiert sind. Weiterhin kann der Platzbedarf der Vorrichtung verrin gert werden.

Bei einer besonders bevorzugten Weiterentwicklung dieser Weiterbildung weist der Kaltkopfbehälter eine Ablauf-Kapillare für flüssiges Helium auf, die durch eine unterseitige Gefäßwand des Kaltkopfbehälters zum vakuumisolierten Speicherge fäß führt und am inneren Boden des Kaltkopfbehälters im Gasraum mündet, insbesondere wobei die Ablauf-Kapillare für flüssiges Helium mit einem ver schließbaren Ventil ausgebildet ist. Mit der Ablauf-Kapillare ist eine Übergabe verflüssigten Heliums vom Kaltkopfbehälter in das Speichergefäß auf einfache Weise möglich, wobei beim Ausheizen des Adsorberbetts über die Ablauf-Kapil lare nur ein minimaler Wärmeeintrag vom Kaltkopfbehälter in das vakuumisolier ten Speichergefäß erfolgen kann. Das verschließbare Ventil kann während eines Ausheizens des Adsorberbetts verschlossen werden, um den Wärmeeintrag in das Speichergefäß weiter zu minimieren. Das verschließbare Ventil ist typischer weise am gasraumseitigen Ende der Ablauf-Kapillare angeordnet.

Vorteilhaft ist eine Weiterentwicklung, die vorsieht, dass der Kaltkopfbehälter eine Rückführungs-Kapillare für verdampftes Helium aus dem vakuumisolierten Speichergefäß aufweist, die durch eine unterseitige Gefäßwand des Kaltkopfbe hälters führt und oberhalb eines inneren Bodens des Kaltkopfbehälters im Gas raum mündet, insbesondere an der kältesten Kühlstufe, insbesondere wobei die Rückführungs-Kapillare für verdampftes Helium mit ei nem verschließbaren Ventil ausgebildet ist. Mit der Rückführungs-Kapillare kann verdampftes Helium aus dem vakuumisolierten Speichergefäß für eine Verflüssi gung zum Kaltkopf rückgeführt werden. Wenn die Rückführungs-Kapillare direkt an der kältesten Kaltstufe mündet, wärmt sich das verdampfte Helium, das ja näherungsweise eine Temperatur von 4,2 K hat, nicht über Gebühr auf, bevor es an der Kaltstufe wieder verflüssigt wird. Außerdem ist eine Vermischung mit noch nicht (vollständig) gereinigtem Helium im Gasraum minimiert. Indem die Rückführungs-Kapillare oberhalb des inneren Bodens mündet, wird ein Rückfluss von im Kaltkopfbehälter verflüssigtem Helium durch die Rückführungs-Kapillare (und damit eine Blockade der Rückführungs-Kapillare für gasförmiges Helium) verhindert. Durch die Rückführungs-Kapillare erfolgt beim Ausheizen des Adsor berbetts allenfalls ein minimaler Wärmeeintrag vom Kaltkopfbehälter in das va kuumisolierten Speichergefäß. Das verschließbare Ventil der Rückführungs-Kapil lare, welches am gasraumseitigen Ende der Rückführungs-Kapillare angeordnet sein kann, wird während eines Ausheizens des Adsorberbetts verschlossen, um den Wärmeeintrag in das Speichergefäß weiter zu minimieren.

Vorteilhaft ist bei den obigen Weiterentwicklungen vorgesehen, dass die Ablauf- Kapillare für flüssiges Helium und/oder die Rückführungs-Kapillare für verdampf tes Helium innerhalb der unterseitigen Gefäßwand des Kaltkopfbehälters eine Länge L aufweisen, die größer ist als eine Wandstärke der unterseitigen Gefäß wand, insbesondere wobei die Ablauf-Kapillare und/oder die Rückführungs- Kapillare spi ralförmig ausgebildet sind. Hierdurch kann der Wärmeeintrag über die Kapillaren vom Kaltkopfbehälter zum vakuumisolierten Speichergefäß beim Ausheizen des Adsorberbetts noch weiter verringert werden. Die größere Kapillarlänge L erhöht den Wärmeleitungswiderstand.

In einer weiteren bevorzugen Weiterentwicklung ist an einem oberen Ende des Kaltkopfbehälters, das nahe dem raumtemperaturwarmen Endabschnitt des Kalt kopfs angeordnet ist, wenigstens eine Durchführung für verdampftes Helium aus dem vakuumisolierten Speichergefäß ausgebildet, insbesondere wobei innerhalb des vakuumisolierten Speichergefäßes zwischen ei ner Innenwand des vakuumisolierten Speichergefäßes und einer Außenwand des Kaltkopfbehälters ein ringförmiger Spaltraum eingerichtet ist und die wenigstens eine Durchführung von einem oberen Bereich des ringförmigen Spaltraums in ei nen oberen Bereich des Kaltkopfbehälters führt. Auf diese Weise kann verdampf tes Helium, welches im Speichergefäß aufsteigt, insbesondere im Halsrohr, gleich wieder dem Kaltkopfbehälter zugeführt und verflüssigt werden. Durch den Ring spalt können das Halsrohr und die Wand des Kaltkopfbehälters durch das aufstei gende gasförmige Helium über seinen gesamten Umfang gekühlt werden. Im Kaltkopfbehälter sollte sichergestellt sein, dass über den Einspeisungsanschluss von außen zugeführtes, zu reinigendes Heliumgas vor allem entlang des Kalt kopfs durch das Adsorberbett fließt, und nicht ungereinigt vom Kaltkopfbehälter durch die Durchführung direkt in das Speichergefäß bzw. Ringspalt; hierfür kön nen die Durchführung und der Einspeisungsanschluss im Kaltkopfbehälter insbe sondere durch eine geeignete Stärke von Adsorberbettmaterial voneinander ge trennt sein.

Bevorzugt bei obiger Weiterentwicklung ist es, wenn im Kaltkopfbehälter wenigs tens eine Strömungsleitung ausgebildet ist, die von der wenigstens einen Durch führung am oberen Ende des Kaltkopfbehälters entlang des Kaltkopfs zur kältes ten Kühlstufe führt und in einem unteren Bereich des Gasraums mündet.

Dadurch kann auf einfache Weise eine Konvektion von sauberem bzw. bereits gereinigtem, gasförmigen Heliumgas aus dem Speichergefäß außen am Kaltkopf behälter vorbei und zurück durch den Kaltkopfbehälter unterhalten werden, ohne dass im Gasraum eine Vermischung mit noch nicht gereinigtem Heliumgas ein- tritt, wobei das bereits saubere Heliumgas aus dem Speichergefäß an der kältes ten Kaltstufe wieder verflüssigt wird.

Ausführungsformen zu einem Aufsatzteil

Eine bevorzugte Ausführungsform sieht vor, dass das vakuumisolierte Speicher gefäß einen vakuumisolierten Hauptteil und sowie einen Aufsatzteil aufweist, und dass ein Trennschieber zwischen Hauptteil und Aufsatzteil vorhanden ist, wobei in einem geschlossenen Zustand des Trennschiebers der Hauptteil am Trenn schieber gasdicht verschlossen ist, und in einem offenen Zustand des Trenn schiebers die Innenräume von Hauptteil und Aufsatzteil zueinander offen sind.

Im Aufsatzteil können zumindest zeitweise der Kaltkopf und das Adsorberbett an geordnet sein. Durch das gasdichte Abtrennen des Hauptteils vom Aufsatzteil mittels des Trennschiebers können der Hauptteil (mit dem verflüssigten Helium) und der Aufsatzteil (typischerweise mit dem Kaltkopf und dem Adsorberbett) thermisch voneinander weitestgehend getrennt werden. Werden beispielsweise der Kaltkopf und das Adsorberbett regeneriert (ausgeheizt), kann somit der Wär meeintrag aus Richtung des Aufsatzteils in den Hauptteil bzw. das verflüssigte Helium verringert oder ganz verhindert werden. Der Aufsatzteil kann ebenfalls vakuumisoliert ausgebildet sein, oder ohne Vakuumisolierung ausgebildet sein. Typischerweise ist der Trennschieber im Bereich eines Halsrohrs des vakuumiso lierten Speichergefäßes ausgebildet.

In einer bevorzugten Weiterbildung dieser Ausführungsform ist vorgesehen, dass der Aufsatzteil mit einer flexiblen Wandung, insbesondere einem Faltenbalg, aus gebildet ist, dass eine Baugruppe zumindest umfassend den Kaltkopf und das Adsorberbett gegenüber dem Hauptteil des vakuumisolierten Speichergefäßes verfahrbar aus gebildet ist, und dass in einem ausgefahrenen Zustand die Baugruppe sich lediglich im Auf satzteil, nicht aber im Hauptteil, erstreckt, so dass der Trennschieber geschlos sen werden kann, und in einem eingefahrenen Zustand die Baugruppe in den Hauptteil hineinragt. In dieser Bauform kann die Baugruppe, die den Kaltkopf und das Adsorberbett umfasst, einfach und unkompliziert in den Hauptteil des vakuumisolierten Speichergefäßes versenkt oder aus diesem herausgezogen wer den, wobei die Abdichtung des Speichergefäßes jederzeit aufrecht erhalten bleibt. Im eingefahrenen Zustand ist der Kaltkopf besonders nahe beim verflüs sigten Helium im Speichergefäß, und es kann eine gute thermodynamische Effizi enz erreicht werden. Zusätzlich kann der Platzbedarf im eingefahrenen Zustand der Vorrichtung (im Verflüssigungsbetrieb) verringert werden. Ebenso kann die Baugruppe im Aufsatzteil im ausgefahrenen Zustand (für den Regenerationsbe treib) thermisch weitgehend vom Hauptteil getrennt werden, indem der Trenn schieber geschlossen wird. Falls ein Kaltkopfbehälter vorgesehen ist, gehört die ser auch zur verfahrbaren Baugruppe. Der Faltenbalg kann insbesondere als me tallischer Faltenbalg ausgebildet sein.

Eine weitere bevorzugte Weiterbildung sieht vor, dass im geschlossenen Zustand des Trennschiebers der Hauptteil und der Aufsatzteil voneinander abtrennbar sind, wobei der Kaltkopf und das Adsorberbett sich lediglich im Aufsatzteil, nicht aber im Hauptteil, erstrecken. Der Hauptteil kann im abgetrennten Zustand zu einem vom Aufsatzteil entfernten Ort verbracht werden, während der Kaltkopf und das wenigstens eine Adsorberbett am Ort des Aufsatzteils verbleiben. Wird der Hauptteil beispielsweise in die Nähe eines starken NMR-Magneten gebracht, um dort flüssiges Helium zur Kühlung nachzufüllen, kann der Aufsatzteil mit Kalt kopf und Adsorberbett separat und entfernt gelagert werden; dann braucht der Kaltkopf nicht kompatibel mit (gegebenenfalls großen) magnetischen Streufel dern ausgebildet zu sein, was die Konstruktion des Kaltkopfs erheblich verein facht bzw. den Kaltkopf erheblich verbilligt. Da der Kaltkopf im Aufsatzteil mit ei ner Vielzahl von Gasleitungen (z.B. zu einem Kompressor) und elektrischen Lei tungen verbunden ist, vereinfacht sich die Bedienung stark, wenn das Aufsatzteil immer an Ort und Stelle verbleiben kann, und nicht weit verschoben werden muss, was ein Auftrennen der Leitungen nötig machen würde.

Weitere Ausführungsformen

Bevorzugt ist auch eine Ausführungsform, die dadurch gekennzeichnet ist, dass an dem raumtemperaturwarmen Endabschnitt des Kaltkopfs ein Abführan schluss für Verunreinigungen ausgebildet ist, insbesondere wobei weiterhin eine Spülleitung für ein Spülgas vom raumtempe raturwarmen Endabschnitt des Kaltkopfs zur kältesten Kühlstufe führt und in ei nem unteren Bereich des Gasraums mündet, und insbesondere wobei der Abführanschluss an eine Abführleitung angeschlos sen ist, in der eine Absaugpumpe angeordnet ist. Verunreinigungen können so einfach abgeführt werden. Hierzu kann die Temperatur von Kaltkopf und Adsor berbett beispielsweise auf Raumtemperatur erhöht werden. Durch das Spülgas (beispielsweise Helium, Argon oder Stickstoff), das mit der Spülleitung nahe der kältesten Kaltstufe eingebracht wird, kann der Gasraum entgegen der Strö mungsrichtung des Normalbetriebs in Richtung auf den raumtemperaturwarmen Endabschnitt zu gespült werden, wo der Abführanschluss ausgebildet ist.

Dadurch können Verunreinigungen besonders schnell und vollständig entfernt werden. Durch eine Absaugpumpe (beispielsweise eine Ölschieberpumpe oder eine Membranpumpe) können Verunreinigungen effizient abgesaugt werden; durch Unterdrück im Gasraum wird der Partialdruck von Verunreinigungen er niedrigt und diese können noch leichter desorbieren. Auch bevorzugt ist eine Ausführungsform, bei der im vakuumisolierten Speicher gefäß ein Füllstandsensor für flüssiges Helium ausgebildet ist. So kann der Füll stand und der Zeitpunkt bestimmt werden, an dem das Speichergefäß entleert oder nicht mehr weiter befüllt werden sollte. Das verflüssigte Helium kann bei spielsweise über einen Anschluss (Port) am vakuumisolierten Speichergefäß ent nommen werden.

Ebenso bevorzugt ist eine Ausführungsform, die vorsieht, dass im vakuumisolier ten Speichergefäß ein Speichergefäß-Heizelement vorgesehen ist, mit dem He lium im vakuumisolierten Speichergefäß beheizbar ist. Dadurch kann, falls nötig, der Druck im Speichergefäß erhöht werden.

Bevorzugt ist weiterhin eine Ausführungsform, die dadurch gekennzeichnet ist, dass wenigstens ein Adsorber-Heizelement vorgesehen ist, mit dem das Adsor berbett beheizbar ist. Auf diese Weise kann das Adsorberbett in der Phase der Regeneration schneller erwärmt werden. Außerdem können Verunreinigungen, die höhere Siedepunkte aufweisen, effektiver vom Adsorberbett befreit werden. Typischerweise wird das Adsorberbett auf Raumtemperatur erwärmt, in Einzelfäl len auch auf eine höhere Temperatur.

Ebenso bevorzugt ist eine Ausführungsform, in der jeweils ein Temperatursensor im vakuumisolierten Speichergefäß und/oder am Kaltkopf, insbesondere an der kältesten Kühlstufe, und/oder an dem Adsorberbett ausgebildet ist. Hierdurch kann die Vorrichtung überwacht und ggf. gesteuert werden. Insbesondere kön nen gegebenenfalls Fehlfunktion oder Unregelmäßigkeit entdeckt werden, oder auch der Zeitpunkt der Regeneration von Kaltkopf und Adsorberbett bestimmt werden.

Eine weitere bevorzugte Ausführungsform ist dadurch gekennzeichnet, dass we nigstens eine optische Kontrolleinrichtung vorhanden ist, mit der eine Beladung von wenigstens einer der Kühlstufen des Kaltkopfs mit Verunreinigungen über wachbar ist, insbesondere wobei die wenigstens eine optische Kontrolleinrichtung über eine Glasfaserleitung verfügt. Durch diese optische Kontrolleinrichtung kann der Zeitpunkt für die Regeneration des Kaltkopfs bestimmt werden. Eine Regene ration sollte insbesondere dann erfolgen, wenn die beobachtete Kühlstufe des Kaltkopfs sichtbar durch eine gefrorene Schicht von Verunreinigungen komplett bedeckt ist. Bevorzugt ist für jede Kühlstufe eine optische Kontrolleinrichtung vorgesehen. Für Beleuchtungszwecke kann eine weitere Glasfaserleitung vorge sehen sein.

Bevorzugt ist auch eine Ausführungsform, bei der ein Überwachungsgerät vor handen ist, welches bei Vorliegen

- einer Druckdifferenz zwischen dem Einspeisungsanschluss und dem vakuumiso lierten Speichergefäß größer einem Druckdifferenz-Grenzwert, wobei ein definier ter Heliumzufluss am Einspeisungsanschluss eingerichtet ist, oder

- einer Flussrate von am Einspeisungsanschluss zugeführtem Helium kleiner ei nem Flussraten-Grenzwert, wobei am Einspeisungsanschluss und im vakuumiso lierten Speichergefäß definierte Drücke eingeregelt sind, ein Signal erzeugt, um auf die Notwendigkeit einer Regeneration des Adsorber betts hinzuweisen, und/oder eine Regeneration des Adsorberbetts automatisch einleitet. Damit kann auf einfache Weise der Zeitpunkt der Regeneration des Ad sorberbetts bestimmt und der Anwender darauf aufmerksam gemacht werden. Ebenso kann auf diese einfache Weise eine automatische Regeneration des Ad sorberbetts eingerichtet werden. Der Druckdifferenz-Grenzwert kann abhängig vom eingerichteten Heliumdurchfluss als Grenzkurve definiert sein. Der Flussra ten-Grenzwert kann abhängig von den eingeregelten Drücken als Grenzfläche de finiert sein oder abhängig von der eingeregelten Druckdifferenz als Grenzkurve.

Eine weitere bevorzugte Ausführungsform sieht vor, dass das Adsorberbett eine Aktivkohleschüttung umfasst und/oder ein Material enthält, welches eine innere Oberfläche von wenigstens 300 m ² /g aufweist, bevorzugt wenigstens 900 m ² /g aufweist. An dieser großen, inneren Oberfläche können die Verunreinigungen ausgefroren werden. Eine größere innere Oberfläche kann zudem eine größere Beladung mit Verunreinigungen ermöglichen, wodurch das Adsorberbett seltener regeneriert werden muss. Ebenso bevorzugt ist eine Ausführungsform, die dadurch gekennzeichnet ist, dass das vakuumisolierte Speichergefäß mit einem Drucksensor versehen ist, und dass weiterhin ein Steuergerät vorhanden ist, das dazu ausgebildet ist, eine Heizleistung an einem Speichergefäß-Heizelement und/oder eine Kühlleistung am Kaltkopf in Abhängigkeit vom Druck im vakuumisolierten Speichergefäß zu re geln, insbesondere so dass der Druck im vakuumisolierten Speichergefäß nicht unter einen unteren Grenzdruck P _un tgr fällt und nicht über einen oberen Grenzdruck P _obgr ansteigt. Hierdurch kann verhindert werden, dass ein Unterdrück im vaku umisolierten Speichergefäß entsteht (z.B. wenn die Kühlleistung des Kaltkopfes die Wärmelast auf das Heliumbad überschreitet) und Luft aus der Umgebung ein gebracht (eingesaugt) wird. Ebenso kann verhindert werden, dass ein Überdruck im vakuumisolierten Speichergefäß entsteht, der zur Folge hätte, dass Helium über ein Sicherheitsventil entweicht und verloren geht.

Erfindungsgemäßes Heliumrückgewinnungssystem

In den Rahmen der vorliegenden Erfindung fällt auch ein Heliumrückgewinnungs system, umfassend eine oben beschriebene, erfindungsgemäße Vorrichtung zum Reinigen und Verflüssigen von Helium sowie wenigstens ein heliumgekühltes An wendungsgerät und einen Ballonspeicher für gasförmiges Helium, wobei an den Einspeisungsanschluss über eine Verzweigung eine erste Zuleitung für gasförmiges Helium und eine zweite Zuleitung für gasförmiges Helium ange schlossen sind, wobei die erste Zuleitung vom Ballonspeicher zur Verzweigung führt, insbeson dere wobei die erste Zuleitung weiterhin einen Kompressor und einen Druckspei cher für gasförmiges Helium enthält, und wobei die zweite Zuleitung vom wenigstens einen heliumgekühlten Anwen dungsgerät unter Umgehung des Ballonspeichers zur Verzweigung führt. Ein so eingerichtetes Heliumrückgewinnungssystem kann flexibel in unterschiedlichen Situationen verwendet werden. Der Ballonspeicher für gasförmiges Helium kann verwendet werden, wenn in kurzer Zeit große Mengen gasförmigen Heliums ent stehen, beispielsweise beim Nachfüllen von flüssigem Helium in ein heliumge kühltes Anwendungsgerät. Hierdurch kann eine Überlastung der Vorrichtung (also des Kaltkopfs und des Adsorberbetts bei Reinigung und Verflüssigung) ver hindert werden und das entstandene Heliumgas kann später langsam aus dem Ballonspeicher der Vorrichtung zugeführt werden, gegebenenfalls auch über ei nen Kompressor und Hochdruckspeicher. Während des normalen Betriebs heli umgekühlter Anwendungsgeräte ist es von Vorteil, verdampfendes Helium direkt (unter Umgehung des Ballonspeichers) zum Kaltkopf und Adsorberbett zu leiten, da die Mengen abdampfenden Heliums meist gering sind und das abgedampfte Helium meist sehr trocken und rein ist. Der Umweg über den Ballonspeicher, an welchem meist nicht unerheblich Feuchtigkeit oder Luft eingebracht wird, kann so vermieden und eine Verunreinigung des Heliumgases auf dem Weg vom An wendungsgerät zur Vorrichtung wesentlich verringert oder ganz vermieden wer den.

Erfindungsgemäßes Verfahren zur Reinigung und Verflüssigung von Helium

Weiterhin in den Rahmen der vorliegenden Erfindung fällt auch ein Verfahren zur Reinigung und Verflüssigung von Helium, wobei ein zu reinigendes Heliumgas über ein Adsorberbett geleitet und dadurch aufgereinigt wird, wobei das Adsorberbett mit einem Kaltkopf gekühlt wird, wobei der Kaltkopf wenigstens zwei Kühlstufen umfasst, nämlich zumindest eine wärmste Kühlstufe, die bei einer Temperatur T _w betrieben wird, und eine kälteste Kühlstufe, die bei einer Temperatur T _k betrieben wird, mit T _w >T _k , und wobei durch das Adsorberbett gereinigtes Heliumgas verflüssigt wird, und verflüssigtes Helium in einem vakuumisolierten Speichergefäß gesammelt wird, dadurch gekennzeichnet, dass das zu reinigende Heliumgas in einen Gasraum geleitet wird, in welchen der Kaltkopf mit seinen Kühlstufen einragt und der das Adsorberbett enthält, wobei das zu reinigende Heliumgas durch den Gasraum von einem raumtempe raturwarmen Endabschnitt des Kaltkopfs, an welchem ein Einspeisungsanschluss für das zu reinigende Heliumgas ausgebildet ist, entlang des Kaltkopfs und über das Adsorberbett zu der kältesten Kühlstufe des Kaltkopfs geführt wird, deren Temperatur T _k so gewählt ist, dass durch das Adsorberbett gereinigtes Heliumgas an der kältesten Kühlstufe verflüssigt wird, und dass eine thermische Kopplung des Kaltkopfs zum Adsorberbett von wenigs tens zwei Auskopplungsorten am Kaltkopf zu wenigstens zwei Einkopplungsorten am Adsorberbett eingerichtet ist, derart, dass eine Auskopplungs-Temperaturdifferenz am Kaltkopf zwischen einem hin tersten, dem raumtemperaturwarmen Ende des Kaltkopfs am nächsten liegenden Auskopplungsort und einem vordersten, der kältesten Kühlstufe am nächsten lie genden Auskopplungsort wenigstens 50 K, bevorzugt wenigstens 100 K beträgt, und eine Einkopplungs-Temperaturdifferenz am Adsorberbett zwischen einem hintersten, dem raumtemperaturwarmen Ende des Kaltkopfs am nächsten lie genden Einkopplungsort und einem vordersten, der kältesten Kühlstufe am nächsten liegenden Einkopplungsort wenigstens 50 K, bevorzugt wenigstens 100 K beträgt.

Wird das zu reinigendes Heliumgas in den Gasraum geleitet, können Verunreini gungen wie etwa Wasser, Kohlenwasserstoffe, Sauerstoff oder Stickstoff im Ad sorberbett bereits bei oder nahe an ihrer jeweiligen Adsorptionstemperatur aus gefroren werden. Das gereinigte Heliumgas wird an der kältesten Kaltstufe ver flüssigt und im Speichergefäß gesammelt.

Das Adsorberbett und der Kaltkopf sind thermisch über mindestens zwei Aus- und Einkopplungsorte, die entlang der Erstreckungsrichtung des Kaltkopfs ver teilt sind, gekoppelt. Es können mehrere diskrete (voneinander getrennte) Aus- und Einkopplungsorte eingerichtet sein, oder eine Vielzahl von Aus- und Einkopp lungsorten folgt unmittelbar aufeinander, so dass praktisch eine kontinuierliche thermische Kopplung eingerichtet ist. Hierdurch können im Adsorberbett unter schiedliche Temperaturen für die Adsorption von Verunreinigungen bereitgestellt werden, wodurch erfindungsgemäß eine Anpassung oder Annäherung an die un terschiedlichen Adsorptionstemperaturen der unterschiedlichen Verunreinigungen erfolgt.

Die erfindungsgemäßen Auskopplungs-Temperaturdifferenzen und Einkopplungs- Temperaturdifferenzen lassen sich in der Praxis gut einrichten, und führen zu ei- ner erheblichen Steigerung der thermodynamischen Effizienz, verglichen mit ei ner einheitlichen Adsorbertemperatur entsprechend der Adsorptionstemperatur der Verunreinigung mit der tiefsten Adsorptionstemperatur, die noch ausgefroren werden soll.

Das zu reinigende Heliumgas („Gasstrom") wird bevorzugt so durch den Gas raum geleitet, dass dieses vollständig das Adsorberbett durchfließen muss, ins besondere über eine Mindestlänge von 5 cm, bevorzugt wenigstens 8 cm, beson ders bevorzugt wenigstens 10 cm entlang der Erstreckungsrichtung des Kalt kopfs, und/oder unter Durchdringung von zwei Adsorberbettbereichen mit einer Temperaturdifferenz von wenigstens 50 K, bevorzugt 100K. Bevorzugt findet das Verfahren auf einer oben beschriebenen, erfindungsgemäßen Vorrichtung statt.

Bei einer bevorzugten Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens ist vorgese hen, dass der raumtemperaturwarme Endabschnitt und die Kühlstufen entlang einer Erstreckungsrichtung des Kaltkopfs aufeinander folgend angeordnet sind, dass zwischen zumindest einem Teilabschnitt des Kaltkopfs und zumindest einem Teilabschnitt des Adsorberbetts entlang der Erstreckungsrichtung des Kaltkopfs eine kontinuierliche thermische Kopplung eingerichtet ist, derart, dass entlang des Teilabschnitts des Kaltkopfs in Erstreckungsrichtung des Kalt kopfs der Kaltkopf einen kontinuierlichen Temperaturgradienten aufweist, der eine Temperaturdifferenz TDTKK mit TD _T KK> 25K, bevorzugt TD _T KK> 50K, über spannt, und entlang des Teilabschnitts des Adsorberbetts in Erstreckungsrichtung des Kaltkopfs das Adsorberbett einen kontinuierlichen Temperaturgradienten auf weist, der eine Temperaturdifferenz TDTAD mit TD _T AD>25K, bevorzugt TD _T AD> 50K, überspannt. Durch die kontinuierlich eingerichtete thermische Kopplung zwischen dem zumindest einen Teilabschnitt des Kaltkopfs und dem zumindest einen Teil abschnitt des Adsorberbetts kann in dem zumindest einen Teilabschnitt des Ad sorberbetts ein Temperaturgradient eingerichtet werden, so dass im Adsorber bett (innerhalb des vom Temperaturgradienten überspannten Temperaturbe reichs, vgl. die zugehörige Temperaturdifferenz TDTAD) alle Temperaturen Vor kommen. Die Temperaturdifferenzen TDTKK und TDTAD lassen sich in der Praxis gut einrichten, und führen zu einer erheblichen Steigerung der thermodynami schen Effizienz, verglichen mit einer einheitlichen Adsorbertemperatur entspre chend der Adsorptionstemperatur der Verunreinigung mit der tiefsten Adsorpti onstemperatur, die ausgefroren werden soll. Die verschiedenen Verunreinigun gen können in vielen Fällen bei oder besonders nahe bei ihrer jeweiligen Adsorp tionstemperatur ausgefroren werden.

Vorteilhaft ist eine Weiterentwicklung dieser Variante, die dadurch gekennzeich net ist, dass ein hinterer Teilabschnitt des Kaltkopfs zwischen dem raumtemperaturwar men Endabschnitt und der wärmsten Kühlstufe eingerichtet ist, und ein mit die sem kontinuierlich thermisch gekoppelter, hinterer Teilabschnitt des Adsorber betts eingerichtet ist, wobei der kontinuierliche Temperaturgradient am hinteren Teilabschnitt des Kalt kopfs eine Temperaturdifferenz TDHKK mit TDHKK>(293K-T _w )/2 überspannt, und der kontinuierliche Temperaturgradient am hinteren Teilabschnitt des Adsor berbetts eine Temperaturdifferenz TDHAD mit TD _H AD>(293K-T _w )/2 überspannt. Durch das so eingerichtete Adsorberbett können Verunreinigungen des durchflie ßenden Heliumgases, deren Adsorptionstemperaturen oberhalb der Temperatur T _w der wärmsten Kühlstufe liegen, an oder nahe bei ihrer Adsorptionstemperatur ausgefroren werden, was thermodynamisch effizient ist. Für T _w gilt meist T _W >40K oder T _W >50K, und/oder weiterhin T _W <150K oder T _W <100K oder T _W <80K.

Bevorzugt ist auch eine Fortführung dieser Weiterentwicklung, bei der wenigstens ein weiterer Teilabschnitt des Kaltkopfs zwischen einer wär meren Kühlstufe und einer kälteren Kühlstufe des Kaltkopfs eingerichtet ist, und wenigstens ein mit diesem kontinuierlich thermisch gekoppelter, weiterer Teilab schnitt des Adsorberbetts eingerichtet ist, wobei jeweils die wärmere Kühlstufe eine obere Temperatur T _0b aufweist und die kältere Kühlstufe eine untere Temperatur T _unt aufweist, wobei jeweils der kontinuierliche Temperaturgradient am weiteren Teilabschnitt des Kaltkopfs eine Temperaturdifferenz TDWKK mit TDw _KK >(To _b -T _U n _t )/2 überspannt, und jeweils der kontinuierliche Temperaturgradient am weiteren Teilabschnitt des Adsorberbetts eine Temperaturdifferenz TDWAD mit TDWAD— (T ₀ b-T unt)/2 überspannt.

Durch ein weiteres, so eingerichtetes Adsorberbett können Verunreinigungen des durchfließenden Heliumgases, deren Adsorptionstemperaturen unterhalb der Temperatur Tob und oberhalb der Temperatur T _unt liegen, nahe oder bei ihrer Ad ^¬ sorptionstemperatur ausgefroren werden, was thermodynamisch effizient ist. Umfasst der Kaltkopf genau zwei Kühlstufen, so ist T _0b zugleich T _w , und die Tem peratur T _U n _t ist zugleich T _k .

Weiterhin umfasst die vorliegende Erfindung die Verwendung einer erfindungsge mäßen, oben beschriebenen Vorrichtung in einem erfindungsgemäßen, oben be schriebenen Verfahren. Mit der Vorrichtung können im Rahmen des Verfahrens Verunreinigungen thermodynamisch besonders effizient ausgefroren werden. Insgesamt können daher besonders niedrige Betriebskosten für die Reinigung und Verflüssigung, und insbesondere des Betriebs des Kaltkopfs bzw. des zuge hörigen heliumgekühlten Anwendungsgeräts, erreicht werden.

Weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung und der Zeich nung. Ebenso können die vorstehend genannten und die noch weiter ausgeführ ten Merkmale erfindungsgemäß jeweils einzeln für sich oder zu mehreren in be liebiger Kombination Verwendung finden. Die gezeigten und beschriebenen Aus führungsformen sind nicht als abschließende Aufzählung zu verstehen, sondern haben vielmehr beispielhaften Charakter für die Schilderung der Erfindung.

Detaillierte Beschreibung der Erfindung und Zeichnung

Die Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird anhand von Ausführungs beispielen näher erläutert.

Fig. 1 zeigt einen schematische Längsschnitt einer beispielhaften ersten

Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einem va kuumisolierten Speichergefäß mit einem Halsrohr, in welchem ein Kaltkopf und ein Adsorberbett mit drei Adsorbern unmittelbar ange- ordnet sind;

Fig. 2 zeigt einen schematischen Längsschnitt einer beispielhaften zweiten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ähnlich wie in Fig. 1, wobei das Adsorberbett zwei kontinuierlich thermisch gekop pelte Adsorber umfasst;

Fig. 3 zeigt einen schematischen Querschnitt durch das Halsrohr mit Kalt kopf und Adsorberbett von Fig. 2 in der dortigen Ebene A-A; Fig. 4 zeigt einen schematische Längsschnitt einer beispielhaften dritten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einem va kuumisolierten Speichergefäß mit einem Halsrohr, in welchen ein Kaltkopfbehälter beinhaltend einen Kaltkopf und ein Adsorberbett einragt;

Fig. 5 zeigt einen schematischen Längsschnitt einer beispielhaften vierten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ähnlich wie in Fig. 4, wobei der Kaltkopfbehälter zusätzlich über eine Rückfüh rungs-Kapillare sowie eine Durchführung verfügt;

Fig. 6 zeigt einen schematischen Längsschnitt einer beispielhaften fünften Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ähnlich wie in Fig. 5, wobei im Kaltkopfbehälter eine Strömungsleitung an der Durchführung angebracht ist;

Fig. 7 zeigt einen schematischen Längsschnitt einer beispielhaften sechs ten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ähnlich wie in Fig. 4, wobei die Vorrichtung zusätzlich über einen Abfüh rungsanschluss verfügt, das vakuumisolierte Speichergefäß zusätz lich ein Speichergefäß-Heizelement beinhaltet und der Kaltkopf zu sätzlich eine Spülleitung und eine optische Kontrolleinrichtung ent hält;

Fig. 8a zeigt einen schematischen Längsschnitt eines beispielhaften alterna tiven Halsrohres des vakuumisolierten Speichergefäßes für die dritte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einem Kaltkopfbehälter wie in Fig. 4 dargestellt, wobei das Speichergefäß einen Hauptteil und einen ausfahrbaren Aufsatzteil mit einer flexib len Wandung umfasst, die durch einen geschlossenen Trennschieber voneinander getrennt sind; Fig. 8b zeigt einen schematischen Längsschnitt des Halsrohres von Fig. 8a mit in den Hauptteil eingefahrenem Aufsatzteil und geöffnetem Trennschieber;

Fig. 9 zeigt ein R&I-Fließschema einer beispielhaften Ausführungsform ei- nes erfindungsgemäßen Heliumrückgewinnungssystems, mit einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Reinigung und Verflüssigung von Helium sowie Anwendungsgeräten und einem Ballonspeicher. Die Fig. 1 zeigt einen schematischen Längsschnitt einer beispielhaften ersten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 100 zur Reinigung und Verflüssigung von Helium. Die Vorrichtung 100 umfasst ein vakuumisoliertes Speichergefäß 1 mit einem vertikal ausgerichteten Halsrohr 2 sowie einen Kalt kopf 3 und ein Adsorberbett 4.

Der Kaltkopf 3 besitzt einen raumtemperaturwarmen, hinteren Endabschnitt 5, der über einen Einspeisungsanschluss 6 für zu reinigendes Helium verfügt. Der raumtemperaturwarme Endabschnitt 5 ist über einen Regenerator 7 mit einer hintersten, im Betrieb wärmsten Kühlstufe 8 (die hier bei T _w von ca. 70 K betrie ben wird) verbunden, und die wärmste Kühlstufe 8 ist über einen weiteren Rege nerator 9 mit einer vordersten, im Betrieb kältesten Kühlstufe 10 verbunden. In der gezeigten Ausführungsform hat der Kaltkopf 3 also zwei Kühlstufen 8, 10. Über die kälteste Kühlstufe 10 kann eine Temperatur T _k zur Verfügung gestellt werden, mit der Helium verflüssigt werden kann. In der gezeigten Ausführungs form hat die kälteste Kaltstufe 10 eine Temperatur T _k von ca. 4,2 K, so dass Heli umgas unter Normaldruck (ca. 1 bar) verflüssigt werden kann. Der Endabschnitt 5, die Kühlstufe 8 und die Kühlstufe 10 sind entlang einer Erstreckungsrichtung ER des Kaltkopfs 3 aufeinander folgend angeordnet. In der gezeigten Ausfüh rungsform haben die beiden Regeneratoren 7, 9 einen gleichen radialen Durch messer, und die beiden Kühlstufen 8 und 10 haben einen gleichen radialen Durchmesser (jeweils quer zu ER). Alternativ können der Regenerator 7 und die wärmste Kühlstufe 8 so ausgebildet sein, dass sie jeweils größere Durchmesser aufweisen (z. B. doppelt so groß) als der weitere Regenerator 9 und die kälteste Kühlstufe 10 (nicht dargestellt). Der Kaltkopf 3 kann beispielsweise Teil eines Pulsrohr-Krykühlers oder eines Gifford-McMahon Kryokühlers sein. Der Kaltkopf 3 und das Adsorberbett 4 sind unmittelbar in das Halsrohr 2 des va kuumisolierten Speichergefäßes 1 versenkt. Durch den raumtemperaturwarmen, hinteren Endabschnitt 5 des Kaltkopfs 3, der auf dem Halsrohr 2 des vakuumiso lierten Speichergefäßes 1 aufliegt, wird ein Innenraum 11 des vakuumisolierten Speichergefäßes 1 verschlossen. In der gezeigten Ausführungsform begrenzt eine Innenwand 13 des Halsrohrs 2 lateral einen Gasraum 12, der entlang der Erstreckungsrichtung ER des Kaltkopfs 3 führt, wobei der Kaltkopf 3 mit den Kühlstufen 8, 10 und den Regeneratoren 7, 9 in den Gasraum 12 hineinragt und das Adsorberbett 4 ebenfalls im Gasraum 12 angeordnet ist. Der Gasraum 12 ist nach unten in Richtung des weiteren Innenraums 11 des vakuumisolierten Spei chergefäßes 1 offen.

Im vakuumisolierten Speichergefäß 1 kann verflüssigtes Helium gespeichert wer- den (gepunkteter Bereich). Das vakuumisolierte Speichergefäß 1 verfügt über eine äußere Wand la und eine innere Wand lb, zwischen denen zur thermischen Isolation ein Vakuum herrscht. Das vakuumisolierte Speichergefäß 1 kann einen Füllstandsensor für flüssiges Helium beinhalten (nicht dargestellt), mit dem sich beispielsweise der Zeitpunkt bestimmen lässt, an dem im vakuumisolierten Spei- chergefäß 1 der maximale Füllstand erreicht worden ist und das verflüssigte He lium genutzt werden kann. Aus Vereinfachungsgründen nicht gezeigt sind zudem Anschlüsse (Ports), um das verflüssigte Helium aus dem vakuumisolierten Spei chergefäß 1 zu entnehmen oder um gasförmiges Helium aus dem vakuumisolier ten Speichergefäß 1 abströmen zu lassen, falls sich in kurzer Zeit viel gasförmi- ges Helium bildet.

Das Adsorberbett 4 ist thermisch mit dem Kaltkopf 3 gekoppelt. Das Adsorber bett 4 umfasst in der gezeigten Ausführungsform drei einzelne Adsorber 4a. Die thermische Kopplung erfolgt hier vor allem über einen Festkörperkontakt mittels Wärmekontaktelementen; die Adsorber 4a sind dabei einzeln an den Kaltkopf 3 angebunden. Man beachte, dass eine thermische Kopplung auch ohne einen Festkörperkontakt (also über einen Spalt) über Konvektion und Wärmestrahlung erfolgen kann. In der hier gezeigten Ausführungsform liegen am Kaltkopf 3 drei Auskopplungsorte 14 (zwei davon am Regenerator 7, einer davon am Regenera- tor 9) und am Adsorberbett 4 drei Einkopplungorte 15 (jeweils einer je Adsorber 4a) vor, die jeweils über ein Wärmekontaktelement miteinander verbunden sind und somit den Kaltkopf 3 und das Adsorberbett 4 thermisch koppeln.

Die Auskopplungsorte 14 am Kaltkopf 3 verteilen sich über einen Auskopplungs- bereich 16, der sich über eine Länge LAK in der Erstreckungsrichtung ER des

Kaltkopfs 3 erstreckt. Die beiden bezüglich der Erstreckungsrichtung ER äußeren Auskopplungsorte 14a, 14b bilden die Endpunkte des Auskopplungsbereichs 16. Weiterhin verteilen sich die Einkopplungsorte 15 am Adsorberbett 4 über einen Einkopplungsbereich 17, der sich über eine Länge LEK in der Erstreckungsrich tung ER des Kaltkopfs 3 erstreckt. Die beiden bezüglich der Erstreckungsrichtung ER äußeren Einkopplungsorte 15a, 15b bilden die Endpunkte des Einkopplungs bereichs 17. In der gezeigten Ausführungsform sind die Längen LAK und LEK gleich.

Die Temperatur im Kaltkopf 3 nimmt in Erstreckungsrichtung ER vom raumtem peraturwarmen Endabschnitt 5 zur kältesten Kühlstufe 10 ab. Dadurch können, je nachdem wo sich die Auskopplungsorte 14 am Kaltkopf 3 befinden, jeweils un terschiedliche Temperaturen über die Einkopplungsorte 15 in das Adsorberbett 4 eingekoppelt werden. Das Adsorberbett 4 umfasst in der gezeigten Ausführungs form die drei einzelnen Adsorber 4a. Diese Adsorber 4a werden auf jeweils unter schiedliche Temperaturen gekühlt, wodurch Verunreinigungen verschiedener Ar ten eines durch den Gasraum 12 geleiteten, zu reinigenden Heliumgases bereits bei oder nahe bei ihrer Adsorptionstemperatur in den unterschiedlichen Adsor bern 4a ausgefroren werden können. Hierdurch kann die thermodynamische Effi zienz der Vorrichtung gesteigert werden, da die Adsorptionswärmen der Verun reinigungen bereits an oder nahe bei ihren Adsorptionstemperaturen vom Kalt kopf 3 aufgenommen werden können. Man beachte, dass die Adsorptionstempe raturen von Verunreinigungen meist nicht allzu weit von ihren jeweiligen Gefrier punkten entfernt sind. Meist liegen die Adsorptionstemperaturen von Verunreini gungen bis zu 20K über ihrem jeweiligen Gefrierpunkt. In der hier gezeigten Aus führungsform weist ein wärmster (oberster) Adsorber 4a' eine (näherungsweise einheitliche) Temperatur von ca. -20°C (253K) auf, bei der sich Wasser (Gefrier punkt 0°C/273K) recht effizient ausfrieren lässt. Der nächst kältere (mittlere) Adsorber 4a" weist hier eine (näherungsweise einheitliche) Temperatur von ca. - 150°C (123K) auf, bei der sich langkettige Kohlenwasserstoffe (Gefrierpunkte z.B. von Pentan bei -129°C/144K) effizient ausfrieren lassen. Der kälteste (un terste) Adsorber 4a'" hat hier eine (näherungsweise einheitliche) Temperatur von ca. -253°C (20K), bei der sich auch Sauerstoff (Gefrierpunkt -218°C/55K) und Stickstoff (-210°C/63K) ausfrieren lassen. Die Temperaturen der Adsorber 4a', 4a", 4a'" entsprechen im Wesentlichen den Temperaturen an den zugehöri gen Auskopplungsorten am Kaltkopf 3. Die Reinigung und Verflüssigung von Helium kann mit der hier gezeigten Vorrich tung 100 wie im Folgenden dargestellt ablaufen:

Über den Einspeisungsanschluss 6 wird ein Gasstrom zu reinigenden Heliums in den Gasraum 12 geleitet. Der Gasstrom fließt, geführt durch das Halsrohr 2, ent lang der Erstreckungsrichtung ER des gekühlten Kaltkopfs 3 vom raumtempera turwarmen Endabschnitt 5 entlang des Regenerators 7 zum wärmsten (oberen) Adsorber 4a'. Beim Durchfließen des wärmsten Adsorbers 4a', der eine Tempera tur von ca. -20°C (253K) aufweist, werden die ersten Verunreinigungen aus dem Gasstrom ausgefroren, welche eine Adsorptionstemperatur von -20°C oder höher aufweisen, wie z. B. Wasser. Der teilweise gereinigte Gasstrom fließt weiter ent lang des Regenerators 7 zum nächst kälteren (mittleren) Adsorber 4a". Beim Durchfließen des kälteren Adsorbers 4a", der eine Temperatur von ca. -150°C (123K) aufweist, werden die nächsten Verunreinigungen aus dem Gasstrom aus- gefroren, die eine Adsorptionstemperatur zwischen -20°C und -150°C aufweisen, wie z. B. langkettige Kohlenwasserstoffe. Der von diesen Verunreinigungen ge reinigte Gasstrom fließt weiter entlang des Regenerators 7 zur wärmsten Kühl stufe 8 und von dort entlang des Regenerators 9 zum kältesten (unteren) Adsor ber 4a'". Beim Durchfließen des kältesten Adsorbers 4a"', der eine Temperatur von ca. -253°C (20K) aufweist, werden weitere Verunreinigen aus dem Gasstrom ausgefroren, die eine Adsorptionstemperatur zwischen -150°C und -253°C auf weisen, wie z. B. Stickstoff oder Sauerstoff. Das solchermaßen gereinigte, gas förmige Helium fließt dann weiter entlang des Regenerators 9 zu kältesten Kühl stufe 10 und wird dort bei 4,2K verflüssigt. Das flüssige Helium kann dann in den unteren Teil des vakuumisolierten Speicherbehälters 1 abtropfen.

Im Rahmen der Erfindung ist an der Vorrichtung 100 eine thermische Kopplung vom Kaltkopf 3 zum Adsorberbett 4 über zumindest zwei Auskopplungsorte 14 und zwei Einkopplungsorte 15 eingerichtet. Hierdurch können zumindest zwei unter- schiedliche Temperaturen zur Kühlung des Adsorberbett 4 genutzt werden. In der gezeigten Ausführungsform von Fig. 1 sind drei Auskopplungsorte 14 und Einkopp lungsorte 15 eingerichtet; es können jedoch auch noch mehr Auskopplungsorte 14 und Einkopplungsorte 15 eingerichtet werden. Die Längen L _{AK und} L _EK betragen in der gezeigten Ausführungsform jeweils ca. 25 cm, wodurch deutlich unterschiedli che Temperaturen zur Kühlung des Adsorberbetts 4 bzw. zum Ausfrieren von Ver unreinigungen des zu reinigenden Heliumgases thermodynamisch effizient genutzt werden können. Eine Auskopplungs-Temperaturdifferenz am Kaltkopf 3, die sich aus der Differenz der Temperaturen des dem raumtemperaturwarmen Endab schnitts 5 am nächsten liegenden Auskopplungsort 14a, hier bei ca. -20°C (253K), und des der kältesten Kühlstufe 10 am nächsten liegenden Auskopplungsort 14b, hier bei ca. -253°C (20K), ergeben, beträgt ca. 233K. Die Temperatur des Ein kopplungsortes 15a entspricht im Wesentlichen der Temperatur des Auskopplung sortes 14a, und die Temperatur des Einkopplungsortes 15b entspricht im Wesent lichen der Temperatur des Auskopplungsortes 14b. Eine Einkopplungs-Tempera- turdifferenz am Abdsorberbett 4 beträgt dann ebenfalls ca. 233K.

Das Material für das Adsorberbett 4 sollte eine große, innere Oberfläche von we nigstens 300m ² /g, bevorzugt wenigstens 900 m ² /g, aufweisen. Die große Ober fläche ermöglicht eine größere Beladung, wodurch das Adsorberbett 4 seltener regeneriert werden muss; zudem können Verunreinigungen besonders einfach ausgefroren werden. Als Material für das Adsorberbett 4 kann beispielsweise eine Aktivkohleschüttung verwendet werden, die in einem Netz oder einem Käfig an geordnet ist.

In Fig. 2 ist ein schematischer Längsschnitt einer zweiten beispielhaften Ausfüh rungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung 100 ähnlich wie in Fig. 1 gezeigt; es werden nur die wesentlichen Unterschiede erläutert (gilt auch für die weiteren Ausführungsformen weiter unten). Die Vorrichtung 100 umfasst hier ein vakuum isoliertes Speichergefäß 1 mit einem Halsrohr 2, in welches der Kaltkopf 3 ein ragt; der Kaltkopf 3 und das Adsorberbett 4 sind unmittelbar im Halsrohr 2 ange ordnet.

Das Adsorberbett 4 ist in der gezeigten Ausführungsform aus zwei separaten Ad sorbern 4a aufgebaut. Die thermische Kopplung des Adsorberbetts 4 mit dem Kaltkopf 3 erfolgt in der hier gezeigten Ausführungsform vor allem über einen di rekten Festkörperkontakt der Adsorber 4a mit dem Kaltkopf 3. Der Kaltkopf 3 weist zwei Teilabschnitte 18 auf, und das Adsorberbett 4 weist zwei Teilab schnitte 19 auf, über welche in Erstreckungsrichtung ER des Kaltkopfs 3 eine kontinuierliche thermische Kopplung zwischen dem Kaltkopf 3 und dem Adsor berbett 4 eingerichtet ist.

Die Teilabschnitte 18, 19 erstrecken sich über einen Großteil (bevorzugt 80% o- der mehr) der Länge der Regeneratoren 7, 9 in Erstreckungsrichtung ER; in der gezeigten Ausführungsform erstrecken sich die Teilabschnitte 18, 19 über jeweils ca. 10 cm. Durch die kontinuierlich eingerichtete thermische Kopplung kann im jeweiligen Teilabschnitt 19 im Adsorberbett 4 ein Temperaturgradient eingerich tet werden, in welchem alle Temperaturen des überspannten Temperaturbereichs Vorkommen. Verunreinigungen eines zu reinigenden Gasstroms von Heliumgas können dadurch im Adsorberbett 4 bei der Adsorptionstemperatur ausfrieren, so weit die Adsorptionstemperatur im überspannten Temperaturbereich liegt. Die Kühlleistung des Kaltkopfs 3 wird auf diese Weise besonders effizient an das Ad sorberbett 4 weitergegeben.

In der gezeigten Ausführungsform weist das Adsorberbett 4 zwei entlang der Er streckungsrichtung ER hintereinander angeordnete, separate Adsorber 4a', 4a"' auf, denen die Teilabschnitte 19a,19b zugeordnet werden können. Am Kaltkopf 3 sind als Teilabschnitte 18 die Teilabschnitte 18a,18b in Erstreckungsrichtung ER hintereinander eingerichtet.

Der hintere Teilabschnitt 18a erstreckt sich dabei zwischen dem raumtempera turwarmen Endabschnitt 5 und der wärmsten Kühlstufe 8 und ist thermisch kon tinuierlich mit dem hinteren Teilabschnitt 19a des Adsorberbetts 4 gekoppelt. Die wärmste Kühlstufe 8 weist hier eine Temperatur T _w von ca. 70K auf. Der hintere Teilabschnitt 18a des Kaltkopfs 3 übergreift hier einen Temperaturbereich von ca. -10°C/263K bis ca. -173°C/100K. Eine Temperaturdifferenz TDHKK des hinte ren Teilabschnitts 18a des Kaltkopfs 3 in Erstreckungsrichtung ER des Kaltkopfs 3 beträgt dann 163K. Ein Temperaturbereich des hinteren Teilabschnitts 19a des Adsorberbetts 4 und eine Temperaturdifferenz TDHAD des hinteren Teilabschnitts 19a des Adsorberbetts 4 in Erstreckungsrichtung ER des Kaltkopfs 3 entsprechen im Wesentlichen dem Temperaturbereich und der Temperaturdifferenz TDHKK des hinteren Teilabschnitts 18a des Kaltkopfs 3.

Der weitere Teilabschnitt 18b erstreckt sich zwischen einer wärmeren Kühlstufe 8a, die hier der wärmsten Kühlstufe 8 entspricht, und einer kälteren Kühlstufe 10a, die hier der kältesten Kühlstufe 10 entspricht. Der weitere Teilabschnitt 18b ist thermisch kontinuierlich mit dem weiteren Teilabschnitt 19b des Adsorber betts 4 gekoppelt. Im hier gezeigten Fall ist der weitere Teilabschnitt 19b zu gleich der hinterste Teilabschnitt.

Die wärmere Kühlstufe 8a weist hier eine Temperatur T ₀ b von 70 K auf (man be achte, dass T _ob hier gleich T _w ist) und die kältere Kühlstufe 10a weist hier eine Temperatur T _un t von ca. 4K auf (man beachte, dass T _un t hier gleich T _k ist). Der weitere Teilabschnitt 18b des Kalktopfs 3 übergreift hier einen Temperaturbe reich von ca. -213°C/60K bis ca. -263°C/10K. Eine Temperaturdifferenz TDWKK des weiteren Teilabschnitts 18b des Kaltkopfs 3 in Erstreckungsrichtung ER des Kaltkopfs 3 beträgt dann 50K. Ein Temperaturbereich des weiteren Teilabschnitts 19b des Adsorberbetts 4 und eine Temperaturdifferenz TDWAD des weiteren Teil abschnitts 19b des Adsorberbetts 4 in Erstreckungsrichtung ER des Kaltkopfs 3 entsprechen im Wesentlichen dem Temperaturbereich und der Temperaturdiffe renz TDWKK des hinteren Teilabschnitts 18b des Kaltkopfs 3.

Die jeweiligen Teilabschnitte 18 des Kaltkopfs 3 in Erstreckungsrichtung ER des Kaltkopfs 3 weisen also Temperaturgradienten mit Temperaturdifferenzen TDTKK von 163 K bzw. 50 K auf, und die jeweiligen Teilabschnitte 19 des Adsorberbetts 4 in Erstreckungsrichtung ER des Kaltkopfs 3 weisen Temperaturgradienten mit Temperaturdifferenzen TDTAD von 163 K bzw. 50 K auf.

Die Reinigung und Verflüssigung von Helium kann mit der hier gezeigten Vorrich tung 100 wie im Folgenden dargestellt ablaufen:

Über den Einspeisungsanschluss 6 wird ein Gasstrom zu reinigenden Heliums in den Gasraum 12 geleitet. Der Gasstrom fließt, geführt durch das Halsrohr 2, ent- lang der Erstreckungsrichtung ER des gekühlten Kaltkopfs 3 vom raumtempera turwarmen Endabschnitt 5 entlang des Regenerators 7 zum wärmsten (oberen) Adsorber 4a'. Der Gasstrom durchfließt den wärmsten Adsorber 4a', der einen Temperaturbereich von ca. -10°C/263K bis ca. -173°C/100K übergreift. An ei nem oberen Teil des Adsorbers 4a' werden Verunreinigungen mit einer Adsorpti onstemperatur größer oder gleich -10°C ausgefroren, und weitere Verunreinigun gen mit einer Adsorptionstemperatur zwischen -10°C und -173°C werden an ei ner entsprechenden Stelle im Adsorber 4a' ausgefroren. Die im Gasstrom enthal tenen Verunreinigungen werden insoweit nahe ihrer Adsorptionstemperatur oder bei ihrer Adsorptionstemperatur ausgefroren. Beispielsweise wird Wasser bei -10°C/263K, und somit einer nur geringfügig niedrigeren Temperatur als für Wasser notwendig (vgl. Gefrierpunkt von Wasser 0°C/273K), ausgefroren. Pen tan (als Beispiel für einen langkettigen Kohlenwasserstoff) wird im Adsorber 4a' bei seiner Adsorptionstemperatur (vgl. Gefrierpunkt von Pentan -129°C/144K) ausgefroren, da die Adsorptionstemperatur im Temperaturbereich des Adsorbers 4a' abgedeckt wird. Der teilweise gereinigte Gasstrom fließt weiter entlang des Regenerators 7 zur wärmsten Kühlstufe 8 und von dort entlang des Regenerators

9 zum kältesten Adsorber 4a"', der einen Temperaturbereich von ca.

-213°C/60K bis ca. -263°C/10K übergreift. An einem oberen Teil des Adsorbers 4a'" werden Verunreinigungen mit einer Adsorptionstemperatur zwischen -173°C und -213°C ausgefroren, und weitere Verunreinigungen mit einer Adsorptions temperatur zwischen -213°C und -263°C werden an einer entsprechenden Stelle im Adsorber 4a' ausgefroren. Die verbliebenen, im Gasstrom enthaltenen Verun reinigungen werden also wieder nahe ihrer Adsorptionstemperatur oder bei ihrer Adsorptionstemperatur ausgefroren. Beispielsweise wird Stickstoff bei -213°C/60K, und somit einer nur leicht niedrigeren Temperatur als für Stickstoff notwendig (vgl. Gefrierpunkt Stickstoff -210°C/63K), ausgefroren. Sauerstoff wird in Adsorber 4a'" bei seiner Adsorptionstemperatur (vgl. Gefrierpunkt von Sauerstoff -218°C/55K) ausgefroren, da die Adsorptionstemperatur im Tempera turbereich des Adsorbers 4a'" abgedeckt wird. Das solchermaßen gereinigte, gasförmige Helium fließt dann entlang des Regenerators 9 zu kältesten Kühlstufe

10 und wird dort bei 4,2K verflüssigt. Das flüssige Helium kann dann in den un teren Teil des vakuumisolierten Speicherbehälters 1 abtropfen. Eine Auskopplungs-Temperaturdifferenz am Kaltkopf 3, die sich in der Fig. 2 aus der Differenz der Temperaturen des dem raumtemperaturwarmen Endabschnitts 5 am nächsten liegenden Auskopplungsort 14a, hier bei ca. -10°C (263K), und des der kältesten Kühlstufe 10 am nächsten liegenden Auskopplungsort 14b, hier bei ca. -263°C (10K), ergeben, beträgt ca. 253K. Die Temperatur des Einkopp lungsortes 15a entspricht im Wesentlichen der Temperatur des Auskopplungsor tes 14a, und die Temperatur des Einkopplungsortes 15b entspricht im Wesentli chen der Temperatur des Auskopplungsortes 14b. Eine Einkopplungs-Tempera- turdifferenz am Abdsorberbett 4 beträgt dann ebenfalls ca. 253K.

Fig. 3 zeigt einen schematischen Querschnitt durch das Halsrohr 2 von Fig. 2 in der dortigen Ebene A-A. Das doppelwandige, vakuumisolierte Halsrohr 2 ist kreisförmig ausgebildet und umgreift das Adsorberbett 4 und den Kaltkopf 3. Die Erstreckungsrichtung ER des Kaltkopfs 3 zeigt in die Zeichenebene hinein.

Der Adsorber 4a des Adsorberbetts 4 steht in direktem Kontakt zur Innenwand 13 des Halsrohres 2 und zum Kaltkopf 3, hier im Bereich des Regenerators 9, und nimmt einen lokalen Anteil ANT des für das Helium zur Verfügung stehenden Querschnitts des Gasraums 12 (senkrecht zur Erstreckungsrichtung ER des Kalt kopfs 3) von hier 100% ein. Der von der Innenwand 13 des Halsrohrs 2 be grenzte Querschnitt des Gasraums 12, soweit er nicht durch den Kaltkopf 3 be legt ist, wird komplett vom Adsorberbett 4 ausgefüllt, insbesondere bleibt weder an der Innenwand 13 noch an der (lokalen) Außenwand des Kaltkopfs 3 ein merklicher Spalt, durch den Heliumgas entlang der Erstreckungsrichtung ER ohne Reinigung durch das Adsorberbett 4 propagieren könnte. Dadurch wird der Gasstrom von zu reinigendem Heliumgas komplett der Reinigung durch das Ad sorberbett 4 unterzogen. In Fig. 4 ist ein schematischer Längsschnitt einer beispielhaften dritten Ausfüh rungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 100 gezeigt. Der Kaltkopf 3 und das Adsorberbett 4 sind ähnlich aufgebaut wie in Fig. 2 und sind in einem Kalt kopfbehälter 20 angeordnet. Der Kaltkopf 3 und das Adsorberbett 4 ragen in den Kaltkopfbehälter 20 hinein. Der Kaltkopfbehälter 20 ragt wiederum in das Halsrohr 2 des vakuumisolierten Speichergefäßes 1 hinein. Durch den Kaltkopfbehälter 20 und den Kaltkopf 3 wird der Gasraum 12 begrenzt, in welchem das zu reinigende Heliumgas geführt wird. Der Kaltkopfbehälter 20 begrenzt den Gasraum 12 in der hier gezeigten Ausfüh rungsform zum Innenraum 11 des vakuumisolierten Speichergefäßes 1. Der Gas raum 12 und der Innenraum 11 sind hier lediglich über eine Ablauf-Kapillare 21 verbunden, über die an der untersten Kühlstufe 10 am Kaltkopf 3 verflüssigtes Helium in das vakuumisolierte Speichergefäß 1 abläuft. Die hier vertikal ausge formte Ablauf-Kapillare 21 ist in einer unterseitigen Gefäßwand 22 des Kaltkopf behälters 20 ausgebildet und mündet an einem hier eben horizontal ausgebilde ten, inneren Boden 23 des Kaltkopfbehälters 20 in den Gasraum 12. Falls alter nativ der innere Boden 23 nicht eben horizontal ausgebildet ist, mündet die Ab lauf-Kapillare 21 bevorzugt am untersten Punkt des Gasraums 12 des Kaltkopf behälters 20, um eine Ansammlung von flüssigem Helium im Kaltkopfbehälter 20 zu vermeiden (nicht näher dargestellt). In der gezeigten Ausführungsform ist die Ablauf-Kapillare 21 gerade ausgebildet und vertikal ausgerichtet. Wird während einer Phase der Regeneration des Kaltkopfs 3 und des Adsorber betts 4 der Kaltkopf 3 erwärmt, so begrenzt der Kaltkopfbehälter 20 den Wärme eintrag in das vakuumisolierte Speichergefäß 1. Der Kaltkopfbehälter 20 ist in der hier gezeigten Ausführungsform 100 vakuumisoliert ausgebildet, wodurch eine besonders gute thermische Isolation des Gasraums 12 des Kaltkopfbehälters 20 vom Innenraum 11 des vakuumisolierten Speichergefäßes 1 erreicht wird.

Entsprechend verfügt der Kaltkopfbehälter 20 über eine Außenwand 29 und eine Innenwand 29a, zwischen denen ein Vakuum eingerichtet ist. Alternativ ist es möglich, dass der Kaltkopfbehälter 20 einwandig ohne eine Vakuumisolation aus gebildet ist, womit der Platzbedarf des Kaltkopfbehälters 20 reduziert werden kann (hier nicht gezeigt). Alternativ kann der Kaltkopfbehälter 20 auch auf an dere Weise isoliert werden, z.B. mit geschäumten Materialien, die Konvektion be grenzen. Durch die Ablauf-Kapillare 21 kommt es allenfalls zu einem geringen Wärmeein trag vom Kaltkopfbehälter 20 in das vakuumisolierte Speichergefäß 1 während einer Phase der Regeneration.

Das Adsorberbett 4 verfügt über zwei Adsorber-Heizelemente 24, die genutzt werden können, um bei der Regeneration des Adsorberbetts 4 die Adsorber 4a zu beheizen und so die Verunreinigungen vom Adsorberbett 4 effizient zu desorbie- ren.

Die Fig. 5 zeigt einen schematischen Längsschnitt einer beispielhaften vierten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 100 ähnlich wie in Fig. 4.

Der Gasraum 12 und der Innenraum 11 sind hier über die Ablauf-Kapillare 21 verbunden, über die am Kaltkopf 3 verflüssigtes Helium in das vakuumisolierte Speichergefäß 1 abläuft. Weiterhin sind der Gasraum 12 und der Innenraum 11 über eine Rückführungs-Kapillare 25 verbunden, durch die verdampftes Helium aus dem vakuumisolierten Speichergefäß 1 in den Kaltkopfbehälter 20 zum Kalt kopf 3 nahe der kältesten Kaltstufe 10 geleitet wird, um dort sogleich wieder ver flüssigt zu werden.

Die hier spiralförmig ausgeformte Ablauf-Kapillare 21 ist in der unterseitigen Ge fäßwand 22 des Kaltkopfbehälters 20 ausgebildet und mündet an dem inneren Boden 23 des Kaltkopfbehälters 20 in den Gasraum 12. Die ebenfalls spiralförmig ausgebildete Rückführungs-Kapillare 25 ist in der unterseitigen Gefäßwand 22 des Kaltkopfbehälters 20 ausgebildet und mündet oberhalb des inneren Bodens 23 des Kaltkopfbehälters 20 in den Gasraum 12 nahe der kältesten Kühlstufe 10 des Kaltkopfs 3.

Durch die spiralförmige Ausführung von Ablauf-Kapillare 21 und Rückführungs- Kapillare 25 kann die Länge der Kapillaren 21, 25 (entlang von deren gewunde nen Verläufen) gegenüber einer Wandstärke W der unterseitigen Gefäßwand 22 verlängert werden. In der gezeigten Ausführungsform beträgt eine Länge LAIOP der Ablauf-Kapillare 21 in der unterseitigen Gefäßwand 22 ungefähr 12 cm und eine Länge L _RK3P der Rückführungs-Kapillare 25 in der unterseitigen Gefäßwand 22 auch ungefähr 12 cm. Die unterseitige Gefäßwand 22 hat hier eine Wand stärke W von ca. 6 cm. Man beachte, dass L _AKaP > 2*W und L _RKaP >2*W bevor zugt sind. Durch die spiralförmig ausgebildete Ablauf-Kapillare 21 und die spiral- förmig ausgebildete Rückführungs-Kapillare 25 wird der Wärmeeintrag vom Kalt kopfbehälter 20 auf das vakuumisolierte Speichergefäß 1 durch den längeren Weg, insbesondere in einer Phase der Regeneration des Kaltkopfs 3 und des Ad sorberbetts 4, gering gehalten und die thermische Isolation verbessert. Um den Wärmeeintrag durch einen konvektiven Wärmetransport über die Kapil laren 21, 25 während einer Phase der Regeneration noch weiter zu verringern, kann die Ablauf-Kapillare 21 mit einem verschließbaren Ventil 26 verschlossen werden. Weiterhin kann die Rückführungs-Kapillare 25 mit einem verschließba ren Ventil 27 verschlossen werden.

Zwischen dem Kaltkopfbehälter 20 und dem Halsrohr 2 des vakuumisolierten Speichergefäßes 1 ist ein ringförmiger Spaltraum 28 eingerichtet. Der ringför mige Spaltraum 28 wird dabei durch die Innenwand 13 des Halsrohres 2 des va kuumisolierten Speichergefäßes 1 und der Außenwand 29 des Kaltkopfbehälters 20 begrenzt. Weiterhin verfügt der Kaltkopfbehälter 20 über mehrere Durchfüh rungen 30; diese Durchführungen 30 befinden sich nahe des raumtemperatur warmen Endabschnitts 5 an einem oberen Ende (Endbereich) 31 des Kaltkopfbe hälters 20, und führen von einem oberen Bereich 32 des ringförmigen Spal traums 28 in einen oberen Bereich 33 des Kaltkopfbehälters 20. Damit kann gas- förmiges Helium entlang des ringförmigen Spaltraums 28 an der Innenwand 13 des Halsrohrs 2 aufsteigen und dadurch das Halsrohr 2 kühlen, und sodann in den Kaltkopfbehälter 20 zur Verflüssigung geleitet werden, entsprechend einer ringförmigen Konvektion. Die mehreren Durchführungen 30 sind in Umfangsrich tung verteilt angeordnet; in der Fig. 5 sind in der Schnittdarstellung zwei der Durchführungen 30 sichtbar.

Der Einspeisungsanschluss 6 für neu zugeführtes, zu reinigendes Heliumgas ist mittig im raumtemperaturwarmen Endabschnitt 5 des Kaltkopfs 3 angebracht. Das Adsorberbett 4 ist so ausgebildet, dass es einen direkten Kontakt zu einer inneren Wand 5a des raumtemperaturseitigen Endabschnitts 5 aufweist, wobei ein Einspeisungsraum 6a nach dem Einspeisungsanschluss 6 im Kaltkopf 20 ein gerichtet ist, welcher kein Adsorberbett 4 beinhaltet. Der Einspeisungsraum 6a erstreckt sich hier ca. 1 cm in Erstreckungsrichtung ER des Kaltkopfs 3 und hat eine kreisförmige Fläche mit einem Durchmesser, der etwa 1/3 eines Gesamt durchmessers des Adsorberbetts 4 im Kaltkopfbehälter 20 entspricht. Ein „Vor beifließen" des ungereinigten Heliumgases am Adsorberbett 4 (also ein Umgehen des Adsorberbetts) in Richtung der Durchführung 30 oder gar ein direktes Ein- strömen von neu zugeflossenem, zu reinigendem Heliumgas in den Spaltraum 28 kann so vermieden werden. Außerdem wird hierdurch erreicht, dass sich der Gasstrom zu reinigenden Heliums gleichmäßig im Einspeisungsraum 6a verteilen kann und entsprechend gleichmäßig durch das Adsorberbett 4 geleitet werden kann.

Im oberen Bereich 33 des Kaltkopfbehälters 20 ist nach der Durchführung 30 ein ringförmiger Durchführungsraum 33a ausgebildet. Der Durchführungsraum 33a wird begrenzt durch das Adsorberbett 4, welches in direktem Kontakt zur inneren Wand 5a und zu einer Innenwand 29a des Kaltkopfbehälters 20 steht. Der Durchführungsraum 33a erstreckt sich hier ca. 1 cm in Erstreckungsrichtung ER des Kaltkopfs 3 und ca. 1 cm quer zur Erstreckungsrichtung in den Gasraum 12 hinein. Im Durchführungsraum 33a kann sich das reine, aus dem ringförmigen Spaltraum 28 zugeführte Helium verteilen und über den Umfang gleichmäßig in das Adsorberbett 4 geführt werden. Das Adsorberbett 4 verhindert, dass das reine Heliumgas aus dem Spaltraum 28 direkt in den Einspeisungsraum 6a flie ßen kann.

Fig. 6 zeigt einen schematischen Längsschnitt einer beispielhaften fünften Aus führungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 100 ähnlich wie in Fig. 5.

Der Kaltkopfbehälter 20 umfasst hier eine Strömungsleitung 34 für verdampftes Helium aus dem ringförmigen Spaltraum 28. Ein erster (oberster) Teil der Strö mungsleitung 34 bildet die Durchführung 30 aus, die vom Spaltraum 28 in den Kaltkopfbehälter 20 führt. Eine hier nicht näher gezeigte gelochte Ringleitung kann im Spaltraum 28 angeordnet werden, um Helium gleichmäßig entlang des Umfangs des Spaltraums 28 aufzunehmen und in die Strömungsleitung 34 zu führen. Die Strömungsleitung 34 führt im Kaltkopfbehälter 20 von der Durchfüh- rung 30 entlang des Kaltkopfs 3 zur kältesten Kühlstufe 10, und mündet in einem unteren Bereich 35 des Gasraums 12 des Kaltkopfbehälters 20. Durch die In tegration der Durchführung 30 in die vom übrigen Gasraum 12 abgetrennte Strö mungsleitung 34 wird verhindert, dass ein neu von außen zugeführter Gasstrom von zu reinigendem Helium durch die Durchführung 30 in den ringförmigen Spaltraum 28 fließen kann; ein oberster Teil des Gasraums 12 kann als Freiraum 6b unter dem Einspeisungsanschluss 6 sich über den vollen inneren Querschnitt des Kaltkopfbehälters 20 erstrecken, wodurch die Einleitung des zu reinigenden Heliumgases in das Adsorberbett gleichmäßig erfolgen kann. Umgekehrt braucht das Helium aus dem ringförmigen Spaltraum 28 nicht über die Adsorber 4a gelei- tet zu werden, da es sich hierbei bereits um hochreines Helium handelt, welches an der kältesten Kühlstufe 10 des Kaltkopfs 3 direkt verflüssigt werden kann.

Die Strömungsleitung 34 ist, um eine gute thermische Effizienz bei der Rückfüh rung des reinen Heliums aus dem ringförmigen Spaltraum 28 zu erzielen, mit Wärmetauschern 36 ausgestattet, die thermisch an den Kaltkopf 3 gekoppelt sind. Das reine Helium zirkuliert von natürlicher Konvektion getrieben durch den ringförmigen Spaltraum 28 und die Strömungsleitung 34. Während der Regene ration der Adsorber 4a und des Kaltkopfs 3 verschwindet der Temperaturgradi ent, der die Konvektion antreibt, wodurch die Zirkulation automatisch stoppt. Al- ternativ ist es auch möglich, mehrere Strömungsleitungen 34 einzurichten (hier nicht gezeigt).

In Fig. 7 ist ein schematischer Längsschnitt einer beispielhaften sechsten Aus führungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 100 ähnlich wie in Fig. 4 dargestellt. Zusätzlich zum Einspeisungsanschluss 6 für einen Gasstrom zu reini genden Heliums umfasst die Vorrichtung 100 einen Abführanschluss 37 für Ver unreinigungen. Im Kaltkopfbehälter 20 sind eine Spülleitung 38 für ein Spülgas und zwei optische Kontrolleinrichtung 39 ausgebildet. Das vakuumisolierte Spei chergefäß 1 umfasst zudem ein Speichergefäß-Heizelement 40.

Über den Abführanschluss 37, der am raumtemperaturwarmen Endabschnitt 5 des Kaltkopfs 3 ausgebildet ist, werden in einer Phase der Regeneration der Ad sorber 4a und des Kaltkopfs 3 die ausgefrorenen Verunreinigungen abgeführt. Dazu wird an einer Einspeisungsleitung 41 ein Druckregelventil 42 geschlossen, damit kein Gasstrom zu reinigenden Heliums mehr durch ein Ventil 43 zum Ein speisungsanschluss 6 fließt und in den Kaltkopfbehälter 20 geleitet wird. Zusätz lich wird die Ablauf-Kapillare 21 durch das verschließbare Ventil 26 geschlossen. Der Kaltkopf 3 wird nicht mehr aktiv gekühlt, damit er sich erwärmen kann. Für eine schnellere Erwärmung werden die Adsorber 4a hier durch Adsorber-Heizele mente 24 erwärmt. Typischerweise erfolgt die Erwärmung des Kaltkopfs 3 und des Adsorberbetts auf Raumtemperatur. An einer Abführleitung 44, die mit dem Abführanschluss 37 verbunden ist, wird ein Sperrventil 45 geöffnet, um die Ver unreinigen über die Abführleitung 44 zu entfernen. Durch eine Absaugpumpe 46 (beispielsweise eine Ölschieber- oder Membranpumpe), werden die Verunreini gungen effizient abgesaugt. Mittels der Spülleitung 38, die im Kaltkopfbehälter 20 vom raumtemperaturwarmen Endabschnitt 5 bis zur kältesten Kühlstufe 10 des Kaltkopfs 3 führt und in den unteren Bereich 35 des Gasraums 12 des Kalt kopfbehälters 20 mündet, wird ein Spülgas (z. B. Helium, Argon oder Stickstoff) in den Gasraum 12 geleitet, so dass die Verunreinigungen noch effizienter ent fernt und herausgespült werden.

Zur Überwachung der Kühlstufen 8, 10 werden hier zwei optische Kontrolleinrich tungen 39 (beispielsweise umfassend je eine Glasfaserleitung sowie einen opti schen Sensor oder eine Kamera, letzteres nicht dargestellt) verwendet. Die opti schen Kontrolleinrichtungen 39 sind dabei direkt auf die Kühlstufen 8, 10 des Kaltkopfs 3 gerichtet. Über die optischen Kontrolleinrichtungen 39 wird der Bela dungszustand der Kühlstufen 8, 10 beobachtet und damit der Zeitpunkt der Re generation des Kaltkopfs 3 bestimmt. Alternativ oder zusätzlich kann ein Überwachungsgerät (nicht näher dargestellt) genutzt werden, um den Zeitpunkt der Regeneration der Adsorber 4a zu bestim men. Das Überwachungsgerät kann dabei bei Überschreiten eines festgelegten Grenzwerts entweder ein Signal erzeugen um anzuzeigen, dass eine Regenera- tion der Adsorber 4a nötig ist oder so eingestellt sein, dass es bei Überschreiten des festgelegten Grenzwerts die Regeneration automatisch in die Wege leitet. Ist beispielsweise am Einspeisungsanschluss 6 ein definierter Heliumzufluss einge richtet, kann eine Druckdifferenz zwischen dem vakuumisolierten Speichergefäß 1 und dem Einspeisungsanschluss 6 überwacht werden, und ab einem bestimm- ten Druckdifferenz-Grenzwert zeigt das Überwachungsgerät den Regenerations bedarf an. Sind in einem anderen Beispiel am Einspeisungsanschluss 6 und im vakuumisolierten Speichergefäß 1 hingegen definierte (meist feste) Drücke ein gerichtet, kann eine Flussrate von am Einspeisungsanschluss 6 zugeführtem He lium überwacht werden, und ab einem bestimmten Flussraten-Grenzwert zeigt das Überwachungsgerät den Regenerationsbedarf an.

Weiterhin ist es möglich, mehrere Temperatursensoren (nicht näher dargestellt) in der Vorrichtung 100 zu verbauen, um den Zeitpunkt der Regeneration der Ad sorber 4a zu bestimmen oder eine mögliche Fehlfunktion zu entdecken. Diese Temperatursensoren können insbesondere im vakuumisolierten Speichergefäß 1, am Kaltkopf 3 (z. B. an den Kühlstufen 8, 10) und an den Adsorbern 4a ange bracht werden.

Zur weiteren Überwachung der Vorrichtung 100 kann das vakuumisolierte Spei- chergefäß 1 mit einem Drucksensor (nicht näher dargestellt) versehen sein, der mit einem Steuergerät verbunden ist (ebenfalls nicht gezeigt). Stellt das Steur- gerät beispielsweise fest, dass der Druck im vakuumisolierten Speichergefäß 1 einen unter Grenzdruck P _un tgr unterschreitet oder einen oberen Grenzdruck P ₀ bgr überschreitet, kann das Steuergerät dann eine Heizleistung am Speichergefäß- Heizelement 40, welches wie in der hier gezeigten Abbildung im vakuumisolierten Speichergefäß 1 ausgebildet ist, oder eine Kühlleistung am Kaltkopf 3 regeln und so den Druck im vakuumisolierten Speichergefäß 1 verändern. Die Fig. 8a zeigt einen schematischen Längsschnitt eines beispielhaften Halsroh res 2 des vakuumisolierten Speichergefäßes 1 für die dritte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einem Kaltkopfbehälter 20 ähnlich wie in Fig. 4, wobei das vakuumisolierten Speichergefäß einen Aufsatzteil 47 mit einer fle- xiblen Wandung 48 und einen vakuumisolierten Hauptteil 49 umfasst. In Fig. 8a ist ein ausgefahrener Zustand gezeigt.

Zwischen Hauptteil 49 und Aufsatzteil 47 ist ein Trennschieber 50 eingerichtet.

In dem hier gezeigten Zustand ist der Trennschieber 50 geschlossen, wodurch der Hauptteil 49 gasdicht vom Aufsatzteil 47 getrennt ist.

Im Aufsatzteil 47 ist im gezeigten Zustand eine Baugruppe 51 angeordnet, die den Kaltkopf 3 (soweit er in das Halsrohr 2 einragt), das Adsorberbett 4 und in der gezeigten Ausführungsform auch den Kaltkopfbehälter 20 umfasst. Das Auf- Satzteil 47 ist mit der flexiblen Wandung 48, hier einem (beispielsweise metalli schem) Faltenbalg 48a, ausgebildet. Die Baugruppe 51 ist gegenüber dem Hauptteil 49 verfahrbar und befindet sich hier in einem komplett ausgefahrenen Zustand, wodurch sich Baugruppe 51 nur im Aufsatzteil 47 befindet. In diesem komplett ausgefahrenen Zustand kann der Trennschieber 50 betätigt und bei geschlossenem Trennschieber 50 der Aufsatzteil 47 mit dem Kaltkopfbe hälter 20 vom Hauptteil 49 getrennt werden. Hierdurch wird es beispielsweise einfach möglich, den Hauptteil 49 des vakuumisolierten Speichergefäßes in die Nähe eines NMR-Magneten zu verbringen und das flüssige Helium im Hauptteil 49 zu transferieren. Der Aufsatzteil 47 mit der Baugruppe 51 kann dann separat aufbewahrt werden, und braucht insbesondere nicht verbracht zu werden. Hier durch kann zum einen erreicht werden, dass die Leitungen und elektrischen Ver bindungen zur Baugruppe 51 nicht getrennt werden müssen; zum anderen muss nicht darauf geachtet werden, dass die unterschiedlichen Bauteile in der Bau- gruppe 51 kompatibel mit großen magnetischen Streufeldern (wie etwa in der Nähe von NMR-Magneten) sind. Fig. 8b zeigt einen schematischen Längsschnitt des beispielhaften Halsrohres 2 von Fig. 8a mit einer in den Hauptteil 49 eingefahrenen Baugruppe 51 und zu sammengefaltetem Aufsatzteil 47 bei geöffnetem Trennschieber 50. Die Innenräume von Hauptteil 49 und Aufsatzteil 47 sind zueinander offen und die Baugruppe 51 ragt in den Hauptteil 49 hinein. Durch das Versenken der Bau gruppe 51 in den Hauptteil 49 wird eine gute thermodynamische Effizienz der Vorrichtung erreicht, da der Abstand von Baugruppe 51 zum vakuumisolierten Hauptteil 49 des Speichergefäßes und dem dort gelagerten flüssigen Helium ver- ringer† wird.

In Fig. 9 ist ein Rohrleitungs- und Instrumenten( = R8d)-Fließschema einer bei spielhaften Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Heliumrückgewinnungs systems 52 gezeigt.

Das Heliumrückgewinnungssystem 52 umfasst dabei die erfindungsgemäße Vor richtung 100, drei heliumgekühlte Anwendungsgeräte 53, einen Ballonspeicher 54 für gasförmiges Helium, einen Kompressor 55, in welchem das gasförmige Helium aus dem Ballonspeicher 54 komprimiert wird, und einen Druckspeicher 56 für das komprimierte gasförmige Helium aus dem Kompressor 55. Der Ein speisungsanschluss 6 der Vorrichtung 100 ist mit seiner Einspeisungsleitung 41 über eine Verzweigung 57 mit einer ersten Zuleitung 58 für gasförmiges Helium und einer zweiten Zuleitung 59 für gasförmiges Helium verbunden. Die erste Zuleitung 58 beinhaltet eine Absperrarmatur 60 des Ballonspeichers 54, ein Ventil 61, welches bei einem Druck P _zi öffnet, den Ballonspeicher 54, den Kompressor 55, den Druckspeicher 56, das Druckregelventil 42 und das Ventil 43, das hier als Rückschlagventil ausgebildet ist. Die zweite Zuleitung 59 beinhal tet eine Absperrarmatur 62 und ein Rückschlagventil 63, welches bei einem Druck P _z 2 öffnet.

Je nach Betriebsmodus der heliumgekühlten Anwendungsgeräte 53 ist es vorteil haft, das verdampfte Helium entweder über die erste Zuleitung 58 oder die zweite Zuleitung 59 zur Vorrichtung 100 zu führen. Wird flüssiges Helium in die heliumgekühlten Anwendungsgeräte 53 nachgefüllt, kann schnell eine große Menge gasförmigen Heliums entstehen. Wird diese große Menge gasförmigen He liums direkt in die erfindungsgemäße Vorrichtung 100 geleitet, könnte dies schnell zu einer Überlastung führen. Um dies zu vermeiden, wird die Absperrar matur 62 geschlossen und das gasförmige Helium über die erste Zuleitung 58 in den Ballonspeicher 54 geführt und dort gesammelt. Das im Ballonspeicher 54 ge sammelte gasförmige Helium wird mit dem Kompressor 55 nach und nach kom primiert und im Druckspeicher 56 gespeichert. Über das Druckregelventil 42 wird dann kontrolliert gasförmiges Helium in die erfindungsgemäße Vorrichtung 100 geleitet. Sollte von den heliumgekühlten Anwendungsgeräten 53 gasförmiges Helium mit hohem Druck kommen, das den Ballonspeicher 54 beschädigen könnte, öffnet ein Überdruckventil 64, wenn ein bestimmter Druck P _uber über schritten wird. Dabei gilt P _uber > P _zi , da ansonsten das gasförmige Helium nur über das Überdruckventil 64 entweichen würde und nicht in den Ballonspeicher fließen würde.

Im Normalbetrieb der heliumgekühlten Anwendungsgeräte 53 entstehen in der Regel nur geringe Mengen gasförmigen Heliums, die meist sehr rein sind. Anstatt diese geringen Mengen gasförmigen Heliums durch den Ballonspeicher 54 zu füh ren wird in diesem Fall das gasförmige Helium über die zweite Zuleitung 59 di rekt der erfindungsgemäßen Vorrichtung 100 zugeführt. Hierzu wird die Absper rarmatur 62 geöffnet, wodurch das gasförmige Helium Rückschlagventil 63 durchfließt. Damit gasförmiges Helium bei geringem Druck (kleiner P _zi ) durch Rückschlagventil 63 in Richtung der Vorrichtung 100 und nicht durch das Ventil 61 und damit erst in den Ballonspeicher 54 fließt, gilt P _zi > P _Z 2. Durch die Umge hung des Ballonspeichers 54 kann eine Verunreinigung des im Normalbetrieb aus den Anwendungsgeräten 53 kommenden, sehr reinen Heliums im Ballonspeicher 54 vermieden werden; in den Ballonspeicher 54 kann Umgebungsluft und vor al- lern Feuchtigkeit in gewissem Umfang eindiffundieren.

Wenn die erfindungsgemäße Vorrichtung 100 regeneriert wird, werden das Druckregelventil 42 und die Absperrarmatur 62 geschlossen, um den Fluss des Heliumgases zu unterbinden; etwaiges neu anfallendes Heliumgas aus den An wendungsgeräten 53 kann einstweilen im Ballonspeicher 54 gesammelt werden. Es wird dann das Sperrventil 45 geöffnet und die Verunreinigungen über die Ab saugpumpe 46 aus der erfindungsgemäßen Vorrichtung 100 abgesaugt. Bei einer allgemeinen Wartung des Heliumrückgewinnungssystems 52 werden, falls nötig, die Absperrarmatur 62 und die Absperrarmatur 60 des Ballonspeichers 54 ge schlossen.

Zusammenfassend stellt die Erfindung eine Vorrichtung bereit, in welcher mit nur einem Kaltkopf eine kombinierte Reinigung und Verflüssigung erfolgen kann.

Dazu werden der Kaltkopf und ein Adsorberbett in einem Gasraum angeordnet, der typischerweise durch ein Halsrohr eines vakuumisolierten Sammelgefäßes o- der einen eigenen Kaltkopfbehälter begrenzt wird. Durch die Einrichtung von un terschiedlichen Temperaturen oder bevorzugt einem Temperaturgradienten im Adsorberbett durch thermische Kopplung mit dem Kaltkopf über mehrere Aus- und Einkopplungsorte, bevorzugt kontinuierlich aufeinander folgende Aus- und Einkopplungsorte, können Verunreinigungen bei vergleichsweise hohen Tempera turen, und oft bei der höchstmöglichen Temperatur ausgefroren werden, was thermodynamisch hoch effizient ist.

Bezuaszeichenliste

1 vakuumisoliertes Speichergefäß la äußere Wand (des vakuumisolierten Speichergefäßes) lb innere Wand (des vakuumisolierten Speichergefäßes) 2 Halsrohr

3 Kaltkopf

4 Adsorberbett 4a Adsorber 4a' wärmster (oberster) Adsorber 4a" kälterer (mittlerer) Adsorber 4a'" kältester (unterster) Adsorber

5 raumtemperaturwarmer (hinterer) Endabschnitt

5a innere Wand 6 Einspeisungsanschluss

6a Einspeisungsraum

6b Freiraum

7 Regenerator

8 wärmste Kühlstufe 8a wärmere Kühlstufe

9 Regenerator

10 kälteste Kühlstufe 10a kältere Kühlstufe 11 Innenraum 12 Gasraum

13 Innenwand (des vakuumisolierten Speichergefäßes)

14 Auskopplungsorte 14a hinterster Auskopplungsort 14b vorderster Auskopplungsort 15 Einkopplungsorte

15a hinterster Einkopplungsort 15b vorderster Einkopplungsort 16 Auskopplungsbereich 17 Einkopplungsbereich

18 Teilabschnitt (des Kaltkopfs) 18a hinterer Teilabschnitt 18b weiterer Teilabschnitt 19 Teilabschnitt (des Adsorberbetts) 19a hinterer Teilabschnitt 19b weiterer Teilabschnitt 20 Kaltkopfbehälter 21 Ablauf-Kapillare 22 unterseitige Gefäßwand (des Kaltkopfbehälters)

23 innerer Boden (des Kaltkopfbehälters)

24 Adsorber- Heizelement

25 Rückführungs- Kapillare

26 verschließbares Ventil (der Ablauf-Kapillare) 27 verschließbares Ventil (der Rückführungs-Kapillare)

28 ringförmiger Spaltraum

29 Außenwand (des Kaltkopfbehälters) 29a Innenwand (des Kaltkopfbehälters)

30 Durchführung 31 oberes Ende (des Kaltkopfbehälters)

32 oberer Bereich (des ringförmigen Spaltraums)

33 oberer Bereich (des Kaltkopfbehälters) 33a Durchführungsraum

34 Strömungsleitung 35 unterer Bereich (des Kaltkopfbehälters)

36 Wärmetauscher

37 Abführanschluss

38 Spülleitung

39 optische Kontrolleinrichtung 40 Speichergefäß- Heizelement

41 Einspeisungsleitung

42 Druckregelventil

43 Ventil (in Richtung Einspeisungsanschluss) 44 Abführleitung

45 Sperrventil

46 Absaugpumpe

47 Aufsatzteil 48 flexible Wandung

48a Faltenbalg

49 Hauptteil

50 Trennschieber

51 Baugruppe 52 Helium rückgewinnungssystem

53 heliumgekühltes Anwendungsgerät

54 Ballonspeicher

55 Kompressor

56 Druckspeicher 57 Verzweigung

58 erste Zuleitung

59 zweite Zuleitung

60 Absperrarmatur (des Ballonspeichers) 61 Ventil (mit Öffnungsdruck P _zi ) 62 Absperrarmatur

63 Rückschlagventil (mit Öffnungsdruck P _Z 2)

64 Überdruckventil (mit Öffnungsdruck P _ü ber) 100 erfindungsgemäße Vorrichtung ER Erstreckungsrichtung LAK Länge in Erstreckungsrichtung des Auskopplungsbereichs LEK Länge in Erstreckungsrichtung des Einkopplungsbereichs W Wandstärke (der unterseitigen Gefäßwand) Referenzliste

[Dl] JP Hll-118349 A

[D2] JP 4 570 546 B2 [D3] WO 2016/005463 Al

[D4] EP 2 567 159 Bl [D5] KR 10 2142312 Bl [D6] CN 107677045 A [D7] C. Wang, „Intermediate cooling from pulse tube and regenerator in a 4K pulse tube cryocooler", Cryogenics 48(3): 154-159

[D8] https://www.cryomech.com/articles/automatic-helium-purifier/ (aufgerufen am 14.04.2021)

[D9] https://qd-europe.com/ch/en/product/helium-gas-purifier/ (aufgerufen am 14.04.2021) [D10] https://quantum-technology.com/purify/cryogenic-purification .html (aufgerufen am 14.04.2021)

[Dil] https://www.724pridecryogenics.com/en/prodetail.asp?id=701 (aufgerufen am 15.04.2021)