Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur spektral aufgelösten Erfassung optischer Strahlung während eines thermischen Prozesses. Anwendbar ist die Erfindung ins besondere für die Laserbearbeitung von Material, wie zum Beispiel Laserschneiden und Laserschweißen.

Bei der Lasermaterialbearbeitung besteht eine Korrelation zwischen der Laser-Mate- rial-Wechselwirkung, der dabei emittierten Prozessstrahlung und dem Bearbeitungs ergebnis. Aus dem Stand der Technik ist bekannt, das bei der Lasermaterialbearbeitung entstehende Prozessleuchten in seiner Gesamtheit oder Teilen davon mittels Fotodioden zu erfassen, um Prozessänderungen messtechnisch ermitteln zu können. Die Auswertung und Analyse der Signalverläufe, sowie der Ver gleich mit zuvor aufgenommenen Referenzsignalen ermöglicht die Realisierung einer zuverlässigen und schnellen Inline-Prozessüberwachung.

Fotodioden sind, physikalisch bedingt, nur in einem begrenzten Spektralbereich emp findlich. Aufgrund dieser Einschränkung werden für die Erfassung des Prozessleuch- tens unterschiedliche Fotodioden (auch in Kombination) eingesetzt, nämlich im sichtbaren Spektrum (VIS) Silizium-Fotodioden (Si) und im nahinfraroten Spekt rum (NIR) Indiumgalliumarsenid-Fotodioden (InGaAs) oder Germanium-Fotodio den (Ge).

In der Fotodiode erzeugen die auftreffenden Photonen einen zu ihrer Anzahl proporti onalen elektrischen Strom. Da der von der Fotodiode generierte elektrische Fo tostrom (aufgrund der typischerweise sehr geringen Lichtintensitäten) in der Regel sehr gering ist, muss dieser in geeigneter Weise rauscharm verstärkt werden.

Im unbefilterten Zustand werden die gesamten Prozessemissionen in dem von der Fotodiode abgedeckten Spektralbereich erfasst. Das Messsignal entspricht daher dem Integral der Lichtintensität im erfassten Spektrum.

Da die Intensität im Bereich der Laser- bzw. Bearbeitungswellenlänge in der Regel um ein Vielfaches höher ist als die Intensität des sekundären Prozessleuchtens im übrigen Spektrum, ist eine entsprechende optische Befilterung notwendig, um die La serwellenlänge mit hoher optischer Dichte zu blocken. Andernfalls würde die Laser strahlung zu stark gewichtet werden bzw. das Prozessleuchten überstrahlen und dessen Auswertung unmöglich machen. Störeinflüsse durch externe Beleuchtung (zum Beispiel Pilotlaser) müssen gleichfalls durch zusätzliche Filter aus dem von der Fotodiode erfassten Spektralbereich herausgefiltert werden.

Eine alternative Möglichkeit ist die optische Trennung von Wellenlängenbereichen durch teildurchlässige Spiegel oder Prismen, wodurch die Auswertung eines ausge wählten oder mehrerer weiterer Wellenlängenbereiche möglich wird; somit kann ein zeitgleiches Auswerten von hochintensiver Primärstrahlung und schwach leuchten der Sekundärstrahlung durchgeführt werden.

Auch ist bekannt, Spektrometer zu verwenden, um das eingangsseitig verfügbare Licht spektral aufgelöst zu analysieren. Hierfür gibt es Spektrometer unterschiedli cher Bauformen und unterschiedlicher Empfindlichkeiten. Bekannt sind zum Beispiel kompakte Spektrometer mit gekrümmten dispersiven Elementen (Gittern), die gleich zeitig auch fokussierend / kollimierend wirken. Das Gitter wird dabei vom divergenten Licht des Spaltes (oder einer Faser) getroffen und hat selbst eine fokussierende Wir kung, da es auf dem sog. Rowlandkreis gekrümmt angebracht ist. Gekrümmte Gitter sind für kleine Stückzahlen jedoch kaum wirtschaftlich einsetzbar.

Kostengünstigere plane Gitter erfordern hingegen zusätzliche optische Komponenten zur Kollimation und Fokussierung. Hierzu werden in der Regel zwei Konkavspiegel verwendet; der Einsatz von Linsen ist ebenfalls möglich, wird aber vermieden, da diese unerwünschte Abbildungsfehler mit sich bringen.

DE 102016225 344 A1 beschreibt einen Polychromator, mit einem Substrat und ei nem optisch spektralzerlegend wirkenden Funktionselement. Das optisch spektral zerlegend wirkende Funktionselement ist ausgebildet, um eine von einer Eintrittsöffnung stammende elektromagnetische Strahlung, zum Beispiel von einer optionalen Strahlenquelle an einer Probe reflektiertes Licht spektral zu zerlegen, so- dass ein spektral zerlegtes Spektrum erhalten wird. EP 3306263 A1 offenbart einen chromatisch-konfokalen Abstandssensor mit einem Gehäuse, in dem eine polychromatische Lichtquelle, eine Abbildungsoptik mit einer chromatischen Längsaberration, ein Spektrometer und eine plane Strahlteilerfläche angeordnet sind.

Ein Spektrophotometer mit einem reflektierenden Dispersionselement und einer in der Auswertebene angeordneten Vielfach-Photodetektorenanordnung beschreibt fer ner DE 2758 141 A1.

Nachteilig an den bekannten Spektrometern ist die geringe Lichtausbeute bei hoher spektraler Auflösung. Um eine möglichst hohe spektrale Auflösung zu erzielen, ist wegen der Beugungsbegrenzung optischer Systeme typischerweise der Einsatz ei ner oder mehrerer Blenden notwendig. Die vom Messobjekt ausgesendete Licht menge wird durch diese Blenden so eingeschränkt, dass ein möglichst dünnes Strahlenbündel auf die sensitive Fläche der Sensoren trifft. So wird gewährleistet, dass auch kleinere Wellenlängenunterschiede nach dem Durchtreten eines Prismas oder Beugungsgitters durch den nun unterscheidbaren Auftreffort aufgelöst werden können. Die durch die Blende abgeschattete Lichtmenge steht dann nicht mehr zur Auswertung zur Verfügung.

Nachteilig kommt hinzu, dass die in der Lasertechnik typischerweise eingesetzten Bearbeitungsoptiken bereits nur wenig Prozessleuchten transmittieren, da diese auf die Laserwellenlängen optimiert sind. Da bei marktüblichen Spektrometern (zum Bei spiel mit Zeilenkameras oder Fotodiodenarrays) in der Regel mit zeitlicher Integration gearbeitet wird, werden bei besonders lichtschwacher Strahlung sehr lange Integrati onszeiten benötigt, wodurch auch nur sehr geringe Messraten realisierbar sind.

Wünschenswert für die Prozessüberwachung ist somit ein Spektrometer, welches zur Realisierung einer hohen zeitlichen Auflösung (durch Reduktion der Integrationszeit) besonders lichtempfindlich ist und zudem einen hohen Dynamikumfang bietet. Die hohe Dynamik wird benötigt, weil sowohl sehr lichtschwache und sehr helle Prozesse sowohl innerhalb einer Naht als auch von Naht zu Naht auf einem Bauteil erfasst werden müssen. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur spektral aufgelösten Erfassung optischer Strahlung während eines thermischen Prozesses, insbesondere der Laserbearbeitung, bereitzustellen, die aufgrund ihres kompakten Aufbaus unter anderem in einen Laserbearbeitungskopf integrierbar ist, wobei eine spektrale Auflö sung bei gleichzeitig hoher Lichtausbeute ermöglicht sein soll, sodass eine hohe Messrate zur Verfügung steht. Zusätzlich soll eine schnelle Umschaltung zwischen einzelnen Messbereichen und ein großer Dynamikumfang möglich sein.

Die Aufgabe wird durch eine Vorrichtung zur spektral aufgelösten Erfassung opti scher Strahlung mit den kennzeichnenden Merkmalen nach Patentanspruch 1 gelöst. Zweckmäßige Ausgestaltungen der Erfindung finden sich in den Unteransprüchen.

Gemäß der Offenbarung umfasst die Vorrichtung zur spektral aufgelösten Erfassung optischer Strahlung während eines thermischen Prozesses, insbesondere der Laser bearbeitung, wenigstens ein in einem vorgegebenen Wellenlängenbereich lichtsensi tives Element zur spektralen Auflösung, ein reflektierendes Beugungsgitter sowie wenigstens eine Linse zur Fokussierung und/oder Kollimation. Bevorzugt weist die Vorrichtung eine Sammellinse zur Fokussierung und/oder Kollimation und wenigs tens zwei, jeweils in einem vorgegebenen Wellenlängenbereich lichtsensitive Ele mente zur spektralen Auflösung auf.

Vorzugsweise beinhaltet ein lichtsensitives Element mehrere fotoaktive Einzelele mente, d. h. ein lichtsensitives Element ist aus einer Gruppe von fotoaktiven Ein zelelementen gebildet. Zum Beispiel können die lichtsensitiven Elemente zur spektralen Auflösung aus mindestens zwei Einzelelementen, zum Beispiel in Form gruppierter Fotodioden, aufgebaut oder auch als integrierte Bauelemente, zum Bei spiel Fotodiodenarrays, ausgeführt sein.

Die wenigstens eine Linse zur Fokussierung und/oder Kollimation ist vor dem Beu gungsgitter angeordnet, wobei die durch die wenigstens eine Linse auf das Beu gungsgitter gelenkte optische Strahlung vom Beugungsgitter spektral zerlegt und zurück durch die wenigstens eine Linse auf das bzw. jeweils eines der lichtsensitiven Elemente fokussiert wird. Dieses Beugungsgitter kann bereichsweise unterschiedli che Beugungseigenschaften aufweisen. Beispielsweise ist ein erster Bereich speziell für die spektrale Zerlegung von Licht mit Wellenlängen im sichtbaren Bereich und ein zweiter Bereich des Beugungsgitters zur spektralen Zerlegung von Licht mit Wellen längen im nahen Infrarot ausgelegt.

In der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird auf die Komplexität eines gekrümmten Gitters verzichtet und die kollimierende und fokussierende Wirkung durch den dop pelten Strahlendurchgang durch die wenigstens eine Linse als ein optisches Element erreicht. Dies kann ein Objektiv sein, das im einfachsten Fall aus nur einer Linse be steht. Somit wird von der perfekten Kollimation auf dem Gitter abgewichen. Die dabei auftretenden Färb- und Abbildungsfehler verhindern in der Regel den Einsatz einer entsprechenden Anordnung bei hochauflösenden Spektrometern, können jedoch bei geringer spektraler Auflösung, wie in der erfindungsgemäßen Vorrichtung, in Kauf genommen werden.

Erfindungsgemäß weist die Vorrichtung zur spektral aufgelösten Erfassung optischer Strahlung einen Umlenkspiegel, im Folgenden Spiegel genannt, auf, der entlang der Ausbreitungsrichtung der optischen Strahlung vor der wenigstens einen Linse und dem Beugungsgitter angeordnet ist, d. h., die Strahlung wird vom Spiegel durch die wenigstens einen Linse auf das Beugungsgitter gelenkt.

Aufgrund dieser Anordnung der einzelnen optischen Elemente zueinander, insbeson dere der zweifachen Nutzung der wenigstens einen Linse im Strahlengang (nämlich zur Kollimation und/oder Vorfokussierung der Strahlen auf das Beugungsgitter und zur Fokussierung der vom Beugungsgitter spektral zerlegten Strahlen auf die licht sensitiven Elemente), sowie der Integration reflektierender Eigenschaften in das Beu gungsgitter kann die Vorrichtung auf einem vergleichsweise kompaktem Bauraum realisiert werden. Insbesondere lässt sich durch diese Anordnung des Strahlengan ges unter Verwendung eines weiteren Spiegels das lichtsensitive Element mit seiner lichtempfindlichen Oberfläche parallel zu dem in die Vorrichtung eintretenden Pro zesslichtstrahl ausgerichtet anordnen, wodurch der Bauraum minimiert wird. Somit ist eine Integration der Vorrichtung zum Beispiel in einen herkömmlichen Laserbearbei tungskopf ohne wesentliche, raumnehmende Anbauten ermöglicht. Der Vorteil der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist demnach die Möglichkeit, multi spektrale Sensorik in einem vergleichsweise kleinen Bauraum einzusetzen. Aufgrund der spektralen Auswertung werden, beispielsweise bei Schweißprozessen, eine ge genüber dem Stand der Technik verbesserte Fehlererkennung sowie eine Klassifizie rung der Fehler ermöglicht. Durch den Wegfall von Blenden geringer Größe kann die Vorrichtung auch bei Prozessen mit wenig verfügbarem Licht angewendet werden.

Die Vorrichtung ist weiterhin derart ausgebildet, dass der Spiegel als ein reflektieren der Strahlteiler ausgelegt ist, der die einfallende optische Strahlung in mehrere Teil strahlen zerlegt. Hierbei entspricht die Anzahl der Teilstrahlen typischerweise der Anzahl der lichtsensitiven Elemente. Vorzugsweise werden zwei Teilstrahlen erzeugt, die auf je ein lichtsensitives Element gelenkt werden.

Insbesondere kann der Strahlteiler derart ausgeführt sein, dass er Teilstrahlen in de- dizierten, zu den anderen Teilstrahlen unterschiedlichen Wellenlängenbereichen (zum Beispiel VIS und NIR) generiert. Hierfür kann der Strahlteiler aus einer Anord nung von unterschiedlich ausgerichteten teilreflektierenden Spiegeln aufgebaut sein.

Durch eine räumlich gegeneinander verkippte Anordnung der teilreflektierenden Spiegel können die so generierten Teilstrahlen - auch unterschiedlicher Spektralbe reiche - auf benachbarte Bereiche des oder der Beugungsgitter gelenkt werden, gleichzeitig jedoch dieselbe Linse zur Fokussierung und/oder Kollimation nutzen.

Dadurch ist eine optische Aufteilung in zwei oder mehrere Spektralbereiche in der Art möglich, dass diese mit unterschiedlichen lichtsensitiven Elementen erfasst werden.

Somit ergibt sich folgende Funktionsweise der Vorrichtung:

Zur Trennung von primärer Laserstrahlung und sekundärem Prozesslicht kann ein teildurchlässiger Spiegel verwendet werden, welcher dem eigentlichen Messaufbau vorgelagert ist. Das zu analysierende Prozesslicht wird, zum Beispiel mittels eines Achromaten und einer Negativlinse, auf den reflektierenden Strahlteiler gelenkt. Dieser teilt den einfal lenden Prozesslichtstrahl in die gewünschte Anzahl von Teilstrahlen, vorzugsweise in zwei Teilstrahlen, und lenkt diese Teilstrahlen durch die wenigstens eine Linse auf benachbarte Bereiche des oder der Beugungsgitter.

Mittels des Beugungsgitters werden die Teilstrahlen spektral aufgespalten und zu rück durch die wenigstens eine Linse auf jeweils ein lichtsensitives Element fokus siert. Da sich die spektral aufgespaltenen Teilstrahlen fächerförmig vom Beugungsgitter zum lichtsensitiven Element ausbreiten, weisen die lichtsensitiven Elemente bevorzugt eine im Wesentlichen linienförmige Geometrie auf.

Weiter kann vorgesehen sein, dass die Vorrichtung eine mit den lichtsensitiven Ele menten verbundene Auswerteeinrichtung umfasst, die die von den lichtsensitiven Elementen erfassten Lichtmengen ggf. elektronisch verstärkt und - spektral getrennt - auswertet.

Indem das Auslesen der von den lichtsensitiven Elementen erfassten Lichtmengen elektronisch erfolgen und ggf. entsprechend stufenweise verstärkt werden kann, ergibt sich ein hoher Dynamikumfang der Vorrichtung. Insbesondere ist durch Zu- o- der Abschalten von Verstärkungsstufen ein schnelles Umschalten bei schwachen und intensiven Lichtemissionen möglich.

Weiterhin kann vorgesehen sein, dass die lichtsensitiven Elemente eine Mehrzahl von fotoaktiven Einzelelementen umfassen, die vorzugsweise entlang zum Beispiel einer Linie nebeneinander angeordnet sind, wobei jedes dieser fotoaktiven Einzelele mente mit einem separaten Kanaleingang der Auswerteeinrichtung verbunden ist. Vorzugsweise sind alle fotoaktiven Einzelelemente eines lichtsensitiven Elements im selben Wellenlängenbereich sensitiv. Insbesondere kann die Auswerteeinrichtung eingerichtet sein, eine vorgegebene Anzahl benachbarter Kanäle zu Kanal-Gruppen zusammenzufassen, sodass das von den mit diesen Kanälen verbundenen fotoakti ven Einzelelementen jeweils erfasste Licht zu einem einzigen Lichtsignal kombinier bar ist. Somit kann durch eine Reduktion der Auflösung die fotoaktive Fläche vergrößert wer den, sodass durch die nun relativ große fotoaktive Fläche auch bei wenig Licht ein verbessertes Signal-Rausch-Verhältnis erreicht werden kann. Außerdem entfallen bei der nun geringeren Auflösung die Notwendigkeit besonders guter Fokussierung und der Einsatz von Blenden mit geringer Größe, wodurch insgesamt mehr Licht für die Auswertung erfasst wird.

Indem jedes der fotoaktiven Einzelelemente einem dedizierten Eingangskanal der Auswerteeinrichtung zugeordnet ist, kann alternativ oder zusätzlich die Auswerteein richtung eingerichtet sein, nur das Signal von ausgewählten Kanälen zur Auswertung heranzuziehen, während die restlichen Kanäle abgeschaltet bleiben. Auf diese Art kann, da - aufgrund der spektralen Aufspaltung der Teilstrahlen durch das Beu gungsgitter und deren fächerartigen Ausbreitung - auf jede der fotoaktiven Einzelele mente nur Licht eines vorgegeben Wellenlängenbereichs einfällt, das zu analysierende Prozesslicht in einem ausgewählten Frequenzband, d. h. einem ganz eng begrenzten Wellenlängenbereich, analysiert werden. Hierdurch ergibt sich die Möglichkeit, spektral starr begrenzende optische Filter im Messaufbau einzusparen.

Gemäß einer Ausführungsform ist jedes der lichtsensitiven Elemente in einem vorge gebenen, zu dem bzw. den anderen lichtsensitiven Elementen unterschiedlichen Wellenlängenbereich sensitiv. So kann ein erstes lichtsensitives Element im sichtba ren Wellenlängenbereich und ein zweites lichtsensitives Element im nahen Infrarot bereich empfindlich sein. Entsprechend ist gemäß dieses Beispiels die Vorrichtung derart aufgebaut, dass der vom Strahlteiler erzeugte Teilstrahl im sichtbaren Wellen längenbereich auf das erste und der Teilstrahl im nahen Infrarotbereich auf das zweite lichtsensitive Element gelenkt wird.

Durch das gezielte Auslesen und Verrechnen mehrerer bzw. ausgewählter Spektral bereiche kann die Vorrichtung als Quotientenpyrometer so verwendet werden, dass immer die für die zu messende Temperatur idealen Messbereiche verwendet wer den.

Auch eine Realisierung gleichzeitig messender multipler Quotientenpyrometer ist möglich. Somit können auch Messungen erfolgen, die Stützstellen des Planck’schen Strahlungsgesetzes liefern, um eine höhere Genauigkeit der Messung zu ermögli chen.

Eine Ausgestaltung der Vorrichtung sieht vor, dass die lichtsensitiven Elemente 16-kanalige Fotodiodenarrays sind. Hierbei kann ein erstes lichtsensitives Element Silizium-Fotodioden (Si) zur Lichterfassung im sichtbaren Spektrum (VIS) und ein zweites lichtsensitives Element Indiumgalliumarsenid-Fotodioden (InGaAs) zur Lich terfassung im nahinfraroten Spektrum (NIR) beinhalten.

Bei der Nutzung von Beugungsgittern entstehen neben der 1. Beugungsordnung, die die Information der spektralen Aufteilung beinhaltet, sowohl höhere Beugungsord nungen als auch die 0. Beugungsordnung. Diese Beugungsordnung 0 beinhaltet keine direkt auswertbare Information über die spektrale Zusammensetzung des Lich tes. Bei einem vorzugsweise eingesetzten Blaze-Gitter liegt der Hauptanteil der Energie in der 1 . Ordnung, jedoch kann auch die Intensität der 0. Ordnung ver gleichsweise hoch sein, da hierin der komplette Spektralbereich überlagert ist. Optio nal umfasst die Vorrichtung zusätzliche lichtsensitive Elemente (zum Beispiel Fotodioden), die jeweils im Strahlengang der Teilstrahlen zur Erfassung der Beu gungsordnung 0 angeordnet sind. Somit kann durch zusätzliche Bestimmung der Lichtintensität der 0. Ordnung die Gesamtintensität mit hoher Abtastrate im zeitlichen Verlauf erfasst werden.

Weiter kann eine in Ausbreitungsrichtung der optischen Strahlung vor dem reflektie renden Strahlteiler angeordnete Hochenergie-Filtereinheit vorgesehen werden, die hochenergetische optische Strahlung stark dämpft, absorbiert oder auskoppelt. Ins besondere kann eine sog. Bandsperre, auch Bandstoppfilter genannt, eingesetzt sein, die einfallendes Licht eines vorgegebenen engen Frequenzbandes (wie bei spielsweise die Strahlung im Bereich der Laserwellenlänge) stark abschwächt oder vollständig blockiert. Alternativ kann bei der Variante der Auskopplung der hochener getischen Strahlung diese auch durch ein weiteres lichtsensitives Element erfasst und ausgewertet werden.

Zudem kann vorgesehen sein, dass die Auswerteeinrichtung eine hochauflösende Analog-Digitalwandlungseinheit umfasst. Hierbei kann die Analog-Digitalwandlungs- einheit mehrkanalig ausgeführt sein und/oder eine hohe Auflösung von bis zu 20 Bit aufweisen.

Gemäß einer Ausführungsform weisen die lichtsensitiven Elemente eine Anzahl von fotoaktiven Einzelelementen auf, die jeweils für einen vorgegebenen Wellenlängen bereich sensitiv sind, wobei mittels der Auswerteeinrichtung die für eine Strahlungs intensitätsmessung heranzuziehenden Kanäle gezielt auswählbar sind.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert, wobei gleiche oder ähnliche Merkmale mit gleichen Bezugszeichen versehen sind. Dazu zeigen in schematischer Darstellung die

Fig. 1 : eine Vorrichtung in Seitenansicht;

Fig. 2: eine Draufsicht auf die Vorrichtung;

Fig. 3: eine Ausführung des reflektierenden Strahlteilers in Seitenansicht; und Fig. 4: die Ausführung des reflektierenden Strahlteilers in Draufsicht.

Die Vorrichtung gemäß der Figs. 1 und 2 umfasst den Achromaten 6 und die Nega tivlinse 7, durch welche der Strahldurchmesser reduziert und die zu analysierende optische Strahlung 5 auf den reflektierenden Strahlteiler 1 gelenkt wird. Der reflektie rende Strahlteiler 1 teilt die optische Strahlung 5 in die beiden Teilstrahlen 5.1 und 5.2 und lenkt diese durch die fokussierende Linse 3 auf das Beugungsgitter 2.

Das Beugungsgitter 2 zerlegt jeden der beiden Teilstrahlen 5.1 und 5.2 in seine spektralen Bestandteile, sodass diese aufgefächert werden und durch die fokussie rende Linse 3 auf die jeweils zugeordneten lichtsensitiven Elemente 4.1 bzw. 4.2 fal len.

In diesem Ausgestaltungsbeispiel sind die lichtsensitiven Elemente 4.1 bzw. 4.2 li nienförmig ausgebildet, wobei sie eine Mehrzahl benachbart angeordneter fotosensi tiver Einzelelemente 8 umfassen, deren Signalausgänge jeweils separat mit einem dedizierten Eingangskanal einer Auswerteeinrichtung (nicht dargestellt) verbunden sind. Die Figuren 3 und 4 zeigen eine Ausführung des reflektierenden Strahlteilers 1, der die beiden unterschiedlich ausgerichteten teilreflektierenden Spiegel 9 und 10 auf weist. Die Ansichten entsprechen hierbei den Ansichten der Figuren 1 bzw. 2. Ein Teil der einfallenden optischen Strahlung 5, nämlich der sichtbare Wellenlängenbe reich (VIS) wird vom Spiegel 9 reflektiert, während die Strahlung im Nahinfrarotbe reich (NIR) durch den Spiegel 9 transmittiert. Dieser Teil der optischen Strahlung wird vom Spiegel 10 zurück durch den Spiegel 9 (auf das Beugungsgitter 2 - nicht dargestellt) reflektiert. Da beide Spiegel 9 und 10 zueinander verkippt sind, werden die Teilstrahlen 5.1 und 5.2 in jeweils unterschiedliche Richtungen reflektiert, sodass sie auf dem Beugungsgitter 2 (nicht dargestellt) an unterschiedlichen Positionen auf treffen; sie werden gewissermaßen in der 3. Dimension separiert.

Bezugszeichenliste

1 reflektierender Strahlteiler

2 Beugungsgitter 3 Linse

4.1 lichtsensitives Element

4.2 lichtsensitives Element

5 optische Strahlung

5.1 Teilstrahl 5.2 Teilstrahl

6 Achromat

7 Negativlinse

8 fotosensitives Einzelelement

9 teilreflektierender Spiegel 10 teilreflektierender Spiegel