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Patent Searching and Data


Title:
DISPLACEMENT TRANSDUCER
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2009/133743
Kind Code:
A1
Abstract:
Provided is a displacement amplifying device which uses Pascal's principle and is insusceptible to temperature change. A main body (1) is provided with an accommodation space (11) for accommodating a medium (2) therein. The medium (2) is provided with a fluid (21) with a positive thermal expansion coefficient and a movable body (22) with a negative thermal expansion coefficient. The movable body (22) is displaced according to the movement of the fluid (21). The medium (2) is provided with a small-area first movable surface (23) and a large-area second movable surface (24). The displacement of one of the first movable surface (23) and the second movable surface (24) is transmitted to the other via the medium (2). In the displacement amplifying device, even if the volume of the fluid (21) is changed by the temperature change of the medium (2), the amount of change of the volume of the medium (2) as a whole can be kept low by the volume change of the movable body (22).

Inventors:
OKU HIROMASA (JP)
ISHIKAWA MASATOSHI (JP)
Application Number:
JP2009/056464
Publication Date:
November 05, 2009
Filing Date:
March 30, 2009
Export Citation:
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Assignee:
UNIV TOKYO (JP)
OKU HIROMASA (JP)
ISHIKAWA MASATOSHI (JP)
International Classes:
F15B7/10; G01D5/42
Domestic Patent References:
WO2003102636A12003-12-11
Foreign References:
JPS62157791U1987-10-07
JPH02264397A1990-10-29
JP2008063389A2008-03-21
JP2008081812A2008-04-10
JP2008111548A2008-05-15
Other References:
See also references of EP 2273131A4
Attorney, Agent or Firm:
NARUSE, SHIGEO (JP)
Shigeo Naruse (JP)
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Claims:
 本体と媒質とを備えており、
 前記本体は、前記媒質を内部に収容するための収容空間を備えており、
 前記媒質は、前記収容空間の内部に収容されており、
 さらに、前記媒質は、正の熱膨張率を持つ流動体と、負の熱膨張率を持つ可動体とを備えており、
 前記可動体は、前記流動体の移動に従って変位する構成となっており、
 さらに、前記媒質は、第1可動面と第2可動面とを備えており、
 前記第1可動面は、前記媒質の表面の一部を構成しており、
 前記第2可動面は、前記媒質の表面における他の一部を構成しており、
 前記第2可動面の面積は、前記第1可動面の面積よりも大きくされており、
 前記第1可動面及び前記第2可動面の内の一方の変位が、前記媒質を介して、他方に伝達される構成となっている
ことを特徴とする変位変換装置。
 前記可動体は、負の熱膨張率を持つ複数の粒状体から構成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の変位変換装置。
 さらに、第1可動膜と第2可動膜とを備えており、
 前記第1可動膜は、前記第1可動面に隣接して配置されており、
 前記第2可動膜は、前記第2可動面に隣接して配置されている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の変位変換装置。
 前記流動体は、正の熱膨張率を持つ液体により構成されている
ことを特徴とする、請求項1~3のいずれか1項に記載の変位変換装置。
 さらに、体積補償部を備えており、
 前記体積補償部は、負の熱膨張率を持つ物質により構成されており、
 さらに、前記体積補償部は、前記媒質に隣接して配置されている
ことを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の変位変換装置。
 さらに、入力機構と出力機構とを備えており、
 前記入力機構は、前記第1可動面及び前記第2可動面の一方に対して変位を加える構成となっており、
 前記出力機構は、前記第1可動面及び前記第2可動面の他方における変位を外部に取り出す構成となっている
ことを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載の変位変換装置。
 請求項1~6のいずれか1項に記載の変位変換装置を用いた変位変換方法であって、
 前記第1可動面及び前記第2可動面の一方に変位を加えるステップと、
 前記第1可動面及び前記第2可動面の他方における変位を外部に取り出すステップと
を備える変位変換方法。
Description:
変位変換装置

 本発明は、変位変換装置に関するもので る。より詳しくは、本発明は、いわゆるパ カルの原理を用いて、変位を増幅又は縮小 ることができる装置に関するものである。

 動作周波数としてkHz程度の高速な応答が 能な素子として、圧電素子や超磁歪素子が 在する。これらの素子は、応答は高速だが その可動範囲(ストローク)がマイクロメー ル程度と微小であるという問題を持ってい 。

 このため、このような素子をアクチュエ タとして利用する際は,機械的な「てこ」を 用いて変位を増幅することにより、実用に十 分な程度まで変位を拡大する手法が考えられ る。

 しかしながら、高速な動作素子を、機械 な変位増幅機構と組み合わせると、増幅機 がもつ機械的な共振特性のために,系全体と しての応答速度が0.01秒程度にまで遅くなる とが多く、設計のための大きな制約要因に ってしまう。

 そこで、液体によるパスカルの原理を用 た変位増幅機構が提案されている(例えば下 記特許文献1参照)。この変位増幅機構では、 動部分の面積Sに対する従動部分の面積sの 率(s/S)が小さいほど、変位の増幅率を高める ことができる。ただし、変位増幅のためには 、s/S<1であることが原理的には必要である なお、s/Sを1より大きくすることにより、変 位の縮小も可能である。

 このような変位増幅機構を利用すると,高い 変位増幅率と高速な応答とを同時に満たすこ とが可能になる。

国際公開WO2003/102636号公報

 ところで、パスカルの原理を用いた変位 幅機構では、駆動部分の変位を従動部分に 達するための媒質として、液体を用いてい 。液体は、一般に、温度変化に伴う体積変 (膨張又は収縮)が大きいという特性を持つ

 このため、従来の変位変換機構では、温 変化による体積変動に起因して、駆動面あ いは従動面の変位が変化してしまうことに る。すなわち、従来の変位変換機構は、温 変化により変位が変化してしまうために、 達される変位の精度が劣化してしまうとい 問題がある。

 本発明は、このような状況に鑑みてなさ たものである。本発明の目的は、パスカル 原理を用いながら、しかも、温度変化の影 を受けにくい変位増幅装置を提供すること ある。

 本発明は、下記のいずれかの項目に記載 構成を備えている。

 (項目1)
 本体と媒質とを備えており、
 前記本体は、前記媒質を内部に収容するた の収容空間を備えており、
 前記媒質は、前記収容空間の内部に収容さ ており、
 さらに、前記媒質は、正の熱膨張率を持つ 動体と、負の熱膨張率を持つ可動体とを備 ており、
 前記可動体は、前記流動体の移動に従って 位する構成となっており、
 さらに、前記媒質は、第1可動面と第2可動 とを備えており、
 前記第1可動面は、前記媒質の表面の一部を 構成しており、
 前記第2可動面は、前記媒質の表面における 他の一部を構成しており、
 前記第2可動面の面積は、前記第1可動面の 積よりも大きくされており、
 前記第1可動面及び前記第2可動面の内の一 の変位が、前記媒質を介して、他方に伝達 れる構成となっている
ことを特徴とする変位変換装置。

 この発明によれば、例えば媒質の温度が 昇した場合には、流動体の熱膨張による体 変化を、可動体の収縮による体積変化によ 補償することができる。

 また、可動体を、流動体の移動に従って 位する構成としたので、可動体は、流動体 移動を阻害しにくい。このため、この発明 は、媒質における変位伝達機能の劣化を防 つつ、パスカルの原理を用いた変位伝達が 能になる。

 この発明では、大面積を持つ第2可動面を 駆動し、小面積を持つ第1可動面での変位を り出すことにより、変位増幅作用を得るこ ができる。逆に、小面積を持つ第1可動面を 動し、大面積を持つ第2可動面での変位を取 り出すことにより、変位を縮小することがで きる。

 (項目2)
 前記可動体は、負の熱膨張率を持つ複数の 状体から構成されている
ことを特徴とする項目1に記載の変位変換装 。

 可動体を粒状体とすることにより、可動 自体も高い流動性を備えることになる。こ ため、この発明では、可動体の全体として 体積(合計の体積)を大きくしても、媒質に ける変位伝達機能の低下を低く抑えること できる。すると、この発明では、可動体を 流動体に対して、体積比として多くするこ が可能になり、その結果、体積補償が可能 温度範囲を広くすることができる。ここで 状とは、粉状を含む意味で用いられている

 (項目3)
 さらに、第1可動膜と第2可動膜とを備えて り、
 前記第1可動膜は、前記第1可動面に隣接し 配置されており、
 前記第2可動膜は、前記第2可動面に隣接し 配置されている
ことを特徴とする項目1又は2に記載の変位変 装置。

 第1可動膜及び第2可動膜の一方を用いて 位を入力し、他方を用いて変位を外部に取 出すことができる。したがって、これらの は、本体に対して全体的又は部分的に変位 能であることが好ましい。また、これらの を設けることにより、媒質に対するシール 果を期待することもできる。さらに、これ の膜は、媒質に対して直接に接している必 はなく、何らかの媒介物を介して隣接して ることができる。ただし、これらの可動膜 用いることは必須ではない。例えば、ピス ンとシリンダを用いた変位の入力/出力機構 おけるピストンを可動面に直接に接触させ ことも可能である。

 (項目4)
 前記流動体は、正の熱膨張率を持つ液体に り構成されている
ことを特徴とする、項目1~3のいずれか1項に 載の変位変換装置。

 液体は、一般に、高い流動性を持つので 本発明の変位変換装置における媒質として 適である。また、一般に、液体は、分子間 離が固体よりも長いために、正の熱膨張率 持つ。ただし、本発明の媒質としては、液 に限らず、本発明の実施に必要な流動性を つものであれば特に制約されない。例えば ゾル状物質、又は、流動性の高いものであ ばゲル状物質を用いることも考えられる。

 (項目5)
 さらに、体積補償部を備えており、
 前記体積補償部は、負の熱膨張率を持つ物 により構成されており、
 さらに、前記体積補償部は、前記媒質に隣 して配置されている
ことを特徴とする項目1~4のいずれか1項に記 の変位変換装置。

 体積補償部を別途設けることにより、体 補償が可能な温度範囲を広げることが可能 なる。体積補償部は、媒質に対して接触し いてもよいし、何らかの物質を介して間接 に接触していても良い。体積補償部は、媒 に対して、体積補償部の変位を伝達できる うに隣接されていればよい。

 (項目6)
 さらに、入力機構と出力機構とを備えてお 、
 前記入力機構は、前記第1可動面及び前記第 2可動面の一方に対して変位を加える構成と っており、
 前記出力機構は、前記第1可動面及び前記第 2可動面の他方における変位を外部に取り出 構成となっている
ことを特徴とする項目1~5のいずれか1項に記 の変位変換装置。

 (項目7)
 項目1~6のいずれか1項に記載の変位変換装置 を用いた変位変換方法であって、
 前記第1可動面及び前記第2可動面の一方に 位を加えるステップと、
 前記第1可動面及び前記第2可動面の他方に ける変位を外部に取り出すステップと
を備える変位変換方法。

 本発明によれば、パスカルの原理を用い がら、しかも、温度変化の影響を受けにく 変位増幅装置を提供することが可能になる

 (第1実施形態)
 以下、本発明の第1実施形態に係る変位増幅 装置を、図1~図3に基づいて説明する。

 本実施形態の変位増幅装置は、本体1と、 媒質2と、第1可動膜3と、第2可動膜4と、入力 構5と、出力機構6とを基本的な構成要素と て備えている。

 本体1は、全体として、扁平な円筒状に形 成されている(図1参照)。本体1の内部には、 容空間11が形成されている。

 収容空間11は、小面積部12と大面積部13と 備えている。小面積部12は、本体1がその一 側(図1での上端側)において縮径されること より形成されている。大面積部13は、本体1 他端側(図1での下端側)に形成されている。 面積部13は、小面積部12よりも大きな断面積 (本体11における横断面積)を持っている。

 媒質2は、収容空間11の内部に収容されて る。さらに、媒質2は、正の熱膨張率を持つ 流動体21と、負の熱膨張率を持つ可動体22と 備えている(図2(a)参照)。

 流動体21としては、本実施形態としては 液体が用いられている。より具体的な例と ては、流動体21として、純水、Polydimethylsiloxa ne (PDMS)に代表されるシリコンオイルなど、 種の液体を用いることができる。ただし、 動体としては、液体に限らず、いわゆるゾ 状物質やゲル状物質であって、実用上十分 流動性を持つ物質を用いることができる。

 可動体22は、流動体21の移動に従って変位す る構成となっている。可動体22としては、こ 実施形態では、タングステン酸ジルコニウ (ZrW 2 O 8 )からなる多数の微少球が用いられている。 だし、可動体22として使用できる材質として は、タングステン酸ジルコニウムに限らず、 例えば、シリコン酸化物(Li 2 O-Al 2 O 3 -nSiO 2 )を用いることができる。

 また、可動体22の形状としては、真球状 限らず、各種の形状とすることができ、粉 状であってもよい。あるいは、使用する材 によっては、可動体22をゾル状もしくはゲル 状とすることも可能であると考えられる。な お、可動体22の大きさとしては、好ましくは 小面積部12の内部に容易に入り込める程度 小ささ(すなわち第1可動面23よりも十分に小 い大きさ)であることが好ましい。このよう に構成すると、媒質2の流動性を向上させる とが可能である。

 可動体22としては、要するに、負の熱膨 率を持ち、かつ、流動体21の移動を過度に制 限しない材料を用いることができる。

 さらに、媒質2は、第1可動面23と第2可動 24とを備えている。

 第1可動面23は、媒質2の表面の一部を構成 している。かつ、第1可動面23は、収容空間11 おける小面積部12の内部に配置されている

 第2可動面24は、媒質2の表面における他の 一部を構成している。かつ、第2可動面24は、 大面積部13の内部に配置されている。これに り、第2可動面24は、第1可動面23よりも大き 面積を有するようになっている。

 本実施形態の装置では、第1可動面23及び 2可動面24の内の一方の変位が、媒質2を介し て、他方に伝達される構成となっている。つ まり、この構成によって、パスカルの原理に 基づく変位変換機構を実現している。

 第1可動膜3は、小面積部12に配置された第 1可動面23に接して配置されている。また、第 2可動膜4は、第2可動面4に接して配置されて る。

 入力機構5は、この実施形態では、第2可 膜4に対して変位を入力する構成となってい 。入力機構5としては、例えば、流体圧でシ リンダを駆動するピストン-シリンダ機構や 回転を変位に変換するボールねじ機構や、 宜のリンク機構など、適宜の変位入力機構 用いることができる。

 出力機構6は、この実施形態では、第1可 膜3における変位を取り出す構成となってい 。出力機構6としては、入力機構5と機構的 同様なものを、変位を取り出すために用い ことができる。もちろん、出力機構6として 、入力機構5と異なる機構を用いることもで き、要するに、変位を出力として取り出すこ とができる機構であればよい。

 (第1実施形態における変位変換機構の動作)
 つぎに、本実施形態における変位変換機構 動作を、図2及び図3を主に参照しながら説 する。

 まず、基本的な変位増幅動作を説明する。 力機構5を用いて、第2可動膜4を変位させる( 図3参照)。すると、媒質2における第2可動面24 が変位し、媒質2自体を介して、第1可動面23 変位が伝達される。ここで、本実施形態で 、第2可動面24の面積が、第1可動面23の面積 りも大きくされている。このため、第1可動 23の変位は、第2可動面24の変位に比較して 幅されている。この関係は、以下のように 現することができる。
X1=α・X2
ここで、
X1:第1可動面の変位、
X2:第2可動面の変位、
α:増幅率
である。

 増幅率αは、第1可動面23の面積sと第2可動 面の面積Sとの比(s/S)によって一般的には決ま る。本実施形態のように、s<Sであれば、増 幅率αは1<αとなる。もちろん、S<sとなる ように設計すれば、増幅率αをα<1とするこ ともできる。この場合は変位を縮小して伝達 することになる。

 ついで、媒質2の温度が上昇した場合の動 作について説明する。本実施形態の装置にお いては、媒質2の温度が上昇した場合には、 動体21が熱膨張し、体積が増加する。このた め、流動体21のみを媒質2として用いた場合に は、温度変化により液面の変位を生じ、伝達 される変位の精度が劣化する。

 これに対して、本実施形態の装置では、 質2として、流動体21に加えて、負の熱膨張 を持つ可動体22を用いているので、媒質2の 度が上昇すると、可動体22の体積は減少す (図2(b)参照)。

 これにより、本実施形態の装置では、流 体21の体積増加を、可動体22の収縮による体 積減少によって、補償することができる。つ まり、この装置によれば、温度の上昇に伴う 体積変動の量を低く抑えることができるとい う利点がある。

 同様に、媒質2の温度が下降した場合も、 前記とは逆の動作により、体積変動の量を減 少させることができる。

 したがって、本実施形態の装置によれば 温度変化に伴う体積変動を小さく抑えるこ ができ、その結果、伝達される変位の精度 向上させることができるという利点がある

 また、本実施形態では、可動体22を、流 体21の移動に従って変位する構成としたので 、可動体22は、流動体21の移動を阻害しにく 。このため、この実施形態の装置では、媒 2における変位伝達機能の劣化を防ぎつつ、 スカルの原理を用いた変位伝達が可能にな という利点がある。

 また、本実施形態における可動体22は、 数の粒状体から構成されているので、可動 22自体も高い流動性を備えることになる。こ のため、この実施形態の装置では、可動体22 全体としての体積(合計の体積)を大きくし も、媒質2による変位伝達機能の低下を低く えることができる。すると、この実施形態 装置では、可動体22を、流動体21に対して、 体積比として多くすることが可能になり、そ の結果、体積補償が可能な温度範囲を広くす ることができるという利点がある。

 また、本実施形態では、可動体22を流動 21に混合しているので、可動体22のみを媒質 して用いることに比較して、媒質2に対して 高い流動性を付与することができる。その結 果、この装置では、媒質2を滑らかに変位な し変形させることができるという利点もあ 。

 なお、前記した説明では、第1可動膜3及 第2可動膜4のそれぞれについて、その全体を 本体1に対して移動させている(図3参照)。し しながら、図4に示されるように、第1可動膜 3及び第2可動膜4の両方あるいは一方について 、一部のみ(例えば中央部のみ)を移動させる 成としてもよい。この場合、第1可動膜3及 第2可動膜4は、変形可能な弾性膜によって構 成されることが望ましい。

 (第2実施形態)
 つぎに、本発明の第2実施形態に係る変位変 換装置を、図5に基づいて説明する。なお、 の第2実施形態の説明においては、前記した 1実施形態の装置と基本的に共通する要素に ついては、同じ符号を付することにより、説 明を簡略化する。

 第2実施形態の装置は、体積補償部7をさ に備えている。体積補償部7は、負の熱膨張 を有する物質により構成されている。この 施形態では、体積補償部7は、タングステン 酸ジルコニウムの結晶により構成されいてる 。ただし、体積補償部7としては、可動体22の 場合と同様に、負の熱膨張率を有する物質で あれば、各種のものを利用可能である。

 体積補償部7は、媒質2に対して接触する 置に配置されている。例えば、体積補償部7 、本体1の内面(収容空間11に面する面)に固 される。ただし、体積補償部7の位置は、媒 2に面する位置であれば、どこであってもよ い。例えば、媒質2の内部において、体積補 部7を浮遊させ、あるいは、この体積補償部7 を非固定状態で配置することも可能である。 さらに、本体1の側面に開口を設け、この開 を介して体積補償部7を媒質2に接触させても 良い。

 また、体積補償部7と媒質2との間に、何 かの媒介物質が存在することも可能である 例えば、体積補償部7と媒質2との間に、媒質 2の流出を防ぐための膜を介在させることも きる。要するに、体積補償部7は、媒質2に対 して、体積補償部7自体の変位を伝達できる うな形態で隣接していればよい。

 第2実施形態の装置では、体積補償部7を 途設けたので、体積補償が可能な温度範囲 広げることが可能になる。すなわち、本実 形態では、可動体22だけでなく、体積補償部 7も、温度変化に応じて変位するので、この 位を用いて、温度変化による流動体21の変位 を補償することが可能になる。

 第2実施形態における他の構成及び利点は 、前記した第1実施形態と同様なので、これ 上の詳細についての説明は省略する。

 (第3実施形態)
 つぎに、本発明の第3実施形態に係る変位変 換装置を、図6に基づいて説明する。なお、 の第3実施形態の説明においては、前記した 1実施形態の装置と基本的に共通する要素に ついては、同じ符号を付することにより、説 明を簡略化する。

 第3実施形態の装置は、センサ8と、コン ローラ9と、駆動部10とをさらに備えている また、本実施形態の本体1は、シリンダ部15 さらに備えている。

 センサ8は、この実施形態では、本体1の 面に取り付けられている。センサ8は収容空 11の内部に収容された媒質2の温度を測定で るようになっている。センサ8の取り付け箇 所は、本体1の内部など、適宜の位置とする とができる。要するに、センサ8は、媒質2の 温度が測定できる構成であればよい。

 コントローラ9は、センサ8からの出力に って、駆動部10に制御信号を送る機能を備え ている。コントローラ9は、例えばパーソナ ・コンピュータ及び適宜のコンピュータ・ フトウエアにより構成することができる(図 せず)。

 駆動部10は、ピストン101を備えている。 動部10は、コントローラ9からの指令に従っ 、ピストン101をシリンダ部15に対して前後に 移動させるようになっている。

 本体1のシリンダ部15は、中空の円筒状に 成されている。シリンダ部15における一端( 6において左端)は、本体1の内部に形成され 収容空間11と連通させられている。これに り、シリンダ部15の内部(厳密にはピストン10 1までの領域)には、媒質2が充填されるように なっている。

 第3実施形態の装置では、センサ8で測定 れた媒質2の温度に対応して、コントローラ9 が、駆動部10のピストン101を移動させる。例 ば、温度が上昇すると、ピストン101を後退 せ、温度が下降すると、ピストン101を前進 せる。これにより、温度変化に伴う媒質2の 体積変動を補償することができる。

 したがって、本実施形態の装置では、可 体22によって補償できる範囲を超えた温度 化があった場合であっても、この装置によ て伝達される変位の精度の劣化を低く抑え ことが可能になる。

 第3実施形態における他の構成及び利点は 、前記した第1実施形態と同様なので、これ 上の詳細についての説明は省略する。

 (変形例)
 前記した第3実施形態では、駆動部10にピス ン101を設け、このピストン101を本体1のシリ ンダ部15に対して前後動させていた。しかし がら、この構成に代えて、シリンダ部15の 部に弾性膜103の周縁を固定し、弾性膜103の 央近傍を駆動部10によって前後動させる構成 とすることもできる(図7参照)。なお、図7は 図6におけるシリンダ部15に相当する部分の 傍のみを拡大して示している。

 また、シリンダ部15の内部に、第2実施形 で説明した体積補償部7を収納することも可 能である(図7参照)。

 (実施例)
 第1実施形態に示した構造を用いた実施例を 以下に説明する。この実施例では、以下の構 成を採用した。
・流動体21:純水(摂氏9℃での体積膨張率が7.7 10 -5 )、
・可動体22:タングステン酸ジルコニウムから なる多数の微少球(摂氏9℃での体積膨張率が- 2.7×10 -5 )。

 なお、可動体22として用いられるタング テン酸ジルコニウムの微少球は、純水内に いて、六方最密充填構造をとるものとする また、前記した体積膨張率の値は、いずれ 、内挿によって算出した値(推測値)であり、 測定値ではない。

 純水とタングステン酸ジルコニウムの体 膨張率が上記の値だと仮定し、微小球が六 最密充填構造(充填率約74%)をとるとした場 には、厳密に体積変化を防ぐことができる は摂氏9度の一点になる。この実施例では、 体と微小球との体積比を選ぶことで、摂氏 4度から約9度までの範囲で、体積変化をほ 完全に防ぐことができると考えられる。液 と微小球の体積比は、どこの温度で体積変 をなくしたいのかに依存して変化させるこ が望ましい。

 また、前記以上の温度の場合は、例えば、 2実施形態に示した体積補償部7を用いるこ が可能である。例えば、媒質2の体積をV 0 、体積補償部7の体積をV + とする。媒質2の温度が摂氏20度のとき、V + =1.3・V 0 とすると、媒質2と体積補償部7の全体として 体積変化をキャンセルすることができる。 たがって、第1可動面23や第2可動面24が温度 化により変動することを防止することがで る。

 なお、前記実施形態及び実施例の記載は なる一例に過ぎず、本発明に必須の構成を したものではない。各部の構成は、本発明 趣旨を達成できるものであれば、上記に限 ない。

本発明の第1実施形態に係る変位変換装 置を説明するための説明図であって、本体の 一部を破断した状態を示す図である。 図(a)は、図1に示される媒質の一部を拡 大した状態を示す説明図である。図(b)は、図 (a)における可動体が縮小した状態を説明する ための説明図である。 図1に示される第1可動膜及び第2可動膜 変位を説明するための説明図である。 第1実施形態における変位変換装置の変 形例を説明するための説明図である。 本発明の第2実施形態に係る変位変換装 置を説明するための説明図である。 本発明の第3実施形態に係る変位変換装 置を説明するための説明図である。 第3実施形態の変形例を説明するための 説明図であって、図6におけるシリンダ部を 大した状態を示す図である。

符号の説明

 1 本体
 11 収容空間
 12 小面積部
 13 大面積部
 15 シリンダ部
 2 媒質
 21 流動体
 22 可動体
 23 第1可動面
 24 第2可動面
 3 第1可動膜
 4 第2可動膜
 5 入力機構
 6 出力機構
 7 体積補償部
 8 センサ
 9 コントローラ
 10 駆動部
 101 ピストン
 103 弾性膜