以下、図1及び2を参照して本発明の実施形� �に係る端面処理装置について説明する。図1� ��、本発明の端面処理装置Aの構成を示す模式 的平面図であり、図2は、本発明の端面処理� �置Aの構成を示す模式的側面図である。
 端面処理装置Aは、射出成形によって製造さ れた樹脂板Sの端面に赤外線を照射し、端面� �形成されたバリを溶融することによって端� �処理を行う装置である。

 端面処理装置Aは、樹脂板Sを、樹脂板Sの� ��面の処理を行う処理位置まで移動せしめ、� ��の位置で樹脂板Sを支持する樹脂板支持装置 1と、この樹脂板支持装置1上に配置された樹� ��板Sの処理端面S1に赤外線を照射して端面処� ��を行う赤外線照射装置2とからなる。

  樹脂板支持装置1は、制御用回路などが� ��納されている収納台11上に、樹脂板Sの下面� ��当接して樹脂板Sを水平に支持する複数の樹 脂板支持部(図中では例として2つ)12a及び12bと 、端面処理時の樹脂板Sの側端面の処理位置� �設定するための側端面位置設定手段13と、樹 脂板Sを側方から押進せしめ、樹脂板Sの側端� ��を側端面位置設定手段13に接触させるため� �側端面接触手段14と、樹脂板Sの処理端面の� �理位置を設定するための処理端面位置設定� �段15と、樹脂板Sを後方から押進せしめ、樹� �板Sの処理端面を処理端面位置設定手段15に� �触させるための処理端面接触手段16と、処理 位置に配置された樹脂板Sを狭持するための� �ランプ17と、樹脂板センサー18とを備える。

 樹脂板支持部12a及び12bは、それぞれ樹脂� ��支持部12a及び12b用の支持台121上に、樹脂板S を少なくとも点接触で支持できるように例え ば半球上に構成されており、かつ、樹脂板S� �傷つけることがないようにポリウレタン、� �リコンゴムなどの緩衝材からなる。また、� �定の処理位置で樹脂板Sを水平に支持できる� ��うに、樹脂板支持部12a及び12bは個別に上下� ��置が調整可能に構成されている。

 側端面位置設定手段13は、樹脂板Sの側方� ��配置され、樹脂板支持装置1上での樹脂板S� �側端面の処理位置を設定できるように構成� �れている。例えば、側端面位置設定手段13は 、側端面位置設定手段用支持台131上に、側端 面位置設定板132が固定されてなり、この側端 面位置設定板132の樹脂板と接触する面が側端 面の処理位置となる。この場合、前記樹脂板 Sと接触する面には、側端面用緩衝材133が設� �られていることが好ましい。

 側端面接触手段14は、側端面位置設定手� �13に対向する位置に配置され、樹脂板支持装 置1上に載置された樹脂板Sを押進せしめて側� ��面位置設定手段13の側端面位置設定板132に� �触させることができるように可動に構成さ� �ている。この樹脂板Sを側端面位置設定板132� ��接触させる際に押しすぎると、樹脂板の側� ��面(側端面位置設定板132側)に残っていたバ� �が曲がってしまうことがあり、側端面の例� �ば下方に折れ曲がったバリを溶融すると、� �脂板の下面に溶融したバリが付着するとい� �問題が発生する場合もある。他方で、バリ� �折れ曲がらないように弱い力で押すように� �ると、樹脂板Sを処置位置まで移動せしめる� ��に時間がかかりすぎて、短時間で多数枚の� ��脂板を処理することができない。そこで、� ��発明の端面処理装置の側端面接触手段14は� �側端面位置設定板132に樹脂板Sをバリの形状� ��影響を与えることのない所定の圧力で押し� ��、かつ、できるだけ短時間で接触させるこ� ��ができるように、構成することが好ましい� ��

 この場合、側端面接触手段14に、樹脂板S� ��所定の力で押しつけるための押付手段と、� ��付手段を移動せしめるための移動手段とを� ��々に設けることが好ましい。押付手段と移� ��手段とを別々に備えることで、押付手段に� ��りバリを曲げない程度の所定の圧力で側端� ��位置設定板132に樹脂板Sを押し付けることが 可能であり、かつ、移動手段は大きい動力で 作動させることができるので、押付手段の移 動に時間がかからない。

 押付手段としては、樹脂板を所定の力で押� ��続けることができるものであればよく、例� ��ば、エアシリンダー、油圧シリンダー、電� ��シリンダー、スプリング等で構成され、特� ��、メンテナンスが容易であることから、エ� ��シリンダーが好ましい。
 移動手段としては、前後に直線運動できる� ��のであればよく、例えば、エアシリンダー� ��油圧シリンダー、電動シリンダー、スプリ� ��グ等で構成され、特に、メンテナンスが容� ��であることから、エアシリンダーが好まし� ��。

 図中では、例として、各手段をエアシリ� ��ダーで構成している。例えば、側端面接触� ��段14は、側端面接触手段用支持台141上に、� �方への移動手段としての側方移動用シリン� �ー(エアシリンダー)142と、側端面の押付手段 としての側端面押付用シリンダー(エアシリ� �ダー)143とを有する。側端面押付用シリンダ� ��143は、側方移動用シリンダー142のシリンダ� ��ロッド144の先端部に設けられたシリンダー� ��結部材145に連結されており、側方移動用シ� ��ンダー142のシリンダーロッド144の動きに連� ��する。従って、側端面押付用シリンダー143� ��、側方移動用シリンダー142によって移動さ� ��る構成となっている。

 側端面押付用シリンダー143は、側端面押� ��用シリンダー143のシリンダーロッド146の先� ��部に樹脂板の側端面に接触する側端面接触� ��材147を備える。側端面押付用シリンダー143� ��作動すると、側端面押付用シリンダー143の� ��リンダーロッド146が前方または後方に移動� ��、シリンダーロッド146先端の側端面接触部� ��147を移動せしめ、側端面接触部材147のみが� ��脂板Sの側端面に接触できる。

 このように、側方移動用シリンダー142と� ��端面押付用シリンダー143とを別に備え、そ� ��ぞれのシリンダー圧力を個別に設定できる� ��うに構成することで、側端面押付用シリン� ��ー143を小さな圧力で設定し、この小さい圧� ��で側端面押付用シリンダー143の側端面接触� ��材147で樹脂板Sを側端面位置設定板132に押し 付けることができる。かつ、側方移動用シリ ンダー142を短時間で所定の位置に側端面押付 用シリンダー143を移動させて樹脂板Sを押進� �しめるのに十分な圧力で設定すれば、時間� �かからず、短時間で多数枚の樹脂板を処理� �ることが可能である。

 側端面接触部材147は、好ましくはポリウ� ��タンなどの緩衝材をその表面に設けるか、� ��は側端面接触部材147を緩衝材から作製する� ��とが好ましい。

 処理端面位置設定手段15は、水平に支持� �れる樹脂板Sの前方、即ち樹脂板Sの処理端面 S1側に配置されており、樹脂板支持装置1上で の樹脂板Sの処理端面S1の処理位置を設定する ことができるように構成されている。この場 合、処理位置を設定した後に、処理端面位置 設定手段15がその処理位置に近い場所に配置� ��れたままだと、端面処理時に赤外線による� ��で処理端面位置設定手段15が変形してしま� �ことがある。そこで、処理端面位置設定手� �は、前後方向に移動可能に構成されている� �とが好ましい。

 例えば、処理端面位置設定手段15は、処� �端面位置設定手段用支持台151と、この支持� �151上の可動のXステージ152に固定された処理� ��面位置設定手段用シリンダー(エアシリンダ ー)153と、この処理端面位置設定手段用シリ� �ダー153のシリンダーロッド154の先端に設け� �れた処理端面位置設定部材155からなる。

 処理端面位置設定手段用シリンダー153を� ��のシリンダーロッド154が処理端面S1側に移� �するように所定の圧力に設定して作動せし� �ると、シリンダーロッド154が前方向に移動� �、これに伴ってこのシリンダーロッド154の� �端の処理端面位置設定部材155が前方向に移� �し、停止する。この処理端面位置設定部材15 5の樹脂板Sと接触する面が停止した位置が、� ��理端面S1の処理位置となる。なお、端面処� �を開始する前に、処理端面位置設定手段用� �リンダー153のシリンダーロッド154が後退す� �ように動作せしめる。

 また、処理端面位置設定手段15は、バリ� �大きさ(数~数百μm)によって処理端面位置設� �部材155の停止位置をマイクロメートルオー� �ーで変更できるように、Xステージ152を、マ� ��クロメーター156を備えたマイクロメートル� ��ーダーで移動可能な構成とすることが好ま� ��い。

 なお、樹脂板Sの端面処理を行う場合、樹 脂板Sの処理端面S1は、平面ではなく緩やかな 湾曲面となっている場合もあるので、処理端 面位置設定手段15は、所定の距離を開けて2以 上設け、安定して樹脂板Sの位置決めを行う� �とができるように構成されることが好まし� �。

 処理端面接触手段16は、水平に支持され� �樹脂板Sの後方、即ち樹脂板Sの処理端面S1に� ��向する端面(後端面)側の後方に配置され、� �脂板Sを後方から処理端面位置設定手段15に� �かって押進せしめて樹脂板Sの処理端面S1を� �理端面位置設定手段15の処理端面位置設定部 材155に接触させることができるように可動に 構成されている。

 処理端面接触手段16も、側端面接触手段14 と同様に、処理端面位置設定部材155に樹脂板 Sを押し付け過ぎないように移動手段と押付� �段とを別々に設けていることが好ましく、� �手段はエアシリンダーで構成されているこ� �が好ましい。例えば、処理端面接触手段16は 、ガイドロッド支持部材161a、161b間に設けら� ��たガイドロッド162上を前後方向に移動可能� ��構成された移動手段としての前後方向移動� ��シリンダー(エアシリンダー)163と、処理端� �を処理端面位置設定手段に押し付ける押付� �段としての処理端面押付用シリンダー(エア� ��リンダー)164とを備える。処理端面押付用シ リンダー164は、シリンダー連結部材165を介し て前後方向移動用シリンダー163上に固定され 、処理端面押付用シリンダー164上には、その 一端が処理端面押付用シリンダー164のシリン ダーロッド166に接続されているL字状連結部� �167と、及びL字状連結部材167に固定され、後� ��面に接触する後端面接触部材168とが設けら� ��ている。後端面接触部材168の樹脂板Sとの接 触面には、緩衝材169が設けられていてもよい 。

 前後方向移動用シリンダー163が作動して� ��イドロッド162上を移動すると、前後方向移� ��用シリンダー163上に設けられた処理端面押� ��用シリンダー164も同時に移動する。また、� ��理端面押付用シリンダー164を所定の圧力に� ��定して作動せしめると、そのシリンダーロ� ��ド166が前方又は後方に移動し、これに伴っ� ��L字状連結部材167及びL字状連結部材167上の� �端面接触部材168が前方又は後方に移動する� �

 クランプ17は、下部クランプ171と上部ク� �ンプ172とからなり、処理位置に配置された� �脂板支持部12a及び12b上に支持されている樹� �板Sの処理端面の縁部の上面および下面を、� ��下の耐熱クランプとの間に狭持して、樹脂� ��Sを固定する。クランプ17は、金属、ガラス� ��セラミックス等の無機材料、テフロン(登録 商標)やポリフッ化ビニリデン等のフッ素系� �脂等で表面又はその全体が構成された耐熱� �のもので、冷却手段が設けられていること� �好ましい。冷却手段としては、水冷、空冷� �ガス冷、固体接触式冷却などが挙げられ、� �中では、例として、クランプの内部に冷却� �が循環するように水路173が構成されている� �上部クランプ172は、上下方向に移動可能に� �成されている。

 上部クランプ172は、上下方向に移動可能� ��構成されている。例えば、上部クランプ172� ��、クランプ支持台174上に固定されたクラン� ��用シリンダー175のシリンダーロッド176に、� ��ランプ用連結部材177を介して接続されてお� ��、上部クランプ172がそのシリンダーロッド1 76の上下動に連動して上下方向に移動可能で� ��るように構成されている。この場合に、上� ��クランプ172を水平に保持したまま上下動さ� ��るために、クランプ支持台174上に所定の間� ��をあけてクランプ用支持部材178を2つ設け、 クランプ用支持部材178の側端部を移動可能に 構成されたクランプ用接続部材179を配置し、 このクランプ用接続部材179と上部クランプ172 とを接続する。シリンダーロッド176の上下動 に伴って上部クランプ172が移動した場合、ク ランプ用接続部材179がクランプ用支持部材178 の側端部を移動しながら支持することが可能 である。また、クランプ時に樹脂板Sを傷付� �ないように、上部クランプ172の樹脂板Sとの� ��触面には、耐熱性のある傷防止用のテープ( 例えばポリイミドテープ、テフロンテープ)� �備えていることが好ましい。さらに、クラ� �プ時に樹脂板Sを傷付けないように、クラン� ��用シリンダー175を移動用シリンダーとし、� ��らにもう一つ押付用シリンダーを設けて側� ��面接触手段14や処理端面接触手段16と同様の 構成としてもよい。なお、クランプ支持台174 には、水冷用水路を設けてもよい。

 樹脂板センサー18は、反射型センサーで� �り、例えば、樹脂板支持部12aが設置されて� �る支持台121に設けられている。この樹脂板� �ンサー18を作動させて、樹脂板支持装置1上� �樹脂板Sの有無を感知すると共に、センサー� ��らの光の透過率の変化で、樹脂板の表裏を� ��知することが可能である。

 本発明の処理装置で処理される樹脂板Sと しては、PVC(ポリ塩化ビニル)や、PMMA(ポリメ� �クリル酸メチル)樹脂等の材料を用いて射出� ��形によって製造した導光板がある。導光板� ��、一方の面がブラスト加工あるいはマット� ��工等によって処理された粗面(マット)であ� �、他方の面がプリズムからなるマットプリ� �ム導光板がある。また、導光板は、端面か� �見ると楔形状であり、厚さが一定ではない� �で、導光板は、入れ子式の金型内で射出成� �によって製造され、この結果、各端面には� �数~数百ミクロンのバリが残っている。

 赤外線照射装置2は、赤外線ランプ(赤外� �源)21と、赤外線ランプの少なくとも後方に� �置された断面が楕円形状のミラー22とを備え ている。

 本実施形態では、赤外線照射装置2は、耐 熱性クランプで固定された樹脂板の処理端面 S1に対して、例えば斜め下方から赤外線を照� ��することができる位置にミラー支持部材23a~ 23cで支持され、その装置の一部は、クランプ 支持台174上に載置されている。この赤外線照 射装置2の配置角度は、30~60°とすることが好� ��しく、より好ましくは40~50°、特に好ましく は45°である。

 また、赤外線照射装置2の赤外線ランプ21� ��、好ましくは、処理端面S1と同程度の長さ� �線状のランプであり、その設置位置を変え� �、赤外線ランプ21とミラー22との位置関係を� ��えることができるように構成されている。� ��外線ランプ21が可動であることで、即ち、� �外線ランプの集光手段に対する位置を変え� �ことで、赤外線ランプから発射された赤外� �の集光位置をバリの大きさや厚さによって� �えることが可能となり、効率的にバリを除� �でき、また、バリ以外の部分に赤外線が照� �されることを防止できる。例えば、ミラー22 の楕円面反射の焦点に赤外線ランプ21が配置� ��れている場合には、効率よくバリを溶融で� ��る。他方で、楕円面反射の焦点に赤外線ラ� ��プ21が配置されていない場合には、バリに� �射される赤外線集光幅が広がるので、広範� �でバリを溶融できる。従って、樹脂板やバ� �の大きさ、厚さ等に併せて選択できる。

 次に、端面処理装置Aの作動を説明する。

 初め、上部クランプ172は上がった状態で� ��持されており、手動又はロボットアーム等� ��よって樹脂板Sを、樹脂板支持装置1の樹脂� �支持部12a及び12b、並びに下部クランプ171上� �載置される。ついで、樹脂板センサー18によ って樹脂板の有無、及び樹脂板の表裏が感知 される。

 樹脂板Sの表裏が正しく載置されているこ とが樹脂板センサー18によって判断された後� ��樹脂板Sの側端面の位置決めが行われる。側 端面の位置決めに用いられる側方移動用シリ ンダー142の設定圧力は、側端面押付用シリン ダー143の設定圧力より高く、例えば12~17ワイ� ��インチサイズの樹脂板の場合には、側方移� ��用シリンダー142の設定圧力は、0.4~0.6MPa、推 力98~145Nであり、また、側端面押付用シリン� �ー143の設定圧力は、推力が2~4N、好ましくは2 .5~3.5N、特に好ましくは3Nになるように設定さ れている。

 まず、側端面押付用シリンダー143内の圧� ��を設定し、同時に側方移動用シリンダー142� ��の圧力を設定して作動せしめると、側方移� ��用シリンダー142のシリンダーロッド144が樹� ��板S側に移動する。この場合、側端面押付用 シリンダー143内の圧力は非常に小さいので、 側端面押付用シリンダー143のシリンダーロッ ド146はほとんど移動しない。シリンダーロッ ド144の移動に伴い、連結部材145、及び連結部 材145に固定されている側端面押付用シリンダ ー143も移動するので、その結果、側端面押付 シリンダー143のシリンダーロッド146先端の側 端面接触部材147が樹脂板Sの一方の側面に接� �する。側端面接触部材147が樹脂板Sに接触し� ��まま、側方移動用シリンダー142により樹脂� ��Sを側端面の方へ押進せしめると、樹脂板S� �他方の側端面が側端面位置設定板132に接触� �る。接触すると、側端面押付用シリンダー14 3の圧力設定値の方が側方移動用シリンダー14 2の圧力設定値より小さいので、反発力で、� �端面接触部材147が進行方向に対して後退し� �側端面押付シリンダー143のシリンダーロッ� �146も側端面押付用シリンダー143内に戻る。� �時に、側端面押付用シリンダー143は、内部� �設けられたセンサーでそのシリンダーロッ� �146が側端面押付用シリンダー143内に戻って� �たのを感知し、この信号は側方移動用シリ� �ダー142の制御部(図示せず)に送られる。これ により、側方移動用シリンダー142は、そのシ リンダーロッド144が後退するように作動する ので、側方移動用シリンダーのシリンダーロ ッド144は後退する。このようにして、樹脂板 Sには、側端面押付用シリンダー143の設定圧� �による力だけがかかり、樹脂板Sの側端面の� ��リが折り曲げられることを防止しながら、� ��端面位置設定板132に樹脂板Sを接触できる。 これと共に、高い圧力に設定されている側方 移動用シリンダー142により移動できるので、 タクトタイムも減少できる。

 側端面の位置決め後、処理端面S1の位置� �めを行う。まず、処理端面位置設定手段15の 処理端面位置設定手段用シリンダー153を作動 せしめ、そのシリンダーロッド154を移動させ 、シリンダーロッド154の先端に設けられた処 理端面位置設定部材155を所定の位置まで移動 せしめる。なお、この所定の位置とは、クラ ンプ17からバリの長さ分だけ離れた位置であ� ��。

 ついで、樹脂板Sの後方に位置する処理端 面接触手段16を作動させる。Y方向の位置決め に用いられる前後方向移動用シリンダー163の 設定圧力は、処理端面押付用シリンダー164の 設定圧力より高い。例えば12~17ワイドインチ� ��イズの樹脂板の場合には、前後方向移動用� ��リンダー163の圧力は、0.4~0.6MPa、推力126~190N� ��また、処理端面押付用シリンダーの圧力は� ��推力が2~4N、好ましくは2.5~3.5N、特に好まし� ��は3Nになるように設定されている。

 処理端面押付用シリンダー164内を所定の� ��力に設定し、同時に前後方向移動用シリン� ��ー163も所定の圧力に設定し、作動せしめる� ��、前後方向移動用シリンダー163はガイドロ� ��ド162上を処理端面位置設定手段15側へ移動� �る。この場合、処理端面押付用シリンダー16 4のシリンダーロッド166は、設定圧力が小さ� �ので、ほとんど移動しない。これによって� �後方向移動用シリンダー163のシリンダー連� �部材165、処理端面押付用シリンダー164、L字� ��部材166及び後端面接触部材168も処理端面位� ��設定手段15側へ移動して、後端面接触部材16 8が樹脂板Sに接触する。その後、後端面接触� ��材168が樹脂板Sを押しながら前後方向移動用 シリンダー163により樹脂板Sを前方へ移動さ� �、樹脂板Sの処理端面S1が処理端面位置設定� �材155に接触する。接触すると、処理端面押� �用シリンダー164の圧力設定値の方が前後方� �移動用シリンダー163の設定圧力値より小さ� �ので、反発力で、後端面接触部材168及び後� �面接触部材に接続されているL字状連結部材1 67が後退し、処理端面押付用シリンダー164の� ��リンダーロッド166が処理端面押付用シリン� ��ー164から後方に引き出される。処理端面押� ��用シリンダー164は、内部に設けられたセン� ��ーでそのシリンダーロッド166が処理端面押� ��用シリンダー164から後方に移動したのを感� ��すると、この信号が前後方向移動用シリン� ��ーの制御部(図示せず)に送られ、これによ� �、前後方向移動用シリンダー163は、ガイド� �ッド162上を逆向きに移動するように制御さ� �る。このようにして、樹脂板Sには、処理端� ��押付用シリンダー164の設定圧力による力だ� ��がかかり、樹脂板Sの処理端面S1に形成され� ��いるバリBの先端が折れ曲がることなく樹脂 板Sを処理端面位置設定部材155に接触させ、� �脂板Sの後端面の位置決めを行うことができ� ��。

 樹脂板Sの側端面および処理端面の位置決 めが完了した状態でクランプ用シリンダー175 を作動せしめ、そのシリンダーロッド176を下 方に移動させてシリンダーロッド176に接続さ れたクランプ用連結部材177を介して上部クラ ンプ172を降下させ、樹脂板Sの処理端面S1の上 面に接触させ、固定された下部クランプ171と 共に樹脂板Sをクランプする。

 クランプ完了後、処理端面位置設定手段1 5の処理端面位置設定手段用シリンダー153を� �動してそのシリンダーロッド154を後退せし� �、処理端面位置設定部材155が処理端面S1から 遠ざかる方向に退避する。

 図3は、クランプ17でクランプして位置決� ��された状態の樹脂板Sの処理端面S1の部分を� ��す部分拡大断面図である。図3中のBは、樹� �板Sの処理端面S1に付着しているバリであり� �説明のため、バリBは、約数~数百μmの長さの バリを誇張して示している。

 図3に示すように、各処理端面位置設定手 段15の処理端面位置設定部材155の端面に接触� ��ている樹脂板Sは、下部クランプ171と上部ク ランプ172とでクランプされている部分から、 バリBのみが前方に突き出た状態でクランプ� �れる。

 次いで、赤外線ランプ21を点灯させると� �樹脂板Sの処理端面S1に赤外線照射装置2から� ��外線が照射され、処理端面S1に形成されて� �たバリBが溶融される。赤外線の照射時間お� ��び強度は、バリの大きさ、樹脂板の厚さ、� ��脂板までの距離、樹脂板の材質等を勘案し� ��設定される。例えば、照射時間が5~7秒、赤� ��線ランプ21の供給パワーは3.5kwに設定されて いてもよい。

 溶融処理が完了するとクランプ用シリン� ��ー175の内部ピストンが上方に移動するよう� ��エアーを導入し、シリンダーロッド176に設� ��られたクランプ用連結部材177を介して上部� ��ランプ172を上昇せしめ、クランプを解除す� ��。解除後、手動又はロボット(図示せず)等� �より、樹脂板Sが樹脂板支持装置1から取り除 き、次の処理工程に搬送する。この場合、タ クトタイムは全部で30~35秒程度に設定するこ� ��が可能である。

 本発明の別の実施の形態として、図4に示 した装置では、赤外線照射装置2は、照射方� �に対して前後に移動できるように構成され� �いる。図4中では、赤外線照射装置2は移動可 能な赤外線照射装置用支持台24上に載置され� ��おり、支持台24の位置を後方にずらし、固� �することによって赤外線照射装置2自体と樹� ��板Sとの距離を変えることが可能である。赤 外線照射装置2自体の位置を変えることによ� �ても、赤外線ランプから発射された赤外線� �集光位置をバリの大きさや厚さによって変� �ることが可能となり、効率的にバリを除去� �き、また、赤外線照射装置自体の位置を変� �ることで、バリ以外の部分に赤外線が照射� �れることを防止できる。

 なお、一端面の処理が完了した樹脂板Sを、 ロボット等によって、別の樹脂板端面処理装 置A上に未処理の端面が赤外線照射装置2側に� ��置するように配置し、未処理の端面を同様� ��溶融処理して、バリを除去するように構成� ��てもよい。
 また、上記では、樹脂板の端面処理につい� ��説明したが、本発明の端面処理装置は、樹� ��板以外にも、ガラス基板、金属基板や半導� ��基板などのバリの除去にも用いることがで� ��る。