Dispositif électrostatique d'amortissement d'un mouvement de vibrations mécaniques d'un mobile résonant

Le domaine de l'invention est celui de l'amortissement sélectif de modes de vibration. L'invention présente un intérêt particulier pour réduire des modes de vibration parasites d'un capteur électromécanique résonant.

Il est connu que des capteurs électromécaniques résonants peuvent êtes employés pour mesurer différentes grandeurs physiques : une pression, une accélération, ou une vitesse angulaire. De tels capteurs comportent une structure vibrante : c'est à partir d'une exploitation d'un mode de vibration particulier de la structure vibrante, appelé « mode utile », qu'on évalue une information liée à la grandeur physique à mesurer avec une haute performance. Par exemple, une variation de fréquence de vibration d'une poutre vibrante d'un capteur de pression permet d'évaluer une pression s'exerçant sur la poutre.

Il est souvent nécessaire de recourir à de fortes surtensions mécaniques des modes utiles. Ces surtensions sont en général, obtenues au moyen d'une optimisation entre trois facteurs principaux :

- un choix de matériau de la structure vibrante, qui conduit, le plus souvent à un choix de matériau cristallin;

- une conception mécanique de la structure qui doit être adaptée au mode utile choisi et, - une création d'un vide assez poussé autour de la structure vibrante.

Parallèlement, la présence de modes parasites peut avoir pour effet de dégrader la performance du capteur car elle agit également sur le mode utile. Cette dégradation est souvent d'autant plus importante que le mode parasite est surtendu.

Des solutions relevant de l'art antérieur existent pour amortir ces modes parasites, on peut citer par exemple : un amortissement actif ou passif par effet piézo-électrique, un amortissement gazeux, un amortissement par couplage mécanique avec d'autres modes plus amortis et enfin, un amortissement par adjonction de matériaux à fortes pertes mécaniques comme par exemple des colles.

Ces différentes solutions ne sont pas parfaites et amènent chacune certains inconvénients. En particulier, un amortissement par effet

piézo-électrique nécessite de réaliser des dépôts de matériau piézoélectrique sur des substrats ainsi que des dépôt d'électrodes : ces dépôts constituent des apports de matériaux dont les caractéristiques dégradent les performances du capteur. Par ailleurs, un amortissement gazeux nécessite d'encapsuler les structures vibrantes dans une atmosphère spécifique et d'assurer la stabilité de cette atmosphère dans le temps. Sauf à confiner les gaz dans certaines zones à proximité des structures, ce qui présente des coûts élevés de mise au point et de maintien en conditions opérationnelles, cette solution présente en outre l'inconvénient d'amortir tous les modes de vibration :aussi bien les modes parasites que les modes utiles.

Il est connu qu'en général, les solutions de l'art antérieur pour amortir des vibrations parasites induisent les inconvénients suivants : un ajout de matériau dégradant les performances du capteur, une absence de sélectivité dans les modes de vibration amortis, une complexification de l'architecture mécanique des capteurs et enfin une augmentation sensible de leurs coûts de fabrication.

Le but de l'invention est de pallier ces inconvénients. Plus précisément l'invention a pour objet un dispositif d'amortissement électrostatique d'un mouvement de vibration d'un mobile, le mobile étant réalisé en matériau électriquement conducteur, le mouvement du mobile comportant au moins un mode de vibration parasite de fréquence f _p à amortir, le dispositif comportant une électrode formant avec le mobile un entrefer de capacité polarisée sous une tension continue par un circuit de polarisation, le circuit de polarisation comprenant, reliés électriquement en série avec l'électrode :

- une résistance de charge ;

- une inductance ;

- une capacité parasite . caractérisé en ce que le circuit de polarisation comporte, en outre, un dispositif électronique compensateur d'impédance, qui comprend une composante d'inductance, une composante de capacitance et une composante de résistance.

Un premier avantage du dispositif selon l'invention réside dans la sélectivité de l'amortissement qu'il procure. Cette sélectivité peut porter à la fois sur le mode que l'on amortit mais aussi sur une bande de fréquence pré-

déterminée. Ainsi, grâce à l'invention, il est possible de choisir un ou des modes de vibration que l'on souhaite amortir et de lui, ou de leur, affecter un facteur de surtension donné, sur une bande de fréquence de largeur déterminée. Eventuellement, la largeur de la bande vaut 100 Hertz. Un deuxième avantage du dispositif d'amortissement selon l'invention tient en ce qu'il réalise un amortissement de modes parasites sans nécessiter d'apport de matière solide sur des éléments du capteur, comme par exemple un dépôt de matériau piézo-électrique sur une partie mobile de structures vibrantes. Un troisième avantage du dispositif selon l'invention tient en ce qu'il ne nécessite pas une encapsulation du capteur dans une enceinte hermétique garantissant une atmosphère particulière.

Un autre avantage de l'invention réside dans les caractères réversibles et activables du dispositif selon l'invention. Ainsi, un capteur électromécanique comportant un dispositif selon l'invention n'a pas l'obligation de le faire fonctionner pour réaliser une mesure. Lorsque le dispositif selon l'invention est hors-fonctionnement, le capteur comportant le dispositif peut néanmoins réaliser une mesure. Cette faculté permet au dispositif selon l'invention de jouer un rôle préventif par exemple pour pallier des dégradations du capteur apparaissant au cours du vieillissement du capteur par exemple en s'intégrant à un dispositif d'autotest et de surveillance du capteur.

Enfin, un dernier avantage présenté par le dispositif selon l'invention est de permettre de compenser en outre des effets d'une capacité parasite apparaissant dans le capteur.

D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront à la lecture de la description détaillée qui suit, faite à titre d'exemple non limitatif et en référence aux dessins annexés dans lesquels :

- la figure 1a représente un schéma de principe d'un dispositif d'amortissement associé à un système masse-ressort représentatif d'un mode de résonance à amortir ;

- la figure 1b représente un schéma électrique équivalent au dispositif d'amortissement associé au système masse-ressort représentés sur la figure 1a ;

- la figure 2 représente un premier exemple de circuit dθ polarisation comportant un dispositif électronique compensateur d'un dispositif d'amortissement selon l'invention ;

- la figure 3a représente un premier mode de réalisation d'un dispositif électronique compensateur d'un dispositif d'amortissement selon l'invention ;

- la figure 3b représente le schéma électrique équivalent au premier mode de réalisation ;

- la figure 4a représente un deuxième mode de réalisation d'un dispositif électronique compensateur d'un dispositif d'amortissement selon l'invention ;

- la figure 4b représente le schéma électrique équivalent au deuxième mode de réalisation ;

- la figure 5a représente un troisième mode de réalisation d'un dispositif électronique compensateur d'un dispositif d'amortissement selon l'invention ;

- la figure 5b représente le schéma électrique équivalent au troisième mode de réalisation ;

D'une figure à l'autre, les mêmes éléments sont repérés par les mêmes références.

Considérons un mode de vibration d'un capteur électromécanique que l'on souhaite amortir : on peut représenter ce mode de vibration par un système masse-ressort, comme par exemple sur la figure 1a. Dans ce cas, ie système masse-ressort est composé d'une masse sismique M liée à un ressort de coefficient de raideur k. La masse sismique se déplace à une fréquence égale à fω = 1/2πV/c7/W qui correspond au mode de vibration à amortir. Cette représentation de principe peut tout à fait correspondre à une réalité, c'est le cas par exemple pour un capteur électromécanique plan comportant une structure mobile, un dispositif de détection dθ mouvement suivant un axe sensible Y du pian, un dispositif d'amplification de force pour augmenter la sensibilité du capteur. M est la masse sismique de la structure

mobile et k est un coefficient de raideur équivalent selon l'axe sensible du dispositif d'amplification de force.

If est connu, qu'un amortissement du mode de vibration peut être obtenu par un transfert d'énergie du système masse-ressort vers un élément électrique de dissipation R. Le transfert d'énergie est réalisé en positionnant une électrode ELE à proximité de la masse sismique. L'électrode est polarisée sous une tension Vo continue et l'élément électrique de dissipation R est inséré en série dans un circuit de polarisation de l'électrode ELE.

L'électrode ELE forme avec la masse sismique M un entrefer de capacité C. Lorsqu'une inductance L étant insérée en série dans le circuit de polarisation et lorsque cette inductance L est choisie pour être accordée à la capacité C de l'entrefer, on maximise l'intensité électrique traversant l'élément électrique de dissipation R en évitant un énergie réactive:

Le schéma électrique décrivant une dispositif électrostatique d'amortissement est représenté sur la figure 1b. Dans ce cas, la puissance P dissipée par effet Joule dans l'élément électrique de dissipation R est :

La puissance P est maximale lorsque ω = ωo. Si on choisit l'inductance L de façon à ce que 1/ (L.C) = (2π) ² . (f _M ) ² , c'est à dire de façon à ce que la fréquence de résonance du circuit électrique de polarisation corresponde à la fréquence du mode à amortir, le maximum de puissance P correspond à une atténuation maximale du mode à amortir.

Pour situer les ordres de grandeurs, dans un MEMS, comme un accéléromètre micro-usine, une masse sismique a des dimensions latérales comprises entre quelques micromètres et quelques millimètres. Par exemple, une masse mobile qui a une longueur I = 5 mm, une largeur L = 60μm, qui est éloignée d'une électrode de mêmes dimensions d'une distance d = 3,5//m, la capacité de l'entrefer a une valeur qui correspond à εo.l.L/d, où εo est la permittivitό du vide et vaut 8,85x10 ¹² C ² /(Nxm ² ), c'est à dire, que la capacité C a une valeur égale environ à 750 fF. Ainsi, pour une valeur de fréquence fw à amortir égale à 4 Kilo-Hertz, la valeur d'inductance L

nécessaire vaut environ 2000 Henry. Cette valeur d'inductance très élevée n'est pas atteignable avec un simple composant électronique.

On peut néanmoins émuler une valeur élevée d'inductance en interposant en série dans le circuit de polarisation un dispositif électronique compensateur DEC d'impédance Z _e q comportant une valeur d'inductance non nulle comme illustré en figure 2. Un premier mode de réalisation d'un dispositif de compensation du dispositif d'amortissement selon l'invention est représenté sur la figure 3a.

Avantageusement, si la composante d'inductance Uq a une valeur non nulle, la capacité C et la composante d'inductance Leq sont liées à f _p par une relation de la forme : , ≈ = 2π.f _D .

Ce dispositif est connu sous le nom de « montage à gyrateur ». La figure 3b représente un circuit équivalent à celui présenté sur la figure 5a. L'inductance équivalente L^ vaut R23 ^* C ^* R ₂₄ /R22 . La valeur des différentes résistances du dispositif électronique de compensation sont ajustées de manière à ce que L et Uq soient liées avec f _p par la relation présentée ci- dessus.

Une solution alternative consiste à réaliser des circuits de polarisation comportant une inductance de valeur nulle. Dans ce cas, la puissance P dissipée par effet Joule peut s'exprimer sous la forme suivante : 1 et vaut alors

Avantageusement, si l'inductance L possède une valeur nulle et si la composante d'inductance Uq a une valeur nulle, la résistance de charge R et la capacité C sont liées à f _p par une relation de la forme R. C = 1/(2π.f _p ).

En pratique, pour des capteurs électromécaniques réalisés par usinage de substrat de Silicium SOI, il est très difficile d'éviter qu'une capacité parasite C _p apparaisse en série avec la capacité C de l'entrefer sur le circuit de polarisation : le schéma électrique similaire à celui présenté sur la figure 2. On peut montrer que les performances d'amortissement sont dégradées, c'est à dire que la puissance dissipée P est réduite, par cette

capacité parasite C _p en effet, en posant C _τ = C + C _p , la puissance P prend

. . _ 2d ² Mω ² 1 + (F?C ₇ ω) ² l'expression suivante : P = — — — . _nj J

CV ₀ ² 2RCω

Où d est une distance séparant la masse sismique de ia structure vibrante de l'électrode et M est la masse de la structure vibrante.

Le problème posé par la dégradation des performances d'amortissement peut être résolu en intégrant dans le circuit électrique de polarisation du dispositif d'amortissement, un dispositif de compensation qui compense l'effet de la capacité parasite. Un deuxième mode de réalisation d'un dispositif de compensation du dispositif d'amortissement selon l'invention est représenté sur la figure 4a. Ce circuit électronique qui comporte un amplificateur est connu classiquement sous l'acronyme anglais VNIC {pour « Voltage Négative Impédance Converter »), il est équivalent à une résistance RDI reliée en parallèle à une capacité de valeur Cβq = -C . FWRoi entre les bornes A et B, comme présenté sur la figure 4b.

Avantageusement, la composante de capacitance C _eq a une valeur égale à -Cp

Un troisième mode de réalisation d'un dispositif de compensation du dispositif d'amortissement selon l'invention est représenté sur la figure 5a. Ce circuit électronique est équivalent à trois composants passifs reliés en parallèle, comme présenté sur la figure 5b. une résistances RD2 - une capacité de valeur C^ = -Ce . Z ₂ ZZi.

On emploie les notation suivantes Z ₁ = 1/jdω + R ₁₁ et 1/Z ₂ = jC ₂ ω + 1/R ₁₂

Ce troisième mode de réalisation présente en outre l'intérêt de réduire la résistance totale consitituée par la somme de R _θq et de R pour réduire certaines dérives d'offset.

Avantageusement, la composante de résistance Req a une valeur égale à -R.