Die Erfindung betrifft eine Elektrodenanordnung zur Ausbildung eines dielektrisch behinderten Plasmas zwischen einer Wirkfläche der Elektrodenanordnung und einer als Gegenelektrode fungierenden Oberfläche, mit einer flexiblen, flächigen Elektrode, die mit einer Hochspannungsquelle verbindbar ist und mit einem flächigen, flexiblen und die Wirkfläche bildenden Dielektrikum, das mit der flächigen Elektrode zu einem Elektrodenelement verbunden ist und die Elektrode zur zu behandelnden Oberfläche hin vollständig abdeckt.

Es ist bekannt, dass durch Plasmaentladungen Oberflächen von Werkstücken, aber auch Hautoberflächen, unter verschiedenen Aspekten mit Vorteil behandelt werden können. Oberflächen von Werkstücken können für eine nachfolgende Oberflächenbehandlung, beispielsweise Beschichtung, aktiviert werden, um die Beschichtung besser haften zu lassen. Es ist ferner möglich, Oberflächen mit Plasmaentladungen zu reinigen, beispielsweise Ölschichten abzutragen.

Eine dielektrisch behinderte Plasmaentladung ermöglicht ferner die gefahrlose Behandlung von Hautoberflächen. Dadurch gelingt es beispielsweise Wundflächen schneller heilen zu lassen, die Hautoberfläche für verbesserte Aufnahme von pflegenden oder heilenden Wirkstoffen zu aktivieren usw. Bei unregelmäßig dreidimensional geformten Oberflächen besteht das Problem, eine möglichst gleichmäßige Plasmabehandlung vornehmen zu können. Gemäß der DE 195 32 105 C2 ist es vorgesehen,

|Bestätigungskopie| von der Oberfläche des Werkstücks eine Negativform mit dem Dielektrikum auszubilden, das somit aus einem formbaren, beispielsweise pressbaren oder tiefziehbaren Kunststoff besteht. Vorgesehen ist dabei ferner, dass eine Zwischenschicht verwendet wird, sodass das Dielektrikum mit der Zwischenschicht unmittelbar an der Oberfläche des Werkstücks geformt werden kann. Die Zwischenschicht wird dann entfernt, um einen Zwischenraum zwischen dem Dielektrikum und der Elektrode zu gewährleisten, in dem sich das Plasma ausbilden kann. Das Dielektrikum wird auf seiner von der zu behandelnden Oberfläche abgewandten Seite mit einem leitenden Material beschichtet, das die Elektrode bildet und dem die benötigte hohe Spannung in Form einer Wechselspannung zuführbar ist.

Eine Elektrodenanordnung der eingangs erwähnten Art ist durch DE 10 2009 060 627 A1 bekannt. Bei dieser Elektrodenanordnung ist das Dielektrikum durch ein flexibles flächiges Material gebildet, das auf seiner zur zu behandelnden Oberfläche zeigenden Seite mit einer Struktur versehen ist, um Luftführungsbereiche auszubilden, wenn das Dielektrikum auf der zu behandelnden Oberfläche aufliegt. Die flächige Elektrode ist flexibel ausgebildet und am Dielektrikum so befestigt, dass eine Schicht des Dielektrikums die Elektrode von der zu behandelnden Oberfläche abschirmt. Insbesondere kann die Elektrode vollständig von dem Material des Dielektrikums umschlossen sein, wobei lediglich ein Hochspannungsanschluss aus dem Dielektrikum herausgeführt ist. Die bekannte Elektrodenanordnung eignet sich insbesondere für die Behandlung der Hautoberfläche eines menschlichen oder tierischen Körpers zur Durchführung einer therapeutischen oder insbesondere kosmetischen Behandlung. Durch die dadurch verbesserte Aufnahmefähigkeit der Haut für kosmetische Wirkstoffe sind in effizienter Weise kosmetische Behandlungen, wie Faltenglät- tungen, Porenverkleinerungen usw. möglich. Darüber hinaus kann eine bakterizide und fungizide Wirkung der Plasmabehandlung auch für die Behandlung von gesunden oder verwundeten Hautflächen ausgenutzt werden. Die flexible Ausbildung der bekannten Elektrodenanordnung ermöglicht eine Anpassung an die unregelmäßig geformte Oberfläche. Sofern elastische Rückstellkräfte dabei nicht zu groß sind, behält die Elektrodenanordnung ihre Verformung bei. Dabei ist allerdings die Anpassbarkeit an kleine lokale Unregelmäßigkeiten der Oberfläche begrenzt.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Elektro- denanordnung der eingangs erwähnten Art hinsichtlich der Anpassbarkeit an unregelmäßig geformte Oberflächen zu verbessern.

Zur Lösung dieser Aufgabe ist eine Elektrodenanordnung der eingangs erwähnten Art erfindungsgemäß gekennzeichnet durch ein flächenelastisches Andruckmittel zum Andruck auf der der Oberfläche abgewandten Rückseite des Elektrodenelements derart, dass das Elektrodenelement unter lokaler Verformung an Unregelmäßigkeiten der Oberfläche selbsttätig anpassbar ist. Die erfindungsgemäße Elektrodenanordnung sorgt somit selbsttätig für die Anpassung des Elektrodenelements an Unregelmäßigkeiten der Oberfläche, auch wenn die Unregelmäßigkeiten nur eine geringe flächige Ausdehnung aufweisen. Durch die erfindungsgemäße Anordnung eines flächenelastischen Andruckmitteis auf der Rücksei- te der Elektrodenanordnung bleibt ein gleichmäßiger Andruck des Elektrodenelements auf der zu behandelnden Oberfläche gewährleistet. Das„flächenelastische" Andruckmittel bewirkt, dass das flächige Elektrodenelement gleichmäßig in Richtung der zu behandelnden Oberfläche gedrückt wird, und zwar über die gesamte Andruckfläche mit einer im Wesentlichen gleichen Andruckkraft. Die Andruckkraft des flächenelastischen Andruckmitteis kann in einer bevorzugten Ausführungsform durch ein elastisches Material generiert werden, das in einem als Stützlager dienenden Gehäuseteil befestigt ist. Das Gehäuseteil kann starr, aber auch mit einer gewissen Flexibilität ausgebildet sein, wobei das Gehäuse steifer sein muss als das elastische Material, um als Stützlager dienen zu können. Das elastische Material, das vorzugsweise ein weichelastisches Material ist, kann dabei bei der Anlage der Elektrodenanordnung auf der zu behandelnden Oberfläche komprimiert werden, sodass die Rückstell- kraft des elastischen Materials die flächig wirkende Andruckkraft für die Elektrodenanordnung bewirkt. Weist die Oberfläche unregelmäßige Verformungen auf, sorgt die Andruckkraft des elastischen Materials dafür, dass sich die flexibel ausgestaltete Elektrodenanordnung dieser Verformung anpassen kann. Auf diese Weise gelingt die An- passung an Unregelmäßigkeiten, deren Ausdehnung in der Fläche im Zentimeterbereich bis hinunter in den Bereich einiger Millimeter beträgt. Das die Andruckkraft bewirkende Material kann dabei normales weichelastisches Material sein, beispielsweise durch einen offenzelli- gen oder geschlossenzelligen Schaumkunststoff gebildet sein. Das elastische Material kann auch ein Elastomermaterial sein. Darüber hinaus ist es möglich, eine senkrecht zur Andruckrichtung stehende Oberfläche des Materials profiliert auszubilden, um so die elastische Andruckkraft in Abhängigkeit vom Verformungsweg zu steuern. So ist es beispielsweise möglich, das elastische Material auf der von der Elektrodenanordnung abgewandten Seite mit konisch oder abgerundet ausgebildeten Vorsprüngen an dem Gehäuseteil anliegen zu lassen, sodass sich aufgrund der Verformung der Vorsprünge eine progressiv ansteigende Rückstellkraft ergibt. Die Erzeugung der Andruckkraft mit einem komprimierbaren elastischen Material ist konstruktiv einfach zu realisieren. Es ist aber auch möglich, dass flächenelastische Andruckmittel aus einer Vielzahl von Federelementen zu bilden, die sich einseitig an dem Gehäuseteil abstützen und mit Anlageflächen ein Andruckarray auf der Rückseite der Elektrodeneinrichtung bilden. Hierdurch lässt sich eine Andruckeinrichtung nach Art einer Federkernmatratze ausbilden.

Das Gehäuseteil, das für den Andruck der Elektrodenanordnung an die Oberfläche als Widerlager für das flächenelastische Andruckmittel dient, hat vorzugsweise eine flächige Ausdehnung, mit der es die flächige Ausdehnung der Elektrodeneinrichtung überragt, vorzugs- weise allseitig überragt.

Das flächenelastische Andruckmittel kann aus einem dielektrischen Material gebildet sein, das die Rückseite der Elektrodenanordnung abdeckt. Dadurch ist es möglich, dass die Elektrode zur zu behan- delnden Oberfläche abdeckende Dielektrikum dünner und noch flexibler auszubilden, weil die Isolierung der die Hochspannung führenden Elektrode auf der Rückseite zumindest auch durch das flächenelastische Andruckmaterial erfolgen kann. Selbst wenn die Elektrode in ein Dielektrikum vollständig eingebettet, beispielsweise eingegossen, wird, um so eine Berührungssicherheit zu gewährleisten, kann das Andruckmittel zu einer zusätzlichen Sicherheit beitragen.

Auch bei der erfindungsgemäßen Elektrodenanordnung ist es bevor- zugt, dass die Wirkfläche des Dielektrikums eine Struktur aufweist, die Luftzwischenräume ausbildet, in denen das Plasma entstehen kann, wenn die Wirkfläche an der zu behandelnden Oberfläche anliegt. Bevorzugt ist dabei, dass die Struktur Noppen aufweist, deren Stirnflächen zur Anlage an der zu behandelnden Oberfläche ausge- bildet sind, wie dies grundsätzlich durch DE 10 2009 060 627 A1 bekannt ist. Die Erfindung soll im Folgenden anhand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert werden.

Die einzige Zeichnungsfigur zeigt ein Gehäuseteil 1 , das topfförmig mit einer flächigen Bodenwand 2 und einer zylindrischen umlaufenden Mantelwand 3 ausgebildet ist. Das Gehäuseteil 1 kann dabei im Querschnitt rund, rechteckig oder mehreckig ausgebildet sein. Das Gehäuseteil 1 ist auf der der Bodenwand 2 gegenüberliegenden Seite offen ausgebildet und dient somit als Aufnahme für ein flächenelasti- sches Andruckmittel 4 in Form eines einstückig elastischen Materialstücks, beispielsweise aus einem vorzugsweise weichelastischen Schaumkunststoff.

Das elastische Andruckmittel 4 ist auf der von der Bodenwand 2 abgewandten Fläche mit einer großflächigen Ausnehmung versehen, die einen durch einen umlaufenden Rand 5 begrenzten Aufnahmeraum 6 ausbildet. In den einseitig offenen Aufnahmeraum 6 ist ein Elektrodenelement 7 passig eingesetzt, das aus einer flächigen Elektrode 8 besteht, die allseitig von einem flächigen und flexiblen Dielektrikum 9 umgeben ist. Das Dielektrikum 9 ragt mit einer Wirkfläche 10 über den Rand 5 des Andrucksmittels 4 hinaus. Die Wirkfläche 10 ist mit einer Struktur 11 versehen, mit der sie an einer zu behandelnden (nicht dargestellten) Oberfläche anliegen kann. Die Struktur 1 1 besteht aus Vorsprüngen 12, zwischen denen sich Zwi- schenräume 13 befinden. Die Zwischenräume 13 sind beispielsweise luftgefüllt und bilden die Räume, in denen sich das Plasma ausbilden kann, wenn die Wirkfläche 10 über die Struktur 11 an der zu behandelnden Oberfläche anliegt. In der dargestellten bevorzugten Ausführungsform sind die Vorsprünge 12 durch Noppen gebildet, die miteinander fluchtende ebene Stirnflächen 14 aufweisen, die in ihrer Gesamtheit eine Anlagefläche für die zu behandelnde Oberfläche, beispielsweise Hautoberfläche, bilden.

Die Elektrode 8 und das Dielektrikum 9 sind aus einem leicht ver- formbaren Material gebildet und können sich daher Unebenheiten der zu behandelnden Oberfläche aufgrund des durch das Andruckmittel 4 generierten Andrucks anpassen, sodass eine gleichmäßige Plasmaausbildung in den Zwischenräumen 13 auch bei unregelmäßig geformten Oberflächen gewährleistet ist.

Die Elektrode 8 ist mit einem Hochspannungsanschluss 15 kontaktiert, der mit einem flächigen Endstück 16 an der Elektrode anliegt, das einstückig in einen bolzenartigen Körper 17 übergeht, mit dem der Hochspannungsanschluss 5 durch eine Durchgangsöffnung 18 des elastischen Andruckmitteis 4 hindurchgeführt ist. Eine unmittelbare Anlage des bolzenartigen Körpers 17 an dem Andruckmittel 4 wird durch ein isolierendes Hülsenstück 19 vermieden, das den bolzenartigen Körper 17 innerhalb der Durchgangsöffnung 18 des An- druckmittels 4 umgibt und sich bis zum flächigen Endstück 16 des Hochspannungsanschluss 15 erstreckt. Fluchtend mit der Bodenwand 2 des Gehäuseteils 1 ist in das Gehäuseteil 1 ein Isolierkörper 20 eingesetzt, durch den der bolzenartige Körper 17 hindurchragt und sich bis in einen Innenraum 21 eines nach unten offenen metallischen Hochspannungsblocks 22 erstreckt. Der bolzenartige Körper 17 wird über eine Druckfeder 23 an einer gegenüberliegenden Stirnwand des Innenraums 21 abgestützt. Hierzu ist der bolzenartige Körper 17 mit einem stirnseitigen Abschlussstück 24 versehen, dessen Außendurchmesser dem Innendurchmesser des Innenraums 21 entspricht. Zwischen dem Abschlussstück 24 und dem Isolierstück 20 befindet sich ein elektrisch leitendes, flexibles Übergangsstück 25, das mit einer nach innen gerichteten Vorspannung an den bolzenartigen Körper 17 anliegt und so eine elektrische Verbindung zwischen dem Hochspannungsblock 22 und dem bolzenartigen Körper 17 des Hochspannungsanschlusses 15 bewirkt. Das Übergangsstück 25 kann dabei nach Art eines metallischen Faltenbalges oder mit nach innen vorstehenden und durch den bolzenartigen Körper 17 nach ra- dial außen gebogenen Lamellen versehen sein.

Das Gehäuseteil 1 weist an einem abgewinkelten Endstück 26 eine Aufnahme für ein rohrförmiges Griffteil 27 auf. In dem rohrförmigen Griffteil befindet sich - schematisch dargestellt - ein Hochspan- nungsgenerator 28, der auf einer Ausgangsleitung 29 ein Hochspannungspotential abgibt. Die Ausgangsleitung 29 ist mit dem Hochspannungsblock 22 in einer herkömmlichen Weise verbunden, sodass der gesamte Hochspannungsblock auf dem Hochspannungspotential liegt, das über das Übergangsstück 25 auf den Hochspan- nungsanschluss 15 und von dort auf die Elektrode 8 übertragen wird.

Das rohrförmige Griffteil ist an seinem oberen Ende mit einer Kabeldurchführung 30 für ein Anschlusskabel 31 abgeschlossen. Das Anschlusskabel 31 transportiert eine Niedervoltspannung von beispiels- weise 6 V, die in einen Spannungswandler 32 innerhalb des Griffteils 27 auf ca. 400 V gewandelt wird. Diese Ausgangsspannung bildet die Eingangsspannung für den Hochspannungsgenerator 28, der eine pulsförmige Hochspannung generiert, indem beispielsweise höherfre- quente Zündfunken generiert werden, deren Stromfluss in einem Transformator zu Hochspannungsspitzen hochtransformiert wird. Selbstverständlich sind auch alle anderen vorbekannten Hochspannungsgeneratoren einsetzbar.

Das dargestellte Ausführungsbeispiel stellt somit ein Handgerät dar, das an dem - selbstverständlich isolierenden - Griffteil 27 ergriffen werden kann. Die Stromzuführung zu dem Griffteil 27 ist eine ungefährliche Niedervolt-Stromleitung. Die Hochspannungserzeugung, die für die Plasmaausbildung benötigt wird, findet im dem Griffstück selbst statt. Die generierte Hochspannung gelangt auf den Hochspannungsblock 22, der in dem isolierenden Gehäuseteil 1 sicher befestigt ist und über den das Hochspannungspotential auf den Hoch- spannungsanschluss 15 und damit auf die Elektrode 8 gelangt. Der Hochspannungsgenerator 28 erzeugt das Hochspannungspotential, sodass beispielsweise für die Behandlung einer Hautoberfläche diese als Gegenelektrode für das erzeugte Plasma fungieren kann.