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Title:
DEVICE FOR SHAPING AN ELECTRON BEAM, METHOD FOR PRODUCING SAID DEVICE AND USE THEREOF
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/1999/063566
Kind Code:
A2
Abstract:
The invention relates to an extremely low-capacitance device for forming an electron beam. The device is based on a ceramic body having a monolithic multilayer structure. The ceramic body is produced using LTCC technology, whereby said method is modified in a targeted manner. The body is made of presintered ceramic layers, whose lateral shrinkage is suppressed. The through holes of the electrodes for the electron beam are thus exactly arranged coaxially and tolerances for the dimensions of the electrodes are decoupled from shrinkage during sintering. Such a device makes it possible to focus the electron beam of an electron gun and modulate its intensity.

Inventors:
BURKHARDT KLAUS (DE)
ECKHARDT WOLFGANG (DE)
GOHLKE SILVIA (DE)
MAENNER RUTH (DE)
WERSING WOLFRAM (DE)
Application Number:
PCT/DE1999/001610
Publication Date:
December 09, 1999
Filing Date:
June 01, 1999
Export Citation:
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Assignee:
SIEMENS AG (DE)
BURKHARDT KLAUS (DE)
ECKHARDT WOLFGANG (DE)
GOHLKE SILVIA (DE)
MAENNER RUTH (DE)
WERSING WOLFRAM (DE)
International Classes:
H01J3/02; H01J9/18; H01J37/12; (IPC1-7): H01J1/00
Foreign References:
US5661363A1997-08-26
US5367218A1994-11-22
DE19646369A11998-05-14
US5443786A1995-08-22
DE4419764C11995-12-21
DD275156A
DE3837300A11990-05-23
EP0388980A21990-09-26
US5534743A1996-07-09
Other References:
R.BAUER ET AL: "Realization of LTCC-Multilayer with Special Cavity Applications" SPIE, PROC.1997 INT. SYMP ON MICROELECTRONICS, Bd. 3235, 14. - 16. Oktober 1997, Seiten 659-664, XP002122488 Philadelphia
Attorney, Agent or Firm:
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT (Postfach 22 16 34 München, D-80506, DE)
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT (Postfach 22 16 34 München, D-80506, DE)
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Claims:
Patentansprüche
1. Vorrichtung zur Formung eines Elektronenstrahls (12), be stehend aus einem keramischen Körper in monolithischer Vielschichtauf bauweise (11), der mindestens eine Durchtrittsöffnung (12) für einen Elektronenstrahl hat und mindestens eine Elektrodenkeramiklage (131) aufweist, bei der mindestens eine Elektrode (141) an der Durch trittsöffnung angeordnet ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Elektrode ringför mig um die Durchtrittsöffnung angeordnet ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei zumindest zwei Elektroden entlang der Ausbreitungsrichtung des Elektro nenstrahls nacheinander angeordnet sind.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei der Körper mindestens eine Isolierkeramiklage (151) aufweist.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei mehre re Elektrodenkeramiklagen und Isolierkeramiklagen des Kör pers entlang der Ausbreitungsrichtung des Elektronen strahls alternierend angeordnet sind.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei eine Elektrode von mindestens einer zweiten Elektrode elek trisch isoliert ist.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei eine Elektrode mit mindestens einer zweiten Elektrode elek trisch leitend verbunden ist.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei der Körper mindestens eine elektrische Kontaktierung aufweist.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei die Elektrode und/oder die elektrische Kontaktierung zumindest einen Stoff aus der Gruppe Gold, Kupfer, Molybdän, Palla dium, Platin, Silber und/oder Wolfram aufweist.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei der Körper Glaskeramik aufweist. ll.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, wobei meh rere Elektroden und elektrischen Kontaktierungen so ange ordnet sind, daß eine Kapazitätsanordnung gebildet wird, deren Kapazitäten unter 3 pF liegen.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, wobei der Körper Glaslot (171) aufweist.
13. Verwendung einer Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12 zur Intensitätsmodulierung und Fokussierung des Elektronenstrahls.
14. Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, wobei a) aus einer einen Binder enthaltenden Keramikgrünfolie eine Keramiklage gefertigt wird, die mindestens eine Durch trittsöffnung (12) aufweist, b) zumindest zwei Keramiklagen unter Verwendung einer ersten Stapelvorrichtung so gestapelt werden, daß die Durch trittsöffnungen übereinander angeordnet sind, und c) die Keramiklagen unter einachsigem Druck bei der Sinter temperatur des verwendeten Keramikmaterials zu dem Körper (11) gesintert werden.
15. Verfahren nach Anspruch 14, wobei zur Fertigung einer Ke ramiklage a) in einer Keramikgrünfolie mindestens eine Durchtrittsöff nung (12) erzeugt wird, b) mindestens zwei Keramikgrünfolien unter Verwendung einer zweiten Stapelvorrichtung so gestapelt werden, daß die Durchtrittsöffnungen übereinander angeordnet sind, c) die gestapelten Keramikgrünfolien zu einem Verbund lami niert werden, d) der Verbund bei erhöhter Temperatur vom Binder befreit wird und e) der Verbund bei einer Temperatur zu einer Keramiklage vor gesintert wird, die unter der Sintertemperatur des verwen deten Keramikmaterials liegt.
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 15, wobei das Verfahren zur Fertigung der Keramiklage die Herstellung einer elektrischen Durchkontaktierung (162) in der Kerami klage beinhaltet, wobei a) in mindestens einer Keramikgrünfolie mindestens eine Kon taktierungsöffnung (121) erzeugt wird, die b) mit elektrisch leitendem Material befüllt wird.
17. Verfahren zur Herstellung der Durchkontaktierung nach An spruch 16, wobei das Befüllen der Kontaktierungsöffnung mittels Schablonendruckverfahren erfolgt.
18. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 17, wobei zur Fertigung einer Elektrodenkeramiklage nach dem Vorsintern auf einer Oberfläche der Keramiklage elektrisch leitendes Material angebracht wird. l9.
19. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 18, wobei zur Fertigung einer Elektrodenkeramiklage auf der Oberfläche mindestens einer Keramikgrünfolie elektrisch leitendes Ma terial angebracht wird.
20. Verfahren nach einem der Ansprüche 18 oder 19, wobei elek trisch leitendes Material im Siebdruckverfahren angebracht wird.
21. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 20, wobei die Durchtrittsöffnung und/oder die Kontaktierungsöffnung durch Stanzen erzeugt werden.
22. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 21, wobei als elektrisch leitendes Material zumindest ein Stoff aus der Gruppe Gold, Kupfer, Molybdän, Palladium, Platin, Silber und/oder Wolfram ausgewählt wird.
23. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 22, wobei zur Herstellung der Keramiklage a) die Keramikgrünfolien so übereinander gestapelt werden, daß die oberste und die unterste Keramikgrünfolie des Ver bundes Keramikmaterial aufweisen, dessen Sintertemperatur über der des Keramikmaterials liegt, das die im Verbund dazwischen liegenden Keramikgrünfolien aufweisen, und b) nach dem Vorsintern das höher sinternde Keramikmaterial entfernt wird.
24. Verfahren nach Anspruch 23, wobei beim Stapeln als erste und letzte Keramikgrünfolie eine Keramikgrünfolie verwen det wird, die Aluminiumoxid aufweist.
25. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 24, wobei die Oberfläche der vorgesinterten Keramiklage abgeschliffen wird.
26. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 25, wobei die Durchtrittsöffnung der Keramiklage nachbearbeitet wird.
27. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 26, wobei die erste und/oder die zweite Stapelvorrichtung SiC aufweist.
28. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 27, wobei Glas lot im Siebdruckverfahren auf der Oberfläche der Vorrich tung angebracht wird.
Description:
Beschreibung Vorrichtung zur Formung eines Elektronenstrahls, Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung und Anwendung.

In der Technik finden Elektronenröhren vielfach Anwendung, so z. B. in Elektronenmikroskopen oder Monitoren. Ziel vieler Entwicklungen auf dem Gebiet der Elektronenröhren ist die Verbesserung des Auflösungsvermögens der Geräte, in denen diese Röhren eingesetzt werden. Das Auflösungsvermögen eines solchen Geräts hängt unter anderem von der Elektronenkanone ab, die in der Elektronenröhre des Geräts integriert ist. Die Elektronenkanone erzeugt einen Elektronenstrahl. Sie umfaßt eine Elektronenquelle und eine geeignete Anordnung von Elek- troden. Als Elektronenquelle kommt beispielsweise eine ge- heizte Kathode in Frage, die durch thermische Energie ange- regte Elektronen emittiert. Die Elektroden dienen als Blenden der Fokussierung, der Intensitätsmodulierung und gegebenen- falls der Ablenkung des Elektronenstrahls.

Nach dem heutigen Stand der Technik enthalten Elektronenkano- nen hochauflösender Monitore folgenden Aufbau : Die Kathode und eine erste Gitterelektrode sind in einem Metalltopf zu- sammengefaßt, der in eine Glashalterung der Elektronenröhre eingeschmolzen ist. In Ausbreitungsrichtung des Elektronen- strahls sind zwei weitere Gitterelektroden angebracht, die ebenfalls in die Glashalterung eingeschmolzen sind.

Um eine sehr hohe Auflösung des Monitors zu erreichen, müssen die sehr feinen Durchtrittsöffnungen der Gitterelektroden bzw. Elektrodenbleche zur Elektronenfokussierung exakt kreis- rund und koaxial zueinander angeordnet sein. Darüber hinaus ist ein extrem kapazitätsarmer Aufbau der Elektrodenanordnung eine Grundvoraussetzung zur Erzielung einer hohen Signalband- breite.

Diese Anforderungen werden von der konventionellen Röhren- technik bisher nicht zufriedenstellend erfüllt. Beispielswei- se ist die koaxiale Ausrichtung der Durchtrittsöffnungen für den Elektronenstrahl durch das getrennte Einschmelzen der Elektroden in Glas nur eingeschränkt möglich.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine kapazitätsarme Vorrichtung zur Formung eines Elektronenstrahls und ein Verfahren zu de- ren Herstellung anzugeben.

Diese Aufgabe wird von den Merkmalen der Anspruchs 1 der Er- findung gelöst. Besondere Ausgestaltungen der erfindungsgemä- en Vorrichtung sind den Ansprüchen 2 bis 13 zu entnehmen.

Nach Anspruch 1 wird eine Vorrichtung zur Formung eines Ele- kronenstrahls, bestehend aus einem keramischen Körper in mo- nolithischer Vielschichtbauweise vorgeschlagen, der minde- stens eine Durchtrittsöffnung für einen Elektronenstrahl hat und bei dem mindestens eine Elektrode an der Durchtrittsöff- nung angeordnet ist.

Diese Vorrichtung, die im folgenden auch als Elektrodenanord- nung bezeichnet wird, umfaßt beispielsweise drei Elektroden und dient in einer Elektronenkanone der Fokussierung des Elektronenstrahls.

Der Keramikkörper ist vorzugsweise als flacher, runder Zylin- der geformt und hat mindestens eine Durchtrittsöffnung, durch die der Elektronenstrahl geführt werden kann.

Die Elektrodenanordnung ist monolithisch aus mehreren Kerami- klagen aufgebaut. Die einzelnen Keramiklagen sind vorzugswei- se unterschiedlich aufgebaut und übernehmen damit auch unter- schiedliche Funktionen. Elektrodenkeramiklagen weisen Elek- troden mit zugehörigen elektrischen Kontaktierungen bei- spielsweise in Form von Leiterbahnen auf. Die Elektroden sind dabei an der Durchtrittsöffnung vorzugsweise an der Oberflä-

che der Elektrodenkeramiklage angebracht. Isolierkeramiklagen dienen dazu, Elektrodenkeramiklagen von einander zu isolieren und in einem definierten Abstand zueinander anzuordnen. Elek- trodenkeramiklagen und Isolierkeramiklagen sind in Ausbrei- tungsrichtung des Elektronenstrahls vorzugsweise alternierend angeordnet.

Die elektrischen Kontaktierungen ermöglichen das Festlegen des Potentials der Elektroden. Die Leiterbahnen sind vorzugs- weise im Inneren des keramischen Körpers angeordnet.

Jede der Durchtrittsöffnungen der Elektrodenkeramiklagen ist insbesondere exakt kreisrund. Jede Elektrode ist vorzugsweise als ein Ring aus elektrisch leitendem Material geformt. Be- sonders vorteilhaft ist es, wenn der Ring geschlossen ist. Er kann aber auch in einzelne Elektroden unterteilt sein. Der innere Durchmesser des Rings entspricht vorzugsweise dem Durchmesser der Durchtrittsöffnung der Keramik an der ent- sprechenden Stelle. Diese Durchmesser können aber auch von- einander abweichen. Insbesondere können Abweichungen von ei- ner exakt kreisrunden Form dann gewünscht sein, wenn Verzer- rungen des Elektronenstrahls kompensiert werden, die sich bei der Elektronenstrahlerzeugung aus dem Gesamtaufbau der Elek- tronenröhre ergeben. Beispielsweise können die Durchtritts- öffnung und der Elektrodenring einer Elektrodenkeramiklage elliptisch geformt sein.

Die angesprochene Kompensation von Verzerrungen gelingt bei- spielsweise auch dadurch, daß an zwei oder mehreren Elektro- den eines unterteilten Elektrodenrings einer Elektrodenkera- miklage, unterschiedliches Potential angelegt wird.

Als keramisches Material kommt vor allem niedrig sinternde Glaskeramik in Frage, die beispielsweise Aluminiumoxid, Boroxid oder Erdalkalioxide enthält. Die Zusammensetzung der Glaskeramik ist dabei so gewählt, daß sich die Keramik im Temperaturbereich des Schmelzpunkts des verwendeten Metalls

verdichtet. Um erfindungsgemäß einen möglichst kapazitätsar- men Aufbau der Elektrodenanordnung zu erreichen, muß darüber hinaus das Material des Keramikkörpers eine möglichst niedri- ge relative Dielektrizitätskonstante aufweisen (z. B. 6 Er 8).

Die Elektroden und die Kontaktierungen bestehen aus Molybdän, Palladium, Platin, Silber oder Wolfram. Andere Metalle wie Kupfer oder Gold sind genauso möglich wie Legierungen der ge- nannten Metalle wie beispielsweise Silber/Palladium. Die Lei- terbahnen bestehen vorzugsweise aus dem gleichen Material wie die Elektroden. Unterschiedliches Material ist aber auch denkbar.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn eine Elektrodenkeramiklage mehrere Elektroden hat, die in Ausbreitungsrichtung des Elek- tronenstrahls nacheinander angeordnet sind. Diese Elektroden können elektrisch leitend miteinander verbunden sein. Insbe- sondere können die Elektroden auch elektrisch voneinander isoliert sein. Dadurch können im Elektronenstrahlerzeugungs- prozeß an den Elektroden unterschiedliche Potentiale angelegt werden. Eine solche Anordnung ersetzt den Wunsch der klassi- schen Röhrentechnik, konische Durchtrittsöffnungen zur Fokus- sierung und Intensitätsmodulierung des Elektronenstrahls zu benutzen.

Die Elektrodenanordnung kann mehrere Durchtrittsöffnungen aufweisen, durch die jeweils ein Elektronenstrahl geführt wird. Eine derartige Anordnung wird beispielsweise in Farb- bildröhren mit drei Strahlsystemen benutzt. Für jede der drei Grundfarben (z. B. blau, gelb, rot) wird ein eigener Elektro- nenstrahl erzeugt.

Für die Anwendung in Elektronenröhren ist es besonders vor- teilhaft, wenn die Elektrodenanordnung über elektrische Kon- taktierungen in Form von Durchkontaktierungen verfügt. Eine elektrische Durchkontaktierung durchdringt z. B. eine oder

mehrere Keramiklagen. Über eine elektrische Durchkontaktie- rung sind beispielsweise zwei Elektroden einer Elektrodenke- ramiklage elektrisch leitend miteinander verbunden.

Mittels elektrischer Anschlußstellen, die an der Oberfläche des Keramikkörpers angeordnet und die über Leiterbahnen und/oder Durchkontaktierungen mit den Elektroden verbunden sind, werden beispielsweise die Elektrodenpotentiale festge- legt.

Insbesondere vorteilhaft ist es, wenn die elektrischen Durch- kontaktierungen, Leiterbahnen und Anschlüsse in und/oder an der Elektrodenanordnung so angeordnet sind, daß ein möglichst kapazitätsarmer Aufbau resultiert. Das bedeutet, daß die elektrische Kontaktierungen, die mit unterschiedlichem Poten- tialen gespeist werden, möglichst entkoppelt sind.

Mit Hilfe von elektrischen Anschlußstellen und/oder Kontak- tierungen lassen sich in der keramischen Elektrodenanordnung besonders einfach zusätzliche Steuerfunktionen einer Elektro- nenkanone integrieren. Beispielsweise kann die Ansteuerung der Kathode über solche elektrischen Verbindungen erfolgen.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn in diesem Fall die Kathode beispielsweise über einen Keramiksockel mit Glaslot mit der Elektrodenanordnung verbunden ist. Dadurch werden zusätzliche Löcher und Leitungen im Gehäuse der Kathode überflüssig. Die Herstellung einer Elektronenkanone vereinfacht sich dadurch erheblich. Außerdem werden mögliche Lecks vermieden, die die Evakuierung der Elektronenröhre beeinträchtigen könnten.

Eine hier beschriebene Elektrodenanordnung kann in einer Elektronenkanone in herkömmlicher Weise durch Einschmelzen in Glas eingebaut sein. Sie dient der Intensitätsmodulierung und Fokussierung des Elektronenstrahls. Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Elektrodenanordnung, wie oben beschrieben, di- rekt mit der Elektronenquelle verbunden ist.

Zusätzlich können weitere Bauteile einer Elektronenröhre über Glaslot mit der Elektrodenanordnung verbunden sein, wie bei- spielsweise die Hauptlinse einer Elektronenröhre.

Die Herstellung einer beschriebenen Elektrodenanordnung in monolithischer Vielschichtbauweise erfolgt vorzugsweise in der LTCC (low temperature cofired ceramic)-Technologie. Diese Technologie eignet sich zur Herstellung monolithischer kera- mischer Mehrschichtsysteme mit integrierten passiven Bauele- menten (siehe z. B. D. L. Wilcox, Proc. 1997 ISHM Philadelphia, S. 17-23). Diese Technologie ist besonders für keramische Bauteile geeignet, in die elektrisch sehr gut leitendes Mate- rial wie Gold, Kupfer oder Silber integriert werden soll.

Die wesentlichen Verfahrensschritte der LTCC-Technologie sind : Herstellung einer einen organischen Binder enthaltenden Ke- ramikgrünfolie, die Glaskeramik aufweist.

Erzeugen von Öffnungen in der Keramikgrünfolie, die für Kontaktierungen gedacht sind.

* Befüllen der Öffnungen mit elektrisch leitendem Material.

* Bedrucken der Keramikgrünfolie mit elektrischen Leiter- strukturen.

* Übereinanderstapeln und Laminieren der Keramikgrünfolien zu einem Verbund.

Sintern des Verbunds zu einem Körper mit monolithischen Vielschichtaufbau.

Durch das Verdichten des keramischen Materials beim Sinter- vorgang tritt ein Volumenschwund von 10-20% auf. Würde man die LTCC-Technologie oder ein ähnliches Verfahren in bekann- ter Weise zur Herstellung einer Elektrodenanordnung einset- zen, müßte man vor allen Dingen laterale Toleranzen in Kauf nehmen, die im Hinblick auf die Forderungen an einen hochauf- lösenden Monitor inakzeptabel sind. Deshalb wird das LTCC- Verfahren modifiziert.

In der Herstellung der Elektrodenanordnung werden dabei vor- gesinterte Keramiklagen übereinandergestapelt und zusammen- gesintert. Das Vorsintern erfolgt bei einer Temperatur, die unter der Sintertemperatur des verwendeten keramischen Mate- rials liegt. Der Schwindungsprozeß der Keramik ist nach dem Vorsintern nahezu abgeschlossen. Dadurch wird der Einfluß des Schwindens der Keramik auf die auftretenden Toleranzen unter- drückt.

Durch diese Modifizierung der LTCC-Technologie lassen sich Längentoleranzen der Elektrodenabmessungen von 5pm errei- chen. Darüber hinaus wird die koaxiale Ausrichtung der Gitter erheblich verbessert. Mit Hilfe dieser Technik läßt sich aber vor allen Dingen ein extrem kapazitätsarmer Aufbau der Fokus- sierungseinheit von bis zu 1pF verwirklichen.

Neben diesen Vorteilen gegenüber dem Stand der Technik stellt die Erfindung mit dem Verfahren auf der Basis der LTCC- Technologie ein kostengünstiges, leicht modifizierbares und automatisierbares Herstellungsverfahren der keramischen Elek- trodenanordnung vor. Die LTCC-Technologie kann sehr leicht im Nutzen (multi up) angewendet werden.

Die Herstellung einer Keramikgrünfolie erfolgt nach bekannten Verfahren. Durch Schneiden oder Stanzen wird die Keramikgrün- folie auf die gewünschte Form zugeschnitten, die beispiels- weise direkt die Form der Elektrodenanordnung sein kann, wie sie z. B. in einer Elektronenröhre verwendet wird. Oder es wird eine Form gewählt, die auf die Weiterverarbeitung der Keramikgrünfolie zugeschnitten ist (beispielsweise im Nut- zen).

Die Öffnungen bzw. Löcher in der Keramikgrünfolie werden be- sonders einfach durch Stanzen erzeugt. Andere Verfahren zur Strukturierung von Keramikgrünfolien wie beispielsweise Pho- tolithograpie oder das Erzeugen von Öffnungen mit Hilfe von Laserstrahlung können hier genauso angewendet werden.

Im Hinblick auf die Elektrodenanordnung wird in der Keramik- grünfolie mindestens eine Durchtrittsöffnung erzeugt, durch die im Elektronenstrahlerzeugungsprozeß der Elektronenstrahl geleitet wird. Mehrere solcher Durchtrittsöffnungen kommen dann in Frage, wenn mit Hilfe der Elektrodenanordnung mehrere Elektronenstrahlen manipuliert werden sollen (beispielsweise in Elektronenröhren von Farbmonitoren).

Neben dieser Durchtrittsöffnung, die in jeder Keramikgrünfo- lie auftritt, werden zusätzliche Löcher erzeugt. Diese werden nach den spezifischen Funktionen ausgewählt, die mit der ent- sprechenden Keramikgrünfolie in die Elektrodenanordnung inte- griert werden sollen. Soll beispielsweise eine vertikale elektrische Durchkontaktierung durch eine Keramiklage erzeugt werden, erhalten alle Keramikgrünfolien, die für die Herstel- lung der Keramiklage übereinander gestapelt werden, an der gleichen Position ein Loch. Dieses Loch wird in einem weite- ren Verfahrensschritt mit Metall befüllt. Dabei bietet sich besonders das Schablonendruckverfahren an.

Neben den genannten Öffnungen, auf denen die Funktionalität der Elektrodenanordnung beruht, ist es besonders vorteilhaft, zusätzliche Löcher in den Keramikgrünfolien zu erzeugen, mit deren Hilfe die Herstellung der Elektrodenanordnung stark vereinfacht wird. So ermöglichen z. B. Zentrierlöcher im Her- stellungsprozeß ein exaktes Übereinanderstapeln der Keramik- grünfolien. Besonders vorteilhaft ist es, in den Keramikgrün- folien Lochstrukturen zu erzeugen, die der Form der herzu- stellenden Elektrodenanordnung entsprechen. Mit Hilfe dieser Löcher können einzelne vorgesinterte Keramiklagen oder die vollständig gesinterte Elektrodenanordnung leicht vereinzelt werden.

Nach dem Erzeugen der Löcher wird zur Herstellung der Elek- troden und Leiterbahnen elektrisch leitendes Material auf die Oberfläche der Keramikgrünfolie aufgetragen, wobei Elektro-

denkeramikgrünfolien entstehen. Besonders vorteilhaft ist hier das Siebdruckverfahren anzuwenden. Andere Verfahren wie beispielsweise Schablonendruck sind ebenfalls denkbar. Dabei wird für die Elektrode eine Metallpaste an der Durchtritts- öffnung für den Elektronenstrahl angebracht. Besonders vor- teilhaft ist es, die Elektrode als Ring zu formen, so daß die Öffnung und die innere Aussparung des Rings übereinander an- geordnet sind. Der äußere Durchmesser des Rings ist so klein wie möglich gewählt, um eine möglichst kapazitätsarme Anord- nung zu erhalten. Es ist besonders vorteilhaft, an der Ober- und Unterseite der Keramikgrünfolie jeweils eine Elektrode anzubringen. Im Verlauf des Herstellungsverfahrens können die beiden Elektroden elektrisch leiten verbunden werden, oder voneinander isoliert bleiben.

Die Elektroden werden durch das Anbringen von Leiterbahnen beispielsweise mit elektrischen Durchkontaktierungen verbun- den. Eine elektrische Verbindung von einer Elektrode zu einer Durchkontaktierung kann aber auch erst dann erfolgen, wenn eine Keramikgrünfolie mit einer Ringelektrode und eine Kera- mikfolie mit einer aufgedruckten Leiterbahn übereinanderge- stapelt und laminiert werden.

Im Gegensatz zur herkömmlichen LTCC-Technologie, bei der alle benötigten Keramikgrünfolien gemeinsam laminiert und gesin- tert werden, werden hier die Keramikgrünfolien zu kleineren Verbunden übereinandergestapelt, laminiert, vom organischen Binder befreit und zu einzelnen Keramiklagen gesintert. Das Sintern erfolgt bei einer Temperatur, die unter der Sinter- temperatur Ts des verwendeten keramischen Materials liegt.

Die Temperaturdifferenz beträgt beispielsweise 100 K. Im zweiten Schritt werden die vorgesinterten Keramiklagen, in die vorzugsweise unterschiedliche Funktionen integriert sind, übereinandergestapelt und unter Druck bei der Sintertempera- tur Ts der Keramik nachgesintert. Der Druck, der beispiels- weise durch Gewichtsbelastung erzeugt wird, ermöglicht ein planes Zusammenwachsen der Keramiklagen.

Die entscheidende Modifizierung der LTCC-Technologie ist die Aufteilung des Sinterns in zwei Sinterprozesse. Nach dem Vor- sintern ist das Schwinden der Keramik nahezu abgeschlossen.

Im zweiten Sintervorgang findet demnach kaum mehr eine Ver- dichtung der Keramik statt. Dadurch treten beim zweiten Sin- tervorgang kaum noch Verzerrungen der Elektrodenanordnung auf, die auf unterschiedliches Verdichten der Keramik zurück- zuführen wären.

Zusätzlich zu der angegebenen Möglichkeit können diese Ver- zerrungen durch die Anwendung einer Sintertechnik unterdrückt werden, die den lateralen Schwund einer Keramik beim Sintern unterbindet. Dabei werden beispielsweise Keramikgrünfolien zusammengesintert, die unterschiedliches Keramikmaterial auf- weisen. Besonders vorteilhaft ist es, wenn die oberste und die unterste Grünfolie eines laminierten Grünfolienstapels ein Keramikmaterial enthalten, das eine höhere Sintertempera- tur aufweist, als das der Grünfolien im Inneren des Stapels.

Der laminierte Stapel wird bei der Sintertemperatur des inne- ren Keramikmaterials gesintert, so daß nur dieses Material verdichtet. Das nicht verdichtende äußere Keramikmaterial verhindert den lateralen Schwund des inneren Keramikmateri- als. Die Verdichtung des inneren Keramikmaterials findet nur senkrecht zu den Folienebenen statt. Als Beispiels für das Keramikmaterial der äußeren Keramikgrünfolien ist Aluminiu- moxid zu nennen.

Eine weitere Möglichkeit, lateralen Schwund zu verhindern be- steht darin, durch einachsigem Druck eine orientierte Ver- dichtung der Keramik zu erzwingen.

Nach dem Sintervorgang müssen unter Umständen die Keramikla- gen nachbearbeitet werden. Durch Abschleifen und/oder Polie- ren der Oberflächen werden Keramiklagen erhalten, die defi- nierte Schichtdicken und exakt ebene Flächen aufweisen. Dies

ist vor allem im Hinblick auf die koaxiale Ausrichtung der Durchtrittsöffnungen für den Elektronenstrahl wichtig.

Das Abschleifen und/oder Polieren ist vor allem dann nötig, wenn die angesprochene Sintertechnik mit den Grünfolien, die unterschiedliches Keramikmaterial enthalten, angewendet wird.

Das äußere Keramikmaterial muß vor dem Ubereinanderstapeln der Keramiklagen von den Oberflächen der Keramiklagen ent- fernt werden.

Wenn die Oberflächen der vorgesinterten Keramiklagen abge- schliffen werden, so muß je nach Funktionsweise der Kerami- klage elektrisch leitendes Material nach dem Abschleifen auf die Keramiklagen aufgebracht werden.

Die Durchtrittsöffnungen selbst müssen unter Umständen eben- falls nachbearbeitet werden, um die vorgeschriebenen Toleran- zen der Elektrodenabmessungen einzuhalten. Die Nachbearbei- tung erfolgt vorzugsweise mechanisch (z. B. durch Schleifen und Laserbohren). Andere Verfahren wie beispielsweise Photo- lithographie oder Materialabtragung mittels Laserstrahl kön- nen hier ebenfalls eingesetzt werden.

Das Stapeln der Keramikgrünfolien und der Keramiklagen er- folgt günstigerweise in einer jeweiligen Stapelvorrichtung.

Die Stapelvorrichtung ist beispielsweise so geformt, daß die Folien bzw. Lagen paßgenau in der Vorrichtung angeordnet wer- den können. Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Vorrich- tung entsprechend den Zentrierlöchern der keramischen Körper über Zentrierstifte verfügt. Mit Hilfe der Zentrierlöcher und -stifte können die Keramikgrünfolien bzw. Keramiklagen exakt übereinander gestapelt werden. Außerdem wird dadurch vermie- den, daß einzelne Schichten während der Verarbeitung seitlich verrutschen. Das Sintern exakt übereinander gestapelter Kera- mikgrünfolien bzw. Keramiklagen ist für die koaxiale Ausrich- tung der Elektroden von entscheidender Bedeutung.

Das Material, aus dem die Stapelvorrichtungen bestehen, ist so ausgewählt, daß keine Haftung zwischen Vorrichtung und Glaskeramik entsteht. Darüber hinaus muß das Material einen hohen Wärmeleitfähigkeitskoeffizienten aufweisen, damit kein Temperaturgradient im Verlauf des Sinterns auftritt. Beson- ders geeignet ist für die Anwendung Siliziumkarbid. Andere Materialien wie beispielsweise Zirkonoxid sind ebenfalls denkbar.

Ein besonderer Vorteil ergibt sich dadurch, daß die LTCC- Technologie leicht im Nutzen angewendet werden kann. Das be- deutet, daß in einer Keramikgrünfolie mehrere identische Strukturen erzeugt werden (z. B. 2x2). Für die Weiterverarbei- tung gibt es verschiedene Möglichkeiten : Nach dem Laminieren der Keramikgrünfoliennutzen wird der Gesamtstapel beispiels- weise durch Schneiden in einzelne identische Unterstapel zer- teilt, die danach voneinander separiert gesintert werden. Al- ternativ dazu kann der laminierte Keramikgrünfoliennutzen entbindert und gesintert werden, wobei die Unterstapel nach dem Sintern beispielsweise durch Sägen voneinander getrennt werden.

Im Hinblick auf die Herstellung der Elektrodenanordnung ist folgendes Vorgehen besonders vorteilhaft : Im Verfahrens- schritt der Löchererzeugung werden zusätzliche Lochstrukturen in der Keramikgrünfolie erzeugt. Diese Lochstrukturen sind beispielsweise quadratisch auf der Keramikgrünfolie angeord- net. Im Inneren eines jeden Quadrats befinden sich die oben beschriebenen Löcher bzw. Lochstrukturen.

Die Keramikgrünfoliennutzen werden wie oben beschrieben zu einem Nutzen aus Keramiklagen vorgesintert. Durch die Loch- strukturen ist es möglich, die Keramiklagen beispielsweise durch Herausbrechen zu vereinzeln. Im weiteren Verlauf werden die vereinzelten, vorgesinterten Keramiklagen wie oben be- schrieben zusammengesintert.

Alternativ dazu können Nutzen der vorgesinterten Keramiklagen zusammengesintert werden. Hier bietet sich an, die gleiche Stapelvorrichtung zu benutzen, die zur Herstellung der Kera- miklagennutzen verwendet wird. Das Vereinzeln erfolgt erst nach dem Zusammensintern der Keramiklagen zu einem monolithi- schen Keramikkörper.

Das Sintern vereinzelter Keramiklagen hat aber den Vorteil, daß Schwindungstoleranzen und-inhomogenitäten wesentlich leichter aufgefangen werden. Außerdem ist es möglich, defekte Teile vor der Weiterverarbeitung auszusondern. Damit sind ein geringer Ausschuß und eine hohe Prozeßsicherheit verbunden.

Anhand eines Ausführungsbeispiels und der dazugehörigen Figu- ren wird im folgenden eine erfindungsgemäße Elektrodenanord- nung und das Verfahren zu dessen Herstellung vorgestellt. Die Figuren stellen keine maßstabsgetreuen Abbildungen der be- zeichneten Gegenstände dar.

Figur 1 zeigt eine erfindungsgemäße Vorrichtung im Quer- schnitt A-A.

Figur 2 zeigt eine erfindungsgemäße Vorrichtung von oben.

Figur 3 zeigt eine erfindungsgemäße Vorrichtung von unten.

Figur 4 zeigt eine erfindungsgemäße Vorrichtung im Quer- schnitt B-B.

Figur 5 zeigt ausgehend von der Herstellung einer Keramik- grünfolie die wesentlichen Verfahrensschritte zur Herstellung der Vorrichtung.

Figur 6 zeigt einen Keramikgrünfoliennutzen mit Lochstruktu- ren.

Figur 7 zeigt einen Keramikgrünfoliennutzen mit Metallisie- rungen.

Figur 8 zeigt in Draufsicht die Keramikgrünfolien im metalli- sierten Zustand, aus denen die Vorrichtung aufgebaut ist.

Figur 9 zeigt eine erfindungsgemäße Vorrichtung, die mit ei- ner Kathode verbunden ist.

Gegenstand ist eine extrem kapazitätsarme Vorrichtung zur Formung eines Elektronenstrahls. Die Vorrichtung besteht aus einem keramischen Körper 11 mit monolithischem Vielschicht- aufbau. Der Körper enthält eine Durchtrittsöffnung 12 für den Elektronenstrahl. Mit Hilfe von drei Gitterelektroden 141- 143, die an der Durchtrittsöffnung angeordnet sind, wird die Vorrichtung in einer Schwarz-Weiß-Monitor-Röhre hoher Auflö- sung zur Intensitätsmodulierung und Fokussierung des Elektro- nenstrahls eingesetzt. Die Elektroden sind exakt koaxial zu- einander angeordnet. Die Elektrodenabmessungen weisen Tole- ranzen von maximal 5 m auf. Mit diesem Aufbau werden nied- rige Kapazitäten bis herab zu 1 pF erreicht.

In Figur 1 ist die Vorrichtung im Querschnitt durch die Ver- bindungslinie A-A (siehe Figur 3) zu sehen. Figur 2 zeigt dieselbe Anordnung im Querschnitt durch die Verbindungslinie B-B. In den Figuren 3 und 4 ist die Anordnung von oben bzw. von unten zu sehen.

Die Vorrichtung ist im Ausführungsbeispiel als flacher, run- der Zylinder geformt, der aus niedrigsinternder Glaskeramik besteht (Ts 850-950 °C). Der Durchmesser des Zylinders ist dabei wesentlich größer als seine Höhe (z. B. Höhe h = 985 pm ; Durchmesser d = 1-3 cm).

Die Elektrodenanordnung weist einen monolithischen Viel- schichtaufbau auf. Sie ist aus drei Isolierkeramiklagen 151- 153 und drei Elektrodenkeramiklagen 131-133 aufgebaut. Elek-

trodenkeramiklagen und Isolierkeramiklagen sind in Ausbrei- tungsrichtung des Elektronenstrahls alternierend angeordnet.

Die Schichtdicken hi der einzelnen Keramiklagen und die Durchmesser i der zugehörigen Durchtrittsöffnungen der Kera- miklagen können beispielsweise Werte aufweisen, die in der folgenden Tabelle zusammengefaßt sind : Tabelle : Schichtdicke hi der Keramiklagen und Durchmesser Oi der Durchtrittsöffnung der Keramiklagen Keramiklage 151 131 152 132 153 133 hi [pm] 100 50 190 300 165 180 oil4m] 1200 375 1200 500 1200 800 Jede Elektrodenkeramiklage verfügt direkt an der Durchtritts- öffnung über eine Elektrode. Dabei sind an der Ober-und Un- terseite jeder Elektrodenkeramiklage Metallringe angebracht, die über eine vertikale elektrische Durchkontaktierung 162 miteinander elektrisch leitend verbunden sind. Die Durchmes- ser der Kontaktierungen betragen beispielsweise 300 pm. Die Elektroden sind als kreisrunde Ringe geformt. Der innere Durchmesser eines Rings entspricht dem Durchmesser des Kera- mikkörpers an der entsprechenden Stelle. Der äußere Durchmes- ser beträgt beispielsweise 1000 pm.

In einer besonderen Ausgestaltung der Erfindung sind die bei- den Metallringe einer einzelnen Elektrodenkeramiklage elek- trisch voneinander isoliert. Somit hat jede Elektrodenkerami- klage zwei Elektroden, die eine eigene elektrische Kontaktie- rung über eine Leiterbahn und/oder elektrische Durchkontak- tierung aufweist.

Die Elektroden sind über horizontale elektrische Leiterbahnen 161 und damit verbunden vertikalen elektrischen Durchkontak- tierungen 162 mit elektrischen Anschlußstellen 163 in Form von beispielsweise Lötpads verbunden, die sich an der Ober-

fläche der Elektrodenanordnung befinden. Die Leiterbahnen ha- ben beispielsweise einen Durchmesser von 100 bis 200 pm.

Die drei Leiterbahnen, mit denen die Elektroden der drei Elektrodenkeramiklagen verbunden sind, sind möglichst entkop- pelt. In Ausbreitungsrichtung des Elektronenstrahls betrach- tet sind sie so angeordnet, daß sie nicht zur Deckung kommen.

Die Leiterbahnen benachbarter Elektrodenkeramiklagen nehmen beispielsweise einen Winkel von 90° ein.

Drei elektrische Kontakte für die Ansteuerung einer Kathode sind ebenfalls in die Anordnung integriert in Form von An- schlußstellen 164 und 165 an der Unterseite, Durchkontaktie- rungen 162 und Leiterbahnen 161 in der untersten Isolierkera- miklage 151 (Figur 4).

Als Material für die Elektroden und die elektrischen Kontak- tierungen kommen beispielsweise Gold, Kupfer, Molybdän, Pal- ladium, Platin, Silber, beziehungsweise Legierungen der ge- nannten Metalle in Frage.

Eine derartige Elektrodenanordnung kann in den Glaskörper ei- ner Elektronenröhre eingeschmolzen werden. Besonders vorteil- haft ist es, die Elektrodenanordnung über einen Keramiksockel 91 mit einer Kathode 92 inklusive Heizungseinheit 93 zu ver- binden (Figur 9). Die Kathode ist beispielsweise durch Laser- schweißen an dem Keramiksockel 91 angebracht, der seinerseits über Glaslot 172 in Form eines Ringes mit der Elektrodenan- ordnung verbunden ist. Dabei ist sind die Einzelteile so zu- einander angeordnet, daß die elektrischen Anschlüsse der Ka- thode mit den in der Elektrodenanordnung vorgesehenen An- schlußstellen 165 in Kontakt stehen. Damit wird die Kathode als Elektronenquelle über diese Anordnung gesteuert.

Die Herstellung einer zuvor beschriebenen Elektrodenanordnung in monolithischer Vielschichtbauweise erfolgt vorteilhaft im

Nutzen. Anhand der Figur 5 sind die wesentlichen Verfahrens- schritte sichtbar.

Zunächst wird eine einen organischen Binder enthaltende Kera- mikgrünfolie hergestellt (Prozeß 501). Das keramische Aus- gangsmaterial aus Glaskeramik mit der gewünschten Zusammen- setzung wird beispielsweise im Mixed-Oxide-oder Sol-Gel- Verfahren hergestellt. Zusammen mit dem organischen Binder und Wasser wird aus dem Ausgangsmaterial ein Schlicker herge- stellt, aus dem die Keramikgrünfolie gezogen oder gegossen wird. Nach dem Trocknen weisen die Grünfolien eine Schicht- dicke von beispielsweise 30 bis 300 J. m auf.

Im nächsten Verfahrensschritt 502 werden in der Keramikgrün- folie Löcher beispielsweise durch Stanzen erzeugt. Für einen 2x2-Nutzen 61 bedeutet das, daß vier identische Löcherkombi- nationen in der Grünfolie erzeugt werden (Figur 6). Eine Lö- cherkombinationen enthält eine Durchtrittsöffnung 12, durch die der Elektronenstrahl geführt werden soll, Öffnungen 121, mit denen Durchkontaktierungen 162 hergestellt werden, Zen- trierlöcher 122 und eine Lochreihe 123, die die Vereinzelung der aus der Keramikgrünfolie herzustellenden Keramiklage er- möglicht. In der Keramikgrünfolie werden zudem Zentrierlöcher 124 erzeugt, mit deren Hilfe Keramikgrünfolien im Nutzen übereinander gestapelt werden. Figur 6 zeigt beispielhaft ei- nen Grünfoliennutzen mit Lochstrukturen, der in der Herstel- lung der Elektrodenkeramiklage 132 benötigt wird.

Im nächsten Schritt 503 werden Elektroden und/oder elektri- sche Leiterstrukturen beispielsweise im Siebdruckverfahren auf die Keramikgrünfolie aufgedruckt. Es werden z. B. Leiter- bahnen 161 von 100 pm hergestellt. Die Elektroden an den vier Durchtrittsöffnungen des Nutzens werden in Form von Ringen aufgetragen (Figur 7).

Sofern Löcher für elektrische Durchkontaktierungen vorhanden sind, werden diese beispielsweise im Schablonendruckverfahren

mit elektrisch leitendem Material befüllt. Schablonen-und Siebdruck können beispielsweise mit derselben Vorrichtung durchgeführt werden. Figur 7 zeigt den Nutzen aus Figur 6 nach den Metallisierungsschritten.

In der darauffolgenden Phase (504) werden entsprechend der Funktionalität der herzustellenden Keramiklage Keramikgrünfo- lien im Nutzen übereinander gestapelt und unter einachsigem Druck oder isostatisch zu einem Verbundnutzen laminiert.

Durch beispielsweise langsame Erhöhung der Temperatur auf 500 °C wird der Verbund vom Binder befreit und zu Nutzen von Ke- ramiklagen vorgesintert. Nach der Entbinderung findet das Vorsintern des Verbundes zu einer Keramiklage statt. Die Sin- tertemperatur Ts liegt beispielsweise 100 K unter der Sinter- temperatur der verwendeten Glaskeramik. Die Sinterunterlage beim Vorsintern ist vorzugsweise aus Siliziumkarbid.

Die Elektrodenkeramiklage 132 ist beispielsweise aus zwei Ke- ramikgrünfolien aufgebaut. Dementsprechend werden Nutzen der jeweiligen Keramikgrünfolien übereinandergestapelt (Figur 8).

Das Ubereinanderstapeln richtet sich nach den Zentrierlö- chern, wobei die Loch-und Leiterstrukturen in den Keramik- grünfolien so angebracht sind, daß beim Übereinanderstapeln und nachfolgenden Laminieren und Sintern die gewünschten dreidimensionalen Strukturen entstehen (z. B. elektrische Durchkontaktierungen).

Nach dem Vorsintern werden die Keramiklagen vereinzelt (505).

Mit Hilfe der Lochstrukturen 123 gelingt dies einfach durch Herausbrechen einer Keramiklage aus dem Keramiklagennutzen.

Nach diesem Schritt können die vereinzelten Keramiklagen ei- ner Qualitätskontrolle 506 unterzogen werden. Schadhafte Ke- ramiklagen können aussortiert werden, oder aber wenn gefor- derte Fehlertoleranzen eingehalten werden eventuell nachbear- beitet werden. Das Nachbearbeiten betrifft in erster Linie das Nachbessern der Elektrodenöffnung (beispielsweise durch

Schleifen, Laserbohren) und das Abschleifen der Oberfläche der Keramiklage. Dadurch erhält man planparallele Flächen der Ober-und Unterseite der Keramiklagen. Die Keramiklage zeich- net sich dann durch eine definierte Schichtdicke aus. Das Nacharbeiten kann beispielsweise auch das Abschleifen der Mantelfläche des Keramikkörpers beinhalten.

Unter Verwendung einer zweiten Stapelvorrichtung werden nun die vereinzelten Keramiklagen übereinandergestapelt und unter Druck bei der Sintertemperatur T, der Glaskeramik unter ein- achsigem Druck zu der Elektrodenanordnung mit monolithischem Vielschichtaufbau zusammengesintert (507).

Um die Elektrodenanordnung mit anderem keramischen Material z. B. dem Keramiksockel einer Kathode zu verbinden, wird vor- zugsweise im Siebdruckverfahren Glaslot 172 auf der Untersei- te der Elektrodenanordnung vorzugsweise in Form eines Ringes angebracht (508).

Figur 8 zeigt im Überblick den Schichtaufbau der Elektroden- anordnung 11 aus einzelnen Keramikgrünfolien. Die Keramik- grünfolien sind im Zustand nach dem Anbringen von Metallisie- rungen gezeigt. Jeweils zwei Keramikgrünfolien bilden eine Keramiklage. Dies trifft auch auf die Isolierkeramiklagen zu.

Durch den zweischichtigen Aufbau wird die Planarisierung die- ser Keramiklagen erheblich verbessert und damit die koaxiale Ausrichtung der Durchtrittsöffnungen der Elektrodenkeramikla- gen stark vereinfacht. Durch die Orientierung der Leiterbah- nen zueinander wird eine extrem kapazitätsarme Vorrichtung erhalten.