Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Methode zu Herstellung einer Verschleissschutzschicht mit dicker Einlaufschicht.

State of the art Bei Bauteilen mit gleitenden Oberflächen besteht ein grosses Bedürfnis nach harten Oberflächen, welche jedoch als äusserste Schicht eine Einlaufschicht aufweisen so das der gleitende Gegenkörper zunächst in der Lage ist die Einlaufschicht zumindest teilweise abzutragen und so eine Anpassung an seine eigene Geometrie zu erzielen Als gleitschichten ist es bekannt, DLC-Schichten einzusetzen und diese mit einer weicheren Schicht zu überziehen, so dass diese weichere Schicht als Einlaufschicht wirksam wird. Nachteilig hierbei ist allerdings, dass auf ein anderes Schichtmaterial übergegangen werden muss. Dies stellt erhöhte Anforderungen an die Beschickungsanlage und das durchzuführende Beschichtungsverfahren.

Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine harte Oberflächenbeschichtung anzugeben, mit weicher Einlaufschicht, wobei die Schichtmaterialien der harten Beschichtung und der weichen Einlaufschicht im Wesentlichen, was die chemischen Elemente und deren Konzentration betrifft gleich ist.

Dies wird dadurch erreicht auf eine DLC-Schicht eine Gradientenschicht mit abnehmender Dichte und dadurch mit abnehmender Härte realisiert wird. Bei genügender Dicke der Gradientenschicht wird hierdurch eine effiziente Einlaufschicht erzeugt.

Dabei ist klar, dass aufgrund der geringeren und abnehmenden Dichte der Gradientenschicht dies zu einer Reduktion der Gesamthärte der Schicht führt. In einer bevorzugten Ausführungsform wird der Gradient so realisiert, dass die Gesamthärte der Schicht nicht geringer als 15 GPa ist.

BESTÄTIGUNGSKOPIE Gemäss einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung hat die DLC-Schicht eine Härte, welche nicht geringer als 1500HV oder 15 GPa ist, bevorzugter Weise nicht geringer als 18 GPa ist und noch bevorzugter nicht geringer als 20 GPa. ist.

Gemäss einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung gibt es innerhalb der Gradientenschichtdicke keinen Bereich der eine geringere Härte als 600 HV oder 6 GPa aufweiset, vorzugsweise nicht geringer als 8 GPa.

Gemäss einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist die Dicke der DLC-Schicht nicht geringer als 0.5pm.

Gemäss einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beträgt die Dicke der Gradientenschicht nicht weniger als 300 nm.

Eine Beschichtung gemäss der vorliegenden Erfindung kann beispielsweise mittels Plasma-unterstützten CVD Prozessen der PVD - Prozessen oder einer Kombination aus beidem hergestellt werden.

Eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zur Herstellung der Schichten umfasst einen kombinierten plasmaunterstützten CVD und Zerstäubungsprozess. Die Beschichtung entsprechend der vorliegenden Erfindung hat unter anderem folgende Vorteile:

Die DLC-Schicht bleibt hart genug um Verschleissschutz zu gewährleisten.

Auf Substraten mit erhöhter Rauhigkeit kann es sogar zu einer Erhöhung der Verschleissbeständigkeit der Gradientenschicht kommen, da die Bereiche zwischen den Substratspitzen geschützt sind. Die Herstellung der Gradientenschicht kann auf dem herkömmlichen Prozess für die Herstellung der DLC-Schicht beruhen. Es wird keine zusätzliche Ausrüstung oder zusätzliche Gase benötigt.

Die Erfindung wird nun Anhand eine Prozessbeschreibung im Detail und beispielhaft erläutert

Figur 1 zeigt die Wasserstoffkonzentration für verschiedene DLC Proben im Vergleich zu einer Referenz.

Figur 2 zeigt den Vergleich einer DLC Probe mit und einer ohne Gradient in Bezug auf Verschleiss. Die Substrate wurden in einer Vakuumkammer mittels einer plasmaunterstütztem CVD Methode hergestellt, wobei eine Kombination aus Acetylen und Argon als Prozessgas verwendet wird. Das Prozessgas wurde in der Kammer mittels eines Plasmas ionisiert welches über eine Niedervoltbogenentladung erzeugt wurde. Zusätzlich wurde während des Beschichtungsprozesses ein Substratbias an die Substrate angelegt.

Zur Beschichtung der DLC-Schicht wurde der Substratbias auf einem konstanten Wert von 900 V gehalten. Die DLC-Beschichtung nahm 80 Minuten in Anspruch. Zur Beschichtung der Gradientenschicht wurde der Substratbias kontinuierlich von 900 V auf 50 V reduziert. Nach Ablauf von 40 Minuten war ein Substratbias von 50 V erreicht. Abgesehen vom Substratbias wurden die anderen Beschichtungsparameter während der gesamten Beschichtung konstant gehalten. Es wird jedoch der Niedervoltbogen- Entladungsstrom kontinuierlich erhöht um der mit der Reduktion des Substratbias einhergehenden Abnahme des Substratstroms entgegen zu wirken. Durch diese kontinuierliche Reduktion des Substratbias erfolgte eine kontinuierliche Reduktion der Schichtdichte, die wiederum eine Reduktion der Schichthärte zur Folge hatte. Im Ergebnis war die Gradientenschicht 0.7 pm dick. Die für das Gesamtsystem (DLC-Schicht und Gradientenschicht) Mikroindentation auf einem Fischerscope mit 10mN Last gemessene Härte betrug 18GPa. Das Schichtsystem zeigte eine exzellente Verschleissbeständigkeit.

Ein Tiefenprofil der Wasserstoff Atomkonzentration ([H]) wurde mit 2 MeV He ERDA (Elastic Recoil Detection Analysis) für 2 DLC Proben ermittelt: eine mit und eine ohne Gradient. Zur Berechnung der Daten wurde ein Standard mit 9.5 at% H (Glimmer) als Referenz gemessen und der Energieverlust (Bremsvermögen) der Alphateilchen in den DLC-Schichten und im Standard wurde mit den SRIM Programm (www.srim.org) bestimmt. Die Beschichtung der DLC Schicht ohne Gradient erfolgte mit einem konstanten Substratbias von 900 V und nahm 80 Minuten in Anspruch (Schichtdicke ~ 1 μητι). Zur Beschichtung der DLC Schicht mit Gradient wurde der Substratbias kontinuierlich von 900 V auf 50 V reduziert. Dieser Schritt nahm 80 Minuten in Anspruch und resultierte in einer Gradientenschichtdicke von 1.5 μηι. Die Resultate sind im Figur 1 dargestellt. Diese Methode erlaubt es, bis in eine Tiefe von etwa 350 nm zu messen. Die Oberfläche ist im Profil rechts (0) und die Tiefenskala läuft nach links. Die Resultate zeigen, dass die Wasserstoffatom konzentration zu der Gradientenoberfläche hin zunimmt. Bei der DLC Probe ohne Gradient bleibt die Wassserstoffatomkonzentration hingegen konstant.

Die Reibung des DLC mit Gradientenschicht wurde mit dem Pin on disk Test (Pin-on- dosk Tribometer, CSM Instruments) untersucht und mit DLC (ohne Gradientenschicht) verglichen. Das Substrat war das gleiche für beide Untersuchungen (polierte Stahlscheibe). Der Test wurde in Luft bei einer Temperatur von 22°C und 43% relative Feuchtigkeit durchgeführt. Die Proben wurden gegen einer 100Cr6 Stahlkugel mit 3 mm Durchmesser abgerieben. Die Stahlkugel diente als statischer Reibungspartner und die beschichtete Probe wurde unter diesen gedreht (Radius 6 mm, Geschwindigkeit 30 cm/s). Eine 30 N Last wurde auf die Kugel angelegt. Repräsentativen Reibungskoeffizienten für die ersten 50 Meter und bis nach 6000 Meter sind in den Abbildungen 1a und b für beide Beschichtungen dargestellt. Es ist festzustellen, dass der Reibungskoeffizient für DLC mit Gradientenschicht deutlich geringer als für DLC allein ist, insbesondere in der Anfangsphase. Die Untersuchung der abgeriebenen Oberflächen nach dem Test zeigt auch generell deutlich weniger Schicht- und Gegenkörperverchleiss für DLC mit Gradientenschicht als für DLC allein (Breite der Abriebspur auf der Beschichtung 260 μηι vs 450 [im, Durchmesser der abgeriebenen Fläche auf der Kugel 300 μηι vs 600 μνη).

Auch mit ersten Feldversuchen in der konkreten Anwendung konnte das bessere Einlaufverhalten des DLC mit Gradientenschicht nachgewiesen werden.