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Patent Searching and Data


Title:
ELECTRONIC X-RAY CAMERA WITH SPECTRAL RESOLUTION
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2010/049409
Kind Code:
A1
Abstract:
The invention relates to an X-ray camera (1) comprising a camera housing (20), a preferably pixellated absorption element (23) that is sensitive at least to low-energy X-rays and is of two-dimensional design in a surface, and an X-ray objective lens (10). The X-ray objective lens (10) has a capillary structure (15, 17, 18) and the absorption element (23) is designed as a pn-CCD (Charge Coupled Device) or an SDD field (Silicon Drift Detector) or a DEPFET macropixel field, wherein with each image pixel sensor an individual photon detection and determination of the associated photon energy of the low-energy and low-intensity X-ray radiation incident to said image pixel sensor.

Inventors:
LANGHOFF, Norbert (Schulzendorfer Str. 12, Berlin, 12526, DE)
BJEOUMIKHOV, Aniouar (Grünfinkenweg 36, Berlin, 12526, DE)
SOLTAU, Heike (Römerstr. 28, München, 80803, DE)
HARTMANN, Robert (Lena-Christ-Str. 62, Gröbenzell, 82194, DE)
Application Number:
EP2009/064125
Publication Date:
May 06, 2010
Filing Date:
October 27, 2009
Export Citation:
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Assignee:
IFG - INSTITUTE FOR SCIENTIFIC INSTRUMENTS GMBH (Rudower Chaussee 29/31, Berlin, 12489, DE)
LANGHOFF, Norbert (Schulzendorfer Str. 12, Berlin, 12526, DE)
BJEOUMIKHOV, Aniouar (Grünfinkenweg 36, Berlin, 12526, DE)
SOLTAU, Heike (Römerstr. 28, München, 80803, DE)
HARTMANN, Robert (Lena-Christ-Str. 62, Gröbenzell, 82194, DE)
International Classes:
H04N5/32; G01N23/223; G01T1/29
Attorney, Agent or Firm:
GULDE HENGELHAUPT ZIEBIG & SCHNEIDER (Wallstraße 58/59, Berlin, 10179, DE)
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Claims:
Patentansprüche

1. Röntgenkamera (1 ) mit einem Kameragehäuse (20), einem für Röntgenstrahlen sensitiven in einer Fläche zweidimensional ausgebildeten, vorzugsweise pixeliertem Aufnahmeelement (23) und einem Röntgenobjektiv (10), dadurch gekennzeichnet, dass das Röntgenobjektiv (10) eine Kapillarstruktur (15, 17, 18) aufweist und das Aufnahmeelement (23) als ein pn-CCD (Charge Coupled Device) oder ein SDD-FeId (Silicium Drift Detector) oder ein DEPFET- Makropixelfeld ausgebildet ist.

2. Röntgenkamera nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Röntgenkamera (1 ) mit einem Kamera-Verschluss ausgestattet ist, der manuell oder von einer elektronischen Steuerung betätigbar ist und/oder mit einer Blende deren Blendenöffnung vorgegeben oder vorgebbar ist.

3. Röntgenkamera nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Röntgenobjektiv (10) ein Objektivgehäuse (14) aufweist, in welchem die

Kapillarstruktur (15, 17, 18) für die Röntgenstrahlen angeordnet ist und die Kapillarstruktur (15, 17, 18) als ein parallel abbildender Kollimator (18) oder ein vergrößernd oder verkleinernd abbildender Kollimator (17, 15) ausgebildet ist.

4. Röntgenkamera nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Röntgenobjektiv (10) eine Strahleneintritts- (16) und eine Strahlenaustrittsöffnung (12) aufweist, wobei jede Öffnung mit einem für eine niederenergetische Röntgenstrahlung durchlässigen Fenster gasdicht verschlossen ist.

5. Röntgenkamera nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Innenraum (13) des Röntgenobjektives (10) mit einem Gas gefüllt ist und das Gas Stickstoff oder Helium oder eine Gasmischung von beiden ist.

6. Röntgenkamera nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Röntgen-Objektiv (10) mit dem Kameragehäuse (20) mithilfe eines trennbaren Gewinde- oder eines Bajonettverschlusses (1 1 ) verbunden ist.

7. Röntgenkamera nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Kameragehäuse (20) gasdicht ausgebildet ist und eine Strahleneintrittsöffnung (25) aufweist, die mit einem für eine niederenergetische Röntgenstrahlung durchlässigen Kamera-Fenster gasdicht verschlossen ist und/oder dass der Innenraum des Kameragehäuses (20) mit einem Gas gefüllt ist, wobei das Gas Stickstoff oder Helium oder eine Gasmischung von beiden ist.

8. Röntgenkamera nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Aufnahmeelement (23) durch eine Kühlvorrichtung (22) auf eine Temperatur im Bereich von +20 0C bis -60 0C abgekühlt ist, wobei die Kühlvorrichtung (22) als ein Peltierelement (22) ausgebildet ist.

9. Röntgenkamera nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass an dem Kameragehäuse (20) wenigstens ein Kühlkörper (32) mit oder ohne einem Gebläse (31 ) angeordnet ist und/oder dass wenigstens eines von den Fenstern des Röntgenobjektives (10) und/oder das Kamera-Fenster aus Beryllium oder einem dünnen Material, transparent für niederenergetische Strahlung ausgebildet ist.

10. Röntgenkamera nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein, vorzugsweise digitaler Datenspeicher zum Speichern aufgenommener Bilddaten vorgesehen ist, wobei der Datenspeicher innerhalb oder außerhalb des Kameragehäuses (20) angeordnet ist und/oder eine Bildverarbeitungseinheit zum

Bearbeiten aufgenommener Bilddaten vorgesehen ist, wobei die Bildverarbeitungseinheit innerhalb oder außerhalb des Kameragehäuses (20) angeordnet ist und/oder eine Datenübertragungsschnittstelle vorgesehen ist, mit der ein Datenaustausch mit einer externen Bildverarbeitungsvorrichtung, insbesondere einem Computer ausführbar ist.

1 1. Röntgenkamera nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zur Visualisierung und Dokumentation der Probe eine als optisches Kamerasystem (50) ausgebildete Beobachtungseinrichtung angeordnet ist, wobei die Beobachtungseinrichtung eine digitale Farbkamera (51 ) ist und die optische Achse der Farbkamera (51 ) über Spiegel (52, 53) umlenkbar ist.

12. Röntgenkamera nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zur Beleuchtung (40) der Probe LED-Elemente (42) angeordnet sind.

13. Verwendung der Röntgenkamera (1 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche zum Erzeugen monochromatischer und/oder spektraler mehrfarbiger digitaler Röntgen-Bildaufnahmen.

14. Verfahren zur Aufnahme zweidimensional aufgelöster, ortsbezogener Abbil- düngen im niederenergetischen Röntgenstrahlenbereich mithilfe eines wenigstens für niederenergetische Röntgenstrahlung sensitiven Aufnahmeelementes, das eine Vielzahl geordneter Bildpixelsensoren aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass mit jedem Bildpixelsensor eine Einzelphotonenerfassung und eine Bestimmung der zugehörigen Photonen-Energie der auf diesen Bildpixelsensor auftreffenden

Röntgenstrahlung ausgeführt wird und/oder ausgehend von der Einzelphotonenerfassung und der Bestimmung der Photonen-Energie ein Strahlungs-Spektrum der auf die jeweiligen einzelnen Bildpixelsensoren auftreffenden Röntgenstrahlung ermittelt wird.

15. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als ein für niederenergetische Röntgenstrahlung sensitives Aufnahmeelement ein pn-CCD (Charge Coupled Device) oder ein SDD-FeId (Silicium Drift Detector) oder ein DEPFET-Makropixelfeld verwendet wird.

Description:
Spektralauflösende elektronische Röntgenkamera

Beschreibung

Die Erfindung betrifft eine Röntgenkamera, eine Verwendung der Röntgenkamera und ein Verfahren zur Aufnahme von Röntgenbildern mit den in den Oberbegriffen jeweiliger unabhängiger Ansprüche definierten Merkmalen.

Seit der Entdeckung der X-Strahlen durch Wilhelm Conrad Röntgen sind für den Nachweis dieser sehr kurzweiligen Strahlung unterschiedliche physikalische Effekte und Methoden genutzt worden. Dies reicht vom Nachweis von Röntgenstrahlung mit Hilfe von Fotofilmen über lonisationsdetektoren und Halbleiterdetektoren bis zu modernen Röntgenkameras unter Verwendung von Luminophoren und CCD-Matrizen. Diese Entwicklung wurde vor allen Dingen durch medizinische Applikationen in der Diagnostik vorangetrieben. In der Röntgenanalytik ist ein ähnlicher Trend über die Jahrzehnte feststellbar, wobei bezüglich der Röntgenphotonen-Energien, der Energie- auflösung und der Intensitäten von anderen physikalischen und technischen Randbedingungen auszugehen war. Sowohl in der Röntgenfluoreszenzspektroskopie als auch in der Röntgend iffraktometrie hat sich in den letzten 20 Jahren die Tendenz zum Übergang von kompakten Einzeldetektorsystemen zu ortsauflösenden Detektoren vollzogen. Zunächst wurden bevorzugt Zeilenkameras eingesetzt, wogegen in den letzten 10 Jahren auch flächenhafte Detektoren zunehmend zum Einsatz kommen. Diese Nachweis- und Detektionssysteme beschränken sich auf die Erfassung der Ortsinformationen, d.h. auf einzelne Pixel, aus denen eine bildhafte Darstellung möglich wird sowie auf den Nachweis der Intensität der Strahlung für einen einzelnen Punkt (Pixel).

Der Gegenstand dieses Patentes ist die physikalische und technische Beschreibung einer neuartigen Röntgenfarbkamera, die mittels einer kompakten Röntgenoptik und eines zweidimensionalen pixelierten Halbleitersensors Orts-, Energie- und Zeitauflösung gleichzeitig ermöglicht.

Als ein für Röntgenstrahlen sensitives in einer Fläche ausgebildetes zweidimensionales Aufnahmeelement waren lange Zeit ausschließlich fotochemisch-sensitiv beschichtete Filme und neuerdings auch Halbleiterchips eingesetzt, wie in den 1999 in einer Erdbahn stationierten Röntgenteleskopen ein X M M- Newton oder Chandra. Die Optik besteht hier aus aufwendigen großflächigen Spiegeln.

Bei nicht-bildgebenden Strahlenmessgeräten (wie Szintillationssonde, Ganzkörper- zähler oder Zählrohr) wird die Strahlung häufig durch einfache konische Rohre oder Lamellen kollimiert. Bei einer Gammakamera sieht der Kollimator dagegen quasi wie ein Lochbrett aus, wobei die einzelnen „Löcher" durch die sogenannten Septen getrennt werden. Sie sorgen dafür, dass nur die senkrechten Strahlen durch den Kollimator gelassen werden, während schräg einfallende Photonen absorbiert werden. Die Septenlänge, die der Bauhöhe des Kollimators entspricht, und die Septenbreite bestimmen die Eignung für verschiedene Photonenenergien (nieder-, mittel- hoch- und ultrahochenergetisch). Vom Verhältnis Lochbreite zur Septenbreite hängt die Empfindlichkeit (Messausbeute) ab.

Das Schachtverhältnis (Septenlänge zu Lochbreite) bestimmt den erlaubten Eintrittswinkel und damit das räumliche Auflösungsvermögen. Dieses ist daher durch die (für die jeweilige Photonenenergie nötige) Septendicke begrenzt. Generell ist bei Kollimatoren immer ein Kompromiss zwischen Empfindlichkeit auf der einen und Auflösungsvermögen auf der anderen Seite nötig. Je kleiner und länger die Bohrungen sind, desto höher ist die Auflösung, jedoch umso schlechter die Empfindlichkeit, und umgekehrt.

Die Parallelloch-Kollimatoren erzeugen eine Parallelprojektion. Die Messausbeute ist von der Entfernung zum Objekt fast unabhängig, die Ortsauflösung verschlechtert sich hingegen mit zunehmendem Detektorabstand enorm. Parallelloch-Kollimatoren werden entweder aus Blei- oder Wolframblech hexagonal gefaltet und gelötet, oder in einem massiven Block gebohrt, oder gegossen. Die Bohrungen sind vorzugsweise mit strahlentransparentem Kunststoff ausgefüllt. Slanthole-Kollimatoren sind Parallelloch- Kollimatoren mit schräg verlaufenden Bohrungen, um z. B. an den Schultern vorbei näher am Kopf eines Patienten messen zu können. Divergierende Kollimatoren liefern ein vergrößertes Bild. Bei Fanbeam-Kollimatoren divergieren die Löcher nur in einer Raumrichtung. Da dabei ein größerer Kristallbereich die von einem kleinen Objekt ausgehende Strahlung aufnimmt, erhöht sich die Zählausbeute.

Die bekannten Pinhole-Kollimatoren funktionieren nach dem Prinzip der Lochkamera: Eine einzige „Pupille" liefert ein seitenverkehrtes und kopfstehendes Bild, dessen Abbildungsmaßstab stark vom Objektabstand abhängt. Sie werden zum Abbilden besonders kleiner strahlender Objekte (Handwurzelknochen, Versuchstiere, eventuell auch Schilddrüse) verwendet, da sie eine relativ zu den oben genannten Kollimatoren starke Vergrößerung erlauben. In neuerer Zeit kommen auch Multipinhole-Kollimatoren zum Einsatz, welche die Empfindlichkeit erhöhen, ohne die räumliche Auflösung zu vermindern.

Ortsempfindliche Detektoren für Röntgenstrahlung sind seit Langem bekannt. Das US Patent 3 772 521 „Radiation camera and delay line readout", in dem ein Proportionalzählrohr mit Anoden- und Kathodendrahtgittern ausgestattet ist offenbart einen solchen. Durch die eintreffenden Röntgenphotonen wird hierbei ein elektrisches Signal erzeugt, das in Abhängigkeit von der Position über die jeweiligen Auslese-Drahtgitter über die entsprechende Zeitverzögerung der Signalübertragung lokalisiert wird. Eine verbesserte Version eines solchen Detektionssystems wird beispielsweise in der Offenlegungsschrift DE 37 35 296 A1 „Zweidimensionales Proportionalzählrohr zur ortsempfindlichen Messung von ionisierender Strahlung" beschrieben.

Weiterhin kommen Leuchtstofffolien und Speicherfolien als ortsauflösende Detektoren zum Einsatz. Diese Systeme und die entsprechenden erforderlichen Auslesevorrichtungen werden u. a. in den Patenten EP 0421632 A2 „Digital X-ray image processing apparatus and method" und EP 0667540 B1 „Auslesevorrichtung für photostimulierte Informationsträger" beschrieben. Allerdings sind diese Detektoren nicht so leistungsfähig wie CCD-Detektoren, die sowohl bzgl. der Auslesegeschwindigkeit als auch der Ortsauflösung deutlich bessere Charakteristiken aufweisen. Derartige Detek- tionssysteme, die insbesondere für diffraktometrische Aufnahmen in der Kristallografie Anwendung finden, existieren seit ihrer Entwicklung in den späten 80 Jahren des 20. Jahrhunderts. Allerdings werden bei diesen Detektionssystemen nur Intensitäts- unterschiede registriert, d.h., es liegt ebenfalls nur eine Ortsauflösung vor.

Die US 5,491 ,738 beschreibt ein Röntgendifraktometer und die US 2007/0041492 A1 ein Röntgendifraktometermikroskop, wobei beide Lösungen jeweils Röntgenquelle und Röntgendetektor aufweisen. Keine der Lösungen enthält eine Röntgenkapillaroptik oder einen zweidimensionalen pixelierten Röntgendetektor.

Die für die erfindungsgemäße Röntgen-Farb-Kamera einsetzbare pn-CCD-Detektor- struktur wurde durch die Patentanmeldung DE 10 2005 025 641 A1 beschrieben.

Als optische Systeme sollen Polykapillarstrukturen zum Einsatz kommen, die als Parallelstrukturen bzw. konisch gestaltete Strukturen gebildet sind. Dazu existieren Veröffentlichungen aus den Jahren 1995: V.A. Arkadiev, A. Bzhaumikhov: "X-ray focusing by polycapillary arrays", Proceedings of SPIE Vol. 2515 (1995) 514-525.) bzw. 1998 A.A. Bzhaumikhov, N. Langhoff, J. Schmalz, R. Wedeil, V.l. Beloglazov, N. F. Lebedev: "Polycapillary conic collimator for micro-XRF", Proceedings of SPIE Vol. 3444 (1998) 430-435. In Gegensatz zu den oben beschriebenen Röntgen-Kollimatoren aus Blei oder Wolfram für die harte Röntgenstrahlung, absorbieren die Polykapillar- Strukturen aus Glas die niederenergetische Röntgenstrahlung, für die sie vorgesehen sind, nicht im erheblichen Maße, sondern bewirken eine Reflexion, d.h. die niederenergetische Röntgenstrahlung wird im Wesentlichen umgelenkt.

Mit der EP 1953537 A1 wird eine Vorrichtung zur Erfassung und/oder Leitung von Röntgenstrahlung unter Verwendung einer Röntgenoptik bekannt, bei welcher die Röntgenoptik Kapillare aufweist. Diese Röntgenoptik dient der Erfassung und Leitung der Röntgenstrahlung, nicht jedoch der Erzeugung von Bildern. Der verwendete Röntgendetektor hat keinerlei Raumauflösung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine praktisch einsetzbare elektronische Röntgenkamera zu schaffen, mit der auf eine einfache Weise Bildaufnahmen orts- und spektralaufgelöst erfasst werden können, verschiedene Abbildungsgrade realisierbar sind und somit eine gleichzeitige Spektralaufnahme niederenergetischer Röntgenstrahlung an jedem Bildaufnahmepunkt möglich ist.

Die vorliegende Erfindung geht nach einem vorrichtungstechnischen Aspekt von einer Röntgenkamera mit einem Kameragehäuse, einem wenigstens für Röntgenstrahlen sensitiven, in einer Fläche zweidimensional ausgebildeten, pixeliertem Aufnahmeelement und einem Röntgenobjektiv aus.

Die Aufgaben vorliegender Erfindung werden nach diesem vorrichtungstechnischen Aspekt dadurch gelöst, dass das Röntgen-Objektiv (10) eine Kapillarstruktur aufweist und das Aufnahmeelement als ein pn-CCD (Charge Coupled Device) oder ein monolithisches zweidimensionales SDD-FeId (Silicium Drift Detector) oder ein DEPFET-Makropixelfeld ausgebildet ist. Insbesondere ein pn-CCD ist in der Lage, gleichzeitig und mit jedem aus einer auf ihm angeordneten Vielzahl von Bildpixelsensoren die jeweils ortsbezogene Röntgenstrahlung zu erfassen und spektroskopisch zu analysieren. Dadurch entfällt die Notwendigkeit, in einer entsprechend länger dauernden Strahlenerfassungsaktion mit nur einem Sensor ein Bild punktweise nacheinander zu scannen. Der verwendete pn-CCD-Bildsensor weist eine so hohe Intensitätsauflösung auf, dass hierdurch sowohl die Erfassung der Anzahl der eintreffenden einzelnen Photonen als auch deren Energiebeträge erfassbar sind. Die erfindungsgemäße Röntgenkamera erreicht weitere Vorteile, wenn sie mit einem Kameraverschluss ausgestattet ist, der manuell oder von einer elektronischen Steuerung betätigbar ist.

Die Gesamtintensität der in die Kamera für eine Aufnahme eintreffenden Röntgenstrahlung lässt sich besonders vorteilhaft einstellen, wenn die Röntgenkamera mit einer Blende ausgestattet ist, deren Blendenöffnung vorgegeben und/oder vorgebbar ist.

Das Röntgenobjektiv weist vorzugsweise ein Objektivgehäuse auf, in welchem eine Kapillarstruktur für die Röntgenstrahlen angeordnet ist. Diese Kapillarstruktur ist ferner in bevorzugten Ausgestaltungen als ein parallel fokussierender Kollimator oder ein vergrößernd oder verkleinernd fokussierender Kollimator ausgebildet.

Die erfindungsgemäße Röntgenkamera lässt sich besonders praktisch handhaben, wenn das Röntgenobjektiv eine Strahleneintritts- und eine Strahlenaustrittsöffnung aufweist, wobei jede Öffnung mit einem für eine niederenergetische Röntgenstrahlung durchlässigen Fenster gasdicht verschlossen ist. Der Innenraum des Röntgenobjektivs ist vorzugsweise mit einem Gas gefüllt. Das Gas verhindert die Bildung von Wasserkondensat bzw. eine Vereisung. Als ein geeignetes Gas kommen Stickstoff oder Helium oder eine Gasmischung von beiden in Frage.

Um eine vorteilhafte Austauschbarkeit der Röntgenobjektive zu gewährleisten, ist das Röntgenobjektiv mit dem Kameragehäuse vorzugsweise mit Hilfe eines trennbaren Gewinde- oder eines Bajonettverschlusses verbunden.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Röntgenkamera ist das Kameragehäuse gasdicht ausgebildet und weist eine Strahleneintrittsöffnung auf, die mit einem für eine niederenergetische Röntgenstrahlung durchlässigen Kamerafenster gasdicht verschlossen ist. Das Kamerafenster verhindert dadurch das Entweichen des in ihm eingeschlossenen Gases, mit dem auch der Innenraum des Kameragehäuses in einer bevorzugten Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung gefüllt ist. Auch in diesem Fall wie zuvor für das Röntgenobjektiv ist es von Vorteil, wenn als ein Gas Stickstoff oder Helium oder eine Gasmischung von beiden verwendet wird.

Das Aufnahmeelement der erfindungsgemäßen Röntgenkamera ist durch eine Kühlvorrichtung auf eine Temperatur im Bereich von +20 0 C bis -60 0 C abgekühlt, die der Betriebstemperatur des Aufnahmeelementes entspricht, wobei die Kühlvorrichtung als ein Peltier-Element ausgebildet ist. Das Peltier-Element lässt sich vorteilhaft einfach elektrisch ansteuern. Die warme Seite des Peltier-Elements gibt die anfallende Wärme an eine Gehäuserückwand, an der vorzugsweise wenigstens ein Kühlkörper mit oder ohne einem Gebläse angeordnet ist.

Wenigstens eines von den Fenstern des Röntgenobjektives und/oder das Kamerafenster ist vorzugsweise aus einem für die niederenergetische Röntgenstrahlung besonders durchlässigen Material wie dem Beryllium oder einer Polymerfolie ausgebildet.

Die erfindungsgemäße Röntgenkamera weist in weiteren bevorzugten Ausgestaltungen einen vorzugsweise digitalen Datenspeicher zum Speichern aufgenommener Bilddaten auf, wobei der Datenspeicher innerhalb oder außerhalb des Kameragehäuses angeordnet ist.

Um die Weiterverarbeitung aufgenommener Bilddaten zu ermöglichen, ist es von Vorteil, wenn die erfindungsgemäße Röntgenkamera ferner eine Datenübertragungsschnittstelle aufweist, mit der ein Datenaustausch mit einer externen Bildverarbeitungsvorrichtung, insbesondere einem Computer, ausführbar ist.

Die Aufgaben der vorliegenden Erfindung sind ferner nach einem verwendungs-tech- nischen Aspekt mit einer Röntgenkamera nach einer der vorher beschriebenen Ausgestaltungen zum Erzeugen monochromatischer und/oder spektraler mehrfarbiger digitaler Röntgenbildaufnahmen gelöst.

Nach einem weiteren verfahrenstechnischen Aspekt vorliegender Erfindung geht die vorliegende Erfindung von einem Verfahren zur Aufnahme zweidimensional aufgelöster, ortsbezogener Abbildungen im niederenergetischen Röntgenstrahlenbereich mit Hilfe eines wenigstens für Röntgenstrahlung sensitiven Aufnahmeelementes aus, wobei das Aufnahmeelement eine Vielzahl geordneter Bildpixelsensoren aufweist.

Die erfindungsgemäßen Aufgaben werden nach diesem verfahrenstechnischen Aspekt der vorliegenden Erfindung dadurch gelöst, dass mit jedem Bildpixelsensor eine Einzelphotonenerfassung und eine Bestimmung der zugehörigen Photonenenergie der auf dieses Bildpixelsensor auftreffenden Röntgenstrahlung ausgeführt wird. Gemäß einer weiteren Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird ausgehend von der Einzelphotonenerfassung und der Bestimmung der Photonenergie ein Strahlungsspektrum der auf das jeweilige einzelne Bildpixelsensor auftreffenden Röntgen- Strahlung ermittelt. Hierdurch wird am Ort eines jeden Bildpixelsensors des Aufnahmeelementes die auftreffende Röntgenstrahlung nach ihrer Wellenlänge und der zugehörigen Intensität erfasst.

Das erfindungsgemäße Verfahren verwendet vorzugsweise ein für die Röntgenstrahlung sensitives zweidimensionales pixeliertes Aufnahmeelement wie ein pn-CCD oder ein monolithisches SDD-FeId oder ein DEPFET-Makropixelfeld. Lediglich als Beispiel kommt ein pn-CCD mit ca. 256 x 256 Pixeln mit einer Pixelgröße von ca. 50 x 50 μm 2 zum Einsatz in der erfindungsgemäßen Röntgenkamera.

Weitere bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den übrigen, in den Unteransprüchen genannten Merkmalen.

Die Erfindung wird nachfolgend in Ausführungsbeispielen anhand der zugehörigen Zeichnungen erläutert. Es zeigen:

Figur 1 eine schematische Querschnittansicht einer erfindungsgemäßen

Ausgestaltung einer Röntgenkamera;

Figur 2 eine schematische perspektivische Ansicht der erfindungsgemäßen Ausgestaltung der Röntgenkamera;

Figur 3 eine schematische Explosionsansicht der erfindungsgemäßen

Ausgestaltung der Röntgenkamera; Figur 4A eine perspektivische Ansicht einer Kapillarstruktur, die als ein vergrößernd fokussierender Kollimator ausgeführt ist; Figur 4B eine perspektivische Ansicht einer Kapillarstruktur, die als ein verkleinernd fokussierender Kollimator ausgeführt ist; und Figur 4C eine perspektivische Ansicht einer Kapillarstruktur, die als ein parallel fokussierender Kollimator ausgeführt ist.

Figur 1 zeigt eine schematische Querschnittsansicht einer erfindungsgemäßen Ausgestaltung einer Röntgenkamera 1. Die Röntgenkamera 1 weist ein Kameragehäuse 20 und ein Röntgenobjektiv 10 auf. Das Kameragehäuse 20 und das Röntgenobjektiv 10 sind miteinander vorzugsweise mit Hilfe eines Gewinde- oder eines Bajonettverschlusses trennbar verbunden, wodurch eine einfache Austauschbarkeit des Röntgen- Objektivs 10 ermöglicht ist. Das Röntgenobjektiv 10 weist ein Objektivgehäuse 14 auf, in welchem eine Kapillarstruktur 15 angeordnet ist. Die Kapillarstruktur 15 weist in vorliegender Ausgestaltung eine verjüngte Gestalt auf, und entspricht in dieser Gestalt einem verkleinernd fokussierenden Kollimator. Im Kameragehäuse 20 ist ein Aufnahmeelement oder ein Bildsensor 23 und hinter ihm ein als ein Kühlelement dienendes Peltier-Element 22 angeordnet. Das Peltier-Element 22 ist dazu vorgesehen, das Aufnahmeelement 23 auf eine Temperatur nahe Raum- temperatur abzukühlen. Der Innenraum des Kameragehäuses 20 ist vorzugsweise mit einem Edelgas wie Helium oder Stickstoff gefüllt, um einer Vereisung entgegenzuwirken.

In folgender Ausgestaltung wird die Rückwand des Kameragehäuses 20 zusätzlich mit einer Kühlvorrichtung 30 gefüllt. Diese Kühlvorrichtung 30 weist einen Kühlkörper 32 und ein Gebläse 31 auf. Die Röntgenstrahlung tritt in das Röntgenobjektiv 10 durch eine am vorderen Ende des Röntgenobjektivs 10 vorhandene Strahleneintrittsöffnung

16 in den Kollimator 15 ein. Ein Teil der eintreffenden Röntgenstrahlung, der sich entlang der Kapillaröffnungen des Kollimators 15 ausbreitet, erreicht die Strahlen- eintrittsöffnung 25 des Kameragehäuses 20 und trifft auf das Aufnahmeelement 23 auf.

Figur 2 zeigt eine schematisch-perspektivische Ansicht der erfindungsgemäßen Ausgestaltung der Röntgenkamera 1 aus der Figur 1.

Figur 3 zeigt eine schematische Explosionsansicht der erfindungsgemäßen Ausgestaltung der Röntgenkamera 1 aus den Figuren 1 und 2.

In der Reihenfolge von links nach rechts ist ein Gebläse 31 an Kühlkörper 32, eine Gehäuserückwand 21 , ein Peltier-Element 22, ein Aufnahmeelement 23, eine Gehäuseschale 24 mit einer Strahleneintrittsöffnung 25, ein Objektivgehäuse 14 und ein Kollimator 15 dargestellt. Schematisch ist ein Gewinde- oder ein Bajonettverschluss 1 1 des Objektivgehäuses 14 offenbart.

Das Aufnahmeelement 23 ist als ein rechteckiges Element erkennbar und ist erfin- dungsgemäß ein pn-CCD-Halbleiterchip, der beispielsweise ca. 256 x 256 einzelne Bildaufnahmepixel aufweist, wobei die Pixelgröße beispielsweise 50 x 50 μm 2 beträgt. Der vorzugsweise verwendete pn-CCD Halbleiter-Bildsensor weist vorzugsweise zwei integrierte Aufnahmemodule auf und verwendet vorzugsweise äußerst schnell agierende Avalanche-Verstärker zur Signalverstärkung.

In einer bevorzugten Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung ist das Kameragehäuse 20 mit Stickstoff oder Helium gefüllt, um eine Vereisung durch Restwassermoleküle innerhalb des Gehäuses zu verhindern. Damit das Röntgenobjektiv 10 von dem Kameragehäuse 20 durch einen Gewinde- oder Bajonettverschluss abtrennbar sein kann, ist an dem Kameragehäuse an der Strahleneintrittsöffnung 25 ein für die niederenergetische Röntgenstrahlung durchlässiges Fenster (nicht dargestellt) angeordnet. Dieses Fenster ist beispielsweise aus Beryllium oder einer Polymerfolie ausgebildet.

Figur 3 zeigt eine schematische Explosionsansicht der erfindungsgemäßen Ausgestaltung der Röntgenkamera 1 nach Figur 1 und 2. Der Innenraum 13 des Röntgen- objektivs 10 beherbergt einen im vorliegenden Fall verkleinernd fokussierenden Kollimator 15. Aus gleichem Grund wie für das Kameragehäuse 20 ist der Innenraum 13 des Röntgenobjektivs 10 mit Stickstoff oder Helium gefüllt, um eine Vereisung durch Restwasser innerhalb des Gehäuses zu verhindern.

Damit die Gasbefüllung in dem Innenraum 13 des Röntgenobjektivs 10 auch beim Austauschen des Röntgenobjektivs 10 nicht entweichen kann, ist sowohl die Strahleneintrittsöffnung 16 des Objektivgehäuses 14 als auch Strahlenaustrittsöffnung 12 mit jeweils einem auch für niederenergetische Röntgenstrahlung durchlässigen Fenster versehen. Auch diese Fenster können beispielsweise aus Beryllium oder eine Polymerfolie ausgebildet werden.

Ein schematisch dargestellter Gewinde- oder Bajonettverschluss 1 1 ermöglicht ein einfaches Austauschen des Röntgenobjektivs gegen ein anderes, das beispielsweise eine andere Röntgenoptik enthält. Dadurch kann die erfindungsgemäße Röntgenkamera 1 auf eine einfache Art und Weise an eine technische Aufgabe angepasst werden.

Zur Visualisierung und Dokumentation der Probe ist, wie in Fig. 1 dargestellt, der Rönt- genfarbkamera 1 eine als optisches Kamerasystem 50 ausgebildete Beobachtungseinrichtung im optisch sichtbaren Bereich zugeordnet. Dazu dient eine digitale Farbkamera 51. Deren optische Achse wird mit einem röntgendurchlässigen (oder mechanisch klappbaren) Spiegel 53 in die Beobachtungsrichtung der Röntgenfarb- kamera 1 oder der Bestrahlungsrichtung der Röntgenröhre umgelenkt. Im Strahlengang zu der digitalen Farbkamera befindet sich ein starrer Umlenkspiegel 52. Trägermaterialien für röntgendurchlässige im Sichtbaren reflektierende Spiegel sind Polyamid, Beryllium, Mylar oder Diamant.

Zur Beleuchtung 40 der Probe sind an einem Beleuchtungsträger 41 LED-Elemente 42 über LED-Fassungen 43 angeordnet. Figur 4A zeigt eine perspektivische Ansicht einer Kapillarstruktur 17, die als ein vergrößernd fokussierender Kollimator 17 ausgeführt ist. Figur 4B zeigt eine perspektivische Ansicht einer Kapillarstruktur 15, die als ein verkleinernd fokussierender Kollimator 15 ausgeführt ist. Figur 4C zeigt schließlich eine perspektivische Ansicht einer Kapillarstruktur 18, die als ein parallel fokussierender Kollimator 18 ausgeführt ist.

Bezugszeichenliste

1 Röntgenkamera

10 Röntgenobjektiv

1 1 Gewinde- oder Bajonettverschluss

12 Strahlenaustrittsöffnung

13 Innenraum

14 Objektivgehäuse

15 Kapillarstruktur, verkleinernd abbildender Kollimator

16 Strahleneintrittsöffnung

17 Kapillarstruktur, vergrößernd abbildender Kollimator

18 Kapillarstruktur, parallel abbildender Kollimator

20 Kameragehäuse

21 Gehäuserückwand

22 Peltier-Element

23 Aufnahmeelement, pn-CCD

24 Gehäuseschale

25 Strahleneintrittsöffnung

30 Kühlvorrichtung

31 Gebläse

32 Kühlkörper

40 Beleuchtung

41 Beleuchtungsträger

42 LED-Element

43 LED-Fassung

44 Laser (Messbereichsmarkierung)

50 optisches Kamerasystem

51 digitale Farbkamera

52 starrer Umlenkspiegel

53 Klappspiegel oder röntgendurchlässige Spiegelfolie