以下、本発明の実施形態を図面に基づい� ��詳細に説明する。

 《発明の実施形態1》
 本発明の実施形態1について説明する。本実 施形態の製造装置(1)は、PTFE(ポリテトラフル� ��ロエチレン)粉末の製造過程において、最終 製品としての乾燥したPTFE粉末を製造するた� �に、濡れた状態のPTFE粉末に処理を施すため� ��装置である。なお、以下の説明で用いる「� ��」「左」「前」「後」「手前」「奥」は、� ��れも製造装置(1)を正面側から見た場合のも� ��を意味している。

 ここで、PTFE粉末は、水中での重合反応に よって生成される。このため、乾燥したPTFE� �末を得るには、重合反応により生成された� �れた状態のPTFE粉末を乾燥させる必要がある� ��また、PTFE粉末は、PTFE製の物品を押し出し� �形する際の原料として用いられる場合があ� �。この用途に用いられるPTFE粉末には、押し� ��し成形する際の押出圧が概ね一定であるこ� ��が要求され、その要求を満たすにはPTFE粉末 に熱処理を施す必要がある。そこで、本実施 形態の製造装置(1)は、濡れた状態のPTFE粉末� �乾燥させる工程と、乾燥したPTFE粉末に熱処� ��を施す工程とを行う。

 図1に示すように、本実施形態の製造装置 (1)は、前段ユニット(20)と、後段ユニット(60)� ��を備えている。前段ユニット(20)は、PTFE粉� �にマイクロ波を照射するためのユニットで� �って、後述する搬送用トレイ(14)と共に本発� ��に係る乾燥装置を構成している。後段ユニ� ��ト(60)は、前段ユニット(20)を通過したPTFE粉� ��を高温の空気によって加熱するためのユニ� ��トである。この製造装置(1)では、後段ユニ� ��ト(60)の上に前段ユニット(20)が設置されて� �る。

 本実施形態の製造装置(1)は、図2に示すよ うなトレイユニット(10)を複数備えている。� �トレイユニット(10)は、4つの搬送用トレイ(14 )と、1つのトレイラック(11)とによって構成さ れている。

 図3に示すように、搬送用トレイ(14)は、� �面が開口した扁平な直方体状の容器である� �具体的に、搬送用トレイ(14)は、共にステン� ��ス製の底板部(15)と側板部(16)とを備えてい� �。底板部(15)は、概ね正方形状に形成された� ��板である。図示しないが、底板部(15)には、 直径0.5mm程度の水抜き孔が1.0mm程度のピッチ� �多数開口している。側板部(16)は、長方形状� ��形成された平板である。側板部(16)は、底板 部(15)と概ね直交する姿勢で、底板部(15)の各� ��に沿って1枚ずつ設けられている。この搬送 用トレイ(14)には、濡れた状態のPTFE粉末が載� ��られる。

 図2に示すように、トレイラック(11)は、� �にステンレス製の枠部材(12)と柱部材(13)とを 4つずつ備えている。枠部材(12)は、矩形状に� ��成されており、互いに所定の間隔をおいて� ��下に配列されている。柱部材(13)は、棒状に 形成されており、上下に配列された枠部材(12 )の角部に1本ずつ配置されている。トレイラ� ��ク(11)では、各枠部材(12)の上に搬送用トレ� �(14)が1枚ずつ載せられる。トレイラック(11)� �おける枠部材(12)同士の間隔は、各枠部材(12) に載せられた搬送用トレイ(14)同士の間隔が� �定の値Hとなるように設定されている。つま� ��、トレイラック(11)では、上下に隣接する一 対の搬送用トレイ(14)について、上方に位置� �る搬送用トレイ(14)の底板部(15)の底面と、下 方に位置する搬送用トレイ(14)の側板部(16)の� ��端面との距離が、一定の値Hとなっている。

 図4に示すように、前段ユニット(20)は、� �ーシング部材である本体ケーシング(21)と、� ��送機構であるローラーコンベア(25)とを備え ている。また、前段ユニット(20)は、4つのマ� ��クロ波照射部(40,45,50,55)を備えている。この 前段ユニット(20)は、本発明に係る乾燥装置� �本体部を構成している。

 本体ケーシング(21)は、両端が閉塞された 矩形断面のダクト状に形成されており、その 長手方向が概ね水平方向となる姿勢で設置さ れている。本体ケーシング(21)の内部空間は� �トレイラック(11)を収容するための収容空間� ��なっている。本体ケーシング(21)の内部空間 には、3つの区画用扉(24)がその長手方向に沿� ��て等間隔で立設されている。区画用扉(24)に ついては後述する。

 本体ケーシング(21)の内部空間は、3つ区� �用扉(24)によって4つの空間に仕切られている 。本体ケーシング(21)において、区画用扉(24)� ��よって仕切られた4つの空間は、最も左側に 位置する空間が第1照射ゾーン(31)となり、そ� ��右隣に位置する空間が第2照射ゾーン(32)と� �り、更にその右隣に位置する空間が第3照射� ��ーン(33)となり、最も右側に位置する空間が 第4照射ゾーン(34)となっている。これら各照� ��ゾーン(31~34)の広さは、1つのトレイユニッ� �(10)を収納できる程度となっている。

 区画用扉(24)は、本体ケーシング(21)の断� �形状に対応した矩形状に形成されたステン� �ス製の平板である。この区画用扉(24)は、上� ��方向へ移動することによって開閉する。区� ��用扉(24)が開くと、区画用扉(24)を挟んで隣� �する照射ゾーン(31~34)が互いに連通する。

 本体ケーシング(21)には、搬入用扉(22)と� �出用扉(23)とが設けられている。搬入用扉(22) は、本体ケーシング(21)の前面のうち第1照射� ��ーン(31)に臨む部分に設けられている。搬入 用扉(22)は、矩形状に形成されたステンレス� �の平板であって、上下方向へ移動すること� �よって開閉する。搬入用扉(22)が開くと、第1 照射ゾーン(31)が本体ケーシング(21)の外部と� ��通する。一方、搬出用扉(23)は、本体ケーシ ング(21)の底面のうち第4照射ゾーン(34)に臨む 部分に設けられている。搬出用扉(23)は、矩� �状に形成されたステンレス製の平板であっ� �、水平方向へ移動することによって開閉す� �。搬出用扉(23)が開くと、第4照射ゾーン(34)� �本体ケーシング(21)の外部と連通する。

 本体ケーシング(21)の内部空間には、ロー ラーコンベア(25)が収容されている。ローラ� �コンベア(25)は、本体ケーシング(21)の底部に 配置されており、本体ケーシング(21)の長手� �向に沿って本体ケーシング(21)のほぼ全長に� ��って敷設されている。本体ケーシング(21)に 収容されたトレイユニット(10)は、ローラー� �ンベア(25)の上に載せられ、ローラーコンベ� ��(25)によって左から右へ向かって搬送される 。

 本体ケーシング(21)には、各照射ゾーン(31 ~34)へ空気を供給するための給気ダクト(36)と� ��各照射ゾーン(31~34)から空気を排出するため の排気ダクト(37)とが接続されている。本体� �ーシング(21)では、4つの照射ゾーン(31~34)の� �れぞれに対して、給気ダクト(36)と排気ダク� ��(37)が10本ずつ接続されている。

 給気ダクト(36)は、本体ケーシング(21)の� �側の側面(即ち、背面)に接続され、対応する 照射ゾーン(31~34)に開口している。各照射ゾ� �ン(31~34)にトレイユニット(10)を収容した状態 では、トレイユニット(10)における搬送用ト� �イ(14)同士の間(3箇所)と最上段の搬送用トレ� ��(14)の上側(1箇所)と最下段の搬送用トレイ(14 )の下側(1箇所)とに、給気ダクト(36)が2つずつ 開口している。

 排気ダクト(37)は、本体ケーシング(21)の� �前側の側面(即ち、前面)に接続され、対応す る照射ゾーン(31~34)に開口している。各照射� �ーン(31~34)にトレイユニット(10)を収容した状 態では、トレイユニット(10)における搬送用� �レイ(14)同士の間(3箇所)と最上段の搬送用ト� ��イ(14)の上側(1箇所)と最下段の搬送用トレイ (14)の下側(1箇所)とに、排気ダクト(37)が2つず つ開口している。

 各マイクロ波照射部(40,45,50,55)は、マイク ロ波発振器(41,46,51,56)と導波管(42,47,52,57)とを� ��1つのトレイユニット(10)に設けられる搬送� �トレイ(14)と同数ずつ備えている。本実施形� ��では、1つのトレイユニット(10)に4つの搬送� ��トレイ(14)が設けられる。従って、本実施形 態のマイクロ波照射部(40,45,50,55)には、マイ� �ロ波発振器(41,46,51,56)と導波管(42,47,52,57)とが 4つずつ設けられる。

 各マイクロ波発振器(41,46,51,56)は、周波数 が2.45GHzのマイクロ波を発生させるように構� �されており、その出力が1.0kW程度となってい る。各導波管(42,47,52,57)は、マイクロ波発振� �(41,46,51,56)で発生したマイクロ波を照射ゾー� ��(31~34)へ導くためのものであって、断面が横 長の長方形状となった金属製の管により構成 されている。各導波管(42,47,52,57)は、全体と� �てL字状に形成されている。マイクロ波発振� ��(41,46,51,56)は、各導波管(42,47,52,57)の始端に1� ��ずつ接続されている。

 各導波管(42,47,52,57)の終端は、本体ケーシ ング(21)の側面に取り付けられ、本体ケーシ� �グ(21)を貫通して対応する照射ゾーン(31~34)に 開口している。第1マイクロ波照射部(40)の導� ��管(42)は、本体ケーシング(21)の左端面に取� �付けられており、その終端が第1照射ゾーン( 31)に開口する照射口(43)となっている。第2マ� ��クロ波照射部(45)の導波管(47)は、本体ケー� �ング(21)の奥側の側面(即ち、背面)のうち第2� ��射ゾーン(32)に臨む部分に取り付けられてお り、その終端が第2照射ゾーン(32)に開口する� ��射口(48)となっている。第3マイクロ波照射� �(50)の導波管(52)は、本体ケーシング(21)の手� �側の側面(即ち、前面)のうち第3照射ゾーン(3 3)に臨む部分に取り付けられており、その終� ��が第3照射ゾーン(33)に開口する照射口(53)と� ��っている。第4マイクロ波照射部(55)の導波� �(57)は、本体ケーシング(21)の右端面に取り付 けられており、その終端が第4照射ゾーン(34)� ��開口する照射口(58)となっている。

 各マイクロ波照射部(40,45,50,55)に4本ずつ� �けられた導波管(42,47,52,57)は、それぞれの終� ��が互いに所定の間隔をおいて上下方向へ一� ��に並んでいる。つまり、本体ケーシング(21) 内に形成された各照射ゾーン(31~34)では、4つ� ��照射口(43,48,53,58)が上下方向へ一列に並んで 開口している。第1照射ゾーン(31)では、その� ��行き方向の中央部に照射口(43)が開口してい る。第2照射ゾーン(32)では、その左右方向の� ��央部に照射口(48)が開口している。第3照射� �ーン(33)では、その左右方向の中央部に照射� ��(53)が開口している。第4照射ゾーン(34)では� ��その奥行き方向の中央部に照射口(58)が開口 している。また、各照射ゾーン(31~34)にトレ� �ユニット(10)を収容した状態では、トレイユ� ��ット(10)における搬送用トレイ(14)同士の間(3 箇所)と最上段の搬送用トレイ(14)の上側(1箇� �)とに、照射口(43,48,53,58)が1つずつ配置され� �。

 本体ケーシング(21)内の各照射ゾーン(31~34 )には、シールド用枠部(26)が1つずつ設けられ ている。シールド用枠部(26)は、本体ケーシ� �グ(21)の内側面や区画用扉(24)に沿って設けら れ、照射ゾーン(31~34)に収容されたトレイユ� �ット(10)の最下段の搬送用トレイ(14)の周囲を 囲っている。シールド用枠部(26)のうち区画� �扉(24)に設けられた部分は、区画用扉(24)と一 体になって上下に移動する。シールド用枠部 (26)は、その断面形状が長方形状になってお� �、その内周面がトレイユニット(10)における� ��下段の搬送用トレイ(14)の側板部(16)と対面� �ている。シールド用枠部(26)の高さは、搬送� ��トレイ(14)の高さと同じか、それよりもやや 高くなっている。シールド用枠部(26)の材質� �金属である。

 図5に示すように、各照射ゾーン(31~34)に� �レイユニット(10)を収容した状態では、各照� ��ゾーン(31~34)を形成する壁面と搬送用トレイ (14)との間隔が所定の値に設定されている。� �お、図5は、第1照射ゾーン(31)にトレイユニ� �ト(10)が収容された状態を示している。

 具体的に、トレイユニット(10)の最上段に 設けられた搬送用トレイ(14)の側板部(16)の上� ��と本体ケーシング(21)の天井面との距離は、 各搬送用トレイ(14)同士の間隔と同じ値Hに設� ��されている。また、トレイユニット(10)にお ける上から3段目までの各搬送用トレイ(14)の� ��面と本体ケーシング(21)の内壁面との間隔は 、左右方向の間隔と前後方向の間隔の何れも が同じ値Lとなっている。また、トレイユニ� �ト(10)の最下段の搬送用トレイ(14)の側面とシ ールド用枠部(26)の内周面との間隔は、搬送� �トレイ(14)の全周に亘って一定の値Dとなって いる。この搬送用トレイ(14)とシールド用枠� �(26)との間隔Dは、搬送用トレイ(14)に照射さ� �るマイクロ波が通過できない程度の値に設� �されている。

 ここで、各マイクロ波照射部(40,45,50,55)の マイクロ波発振器(41,46,51,56)が発生させるマ� �クロ波の周波数をλとする。本実施形態の各 照射ゾーン(31~34)では、距離Hがλ/2以上の値(H� ��λ/2)に設定され、距離Lがλ以上の値(H≧λ)に 設定されている。本実施形態のマイクロ波発 振器(41,46,51,56)が発生させるマイクロ波は、� �の周波数が2.45GHzであり、その波長が128mmと� �っている。従って、本実施形態の各照射ゾ� �ン(31~34)では、距離Hが64mm以上に設定され、� �離Lが128mm以上に設定されている。

 図6に示すように、後段ユニット(60)は、� �体ケーシング(61)とローラーコンベア(65)とを 備えている。

 本体ケーシング(61)は、両端が閉塞された 矩形断面のダクト状に形成されており、その 長手方向が概ね水平方向となる姿勢で設置さ れている。本体ケーシング(61)の内部空間は� �トレイラック(11)を収容するための収容空間� ��なっている。後段ユニット(60)の本体ケーシ ング(61)の長さは、前段ユニット(20)の本体ケ� ��シング(21)の長さの約1.5倍となっている。後 段ユニット(60)の本体ケーシング(61)には、そ� ��長手方向に沿って6つのトレイユニット(10)� �一列に並んで収容される。

 本体ケーシング(61)の内部空間では、その 長手方向に沿って6つのゾーン(71~74,81,82)が形� ��され、各ゾーン(71~74,81,82)にトレイユニット (10)が1つずつ収容される。ただし、これらの� ��ーン(71~74,81,82)は仮想的なものであり、本体 ケーシング(61)の内部空間が仕切板等によっ� �物理的に区画されている訳ではない。

 本体ケーシング(61)では、右端側から4つ� �ゾーンが乾燥ゾーン(71~74)となり、残りの2つ のゾーンが熱処理ゾーン(81,82)となっている� �この本体ケーシング(61)では、右から左へ向� ��って順に、第1乾燥ゾーン(71)と第2乾燥ゾー� ��(72)と第3乾燥ゾーン(73)と第4乾燥ゾーン(74)� �が一列に並んでいる。また、本体ケーシン� �(61)では、第4乾燥ゾーン(74)の左隣が第1熱処� ��ゾーン(81)となり、最も左寄りのゾーンが第 2熱処理ゾーン(82)となっている。

 本体ケーシング(61)には、搬入用扉(62)と� �出用扉(63)とが設けられている。搬入用扉(62) は、本体ケーシング(61)の上面のうち第1乾燥� ��ーン(71)に臨む部分に設けられている。搬入 用扉(62)は、矩形状に形成されたステンレス� �の平板であって、水平方向へ移動すること� �よって開閉する。搬入用扉(62)が開くと、第1 乾燥ゾーン(71)が本体ケーシング(61)の外部と� ��通する。一方、搬出用扉(63)は、本体ケーシ ング(61)の前面のうち第2熱処理ゾーン(82)に臨 む部分に設けられている。搬出用扉(63)は、� �形状に形成されたステンレス製の平板であ� �て、上下方向へ移動することによって開閉� �る。搬出用扉(63)が開くと、第2熱処理ゾーン (82)が本体ケーシング(61)の外部と連通する。

 ここで、上述したように、後段ユニット( 60)の上には前段ユニット(20)が載せられてい� �。後段ユニット(60)の上に前段ユニット(20)が 載った状態では、前段ユニット(20)の本体ケ� �シング(21)の下面に設けられた搬出用扉(23)と 、後段ユニット(60)の本体ケーシング(61)の上� ��に設けられた搬入用扉(62)とが対面する。な お、本実施形態では、前段ユニット(20)の搬� �用扉(23)と後段ユニット(60)の搬入用扉(62)と� �1つの扉で兼用してもよい。

 本体ケーシング(61)の内部空間には、ロー ラーコンベア(65)が収容されている。ローラ� �コンベア(65)は、本体ケーシング(61)の底部に 配置されており、本体ケーシング(61)の長手� �向に沿って本体ケーシング(61)のほぼ全長に� ��って敷設されている。本体ケーシング(61)に 収容されたトレイユニット(10)は、ローラー� �ンベア(65)の上に載せられ、ローラーコンベ� ��(65)によって右から左へ向かって搬送される 。

 本体ケーシング(61)には、各ゾーン(71~74,81 ,82)へ空気を供給するための給気ダクト(76,86)� ��、各ゾーン(71~74,81,82)から空気を排出するた めの排気ダクト(77,87)とが接続されている。� �体ケーシング(61)では、各乾燥ゾーン(71~74)に 対して、給気ダクト(76)と排気ダクト(77)が10� �ずつ設けられている。また、本体ケーシン� �(61)では、各熱処理ゾーン(81,82)に対して、給 気ダクト(86)と排気ダクト(87)が10本ずつ設け� �れている。

 給気ダクト(76,86)は、本体ケーシング(61)� �奥側の側面(即ち、背面)に接続され、対応す るゾーン(71~74,81,82)に開口している。各ゾー� �(71~74,81,82)にトレイユニット(10)を収容した状 態では、トレイユニット(10)における搬送用� �レイ(14)同士の間(3箇所)と最上段の搬送用ト� ��イ(14)の上側(1箇所)と最下段の搬送用トレイ (14)の下側(1箇所)とに、給気ダクト(76,86)が2つ ずつ開口している。

 排気ダクト(77,87)は、本体ケーシング(61)� �手前側の側面(即ち、前面)に接続され、対応 するゾーン(71~74,81,82)に開口している。各ゾ� �ン(71~74,81,82)にトレイユニット(10)を収容した 状態では、トレイユニット(10)における搬送� �トレイ(14)同士の間(3箇所)と最上段の搬送用� ��レイ(14)の上側(1箇所)と最下段の搬送用トレ イ(14)の下側(1箇所)とに、排気ダクト(77,87)が2 つずつ開口している。

  -運転動作-
 本実施形態の製造装置(1)の運転動作につい� ��説明する。この製造装置(1)は、重合反応に� ��り生成された濡れた状態のPTFE粉末を乾燥さ せる工程と、この工程を経て乾燥したPTFE粉� �に熱処理を施す工程とを行う。

 なお、以下の説明で用いる含水率は、PTFE粉 末自体に対する水の質量割合を百分率で示し た値である。具体的に、濡れた状態のPTFE粉� �が質量W ₁ のPTFE粉末と質量W ₂ の水との混合物であるとすると、その濡れた 状態のPTFE粉末の含水率Rは、下記の式で得ら� ��る値となる。
   R=(W ₂ /W ₁ )×100

 搬送用トレイ(14)には、重合反応により生 成された濡れた状態のPTFE粉末が載せられる� �この搬送用トレイ(14)に載せられるPTFE粉末は 、その含水率が約80%となっている。搬送用ト レイ(14)には、濡れた状態のPTFE粉末が均した� ��態で載せられている。各トレイラック(11)に は、濡れた状態のPTFE粉末の載った搬送用ト� �イ(14)が4枚ずつ載せられる。上述したように 、1つのトレイラック(11)と4枚の搬送用トレイ (14)とによって1つのトレイユニット(10)が形成 される。本実施形態の製造装置(1)には、トレ イユニット(10)が15分間隔で1つずつ投入され� �。

 前段ユニット(20)では、その第1照射ゾー� �(31)へトレイユニット(10)が15分毎に搬入され� ��一方、その第4照射ゾーン(34)からトレイユ� �ット(10)が15分毎に搬出されてゆく。また、� �段ユニット(20)において、その第1,第2,第3照� �ゾーン(31,32,33)に収容されたトレイユニット( 10)は、それぞれ15分毎に右隣の第2,第3,第4照� �ゾーン(32,33,34)へ搬送される。

 前段ユニット(20)の各照射ゾーン(31~34)で� �、そこに収容されたトレイユニット(10)に対� ��て、対応するマイクロ波照射部(40,45,50,55)が マイクロ波を照射する。各照射ゾーン(31~34)� �おいて、対応するマイクロ波照射部(40,45,50,5 5)から照射されたマイクロ波は、各搬送用ト� ��イ(14)上の濡れた状態のPTFE粉末に到達し、� �のPTFE粉末に含まれる水分に吸収される。マ� ��クロ波を吸収した水分は、発熱して蒸発し� ��ゆく。

 また、前段ユニット(20)では、60℃~100℃程 度にまで加熱された外気が給気ダクト(36)か� �各照射ゾーン(31~34)へ吹き出される一方、蒸� ��した水分(水蒸気)を含む各照射ゾーン(31~34)� ��の空気が排気ダクト(37)へ吸い込まれる。排 気ダクト(37)へ吸い込まれた空気は、その全� �が屋外へ排出される。なお、排気ダクト(37)� ��吸い込まれた空気は、有害物質の除去等の� ��切な処理が施された後に屋外へ放出される� ��

 前段ユニット(20)の運転動作を、1つのト� �イユニット(10)に着目して説明する。

 トレイユニット(10)は、前段ユニット(20)� �搬入される。その際、前段ユニット(20)では� ��搬入用扉(22)が開かれ、第1照射ゾーン(31)へ� ��レイユニット(10)が搬入される。第1照射ゾ� �ン(31)へ搬入されたトレイユニット(10)は、ロ ーラーコンベア(25)の上に載せられる。その� �、前段ユニット(20)では、搬入用扉(22)と搬出 用扉(23)と区画用扉(24)の全てが閉じられ、各� ��イクロ波照射部(40,45,50,55)によるマイクロ波 の照射が開始される。

 第1照射ゾーン(31)内のトレイユニット(10)� ��対しては、第1マイクロ波照射部(40)がマイ� �ロ波を照射する。第1マイクロ波照射部(40)の マイクロ波発振器(41)で発生したマイクロ波� �、導波管(42)を通り、照射口(43)からトレイユ ニット(10)の各搬送用トレイ(14)に対して照射� ��れる。つまり、第1照射ゾーン(31)では、ト� �イユニット(10)の各搬送用トレイ(14)に対して 左側方からマイクロ波が照射される。第1照� �ゾーン(31)では、各搬送用トレイ(14)上のPTFE� �末に含まれていた水分がマイクロ波により� �熱されて蒸発し、蒸発した水分が排気ダク� �(37)へと吸い出されてゆく。

 前段ユニット(20)では、マイクロ波の照射 を再開してから15分間が経過すると、マイク� ��波照射部(40,45,50,55)によるマイクロ波の照射 が一旦停止される。また、前段ユニット(20)� �は、区画用扉(24)が開かれ、トレイユニット( 10)が第1照射ゾーン(31)から第2照射ゾーン(32)� �と搬送される。トレイユニット(10)が第2照射 ゾーン(32)へ到達すると、区画用扉(24)が閉じ� ��れ、マイクロ波照射部(40,45,50,55)によるマイ クロ波の照射が再開される。

 第2照射ゾーン(32)内のトレイユニット(10)� ��対しては、第2マイクロ波照射部(45)がマイ� �ロ波を照射する。第2マイクロ波照射部(45)の マイクロ波発振器(46)で発生したマイクロ波� �、導波管(47)を通り、照射口(48)からトレイユ ニット(10)の各搬送用トレイ(14)に対して照射� ��れる。つまり、第2照射ゾーン(32)では、ト� �イユニット(10)の各搬送用トレイ(14)に対して 後方からマイクロ波が照射される。第2照射� �ーン(32)では、各搬送用トレイ(14)上のPTFE粉� �に含まれていた水分がマイクロ波により加� �されて蒸発し、蒸発した水分が排気ダクト(3 7)へと吸い出されてゆく。

 前段ユニット(20)では、マイクロ波の照射 を再開してから15分間が経過すると、マイク� ��波照射部(40,45,50,55)によるマイクロ波の照射 が一旦停止される。また、前段ユニット(20)� �は、区画用扉(24)が開かれ、トレイユニット( 10)が第2照射ゾーン(32)から第3照射ゾーン(33)� �と搬送される。トレイユニット(10)が第3照射 ゾーン(33)へ到達すると、区画用扉(24)が閉じ� ��れ、マイクロ波照射部(40,45,50,55)によるマイ クロ波の照射が再開される。

 第3照射ゾーン(33)内のトレイユニット(10)� ��対しては、第3マイクロ波照射部(50)がマイ� �ロ波を照射する。第3マイクロ波照射部(50)の マイクロ波発振器(51)で発生したマイクロ波� �、導波管(52)を通り、照射口(53)からトレイユ ニット(10)の各搬送用トレイ(14)に対して照射� ��れる。つまり、第3照射ゾーン(33)では、ト� �イユニット(10)の各搬送用トレイ(14)に対して 前方からマイクロ波が照射される。第3照射� �ーン(33)では、各搬送用トレイ(14)上のPTFE粉� �に含まれていた水分がマイクロ波により加� �されて蒸発し、蒸発した水分が排気ダクト(3 7)へと吸い出されてゆく。

 前段ユニット(20)では、マイクロ波の照射 を再開してから15分間が経過すると、マイク� ��波照射部(40,45,50,55)によるマイクロ波の照射 が一旦停止される。また、前段ユニット(20)� �は、区画用扉(24)が開かれ、トレイユニット( 10)が第3照射ゾーン(33)から第4照射ゾーン(34)� �と搬送される。トレイユニット(10)が第4照射 ゾーン(34)へ到達すると、区画用扉(24)が閉じ� ��れ、マイクロ波照射部(40,45,50,55)によるマイ クロ波の照射が再開される。

 第4照射ゾーン(34)内のトレイユニット(10)� ��対しては、第4マイクロ波照射部(55)がマイ� �ロ波を照射する。第4マイクロ波照射部(55)の マイクロ波発振器(56)で発生したマイクロ波� �、導波管(57)を通り、照射口(58)からトレイユ ニット(10)の各搬送用トレイ(14)に対して照射� ��れる。つまり、第4照射ゾーン(34)では、ト� �イユニット(10)の各搬送用トレイ(14)に対して 右側方からマイクロ波が照射される。第4照� �ゾーン(34)では、各搬送用トレイ(14)上のPTFE� �末に含まれていた水分がマイクロ波により� �熱されて蒸発し、蒸発した水分が排気ダク� �(37)へと吸い出されてゆく。

 前段ユニット(20)では、マイクロ波の照射 を再開してから15分間が経過すると、マイク� ��波照射部(40,45,50,55)によるマイクロ波の照射 が一旦停止される。また、前段ユニット(20)� �は、搬出用扉(23)が開かれ、トレイユニット( 10)が第4照射ゾーン(34)から搬出される。第4照 射ゾーン(34)から搬出されるトレイユニット(1 0)において、各搬送用トレイ(14)に載ったPTFE� �末の含水率は、約5%程度となっている。

 このように、前段ユニット(20)において、 第1照射ゾーン(31)では搬送用トレイ(14)に対し て左側方からマイクロ波が照射され、第2照� �ゾーン(32)では搬送用トレイ(14)に対して後方 からマイクロ波が照射され、第3照射ゾーン(3 3)では搬送用トレイ(14)に対して前方からマイ クロ波が照射され、第4照射ゾーン(34)では搬� ��用トレイ(14)に対して右側方からマイクロ波 が照射される。つまり、前段ユニット(20)で� �、トレイユニット(10)が第1照射ゾーン(31)か� �第4照射ゾーン(34)へと順次移動するのにつれ て、搬送用トレイ(14)に対するマイクロ波の� �射方向が90°ずつ変化する。

 前段ユニット(20)の第4照射ゾーン(34)から� ��出されたトレイユニット(10)は、後段ユニッ ト(60)の第1乾燥ゾーン(71)へ搬入されてローラ ーコンベア(65)の上に載せられる。後段ユニ� �ト(60)では、その第1乾燥ゾーン(71)へトレイ� �ニット(10)が15分毎に搬入される一方、その� �2熱処理ゾーン(82)からトレイユニット(10)が15 分毎に搬出されてゆく。第1乾燥ゾーン(71)へ� ��レイユニット(10)を搬入する際には、搬入用 扉(62)が開かれる第2熱処理ゾーン(82)からトレ イユニット(10)を搬出する際には、搬出用扉(6 3)が開かれる。

 更に、後段ユニット(60)において、その第 1,第2,第3乾燥ゾーン(73)(71,72,73)に収容された� �レイユニット(10)は、それぞれ15分毎に左隣� �第2,第3,第4乾燥ゾーン(72,73,74)へ搬送される� �また、後段ユニット(60)では、第4乾燥ゾーン (74)に収容されたトレイユニット(10)が15分毎� �第1熱処理ゾーン(81)へ搬送されると共に、第 1熱処理ゾーン(81)に収容されたトレイユニッ� ��(10)が15分毎に第2熱処理ゾーン(82)へ搬送さ� �る。

 後段ユニット(60)では、100℃~250℃程度(望� ��しくは130℃~200℃程度)の所定温度にまで加� �された空気が給気ダクト(76)から各乾燥ゾー� ��(71~74)へ吹き出される。各乾燥ゾーン(71~74)� �は、給気ダクト(76)から供給された空気によ� ��て搬送用トレイ(14)上のPTFE粉末が加熱され� �このPTFE粉末に含まれる水分が蒸発してゆく� ��蒸発した水分(水蒸気)を含んだ各乾燥ゾー� �(71~74)内の空気は、排気ダクト(77)へ吸い込ま れる。排気ダクト(77)へ吸い込まれた空気は� �その一部(例えば全体の2%程度)が屋外へ排出� ��れ、残りが外気と混合された後に給気ダク� ��(76)を通じて各乾燥ゾーン(71~74)へ送り返さ� �る。なお、排気ダクト(77)へ吸い込まれて屋� ��へ排出される空気は、有害物質の除去等の� ��切な処理が施された後に屋外へ放出される� ��

 後段ユニット(60)において、搬送用トレイ (14)上のPTFE粉末は、トレイユニット(10)が第1� �燥ゾーン(71)から第4乾燥ゾーン(74)にまで移� �してゆく間(つまり、約60分間)に亘って、上� ��所定温度の熱風に晒され続ける。そして、� ��レイユニット(10)が第4乾燥ゾーン(74)から第1 熱処理ゾーン(81)へ移動してゆく時点では、� �送用トレイ(14)上のPTFE粉末の含水率が0.01%以� ��程度の極めて低い値となる。

 また、後段ユニット(60)では、100℃~250℃� �度(望ましくは130℃~200℃程度)の所定温度に� �で加熱された空気が給気ダクト(86)から各熱� ��理ゾーン(81,82)へ吹き出される一方、各熱処 理ゾーン(81,82)内の空気が排気ダクト(87)へ吸� ��込まれる。排気ダクト(87)へ吸い込まれた空 気は、その全部が再び上記所定温度にまで加 熱された後に給気ダクト(86)を通じて各熱処� �ゾーン(81,82)へ送り返される。このため、各� ��処理ゾーン(81,82)内の気温が給気ダクト(86)� �ら吹き出される熱風の温度と同程度に保た� �、各熱処理ゾーン(81,82)に収容された搬送用� ��レイ(14)上のPTFE粉末もそれと同程度の高温� �保たれる。後段ユニット(60)において、搬送� ��トレイ(14)上のPTFE粉末は、トレイユニット(1 0)が第1熱処理ゾーン(81)から第2熱処理ゾーン( 82)にまで移動してゆく間(つまり、約30分間)� �亘って、その温度が100℃以上の高温に保た� �る。

 ここで、含水率がほぼ0%となったPTFE粉末� ��温度をある程度の高温に保つと、初めのう� ��は押出圧(PTFE粉末を押し出し成形する際に� �要な圧力)が次第に上昇してゆき、ある程度� ��時間が経過すると押出圧がそれ以上は上昇� ��ずに概ね一定のままになる。そこで、後段� ��ニット(60)では、PTFE粉末の押出圧が一定と� �るまでに要する時間以上に亘って、PTFE粉末� ��温度を100℃以上の高温に保つようにしてい� ��。この熱処理工程を行うことで、最終製品� ��してのPTFE粉末の押出圧が所定の目標範囲内 の値となる。

 このように、本実施形態の製造装置(1)へ� ��入された搬送トレイ上の濡れた状態のPTFE粉 末は、前段ユニット(20)の照射ゾーン(31~34)で� ��われるマイクロ波を利用した乾燥工程と、� ��段ユニット(60)の乾燥ゾーン(71~74)で行われ� �熱風を利用した乾燥工程と、後段ユニット(6 0)の熱処理ゾーン(81,82)で行われる熱風を利用 した熱処理工程とを順に経て、最終製品とし ての乾燥したPTFE粉末となる。

  -実施形態1の効果-
 本実施形態では、4枚の搬送用トレイ(14)が� �下に配列されたトレイユニット(10)を構成し� ��このトレイユニット(10)を製造装置(1)へ投入 するようにしている。このため、本実施形態 の製造装置(1)では、処理対象となる搬送用ト レイ(14)の全てを1つずつ水平方向へ並べる場� ��に比べると、搬送用トレイ(14)を収容するの に必要な床面積は1/4程度となる。従って、本 実施形態によれば、搬送用トレイ(14)を収容� �る前段ユニット(20)や後段ユニット(60)が占有 する床面積を大幅に削減することができ、製 造装置(1)の小型化を図ることができる。

 ここで、マイクロ波等の電磁波には、例� ��ば金網の網目ような“金属同士の間に形成� ��れた電磁波の波長に対して充分に狭い隙間� ��を通過できないという特性がある。従って� ��上下に並べられた金属製の搬送用トレイ(14) の間隔が狭いと、隣り合う搬送用トレイ(14)� �士の間にマイクロ波が入り込みにくくなり� �搬送用トレイ(14)上の対象物をマイクロ波で� ��分に加熱できなくなる。

 それに対し、本実施形態では、各トレイ� ��ニット(10)においてトレイラック(11)に載せ� �れた搬送用トレイ(14)同士の間隔Hがλ/2以上� �設定される(図5を参照)。更に、本実施形態� �前段ユニット(20)では、金属製の本体ケーシ� ��グ(21)の天井面とトレイユニット(10)におけ� �最上段の搬送用トレイ(14)との距離Hもλ/2以� �に設定される(図5を参照)。

 つまり、本実施形態の前段ユニット(20)で は、上下方向における搬送用トレイ(14)同士� �間隔Hや搬送用トレイ(14)と本体ケーシング(21 )との距離Hが充分に確保されている。このた� ��、上下に配列された金属製搬送用トレイ(14) に対して側方からマイクロ波を照射する場合 であっても、マイクロ波は、搬送用トレイ(14 )に妨げられることなく搬送用トレイ(14)に載� ��たPTFE粉末中の水分に到達する。従って、本 実施形態によれば、各搬送用トレイ(14)上のPT FE粉末に含まれる水分を確実に加熱すること� ��でき、各搬送用トレイ(14)上のPTFEの含水率� �確実に低下させることができる。

 また、本実施形態の前段ユニット(20)では 、本体ケーシング(21)の内壁面と各搬送用ト� �イ(14)の側板部(16)と距離Lがλ以上に設定され ている。つまり、本実施形態では、マイクロ 波の照射方向における本体ケーシング(21)と� �送用トレイ(14)の間隔が充分に確保されてい� ��。このため、搬送用トレイ(14)に対して側方 から照射されたマイクロ波を拡散させて各搬 送用トレイ(14)に行き渡らせることができる� �従って、この発明によれば、各搬送用トレ� �(14)に載ったPTFE粉末中の水分を満遍なく加熱 することができ、搬送用トレイ(14)毎のPTFE粉� ��の含水率を平均化することができる。

 ところで、搬送用トレイ(14)の材質をマイ クロ波の透過率が比較的高い樹脂等にすれば 、搬送用トレイ(14)同士の間隔や搬送用トレ� �(14)と本体ケーシング(21)との間隔がそれ程広 くなくても、マイクロ波は搬送用トレイ(14)� �載ったPTFE粉末中の水分に到達する。しかし� ��がら、一般に樹脂は金属よりも強度が低い� ��め、搬送用トレイ(14)の材質を樹脂にすると 、搬送用トレイ(14)の材質を金属にした場合� �比べて搬送用トレイ(14)が重くなる。また、� ��脂製の搬送用トレイ(14)は取扱中に欠けるお それがある。そして、搬送用トレイ(14)の破� �がPTFE粉末に混入すると、PTFE粉末に異物が混 入することとなり、最終製品としてのPTFE粉� �の品質低下を招くおそれもある。

 それに対し、本実施形態の製造装置(1)で� ��、搬送用トレイ(14)の材質を金属の一種であ るステンレスとしている。このため、搬送用 トレイ(14)を樹脂製とした場合に比べて搬送� �トレイ(14)を軽量化することができ、搬送用� ��レイ(14)の取扱いを容易にすることができる 。また、ステンレス製の搬送用トレイ(14)が� �扱中に欠けることは無いため、異物の混入� �よるPTFE粉末の品質低下も回避することがで� ��る。

 本実施形態では、前段ユニット(20)に収容 された搬送用トレイ(14)に対してマイクロ波� �複数の方向から照射される。前段ユニット(2 0)の各照射ゾーン(31~34)では、照射されたマイ クロ波がPTFE粉末中の水分に次第に吸収され� �ゆく。このため、各照射ゾーン(31~34)内では� ��マイクロ波の出口である照射口(43,48,53,58)か ら離れるにつれて、到達するマイクロ波のエ ネルギが減衰してゆく。これに対し、本実施 形態の前段ユニット(20)では、搬送用トレイ(1 4)に対して複数方向からマイクロ波を照射し� ��いる。従って、本実施形態によれば、各搬� ��用トレイ(14)に載ったPTFE粉末中の水分を均� �に加熱することができ、搬送用トレイ(14)毎� ��PTFE粉末の含水率を平均化することができる 。

 また、本実施形態の前段ユニット(20)では 、概ね水平に設置された矩形状の搬送用トレ イ(14)に対して、前後左右の4方向からマイク� ��波を照射している。このため、搬送用トレ� ��(14)に載ったPTFE粉末中の水分に与えられる� �イクロ波のエネルギは、搬送用トレイ(14)の� ��部において確実に平均化される。従って、� ��実施形態によれば、搬送用トレイ(14)上の各 部におけるPTFE粉末の含水率を平均化するこ� �ができ、搬送用トレイ(14)に載ったPTFE粉末の 全てを確実に乾燥させることができる。

 また、本実施形態の前段ユニット(20)では 、1つのトレイユニット(10)を構成する搬送用� ��レイ(14)のそれぞれに対応して照射口(43,48,53 ,58)を1つずつ設置している。このため、各搬� ��用トレイ(14)上の対象物に与えられるマイク ロ波のエネルギを平均化することができ、各 搬送用トレイ(14)上の対象物の含水率を均一� �することができる。

  -実施形態1の変形例1-
 本実施形態の製造装置(1)については、図7に 示すように、前段ユニット(20)と後段ユニッ� �(60)を前後に並べて配置してもよい。

 本変形例の前段ユニット(20)において、搬 出用扉(23)は、本体ケーシング(21)の背面のう� ��第4照射ゾーン(34)に臨む部分に設けられて� �る。本変形例の後段ユニット(60)において、� ��入用扉(62)は、本体ケーシング(61)の前面の� �ち第1乾燥ゾーン(71)に臨む部分に設けられて いる。

 本変形例の製造装置(1)において、前段ユ� ��ット(20)と後段ユニット(60)は、互いの長手� �向が平行となる姿勢で、前後方向に所定の� �隔をおいて配置されている。また、前段ユ� �ット(20)と後段ユニット(60)は、前段ユニット (20)の搬出用扉(23)と後段ユニット(60)の搬入用 扉(62)とが互いに対面する姿勢で設置されて� �る。前段ユニット(20)の第4照射ゾーン(34)か� �搬出されたトレイユニット(10)は、後方へ向� ��って搬送され、後段ユニット(60)の第1乾燥� �ーン(71)へ搬入される。

  -実施形態1の変形例2-
 本実施形態の製造装置(1)において、1つのト レイユニット(10)に設けられる搬送用トレイ(1 4)の枚数は、4枚に限定されるものではなく、 任意に設定可能である。例えば、1つのトレ� �ユニット(10)に6枚の搬送用トレイ(14)を設け� �ことも可能である。その場合、前段ユニッ� �(20)では、各マイクロ波照射部にマイクロ波� ��振器と導波管が6つずつ設けられることとな る。また、本体ケーシング(21)の内壁面では� �各照射ゾーン(31~34)に収容されたトレイユニ� ��ト(10)の各搬送用トレイ(14)の直ぐ上側に照� �口が1つずつ開口する。

 《発明の実施形態2》
 本発明の実施形態2について説明する。本実 施形態は、上記実施形態1の製造装置(1)の構� �を変更したものである。ここでは、本実施� �態の製造装置(1)について、上記実施形態1と� ��なる点を説明する。なお、以下の説明で用� ��る「右」「左」「前」「後」「手前」「奥� ��は、何れも製造装置(1)を正面側から見た場� ��のものを意味している。

 図8に示すように、本実施形態では、1つ� �トレイユニット(10)に8枚の搬送用トレイ(14)� �設けられる。このトレイユニット(10)のトレ� ��ラック(11)は、上下方向に所定の間隔で配置 された8つの枠部材(12)を備えており、8枚の搬 送用トレイ(14)を上下に一定の間隔Hをおいて� ��列できるように構成されている。

 本実施形態の前段ユニット(20)では、本体 ケーシング(21)の左右方向の長さが実施形態1� ��概ね半分となる一方、本体ケーシング(21)の 高さが実施形態1の概ね2倍となっている。本� ��ケーシング(21)の内部空間では、その左右方 向の中央部に1つの区画用扉(24)が立設されて� ��る。この内部空間は、区画用扉(24)によって 2つの空間に仕切られている。本体ケーシン� �では、区画用扉(24)の左側の空間が第1照射ゾ ーン(31)となり、区画用扉(24)の右側の空間が� ��2照射ゾーン(32)となっている。これら各照� �ゾーン(31,32)の広さは、1つのトレイユニット (10)を収納できる程度となっている。

 区画用扉(24)は、本体ケーシング(21)の断� �形状に対応した矩形状に形成されたステン� �ス製の平板である。この区画用扉(24)は、上� ��方向へ移動することによって開閉する。区� ��用扉(24)が開くと、第1照射ゾーン(31)と第2照 射ゾーン(32)が互いに連通する。

 本実施形態の前段ユニット(20)においても 、本体ケーシング(21)には、搬入用扉(22)と搬� ��用扉(23)とが設けられている。搬入用扉(22)� �、本体ケーシング(21)の前面のうち第1照射ゾ ーン(31)に臨む部分に設けられている。搬入� �扉(22)は、矩形状に形成されたステンレス製� ��平板であって、上下方向へ移動することに� ��って開閉する。搬入用扉(22)が開くと、第1� �射ゾーン(31)が本体ケーシング(21)の外部と連 通する。一方、搬出用扉(23)は、本体ケーシ� �グ(21)の奥側の側面(即ち、背面)のうち第2照� ��ゾーン(32)に臨む部分に設けられている。搬 出用扉(23)は、矩形状に形成されたステンレ� �製の平板であって、上下方向へ移動するこ� �によって開閉する。搬出用扉(23)が開くと、� ��2照射ゾーン(32)が本体ケーシング(21)の外部� ��連通する。

 図示しないが、本実施形態の前段ユニッ� ��(20)においても、本体ケーシング(21)に給気� �クトと排気ダクトとが接続されている。給� �ダクトは、本体ケーシング(21)の奥側の側面( 即ち、背面)に接続されている。この給気ダ� �トは、本体ケーシング(21)の背面のうち第1照 射ゾーン(31)に臨む部分と第2照射ゾーン(32)に 臨む部分とのそれぞれに対して、所定の本数 ずつ接続されている。排気ダクトは、本体ケ ーシング(21)の前面に接続されている。この� �気ダクトは、本体ケーシング(21)の前面のう� ��第1照射ゾーン(31)に臨む部分と第2照射ゾー� ��(32)に臨む部分とのそれぞれに対して、所定 の本数ずつ接続されている。

 本実施形態の前段ユニット(20)には、4つ� �マイクロ波照射部(40,45,50,55)が設けられてい� ��。各マイクロ波照射部(40,45,50,55)は、マイク ロ波発振器(41,46,51,56)と導波管(42,47,52,57)とを� ��1つのトレイユニット(10)に設けられる搬送� �トレイ(14)の数の半分ずつ備えている。本実� ��形態では、1つのトレイユニット(10)に8つの� ��送用トレイ(14)が設けられる。従って、本実 施形態のマイクロ波照射部(40,45,50,55)には、� �イクロ波発振器(41,46,51,56)と導波管(42,47,52,57) とが4つずつ設けられる。

 第1マイクロ波照射部(40)は、本体ケーシ� �グ(21)の左側面に設けられている。具体的に� ��本体ケーシング(21)の左側面には、第1マイ� �ロ波照射部(40)を構成する導波管(42)の終端が 接続されている。この導波管(42)の終端は、� �1照射ゾーン(31)に開口する照射口(43)を構成� �ている。本体ケーシング(21)の内壁面におい� ��、この照射口(43)は、トレイユニット(10)に� �ける上から1段目と2段目の搬送用トレイ(14)� �間、3段目と4段目の搬送用トレイ(14)の間、5� ��目と6段目の搬送用トレイ(14)の間、及び7段� ��と8段目の搬送用トレイ(14)の間のそれぞれ� �1つずつ開口している。

 第2マイクロ波照射部(45)は、本体ケーシ� �グ(21)の奥側の側面(即ち、背面)に設けられ� �いる。具体的に、本体ケーシング(21)の背面� ��は、第2マイクロ波照射部(45)を構成する導� �管(47)の終端が接続されている。この導波管( 47)の終端は、第1照射ゾーン(31)に開口する照� ��口(48)を構成している。本体ケーシング(21)� �内壁面において、この照射口(48)は、トレイ� ��ニット(10)における最上段の搬送用トレイ(14 )と本体ケーシング(21)の天井面の間、2段目と 3段目の搬送用トレイ(14)の間、4段目と5段目� �搬送用トレイ(14)の間、及び6段目と7段目の� �送用トレイ(14)の間のそれぞれに1つずつ開口 している。

 第3マイクロ波照射部(50)は、本体ケーシ� �グ(21)の前面に設けられている。具体的に、� ��体ケーシング(21)の前面には、第3マイクロ� �照射部(50)を構成する導波管(52)の終端が接続 されている。この導波管(52)の終端は、第2照� ��ゾーン(32)に開口する照射口(53)を構成して� �る。本体ケーシング(21)の内壁面において、� ��の照射口(53)は、トレイユニット(10)におけ� �最上段の搬送用トレイ(14)と本体ケーシング( 21)の天井面の間、2段目と3段目の搬送用トレ� ��(14)の間、4段目と5段目の搬送用トレイ(14)の 間、及び6段目と7段目の搬送用トレイ(14)の間 のそれぞれに1つずつ開口している。

 第4マイクロ波照射部(55)は、本体ケーシ� �グ(21)の右側面に設けられている。具体的に� ��本体ケーシング(21)の右側面には、第4マイ� �ロ波照射部(55)を構成する導波管(57)の終端が 接続されている。この導波管(57)の終端は、� �2照射ゾーン(32)に開口する照射口(58)を構成� �ている。本体ケーシング(21)の内壁面におい� ��、この照射口(58)は、トレイユニット(10)に� �ける上から1段目と2段目の搬送用トレイ(14)� �間、3段目と4段目の搬送用トレイ(14)の間、5� ��目と6段目の搬送用トレイ(14)の間、及び7段� ��と8段目の搬送用トレイ(14)の間のそれぞれ� �1つずつ開口している。

 本実施形態の前段ユニット(20)においても 、各照射ゾーン(31,32)には、シールド用枠部(2 6)が1つずつ設けられている。上記実施形態1� �場合と同様に、シールド用枠部(26)は、トレ� ��ユニット(10)における最下段の搬送用トレイ (14)を囲むように設けられており、その内周� �が最下段の搬送用トレイ(14)の側板部(16)と対 面している。

 本実施形態の前段ユニット(20)では、トレ イユニット(10)において上下に配列された搬� �用トレイ(14)同士の間隔Hと、トレイユニット (10)における最上段の搬送用トレイ(14)と本体� ��ーシング(21)の天井面との間隔Hとの何れも� �、λ/2以上の値に設定されている。また、こ� ��前段ユニット(20)において、本体ケーシング (21)の内壁面や区画用扉(24)と各搬送用トレイ( 14)の側板部(16)との距離Lは、λ以上の値に設� �されている。また、この前段ユニット(20)に� ��いて、トレイユニット(10)における最下段の 搬送用トレイ(14)の側板部(16)とシールド用枠� ��(26)の内周面との間隔Dは、両者の隙間をマ� �クロ波が通過できない程度の値に設定され� �いる。

 図示しないが、本実施形態の後段ユニッ� ��(60)では、本体ケーシング(61)の高さが上記� �施形態1の場合の約2倍となっている。この本 体ケーシング(61)は、8枚の搬送用トレイ(14)を 備える本実施形態のトレイユニット(10)を収� �できるように構成されている。なお、上記� �施形態1の場合と同様に、本実施形態の後段� ��ニット(60)においても、本体ケーシング(61)� �では、4つの乾燥ゾーン(71~74)と2つの熱処理� �ーン(81,82)とが1列に並んで形成されている。

  -運転動作-
 本実施形態の前段ユニット(20)の動作につい て説明する。本実施形態の後段ユニット(60)� �動作は、上記実施形態1の場合と同様である� ��

 前段ユニット(20)では、その第1照射ゾー� �(31)へトレイユニット(10)が30分毎に搬入され� ��一方、その第2照射ゾーン(32)からトレイユ� �ット(10)が30分毎に搬出されてゆく。また、� �段ユニット(20)では、その第1照射ゾーン(31)� �収容されたトレイユニット(10)が、30分毎に� �隣の第2照射ゾーン(32)へ搬送される。

 前段ユニット(20)の各照射ゾーン(31,32)で� �、そこに収容されたトレイユニット(10)に対� ��て、対応するマイクロ波照射部(40,45,50,55)が マイクロ波を照射する。各照射ゾーン(31,32)� �おいて、マイクロ波照射部(40,45,50,55)から照� ��されたマイクロ波は、各搬送用トレイ(14)上 の濡れた状態のPTFE粉末に到達し、そのPTFE粉� ��に含まれる水分に吸収される。マイクロ波� ��吸収した水分は、発熱して蒸発してゆく。

 また、前段ユニット(20)では、60℃~100℃程 度にまで加熱された外気が給気ダクトから各 照射ゾーン(31,32)へ吹き出される一方、蒸発� �た水分(水蒸気)を含んだ各照射ゾーン(31,32)� �の空気が排気ダクトへ吸い込まれる。排気� �クトへ吸い込まれた空気は、その全部が屋� �へ排出される。なお、排気ダクトへ吸い込� �れた空気は、有害物質の除去等の適切な処� �が施された後に屋外へ放出される。

 前段ユニット(20)の運転動作を、1つのト� �イユニット(10)に着目して説明する。

 トレイユニット(10)は、前段ユニット(20)� �搬入される。その際、前段ユニット(20)では� ��搬入用扉(22)が開かれ、第1照射ゾーン(31)へ� ��レイユニット(10)が搬入される。第1照射ゾ� �ン(31)へ搬入されたトレイユニット(10)は、ロ ーラーコンベア(25)の上に載せられる。その� �、前段ユニット(20)では、搬入用扉(22)と搬出 用扉(23)と区画用扉(24)の全てが閉じられ、各� ��イクロ波照射部(40,45,50,55)によるマイクロ波 の照射が開始される。

 第1照射ゾーン(31)内のトレイユニット(10)� ��対しては、第1マイクロ波照射部(40)及び第2� ��イクロ波照射部(45)がマイクロ波を照射する 。第1照射ゾーン(31)では、マイクロ波を照射� ��れた各搬送用トレイ(14)上のPTFE粉末に含ま� �ていた水分が蒸発し、蒸発した水分が排気� �クトへと吸い出されてゆく。

 具体的に、第1マイクロ波照射部(40)のマ� �クロ波発振器(41)で発生したマイクロ波は、� ��波管(42)を通り、照射口(43)からトレイユニ� �ト(10)の各搬送用トレイ(14)に対して照射され る。この第1マイクロ波照射部(40)は、主にト� ��イユニット(10)における上から2段目、4段目� ��6段目、8段目の各搬送用トレイ(14)に対して� ��それぞれの左側方からマイクロ波を照射す� ��。

 一方、第2マイクロ波照射部(45)のマイク� �波発振器(46)で発生したマイクロ波は、導波� ��(47)を通り、照射口(48)からトレイユニット(1 0)の各搬送用トレイ(14)に対して照射される。 この第2マイクロ波照射部(45)は、主にトレイ� ��ニット(10)における上から1段目、3段目、5段 目、7段目の各搬送用トレイ(14)に対して、そ� ��ぞれの後方からマイクロ波を照射する。

 前段ユニット(20)では、マイクロ波の照射 時間が30分間に達すると、マイクロ波照射部( 40,45,50,55)によるマイクロ波の照射が一旦停止 される。また、前段ユニット(20)では、区画� �扉(24)が開かれ、トレイユニット(10)が第1照� �ゾーン(31)から第2照射ゾーン(32)へと搬送さ� �る。トレイユニット(10)が第2照射ゾーン(32)� �到達すると、区画用扉(24)が閉じられ、マイ� ��ロ波照射部(40,45,50,55)によるマイクロ波の照 射が再開される。

 第2照射ゾーン(32)内のトレイユニット(10)� ��対しては、第3マイクロ波照射部(50)及び第4� ��イクロ波照射部(55)がマイクロ波を照射する 。第2照射ゾーン(32)では、マイクロ波を照射� ��れた各搬送用トレイ(14)上のPTFE粉末に含ま� �ていた水分が蒸発し、蒸発した水分が排気� �クトへと吸い出されてゆく。

 具体的に、第3マイクロ波照射部(50)のマ� �クロ波発振器(51)で発生したマイクロ波は、� ��波管(52)を通り、照射口(53)からトレイユニ� �ト(10)の各搬送用トレイ(14)に対して照射され る。この第3マイクロ波照射部(50)は、主にト� ��イユニット(10)における上から1段目、3段目� ��5段目、7段目の各搬送用トレイ(14)に対して� ��それぞれの前方からマイクロ波を照射する� ��

 一方、第4マイクロ波照射部(55)のマイク� �波発振器(56)で発生したマイクロ波は、導波� ��(57)を通り、照射口(58)からトレイユニット(1 0)の各搬送用トレイ(14)に対して照射される。 この第4マイクロ波照射部(55)は、主にトレイ� ��ニット(10)における上から2段目、4段目、6段 目、8段目の各搬送用トレイ(14)に対して、そ� ��ぞれの右側方からマイクロ波を照射する。

 前段ユニット(20)では、マイクロ波の照射 を再開してから30分間が経過すると、マイク� ��波照射部(40,45,50,55)によるマイクロ波の照射 が一旦停止される。また、前段ユニット(20)� �は、搬出用扉(23)が開かれ、トレイユニット( 10)が第2照射ゾーン(32)から搬出される。

 このように、トレイユニット(10)における 上から1段目、3段目、5段目、7段目の各搬送� �トレイ(14)に対しては、第1照射ゾーン(31)で� �主に後方からマイクロ波が照射され、第2照� ��ゾーン(32)では主に前方からマイクロ波が照 射される。また、トレイユニット(10)におけ� �上から2段目、4段目、6段目、8段目の各搬送� ��トレイ(14)に対しては、第1照射ゾーン(31)で� ��主に左側方からマイクロ波が照射され、第2 照射ゾーン(32)では主に右側方からマイクロ� �が照射される。つまり、本実施形態の前段� �ニット(20)では、トレイユニット(10)が第1照� �ゾーン(31)から第2照射ゾーン(32)へと移動す� �のにつれて、搬送用トレイ(14)に対するマイ� ��ロ波の照射方向が180°変化する。

  -実施形態2の効果-
 本実施形態によれば、上記実施形態1と同様 の効果が得られる。また、本実施形態によれ ば、次のような効果も得られる。この効果に ついて説明する。

 ここで、仮に1つの照射ゾーンにおいて2� �の照射口が互いに向かい合って開口してい� �とすると、一方の照射口から照射されたマ� �クロ波が向かい側の照射口へ侵入し、その� �射口に接続するマイクロ波発振器の破損を� �くおそれがある。

 これに対し、本実施形態の前段ユニット( 20)において、1つの照射ゾーン(31,32)に開口す� ��照射口(43,48,53,58)は、互いの位置が水平方向 に90°ずれており、更には上下方向にもずれ� �いる。このため、1つの照射ゾーン(31,32)にマ イクロ波を照射する2つのマイクロ波照射部(4 0,45,50,55)について、一方のマイクロ波照射部( 40,50)から照射されたマイクロ波によって他方 のマイクロ波照射部(45,55)が損傷するといっ� �事態は回避される。従って、本実施形態に� �れば、1つの照射ゾーン(31,32)に対して2つの� �イクロ波照射部(40,45,50,55)からマイクロ波を� ��射する場合において、前段ユニット(20)の信 頼性を確保することができる。

 《発明の実施形態3》
 本発明の実施形態3について説明する。ここ では、本実施形態の製造装置(1)について、上 記実施形態1と異なる点を説明する。なお、� �下の説明で用いる「右」「左」「前」「後� �「手前」「奥」は、何れも製造装置(1)を正� �側から見た場合のものを意味している。

 図9に示すように、本実施形態の製造装置 (1)は、4つの前段ユニット(20)と1つの後段ユニ ット(60)とを備えている。4つの前段ユニット( 20)は、上下に積み重ねられている。

 図10に示すように、各前段ユニット(20)の� ��体ケーシング(21)は、中空の直方体状に形成 されている。本体ケーシング(21)の内部空間� �、照射ゾーン(30)を構成している。

 本体ケーシング(21)は、4枚の搬送用トレ� �(14)を上下に一定の間隔Hをおいて配列した状 態で収容できる程度の大きさとなっている。 本体ケーシング(21)に4枚の搬送用トレイ(14)を 収容した状態で、最上段に設けられた搬送用 トレイ(14)の側板部(16)の上端と本体ケーシン� ��(21)の天井面との間隔は、上下に配列された 搬送用トレイ(14)同士の間隔Hと同じ値に設定� ��れる。また、搬送用トレイ(14)の各側板部(16 )と、それに対向する本体ケーシング(21)の内� ��面との距離は、搬送用トレイ(14)の全周に亘 って長さLに設定されている。なお、本実施� �態においても、本体ケーシング(21)の材質と� ��送用トレイ(14)の材質は、何れもステンレス である。

 図示しないが、前段ユニット(20)には、照 射ゾーン(30)内で搬送用トレイ(14)を搬送する� ��めのトレイ駆動部が設けられている。この� ��レイ駆動部は、搬送用トレイ(14)を載せるた めに水平方向へ延びるアーム部材を備えてい る。トレイ駆動部では、複数のアーム部材が 等間隔で配列されている。アーム部材の間隔 は、各アーム部材に載せられた搬送用トレイ (14)同士の間隔が所定の値Hとなるように設定� ��れている。トレイ駆動部は、搬送用トレイ( 14)を載せたアーム部材を移動させることによ って、搬送用トレイ(14)を照射ゾーン(30)の上� ��から下部へと搬送する。

 各前段ユニット(20)には、4つのマイクロ� �照射部(40,45,50,55)が設けられている。各マイ� ��ロ波照射部(40,45,50,55)は、1つのマイクロ波� �振器(41,46,51,56)によって構成されている。本� ��施形態においても、各マイクロ波発振器(41, 46,51,56)は、周波数が2.45GHzのマイクロ波を発� �させるように構成されており、その出力が1. 0kW程度となっている。

 第1マイクロ波照射部(40)を構成するマイ� �ロ波発振器(41)は、本体ケーシング(21)の奥側 の側面(即ち、背面)に取り付けられている。� ��体ケーシング(21)の背面では、最上段の搬送 用トレイ(14)と本体ケーシング(21)の天井面と� ��間に照射口(43)が開口している。このマイク ロ波発振器(41)は、この照射口(43)を介して照� ��ゾーン(30)に連通している。

 第2マイクロ波照射部(45)を構成するマイ� �ロ波発振器(46)は、本体ケーシング(21)の右側 面に取り付けられている。本体ケーシング(21 )の右側面では、最上段の搬送用トレイ(14)と� ��から2段目の搬送用トレイ(14)との間に照射� �(48)が開口している。このマイクロ波発振器( 46)は、この照射口(48)を介して照射ゾーン(30)� ��連通している。

 第3マイクロ波照射部(50)を構成するマイ� �ロ波発振器(51)は、本体ケーシング(21)の前面 に取り付けられている。本体ケーシング(21)� �前面では、上から2段目の搬送用トレイ(14)と 3段目の搬送用トレイ(14)との間に照射口(53)が 開口している。このマイクロ波発振器(51)は� �この照射口(53)を介して照射ゾーン(30)に連通 している。

 第4マイクロ波照射部(55)を構成するマイ� �ロ波発振器(56)は、本体ケーシング(21)の左側 面に取り付けられている。本体ケーシング(21 )の左側面では、上から3段目の搬送用トレイ( 14)と4段目の搬送用トレイ(14)との間に照射口( 58)が開口している。このマイクロ波発振器(56 )は、この照射口(58)を介して照射ゾーン(30)に 連通している。

 図示しないが、本実施形態の前段ユニッ� ��(20)においても、本体ケーシング(21)に給気� �クトと排気ダクトとが接続されている。給� �ダクトは、本体ケーシング(21)の奥側の側面( 即ち、背面)に接続されている。排気ダクト� �、本体ケーシング(21)の前面に接続されてい� ��。本体ケーシング(21)内の照射ゾーン(30)に� �、60℃~100℃程度にまで加熱された外気が給� �ダクトから供給される。照射ゾーン(30)から� ��気ダクトへ吸い込まれた空気は、その全部� ��屋外へ排出される。なお、排気ダクトへ吸� ��込まれた空気は、有害物質の除去等の適切� ��処理が施された後に屋外へ放出される。

 本実施形態の前段ユニット(20)では、照射 ゾーン(30)内で上下に配列された搬送用トレ� �(14)同士の間隔Hと、最上段の搬送用トレイ(14 )と本体ケーシング(21)の天井面との間隔Hとの 何れもが、λ/2以上の値に設定されている。� �た、この前段ユニット(20)において、本体ケ� ��シング(21)の内壁面と各搬送用トレイ(14)の� �板部(16)との距離Lは、λ以上の値に設定され� ��いる。なお、本実施形態の前段ユニット(20) では、シールド用枠部(26)が省略されている� �

 本実施形態の後段ユニット(60)において、 本体ケーシング(61)は、縦長で中空の直方体� �に形成されている。この本体ケーシング(61)� ��は、その左右方向の幅がその前後方向の奥� ��きの概ね2倍となっている。本体ケーシング (61)の内部では、その左右方向の中央部に隔� �(66)が立設されている。本体ケーシング(61)の 内部空間は、この隔壁(66)によって左側の上� �側空間(67)と右側の下降側空間(68)とに仕切ら れている。隔壁(66)の高さは、本体ケーシン� �の内部空間の高さよりも幾分低くなってい� �。このため、上昇側空間(67)と下降側空間(68) は、それぞれの上端部分が互いに連通してい る。

 後段ユニット(60)の本体ケーシング(61)で� �、上昇側空間(67)と下降側空間(68)のそれぞれ において、複数の搬送用トレイ(14)が互いに� �定の間隔をおいて上下に配列されている。� �示しないが、後段ユニット(60)には、本体ケ� ��シング(61)内で搬送用トレイ(14)を搬送する� �レイ駆動部が設けられている。このトレイ� �動部は、搬送用トレイ(14)を載せるために水� ��方向へ延びるアーム部材を備えている。ト� ��イ駆動部では、多数のアーム部材が等間隔� ��配列されている。トレイ駆動部は、搬送用� ��レイ(14)を載せたアーム部材を移動させるこ とによって搬送用トレイ(14)を搬送する。具� �的に、トレイ駆動部は、上昇側空間(67)へ送� ��込まれた搬送用トレイ(14)を上方へ移動させ 、上昇側空間(67)の上端に達した搬送用トレ� �(14)を下降側空間(68)へ移動させ、下降側空間 (68)へ送り込まれた搬送用トレイ(14)を下方へ� ��動させる。

 後段ユニット(60)の本体ケーシング(61)の� �部空間には、乾燥ゾーン(70)と熱処理ゾーン( 80)とが形成されている。具体的に、本体ケー シング(61)の内部空間では、上昇側空間(67)の� ��部と下降側空間(68)の上端から所定の距離だ け下方の位置に至るまでの部分とが乾燥ゾー ン(70)を構成し、下降側空間(68)のうちの残り� ��部分が熱処理ゾーン(80)を構成している。た だし、乾燥ゾーン(70)と熱処理ゾーン(80)は仮� ��的なものであり、両者が仕切板等によって� ��理的に区画されている訳ではない。

 図示しないが、後段ユニット(60)の本体ケ ーシング(61)には、乾燥ゾーン(70)に連通する� ��気ダクト及び排気ダクトと、熱処理ゾーン( 80)に連通する給気ダクト及び排気ダクトとが 接続されている。乾燥ゾーン(70)には、給気� �クトから100℃~250℃程度(望ましくは130℃~200� �程度)の所定温度の空気が供給される。乾燥� ��ーン(70)から排気ダクトへ吸い込まれた空気 は、その一部が屋外へ排出される。なお、こ の屋外へ排出される空気は、有害物質の除去 等の適切な処理が施された後に屋外へ放出さ れる。

 排気ダクトへ吸い込まれた空気の残りは� ��外気と混ぜ合わされてから上記所定温度に� ��で再加熱され、その後に給気ダクトを通じ� ��乾燥ゾーン(70)へ送り返される。熱処理ゾー ン(80)には、給気ダクトから100℃~250℃程度(望 ましくは130℃~200℃程度)の所定温度の空気が� ��給される。熱処理ゾーン(80)から排気ダクト へ吸い込まれた空気は、その全部が上記所定 温度にまで再加熱されてから給気ダクトを通 じて熱処理ゾーン(80)へ送り返される。

  -運転動作-
 本実施形態の製造装置(1)の運転動作につい� ��説明する。

 各前段ユニット(20)では、濡れた状態のPTF E粉末を載せた搬送用トレイ(14)が、15分毎に� �射ゾーン(30)の上端部へ1枚ずつ搬入される。 照射ゾーン(30)内では、搬送用トレイ(14)が15� �毎に1段ずつ下方へ移動してゆく。また、各� ��段ユニット(20)では、搬送用トレイ(14)が15分 毎に照射ゾーン(30)の下端部から1枚ずつ搬出� ��れてゆく。

 前段ユニット(20)では、本体ケーシング(21 )内の照射ゾーン(30)に収容された搬送用トレ� ��(14)に対し、各マイクロ波照射部(40,45,50,55)� �マイクロ波を照射する。照射ゾーン(30)では� ��各搬送用トレイ(14)に載ったPTFE粉末中の水� �がマイクロ波を吸収し、この水分が発熱し� �蒸発してゆく。搬送用トレイ(14)上のPTFE粉末 から蒸発した水分は、照射ゾーン(30)内の空� �と共に排気ダクトを通って屋外へ排出され� �。

 前段ユニット(20)の運転動作を、1枚の搬� �用トレイ(14)に着目して説明する。

 水に濡れた状態のPTFE粉末を載せた搬送用 トレイ(14)は、照射ゾーン(30)の最上段へ搬入� ��れる。この最上段に位置する搬送用トレイ( 14)に対しては、主に第1マイクロ波照射部(40)� ��発生したマイクロ波がその後方から照射さ� ��る。搬送用トレイ(14)が照射ゾーン(30)へ搬� �されてから15分間が経過すると、搬送用トレ イ(14)は1段分だけ下方へ移動する。

 この上から2段目に位置する搬送用トレイ (14)に対しては、主に第2マイクロ波照射部(45) で発生したマイクロ波がその右側方から照射 される。搬送用トレイ(14)が2段目へ移動して� ��ら15分間が経過すると、搬送用トレイ(14)は� ��に1段分だけ下方へ移動する。

 この上から3段目に位置する搬送用トレイ (14)に対しては、主に第3マイクロ波照射部(50) で発生したマイクロ波がその前方から照射さ れる。搬送用トレイ(14)が3段目へ移動してか� ��15分間が経過すると、搬送用トレイ(14)は更� ��1段分だけ下方へ移動する。

 この最下段に位置する搬送用トレイ(14)に 対しては、主に第4マイクロ波照射部(55)で発� ��したマイクロ波がその左側方から照射され� ��。搬送用トレイ(14)が最下段へ移動してから 15分間が経過すると、搬送用トレイ(14)は前段 ユニット(20)の本体ケーシング(21)から搬出さ� ��てゆく。各前段ユニット(20)から搬出された 搬送用トレイ(14)は、後段ユニット(60)へ搬入� ��れる。

 このように、前段ユニット(20)では、1段� �つ下降してゆく搬送用トレイ(14)に対し、最� ��段に位置する状態では後方からマイクロ波� ��照射され、上から2段目に位置する状態では 右側方からマイクロ波が照射され、上から3� �目に位置する状態では前方からマイクロ波� �照射され、最下段に位置する状態では左側� �からマイクロ波が照射される。つまり、前� �ユニット(20)では、トレイユニット(10)が1段� �つ下方へ移動するのにつれて、搬送用トレ� �(14)に対するマイクロ波の照射方向が90°ずつ 変化する。

 本実施形態の製造装置(1)では、各前段ユ� ��ット(20)に対して搬送用トレイ(14)を投入す� �タイミングが3分45秒ずつずれており、その� �果、各前段ユニット(20)から搬送用トレイ(14) が搬出されるタイミングも3分45秒ずつずれて いる。そして、後段ユニット(60)には、各前� �ユニット(20)から搬出された搬送用トレイ(14) が、3分45秒間隔で1枚ずつ搬入される。

 後段ユニット(60)の本体ケーシング(61)で� �、上昇側空間(67)の下端部へ搬送用トレイ(14) が搬入される。上昇側空間(67)の下端部(即ち� ��乾燥ゾーン(70)の始端)へ搬入された搬送用� �レイ(14)は、乾燥ゾーン(70)内を1段ずつ上方� �移動してゆく。上昇側空間(67)の最上段に達� ��た搬送用トレイ(14)は、下降側空間(68)へと� �送され、下降側空間(68)内を1段ずつ下方へ移 動してゆく。搬送用トレイ(14)は、下降側空� �(68)内を所定の段数だけ移動し、乾燥ゾーン( 70)の終端に達する。搬送用トレイ(14)は、乾� �ゾーン(70)の始端から終端に至るまでの間に� ��って、100℃以上の高温の熱風に晒され続け� ��。搬送用トレイ(14)において、その上に載っ たPTFE粉末中の水分は、熱風によって加熱さ� �て蒸発してゆく。

 乾燥ゾーン(70)の終端に達した搬送用トレ イ(14)は、更に1段だけ降下して熱処理ゾーン( 80)の始端に達する。熱処理ゾーン(80)へ搬入� �れた搬送用トレイ(14)は、1段ずつ下方へ移動 し、やがて下降側空間(68)の下端部(即ち、熱� ��理ゾーン(80)の終端)に達する。搬送用トレ� �(14)は、熱処理ゾーン(80)の始端から終端に至 るまでの間に亘って、100℃以上の高温の熱風 に晒され続ける。このため、搬送用トレイ(14 )に載ったPTFE粉末は、その温度が熱風の温度� ��同程度に保たれる。下降側空間(68)の下端部 に至った搬送用トレイ(14)は、後段ユニット(6 0)の本体ケーシング(61)から搬出される。

 《発明の実施形態4》
 本発明の実施形態4について説明する。本実 施形態の製造装置(1)は、上記実施形態3の製� �装置(1)において、前段ユニット(20)の構成を� ��更したものである。後段ユニット(60)の構成 は、上記実施形態3と同様である。

 図11に示すように、本実施形態の製造装� �(1)は、前段ユニット(20)と後段ユニット(60)を 1つずつ備えている。ここでは、本実施形態� �製造装置(1)について、上記実施形態3と異な� ��点を説明する。なお、以下の説明で用いる� ��右」「左」「前」「後」「手前」「奥」は� ��何れも製造装置(1)を正面側から見た場合の� ��のを意味している。

 本実施形態において、前段ユニット(20)の 本体ケーシング(21)は、中空の四角柱状に形� �されており、その長手方向が概ね鉛直方向� �なる姿勢で設置されている。本体ケーシン� �(21)は、16枚の搬送用トレイ(14)を上下に一定� ��間隔Hをおいて配列した状態で収容できる程 度の大きさとなっている。本体ケーシング(21 )に16枚の搬送用トレイ(14)を収容した状態で� �最上段に設けられた搬送用トレイ(14)の側板� ��(16)の上端と本体ケーシング(21)の天井面と� �間隔は、上下に配列された搬送用トレイ(14)� ��士の間隔Hと同じ値に設定される。また、搬 送用トレイ(14)の各側板部(16)と、それに対向� ��る本体ケーシング(21)の内壁面との距離は、 搬送用トレイ(14)の全周に亘って長さLに設定� ��れている。なお、本実施形態においても、� ��体ケーシング(21)の材質と搬送用トレイ(14)� �材質は、何れもステンレスである。

 図示しないが、前段ユニット(20)には、照 射ゾーン(30)内で搬送用トレイ(14)を搬送する� ��めのトレイ駆動部が設けられている。この� ��レイ駆動部は、上記実施形態3のものと同様 に構成されている。つまり、トレイ駆動部は 、搬送用トレイ(14)を載せたアーム部材を移� �させることによって、本体ケーシング(21)の� ��部空間の上部から下部へと搬送用トレイ(14) を搬送する。

 前段ユニット(20)の本体ケーシング(21)に� �、3つのシールド用枠部(26)が設けられている 。各シールド用枠部(26)は、本体ケーシング(2 1)の内壁面に沿って形成され、搬送用トレイ( 14)の周囲を囲っている。本体ケーシング(21)� �おいて、このシールド用枠部(26)は、上から4 段目の搬送用トレイ(14)の周囲を囲む位置と� �上から8段目の搬送用トレイ(14)の周囲を囲む 位置と、上から12段目の搬送用トレイ(14)の周 囲を囲む位置のそれぞれに、1つずつ配置さ� �ている。各シールド用枠部(26)は、その断面� ��状が長方形状になっており、その内周面が� ��応する搬送用トレイ(14)の側板部(16)と対面� �ている。各シールド用枠部(26)の高さは、搬� ��用トレイ(14)の高さと同じか、それよりもや や高くなっている。各シールド用枠部(26)の� �質は金属である。

 本体ケーシング(21)の内部空間では、本体 ケーシング(21)の上端から最上段のシールド� �枠部(26)までの領域が第1照射ゾーン(31)を構� �し、最上段のシールド用枠部(26)から2段目の シールド用枠部(26)までの領域が第2照射ゾー� ��(32)を構成し、2段目のシールド用枠部(26)か� ��3段目のシールド用枠部(26)までの領域が第3� ��射ゾーン(33)を構成し、3段目のシールド用� �部(26)から本体ケーシング(21)の下端までの領 域が第4照射ゾーン(34)を構成している。各照� ��ゾーン(31~34)には、搬送用トレイ(14)が4枚ず� ��収容される。

 前段ユニット(20)には、4つのマイクロ波� �射部(40,45,50,55)が設けられている。各マイク� ��波照射部(40,45,50,55)は、4つのマイクロ波発� �器(41,46,51,56)によって構成されている。本実� ��形態においても、各マイクロ波発振器(41,46, 51,56)は、周波数が2.45GHzのマイクロ波を発生� �せるように構成されており、その出力が1.0kW 程度となっている。

 第1マイクロ波照射部(40)を構成するマイ� �ロ波発振器(41)は、本体ケーシング(21)の奥側 の側面(即ち、背面)に設けられている。本体� ��ーシング(21)の背面では、第1照射ゾーン(31)� ��臨む部分に4つの照射口(43)が開口している� �これらの照射口(43)は、上下方向に1列に並ん で形成されており、第1照射ゾーン(31)に収容� ��れた各搬送用トレイ(14)の直ぐ上側に1つず� �配置されている。このマイクロ波発振器(41)� ��、この照射口(43)に1つずつ取り付けられて� �る。

 第2マイクロ波照射部(45)を構成するマイ� �ロ波発振器(46)は、本体ケーシング(21)の右側 面に設けられている。本体ケーシング(21)の� �側面では、第2照射ゾーン(32)に臨む部分に4� �の照射口(48)が開口している。これらの照射� ��(48)は、上下方向に1列に並んで形成されて� �り、第2照射ゾーン(32)に収容された各搬送用 トレイ(14)の直ぐ上側に1つずつ配置されてい� ��。このマイクロ波発振器(46)は、この照射口 (48)に1つずつ取り付けられている。

 第3マイクロ波照射部(50)を構成するマイ� �ロ波発振器(51)は、本体ケーシング(21)の前面 に設けられている。本体ケーシング(21)の前� �では、第3照射ゾーン(33)に臨む部分に4つの� �射口(53)が開口している。これらの照射口(53) は、上下方向に1列に並んで形成されており� �第3照射ゾーン(33)に収容された各搬送用トレ イ(14)の直ぐ上側に1つずつ配置されている。� ��のマイクロ波発振器(51)は、この照射口(53)� �1つずつ取り付けられている。

 第4マイクロ波照射部(55)を構成するマイ� �ロ波発振器(56)は、本体ケーシング(21)の左側 面に設けられている。本体ケーシング(21)の� �側面では、第4照射ゾーン(34)に臨む部分に4� �の照射口(58)が開口している。これらの照射� ��(58)は、上下方向に1列に並んで形成されて� �り、第4照射ゾーン(34)に収容された各搬送用 トレイ(14)の直ぐ上側に1つずつ配置されてい� ��。このマイクロ波発振器(56)は、この照射口 (58)に1つずつ取り付けられている。

 図示しないが、本実施形態の前段ユニッ� ��(20)においても、本体ケーシング(21)に給気� �クトと排気ダクトとが接続されている。給� �ダクトは、本体ケーシング(21)の奥側の側面( 即ち、背面)に接続されている。本体ケーシ� �グ(21)の背面において、給気ダクトは、各照� ��ゾーン(31~34)に臨む部分のそれぞれに所定の 本数ずつ接続されている。排気ダクトは、本 体ケーシング(21)の前面に接続されている。� �体ケーシング(21)の前面において、排気ダク� ��は、各照射ゾーン(31~34)に臨む部分のそれぞ れに所定の本数ずつ接続されている。

 本体ケーシング(21)内の各照射ゾーン(31~34 )には、60℃~100℃程度にまで加熱された外気� �給気ダクトから供給される。各照射ゾーン(3 1~34)から排気ダクトへ吸い込まれた空気は、� ��の全部が屋外へ排出される。なお、排気ダ� ��トへ吸い込まれた空気は、有害物質の除去� ��の適切な処理が施された後に屋外へ放出さ� ��る。

 本実施形態の前段ユニット(20)では、トレ イユニット(10)において上下に配列された搬� �用トレイ(14)同士の間隔Hと、トレイユニット (10)における最上段の搬送用トレイ(14)と本体� ��ーシング(21)の天井面との間隔Hとの何れも� �、λ/2以上の値に設定されている。また、こ� ��前段ユニット(20)において、本体ケーシング (21)の内壁面と各搬送用トレイ(14)の側板部(16) との距離Lは、λ以上の値に設定されている。 また、この前段ユニット(20)において、シー� �ド用枠部(26)の内周面とシールド用枠部(26)に 隣接する搬送用トレイ(14)の側板部(16)との間� ��Dは、両者の隙間をマイクロ波が通過できな い程度の値に設定されている。

  -運転動作-
 本実施形態の製造装置(1)の運転動作につい� ��説明する。なお、後段ユニット(60)の運転動 作については、上記実施形態3の場合と同様� �あるため、その説明を省略する。

 各前段ユニット(20)では、濡れた状態のPTF E粉末を載せた搬送用トレイ(14)が、3分45秒毎� ��第1照射ゾーン(31)の上端部へ1枚ずつ搬入さ� ��る。前段ユニット(20)の本体ケーシング(21)� �では、搬入された搬送用トレイ(14)が3分45秒� ��に1段ずつ下方へ移動してゆく。搬送用トレ イ(14)は、第1照射ゾーン(31)から第2照射ゾー� �(32)と第3照射ゾーン(33)を経て第4照射ゾーン( 34)に至る。前段ユニット(20)では、搬送用ト� �イ(14)が3分45秒毎に第4照射ゾーン(34)の下端� �から1枚ずつ搬出されてゆく。

 前段ユニット(20)では、本体ケーシング(21 )内の搬送用トレイ(14)に対し、各マイクロ波� ��射部(40,45,50,55)がマイクロ波を照射する。各 照射ゾーン(31~34)では、各搬送用トレイ(14)に� ��ったPTFE粉末中の水分がマイクロ波を吸収し 、この水分が発熱して蒸発してゆく。搬送用 トレイ(14)上のPTFE粉末から蒸発した水分は、� ��照射ゾーン(31~34)内の空気と共に排気ダクト を通って屋外へ排出される。

 前段ユニット(20)の運転動作を、1枚の搬� �用トレイ(14)に着目して説明する。

 濡れた状態のPTFE粉末を載せた搬送用トレ イ(14)は、第1照射ゾーン(31)の最上段へ搬入さ れ、1段ずつ下方へ搬送されてゆく。第1照射� ��ーン(31)内の各搬送用トレイ(14)に対しては� �第1マイクロ波照射部(40)で発生したマイクロ 波が後方から照射される。第1照射ゾーン(31)� ��下端に達した搬送用トレイ(14)は、第2照射� �ーン(32)に搬入される。

 第2照射ゾーン(32)では、搬入された搬送� �トレイ(14)が1段ずつ下方へ搬送されてゆく。 第2照射ゾーン(32)内の各搬送用トレイ(14)に対 しては、第2マイクロ波照射部(45)で発生した� ��イクロ波が右側方から照射される。第2照射 ゾーン(32)の下端に達した搬送用トレイ(14)は� ��第3照射ゾーン(33)に搬入される。

 第3照射ゾーン(33)では、搬入された搬送� �トレイ(14)が1段ずつ下方へ搬送されてゆく。 第3照射ゾーン(33)内の各搬送用トレイ(14)に対 しては、第3マイクロ波照射部(50)で発生した� ��イクロ波が前方から照射される。第3照射ゾ ーン(33)の下端に達した搬送用トレイ(14)は、� ��4照射ゾーン(34)に搬入される。

 第4照射ゾーン(34)では、搬入された搬送� �トレイ(14)が1段ずつ下方へ搬送されてゆく。 第4照射ゾーン(34)内の各搬送用トレイ(14)に対 しては、第4マイクロ波照射部(55)で発生した� ��イクロ波が左側方から照射される。第4照射 ゾーン(34)の下端に達した搬送用トレイ(14)は� ��本体ケーシング(21)から搬出されてゆく。前 段ユニット(20)から搬出された搬送トレイは� �後段ユニット(60)へ搬入されてゆく。

 このように、前段ユニット(20)において、 第1照射ゾーン(31)では搬送用トレイ(14)に対し て後方からマイクロ波が照射され、第2照射� �ーン(32)では搬送用トレイ(14)に対して右側方 からマイクロ波が照射され、第3照射ゾーン(3 3)では搬送用トレイ(14)に対して前方からマイ クロ波が照射され、第4照射ゾーン(34)では搬� ��用トレイ(14)に対して左側方からマイクロ波 が照射される。つまり、前段ユニット(20)で� �、トレイユニット(10)が第1照射ゾーン(31)か� �第4照射ゾーン(34)へと順次移動するのにつれ て、搬送用トレイ(14)に対するマイクロ波の� �射方向が90°ずつ変化する。

  -実施形態4の変形例1-
 図13に示すように、本実施形態の前段ユニ� �ト(20)は、各照射ゾーン(31~34)に搬送用トレイ (14)を3枚ずつ収容するように構成されていて� ��よい。

 本変形例の前段ユニット(20)では、その本 体ケーシング(21)に12枚の搬送用トレイ(14)が� �容される。また、前段ユニット(20)に設けら� ��た4つのマイクロ波照射部(40,45,50,55)は、そ� �ぞれがマイクロ波照射部(40,45,50)を3つずつ備 えることになる。

  -実施形態4の変形例2-
 図14に示すように、本実施形態の前段ユニ� �ト(20)は、本体ケーシング(21)内に2つの照射� �ーン(31,32)を形成するように構成されていて� ��よい。

 本変形例の本体ケーシング(21)では、その 上下方向の中央部にシールド用枠部(26)が1つ� ��け設けられる。本体ケーシング(21)の内部空 間は、シールド用枠部(26)の上側の部分が第1� ��射ゾーン(31)を構成し、シールド用枠部(26)� �下側の部分が第2照射ゾーン(32)を構成する。 各照射ゾーン(31,32)には、搬送用トレイ(14)が4 枚ずつ収容される。

 本変形例の前段ユニット(20)には、2つの� �イクロ波照射部(40,45)が設けられる。各マイ� ��ロ波照射部(40,45)は、4つのマイクロ波発振� �(41,46)によって構成されている。

 第1マイクロ波照射部(40)を構成するマイ� �ロ波発振器(41)は、本体ケーシング(21)の奥側 の側面(即ち、背面)に設けられている。本体� ��ーシング(21)の背面では、第1照射ゾーン(31)� ��臨む部分に4つの照射口(43)が開口している� �これらの照射口(43)は、上下方向に1列に並ん で形成されており、第1照射ゾーン(31)に収容� ��れた各搬送用トレイ(14)の直ぐ上側に1つず� �配置されている。このマイクロ波発振器(41)� ��、この照射口(43)に1つずつ取り付けられて� �る。

 第2マイクロ波照射部(45)を構成するマイ� �ロ波発振器(46)は、本体ケーシング(21)の前面 に設けられている。本体ケーシング(21)の前� �では、第2照射ゾーン(32)に臨む部分に4つの� �射口(48)が開口している。これらの照射口(48) は、上下方向に1列に並んで形成されており� �第2照射ゾーン(32)に収容された各搬送用トレ イ(14)の直ぐ上側に1つずつ配置されている。� ��のマイクロ波発振器(46)は、この照射口(48)� �1つずつ取り付けられている。

 前段ユニット(20)の本体ケーシング(21)へ� �入された搬送用トレイ(14)は、第1照射ゾーン (31)の最上段から第2照射ゾーン(32)の最下段へ 向かって、1段ずつ下方へ移動してゆく。第1� ��射ゾーン(31)内の搬送用トレイ(14)には、第1� ��イクロ波照射部(40)で発生したマイクロ波が 後方から照射される。第2照射ゾーン(32)内の� ��送用トレイ(14)には、第2マイクロ波照射部(4 5)で発生したマイクロ波が前方から照射され� ��。

 このように、前段ユニット(20)において、 第1照射ゾーン(31)では搬送用トレイ(14)に対し て後方からマイクロ波が照射され、第2照射� �ーン(32)では搬送用トレイ(14)に対して前方か らマイクロ波が照射される。つまり、前段ユ ニット(20)では、トレイユニット(10)が第1照射 ゾーン(31)から第2照射ゾーン(32)へと順次移動 するのにつれて、搬送用トレイ(14)に対する� �イクロ波の照射方向が180°変化する。

 《その他の実施形態》
 上記の各実施形態の前段ユニット(20)では、 濡れた状態のPTFE粉末を処理対象物としてい� �が、この前段ユニット(20)の処理対象物はPTFE 粉末に限定されない。つまり、本実施形態の 前段ユニット(20)では、例えばPTFE以外の樹脂� ��らなる粒状体を処理対象物として乾燥させ� ��ようにしてもよい。なお、ここでいう粒状� ��には、粒径が数μm程度の微粒子から、粒径� ��数mm以上のペレットまでが包含される。

 なお、粒状体の材質である樹脂の例とし� ��は、汎用樹脂や、いわゆるエンジニアリン� ��プラスチック等が挙げられる。具体的には� ��ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリプロ� ��レン、ポリスチレン、ポリ酢酸ビニル、ABS� ��脂(アクリロニトリル‐ブタジエン‐スチレ ン樹脂)、AS樹脂(アクリロニトリル‐スチレ� �樹脂)、メタクリル樹脂、ポリアセタール、� ��リアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド� ��ポリカーボネート、ポリフェニレンエーテ� ��、ポリブチレンテレフタレート、ポリアニ� ��ート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホ� ��、ポリエーテルイミド、ポリフェニレンス� ��フィド、ポリエーテルエーテルケトン、含� ��っ素樹脂などが、粒状体を構成する樹脂の� ��として挙げられる。

 また、含ふっ素樹脂としては、ポリテト� ��フルオロエチレン(PTFE)、テトラフルオロエ� ��レン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FE P)、テトラフルオロエチレン/パーフルオロア ルキルビニルエーテル共重合体(PFA)、ポリク� ��ロトリフルオロエチレン(PCTFE)、ポリふっ化 ビニリデン(PVDF)、エチレン/テトラフルオロ� �チレン共重合体(ETFE)、エチレン/クロロトリ� ��ルオロエチレン共重合体(ECTFE)等が例示され る。

 上記の各実施形態では、搬送用トレイ(14) や前段ユニット(20)の本体ケーシング(21)等の� ��属製の部材の材質をステンレスとしている� ��、これら部材の材質をステンレス以外の金� ��(例えばチタン等)にしてもよい。

 なお、以上の実施形態は、本質的に好ま� ��い例示であって、本発明、その適用物、あ� ��いはその用途の範囲を制限することを意図� ��るものではない。