Bekannt ist eine Vorrichtung (DOS 41 27 341) zum selbsttätigen Gießen, Beschichten, Lackieren, Prü- fen und Sortieren von Werkstücken-insbesondere von kreisscheibenförmigen, flachen Substraten aus Kunststoff, wie beispielsweise optischen oder ma- gneto-optischen Datenspeichern-mit mindestens einer die Substrate von einer Herstellstation, beispielsweise einer Spritzgießmaschine, zu den Bearbeitungsstationen weiterbefördernden Transpor- teinrichtung und mit jeweils einer Ablagestation zur getrennten Ablage von fertig bearbeiteten und als einwandfrei befundenen und von mit Fehlern be- hafteten Werkstücken, die gekennzeichnet ist durch eine Substrattransporteinrichtung mit einem längs einer geraden Linie hin und her bewegbaren Trans- portschlitten mit jeweils drei beiderseits des Schlittens angeordneten Transportarmen mit Substrathaltern, einer auf der einen Seite des Transportschlittens vorgesehenen Vakuumbeschich- tungsvorrichtung und einer auf der anderen Seite des Transportschlittens angeordneten Ablageein- richtung mit mindestens je einer Ablage für gut befundene und für auszusondernde Substrate und ei- ner Vorrichtung zur Qualitätsprüfung und mit einer in der Bewegungsrichtung des Transportschlittens der Spritzgießmaschine gegenüberliegend angeordne- ten Karussell-Transporteinrichtung oder einem Drehtisch mit verschiedenen, an seinen Umfang an- geordneten Lackier-, Trocknungs-, Bedruckungs-, Bildkontroll-und Zentriereinrichtungen, wobei der Drehtisch die Substrate in einer Vielzahl von Transportschritten auf einer Kreisbahn um die ver- tikale Rotationsachse des Drehtisches bewegt und wobei der Transportschlitten bei seiner Bewegung in der einen Richtung mit seinem ersten Arm ein erstes Substrat in einem einzigen Transportschritt von der Uberr. ahmestation der Abgabestation zur Ein-bzw. Ausschleusstation der Vakuumbeschich- tungsvorrichtung transportiert und ebenso gleich- zeitig mit dem Transportarm ein zweites Substrat von der Besch chtungsstation zu einer Lackiersta- tion und ebenso ein drittes Substrat von der Lak- kierstation zum Drehtisch bewegt, der sich schrittweise und im gleichen Takt dreht, und wobei der Transportschlitten bei seiner anschließenden Bewegung in entgegengesetzter Richtung ein fertig bearbeitetes Werkstück zur Prüfvorrichtung und ein bereits geprüftes Werkstück von hier aus zur zwei- ten Ablage transportiert.

Bekannt ist weiterhin eine Vorrichtung für den Transport von Substraten von einer Ausgangsstati- on über mehrere Prozeßstationen und zurück zu dieser Ausgangsstation (DOS 44 08 537) mit drei mit Substrat : altern versehenen Karussells und fünf Manipulatoren, wobei im Raum zwischen dem dritten Karussell und der Ausgangsstation ein Ma- nipulator anc-ordnet ist, dessen einer um eine vertikale Achse schwenkbarer Arm während einer Schwenkbewegung ein Substrat vom dritten Karus- sell zu einer im Schwenkbereich vorgesehenen Sam- melstatior. f-_r fehlerhafte oder einwandfreie Substrate befördert.

Bekannt is izeiterhin eine Transportvorrichtung zur Beförceru-g von Substraten, zu der eine Aus- gangsstation : nd mehrere in Reihe oder kreisför- mig angeordne-e Prozeßstationen zur Aufnahme des Substrats gehören, zu denen das Substrat mittels der als Drehtisch ausgebildeten Transportvorrich- tung geleitet und dann an eine Aufnahme-und/oder Übergabestation abgegeben wird, wobei die Aufnah- me und die Obergabe des Substrats vom Drehtisch mittels antreibbaren Substratgreifern erfolgt (DE 195 14 037), wobei der Drehtisch in einer gleich- bleibenden Taktfrequenz angetrieben wird und die Taktfrequenz sich nach der längsten Arbeitszeit- dauer einer beliebigen Prozeßstation richtet, wo- bei das Substrat mittels des drehbar gelagert ausgebildeten Substratgreifers einer oder mehre- ren außerhalb des Drehtisches vorgesehenen Pro- zeßstationen bzw. Satelliten-Prozeßstationen und/oder eine Ausgangsstation bzw. einer Ablage- station zugeführt werden kann.

Bekannt ist schließlich eine Vorrichtung für den Transport von flachen Substraten, beispielsweise von Tabletts von und nach verschiedenen Bearbei- tungsstationen (GB 2 250 495 A) mit zwei Drehtel- lern und mit auf diesem angeordneten Stellmotoren mit Stellgliedern, deren freie Enden mit Saugnäp- fen versehen sind, wobei die Saugnäpfe die Substrate von einem Zuführförderer übernehmen und dazu jeweils eine geradlinige Hubbewegung in ra- dialer Richtung ausführen, die Substrate danach in den Bereich von Bearbeitungstationen schwenken und die Substrate schließlich an einen Rückförde- rer abgeben.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung des eingangs genannten Typs so auszu- bilden, daß sie bei einem minimalen Platzbedarf eine besonders kurze Taktzeit gestattet und ein- fach im Aufbau ist und einen gute Zugang zu allen Bearbeitungstationen ermöglicht.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch ge- löst, daß der Drehtisch eine um seine Drehachse pendelnde, dem Bearbeitungszyklus angepaßte Dreh- bewegung ausführt und dabei die Substrate auf- nimmt, transportiert und abgibt, wobei der Dreh- tisch mit einem in radialer Richtung hin-und herbewegbaren, an seinem freien Ende einen Substratgreifer aufweisenden Transportglied ver- sehen ist, dessen Hubbewegung den Transport des Substrats zu einer Substrataufnahmespindel im Zentrum des zweiten Drehtisches ermöglicht.

Weitere Einzelheiten und Merkmale sind in den Pa- tentansprüchen näher beschrieben und gekennzeich- net.

Die Erfindung läßt die verschiedensten Ausfüh- rungsformen zu ; eine davon ist rein schematisch in den anhängenden Zeichnungen dargestellt, die eine Vorrichtung für den Transport von Compact Disks in der Draufsicht und in drei verschiedenen Arbeitsphasen zeigt.

Die Vorrichtung besteht im wesentlichen aus einem Drehtisch 3 mit mehreren an seinem radial äußeren Bereich angeordneten, sich radial erstreckenden Armen 2,2',..., mit einem Substratgreifer 4,4',..., 14 am jeweils freien Ende jedes Arms 2,2',..., einer Substrat-Zuführstation 5, einem auf der Untersei- te des Drehtisches 3 gelagerten, sich längs eines Armes 2 erstreckenden, in etwa radialer Richtung bewegbaren Transportglied 6 und einem zweiten Drehtisch 7 mit sechs auf einer Kreislinie ange- ordneten, sich jeweils lotrecht erstreckenden Spindeln 8,8',... zur Aufnahme von für gut befunde- nen Substraten 1,1',... und einer zentralen Spindel 9 zur Aufnahme der als Ausschuß erkannten 1, 1',....

Der Drehtisch 3 wird im Takt der Bearbeitung der Substrate um a = 60° hin-und hergedreht (Richtung A-B), wobei ein von der Zuführstation 5 übernommenes Substrat 1 bei einer ersten Schwenk- bewegung von A nach B in den unmittelbaren Be- reich der Beschichtungsstation 10, bei der fol- genden Drehbewegung von A nach B von der Be- schichtungsstation 10 zur Lackierstation 11 und bei der nächstfolgenden Drehbewegung von A nach B von der Lackierstation 11 zur Trockenstation 12 usw. befördert wird, bis das Substrat 1 die Posi- tion oberhalb des Drehtisches 7 erreicht hat.

Gleichzeitig mit dem Fördern des fertig bearbei- teten Substrats 1 bis über eine Position oberhalb des Drehtellers 7 kann der das Substrat 1 halten- de Substratgreifer 14, der am freien Ende des Transportglieds 6 angeordnet ist, das Substrat 1 auf der zentralen Spindel 9 (wie dies Figur 3 zeigt) oder-je nach einem vom Fehler-Prüfgerät 13 erhaltenen Signal-auf einer der Spindeln 8,8',... ablegen.

Bezugszeichenliste 1, 1',... Substrat 2, 2',... Arm 3 Drehtisch 4,4',... Substratgreifer 5 Zuführstation 6 Transportglied 7 Drehtisch 8,8',... Aufnahmespindel 9 zentrale Spindel 10 Beschichtungsstation 11 Lackierstation 12 Trockenstation 13 Fehler-Prüfgerat 14 Substratgreifer 15 Drehachse 16 Drehachse