In vielen Bereichen der Prozeß-und Energietechnik hängt der störungsfreie Betrieb einer Anlage von der einwandfreien Funktion der eingesetzten Steuer-und Sperrventile ab. Zur Vermeidung kostenintensiver, irregulärer Betriebsunterbre- chungen sollten Ventilschäden möglichst bereits im Anfangs- stadium erkannt werden, d. h. bevor ein Ausfall eines Ventils einen Stillstand der Anlage verursachen kann. Beispielsweise führen defekte Ventilsitze zu Leckströmungen, die eine breit- bandige Schallemission erzeugen. Eine Aufnahme und Auswertung der Schallemission eines Ventils kann somit zur Früherkennung von Ventilschäden dienen. Da Ventilfehler somit zu Schäden und teuren Folgekosten führen können, ist eine Diagnose even- tuell mit automatischer Erfassung und programmierbarer Be- wertung der Fehler von großem Nutzen. Statistische Auswertun- gen der Diagnosedaten können sowohl zur Optimierung der War- tungsprozesse und dem rechtzeitigen Ersatz eines schadhaften Ventils als auch zur qualitativen Beurteilung und Klassifi- zierung der Ventilhersteller oder zur Beurteilung der Eignung bestimmter Ventile für verschiedene Prozeßarten dienen.

Aus der EP 0 637 713 A1 ist ein Diagnosesystem bekannt mit einem Körperschallsensor, der am Gehäuse eines Ventils ange- bracht ist und dessen Signal einer Einrichtung zur Erfassung und Speicherung von Körperschallspektren zugeführt wird. Bei intaktem Ventil und bei defektem Ventil ergeben sich unter- schiedliche Verläufe des Schallpegels über der Frequenz.

Durch Bilden des Flachenintegrals und Vorgeben einer tole- rierbaren Abweichung kann ein schadhaftes Ventil erkannt

werden, wobei sich durch diese Messung insbesondere Ver- schleiß, der durch Korrosion, Kavitation oder Erosion ver- ursacht ist, feststellen läßt. Zur Beurteilung wird das Körperschallspektrum in einem Frequenzbereich zwischen 2 kHz und 10 kHz ausgewertet.

In der deutschen Gebrauchsmusteranmeldung mit dem amtlichen Aktenzeichen 299 12 847.4 wird ein Schallaufnehmer, insbe- sondere ein Ultraschallaufnehmer zur akustischen Ventil- diagnose, vorgeschlagen mit einem im wesentlichen topf- förmigen Gehäuse, in dessen Inneren ein piezoelektrisches Meßelement angeordnet ist. Zur Verbesserung der Unempfind- lichkeit gegenüber elektromagnetischen Feldern ist eine Abschirmung mit einer Hülse vorgesehen, deren eine Grund- fläche mit einer elektrisch leitend beschichteten Isolier- scheibe verschlossen wird. Die Meßelektronik ist gegenüber Befestigungsmitteln und somit gegenüber einem Anbauplatz galvanisch entkoppelt. Zur Befestigung am Anbauplatz ist der Boden des topfförmigen Gehäuses an seiner Außenseite mit einem koaxial angeordneten Gewindezapfen versehen. Der Schallaufnehmer ermöglicht es, den von Strömungsgeräuschen in einem Ventilkörper erzeugten Körperschall in einem Frequenz- bereich oberhalb etwa 100 kHz ohne Querempfindlichkeit für elektromagnetische Felder nachzuweisen. Bezüglich weiterer Angaben zum Aufbau des Schallaufnehmers wird auf die oben- genannte Gebrauchsmusteranmeldung verwiesen.

In der deutschen Patentanmeldung mit dem amtlichen Akten- zeichen 199 24 377.8 wird ein Diagnosesystem für ein von einem Stellungsregler über einen Antrieb betätigbares Ventil vorgeschlagen, das eine Einrichtung zur Erfassung, Speiche- rung und Auswertung von an dem Ventil gemessenen Körper- schallspektren aufweist. Um eine besonders zuverlässige Ventildiagnose zu ermöglichen, ist in der Einrichtung zur Erfassung, Speicherung und Auswertung ein bei geringfügig geöffnetem, intaktem Ventil erfaßtes Körperschallspektrum abspeicherbar. Zur Diagnose wird ein bei geschlossenem Ventil

erfaßtes Körperschallspektrum mit dem abgespeicherten ver- glichen und die Ähnlichkeit als ein Kriterium für eine Un- dichtigkeit des Ventils herangezogen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Diagnosesystem und ein Diagnoseverfahren zu schaffen, die sich durch eine verbesserte Zuverlässigkeit des Diagnoseergebnisses auszeich- nen.

Zur Lösung dieser Aufgabe weist das Diagnosesystem der ein- gangs genannten Art die im kennzeichnenden Teil des An- spruchs 1 bzw. das Diagnoseverfahren die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 9 angegebenen Merkmale auf. In den Unter- ansprüchen sind vorteilhafte Weiterbildungen beschrieben.

In vorteilhafter Weise wird gemäß der Erfindung zwischen ei- nem unteren Spektralbereich, in welchem im wesentlichen die Arbeitsgeräusche des Ventils enthalten sind, und einem oberen Spektralbereich, der in bestimmten Betriebszuständen vor- wiegend Fehlergeräusche enthält, unterschieden. Die Grenz- frequenz zwischen diesen beiden Spektralbereichen kann zwi- schen 50 kHz und beispielsweise 200 kHz gewählt werden, da die Arbeitsgeräusche vorwiegend in einem Bereich < 120 kHz auftreten. In jedem Fall wird zur Fehlererkennung ein Spektralbereich des Meßsignals oberhalb einer Frequenz von 50 kHz ausgewertet, der aber nicht unmittelbar bei 50 kHz beginnen muß.

Die Erfindung beruht auf der Erkenntnis, daß die Fehler- geräusche in Gasen überwiegend durch Ultraschallströmung, in Flüssigkeiten überwiegend durch Kavitation entstehen. Ultra- schallströmung entsteht schon bei kleinsten Lecks und ver- ursacht an Kanten und Verengungen Verdichtungsstöße und Ver- dünnungswellen in gasförmigen Medien. Verdichtungsstöße mit spontanen, extrem schnellen Wechseln zwischen lokaler Über- schall-und Unterschallströmung im Gas führen zu energie- reichen, breitbandigen Ultraschallemissionen, deren Spektral-

frequenzen jenen der Kavitation in Flüssigkeiten vergleichbar sind. Als Kavitation wird die Bildung und nachfolgende Kon- densation von Dampfblasen in strömenden Flüssigkeiten, her- vorgerufen durch Geschwindigkeitsänderungen, bezeichnet. Sie entsteht, wenn bei Beschleunigung der Strömung der Druck ört- lich unter den Dampfdruck der Flüssigkeit absinkt, so daß sich Dampfblasen bilden, und wenn es bei anschließender Ver- zögerung durch den dadurch entstehenden Anstieg des stati- schen Drucks über den Dampfdruck wieder zur Kondensation der Dampfblasen kommt. Infolge der plötzlichen Volumenverkleine- rung führt dies zum schlagartigen Zusammenprall der vorher die Dampfblase umgebenden Flüssigkeitsteilchen mit starken Druckstößen. Diese Druckimpulse erzeugen ein Schallsignal mit einer spektralen Verteilung ähnlich derjenigen eines weißen Rauschens, d. h., bis in hohe Frequenzbereiche sind Signal- anteile feststellbar. Eine Verstärkung der Kavitation kann vielfältige Ursachen haben : Beispielsweise abrasiver Ver- schleiß, Ablagerungen oder Sitzbeschädigungen. Insbesondere bei geschlossenem Ventil ist das Auftreten von Kavitations- rauschen ein deutliches Anzeichen für Leckströmungen eines nicht mehr dicht schließenden Ventils. Die Intensität des Kavitationsrauschens ist dabei abhängig von dem Druck, der an dem Ventil anliegt, und dem Prozeßmedium, welches durch das Ventil fließt.

Die Durchströmung von Leckstellen im Ventil erzeugt Arbeits- und Fehlergerausche. Die Fehlergerausche sind vom Aggregat- zustand des Mediums, flüssig oder gasförmig, und von der Medienart weitgehend unabhängige, in ihrer Frequenzverteilung einander ähnliche Ultraschallgeräusche. Im Hinblick auf die spektrale Intensitätsverteilung gilt dies besonders für Fre- quenzbereiche oberhalb 100 kHz. Dagegen sind die Amplituden der Schallspektren von unterschiedlichen niedrigviskosen Flüssigkeiten und Gasen besonders im Frequenzbereich unter- halb von 100 kHz je nach ihren Medieneigenschaften, z. B. den Dampfdrücken der Komponenten, und je nach der lokal im Medium wirksamen Energie der Kavitation bzw. Strömungsänderung wenig

bis deutlich voneinander verschieden. Problematisch für Ultraschalldiagnosen sind mittelviskose Stoffe, bei denen der Schallpegel der Ultraschallgeräusche wegen ungünstiger Dampf- drücke gering ist und daher seine höchsten Amplituden nahe am oder im Frequenzbereich der Arbeitsgeräusche analysiert wer- den mussen. Zudem sind die niederfrequenten Spektralanteile der Fehlergeräusche in realen Prozeßanlagen von Frequenz- spektren unterschiedlichster Arbeitsgeräusche überlagert. Bei hochviskosen Flüssigkeiten sind durch deren geringen Dampf- druck Ventilfehler kaum über eine Auswertung der Ultraschall- fehlergeräusche analysierbar. Sie sind allerdings bei hohen Drücken oder Erwärmung bis nahe vor den Aggregatzustands- wechsel gut analysierbar. Typischerweise sind nur die Ar- beitsgeräusche detektierbar. Zur Erkennung kleiner Lecks ist eine zusätzliche Drucksensorik in den An-und Abstromseiten des Ventils geeignet. Obwohl das Entstehen der Ultraschall- fehlergerausche in Ventilen bei flüssigen und gasförmigen Medien auf unterschiedlichen physikalischen Grundlagen be- ruht, sind diese Geräusche aufgrund ihrer Ähnlichkeiten be- züglich der Frequenzverteilung im oberen Spektralbereich mit denselben Selektions-und Detektionsmitteln und denselben Fehlerkriterien zur Diagnose auswertbar. Zudem sind die Amplitudenverhältnisse aufeinanderfolgender Spektralbänder im Spektralbereich oberhalb 200 kHz in beiden Fällen einander erheblich ähnlicher als im unteren Spektralbereich und so einer gleichartigen Bewertung zugänglich. Störeinflüsse durch eigene oder fremde Arbeitsgeräusche sind wegen deren spektra- ler Verteilung in hohen Frequenzbereichen erheblich geringer.

Zudem werden die relativ kleinen Amplituden der hochfrequen- ten Spektralanteile in Ultraschallfehlergeräuschen von be- nachbarten Geräuschquellen durch Übertragungsmedien und apparative Verbindungen gegenüber den niederfrequenten An- teilen intensiver gedämpft.

Ein weiterer Vorteil der Auswertung lediglich höherer Spek- tralanteile des Schallsignals ist darin zu sehen, daß die Verrohrung, in welche das Ventil in einer prozeßtechnischen

Anlage eingebaut ist, bezüglich Schall wie ein Tiefpaß wirkt.

Daher erreichen hohe Frequenzanteile eines Kavitations- rauschens in benachbarten Komponenten, beispielsweise in be- nachbarten Ventilen, nicht den Schallaufnehmer des überwach- ten Ventils und verfälschen das Meßsignal im hohen Spektral- bereich allenfalls geringfügig. Dies führt zu einem besseren Nutz-/Störsignal-Abstand im ausgewerteten Spektralbereich oberhalb 50 kHz gegenüber dem unteren Spektralbereich, in welchem der überwiegende Teil der Arbeitsgeräusche zu finden ist. Eine Filterung bei einer Grenzfrequenz von beispiels- weise 500 kHz bewirkt, daß praktisch nur das durch das über- wachte Ventil erzeugte Schallsignal ausgewertet wird.

Besonders vorteilhaft ist ein aktives Hochpaßfilter unmittel- bar beim Schallaufnehmer oder vorzugsweise im selben Gehäuse wie der Schallaufnehmer, um bereits im Meßsignal den durch niederfrequente Arbeitsgeräusche hervorgerufenen Anteil zu vermindern. Die Arbeitsgeräusche in einem Spektralbereich unterhalb der Grenzfrequenz 50 kHz wären ohne eine derartige Filterung etwa um den Faktor 1000 stärker als die Schall- signale eines auszuwertenden Spektralbereichs bei etwa 600 kHz. Durch die Filterung wird das aufgenommene Meßsignal von den übermäßig starken niederfrequenten Anteilen des Körperschallsignals befreit. Der Anteil der Arbeitsgeräusche, die in diesem Zusammenhang auch als Störsignale bezeichnet werden können, wird im Meßsignal vermindert und somit ein besseres Nutz-/Störsignal-Verhaltnis erreicht. In vorteil- hafter Weise kann daher die weitere Signalaufbereitung in der Auswerteeinrichtung mit handelsüblichen Verstärkern oder Fil- tern durchgeführt und somit aufwandsarm realisiert werden.

Ein Schallwandler mit einem Wandlerelement aus piezoelektri- schem Material, das derart ausgebildet ist, daß es im Bereich niederfrequenter Arbeitsgeräusche vergleichsweise unempfind- lich, im höherfrequenten Bereich aber empfindlich ist, hat den Vorteil, daß bereits durch das Wandlerelement die Wirkung eines Hochpaßfilters erzielt wird. Auf diese Weise wird ein

aktiver Hochpaß des Schallaufnehmers unterstützt oder kann bei ausreichender Hochpaßwirkung des Schallwandlers gegebe- nenfalls entfallen. Eine Ausfilterung des unteren Spektral- bereichs durch den Aufbau des Wandlerelements aus piezo- elektrischem Material wird bereits durch geeignete Festlegung seiner Resonanzfrequenz erreicht, die neben den Material- eigenschaften durch die geometrischen Abmessungen Durchmesser und Dicke des Wandlerelements bestimmt wird.

Da für eine Auswertung der Signalanteile in bestimmten Spektralbereichen eine Ausfilterung der Signalanteile in den anderen Spektralbereichen mit einer Dampfung von mindestens 80 dB bis zu 120 dB gewünscht wird, ist es besonders vorteil- haft, den Schallaufnehmer in einem Gehäuse zur Abschirmung anzuordnen. Auf diese Weise wird ein sehr guter Schutz gegen die Einstreuung elektromagnetischer oder elektrostatischer Felder erreicht, damit die sehr kleinen Nutzsignale im in- teressierenden Spektralbereich nicht verfälscht werden und gegenüber den großen niederfrequenten Signalanteilen der Arbeitsgeräusche ausreichend in Erscheinung treten.

Zur Impedanzwandlung am Signalabgriff des piezoelektrischen Wandlerelements einsetzbare Transistoren sind in hochtempe- raturfester und dabei rauscharmer Ausführung erhältlich.

Damit für das aktive Hochpaßfilter rauscharme Operations- verstärker verwendbar sind, werden vorteilhaft Mittel zur thermischen Entkopplung des aktiven Hochpaßfilters vom Anbau- platz zwischen Impedanzwandler und aktivem Hochpaßfilter vor- gesehen. Diese Mittel können als eine thermische Isolierung durch eine schlecht wärmeleitende Verbindung zwischen den Gehäuseabschnitten, welche das Wandlerelement mit dem Impe- danzwandler bzw. das aktive Hochpaßfilter aufnehmen, und eine Kühlvorrichtung, beispielsweise einen Rippenkühlkörper, für das aktive Hochpaßfilter realisiert werden. In vorteilhafter Weise wird durch diese Maßnahme der Einsatzbereich des Dia- gnosesystems bezüglich der höchsten zulässigen Temperatur des Prozeßmediums erweitert.

Der Boden des Schallwandlergehäuses kann vorteilhaft an sei- ner Außenseite mit einem Gewindezapfen als Befestigungsmittel versehen werden. Über den Gewindezapfen und die Andruckfläche des Gehäusebodens am Anbauplatz wird eine gute Einkopplung der akustischen Schwingungen zu dem piezoelektrischen Meß- element erreicht. Der Schallwandler kann in einfacher Weise an dem Gehäuse des Ventils oder am Ventilstößel befestigt werden. Eine geschliffene, ebene Kontaktfläche zur Gewähr- leistung einer guten Schallübertragung sowie eine aufwendige Andrückvorrichtung, beispielsweise mit einem Spannband oder einem Magnet, ist nicht erforderlich. Der Schallwandler er- möglicht eine gute Schallkopplung sogar an gekrümmten oder rauhen Oberflächen.

Ein zuschaltbares Hochpaßfilter mit einstellbarer Grenz- frequenz in der Auswerteeinrichtung hat den Vorteil, daß der Einfluß benachbarter Schallquellen je nach Nähe und Filter- wirkung der Verrohrung durch Zuschalten dieses Hochpaßfilters und Verändern der Grenzfrequenz angemessen unterdrückt werden kann. Eine ventil-und medienabhängige Einstellung der Grenz- frequenz ist zudem vorteilhaft, um eine gute Unterscheidung zwischen Grund-und Kavitationsrauschen zu ermöglichen. Bei- spielsweise ist es sinnvoll, die Grenzfrequenz bei einem gas- förmigen Medium niedriger als bei einem flüssigen Medium ein- zustellen, um näherungsweise dieselbe Empfindlichkeit für die Unterscheidung zwischen Grund-und Kavitationsrauschen zu er- reichen.

Zusätzlich kann in der Auswerteeinrichtung ein zuschaltbares Bandpaßfilter mit einstellbarer oberer und unterer Grenz- frequenz vorgesehen werden. Ein derartiges Bandpaßfilter er- laubt in vorteilhafter Weise ein Scannen über verschiedene Spektralbereiche des Meßsignals. Damit ist ein Vergleich der Signalintensität in einem Spektralbereich mit derjenigen in einem anderen Spektralbereich möglich.

Bei Verwendung des zuschaltbaren Bandpaßfilters kann nach dem folgenden Verfahren der Einfluß des Grundrauschens im Meß- signal auf das Meßergebnis vermindert werden. Die Stärke des Grundrauschens im Meßsignal wird bestimmt, indem die Signal- stärke in einem Spektralbereich oberhalb einer zweiten Grenz- frequenz, beispielsweise 1 MHz, gemessen wird, die oberhalb einer ersten Grenzfrequenz, z. B. 500 kHz, liegt und so ge- wählt ist, daß der Meßwert durch Kavitationsgeräusche nur wenig beeinflußt wird. Durch Messen der Signalstärke in einem Spektralbereich zwischen der ersten und der zweiten Grenz- frequenz wird anschließend die Stärke des Kavitations- rauschens gemessen, dem auch das Grundrauschen als Störsignal überlagert ist. Anhand der anfangs bestimmten Stärke des Grundrauschens wird ein Schwellwert festgelegt. Wenn die Stärke des Kavitationsrauschens den Schwellwert übersteigt, wird ein Fehlermeldesignal durch die Auswerteeinrichtung er- zeugt. Damit ist das Meßergebnis weitgehend unabhängig vom Grundrauschen, das je nach Medium und Umgebung des Ventils in der prozeßtechnischen Anlage sowie je nach den Eigenschaften des Ventils selbst stark variiert.

Eine in vorteilhafter Weise weiter an die spezifischen Ge- gebenheiten angepaßte Diagnose kann erreicht werden, indem zur Ermittlung des Schwellwerts das Verhältnis der Stärke des Kavitationsrauschens zur Stärke des Grundrauschens im Neu- zustand des Ventils bestimmt und abgespeichert wird und indem der Schwellwert höher als die mit diesem Verhältniswert mul- tiplizierte Stärke des zur Diagnose gemessenen Grundrauschens gewählt wird.

In vorteilhafter Weise kann zudem anhand zeitlich aufein- anderfolgender Diagnosemessungen eine Trendaussage abgeleitet werden, wann eine Überschreitung des Schwellwerts zu erwarten ist. Damit wird eine Früherkennung und Bewertung sich schlei- chend entwickelnder Fehler ermöglicht, mit welcher Geräte- und Produktfehler vermieden werden können, die ansonsten zu überraschenden Anlagenstillständen mit hohen Folgekosten

führen könnten. Durch eine darauf basierende Koordinierung des individuellen Wartungsbedarfs der einzelnen Anlagen- komponenten können die für eine Wartung der Ventile erforder- lichen Stillstandszeiten der Anlage minimiert werden. Ar- beits-und Fehlergeräusche werden zur Diagnose bei bestimmten Betriebszuständen gemessen und für die Trendermittlung mit zeitlich früher gemessenen, gleichartigen Werten verglichen.

Dabei dient die Ermittlung der Arbeitsgeräusche einer zusätz- lichen Bestimmung der Fehlerart. In Verbindung mit bestimmten Arbeitsfrequenzen lassen zunehmend hohe Signalpegel bestimm- ter höherer Fehlerfrequenzbänder und ihre langsame Verschie- bung zu niedrigeren Frequenzen auf abrasiven Verschleiß der Ventile schließen. Auf Ablagerungen deuten andere Frequenz- korrelationen im mittleren Fehlerfrequenzbereich und zu- nehmende Arbeitsgeräusche hin. Beschädigungen des Ventil- sitzes zeigen eher sprunghafte Frequenzänderungen des Fehler- signals bei verschiedenen Stellungen des Ventils mit wenig geöffnetem Durchlaß, ohne daß sich dabei die Arbeitsgeräusche deutlich verändern. Als Ergebnis der Diagnose können mit der Auswerteeinrichtung entweder eine"Gut"-Zustandsmeldung, eine Fehlervorwarnung oder eine Fehlermeldung erzeugt und ausge- geben werden. Soweit aus dem Meßsignal eine Fehlerart abge- leitet werden kann, wird das Fehlermeldesignal mit einer Kennzeichnung der Fehlerart versehen. Mit der Kenntnis der Fehlerart können geeignete Wartungsmaßnahmen des Ventils eingeleitet werden.

Die Erfindung ermöglicht eine für den Betreiber vorteilige, permanent oder wahlweise nur in bestimmten Betriebszuständen oder Zeitabständen aktivierbare Ventildiagnose, die ohne Ab- schaltung der Anlage möglich und in die Prozeßgeräte sowie in den Prozeßablauf integrierbar ist. Das Diagnosesystem ist aufgrund der Eigenschaften des Schallaufnehmers und der Aus- werteeinrichtung so einfach zu handhaben, daß es an beliebi- gen Regelventilen oder anderen Maschinenteilen, beispiels- weise Durchflußmessern oder Schiebern, ohne Betriebsunterbre- chung nachgerüstet werden kann.

Anhand der Zeichnungen, in denen ein Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt ist, werden im folgenden die Erfindung sowie Ausgestaltungen und Vorteile näher erläutert.

Es zeigen : Figur 1 einen prinzipiellen Aufbau eines Regelventils mit einem Diagnosesystem, Figur 2 ein Blockschaltbild eines Diagnosesystems, Figur 3 ein Frequenzdiagramm eines typischen Meßsignals mit Kavitationsrauschen und Figur 4 eine Prinzipdarstellung eines Schallwandlers.

In eine Rohrleitung 1 einer nicht weiter dargestellten prozeßtechnischen Anlage ist gemäß Figur 1 ein Ventil 2 ein- gebaut, das durch einen entsprechenden Hub eines mit einem Ventilsitz 3 zusammenwirkenden Schließkörpers 4 den Durchfluß eines Mediums 5 steuert. Der Hub wird durch einen pneumati- schen Antrieb 6 erzeugt und mittels einer Ventilstange 7 auf den Schließkörper 4 übertragen. Der Antrieb 6 ist über ein Joch 8 mit dem Gehäuse des Ventils 2 verbunden. An dem Joch 8 ist ein Stellungsregler 9 angebracht, der eingangsseitig über ein an der Ventilstange 7 angreifendes Verbindungsstück 10 den Hub erfaßt, diesen mit einem über eine Datenschnittstelle 11 von einem Feldbus zugeführten Sollwert vergleicht und aus- gangsseitig den pneumatischen Antrieb 6 im Sinne einer Aus- regelung der Regeldifferenz steuert. An dem Gehäuse des Ven- tils 2 ist ein Schallaufnehmer 12 angebracht, dessen Signal 13 als Meßsignal einer Einrichtung 14 zur Erfassung, Speiche- rung und Auswertung von Körperschallspektren zugeführt wird.

Diese Einrichtung 14 ist bei dem gezeigten Ausführungsbei- spiel Bestandteil des Stellungsreglers 9, kann aber alter- nativ von diesem getrennt ausgebildet sein. Die Einrichtung 14 enthält eine Signalaufbereitungsschaltung 15, in der das Meßsignal 13 des Schallaufnehmers 12 verstärkt, gefiltert und digitalisiert wird. In einer nachgeordneten Recheneinheit 16 wird aus dem aufbereiteten Signal 13 beispielsweise durch eine Fast-Fourier-Transformation das Frequenzspektrum er-

mittelt. Dieses kann je nach Anforderung in einem Speicher 17 abgespeichert oder weiter ausgewertet werden, um eine In- formation über den Zustand des Ventils 2 zu erhalten. Die Erfassung, Speicherung und Auswertung der Körperschallspek- tren wird periodisch ausgeführt oder aber die Datenschnitt- stelle 11 veranlaßt, über die auch das Ergebnis der Aus- wertung der Körperschallspektren abfragbar ist.

Alternativ zu dem gezeigten Ausführungsbeispiel können ein- zelne Funktionen der Auswertung aus der Einrichtung 14 in einen an den Feldbus angeschlossenen Personal Computer aus- gelagert und ein digitalisiertes Meßsignal oder Eigenschaften des Meßsignals beschreibende Daten an diesen über die Daten- schnittstelle 11 übertragen werden. Eine derartige Aufteilung bietet wegen gemeinsamer Nutzung der Parametersteuerung für die Signalaufbereitungsschaltung 15 und der Auswertung des aufbereiteten Meßsignals ein besonders günstiges Preis- Leistungs-Verhältnis. Mit den Möglichkeiten eines Personal Computers ist in einfacher Weise eine optimierende Neuro- analyse-Software zur Ventilfehlerstatistik und Fehlertrend- ermittlung anwendbar. Zudem ist eine"lernende"Parametrie- rung der Signalaufbereitungsschaltung 15 zur Anpassung an verschiedene Gegebenheiten am Einbauplatz des Ventils und an verschiedene Ventiltypen und damit eine Selbstoptimierung des Diagnosesystems möglich. Ein derartiges Diagnosesystem ist für eine größere Anzahl zu überwachender Komponenten ver- gleichsweise aufwandsarm realisierbar, weil die dezentral anzuordnenden Schaltungsteile des Systems auf das notwendige Maß reduziert und vereinfacht werden.

Der Schallaufnehmer 12 kann alternativ zur dargestellten Anbringung an der Außenwand des Gehäuses beispielsweise am Joch 8, an einem Verbindungsflansch zwischen Joch 8 und Ge- häuse, an den Flanschen zwischen Gehäuse und Rohrleitung 1 oder an der Ventilstange 7 befestigt werden. Eine Anbringung des Schallaufnehmers an der Ventilstange 7 hat dabei den Vor- teil, daß gerade die hochfrequenten Signalanteile des Körper-

schalls benachbarter Komponenten in der prozeßtechnischen Anlage, welche über die Rohrleitung 1 gedämpft zum überwach- ten Ventil gelangen, durch die üblicherweise in Ventilen ver- wendete Stopfbuchse an der Gehäusedurchführung der Ventil- stange 7 eine zusatzliche Dämpfung erfahren. Andererseits wird der Körperschall des überwachten Ventils über den Schließkörper 4 vorteilhaft unmittelbar auf die Ventil- stange 7 übertragen.

Gemäß Figur 2 erfolgt die Erfassung des Körperschalls durch einen Schallaufnehmer 20, dessen elektronische Komponenten durch ein Gehäuse 19 vor elektromagnetischer und elektro- statischer Einstrahlung geschützt sind. Nahe bei einer Boden- platte des Gehäuses, mit welcher der Schallaufnehmer durch Eindrehen eines Gewindezapfens 29 in eine dazu korrespondie- rende Gewindebohrung an einen Anbauplatz angedrückt wird, ist ein Wandlerelement 21, das aus piezoelektrischem Keramik- material besteht, angeordnet. Zwischen dem Wandlerelement 21 und der Bodenplatte kann zur Filterung des Körperschalls eine Isolierkeramik mit einer durch mikromechanische Fertigungs- methoden erzeugten Struktur vorgesehen werden, die als Hoch- paßfilter wirkt. Dem Wandlerelement 21 ist ein Impedanz- wandler 22 nachgeschaltet, der neben passiven Bauelementen lediglich hochtemperaturfeste, rauscharme Transistoren ent- hält. Die Komponenten Wandlerelement 21 und Impedanzwandler 22 sind der Temperatur am Anbauplatz ausgesetzt. Weitere Teile des Schallaufnehmers 20 werden durch eine thermische Isolierung 23 und einen Kühler 24 vom Anbauplatz thermisch entkoppelt, damit für den Aufbau eines aktiven Hochpaßfilters 25 auch rauscharme, aber weniger hochtemperaturfeste Opera- tionsverstärker einsetzbar sind. Zur Vermeidung elektromagne- tischer Einkopplungen ist am Eingang für eine Versorgungs- leitung 26 ein Filter 27 vorgesehen. Ein von dem aktiven Hochpaßfilter 25 ausgegebenes Meßsignal wurde im Schall- aufnehmer 20 bereits derart gefiltert, daß die in ihrer Intensität um das Tausendfache gegenüber dem Kavitations- rauschen stärkeren Signalanteile der Arbeitsgeräusche des

Körperschalls erheblich vermindert sind und eine Auswertung des Kavitationsrauschens mit einem Meßsignal 28 erheblich er- leichtert wird.

In der Auswerteeinrichtung sind weitere Mittel zur Signal- verarbeitung vorgesehen. Eine Einrichtung zur Signalaufberei- tung besteht aus einem Verstärker 30 mit beispielsweise 5 MHz Bandbreite und einstellbarer oder geregelter Ausgangsspan- nung, einem wahlweise zuschaltbaren Hochpaßfilter 31 mit einstellbarer Grenzfrequenz, einem ebenfalls wahlweise zu- schaltbaren Bandpaßfilter 32 mit einstellbarer oberer und unterer Grenzfrequenz sowie einem Verstärker 33, der mit einem Tiefpaßfilter mit umschaltbarer Grenzfrequenz kombi- niert ist. Das Ausgangssignal des Verstärkers 33 ist zur Auswertung der Intensität des aufbereiteten Meßsignals auf einen Spitzenwertdetektor 34, einen Mittelwertbildner 35 sowie einen Effektivwertbildner 36 geführt. Durch einen Multiplexer 37 kann eines der Ausgangssignale der Bausteine 34,35 oder 36 zur Bewertung der Intensitat des aufbereiteten Meßsignals ausgewählt werden. In einem Schwellendiskriminator 38 wird ein Fehlermeldesignal erzeugt, wenn die Intensität des aufbereiteten Meßsignals einen bestimmten Schwellwert übersteigt. Eine Meldung"Ventilfehler"wird auf einer Lei- tung 39, eine Meldung"Fehlertrend"auf einer Leitung 40 und eine Meldung"Ventil gut"auf einer Leitung 41 an eine Ab- laufsteuerung 42 mit Zustandsspeicher ausgegeben. Die Ablauf- steuerung 42 gibt diese Fehlermeldungen über eine Daten- schnittstelle weiter und erhält von dieser über einen Triggereingang eine Aufforderung zur Durchführung einer Diagnose. Für alle elektronischen Komponenten des Diagnose- systems gemeinsam ist eine Spannungsversorgung und-über- wachung 43 vorgesehen.

An dem Verlauf eines typischen Frequenzspektrums gemäß Fi- gur 3 ist deutlich zu sehen, daß Arbeitsgeräusche im Meß- signal trotz der starken Hochpaßfilterung im Schallaufnehmer noch vergleichsweise stark vorhanden sind. Die Frequenzen mit

maximaler Spitzenspannung VSS der Arbeitsgeräusche sind am oberen Rand des Diagramms mit A und B markiert. Durch ent- sprechende Einstellung der Grenzfrequenzen des Bandpaßfilters (32 in Figur 2) können die Signalanteile in Frequenzbereichen D, E, F und G, die überwiegend durch Kavitationsrauschen ver- ursacht sind, detektiert werden. Mit senkrechten Linien bei Frequenzen C, H und I sind mögliche Grenzfrequenzen markiert, die zur Auswertung der Signalanteile in den jeweiligen Fre- quenzspektren beispielsweise im Hochpaßfilter (31 in Figur 2) oder im Bandpaßfilter (32 in Figur 2) eingestellt werden kön- nen.

Die Trennung des Geräuschspektrums geschieht durch auto- matisch über die verschiedenen Spektralbereiche scannende, ventil-und prozeßadaptive Filterung mit über den Feldbus ladbaren Parameterbasisdaten. Dieses Scannen der Spektral- bereiche kann bei einem bekannten Ventiltyp und bekannten Prozeßrahmenbedingungen mit vorbestimmten Grenzfrequenzen stattfinden oder muß nur ein zur Fehlererkennung charakte- ristisches Frequenzband erfassen.

Nach der Signalaufbereitung folgt eine weitere Verarbeitung der nach Spektralbereichen selektierten Signalanteile. Sie werden nach ihren Spitzenwerten, gleitenden Durchschnitts- werten oder gleitenden effektiven Energieinhalten untersucht.

Die Ergebnisse werden für statistische Zwecke und die weitere Auswertung gespeichert, beispielsweise zur Berechnung der gleitenden Vergleichswerte aus zeitlich kurz zurückliegenden Messungen oder zur Berechnung von Vergleichswerten aus ferne- rer Vergangenheit. Zur Bewertung des Ventilzustands werden die selektierten Signalanteile bezüglich ihrer Intensität mit den Vergleichswerten als Fehlergrenzen verglichen, die Ergeb- nisse gespeichert und entsprechende Fehlermeldesignale er- zeugt.

Wenn der Aufwand es erlaubt, sollte das Meßsignal bereits unmittelbar am Eingang der Auswerteeinrichtung digitalisiert

werden, damit die weiteren Auswertungen beispielsweise mit Signalprozessoren digital erfolgen können. Prinzipiell kann die Auswahl der Signalanteile nach Spektralbereichen, die Ermittlung der Signalpegel und der Energie sowie die einfache Analytik zur Schwellenermittlung, Fehlerbewertung und Trend- bestimmung sowohl analog erfolgen als auch mit Digital- prozessoren. Eine darüber hinausgehende erweiterte Analytik erfordert jedoch größere Rechenkapazität in einem digitalen Signalprozessor oder in einem externen, organisatorisch über- lagerten Gerät, z. B. einem Personal Computer.

Durch den Einsatz der Fuzzy-Technik und selbstlernender, adaptiver Diagnosestrategien auf der Basis neuronaler Struk- turen läßt sich ein vollautomatischer Ablauf der Diagnose erreichen. Insbesondere für eine weitestgehend automatische Fehlerermittlung an einer größeren Anzahl zu überwachender Komponenten ist eine neuronale Auswertung in einer zentralen, über einen Feldbus angekoppelten Recheneinheit, z. B. einem Personal Computer, kostengünstig. Die für die Diagnose be- nötigten Teile an den zu untersuchenden Ventilen können über den Feldbus ferngesteuert eingestellt und die Meßsignale zentral ausgewertet werden. Der Aufwand für die dezentral beim Ventil anzuordnenden Teile ist in diesem Fall auf den Schallaufnehmer und die über den Feldbus ferngesteuerten Schaltungsteile Filterverstärker sowie Signalprozessor mit Analog-/Digital-Umsetzer und Kommunikationsschnittstelle begrenzt. Der Filterverstärker kann zusätzlich in den Schall- aufnehmer integriert werden oder gemeinsam mit dem fern- gesteuerten Signalprozessor und dem Analog-/Digital-Umsetzer eine optionale Zusatzeinheit eines Stellungsreglers für ein Regelventil bilden.

Für eine Fehlergeräuschanalyse an extrem heißen Anlagenteilen ist der Einsatz eines stabförmigen Schallwellenleiters 50 ge- mäß Figur 4 möglich. Er besteht vorzugsweise aus Edelstahl und ist zum Eindrehen eines Gewindezapfens 51 eines Schall- aufnehmers 52 mit einer Gewindebohrung 53 versehen. An einem

gegenüberliegenden Ende weist er einen Gewindezapfen 54 auf, mit welchem er in eine dazu korrespondierende Gewindebohrung an einem Anbauplatz eingedreht werden kann. Auf den Schall- wellenleiter 50 ist ein Rippenkühlkörper 55 aufgepreßt. Zwi- schen Schallwellenleiter 50 und Schallaufnehmer 52 kann eine Abschirmscheibe 56 eingelegt werden, welche den Schallaufneh- mer 52 gegenüber der vom Anbauplatz ausgehenden Wärmestrah- lung abschirmt. Mit dem Schallwellenleiter 55 kann je nach Bedarf der Abstand des Schallaufnehmers 52 zum Anbauplatz an einer heißen Anlagenkomponente vergrößert werden. Er ist ähn- lich einem Verlängerungsstück einsetzbar, an dessen einem Ende der Gewindezapfen 51 eingedreht und dessen anderes Ende mit dem Gewindezapfen 54 in die Gewindebohrung am Anbauplatz eingeschraubt werden kann. Der Gewindezapfen 54 dient sowohl zur Befestigung am Anbauplatz als auch zur Geräuscheinkopp- lung in den Schallwellenleiter 55 und somit in den Schall- aufnehmer 52. Mit dem Schallwellenleiter 50 wird eine gute thermische Entkopplung zwischen einem heißen Anbauplatz und dem Schallaufnehmer 52 erreicht.

Der Schallaufnehmer 52 besitzt eine åußere elektromagnetische Abschirmung 57 und eine innere elektromagnetische Abschirmung 58, die gegeneinander durch eine Hülse 59 elektrisch isoliert sind. Auf der Bodenfläche der äußeren elektromagnetischen Ab- schirmung 57 liegt eine Isolierscheibe 60 aus keramischem Material. Darüber befindet sich ein mikromechanisches Filter 61. Auf der Innenseite der Bodenfläche der elektromagneti- schen Abschirmung 58 ist ein piezoelektrisches Element 62, das ebenfalls aus keramischem Material besteht, angeordnet.

Darüber befindet sich ein weiteres mikromechanisches Filter 63. Zwischen dem mikromechanischen Filter 63 und einem Impe- danzwandler 64 bildet eine Isolierschicht 65 eine thermische Entkopplung. Dem Impedanzwandler 64 ist ein aktives Filter 66 nachgeschaltet, an welches mit Anschlußmitteln 67 ein Kabel 68 zum Abgriff eines Sensorsignals 69 und zur Einspeisung einer Versorgung 70 mit einer Schirmleitung 71 angeschlossen ist. Auf die äußere Abschirmung 57 ist ein Kühlkörper 72 mit

Längsrippen aufgepreßt. Je nach Einbaulage des Schallaufneh- mers kann es zweckmäßig sein, alternativ einen Kühlkörper mit Querrippen zu verwenden.