以下、本発明の好ましい実施形態の一例に� ��き図1~図10を参照して説明する。
 図1は、本例の露光光源30(光源装置)を備え� �投影露光装置(露光装置)を示し、この図1に� �いて、アーク放電型の水銀ランプよりなる� �電ランプ1が、取り付け装置31(保持装置)を介 して絶縁状態で固定板29に固定されている。� ��た、放電ランプ1の陰極及び陽極が可撓性を 持つ電力ケーブル33A及び33Bを介して電源34に� ��続され、放電ランプ1のバルブ部を囲むよう に楕円鏡2(集光ミラー)が不図示のブラケット に固定されている。放電ランプ1のバルブ部� �の発光部は、一例として楕円鏡2の第1焦点付 近に配置されている。放電ランプ1、楕円鏡2� ��取り付け装置31、電力ケーブル33A,33B、及び� ��源34を含んで露光光源30が構成されている(� �細後述)。

 放電ランプ1から射出された光束は、楕円 鏡2によって第2焦点付近に収束された後、シ� ��ッタ3の近傍を通過して発散光となって光路 折り曲げ用のミラー4に入射する。シャッタ3� ��開閉はシャッタ駆動装置3aによって行われ� �シャッタ駆動装置3aは、不図示のシャッタ制 御系で制御される。本実施の形態では、一例 として後述のステージ制御系15が、装置全体� ��動作を統括制御する主制御系14の指令のも� �でシャッタ駆動装置3aを制御する。

 ミラー4で反射された光束は干渉フィルタ 5に入射し、干渉フィルタ5により所定の輝線( 例えば波長365nmのi線)よりなる露光光ILのみが 選択される。なお、露光光ILとしては、i線の 他に、g線、h線、若しくはこれらの混合光等� ��又は水銀ランプ以外のランプの輝線等も使� ��できる。その選択された露光光ILは、フラ� �アイレンズ6(オプティカル・インテグレータ )に入射し、フライアイレンズ6の射出面に配� ��された可変開口絞り7上に多数の2次光源が� �成される。可変開口絞り7を通過した露光光I Lは、第1リレーレンズ8を経てレチクルブライ ンド(可変視野絞り)9に入射する。レチクルブ ラインド9の配置面はレチクルRのパターン面� ��実質的に共役であり、駆動装置9aを介して� �チクルブラインド9の開口形状を設定するこ� ��で、レチクルR上での照明領域が規定される 。また、ウエハWのステッピング時等に不要� �露光光がウエハW上に照射されないように、� ��テージ制御系15が駆動装置9aを介してレチク ルブラインド9を開閉できるようにも構成さ� �ている。

 レチクルブラインド9を通過した露光光IL� ��、第2リレーレンズ10、露光光ILを反射する� �イクロイックミラー11、及びコンデンサレン ズ12を介してレチクルRのパターン面のパター ン領域を照明する。シャッタ3、ミラー4、干� ��フィルタ5、フライアイレンズ6、可変開口� �り7、リレーレンズ8,10、レチクルブラインド 9、ダイクロイックミラー11、及びコンデンサ レンズ12を含んで照明光学系13が構成されて� �る。露光光源30からの光束は、照明光学系13� ��経て露光光ILとしてレチクルR(マスク)を照� �し、レチクルRのパターン領域内のパターン� ��投影光学系PLを介して、フォトレジストが� �布されたウエハW(感光基板)の一つのショッ� �領域上に投影倍率β(βは例えば1/4,1/5等)で露� ��される。以下、投影光学系PLの光軸AXに平行 にZ軸を取り、Z軸に垂直な平面内で図1の紙面 に平行にX軸を、図1の紙面に垂直にY軸を取っ て説明する。

 このとき、レチクルRは、レチクルベース (不図示)上でX方向、Y方向、及びZ軸周りの回� ��方向に微動可能なレチクルステージRST上に� ��持されている。レチクルステージRSTの位置� ��、これに固定された移動鏡17Rに計測用レー� ��ビームを照射するレーザ干渉計18Rによって� ��精度に計測され、この計測値がステージ制� ��系15及び主制御系14に供給されている。その 計測値及び主制御系14からの制御情報に基づ� ��て、ステージ制御系15がリニアモータ等を� �む駆動系19Rを介してレチクルステージRSTの� �置を制御する。

 一方、ウエハWは不図示のウエハホルダを 介してウエハステージWST上に保持され、ウエ ハステージWSTはウエハベース(不図示)上にX方 向及びY方向に移動自在に載置されている。� �エハステージWSTの位置は、これに固定され� �移動鏡17Wに計測用レーザビームを照射する� �ーザ干渉計18Wにより高精度に計測され、こ� �計測値はステージ制御系15及び主制御系14に� ��給されている。その計測値及び主制御系14� �らの制御情報に基づいて、ステージ制御系15 はリニアモータ等を含む駆動系19Wを介してウ エハステージWST(ウエハW)の位置を制御する。

 ウエハWの露光時には、ウエハステージWST によりウエハWの各ショット領域を投影光学� �PLの露光フィールド内に移動する動作と、露 光光源30からの光束を照明光学系13を介して� �チクルRに照射して、レチクルRのパターンを 投影光学系PLを介してウエハW上の当該ショッ ト領域に露光する動作とがステップ・アンド ・リピート方式で繰り返される。これによっ て、レチクルRのパターンの像がウエハW上の� ��ショット領域に転写される。

 なお、この露光に際して予めアライメン� ��を行うために、レチクルRの上方には、レチ クルRに形成されたアライメントマークの位� �を検出するためのレチクルアライメント顕� �鏡20が設置され、投影光学系PLの側面には、� ��エハW上の各ショット領域に付設されたアラ イメントマークの位置を検出するためのアラ イメントセンサ21が設置されている。また、� ��エハステージWST上のウエハWの近傍にはアラ イメントセンサ21等のための複数の基準マー� ��が形成された基準マーク部材22が設けられ� �いる。レチクルアライメント顕微鏡20及びア ライメントセンサ21の検出信号はアライメン� ��信号処理系16に供給され、アライメント信� �処理系16は、例えばそれらの検出信号の画像 処理によって被検マークの配列座標を求め、 この配列座標の情報を主制御系14に供給する� ��主制御系14は、その配列座標の情報に基づ� �てレチクルR及びウエハWのアライメントを行 う。

 次に、本例の投影露光装置の露光光源30を� �成する放電ランプ1及び取り付け装置31の構� �等につき詳細に説明する。
 図2(A)は、図1の露光光源30中の放電ランプ1� �示す一部を切り欠いた図であり、この図2(A)� ��おいて、放電ランプ1は、バルブ部25a及びこ れを挟むように固定されたほぼ対称で円筒状 の2つの棒状部25b,25cからなるガラス管25と、� �方の棒状部25bの端部に連結された口金部26と 、他方の外側に向けて段階的に直径が小さく なる棒状部25cの端部に連結された口金部28と� ��備えている。そのバルブ部25a内に発光部を� ��成するための陽極EL1及び陰極EL2が対向して� ��定され、陰極EL2及び陽極EL1はそれぞれ口金� ��26及び28に接続され、口金部26及び28は電気� �導率及び熱伝導率の良好な金属製である。� �金部26、ガラス管25、及び口金部28は、ガラ� �管25の棒状部25b,25cの中心軸を結び発光部の� �心を通る一つの直線上に配置されている。� �の棒状部25b,25cの中心軸を結ぶ直線に平行な� ��向が放電ランプ1の長手方向Lである。

 口金部26及び28は、基本的に陰極EL2及び陽 極EL1に図1の電源34から電力ケーブル33A及び33B を介して電力を供給するための電力受給端子 として使用される。その他に、口金部26は、� ��ラス管25(放電ランプ1)を保持するための被� �持部としても使用され、口金部26及び28には� ��もにガラス管25から伝導してくる熱を冷却� �るための気体を流す溝が形成されている。

 即ち、陰極EL2に接続された口金部26には� �棒状部25bから開放端側に順に、棒状部25bの� �径の2倍程度の外径の輪帯状のフランジ部26a( 当接部)と、棒状部25bの外径よりも僅かに大� �い外径の円柱状の軸部26b(嵌合部(規定部))と� ��軸部26bよりも外径の小さい円柱状の小径部2 6kと、軸部26bより僅かに小さい外径、あるい� ��軸部26bと略同じ外形の円柱状の固定部26hと� ��形成され、軸部26bと小径部26kとの境界部に� ��面取り部26eが形成され、固定部26hの開放端� ��にも面取り部26iが形成されている。なお、� ��柱状の軸部26bの外形は、棒状部25bの外形と� ��ぼ同じ外形であってもよい。小径部26kは、� ��部26bと固定部26hとの間に、放電ランプ1の長 手方向Lと交差する方向に関して凹部(段部)26f を設けることによって形成される。放電ラン プ1を図1の取り付け装置31に取り付ける際に� �フランジ部26aは対応する部材に当接して、� �ラス管25の発光部の長手方向L(第1方向)にお� �る位置決めの基準となり、軸部26bは対応す� �部材の開口に嵌合して、その発光部の長手� �向Lに直交する面内における位置決めの基準� ��なる。また、固定部26hには、凹部26fによっ� ��被押圧面26gが形成されている。被押圧面26g� ��、長手方向Lに垂直な平面である。放電ラン プ1を図1の取り付け装置31で保持する際に、� �り付け装置31側の付勢機構の一部の部材が凹 部26f側に差し込まれ、その部材によって被押 圧面26gに長手方向Lに沿って口金部26の開放端 側に向かう押圧力が加えられる。従って、面 取り部26e、凹部26f、被押圧面26g、及び固定部 26hより、その付勢機構によって付勢される部 材が形成されている。

 図2(B)は、図2(A)の放電ランプ1のBB線に沿� �た断面図であり、この図2(B)に示すように、� ��ランジ部26aには一例として90°間隔で2箇所� �開口27A,27B(位置決め部)が形成されている。� �の開口27A,27Bに図1の取り付け装置31側の対応� ��る2つのピン70A,70B(図4参照)が差し込まれる� �とで、放電ランプ1の長手方向Lに沿った軸の 周りの位置決めが行われる。すなわち、取り 付け装置31に対し、放電ランプ1の長手方向を 中心とした回転角が決まる。また、放電ラン プ1には発光パワー等が異なる複数の種類が� �り、種類が異なる毎に開口27A,27Bの個数及び/ 又は角度等が異なっている。従って、その開 口の個数は1個又は複数個である。具体的に� �図2(B)とは別の種類の放電ランプのフランジ� ��26aには、図2(C)に示すように、例えば90°間� �で3箇所に開口27A,27B,27Cが形成され、対応す� �取り付け装置には3個のピンが形成されてい� ��。これによって、投影露光装置の露光光源� ��取り付け装置に、仕様と異なる放電ランプ� ��取り付けられることが確実に防止される。

 図2(A)に戻り、軸部26bの外面のフランジ部 26aの近傍から面取り部26e(凹部26f)までの部分� ��、長手方向Lに平行な軸の周りに螺旋状に溝 部26dが形成されている。溝部26dには、後述の 送風装置71(図9参照)から口金部26を冷却する� �めの気体(冷却用媒体)が流され、これによっ てガラス管25で発生した熱が口金部26に伝導� �ても、口金部26を効率的に冷却でき、結果と してガラス管25の冷却も行われる。また、溝� ��26dと図2(B)の開口27A,27Bとの位置関係は、開� �27A,27Bに図1の取り付け装置31の対応するピン� ��差し込んだ状態で、送風装置71(図9参照)か� �溝部26dに対して冷却された気体が効率的に� �給されるように設定されている。

 この陰極EL2側の口金部26において、軸部26b� �固定部26hとの間には、凹部26fが形成されて� �る。すなわち、軸部26bと固定部26hとの間に� �、長手方向Lに直交する面における断面積が� ��部26bよりも小さい小径部26kが設けられてい� ��ため、図1の取り付け装置31の付勢機構の一� ��を容易に差し込むことができる。
 この場合、軸部26b及び小径部26kはそれぞれ� ��手方向Lに平行な軸を中心とした円形断面を 有し、その小径部26kの円形断面の直径は、軸 部26bの円形断面の直径の1/2以下(例えば1/3程� �)であることが望ましい。これによって、そ� ��付勢機構の一部を凹部26fに大きく差し込む� ��とができ、被押圧面26gを口金部26の開放端� �に大きい力で容易に付勢できる。

 また、溝部26dは面取り部26eを通して凹部2 6fに連通しているため、冷却用の気体を長手� ��向Lに沿って円滑に流すことができる。この 場合、溝部26dは軸部26bの表面に螺旋状に形成 されているため、その冷却用の気体によって 軸部26b(口金部26)の全体を効率的に冷却でき� �。なお、螺旋状の溝部26dの代わりに、後述� �るように、軸部26bの表面に長手方向Lにほぼ� ��って直線状に複数の溝部を設け、これらの� ��数の溝部に冷却用の気体を流してもよい。

 また、ガラス管25及び口金部26,28を含む放電 ランプ1全体の長手方向Lの長さをLT1、取り付� ��装置31によって保持される口金部26の長手方 向Lの長さをLT2とすると、長さLT2は次式のよ� �に長さLT1の1/5以上で1/4以下(一例としてLT1の0 .22倍程度)であることが望ましい。
 LT1/5≦LT2≦LT1/4 …(1)
 長さLT2が式(1)の下限以上であることによっ� ��、放電ランプ1を口金部26を介して十分な力� ��安定に図1の取り付け装置31で保持すること� ��できるとともに、口金部26の冷却効果を高� �ることができる。さらに、長さLT2が式(1)の� �限以下であることによって、放電ランプ1全� ��の長さ及び重量を許容範囲内に収めること� ��容易になる。なお、他方の自由端側の口金� ��28の長手方向Lの長さLT3は、例えば長さLT1の1 /8以上で1/5以下(一例として長さLT1の0.15倍程� �)である。

 また、口金部26の軸部26bの表面で図1の取� ��付け装置31の対応する部材の開口と嵌合す� �(接触する)部分の面積は、軸部26bに形成され た溝部26dの面積よりも広いことが望ましい。 これは、図2(A)において、長手方向Lにおける� ��部26bの表面(凸部)の幅M1が、以下のように溝 部26dの幅M2より大きいことを意味する。これ� ��よって、溝部26dに冷却用の気体を流すこと� ��よる冷却効果を高め、かつ軸部26bに対する� ��持力を高めることができる。

 M1>M2   …(2)
 より実用的には、軸部26bの表面で対応する� ��材の開口と嵌合する部分の面積は、溝部26d� ��面積の2倍よりも広い(一例として3倍程度で� ��る。)ことが望ましい。これは、次式が成立 することを意味する。これによって、軸部26b に対する保持力をさらに高め、かつ比較的高 い冷却効果も得られる。

 M1>2・M2 …(3)
 一方、図2(A)の陽極EL1に接続された口金部28� ��、棒状部25c側から開放端側に順に、棒状部2 5cの最大直径より僅かに大きい外径の薄い輪� ��部28hと、輪帯部28hとほぼ同じ外径、あるい� ��輪帯部28hより小さい外径を有する円柱状の� ��部28cと、軸部28cの開放端側の面を僅かな空� ��28dを隔てて覆い、かつ軸部28cに嵌合する円� ��状のカバー部28bとを備える。さらに、円筒� ��のカバー部28bには、その外径が軸部28cの1/3� ��度の円筒状の端子部28aが形成されている。� ��部28cの表面には、開放端側から輪帯部28hに� ��けて長手方向Lに平行な軸の周りに螺旋状に 溝部28fが形成されている。輪帯部28hと軸部28c との間には、凹部28gが形成されており、軸部 28cの溝28fは、この凹部28gに連通している。
また、端子部28aの内部には、端子部28の外部� ��、カバー部28bの内部、すなわち、空間28dと� ��連通する流通穴28eが形成されている。円筒� ��のカバー部28bは、電気伝導率及び熱伝導率� ��良好な金属で形成されている。

 口金部28の端子部28aには、図8に示す電力� ��ーブル33Bが接続される。この電力ケーブル3 3Bには、陽極EL1に接続される電力線の他に、� ��通穴28eを通して溝部28fに冷却された気体(冷 却用媒体)を供給するための配管も収納され� �いる。このように電力ケーブル33Bは、電力� �他に冷却された気体を供給するために使用� �れるため、用力ケーブルとも呼ぶことがで� �、端子部28aは用力受給端子とも呼ぶことが� �きる。電力ケーブル33B及び端子部28aがそれ� �れ電力及び冷却された気体の受給(供給)用に 使用されているため、口金部28及び電力ケー� ��ル33Bをコンパクトに形成することができる� ��

 図2(A)において、電力ケーブル33Bから端子 部28a内の流通穴28eに供給された冷却用の気体 は、口金部28の軸部28cの表面の溝部28fとカバ� ��部28bとで形成された流路内を流れた後、軸� ��28gと輪帯部28hとの間の凹部28gから外側に排� ��される。この際に、溝部28f(流路)が螺旋状� �あるため、口金部28の全体を効率的に冷却で きる。なお、口金部28においても、溝部28fの� ��わりに、軸部28cの表面に長手方向Lにほぼ平 行に設けた複数の溝部を形成しておき、これ らの溝部に冷却用の気体を供給してもよい。

 なお、仮に陰極EL2用の口金部26の溝部26d� �冷却用の気体を供給するのみで、口金部26及 びガラス管25の冷却を十分に行うことができ� ��場合には、陽極EL1用の口金部28には必ずし� �冷却用の気体を流す流路を形成しなくとも� �い。さらに、放電ランプ1において、取り付� ��装置31に保持される口金部26に接続される電 極を陽極として、自由端側の口金部28に接続� ��れる電極を陰極とすることも可能である。

 次に、図3は図1の露光光源30の取り付け装 置31の構成を示し、図4は図3の取り付け装置31 の平面図、図5は図3のAA線に沿う断面図、図6� ��図3のBB線に沿う断面図である。図3において 、ほぼ正方形の平板状のセラミックス製の絶 縁板32の表面に、薄い平板状の底板36が複数� �所でボルト35を用いて固定されている。この 場合、予め底板36の表面の3箇所には、円柱状 のガイド部材37A,37B,37C(図5参照)が、裏面から� ��合されたボルト39Aによって、底板36に固定� �れている。絶縁板32の表面にはボルト39Aを収 納する凹部32aが形成されているため、絶縁板 32の表面に底板36を密着させて固定すること� �できる。底板36の4隅にはボルト40を通すため の開口36aが形成され、その開口36aを通して絶 縁板32は4箇所でボルト40(図5参照)によって固� ��板29に固定されている。この構成によって� �取り付け装置31は固定板29に対して絶縁状態� ��固定されている。

 また、図5に示すように、底板36の左側の2 箇所の隅には断面形状がL字型のフレーム46A,4 6Bが固定され、底板36の右側の2箇所の隅には� ��板状のパネル板47A,47Bが右側に突き出るよう に固定され、パネル板47A,47Bの右端部は平板� �のパネル板47Cで連結されている。フレーム46 A,46B及びパネル板47A,47Bの上に、図4に示すよ� �にほぼ正方形の平板状で中央に大きい円形� �口45a(図3参照)が形成された上板45が固定され ている。上板45には、3箇所のガイド部材37A~37 Cの先端部を通すための3個の小さい開口も形� ��されている。

 図3において、上板45の上面に開口45aを覆� ��ようにボルト51によって輪帯状の位置決め� �50が固定され、位置決め板50の底面に、ほぼ� ��筒状の円筒部材52のフランジ部が例えば4箇� ��でボルト53によって固定されている。位置� �め板50の上面50aには、図2(A)の放電ランプ1の� ��金部26のフランジ部26aが載置され、位置決� �板50の中央の円形開口50b及びこれに続く円筒 部材52の内面には、その口金部26の軸部26bが� �合される。従って、位置決め板50及び円筒部 材52は、一体的に放電ランプ1の口金部26を保� ��するための部材となる。円筒部材52の中心� �に沿った方向を放電ランプ1の移動方向Dと呼 ぶ。

 また、位置決め板50の開口50bとその側面� �を連通するように通気孔50cが形成され、通� �孔50cに図9の送風装置71から冷却された気体� �供給するための可撓性の高い配管73の端子が 連結されている。さらに、位置決め板50の上� ��50aには、図4に示すように、図2(B)の放電ラ� �プ1のフランジ部26aの開口27A,27Bに対応する配 置でピン70A,70Bが固定されている。これによ� �て、位置決め板50上に放電ランプ1のフラン� �部26aを常に同じ角度位置で載置することが� �きる。

 図3において、位置決め板50、上板45、及� �フレーム46A,46Bは互いに電気的に導通し、か� ��放熱効果を高めるように、電気伝導率及び� ��伝導率の良好な金属より形成され、フレー� ��46Aにボルト55を介して電力ケーブル33Aが固� �されている。位置決め板50に図2(A)の口金部26 のフランジ部26aが接触するように放電ランプ 1を保持することによって、電力ケーブル33A� �フレーム46A、上板45、及び位置決め板50を介� ��て口金部26に電力が供給される。同様に、� �筒部材52も熱伝導率の良好な金属製である。

 さらに、上板45上に位置決め板50(円筒部� �52が連結されている)を固定する際には、予� �円筒部材52を囲むようにカップ状で中央に開 口を持つ移動部材41が移動方向Dに沿って移動 できる状態で配置される。移動部材41は、上� ��45側から底板36側に順に、円筒部材52に近接� ��て配置された輪帯部41aと、移動方向Dに対し て底板36側が外側にほぼ5°程度開いた円錐の� ��面状の内面(テーパ面)を持つ傾斜部41bと、� �斜部41bよりもさらに外側に40°程度開いた円� ��の側面状の内面(テーパ面)を持つ収納部41c� �、輪帯部41aよりも大きい輪帯状で3箇所にガ� ��ド部材37A~37C(図5参照)を通すための開口が形 成された駆動部41dとを連結して形成されてい る。輪帯部41aの上端には、図5に示すように� �これをパネル板47A,47Bとほぼ平行に挟むよう� ��2箇所に、小さい平板状の昇降部材48A,48Bが� �定されている。

 また、図5において、移動部材41の駆動部41d� ��は等角度間隔に設けられた3箇所の開口を覆 うようにボルト43によって連結部材42A,42B,42C� �固定され、連結部材42A~42Cの貫通孔にそれぞ� ��ガイド部材37A~37Cが挿通されている。
 図4に示すように、上板45の上面に位置決め� ��50を囲むように配置された3箇所の開口を覆� ��ように、ボルト39Cを用いてほぼ逆U字型の止 め具38A,38B,38Cが固定され、止め具38A~38Cの中央 にそれぞれボルト39Bを用いて図5のガイド部� �37A~37Cの先端が固定されている。さらに、止� ��具38A~38Cと連結部材42A~42Cとの間に、それぞ� �ガイド部材37A~37Cを覆うように圧縮コイルば� ��44A,44B,44C(図5参照)が装着されている。この� �果、移動部材41の駆動部41dには、3箇所の連� �部材42A~42Cを介して圧縮コイルばね44A~44Cによ って移動方向Dに沿って底板36側に押圧力F1が� ��時加えられている。従って、移動部材41の� �帯部41aに固定された昇降部材48A,48Bに、後述� ��切替用リンク機構63によって上板45側に向か う駆動力を加えない限り、移動部材41は円筒� ��材52に沿って底板36側に移動する。

 また、図3において、円筒部材52の側面の� ��板45と底板36とのほぼ中間位置に、ガイド部 材37A~37Cと同じ角度で3箇所の矩形の窓部52a,52b ,52c(図5参照)が形成されている。さらに、円� �部材52の下端部に窓部52a~52cと同じ角度で3箇� ��の凸部52d,52e,52fが形成され、凸部52d~52fにそ� ��ぞれ軸56の周りに回転可能にほぼL字型の固� ��用アーム55A,55B,55C(図6参照)が固定されてい� �。固定用アーム55A~55Cにはそれぞれ代表的に� ��イルばね62Aで示すように、円筒部材52に対� �て外側に回転するような小さいトルクが常� �付与されている。

 図7(A)は図3の固定用アーム55Aの平面断面� �、図7(B)はその固定用アーム55Aの正面図であ� ��、固定用アーム55Aを構成するフレーム57の� �端は軸56を中心とする回転中心Aの周りに回� �可能であり、フレーム57の他端には回転軸60� ��介してローラ61が固定され、フレーム57の中 間の屈曲部には小型軸受け58を介してローラ5 9が固定されている。従って、ローラ59及び61� ��それぞれ回転可能であり、固定用アーム55A� ��軸56の反時計周りに回転することによって� �ローラ61が固定対象面(本例では図2(A)の放電� ��ンプ1の口金部26の被押圧面26g)に付勢される 。

 図3の状態では、移動部材41が円筒部材52� �沿って最も上板45に近い位置にあり、固定用 アーム55A~55Cの屈曲部のローラ59は移動部材41� ��収納部41cに付勢され、ローラ61は円筒部材52 の窓部52a~52cの外側に出ている。従って、図2( A)の放電ランプ1の口金部26の軸部26b及び固定� ��26hは、位置決め板50の開口50b及び円筒部材52 の内面に沿って移動方向Dに自由に移動でき� �。

 図9は、図3の状態から移動部材41を円筒部 材52に沿って最も底板36に近い位置まで降下� �せた状態の一例を示し、この図9において、� ��定用アーム55A(他の固定用アーム55B,55Cも同� �)のローラ59は、移動部材41の傾斜部41bに接触 して円筒部材52の内側に付勢されている。こ� ��結果、固定用アーム55Aには軸56の反時計周� �にトルクが付与され、固定用アーム55Aの他� �側のローラ61は円筒部材52の窓部52aを通して� ��側に差し込まれる。図9の状態では、円筒部 材52内に放電ランプ1の口金部26の軸部26b及び� ��定部26hが嵌合しているため、固定用アーム5 5Aのローラ61は口金部26の凹部26f内に差し込ま れ、さらに固定部26hの上面である被押圧面26g に接触する。この状態では、圧縮コイルばね 44A,44B等の押圧力が移動部材41及び固定用アー ム55Aを介して被押圧面26g(口金部26)に加えら� �るため、口金部26のフランジ部26aが取り付け 装置31の位置決め板50の上面50aに押し付けら� �、口金部26ひいては放電ランプ1は取り付け� �置31によって安定に保持される。従って、固 定用アーム55A~55Cが、口金部26(固定部26h)に底� ��36側への押圧力を付与する部材の一部を構� �している。

 ここで、固定用アーム55A~55Cによる口金部26( 固定部26h)への押圧力を解除するために、移� �部材41の昇降部材48A,48Bを上板45側に引き上げ る切替用リンク機構63の構成につき説明する� ��
 図3において、パネル板47Cのほぼ中央に絶縁 材料からなる回転レバー部64が固定され、パ� ��ル板47Cの内側の回転レバー部64の先端に移� �方向Dに直交する駆動方向Eに移動可能に可動 ロッド65が連結され、可動ロッド65の先端に� �面視がほぼU字型の分岐部材66が固定されて� �る。本例では、一例として回転レバー部64を オペレータが手動で回転することによって、 それに連動して可動ロッド65が駆動方向Eに移 動する。なお、可動ロッド65を移動する機構� ��任意であり、例えば回転レバー部64を用い� �ことなく、延長した可動ロッド65をオペレー タが直接操作してもよい。また、駆動方向E� �移動方向Dに直交していなくともよく、例え� ��移動方向Dにほぼ平行であってもよい。

 図5において、一例として回転レバー部64� ��支持するパネル板47A~47Cはともに絶縁材料か ら形成されている。そして、分岐部材66の2箇 所の先端部には軸66A,66Bを介して回転可能に� �長いリンク部材67A,67Bの一端が連結され、リ� ��ク部材67A,67Bの他端にローラ69A,69Bが回転可� �に連結され、移動部材41の上端の輪帯部41aに 固定された昇降部材48A,48Bに底面側からロー� �69A,69Bが接触可能である。さらに、パネル板4 7A,47Bの上部に軸68C,68Dを介して回転可能に細� �いリンク部材68A,68Bの一端が固定され、リン� ��部材68A,68Bの他端は軸67C,67Dを介してリンク� �材67A,67Bの中間位置(リンク部材の一端部と他 端部との間の位置)に連結されている(図3参照 )。このように、回転レバー部64、可動ロッド 65、分岐部材66、リンク部材67A,67B、リンク部� ��68A,68B、及びローラ69A,69Bを含んで切替用リ� �ク機構63が構成されている。

 なお、移動部材41と切替用リンク機構63のリ ンク機構との機械的な干渉を確実に防止する ために、図5に示すように、移動部材41の収納 部41c及び駆動部41dの点線で囲まれた2箇所の� �部147A及び148Bを削除してもよい。
 図10(A)及び(B)は、図3において、切替用リン� ��機構63の手前側のリンク部材67B,68B等を表示� ��た図に相当し、かつ取り付け装置31に放電� �ンプ1の口金部26が保持されている状態を示� �、図10(A)のように、回転レバー部64を操作し� ��可動ロッド65を駆動方向Eに沿って右端部ま� ��移動した状態では、リンク部材67B(図5のリ� �ク部材67Aも同様)がほぼ可動ロッド65に平行� �なり、移動部材41は移動方向Dに沿って最下� �まで降下する。この結果、図3の固定用アー� ��55Aのローラ61が口金部26の固定部26hを下方に 付勢して、口金部26は安定に保持される。

 これに対して、図10(B)のように、回転レ� �ー部64を操作して可動ロッド65に付勢力F3を� �えて駆動方向Eに沿って左端部まで移動した� ��態では、リンク部材68Bの回転によってリン� ��部材67Bの先端部のローラ69B(図5のローラ69A� �同様)は上昇し、これによって昇降部材48B及� ��移動部材41が上昇する。この結果、図3に示� ��ようにコイルばね62Aによって固定用アーム5 5Aが外側に収納部41cに接触するまで回転し、� ��ーラ61が円筒部材52の窓部52aの外に出るため 、口金部26の固定部26hを円筒部材52から引き� �いて、放電ランプ1を取り付け装置31から取� �外すことができる。

 このように図5の切替用リンク機構63を用� ��ることによって、取り付け装置31に対する� �電ランプ1の口金部26の固定と解除とを、容� �に切り替えることができる。なお、切替用� �ンク機構63の他に、図3の移動部材41を移動方 向Dに沿って上昇させる任意の機構を用いる� �とができる。例えば、図5のリンク部材68A,68B の先端部に直接ローラ69A,69Bを固定し、オペ� �ータがリンク部材68A,68Bを回転することによ� ��て移動部材41の昇降部材48A,48Bを上昇させる� ��うな機構も用いることができる。

 上述のように本例の取り付け装置31は、� �3~図6に示す絶縁板32、底板36、上板45、フレ� �ム46A,46B、及びパネル板47A~47Cからなるフレー ム機構と、位置決め板50及び円筒部材52から� �り放電ランプ1の口金部26を保持する部材と� �口金部26の固定部26hに押圧力を付与するため の固定用アーム55A~55Cと、移動部材41、ガイド 部材37A~37C、連結部材42A~42C、コイルばね62A等� ��及び圧縮コイルばね44A~44C(弾性部材)を含み� ��定用アーム55A~55Cに付勢力を与える機構と、 この機構による固定用アーム55A~55Cに対する� �勢力を解除するための切替用リンク機構63と 、図8の口金部28側の電力ケーブル33Bと、電力 ケーブル33Bに冷却された気体を供給する気体 供給装置(不図示)と、図3の配管73と、配管73� �冷却された気体を供給する図9の送風装置71� �を含んで構成されている。

 図9において、送風装置71は、取り入れ口7 2から取り込んだ気体(例えば空気)の除塵を行 うフィルタ部71aと、フィルタ部71aから供給さ れた気体を冷却する冷却部71bと、冷却部71bか ら供給された気体を配管73側に所定流量で供� ��する送風部71cとを備えている。なお、例え� ��円筒部材52の外面に温度センサを設け、こ� �温度センサの計測結果に基づいて冷却部71b� �おける設定温度を制御してもよい。

 次に、本例の図2(A)の放電ランプ1を図3の取� ��付け装置31に着脱する際の動作の一例につ� �図8~図10を参照して説明する。
 図8は、放電ランプ1を取り付け装置31に装着 した状態を示す図、図9は図8中の放電ランプ1 の口金部26及び取り付け装置31を示す拡大図� �図10(A)及び(B)は図3に対応させて切替用リン� �機構63の動作を示す図である。

 先ず、取り付け装置31に放電ランプ1を装� ��する際には、図10(B)に示すように(この段階� ��は取り付け装置31に口金部26は装着されてい ない。)、オペレータが切替用リンク機構63を 操作して付勢力F3によってローラ69Bを押し上� ��、昇降部材48Bを介して移動部材41を上板45側 に上昇させて、固定用アーム55A(図6の他の固� ��用アーム55B,55Cも同様)の先端部(図3のローラ 61)を円筒部材52の窓部52aから引く抜く。この� ��態で、オペレータが、位置決め板50の開口� �び円筒部材52の内面に図2(A)の放電ランプ1の� ��金部26の固定部26h及び軸部26bを嵌合させる� �この際に、口金部26には図2(A)に示すように� �取り部26i及び26eが形成されているため、固� �部26h及び軸部26bを円滑に位置決め板50の開口 及び円筒部材52の内面に差し込むことができ� ��。

 次に、図10(A)に示すように、オペレータ� �切替用リンク機構63を操作してローラ69Bを降 下させると、圧縮コイルばね44A(及び図5の圧� ��コイルばね44B,44C)の押圧力F1によって移動部 材41は底板36側に付勢される。この際に、図3� ��示すように、固定用アーム55Aのローラ59が� �動部材41の収納部41cから傾斜部41bに移動し、 押圧力F1によって固定用アーム55Aには軸56を� �心とした反時計周りのトルクが作用する。� �して、図8に示すように、固定用アーム55Aの� ��ーラ61が円筒部材52の窓部52aを通して口金部 26の凹部26f側に差し込まれ、さらにローラ61� �口金部26の被押圧面26gを底板36側に付勢する� ��この状態で、円筒部材52の内面に沿った口� �部26の移動方向Dと、放電ランプ1の長手方向� ��は一致している。そして、口金部26のフラ� �ジ部26aが位置決め板50の上面50aに密着し、口 金部26の軸部26bが位置決め板50の開口50b及び� �筒部材52の内面に嵌合した状態で、放電ラン プ1は取り付け装置31によって安定に保持され る。

 図8において、さらに他方の口金部28の端� ��部28aに可撓性の高い電力ケーブル33Bが連結� ��れる。電力ケーブル33Bから端子部28aには電� ��が供給されるとともに、電力ケーブル33B内� ��配管を介して口金部28の溝部28fとカバー部28 bとの間の流路に冷却された気体が供給され� �。供給された気体は、軸部28cと輪帯部28hと� �間に形成された凹部28gを介して排気され、� �金部28は効率的に冷却される。

 また、取り付け装置31で保持される口金� �26には、電力ケーブル33A、フレーム46A、上板 45、及び位置決め板50を介して電力が供給さ� �、ガラス管25内で発光が行われる。さらに、 図8の要部を拡大した図9に示すように、送風� ��置71から配管73を介して位置決め板50の通気� ��50cに冷却された気体が供給される。供給さ� ��た気体は、矢印74A,74B,74Cで示すように、通� �孔50c、口金部26の溝部26dと円筒部材52との間� ��流路、及び凹部26fを経て、円筒部材52の窓� �52a(及び他の2箇所の窓部)の外に排気される� �これによって、口金部26及びガラス管25が効� ��的に冷却される。

 次に、例えば放電ランプ1を交換するため に、図8の取り付け装置31から放電ランプ1を� �り外す場合には、図10(B)に示すように、オペ レータが切替用リンク機構63を操作して、ロ� ��ラ69B及び昇降部材48Bを介して移動部材41を� �板45側に上昇させて、固定用アーム55Aの先端 部(図3のローラ61)を円筒部材52の窓部52aの外� �出す。この後、オペレータが、口金部26を位 置決め板50及び円筒部材52から引き抜くこと� �よって、取り付け装置31から容易に放電ラン プ1を取り外すことができる。

 このように本例の放電ランプ1及び取り付 け装置31を備えた露光光源30によれば、切替� �リンク機構63によって、固定用アーム55A~55C� �よる放電ランプ1の口金部26の固定部26hに対� �る押圧を解除するのみで、取り付け装置31に 対する放電ランプ1の取り外し及び装着を容� �に短時間に行うことができる。また、切替� �リンク機構63によって、その固定用アーム55A ~55Cによる固定部26hに対する口金部26の移動方 向D(放電ランプ1の長手方向Lと等しい)への押� ��を開始するだけで、放電ランプ1は、圧縮コ イルばね44A~44Cの付勢力によって定まるほぼ� �定の押圧力で位置決め板50に押圧されて固定 される。従って、その圧縮コイルばね44A~44C� �ばね定数等を調整することによって容易に� �放電ランプ1を取り付け装置31に固定する際� �押圧力を目標とする範囲内に設定できる。

 また、図9の送風装置71から口金部26の溝部26 dに冷却用の気体を供給すると、その気体が� �金部26の表面に沿って固定部26h側に流れるた め、簡単な機構で放電ランプ1の冷却を効率� �に行うことができる。
 また、本例の取り付け装置31は、図9に示す� ��うに、移動方向Dに対して傾斜した内面(テ� �パ面)を持つ傾斜部41bを有し、圧縮コイルば� ��44A~44Cの弾性力が作用して移動方向Dに沿っ� �移動する移動部材41と、傾斜部41bの内面と当 接して移動部材41の移動方向Dの移動を口金部 26の凹部26fへの挿入方向の移動に変換し、先� ��のローラ61が凹部26fに挿入される固定用ア� �ム55A~55Cとを有し、固定用アーム55Aによって� ��押圧面26gを付勢しているため、容易に口金� ��26に移動方向Dの押圧力を与えることができ� ��。

 なお、移動部材41に押圧力F1を与える部材 としては、圧縮コイルばね44A~44Cの他に、引� �張りコイルばね、又は板ばね等も使用でき� �。また、固定用アーム55A~55Cは、口金部26の� �囲に等角度間隔で複数個(ここでは3個)配置� �れているため、口金部26を均一な力で取り付 け装置31に保持できる。なお、例えば1つの固 定用アーム55Aのみで口金部26を固定すること� ��可能である。

 また、図8において、本例の口金部28側の� ��力ケーブル33Bには、電力供給用のケーブル� ��冷却された気体を供給する配管とが並列に� ��納されている。しかしながら、その電力ケ� ��ブル33Bとして、電力と冷却用気体とを導く� ��電体で形成された柔軟性のある管状ケーブ� ��を用いてもよい。これによって、電力ケー� ��ル33Bの構成を簡略化できる。

 次に、上記の図8及び図9に示す放電ランプ1� ��び取り付け装置31を備えた露光光源を、図1� ��投影露光装置の露光光源30として使用する� �合の製造方法又は使用方法(稼働方法)の一例 につき説明する。
 その製造方法の一例は、図1の放電ランプ1� �2つの電極間の放電により発生した光によっ� ��ウエハWにレチクルRのパターンの像を露光� �る投影露光装置の製造方法であって、放電� �ンプ1を保持するための図8に示す取り付け装 置31に、放電ランプ1の一方の口金部26を介し� ��放電ランプ1を装着するステップS1と、放電� ��ンプ1の他方の口金部28の端子部28aに電力ケ� ��ブル33B(用力ケーブル)を接続するステップS2 と、そのように装着された放電ランプ1の口� �部26を取り付け装置31に装着された状態で冷� ��するステップS3とを備えている。これによ� �て、放電ランプ1を効率的に冷却できる。

 この場合、そのステップS1は、さらに取� �付け装置31の位置決め板50の開口50b及び円筒� ��材52の内面に口金部26の一部(軸部26b及び固� �部26h)を挿入するステップS11と、取り付け装� ��31に挿入された口金部26に対して放電ランプ 1を保持するための押圧力(保持力)を付勢する ステップS12と、取り付け装置31の円筒部材52� �口金部26の溝部26dとの間に冷却用気体の流路 を形成するステップS13とを含むことができる 。

 さらに、そのステップS3は、そのステップS1 3で形成された流路に図9の送風装置71から冷� �用気体を供給するステップ31を含むことがで きる。このようにほぼ密閉された流路に冷却 用気体を流すことによって、口金部26をより� ��率的に冷却できる。
 また、さらに電力ケーブル33Bが接続された� ��金部28を、電力ケーブル33Bを介して供給さ� �た冷却用液体により冷却するステップS4を含 むこともできる。これによって、口金部28も� ��却され、ひいては放電ランプ1のガラス管25� ��効率的に冷却できる。

 次に、本発明の放電ランプの実施形態の� ��の種々の例につき図11~図18を参照して説明� �る。以下で説明する種々の放電ランプもそ� �ぞれ図3及び図4の取り付け装置31に容易に着� ��できるとともに、必要に応じて固定する力� ��容易に目標とする範囲内に設定できる。そ� ��て、それらの放電ランプを取り付け装置31� �装着して構成される光源は、図1の露光装置� ��露光光源30として使用できる。また、図11(A) ~(D)、図12(A)~(D)、図13(A)~(C)、図14(A)、(B)、及び 図15(A)、(B)に示す放電ランプ1A~1Oは、いずれ� �、その一方の口金部の軸部の表面の溝部(又� ��その表面自体)と、対応する図3の取り付け� �置31の円筒部材52との間に形成される流路に� ��却用媒体(気体又は液体)を流すものであり� �図15(C)、(D)に示す放電ランプ1P,1Qは、その一� ��の口金部の軸部の内部を通過するように、� ��ランジ部近傍と固定部(被付勢部)との間に� �えられた流体路に冷却用媒体を流すもので� �り、図18(A)、(B)に示す放電ランプ1AA、1ABは、 その一方の口金部に、嵌合部として機能する 部分と、冷却用媒体が接触する部分とを分け たものである。以下、図11~図18において、図2 (A)及び図2(B)に対応する部分には同一又は類� �の符号を付してその詳細な説明を省略又は� �略化する。

 先ず、図11(A)の放電ランプ1Aは、内部で発 光部が形成されるバルブ部25aを含むガラス管 25Aを長手方向に挟むように、その発光部を形 成するための陰極及び陽極(不図示)がそれぞ� ��接続された口金部26A及び28を固定して構成� �れ、一方の口金部26Aが図3(A)の取り付け装置3 1によって固定される。なお、そのガラス管25 Aの棒状部25Ab,25Acの段差形状は、図2(A)の放電� ��ンプ1のガラス管25の棒状部25b,25cと僅かに異 なっているが、発光する照明光の波長及び出 力はほぼ同じである。

 また、図11(A)の放電ランプ1Aの口金部26Aは 、その軸部26b(嵌合部)に形成された溝部26Adが 、図2(A)の口金部26の溝部26dとは逆周りの螺旋 状に(例えばねじ用の溝状に)形成されている� ��と、その軸部26bの先端に凹部26fとほぼ同じ� ��面形状の円柱状の先端部26jが形成されてい� ��点とが、図2(A)の口金部26と異なっている。� ��部26Adのフランジ部26a(当接部)側の始点と開� ��27Bとの位置関係は、口金部26Aを図3の取り付 け装置31に装着したときに、図9の送風装置71� ��ら図3の位置決め板50の通気孔50cに供給され� ��冷却された気体(冷却用媒体)が、溝部26Adの� ��点に流入するように設定されている。これ� ��よって、口金部26Aひいては放電ランプ1Aが� �率的に冷却される。

 次に、図11(B)の放電ランプ1Bは、ガラス管 25Aを口金部26B及び28で挟んで構成され、口金� ��26Bの軸部26bのフランジ部26aの近傍にリング� ��の切り欠き部26c(溝部)が形成され、この切� �欠き部26cに溝部26Adが連通している点が、図1 1(A)の放電ランプ1Aと異なっている。この結果 、放電ランプ1Bの口金部26Bを図3の取り付け装 置31に装着した場合、溝部26Adの始点と開口27B との位置関係に関係なく、図9の送風装置71か ら図3の位置決め板50の通気孔50cに供給された 冷却された気体が、切り欠き部26cを介して溝 部26Adに流入する。これによって、溝部26Adの� ��工が容易になる。

 次に、図11(C)の放電ランプ1Cは、その口金 部26Cの軸部26bのフランジ部26aの近傍にリング 状の切り欠き部26Ccが形成され、この切り欠� �部26Ccと凹部26f(段部)とを連通するように、� �部26bの表面に、ガラス管25Aの長手方向Lに平� ��に複数の溝部26Cdが形成されている点が、図 11(A)の放電ランプ1Aと異なっている。この結� �、放電ランプ1Cの口金部26Cを図3の取り付け� �置31に装着した場合、図9の送風装置71から図 3の位置決め板50の通気孔50cに供給された冷却 された気体(冷却用媒体)が、切り欠き部26Cc及 び溝部26Cdを介して凹部26f側に流れる。これ� �よって、放電ランプ1Cが効率的に冷却される 。

 次に、図11(D)の放電ランプ1Dは、その口金 部26Dのフランジ部26Daに溝部D1が設けられ、軸 部26bの表面に長手方向Lに沿って、長手方向L� ��平行な軸を中心とする複数のリング状の切� ��欠き部26Dkが形成され、これらの切り欠き部 26Dkの間の軸部26bに交互に例えば180°異なる間 隔で溝部D2が形成されている点が、図11(A)の� �電ランプ1Aと異なっている。この結果、放電 ランプ1Dの口金部26Dを図3の取り付け装置31に� ��着した場合、図9の送風装置71から図3の位置 決め板50の通気孔50cに供給された冷却された� ��体が、溝部D1、切り欠き部26Dk、及び溝部D2� �介して軸部26bの表面を流れるとともに、溝� �D1からガラス管25A側に排気される。これによ って、口金部26D及びガラス管25A、ひいては放 電ランプ1Dが効率的に冷却される。

 次に、図12(A)の放電ランプ1Eは、その口金 部26Eの軸部26bの表面に長手方向Lに沿って、� �手方向Lに平行な軸を中心とする複数のリン� ��状の切り欠き部26Ek(横溝)が形成され、これ� ��の切り欠き部26Ekの間の軸部26bが複数の放熱 用のフィンとして作用する点が、図11(A)の放� ��ランプ1Aと異なっている。この結果、放電� �ンプ1Eの口金部26Eを図3の取り付け装置31に装 着した場合、図9の送風装置71から図3の位置� �め板50の通気孔50cに供給された冷却された気 体が、切り欠き部26Ekを介して軸部26bの表面� �流れて、放電ランプ1Eが効率的に冷却される 。

 次に、図12(B)の放電ランプ1Fは、その口金 部26Fの軸部26bの表面に長手方向Lに沿って、� �手方向Lに平行な軸を中心とする複数のリン� ��状の切り欠き部26Fkが形成され、これらの切 り欠き部26Fkの間の軸部26bの90°間隔の4箇所に それぞれ溝部G1,G2,G3(4番目の溝部は不図示)が� ��成されている点が、図11(A)の放電ランプ1Aと 異なっている。放電ランプ1Fの口金部26Fを図3 の取り付け装置31に装着した場合、図9の送風 装置71から図3の位置決め板50の通気孔50cに供� ��された冷却された気体が、切り欠き部26Fk及 び溝部F1等を介して軸部26bの表面を凹部26f側� ��流れるため、放電ランプ1Fは効率的に冷却� �れる。

 次に、図12(C)の放電ランプ1Gは、その口金部 26Gの軸部26bのフランジ部26aの近傍に切り欠き 部26cが形成され、この切り欠き部26cに連通す るように、軸部26bの表面に回転方向が異なる 2つの螺旋状の溝部26d及び26Gdが交差して形成� ��れている点が、図11(B)の放電ランプ1Bと異な っている。
 一方、図12(D)の放電ランプ1Hは、その口金部 26Hの軸部26bのフランジ部26aの近傍に切り欠き 部26cが形成され、この切り欠き部26cに連通す るように、軸部26bの表面に多条ねじ(本例で� �2条ねじ)状に螺旋状の複数の平行な溝部26Hd� �形成されている点が、図11(B)の放電ランプ1B� ��異なっている。これらの放電ランプ1G(又は1 H)は、2つの溝部26d,26Gd(又は複数の溝部26Hd)に� ��って冷却された気体が流れるため、特に冷� ��効果に優れている。

 次に、図13(A)の放電ランプ1Iは、その口金 部26Iの軸部26bの先端部の図3の固定用アーム55 A等によって付勢される部分のうち、被押圧� �26Igがガラス管25Aの長手方向に垂直な平面に� ��して緩やかに傾斜している点と、被押圧面2 6Igとともに固定部26hを挟む面取り部26Iiが、� �押圧面26Igとほぼ対称に緩やかに傾斜してい� ��点とが、図11(A)の放電ランプ1Aと異なってい る。その放電ランプ1Iの口金部26Iを図3の取り 付け装置31に装着したときに、被押圧面26Igに 対する固定用アーム55A等からの付勢力を高め ることができる場合がある。この場合には、 放電ランプ1Iをより安定に保持できる。

 一方、図13(B)の放電ランプ1Jは、その口金 部26Jの被押圧面26Jgが、図13(A)の被押圧面26Ig� �は逆方向に傾斜して、固定部26hがお椀型で� �る点が、図11(A)の放電ランプ1Aと異なってい� ��。図3の固定用アーム55A等の支持方法等によ っては、その放電ランプ1Jの口金部26Jを図3の 取り付け装置31に装着したときに、被押圧面2 6Jgに対する固定用アーム55A等からの付勢力を 高めることができる場合がある。この場合に も、放電ランプ1Jをより安定に保持できる。

 また、図13(C)の放電ランプ1Kは、その口金部 26Kの固定部26Khの形状が小さい点が、図11(A)の 放電ランプ1Aと異なっている。これによって� ��図3の取り付け装置31の構成を小型化できる� ��合がある。
 次に、図14(A)の放電ランプ1Lは、その口金部 26Lの軸部26bのフランジ部26aの近傍に切り欠き 部26cが形成され、この切り欠き部26cに連通す るように、軸部26bの表面に回転方向が異なる 2つの多条ねじ(例えば2条ねじ等)の螺旋状の� �数の溝部26Ld及び26Hdが交差して形成されてい る点が、図11(B)の放電ランプ1Bと異なってい� �。

 一方、図14(B)の放電ランプ1Mは、その口金 部26Mの軸部26bのフランジ部26aの近傍に切り欠 き部26cが形成され、この切り欠き部26cに連通 するように、軸部26bの表面に多条ねじ(例え� �2条ねじ)状の螺旋状の複数の平行な溝部26Ld� �、多条ねじ(例えば3条ねじ)状で長いピッチ� �螺旋状の複数の平行な溝部26Mdとが交差する� ��うに形成されている点が、図11(B)の放電ラ� �プ1Bと異なっている。これらの放電ランプ1L� ��び1Mによれば、冷却用媒体が流れる溝部が� �加しているため、特に冷却効果に優れてい� �。

 次に、図15(A)の放電ランプ1Nは、その口金 部26Nの軸部26bの先端部の図3の固定用アーム55 A等によって付勢される部分において、3箇所� ��固定部26h1,26h2,26h3が設けられている点が、� �11(B)の放電ランプ1Bと異なっている。その放� ��ランプ1Nの口金部26Nを図3の取り付け装置31� �装着したときに、図6の3箇所の固定用アーム 55A~55Cがそれぞれ固定部26h1~26h3を長手方向に� �勢するため、放電ランプ1Nが取り付け装置31� ��安定に保持される。この場合には、図11(B)� �放電ランプ1B等に比べて、口金部26Nを軽量化 できる。

 一方、図15(B)の放電ランプ1Oは、その口金 部26Oの軸部26bの表面が矩形状の多数の凸部26n を除いて凹部26mとされている点が、図11(A)の� ��電ランプ1Aと異なっている。図15(B)のAA線に� ��う断面図である図16(A)に示すように、口金� �26Oの軸部26bの凸部26nの間は溝部となってい� �。その結果、放電ランプ1Oの口金部26Oを図3� �取り付け装置31に装着した場合、図9の送風� �置71から図3の位置決め板50の通気孔50cに供給 された冷却された気体が、その軸部26bの凸部 26nの間の溝部を流れて、放電ランプ1Oが効率� ��に冷却される。この場合、凸部26nの数を少� ��くすることにより流通抵抗を小さくでき、� ��給される気体の流量を多くしたい状況によ� ��適している。

 次に、図15(C)の放電ランプ1Pは、その口金 部26Pの軸部26bのフランジ部26aの近傍(本例で� �フランジ部26aに接する位置)にリング状の切� ��欠き部26Pc(溝部)が形成され、この切り欠き� ��26Pcに連通するように、軸部26bの内部を通過 するように、かつフランジ部26a(切り欠き部26 Pc)から凹部26fに至るように長手方向Lに平行� �複数の貫通穴よりなる流体路26Pdが備えられ� ��いる(本例では、形成されている)点が、図11 (B)の放電ランプ1Bと異なっている。各流体路2 6Pdはそれぞれ切り欠き部26Pcに連通する開口P1 と、凹部26f(面取り部26e)に連通する開口P2と� �有している。図15(C)のBB線に沿う断面図であ� ��図16(B)に示すように、口金部26Pの軸部26bに� �いて、複数の流体路26Pdはほぼ同一円周上に� ��置されている。その結果、放電ランプ1Pの� �金部26Pを図3の取り付け装置31に装着すると� �図9の送風装置71から図3の位置決め板50の通� �孔50cに供給された冷却された気体が、切り� �き部26Pc及び複数の流体路26Pdを介して軸部26b の内部を凹部26f側に流れるため、放電ランプ 1Pは効率的に冷却される。

 一方、図15(D)の放電ランプ1Qは、その口金 部26Qの軸部26bのフランジ部26aの近傍の内部に リング状の切り欠き部26Rc(図17参照)が形成さ� ��、この切り欠き部26Rcに連通して軸部26bの内 部を通過するように、かつフランジ部26a近傍 から凹部26fに至るように、螺旋状に流体路26Q dが備えられている(本例では、形成されてい� ��)点が、図11(B)の放電ランプ1Bと異なってい� �。流体路26Qdの一端は、(切り欠き部26Rcを介� �て)フランジ部26aの近傍の軸部26bの表面に設� ��られた開口Q1に連通し、流体路26Qdの他端は� ��部26f(面取り部26e)に設けられた開口Q2に連通 している。図15(D)のCC線に沿う断面図である� �16(C)に示すように、流体路26Qdは、口金部26Q� �軸部26bの内部を周回している。その結果、� �電ランプ1Qの口金部26Qを図3の取り付け装置31 に装着すると、図9の送風装置71から図3の位� �決め板50の通気孔50cに供給された冷却された 気体が、開口Q1、軸部26bの内部の流体路26Qd、 及び開口Q2を介して凹部26f側に流れるため、� ��電ランプ1Qは効率的に冷却される。

 なお、図15(D)の放電ランプ1Qの口金部26Qを製 造する場合には、一例として、図17に示すよ� ��に、外側面に切り欠き部26Rc及び螺旋状の流 体路26Qdが形成された軸部26Rbと、この軸部よ� ��も僅かに断面形状が小さい固定部26Rhとを備 えた棒状の主口金部26Rの外面に対して、円筒 状で上端近傍に開口Q1が形成された副口金部2 6Sを嵌合させた後、例えば一例として口金部2 6R及び26Sを溶着させればよい。なお、固定方� ��として、ネジ止めや接着するようにしても� ��い。
 なお、流体路26Qdは、口金部26Qの外側面では なく、副口金部26Sの内側面に形成してもよい 。

 次に、図18(A)の口金部26AAを持つ放電ラン� ��1AAは、図11(A)の放電ランプ1Aの軸部26bに対し て、長手方向と直交する方向の断面形状が互 いに異なる2つの部分を備えている点が異な� �ている。すなわち、図18(A)に示すように、放 電ランプ1AAの口金部26AAには、図11(A)の軸部26b に比べて、長手方向の長さが短い嵌合部とし ての軸部分26b1と、その下部の小径部26kまで� �間に軸部26b1よりも直径(長手方向と直交する 方向における外形形状)の小さい円柱状のロ� �ド部26b2とが形成されている。

 長手方向におけるロッド部26b2の長さは、軸 部分26b1の長さに比べて長く、さらには、ロ� �ド部26b2の表面積は、軸部分26bの表面積に比� ��て広い。
 これに伴い、口金部26AAを図3の取り付け装� �31に装着したときに、図9の送風装置71から図 3の位置決め板50の通気孔50cに供給された冷却 された気体(冷却用媒体)が、冷却部として作� ��するロッド部26b2の表面に流れるように、通 気孔50cは、ロッド部26b2のうち、軸部分26b1の� ��傍に対向するように配置される。そして、� ��気孔50cから供給された気体は、ロッド部26b2 の軸部分26b1側から小径部26kに向かって流れ� �。本実施形態の放電ランプ1AAを取り付け装� �31に装着する場合には、予め通気孔50cの位置 がロッド部26b2に対向するように調整してお� �ばよい。なお、本実施形態では、通気孔50c� �ら供給される気体は、直接、軸部分26b1に接� ��することがないが、ロッド部26b2を介して、 軸部分26b1を冷却することが可能である。こ� �他の構成は、図11(A)の放電ランプ1Aと同様で� ��る。

 この結果、放電ランプ1AAの口金部26AAを図3� �取り付け装置31に装着したときに、短い軸部 分26b1によって放電ランプ1AAの位置決めが行� �れるとともに、図9の送風装置71から図3の位� ��決め板50の通気孔50cに供給された冷却され� �気体(冷却用媒体)が、口金部26AAのロッド部26 b2の表面に送風される。これによって、口金� ��26AAひいては放電ランプ1AAが効率的に冷却さ れる。
 なお、図18(B)の放電ランプ1ABの口金部26ABで� ��すように、軸部26bの下方のロッド部26b2の表 面に螺旋状の溝部26Adを形成してもよい。こ� �によって、ロッド部26b2の気体との接触面積� ��大きくなるため、口金部26ABに対する冷却効 果が大きくなる。

 図18(A)の口金部26AAにおいて、ロッド部26b2の 直径と小径部26fの直径を同じに形成してもよ い。
 また、ロッド部26b2の表面には、図11(A)~(D)、 図12(A)~(D)、図14(A)、(B)、図15(A)、(B)の軸部26b� �形成された立体構造を適用できることは言� �までもない。
 図18(A)、(B)の放電ランプ1AA、1ABでは、取り� �け装置31の円筒部材52に嵌合する部分(軸部分 26b1)に、溝が形成されていなくともロッド部2 6b2の表面に送風される気体によって、効率的 に冷却することができる。

 次に、図2、図11~図16、及び図18の放電ラ� �プ1及び放電ランプ1A~1Qは、発光部を形成す� �ガラス管25(又は25A)と、このガラス管に連結� ��れた口金部26(又は26A~26Q)とを備えた放電ラ� �プであって、その口金部は、長手方向L(第1� �方向)に平行な第1の軸に沿ってそのガラス管 から離れる方向に、順に、その第1の軸を中� �とする第1の半径(R1とする)以上の半径を有す る円盤形状を包含する形状を有するフランジ 部26a(又は26Da)と、その第1の軸を中心とする� �の半径R1より小さな第2の半径(R2とする)を有� ��る円柱形状に外接する形状を有する軸部26b� ��を有するとも言うことができる。さらに、� ��れらの放電ランプは、その第1の軸を中心と してその半径R2より小さな第3の半径(R3とする )を有する円柱形状を包含する形状を有する� �径部26kと、その第1の軸を中心として、その� ��径R1より小さくかつその半径R3より大きな第 4の半径(R4とする)を有する円盤形状を包含す� ��形状を有する付勢対象となる部分(被押圧面 26g(26Ig等)及び固定部26h(26h1~26h3等)を含む部分) と、を有するとともに、その軸部26bの外周ま たはその近傍に、その軸部26bと空気(雰囲気� �体)との接触面積を増大せしめるための立体� ��な構造としての溝部26d等(又は流体路26Pd,26Qd 等)を有するとも言うことができる。

 この場合、図9の送風装置71から図3の位置決 め板50の通気孔50cを介してその立体的な構造� ��周囲又は内部に冷却された気体(又は液体)� �供給することで、その軸部26b、ひいては放� �ランプを効率的に冷却できる。
 この場合、フランジ部26a等、及び付勢対象� ��なる部分が、円盤形状を包含する形状を有� ��るとは、それらの外面の少なくとも一部が� ��盤形状に内接するとともに、それらの内部� ��貫通孔(ねじ穴を含む)又は開いた穴等が形� �されていてもよいことを意味する。また、� �の軸部26bがその円柱形状に外接するとは、� �部26bの形状が、その円柱形状に対しその半� �方向に、はみ出さない形状であって、かつ� �部26bの外形端(外側面)が、複数箇所で、その 円柱形状の側面に接することを言う。また、 その立体的な構造が、その軸部26bと空気との 接触面積を増大せしめるとは、その軸部26bの 空気との接触面積を、その半径R2を有する円� ��形状の側面よりも大きくすることを言う。� ��の場合、その立体的な構造がその軸部26b内� ��設けられる流体路26Pd,26Qdであるときには、� ��の立体的な構造が、その軸部26bと空気との� ��触面積を増大せしめるとは、その軸部26bの� ��面の面積と、その流体路26Pd,26Qdの内面の面� ��との和が、その半径R2を有する円柱形状の� �面の面積よりも、大きくなることを言う。

 また、その立体的な構造が、図2(A)の螺旋状 の溝部26d、図11(C)の縦方向の溝部26Cd、図15(B)� ��多数の凸部26nのような、軸部26bの外周に設� ��られた凹凸形状である場合には、その加工� ��容易である。
 また、立体的な構造が、図15(C)、(D)の流体� �26Pd,26Qdのような軸部26bの内部に設けられた� �体路である場合には、放電ランプ1P,1Qの口金 部26P,26Qの軸部26bと図3の取り付け装置31の円� �部材52との接触面積を増大させて、口金部26P ,26Qをより安定に保持できるとともに、放電� �ンプ1P,1Qの冷却も効率的に行うことができる 。

 また、図15(C)、(D)に示すように、軸部26bの� �ランジ部26aの近傍の外側面及び軸部26bの小� �部26k側の端部の近傍に、それぞれ流体路26Pd, 26Qdに連通する開口P1,Q1及び開口P2及びQ2が形� �された場合には、フランジ部26aから凹部26f� �至る軸部26bのほぼ全体を効率的に冷却でき� �。
 なお、上述した立体的な構造は、取り付け� ��置31に放電ランプが装着された際に、冷却� �の媒体(例えば、気体)が接触する冷却部と言 うことができる。この冷却部は、立体的な構 造に限らず、図18(A)のロッド部26b2のように、 嵌合部としての軸部分26b1の直径よりも小さ� �直径で形成され、かつなだらかな表面を有� �るものも含まれる。

 さらに、図2、図11~図16、及び図18の放電� �ンプ1及び放電ランプ1A~1Qは、長手方向に伸� �るように形成されたガラス管25(又は25A)と、� ��のガラス管の長手方向側の端部に、一端部� ��連結された口金部26(又は26A~26Q)とを備えた� �電ランプである。さらに、口金部に設けら� �たフランジ部26aは、長手方向と直交する方� �に突出して形成されていると言うことがで� �る。また、嵌合部26bは、フランジ部26aと口� �部26の開放端(ガラス管に連結された端部を� �端部と定義したので、ここでは、他端部と� �うこともできる)との間に設けられ、長手方� ��と直交する方向に関する外形形状がフラン� ��部26aの外形形状よりも小さい形状を有する� ��言うことができる。なお、本実施形態では� ��長手方向と直交する方向に関して、フラン� ��部の外形形状は円形であり、また、嵌合部2 6bの外形形状も円形である。

 また、小径部26kは、フランジ部26aと口金� ��26の開放端との間に設けられ、長手方向と� �交する方向に関する外形形状が嵌合部26bよ� �も小さい形状を有すると言うことができる� �また、固定部26hは、フランジ部26aと口金部26 の開放端との間に設けられ、長手方向と直交 する方向に関する外形形状がフランジ部26aの 外形形状より小さく、かつ小径部26kよりも大 きい形状を有すると言うことができる。 ま� ��、上記の実施の形態の投影露光装置は、露� ��光源、複数のレンズ等から構成される照明� ��学系、及び投影光学系を露光装置本体に組� ��込み光学調整をして、多数の機械部品から� ��るレチクルステージやウエハステージを露� ��装置本体に取り付けて配線や配管を接続し� ��更に総合調整(電気調整、動作確認等)をす� �ことにより製造することができる。なお、� �の投影露光装置の製造は温度及びクリーン� �等が管理されたクリーンルームで行うこと� �望ましい。

 本実施形態によれば、取り付け装置(保持 装置)31の切替用リンク機構(切替機構)63によ� �て、その固定用アーム(付勢部材)によるその 放電ランプの固定部(被付勢部)26hに対する押� ��を解除するのみで、その取り付け装置31に� �するその放電ランプの取り外し及び装着を� �易に短時間に行うことができる。また、そ� �切替用リンク機構63によって、その固定用ア ームによるその固定部26hに対するその第1方� �への押圧を開始するだけで、容易にその放� �ランプは、目標とする範囲内のほぼ一定の� �圧力でその取り付け装置31に固定される。ま た、その気体供給装置から媒体を供給すると 、その媒体がその口金部材の表面に沿ってそ の固定部26h側に流れるため、簡単な機構で放 電ランプの冷却を効率的に行うことができる 。

 なお、上記の実施形態の露光装置を用い� ��半導体デバイス等のマイクロデバイスを製� ��する場合、マイクロデバイスは、図19に示� �ように、マイクロデバイスの機能・性能設� �を行うステップ201、この設計ステップに基� �いたマスク(レチクル)を製作するステップ202 、デバイスの基材である基板を製造するステ ップ203、前述した実施形態の投影露光装置(� �光装置)によりマスク(レチクル)のパターン� �基板に露光する工程、露光した基板を現像� �る工程、現像した基板の加熱(キュア)及びエ ッチング工程などを含む基板処理ステップ204 、デバイス組み立てステップ(ダイシング工� �、ボンディング工程、パッケージ工程など� �加工プロセスを含む)205、並びに検査ステッ� ��206等を経て製造される。

 なお、本発明の光源装置は、上述のステ� ��プ・アンド・リピート方式の投影露光装置( ステッパー等)の他に、ステップ・アンド・� �キャン方式の走査露光型の投影露光装置(ス� ��ャニング・ステッパー等)の露光光源にも適 用できる。また、本発明の光源装置は、国際 公開第99/49504号パンフレット、国際公開第2004 /019128号パンフレット等に開示される液浸型� �光装置の露光光源にも適用することができ� �。また、本発明の光源装置は、投影光学系� �使用しないプロキシミティ方式若しくはコ� �タクト方式の露光装置の光源装置、又は露� �装置以外の機器の光源にも適用することが� �きる。

 なお、上述の実施形態においては、転写用� ��パターンが形成されたレチクル(マスク)を� �いたが、このレチクルに代えて、例えば米� �特許第6,778,257号明細書に開示されているよ� �に、露光すべきパターンの電子データに基� �いて透過パターンまたは反射パターンを形� �する電子マスクを用いてもよい。
 また、本発明は、半導体デバイス製造用の� ��光装置に限らず、液晶表示素子やプラズマ� ��ィスプレイなどを含むディスプレイの製造� ��用いられる、デバイスパターンをガラスプ� ��ート上に転写する露光装置、薄膜磁気ヘッ� ��の製造に用いられるデバイスパターンをセ� ��ミックスウエハ上に転写する露光装置、並� ��に撮像素子(CCDなど)、有機EL、マイクロマシ ーン、MEMS(Microelectromechanical Systems)、及びDNA� �ップなどの製造に用いられる露光装置など� �も適用することができる。また、半導体素� �などのマイクロデバイスだけでなく、光露� �装置及びEUV露光装置などで使用されるマス� �を製造するために、ガラス基板又はシリコ� �ウエハなどに回路パターンを転写する露光� �置にも本発明を適用できる。

 また、例えば、図13(A)、(B)、(C)の固定部26h� �被押圧面の形状をその他の各放電ランプに� �用することが可能である。
 このように本発明は上述の実施形態に限定� ��れず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種� ��の構成を取り得る。また、明細書、特許請� ��の範囲、図面、及び要約を含む2006年9月1日� ��け提出の日本国特願2006-237252、2007年1月15日� ��け提出の日本国特願2007-006462、及び2007年5月 11日付け提出の日本国特願2007-127451の全ての� �示内容は、そっくりそのまま引用して本願� �組み込まれている。