Title:
ELECTRON MICROSCOPE
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2011/122171
Kind Code:
A1
Abstract:
Disclosed is an electron microscope that is a transmission type electron microscope that uses a polarized electron beam, and wherein a high contrast image can be obtained by recording the intensity distribution of an electron beam that was transmitted through a sample. The electron microscope is provided with a laser beam generating apparatus (2); a polarization apparatus (11) that polarizes a laser beam into a circularly polarized laser beam, and is capable of reversing the direction of the circular polarization over time; a semiconductor photocathode (16) provided with a strained superlattice semiconductor layer that generates a polarized electron beam when irradiated with a circularly polarized laser beam; a transmission type electron microscope (24) that utilizes the polarized electron beam; an electron-beam intensity-distribution recording apparatus (34) that is arranged at a face where a polarized electron beam that was transmitted through a sample reaches; and a reversal instruction apparatus (40) that sends an instruction to the polarization apparatus to reverse the direction of the circular polarization, and also sends an instruction to the electron-beam intensity-distribution recording apparatus in synchronization therewith. The electron-beam intensity-distribution recording apparatus records the intensity distribution of the polarized electron beam before and after the reversal thereof, and a difference acquisition apparatus (36) acquires the difference therebetween.
Inventors:
TANAKA Nobuo (1 Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya-sh, Aichi 01, 〒4648601, JP)
田中 信夫 (〒01 愛知県名古屋市千種区不老町１番 国立大学法人名古屋大学内 Aichi, 〒4648601, JP)
NAKANISHI Tsutomu (1 Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya-sh, Aichi 01, 〒4648601, JP)
中西 彊 (〒01 愛知県名古屋市千種区不老町１番 国立大学法人名古屋大学内 Aichi, 〒4648601, JP)
TAKEDA Yoshikazu (1 Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya-sh, Aichi 01, 〒4648601, JP)
竹田 美和 (〒01 愛知県名古屋市千種区不老町１番 国立大学法人名古屋大学内 Aichi, 〒4648601, JP)
ASANO Hidefumi (1 Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya-sh, Aichi 01, 〒4648601, JP)
田中 信夫 (〒01 愛知県名古屋市千種区不老町１番 国立大学法人名古屋大学内 Aichi, 〒4648601, JP)
NAKANISHI Tsutomu (1 Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya-sh, Aichi 01, 〒4648601, JP)
中西 彊 (〒01 愛知県名古屋市千種区不老町１番 国立大学法人名古屋大学内 Aichi, 〒4648601, JP)
TAKEDA Yoshikazu (1 Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya-sh, Aichi 01, 〒4648601, JP)
竹田 美和 (〒01 愛知県名古屋市千種区不老町１番 国立大学法人名古屋大学内 Aichi, 〒4648601, JP)
ASANO Hidefumi (1 Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya-sh, Aichi 01, 〒4648601, JP)
Application Number:
JP2011/053790
Publication Date:
October 06, 2011
Filing Date:
February 22, 2011
Export Citation:
Assignee:
National University Corporation Nagoya University (1 Furo-cho, Chikusa-ku Nagoya-sh, Aichi 01, 〒4648601, JP)
国立大学法人名古屋大学 (〒01 愛知県名古屋市千種区不老町１番 Aichi, 〒4648601, JP)
TANAKA Nobuo (1 Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya-sh, Aichi 01, 〒4648601, JP)
田中 信夫 (〒01 愛知県名古屋市千種区不老町１番 国立大学法人名古屋大学内 Aichi, 〒4648601, JP)
NAKANISHI Tsutomu (1 Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya-sh, Aichi 01, 〒4648601, JP)
中西 彊 (〒01 愛知県名古屋市千種区不老町１番 国立大学法人名古屋大学内 Aichi, 〒4648601, JP)
TAKEDA Yoshikazu (1 Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya-sh, Aichi 01, 〒4648601, JP)
竹田 美和 (〒01 愛知県名古屋市千種区不老町１番 国立大学法人名古屋大学内 Aichi, 〒4648601, JP)
国立大学法人名古屋大学 (〒01 愛知県名古屋市千種区不老町１番 Aichi, 〒4648601, JP)
TANAKA Nobuo (1 Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya-sh, Aichi 01, 〒4648601, JP)
田中 信夫 (〒01 愛知県名古屋市千種区不老町１番 国立大学法人名古屋大学内 Aichi, 〒4648601, JP)
NAKANISHI Tsutomu (1 Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya-sh, Aichi 01, 〒4648601, JP)
中西 彊 (〒01 愛知県名古屋市千種区不老町１番 国立大学法人名古屋大学内 Aichi, 〒4648601, JP)
TAKEDA Yoshikazu (1 Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya-sh, Aichi 01, 〒4648601, JP)
竹田 美和 (〒01 愛知県名古屋市千種区不老町１番 国立大学法人名古屋大学内 Aichi, 〒4648601, JP)
International Classes:
H01J37/26; H01J1/34; H01J37/073
Attorney, Agent or Firm:
KAI-U PATENT LAW FIRM (NISSEKI MEIEKI BUILDING 7F, 45-14 Meieki 2-chome, Nakamura-ku, Nagoya-sh, Aichi 02, 〒4500002, JP)
Claims: