以下、図面を参照しながら、本発明の実施� ��態について説明する。
(第1実施形態)
 本発明の第1実施形態である駆動装置につい て説明する。
 図1は駆動装置50の分解斜視図、図2は駆動装 置50の背面側の分解斜視図である。
 〈駆動装置50〉
 駆動装置50は、デジタルスチールカメラ、� �ジタルビデオカメラなどの光学機器に搭載� �れる装置であり、CCDやCMOSなどの撮像素子や� ��ンズといった光学部品を光軸に直交な2方向 に駆動し、光学像の像ぶれ補正を行うために 用いられる装置である。図1に示す駆動装置50 は、特に上面側に撮像素子などを搭載し駆動 する装置である。
 図1に示すように、駆動装置50は、第1枠体51� ��、第2枠体52と、第3枠体53と、第1駆動機構54� ��、第2駆動機構55とを備えている。第2枠体52� ��、第1枠体51に対して第1方向Aに移動可能に� �持されている。第3枠体53は、第2枠体52に対� �て第1方向Aと直交する第2方向Bに移動可能に� ��持されている。

 第1駆動機構54は、第1枠体51と第2枠体52との� ��に設けられ、第1枠体51と第2枠体52とを相対� ��動させる。具体的には、第1駆動機構54は、� ��2枠体52を第1枠体51および第1枠体51が固定さ� ��る光学機器(図示せず)に対して第1方向Aに沿 って駆動する。
 第2駆動機構55は、第2枠体52と第3枠体53との� ��に設けられ、第2枠体52と第3枠体53とを相対� ��動させる。具体的には、第2駆動機構55は、� ��3枠体53を第2枠体52に対して第2方向Bに沿っ� �駆動する。第2駆動機構55は、第1駆動機構54� �対して、第1方向Aおよび第2方向Bに直交する� ��3方向C回りに90度回転した位置に配置されて いる。
 第1駆動機構54と第2駆動機構55とのそれぞれ� ��、駆動発生部21と、駆動受部22と、軸受部23� ��、付勢部24とを含んでいる。駆動発生部21は 、圧電素子1aにより駆動を発生させる。駆動� ��部22は、駆動発生部21に対して相対的に押圧 され、駆動発生部21により発生した駆動を受� ��る。軸受部23は、駆動受部22を挟んで駆動発 生部21と対向して配置され、駆動受部22にお� �て駆動発生部21が作用する箇所の駆動発生部 21側とは反対側への駆動受部22の変位を規制� �る。付勢部24は、駆動発生部21と軸受部23と� �お互いに近づける方向に付勢する。

 第1枠体51には、第1駆動機構54の駆動受部22� �固定されているとともに、駆動受部22を支持 する軸受部23および付勢部24が設けられてい� �。第2枠体52には、第1駆動機構54の駆動発生� �21が弾性的に固定されているとともに、第2� �動機構55の駆動受部22および駆動受部22を支� �する軸受部23および付勢部24が設けられてい� ��。第3枠体53には、第2駆動機構55の駆動発生� ��21が弾性的に固定されている。
 第1駆動機構54および第2駆動機構55は、上述� ��ごとく第1枠体51~第3枠体53に配置されており 、第1駆動機構54において駆動発生部21が駆動� ��部22に作用する作用方向C1は、第2駆動機構55 において駆動発生部21が駆動受部22に作用す� �作用方向C2の平行かつ逆向きの方向である。 詳しくは、第1駆動機構54の駆動発生部21と駆� ��受部22との位置関係は、第2駆動機構55の駆� �発生部21と駆動受部22との位置関係と逆にな� ��ている。すなわち、第1駆動機構54では、駆� ��発生部21と駆動受部22とは、第3方向Cに対向� ��て配置されるとともに、駆動発生部21は駆� �受部22の第3方向Cの上側に配置されている。� ��方、第2駆動機構55では、駆動発生部21と駆� �受部22とは、第3方向Cに対向して配置される� ��ともに、駆動発生部21は駆動受部22の第3方� �Cの下側に配置されている。

 このように、第1駆動機構54および第2駆動機 構55において、駆動発生部21が駆動受部22に作 用する方向を第3方向Cに沿った方向とするこ� ��で、第3方向Cから見た駆動装置50の大きさ(� �影面積)を小さくすることが可能となる。さ� ��に、第1駆動機構54における作用方向C1と第2� ��動機構55における作用方向C2とを第3方向Cに� ��った方向かつ逆向きとすることで、駆動装� ��50の第3方向Cへの厚みを小さくすることが可 能となる。
 〈回り止め機構〉
 図2に示すように、第1枠体51には、第1方向A� ��沿って第1駆動機構54の駆動受部22のシャフ� �5(後述)の両端が固定されている。さらに、� �2枠体52には、第2方向Bに沿って第2駆動機構55 の駆動受部22のシャフト5(後述)の両端が固定� ��れている。

 第1枠体51と第2枠体52との間には、第1駆動機 構54が設けられる位置と第2方向B反対側に第1� ��り止め機構57が設けられている。第1回り止� ��機構57は、第1駆動機構54のシャフト5回りに� ��1枠体51と第2枠体52とが相対回転することを� ��止するための機構である。第1回り止め機構 57は、第1枠体51に形成された概ねU字形状の回 り止め4fと、第2枠体52のシャフト保持部24aに� ��入または接着により固定され、回り止め4f� �嵌め込まれたシャフト15とから構成されてい る。第1回り止め機構57のシャフト15は、第1方 向Aに沿って延びている。
 第2枠体52と第3枠体53との間には、第2駆動機 構55が設けられる位置と第1方向A反対側に第2� ��り止め機構58が設けられている。第2回り止� ��機構58は、第2駆動機構55のシャフト5回りに� ��2枠体52と第3枠体53とが相対回転することを� ��止するための機構である。第2回り止め機構 58は、第3枠体53に形成された概ねU字形状の回 り止め4fと、第2枠体52のシャフト保持部24bに� ��入または接着により固定され、回り止め4f� �嵌め込まれたシャフト15とから構成されてい る。第2回り止め機構58のシャフト15は、第2方 向Bに沿って延びている。

 上述のように、第2枠体52を第1方向Aに沿っ� �駆動する第1駆動機構54の駆動発生部21は、駆 動装置50において第1方向Aに沿って設けられ� �2本のシャフト5,15のうち、第1駆動機構54のシ ャフト5に作用する。すなわち、駆動発生部21 からの駆動は、第1方向Aへの第2枠体52の運動� ��より正確に規制する主軸である、第1駆動機 構54の駆動受部22に対して作用する。このた� �、モーメントの発生を抑え、第2枠体52を第1� ��向Aに沿ってより正確に(直線的に)駆動する� ��とが可能となる。
 また、第3枠体53を第2方向Bに沿って駆動す� �第2駆動機構55の駆動発生部21は、駆動装置50� ��おいて第2方向Bに沿って設けられた2本のシ� ��フト5,15のうち、第2駆動機構55のシャフト5� �作用する。すなわち、駆動発生部21からの駆 動は、第2方向Bへの第3枠体53の運動をより正� ��に規制する主軸である、第2駆動機構55の駆� ��受部22に対して作用する。このため、モー� �ントの発生を抑え、第3枠体53を第2方向Bに沿 ってより正確に(直線的に)駆動することが可� ��となり、駆動性能が向上する。

 〈駆動機構〉
 ここで、図面を参照しながら、第1駆動機構 54および第2駆動機構55について説明する。な� ��、それぞれの駆動機構を構成する駆動発生� ��21、駆動受部22、軸受部23、付勢部24の構成� �ほぼ同様であるため、以下では、第2駆動機� ��55について詳しく説明し、第1駆動機構54に� �いては、その説明を省略する。
 図3は、本発明の第2駆動機構55の分解斜視図 である。
 第2駆動機構55は、上述のように、駆動発生� ��21と、駆動受部22と、軸受部23と、付勢部24� �を含む。
 駆動発生部21は、例えば圧電素子などの電� �機械変換素子により駆動を発生させる。駆� �受部22は、駆動発生部21により発生した駆動� ��受け、駆動発生部21に対して相対的に駆動� �れる。軸受部23は、駆動受部22を挟んで駆動� ��生部21と対向して配置され、駆動受部22にお いて駆動発生部21が作用する箇所の駆動発生� ��21側とは反対側への駆動受部22の変位を規制 する。付勢部24は、駆動発生部21と軸受部23と をお互いに近づける方向に付勢する。

 このような駆動発生部21は、第3枠体53によ� �支持され、第3枠体53は、駆動発生部21が発生 する駆動により、駆動受部22に対して相対的� ��駆動される。
 以下、上述の各構成について、より詳細に� ��明を加える。
 〈駆動発生部21〉
 図4は、第2駆動機構55が備える駆動発生部21� ��斜視図である。
 駆動発生部21は、振動アクチュエータ1と、� ��性体2a~2cと、アクチュエータケース3とから� ��に構成されている。
 振動アクチュエータ1は、直方体形状をした 圧電素子1a、圧電素子1aの最も広い面積を有� �る面(以下、主面という)の長辺側の側面に配 置され、駆動受部22に対して摩擦接触する2つ の駆動子1b,1c、主面に形成された4つの電極1d~ 1gとから主に構成されている。

 圧電素子1aは、主にセラミックスなどの材� �により構成される部材である。圧電素子1aは 、対角に位置する2対の電極1d,1gおよび電極1e, 1fにそれぞれ位相が異なる交流電圧を印加す� ��ことで、縦振動と屈曲振動とを調和的に発� ��させ、駆動力を発生させる。なお、電圧印� ��は、電極1d~1gに接続されたフレキシブルプ� �ント基板(図示せず)を用いて行われている。 駆動子1b,1cは、駆動受部22と接触する頭部が� �球状に形成された、例えばセラミックス材� �で構成された部材である。駆動子1b,1cは、圧 電素子1aに固定され、圧電素子1aに発生した� �動力を駆動受部22に伝える。なお、駆動子1b, 1cの頭部の形状は、図示した半球状に限らず� ��他の曲面状に形成されていてもよく、駆動� ��率を高める形状であれば、どのような形状� ��も構わない。
 弾性体2a,2bは、圧電素子1aの主面の短辺側側 面を両側から弾性支持する。弾性体2cは、圧� ��素子1aの主面の長辺側側面を駆動受部22側に 弾性支持する。弾性体2a~2cは、ゴムやフェル� ��などで構成されており、弾性変形すること� ��より、付勢力を発生する。弾性体2a~2cは、� �動受部22に対する振動アクチュエータ1の姿� �を維持し、振動アクチュエータ1が駆動受部2 2を駆動する際の駆動効率を高める役割を果� �す。なお、弾性体2cは、後述する加圧バネ11� ��ともに、駆動発生部21と軸受部23とをお互い に近づける方向に付勢する付勢部24(図3参照)� ��構成する。

 アクチュエータケース3は、振動アクチュ エータ1および弾性体2a~2cを一体的に保持する 。具体的には、振動アクチュエータ1は、弾� �体2a~2cを介して、アクチュエータケース3の� �部に固定されている。アクチュエータケー� �3には、圧電素子1aの主面の反対側の面と対� �する面において、厚さ方向に貫通する貫通� �3aが形成されている(図3参照)。アクチュエー タケース3は、貫通孔3aに、後述する第3枠体53 の平面部4cに形成された突起4dを嵌め合わせ� �ことにより、平面部4cと対向して配置される 。これにより、アクチュエータケース3の内� �に固定された振動アクチュエータ1および弾� ��体2a~2cは、第3枠体53および第3枠体53に配置� �れる部材に対して位置決めされる。具体的� �は、後述する駆動受部22のシャフト5、概ねU� ��形状のベース6およびセラミックス板7に対� �て、振動アクチュエータ1の駆動子1b、1cが接 触するように配置される。この時、弾性体2c� ��、ある程度収縮するため、振動アクチュエ� ��タ1の駆動子1b、1cは、セラミックス板7を押� ��しつつ接触する。なお、アクチュエータケ� ��ス3には貫通孔3aを形成せず、突起4dを設け� �い平面部4cに対して接着固定してもよい。

 〈駆動受部22〉
 駆動受部22(図3参照)は、ステンレスからな� �シャフト5と、シャフト5に固定されるベース 6と、ベース6の駆動発生部21と対向する面に� �り付けられたセラミックス板7とから主に構� ��されている。シャフト5は、後述する第3枠� �53の挿通孔4a,4bに対して挿通され、第3枠体53� ��対して、シャフト5の軸方向(符号Aで示す方� ��)に相対的に駆動される。ベース6は、挿通� �4a,4bに挿通されたシャフト5の挿通孔4aと挿通 孔4bとの中間位置において接着剤によって接� ��固定、あるいは異種材料同士の化学的接合� ��より固定されている。
 駆動子1b,1cの頭部は、それぞれ半球状に形� �されている。このため、駆動受部22を効率よ く駆動させるためには、円柱状のシャフト5� �駆動子1b,1cが直接当接するよりも、シャフト 5に固定された平面状のセラミックス板7に駆� ��子1b,1cが直接当接する方が好ましい。また� �平面状のセラミックス板7を介して、駆動子1 b,1cと駆動受部22とを当接させる方が、組み立 ても容易となる。

 なお、駆動子1b,1cが摺動方向(シャフト5の 軸方向)に曲率を有する形状である場合には� �駆動子1b,1cを、円柱状のシャフト5の円弧部� �に当接させても駆動効率はそれほど低下し� �い。しかし、駆動発生部21は、高周波の駆動 を発生させるとともに、駆動発生部21から駆� ��受部22への駆動の伝達は、摩擦による伝達� �あるため、セラミックス材料で形成された� �動子1b,1cと、金属材料で形成されたシャフト 5とを直接接触させると、接触部の摩耗が激� �くなる。ここで、駆動装置50が、シャフト5� �磨耗されることによる粉塵や駆動効率の低� �等を許容できる装置に搭載されるものであ� �場合には、駆動子1b,1cと円柱状のシャフト5� �を直接当接させる、あるいはシャフト5にDカ ットを施し、その平面部を駆動子1b,1cと直接� ��接させるなどといった構成を採用すること� ��可能である。

 しかし、駆動装置50が、シャフト5が磨耗� ��れることによる粉塵や駆動効率の低下等を� ��容できない装置に搭載されるものである場� ��には、接触部を磨耗しにくい材料で構成す� ��ことが求められる。一方、シャフト5をセラ ミックス材料で構成しようとしても、高硬度 材料であるセラミックス材料を精度良く円柱 形に研磨することは困難であり、高コストの 要因となる。このため、第2駆動機構55では、 容易に精度良く研磨することが可能でコスト などの問題がない金属材料でシャフト5を構� �しつつ、シャフト5に対してセラミックス板7 を固定する構成を採用している。なお、ベー ス6をセラミックス材料で構成する場合には� �セラミックス板7は設けなくてもよい。また� ��ベース6は、正確にU字形状で無くとも良く� �シャフト5に合わせて円弧状(C字形状)の断面� ��有していてもよい。

 〈軸受部23〉
 軸受部23(図3参照)は、シャフト5を挟んで駆� ��発生部21と対向して配置され、駆動発生部21 の駆動によるシャフト5の撓みを規制する部� �である。軸受部23は、シャフト5に当接し、� �ャフト5に対する軸受部23の摺動抵抗を低下� �せる役割を果たす球状の4個の転動体8と、そ れぞれの転動体8を保持する転動体保持器9と� ��転動体8および転動体保持器9を案内するガ� �ドレール10とを含む。
 図5と図6とを用いて、軸受部23の構成につい て詳細に説明する。図5は、軸受部23の拡大図 であり、軸受部23からガイドレール10を取り� �した状態を示している。図6は、軸受部23を� �側(駆動発生部21側)から見た斜視図である。
 転動体8は、鋼球で構成されており、軸受部 23には、4個配置される。なお、軸受部23の安� ��性から考えると転動体8は4個配置されてい� �ば十分であるが、それよりも多くても構わ� �い。尚、転動体8は、鋼球で構成されていな� ��てもよく、安定性、摺動負荷が低減できる� ��であれば、それ以外の材料で構成されてい� ��も構わない。

 転動体保持器9は、略直方体状の部材であり 、摺動性の高い樹脂、例えば、ポリアセター ル(POM)やポリフェニレンスルフィド(PPS)で構� �されている。転動体保持器9は、その4隅にお いて、転動体8を保持する円形の開口部を有� �ている。開口部は、転動体保持器9の厚さ方� ��に貫通するとともに、長辺側の側面におい� ��開放する。転動体8は、各開口部の内側に配 置され、転動体保持器9の厚さ方向に直交す� �方向への移動が規制されている。また、転� �体8の一部は、転動体保持器9の長辺側の側面 から突出する。
 転動体保持器9は、転動体8を各貫通孔に保� �した状態で、シャフト5に対向して配置され� ��。この時、転動体保持器9は、短辺方向に並 ぶ転動体8が、シャフト5の軸心に対して概略9 0度の開き角度に配置されるように、転動体8� ��保持する。
 ガイドレール10は、転動体8を保持した状態� ��転動体保持器9をシャフト5とは反対側から� �うように配置される概ねU字形状の部材であ� ��。ガイドレール10は、天面10aおよび天面10a� �対向する2辺から天面10aに略直交して延びる2 つの側面10b,10cを有している。

 転動体保持器9により保持された各転動体8� �、ガイドレール10の天面10aおよび側面10b、あ るいは天面10aおよび側面10cに接触し、転動す る。このため、シャフト5からの反力は、転� �体8を介して天面10a、側面10b,10cに均等に伝わ り、摺動負荷が著しく低減する。
 転動体保持器9のシャフト5側の面とガイド� �ール10側の面には、シャフト5あるいはガイ� �レール10との摺動抵抗を低減するために突起 9a,9bが形成されている。突起9a(図5参照)は、� �動体保持器9のガイドレール10側の面におい� �、シャフト5の軸方向に沿って延びる突起で� ��る。また、突起9aは、シャフト5の軸方向に� ��交する方向に並んで複数、例えば2本形成さ れている。突起9b(図6参照)は、転動体保持器9 のシャフト5側の面において形成されている� �具体的には、突起9bは、シャフト5の軸方向� �沿って並ぶ開口部の中間位置において、シ� �フト5の軸方向に直交する方向に沿って延び� ��突起である。また、突起9bは、シャフト5の� ��方向に並んで複数、例えば2本形成されてい る。

 突起9aは、転動体保持器9とガイドレール10� �が摺動する際の摺動方向と平行な方向に形� �されているため、接触面積が少なくなり、� �動抵抗を低減させることが可能となる。ま� �、突起9bは、転動体保持器9とシャフト5とが� ��動する際の摺動方向と直交する方向に形成� ��れているため、接触面積が少なくなり、摺� ��抵抗を低減させることが可能となる。以上� ��より、軸受部23の総合的な摺動特性が向上� �る。
 図5に示すように、ガイドレール10の天面10a� ��4隅には、側面10b,10c側に突出して延びる4つ� ��突出部10dが形成されている。図3に示すよう に、それぞれの突出部10dは、後述する第3枠� �53の支持部4hに嵌め込まれており、ガイドレ� ��ル10の姿勢を維持する。具体的には、ガイ� �レール10では、4隅に形成された突出部10dが� �持部4hにより支持されることで、シャフト5� �りの回転が規制される。これにより、ガイ� �レール10に当接する転動体8および転動体保� �器9のシャフト5回りの回転を規制することも 可能となる。

 〈付勢部24〉
 付勢部24(図3参照)は、加圧バネ11と、弾性体 2cとを含んでいる。弾性体2cについては、既� �説明したため、詳しい説明は省略する。
 図3に示すように、加圧バネ11は、ガイドレ� ��ル10の天面10aと対向し、ガイドレール10をシ ャフト5側に押圧する矩形状の主面11eと、主� �11eの2つの長辺の両端からシャフト5側に延び る4つの延伸部11a,11b,11c,11dとから主に構成さ� �ている。さらに、図3に示すように、加圧バ� ��11は、延伸部11a~11dの先端に形成された爪が� ��述する第3枠体53の突起部4gに嵌め込まれる� �とにより、第3枠体53に固定される。
 なお、ここでは、加圧バネ11は、ガイドレ� �ル10をシャフト5側に押圧すると記載したが� �加圧バネ11は少なくともガイドレール10のシ� ��フト5側とは反対側への移動を規制するもの で有ればよい。また、加圧バネ11は、ガイド� ��ール10を直接押圧するように取り付けると� �明したが、弾性部材(図示せず)を加圧バネ11� ��ガイドレール10との間に挟み込んでもよい� �

 ここで、図3をさらに参照して、ガイドレー ル10および加圧バネ11の取り付けについて説� �する。
 上述のように、ガイドレール10には、4つの� ��出部10dが設けられている。ガイドレール10� �第3枠体53へ取り付ける際には、各突出部10d� �、受け部となる各支持部4hに配置する。ガイ ドレール10の各突出部10dと第3枠体53の支持部4 hとの間に隙間がある場合、加圧バネ11を取り 付ける際にガイドレール10が多少傾くことに� ��るが、この場合でも各突出部10dが各支持部4 hと接触するため、ガイドレール10が大きく回 転することが防止できる。すなわち、シャフ ト5に対して転動体8を介して対向して配置さ� ��るために、シャフト5の軸回りに回転しやす いガイドレール10に対して、各突出部10dを設� ��ることで、ガイドレール10の取り付けが容� �となる。さらには、加圧バネ11をガイドレー ル10を覆うように配置するとともに、延伸部1 1a~11dの先端の爪を第3枠体53の突起部4gに嵌め� ��むだけで加圧バネ11を第3枠体53に取り付け� �ことができるため、組み立てが容易となる� �

 付勢部24(図3参照)は、軸受部23をシャフト5� �に押圧する加圧バネ11と、駆動発生部21をシ� ��フト5側に押圧する弾性体2cとを含んでおり� ��駆動発生部21と軸受部23とをお互いに近づけ る方向に付勢する。
 弾性体2cは、例えば、シリコンゴムにより� �成されており、収縮により弾性力を発生さ� �、駆動発生部21をシャフト5側に付勢する。� �れにより、シャフト5は、振動アクチュエー� ��1から軸に直交する方向への付勢力を受ける 。シャフト5は、挿通孔4a,4bに挿通されている 。このため、シャフト5が駆動発生部21とは反 対側から支持されていなければ、挿通孔4a,4b� ��おいてシャフト5を支持する支持力が発生し 、シャフト5が撓む。
 しかし、シャフト5の駆動発生部21とは反対� ��には、加圧バネ11により付勢された軸受部23 が配置されている。このため、シャフト5は� �駆動発生部21と反対側から支持されており、 挿通孔4a,4bにおいてシャフト5に対して加わる 支持力は軽減または相殺される。これにより 、シャフト5の変形が抑制され、挿通孔4a,4bと シャフト5との摺動抵抗が低減され、駆動効� �が向上する。

 〈第3枠体53〉
 第3枠体53(図3参照)は、枠体4と、枠体4の側� �に設けられ、シャフト5を支持するとともに� ��受部23が固定される支持部4iと、駆動発生部 21が固定される固定部4jとから主に構成され� �いる。
 枠体4は、中心部に撮像素子などの光学部品 を固定する板状部材である。
 支持部4iには、板状の枠体4の面に平行な一� ��向(一辺に沿った方向)にシャフト5を挿通し� ��支持するように、挿通孔4aおよび4bが形成さ れている。また、支持部4iには、ガイドレー� ��10の外周に形成された突出部10dを支持する� �持部4hが形成されているとともに、加圧バネ 11の延伸部11a~11dの先端の爪が係止される突起 部4gが形成されている。

 固定部4jは、主にアクチュエータケース3と� ��向して配置される平面部4cと、平面部4cの一 端に形成され、アクチュエータケース3をシ� �フト5側に支持する受け部4eとから構成され� �いる。
 さらに、第3枠体53には、枠体4を挟んで支持 部4iに対向する位置に、回り止め4fが形成さ� �ている。回り止め4fは、シャフト5が固定さ� �る部材などに実質的に固定されるシャフト15 を支持し、第3枠体53のシャフト5回りの回転� �規制する。
 また、上述の例では、枠体4の面に平行な一 方向に沿って第3枠体53が駆動される場合につ いて説明した。すなわち、枠体4の中心部に� �置される撮像素子に入射する光の光軸方向� �直交する方向に沿って第3枠体53が駆動され� �場合について説明した。この場合、駆動装� �50は、撮像素子を駆動させて像ぶれの補正を 行う装置として利用可能である。

 〈その他〉
  〈1〉
 枠体4に配置される光学部品は、撮像素子に 限らず、レンズなど他の光学部品であっても よい。これについて、図7を用いて説明する� �
 図7は、図1に示す駆動装置50と同様の構成を 採用しつつ、第3枠体53に設けた開口に光学レ ンズ16を配置した駆動装置50である。駆動装� �50は、第3方向Cに沿って入射する光の光軸40� �対して、第1方向Aおよび第2方向Bに光学レン� ��16を駆動し、後段において配置される撮像� �子の受像のぶれを補正する。この駆動装置50 、その後段において配置される撮像素子、光 学レンズ16の位置を検知する位置センサおよ� ��位置センサの出力により駆動装置50を駆動� �る制御部などにより、像ぶれ補正装置が構� �される。

 駆動装置50では、第1枠体51、第2枠体52およ� �第3枠体53には、光学レンズ16から入射した光 軸40を通過させるために厚さ方向に貫通する� ��口が設けられている。
 なお、光学レンズ16は、1枚のレンズに限ら� ��、複数のレンズからなるレンズ群であって� ��よい。
 図21を用いて説明した電磁式の像ぶれ補正� �置の場合には、例えば重力の影響を受ける� �ッチ方向(図21のY方向)に像ぶれ補正を行わな い場合にも、アクチュエータに電流を流して 正規の位置を保持する必要がある。しかし、 アクチュエータを摩擦駆動し、かつ駆動発生 部21が駆動受部22に対して付勢力を与える場� �には、電流を流さなくとも光学レンズ16の位 置を保持することが可能である。すなわち、 駆動装置50を用いた像ぶれ補正装置では、電� ��を流さなくとも光軸40の中央近傍に光学レ� �ズ16を位置決めして保持することが可能であ る。この結果、この像ぶれ補正装置では、消 費電力を低減することが可能となる。

  〈2〉
 上述の構成には、振動アクチュエータ1の駆 動効率をさらに向上させるために、振動アク チュエータ1を付勢する部材を配置すること� �可能である。これについて、図1、図7~図9を� ��いて具体的に説明する。
 図1や図7に示すように、第1駆動機構54およ� �第2駆動機構55は、振動アクチュエータ1の主� ��に垂直な方向で、アクチュエータケース3側 とは反対側への移動を規制する規制部材14と� ��振動アクチュエータ1の主面と規制部材14と� ��間に配置され、振動アクチュエータ1をアク チュエータケース3側に付勢するとともに、� �制部材14の寸法のバラツキを吸収する弾性体 13とを有している。
 第1駆動機構54の規制部材14は、第2方向Bへの 振動アクチュエータ1の移動を規制する。第2� ��動機構55の規制部材14は、第1方向Aへの振動� ��クチュエータ1の移動を規制する。それぞれ の振動アクチュエータ1は、弾性体2c(図3参照) により駆動受部22に対して押圧されつつ、電� ��が印加される時には、微小な振動を繰り返� ��ている。もし振動アクチュエータ1のアクチ ュエータケース3側とは反対側への移動が規� �されていなければ、この微小な振動により� �動受部22に対する振動アクチュエータ1の姿� �が時間とともに変化する。この姿勢の変化� �、駆動効率の低下につながる。

 一方、第1駆動機構54および第2駆動機構55が� ��制部材14および弾性体13を有し、振動アクチ ュエータ1の移動を規制している場合には、� �動受部22の駆動効率の低下が防止可能となる 。
 また、図8と図9とに示すように、図1と図7と に示す第1駆動機構54および第2駆動機構55は、 加圧バネ11に代えてガイドレール10をシャフ� �5側に押圧する押圧部材12を有していてもよ� �。押圧部材12は、ガイドレール10の天面10a上� ��係止される爪を先端に有する略コの字状の� ��材であり、それぞれの駆動発生部21全体を� �うように駆動発生部21側から取り付けられ、 ガイドレール10をシャフト5側に引き寄せるよ うに作用する。
(第2実施形態)
 本発明の第2実施形態である駆動装置につい て説明する。なお、第1実施形態で説明した� �と同様の構成に対しては同じ符号を付して� �れらの説明を省略する。

 〈駆動装置60〉
 図10に示す駆動装置60は、デジタルスチール カメラ、デジタルビデオカメラなどの光学機 器に搭載される装置であり、CCDやCMOSなどの� �像素子やレンズといった光学部品を光軸に� �交な2方向に駆動し、光学像の像ぶれ補正を� ��うために用いられる装置である。図10に示� �駆動装置60は、特に上面側に撮像素子などを 搭載し駆動する装置である。
 図10に示すように、駆動装置60は、第1枠体61 と、第2枠体62と、第3枠体63と、第1駆動機構64 と、第2駆動機構65とを備えている。第2枠体62 は、第1枠体61に対して第1方向Aに移動可能に� ��持されている。第3枠体63は、第2枠体62に対� ��て第1方向Aと直交する第2方向Bに移動可能に 支持されている。

 第1駆動機構64は、第1枠体61と第2枠体62との� ��に設けられ、第1枠体61と第2枠体62とを相対� ��動させる。具体的には、第1駆動機構64は、� ��2枠体62を第1枠体61および第1枠体61が固定さ� ��る光学機器(図示せず)に対して第1方向Aに沿 って駆動する。
 第2駆動機構65は、第2枠体62と第3枠体63との� ��に設けられ、第2枠体62と第3枠体63とを相対� ��動させる。具体的には、第2駆動機構65は、� ��3枠体63を第2枠体62に対して第2方向Bに沿っ� �駆動する。第2駆動機構65は、第1駆動機構64� �対して、第1方向Aおよび第2方向Bに直交する� ��3方向C回りに90度回転した位置に配置されて いる。
 第1駆動機構64と第2駆動機構65とのそれぞれ� ��、第1実施形態で説明した第1駆動機構54と第 2駆動機構55と同様に、駆動発生部21と、駆動� ��部22と、軸受部23と、付勢部24とを含んでい� ��。

 第1駆動機構64では、駆動発生部21と駆動受� �22と軸受部23とは、第2方向Bに沿って配置さ� �ており、それぞれの第3方向Cの位置は、ほぼ 同じである。
 第2駆動機構65では、駆動発生部21と駆動受� �22と軸受部23とは、第1方向Aに沿って配置さ� �ており、それぞれの第3方向Cの位置は、ほぼ 同じである。
 さらに、第1駆動機構64と第2駆動機構65との� ��れぞれの第3方向Cの位置は、ほぼ同じであ� �、それぞれの駆動受部22に平行な同一平面上 に配置されている。
 第1枠体61には、第1駆動機構64の駆動受部22� �固定されているとともに、駆動受部22を支持 する軸受部23および付勢部24が設けられてい� �。第2枠体62には、第1駆動機構64の駆動発生� �21が弾性的に固定されているとともに、第2� �動機構65の駆動受部22および駆動受部22を支� �する軸受部23および付勢部24が設けられてい� ��。第3枠体63には、第2駆動機構65の駆動発生� ��21が弾性的に固定されている。

 第1駆動機構64および第2駆動機構65は、上述� ��ごとく第1枠体61~第3枠体63に配置されており 、第1駆動機構64において駆動発生部21が駆動� ��部22に作用する作用方向B1は、第2駆動機構65 において駆動発生部21が駆動受部22に作用す� �作用方向A1と直交する方向である。
 このように、第1駆動機構64と第2駆動機構65� ��をほぼ同じ高さに配置することで、駆動装� ��60の第3方向Cへの厚みを小さくすることが可 能となる。また、第1駆動機構64および第2駆� �機構65を構成する部材を第3方向Cと直交する� ��向(第1方向Aや第2方向B)に沿って配置するこ� ��で、第3方向Cへの厚みを小さくすることが� �能となる。
 また、駆動装置60には、第1実施形態で説明� ��た第1回り止め機構57と第2回り止め機構58と� ��様の回り止め機構(第1回り止め機構67と第2� �り止め機構68)が設けられている。

 〈その他〉
 第3枠体63に配置される光学部品は、撮像素� ��に限らず、レンズなど他の光学部品であっ� ��もよい。これについて、図11を用いて説明� �る。
 図11は、図10に示す駆動装置60と同様の構成� ��採用しつつ、第3枠体63に設けた開口に光学� ��ンズ16を配置した駆動装置60である。駆動装 置60は、第3方向Cに沿って入射する光の光軸40 に対して、第1方向Aおよび第2方向Bに光学レ� �ズ16を駆動し、後段において配置される撮像 素子の受像のぶれを補正する。この駆動装置 60、その後段において配置される撮像素子、� ��学レンズ16の位置を検知する位置センサお� �び位置センサの出力により駆動装置60を駆動 する制御部などにより、像ぶれ補正装置が構 成される。

 駆動装置60では、第1枠体61、第2枠体62およ� �第3枠体63には、光学レンズ16から入射した光 軸40を通過させるために厚さ方向に貫通する� ��口が設けられている。
 なお、光学レンズ16は、1枚のレンズに限ら� ��、複数のレンズからなるレンズ群であって� ��よい。
 図21を用いて説明した電磁式の像ぶれ補正� �置の場合には、例えば重力の影響を受ける� �ッチ方向(図21のY方向)に像ぶれ補正を行わな い場合にも、アクチュエータに電流を流して 正規の位置を保持する必要がある。しかし、 アクチュエータを摩擦駆動し、かつ駆動発生 部21が駆動受部22に対して付勢力を与える場� �には、電流を流さなくとも光学レンズ16の位 置を保持することが可能である。すなわち、 駆動装置60を用いた像ぶれ補正装置では、電� ��を流さなくとも光軸40の中央近傍に光学レ� �ズ16を位置決めして保持することが可能であ る。この結果、この像ぶれ補正装置では、消 費電力を低減することが可能となる。
(第3実施形態)
 本発明の第3実施形態である駆動装置につい て説明する。

 図12は、本発明の第3実施形態である駆動装� ��120の分解斜視図である。
 駆動装置120は、駆動発生部121と、摺動部材( 相対駆動部)122と、軸受部(規制部)123と、付勢 部124と、本体部125とを含む。
 駆動発生部121は、例えば圧電素子などの電� ��機械変換素子により駆動を発生させる。摺� ��部材122は、駆動発生部121により発生した駆� ��を受け、駆動発生部121に対して相対的に駆� ��される。軸受部123は、摺動部材122を挟んで� ��動発生部121と対向して配置され、摺動部材1 22において駆動発生部121が作用する箇所の駆� ��発生部121側とは反対側への摺動部材122の変� ��を規制する。付勢部124は、駆動発生部121と� ��受部123とをお互いに近づける方向に付勢す� ��。本体部125は、駆動発生部121を支持し、摺� ��部材122と相対的に駆動される。

 以下、上述の各構成について、より詳細に� ��明を加える。
 〈駆動発生部121〉
 図13は、駆動装置120が備える駆動発生部121� �斜視図である。
 駆動発生部121は、振動アクチュエータ101と� ��弾性体102a~102cと、アクチュエータケース103� ��から主に構成されている。
 振動アクチュエータ101は、直方体形状をし� ��圧電素子101a、圧電素子101aの最も広い面積� �有する面(以下、主面という)の長辺側の側面 に配置され、摺動部材122に対して摩擦接触す る2つの駆動子101b,101c、主面に形成された4つ� ��電極101d~101gとから主に構成されている。
 圧電素子101aは、主にセラミックスなどの材 料により構成される部材である。圧電素子101 aは、対角に位置する2対の電極101d,101gおよび� ��極101e,101fにそれぞれ位相が異なる交流電圧� ��印加することで、縦振動と屈曲振動とを調� ��的に発生させ、駆動力を発生させる。なお� ��電圧印加は、電極101d~101gに接続されたフレ� ��シブルプリント基板(図示せず)を用いて行� �れている。駆動子101b,101cは、摺動部材122と� �触する頭部が半球状に形成された、例えば� �ラミックス材料で構成された部材である。� �動子101b,101cは、圧電素子101aに固定され、圧� ��素子101aに発生した駆動力を摺動部材122に伝 える。なお、駆動子101b,101cの頭部の形状は、 図示した半球状に限らず、他の曲面状に形成 されていてもよく、駆動効率を高める形状で あれば、どのような形状でも構わない。

 弾性体102a,102bは、圧電素子101aの主面の短辺 側側面を両側から弾性支持する。弾性体102c� �、圧電素子101aの主面の長辺側側面を摺動部� ��122側に弾性支持する。弾性体102a~102cは、ゴ� ��やフェルトなどで構成されており、弾性変� ��することにより、付勢力を発生する。弾性� ��102a~102cは、摺動部材122に対する振動アクチ� ��エータ101の姿勢を維持し、振動アクチュエ� ��タ101が摺動部材122を駆動する際の駆動効率� ��高める役割を果たす。なお、弾性体102cは、 後述する加圧バネ111とともに、駆動発生部121 と軸受部123とをお互いに近づける方向に付勢 する付勢部124(図12参照)を構成する。
 アクチュエータケース103は、振動アクチュ� ��ータ101および弾性体102a~102cを一体的に保持� ��る。具体的には、振動アクチュエータ101は� ��弾性体102a~102cを介して、アクチュエータケ� ��ス103の内部に固定されている。アクチュエ� ��タケース103には、圧電素子101aの主面の反対 側の面と対向する面において、厚さ方向に貫 通する貫通孔103aが形成されている(図12参照)� ��アクチュエータケース103は、貫通孔103aに、 後述する本体部125の平面部104cに形成された� �起104dを嵌め合わせることにより、平面部104c と対向して配置される。これにより、アクチ ュエータケース103の内部に固定された振動ア クチュエータ101および弾性体102a~102cは、本体 部125および本体部125に配置される部材に対し て位置決めされる。具体的には、後述する摺 動部材122のシャフト105、ベース106およびセラ ミックス板107に対して、振動アクチュエータ 101の駆動子101b,101cが接触するように配置され る。この時、弾性体102cは、ある程度収縮す� �ため、振動アクチュエータ101の駆動子101b,101 cは、セラミックス板107を押圧しつつ接触す� �。

 〈摺動部材122〉
 摺動部材122(図12参照)は、ステンレスからな るシャフト105と、シャフト105に固定されるベ ース106と、ベース106の駆動発生部121と対向す る面に貼り付けられたセラミックス板107とか ら主に構成されている。シャフト105は、後述 する本体部125の挿通孔104a,104bに対して挿通さ れ、本体部125に対して、シャフト105の軸方向 (符号Aで示す方向)に相対的に駆動される。ベ ース106は、挿通孔104a,104bに挿通されたシャフ ト105の挿通孔104aと挿通孔104bとの中間位置に� ��いて接着剤によって接着固定、あるいは異� ��材料同士の化学的接合により固定されてい� ��。
 駆動子101b,101cの頭部は、それぞれ半球状に� ��成されている。このため、摺動部材122を効� ��よく駆動させるためには、円柱状のシャフ� ��105に駆動子101b,101cが直接当接するよりも、� ��ャフト105に固定された平面状のセラミック� ��板107に駆動子101b,101cが直接当接する方が好� ��しい。また、平面状のセラミックス板107を� ��して、駆動子101b,101cと摺動部材122とを当接� ��せる方が、組み立ても容易となる。

 なお、駆動子101b,101cが摺動方向(シャフト 105の軸方向)に曲率を有する形状である場合� �は、駆動子101b,101cを、円柱状のシャフト105� �円弧部分に当接させても駆動効率はそれほ� �低下しない。しかし、駆動発生部121は、高� �波の駆動を発生させるとともに、駆動発生� �121から摺動部材122への駆動の伝達は、摩擦� �よる伝達であるため、セラミックス材料で� �成された駆動子101b,101cと、金属材料で形成� �れたシャフト105とを直接接触させると、接� �部の摩耗が激しくなる。ここで、駆動装置12 0が、シャフト105が磨耗されることによる粉� �や駆動効率の低下等を許容できる装置に搭� �されるものである場合には、駆動子101b,101c� �円柱状のシャフト105とを直接当接させる、� �るいはシャフト105にDカットを施し、その平� ��部を駆動子101b,101cと直接当接させるなどと� ��った構成を採用することも可能である。

 しかし、駆動装置120が、シャフト105が磨耗� ��れることによる粉塵や駆動効率の低下等を� ��容できない装置に搭載されるものである場� ��には、接触部を磨耗しにくい材料で構成す� ��ことが求められる。一方、シャフト105をセ� ��ミックス材料で構成しようとしても、高硬� ��材料であるセラミックス材料を精度良く円� ��形に研磨することは困難であり、高コスト� ��要因となる。このため、駆動装置120では、� ��易に精度良く研磨することが可能でコスト� ��どの問題がない金属材料でシャフト105を構� ��しつつ、シャフト105に対してセラミックス� ��107を固定する構成を採用している。なお、� ��ース106をセラミックス材料で構成する場合� ��は、セラミックス板107は設けなくてもよい� ��
 〈軸受部123〉
 軸受部123(図12参照)は、シャフト105を挟んで 駆動発生部121と対向して配置され、駆動発生 部121の駆動によるシャフト105の撓みを規制す る部材である。軸受部123は、シャフト105に当 接し、シャフト105に対する軸受部123の摺動抵 抗を低下させる役割を果たす球状の4個の転� �体108と、それぞれの転動体108を保持する転� �体保持器109と、転動体108および転動体保持� �109を案内するガイドレール110とを含む。

 図114と図115とを用いて、軸受部123の構成に� ��いて詳細に説明する。図114は、軸受部123の� ��大図であり、軸受部123からガイドレール110� ��取り外した状態を示している。図115は、軸� ��部123を下側(駆動発生部121側)から見た斜視� �である。
 転動体108は、鋼球で構成されており、軸受� ��123には、4個配置される。なお、軸受部123の 安定性から考えると転動体108は4個配置され� �いれば十分であるが、それよりも多くても� �わない。尚、転動体108は、鋼球で構成され� �いなくてもよく、安定性、摺動負荷が低減� �きるのであれば、それ以外の材料で構成さ� �ていても構わない。
 転動体保持器109は、略直方体状の部材であ� ��、摺動性の高い樹脂、例えば、ポリアセタ� ��ル(POM)やポリフェニレンスルフィド(PPS)で構 成されている。転動体保持器109は、その4隅� �おいて、転動体108を保持する円形の開口部� �有している。開口部は、転動体保持器109の� �さ方向に貫通するとともに、長辺側の側面� �おいて開放する。転動体108は、各開口部の� �側に配置され、転動体保持器109の厚さ方向� �直交する方向への移動が規制されている。� �た、転動体108の一部は、転動体保持器109の� �辺側の側面から突出する。

 転動体保持器109は、転動体108を各貫通孔に� ��持した状態で、シャフト105に対向して配置� ��れる。この時、転動体保持器109は、短辺方� ��に並ぶ転動体108が、シャフト105の軸心に対� ��て概略90度の開き角度に配置されるように� �転動体108を保持する。
 ガイドレール110は、転動体108を保持した状� ��の転動体保持器109をシャフト105とは反対側� ��ら覆うように配置されるU字形状の部材であ る。ガイドレール110は、天面110aおよび天面11 0aの対向する2辺から天面110aに略直交して延� �る2つの側面110b,110cを有している。
 転動体保持器109により保持された各転動体1 08は、ガイドレール110の天面110aおよび側面110 b、あるいは天面110aおよび側面110cに接触し、 転動する。このため、シャフト105からの反力 は、転動体108を介して天面110a、側面110b,110c� �均等に伝わり、摺動負荷が著しく低減する� �

 転動体保持器109のシャフト105側の面とガ� ��ドレール110側の面には、シャフト105あるい� ��ガイドレール110との摺動抵抗を低減するた� ��に突起109a,109bが形成されている。突起109a(� �114参照)は、転動体保持器109のガイドレール1 10側の面において、シャフト105の軸方向に沿� ��て延びる突起である。また、突起109aは、シ ャフト105の軸方向に直交する方向に並んで複 数、例えば2本形成されている。突起109b(図115 参照)は、転動体保持器109のシャフト105側の� �において形成されている。具体的には、突� �109bは、シャフト105の軸方向に沿って並ぶ開� ��部の中間位置において、シャフト105の軸方� ��に直交する方向に沿って延びる突起である� ��また、突起109bは、シャフト105の軸方向に並 んで複数、例えば2本形成されている。

 突起109aは、転動体保持器109とガイドレール 110とが摺動する際の摺動方向と平行な方向に 形成されているため、接触面積が少なくなり 、摺動抵抗を低減させることが可能となる。 また、突起109bは、転動体保持器109とシャフ� �105とが摺動する際の摺動方向と直交する方� �に形成されているため、接触面積が少なく� �り、摺動抵抗を低減させることが可能とな� �。以上により、軸受部123の総合的な摺動特� �が向上する。
 図16に示すように、ガイドレール110の天面11 0aの4隅には、側面110b,110c側に突出して延びる 4つの突出部110dが形成されている。図16に示� �ように、それぞれの突出部110dは、後述する� ��体部125の支持部104hに嵌め込まれており、ガ イドレール110の姿勢を維持する。具体的には 、ガイドレール110では、4隅に形成された突� �部110dが支持部104hにより支持されることで、 シャフト105回りの回転が規制される。これに より、ガイドレール110に当接する転動体108お よび転動体保持器109のシャフト105回りの回転 を規制することも可能となる。

 〈付勢部124〉
 付勢部124(図12参照)は、加圧バネ111と、弾性 体102cとを含んでいる。弾性体102cについては� ��既に説明したため、詳しい説明は省略する� ��
 図16に示すように、加圧バネ111は、ガイド� �ール110の天面110aと対向し、ガイドレール110� ��シャフト105側に押圧する矩形状の主面111eと 、主面111eの2つの長辺の両端からシャフト105� ��に延びる4つの延伸部111a,111b,111c,111dとから� �に構成されている。さらに、図17に示すよう に、加圧バネ111は、延伸部111a~111dの先端に形 成された爪が後述する本体部125の突起部104g� �嵌め込まれることにより、本体部125に固定� �れる。
 なお、ここでは、加圧バネ111は、ガイドレ� ��ル110をシャフト105側に押圧すると記載した� ��、加圧バネ111は少なくともガイドレール110� ��シャフト105側とは反対側への移動を規制す� ��もので有ればよい。また、加圧バネ111は、� ��イドレール110を直接押圧するように取り付� ��ると説明したが、弾性部材(図示せず)を加� �バネ111とガイドレール110との間に挟み込ん� �もよい。

 ここで、図16をさらに参照して、ガイドレ� �ル110および加圧バネ111の取り付けについて� �明する。
 上述のように、ガイドレール110には、4つの 突出部110dが設けられている。ガイドレール11 0を本体部125へ取り付ける際には、各突出部11 0dを、受け部となる各支持部104hに配置する。 ガイドレール110の各突出部110dと本体部125の� �持部104hとの間に隙間がある場合、加圧バネ1 11を取り付ける際にガイドレール110が多少傾� ��ことになるが、この場合でも各突出部110dが 各支持部104hと接触するため、ガイドレール11 0が大きく回転することが防止できる。すな� �ち、シャフト105に対して転動体108を介して� �向して配置されるために、シャフト105の軸� �りに回転しやすいガイドレール110に対して� �各突出部110dを設けることで、ガイドレール1 10の取り付けが容易となる。さらには、ガイ� ��レール110を覆うように加圧バネ111を配置す� ��とともに、延伸部111a~111dの先端の爪を本体� ��125の突起部104gに嵌め込むだけで加圧バネ111 を本体部125に取り付けることができるため、 組み立てが容易となる。

 付勢部124(図12参照)は、軸受部123をシャフト 105側に押圧する加圧バネ111と、駆動発生部121 をシャフト105側に押圧する弾性体102cとを含� �でおり、駆動発生部121と軸受部123とをお互� �に近づける方向に付勢する。
 弾性体102cは、例えば、シリコンゴムにより 構成されており、収縮により弾性力を発生さ せ、駆動発生部121をシャフト105側に付勢する 。これにより、シャフト105は、振動アクチュ エータ101から軸に直交する方向への付勢力を 受ける。シャフト105は、挿通孔104a,104bに挿通 されている。このため、シャフト105が駆動発 生部121とは反対側から支持されていなければ 、挿通孔104a,104bにおいてシャフト105を支持す る支持力が発生し、シャフト105が撓む。
 しかし、シャフト105の駆動発生部121とは反� ��側には、加圧バネ111により付勢された軸受� ��123が配置されている。このため、シャフト1 05は、駆動発生部121と反対側から支持されて� ��り、挿通孔104a,104bにおいてシャフト105に対� ��て加わる支持力は軽減または相殺される。� ��れにより、シャフト105の変形が抑制され、� ��通孔104a,104bとシャフト105との摺動抵抗が低� ��され、駆動効率が向上する。

 〈本体部125〉
 本体部125(図12参照)は、枠体104と、枠体104の 側面に設けられ、シャフト105を支持するとと もに軸受部123が固定される支持部104iと、駆� �発生部121が固定される固定部104jとから主に� ��成されている。
 枠体104は、中心部にレンズなどの光学部品� ��固定する板状部材である。
 支持部104iには、板状の枠体104の面に平行な 一方向(一辺に沿った方向)にシャフト105を挿� ��して支持するように、挿通孔104aおよび4bが� ��成されている。また、支持部104iには、ガイ ドレール110の外周に形成された突出部110dを� �持する支持部104hが形成されているとともに� ��加圧バネ111の延伸部111a~111dの先端の爪が係� ��される突起部104gが形成されている。

 固定部104jは、主にアクチュエータケース103 と対向して配置される平面部104cと、平面部10 4cの一端に形成され、アクチュエータケース1 03をシャフト105側に支持する受け部104eとから 構成されている。
 さらに、本体部125には、枠体104を挟んで支� ��部104iに対向する位置に、回り止め104fが形� �されている。回り止め104fは、シャフト105が� ��定される部材などに実質的に固定されるシ� ��フト115を支持し、本体部125のシャフト105回� ��の回転を規制する。
 なお、上述の例では、本体部125がシャフト1 05に沿って移動する場合について記載してい� ��が、枠体104を固定すれば、摺動部材122であ� ��シャフト105、ベース106、セラミックス板107� ��駆動を行うことができる。

 また、上述の例では、枠体104の面に平行な� ��方向に沿って本体部125が駆動される場合に� ��いて説明した。すなわち、枠体104の中心部� ��配置されるレンズの光軸方向に直交する方� ��に沿って本体部125が駆動される場合につい� ��説明した。この場合、駆動装置120は、レン� ��を駆動させて像ぶれの補正を行う装置とし� ��利用可能である。しかし、支持部104iがレン ズの光軸方向(枠体104の面に直交する方向)に� ��ってシャフト105を支持する構造であれば、� ��動装置120は、光軸方向に光学部品を駆動す� ��装置、例えば、フォーカス調整装置などと� ��て利用可能である。
 さらに、枠体104に配置される光学部品は、� ��ンズに限らず、CCD,CMOSなどの撮像素子であ� �てもよい。
 〈その他〉
 上述の構成には、振動アクチュエータ101の� ��動効率をさらに向上させるために、振動ア� ��チュエータ101を付勢する部材を配置するこ� ��が可能である。これについて、図18を用い� �具体的に説明する。

 図18に示すように、駆動装置120は、振動ア� �チュエータ101の主面に垂直な方向で、アク� �ュエータケース103側とは反対側への移動を� �制する規制部材114と、振動アクチュエータ10 1の主面と規制部材114との間に配置され、振� �アクチュエータ101をアクチュエータケース10 3側に付勢するとともに、規制部材114の寸法� �バラツキを吸収する弾性体113とを有してい� �。
 規制部材114は、振動アクチュエータ101の駆� ��子101b,101cと摺動部材122とが接触する方向に� ��して直角方向への振動アクチュエータ101の� ��動を規制する。振動アクチュエータ101は、� ��性体102c(図12参照)により摺動部材122に対し� �押圧されつつ、電圧が印加される時には、� �小な振動を繰り返している。もし振動アク� �ュエータ101のアクチュエータケース103側と� �反対側への移動が規制されていなければ、� �の微小な振動により摺動部材122に対する振� �アクチュエータ101の姿勢が時間とともに変� �する。この姿勢の変化は、駆動効率の低下� �つながる。

 一方、駆動装置120が規制部材114および弾性� ��113を有し、振動アクチュエータ101の移動を� ��制している場合には、摺動部材122の駆動効� ��の低下が防止可能となる。
 また、図18では、加圧バネ111に代えてガイ� �レール110をシャフト105側に押圧する押圧部� �112を有している。押圧部材112は、ガイドレ� �ル110の天面110a上に係止される爪を先端に有� ��る略コの字状の部材であり、駆動発生部121� ��体を覆うように駆動発生部121側から取り付� ��られ、ガイドレール110をシャフト105側に引� ��寄せるように作用する。なお、言うまでも� ��いが、駆動装置120は、押圧部材112に代えて� ��圧バネ111を有していてもよい。
 また、図19に示すように、駆動装置120が押� �部材112を有する場合には、本体部125には、� �クチュエータケース103をシャフト105側に支� �する受け部104e(図12参照)が形成されていなく てもよい。この場合、押圧部材112のコの字状 の底部がアクチュエータケース103をシャフト 105側に支持する。また、押圧部材112の側部の 一方は、本体部125に設けられた開口部104kに� �入されるとともに、側部の他方は、振動ア� �チュエータ101の主面を覆うように配置され� �。さらに、側部の先端に形成された爪がガ� �ドレール110の天面110a上に係止される。