Title:
FAULT INSPECTION DEVICE AND FAULT INSPECTION METHOD
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2012/014358
Kind Code:
A1
Abstract:
Proposed is a fault inspection method whereby: illuminating light having a substantially uniform illumination intensity distribution in one direction of a sample surface is irradiated on the sample surface; multiple scattered light components, which are output in multiple independent directions, are detected among the scattered light from the sample surface and multiple corresponding scattered light detection signals are obtained; at least one of the multiple scattered light detection signals is processed and the presence of faults is determined; at least one of the multiple scattered light detection signals that correspond to each of the points determined by the processing as a fault is processed and the dimensions of the fault are determined; and the position and dimensions of the fault on the sample surface, at each of the points determined as a fault, are displayed.
Inventors:
URANO, Yuta (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
浦野 雄太 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 横浜研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
MARUYAMA, Shigenobu (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
丸山 重信 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 横浜研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
NAKAO, Toshiyuki (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
浦野 雄太 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 横浜研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
MARUYAMA, Shigenobu (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
丸山 重信 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 横浜研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
NAKAO, Toshiyuki (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
Application Number:
JP2011/002810
Publication Date:
February 02, 2012
Filing Date:
May 20, 2011
Export Citation:
Assignee:
HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION (24-14, Nishi Shimbashi 1-chome Minato-k, Tokyo 17, 〒1058717, JP)
株式会社日立ハイテクノロジーズ (〒17 東京都港区西新橋一丁目２４番１４号 Tokyo, 〒1058717, JP)
URANO, Yuta (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
浦野 雄太 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 横浜研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
MARUYAMA, Shigenobu (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
丸山 重信 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 横浜研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
株式会社日立ハイテクノロジーズ (〒17 東京都港区西新橋一丁目２４番１４号 Tokyo, 〒1058717, JP)
URANO, Yuta (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
浦野 雄太 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 横浜研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
MARUYAMA, Shigenobu (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
丸山 重信 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 横浜研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
International Classes:
G01N21/956; G01B11/30; H01L21/66
Attorney, Agent or Firm:
INOUE, Manabu et al. (6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-k, Tokyo 20, 〒1008220, JP)
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Claims: