Title:
ELECTRON SOURCE, METHOD FOR PRODUCING ELECTRON SOURCE, AND ELECTRON EMISSION METHOD
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2011/033989
Kind Code:
A1
Abstract:
Disclosed is an electron source in which an emitter (11) is provided with a needle-like single crystal tungsten rod (11a) having a front end portion (16) that has the {100} crystal plane as an electron emission surface (16a) at the front end. The electron emission surface (16a) is coated with a ZrO film for reducing the work function. Auxiliary rods (11b, 11c) are attached to the needle-like single crystal tungsten rod (11a). The needle-like single crystal tungsten rod (11a) and the auxiliary rods (11b, 11c) are provided with diffusion sources (12) for diffusing/supplying Zr and O. The auxiliary rods (11b, 11c) are provided with paths for diffusing/supplying Zr and O to the electron emission surface (16a) other than the outer surface of the needle-like single crystal tungsten rod (11a).
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Inventors:
YAMANISHI Yoshiki (650 Mitsuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki-sh, Yamanashi 92, 〒4070192, JP)
山西 良樹 (〒92 山梨県韮崎市穂坂町三ツ沢６５０ 東京エレクトロンＡＴ株式会社内 Yamanashi, 〒4070192, JP)
OOASA Takahiko (650 Mitsuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki-sh, Yamanashi 92, 〒4070192, JP)
大麻 隆彦 (〒92 山梨県韮崎市穂坂町三ツ沢６５０ 東京エレクトロンＡＴ株式会社内 Yamanashi, 〒4070192, JP)
NAKAO Ken (2381-1 Kitagejo, Fujii-cho, Nirasaki-sh, Yamanashi 11, 〒4078511, JP)
山西 良樹 (〒92 山梨県韮崎市穂坂町三ツ沢６５０ 東京エレクトロンＡＴ株式会社内 Yamanashi, 〒4070192, JP)
OOASA Takahiko (650 Mitsuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki-sh, Yamanashi 92, 〒4070192, JP)
大麻 隆彦 (〒92 山梨県韮崎市穂坂町三ツ沢６５０ 東京エレクトロンＡＴ株式会社内 Yamanashi, 〒4070192, JP)
NAKAO Ken (2381-1 Kitagejo, Fujii-cho, Nirasaki-sh, Yamanashi 11, 〒4078511, JP)
Application Number:
JP2010/065545
Publication Date:
March 24, 2011
Filing Date:
September 09, 2010
Export Citation:
Assignee:
TOKYO ELECTRON LIMITED (3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku Tokyo, 25, 〒1076325, JP)
東京エレクトロン株式会社 (〒25 東京都港区赤坂五丁目３番１号 Tokyo, 〒1076325, JP)
DENKI KAGAKU KOGYO KABUSHIKI KAISHA (1-1 Nihonbashi-Muromachi 2-chome, Chuo-ku Tokyo, 38, 〒1038338, JP)
電気化学工業株式会社 (〒38 東京都中央区日本橋室町２丁目１番１号 Tokyo, 〒1038338, JP)
YAMANISHI Yoshiki (650 Mitsuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki-sh, Yamanashi 92, 〒4070192, JP)
山西 良樹 (〒92 山梨県韮崎市穂坂町三ツ沢６５０ 東京エレクトロンＡＴ株式会社内 Yamanashi, 〒4070192, JP)
OOASA Takahiko (650 Mitsuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki-sh, Yamanashi 92, 〒4070192, JP)
東京エレクトロン株式会社 (〒25 東京都港区赤坂五丁目３番１号 Tokyo, 〒1076325, JP)
DENKI KAGAKU KOGYO KABUSHIKI KAISHA (1-1 Nihonbashi-Muromachi 2-chome, Chuo-ku Tokyo, 38, 〒1038338, JP)
電気化学工業株式会社 (〒38 東京都中央区日本橋室町２丁目１番１号 Tokyo, 〒1038338, JP)
YAMANISHI Yoshiki (650 Mitsuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki-sh, Yamanashi 92, 〒4070192, JP)
山西 良樹 (〒92 山梨県韮崎市穂坂町三ツ沢６５０ 東京エレクトロンＡＴ株式会社内 Yamanashi, 〒4070192, JP)
OOASA Takahiko (650 Mitsuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki-sh, Yamanashi 92, 〒4070192, JP)
International Classes:
H01J1/304; H01J9/02; H01J37/073
Attorney, Agent or Firm:
KIMURA Mitsuru (2nd Floor, Kyohan Building 7, Kandanishiki-cho 2-chome, Chiyoda-k, Tokyo 54, 〒1010054, JP)
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