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Title:
FILM-SHAPED OPTICAL WAVEGUIDE
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2009/069548
Kind Code:
A1
Abstract:
Disclosed is a film-shaped optical waveguide having excellent bending durability and transparency. Specifically disclosed is a film-shaped optical waveguide (1) comprising a lower cladding layer (15), a core portion (22), an intermediate cladding layer (36) and an upper cladding layer (33). The lower cladding layer (15) and the upper cladding layer (33) are made of a cured product of a photocurable resin composition which contains, when the solid content of the photocurable resin composition is taken as 100% by mass, 30-80% by mass of a urethane (meth)acrylate oligomer (A), 15-69% by mass of a reactive diluted monomer (B) and 0.1-10% by mass of a photopolymerization initiator (C). The intermediate cladding layer (36) is made of a cured product of a photocurable resin composition which contains, when the solid content of the photocurable resin composition is taken as 100% by mass, 5-80% by mass of a urethane (meth)acrylate oligomer (a), 1-40% by mass of a reactive diluted monomer (b), 0.1-10% by mass of a photopolymerization initiator (c) and 15-75% by mass of a vinyl polymer (d) having an ethylenically unsaturated group.

Inventors:
MAEDA, Yukio (6-10 Tsukiji 5-chome, Chuo-k, Tokyo 10, 1048410, JP)
前田 幸勇 (〒10 東京都中央区築地五丁目6番10号 JSR株式会社内 Tokyo, 1048410, JP)
TATARA, Ryouji (6-10 Tsukiji 5-chome, Chuo-k, Tokyo 10, 1048410, JP)
多田羅 了嗣 (〒10 東京都中央区築地五丁目6番10号 JSR株式会社内 Tokyo, 1048410, JP)
HUANGFU, Jun (6-10 Tsukiji 5-chome, Chuo-k, Tokyo 10, 1048410, JP)
Application Number:
JP2008/071222
Publication Date:
June 04, 2009
Filing Date:
November 21, 2008
Export Citation:
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Assignee:
JSR CORPORATION (6-10, Tsukiji 5-chome Chuo-k, Tokyo 10, 1048410, JP)
JSR株式会社 (〒10 東京都中央区築地五丁目6番10号 Tokyo, 1048410, JP)
MAEDA, Yukio (6-10 Tsukiji 5-chome, Chuo-k, Tokyo 10, 1048410, JP)
前田 幸勇 (〒10 東京都中央区築地五丁目6番10号 JSR株式会社内 Tokyo, 1048410, JP)
TATARA, Ryouji (6-10 Tsukiji 5-chome, Chuo-k, Tokyo 10, 1048410, JP)
多田羅 了嗣 (〒10 東京都中央区築地五丁目6番10号 JSR株式会社内 Tokyo, 1048410, JP)
International Classes:
G02B6/12; C08F290/06; C08F299/00; C08G18/67
Foreign References:
JP2005283840A
JP2003303449A
JP2004199015A
JP2002509126A
Attorney, Agent or Firm:
HIRATA, Naoyuki (LEAD INTERNATIONAL PATENT OFFICE Takou Building Kudan 4F, 8-5 Iidabashi 2-chome, Chiyoda-k, Tokyo 72, 1020072, JP)
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Claims:
下部クラッド層と、コア部分と、中間クラッド層と、上部クラッド層とを含むフィルム状光導波路であって、前記下部クラッド層及び上部クラッド層が、下記成分(A)~(C)を含む光硬化性樹脂組成物の硬化物からなり、(A)ウレタン(メタ)アクリレートオリゴマー 30~80質量%(B)反応性希釈モノマー 15~69質量%              (C)光重合開始剤 0.1~10質量%(ただし、光硬化性樹脂組成物の固形分の全量を100質量%とする。) 前記中間クラッド層が、下記成分(a)~(d)を含む光硬化性樹脂組成物の硬化物からなることを特徴とするフィルム状光導波路。(a)ウレタン(メタ)アクリレートオリゴマー 5~80質量%(b)反応性希釈モノマー 1~40質量%(c)光重合開始剤 0.1~10質量%(d)エチレン性不飽和基を有するビニル系重合体 15~75質量%(ただし、光硬化性樹脂組成物の固形分の全量を100質量%とする。)
成分(A)が、(A-1)ポリオール化合物、(A-2)ポリイソシアネート化合物、及び(A-3)水酸基含有(メタ)アクリレートの反応生成物であるウレタン(メタ)アクリレートオリゴマーを含む請求項1に記載のフィルム状光導波路。
(A-1)ポリオール化合物が、脂肪族ポリエーテルポリオール、芳香族ポリエーテルポリオール、ポリエステルポリオール、及びポリカーボネートポリオールからなる群より選ばれる1種以上である請求項2に記載のフィルム状光導波路。
下部クラッド層及び上部クラッド層を形成する光硬化性樹脂組成物が、エチレン性不飽和基を有するビニル系重合体を含まないか、または、光硬化性樹脂組成物の固形分の全量を100質量%とした場合に10質量%以下の配合量で含む請求項1~3のいずれか1項に記載のフィルム状光導波路。
Description:
フィルム状光導波路

本発明は、フィルム状光導波路に関する。

マルチメディア時代を迎え、光通信システム やコンピュータにおける情報処理の大容量化 及び高速化の要求から、光の伝送媒体として 光導波路が注目されている。従来の光導波路 としては、石英系光導波路が代表的であった 。しかし、石英系光導波路は、製造時に石英 膜の堆積のために高温での長時間の処理が必 要であるなど、製造時間が長いこと、光導波 路のパターン形成には、光レジストを用いる 工程と、危険性の高いガスを用いてエッチン グする工程が含まれ、かつ、それらの工程に 特殊な装置を必要とするなど、多数の複雑な 工程及び特殊な装置を要すること、及び、歩 留まりが低いこと等の問題がある。 これら 問題を改善するため、光導波路の工程数の 減、製造時間の短縮化、歩留まりの増大等 生産性の向上を目的に、コア部分とクラッ 層の材料として液状の硬化性組成物を用い ポリマー系光導波路が、近年提案されてい 。 一例として、テトラカルボン酸二無水 とジアミンから得られるポリイミドを構成 素とするポリイミド系光導波路において、 ポリイミドが特定の構造式で表されるフッ 化ジアミン若しくはそれを含むジアミンか のポリイミド、又はその混合物であること 特徴とするポリイミド系光導波路が提案さ ている(特許文献1)。 このポリイミド系光導 波路は、良好な伝送特性(低導波路損失)を有 、優れた耐熱性を有するものである。 ま 他の例として、(A)ウレタン結合を介在させ 結合された、ラジカル重合性反応基を含む 鎖部分を有する構成単位と、重合性を有し い側鎖を有する構成単位とを含む共重合体 (B)分子内に1個以上のエチレン性不飽和基を し、分子量が1,000未満であり、0.1MPaにおけ 沸点が130℃以上である化合物、及び(C)光ラ カル重合開始剤を含有する光導波路用感光 樹脂組成物が提案されている(特許文献2)。  この感光性樹脂組成物によると、形状の精度 が高くかつ高温高湿下における伝送特性の低 下を抑えた光導波路を形成することができる 。  

特開平4-9807号公報

特開2006-146162号公報

従来の光導波路では、フィルム状の硬化物 (フィルム状光導波路)の状態で、繰り返し屈 させると、破断やクラックを生じ、良好な 送特性を維持できないという問題がある。 一方、フィルム状光導波路の下面に、発光 子等の他の部材を固着させる際に、フィル 状光導波路を上方から透視して位置合わせ することから、フィルム状光導波路は、高 透明性を有することが望まれている。 そこ で、本発明は、屈曲耐久性及び透明性に優れ たフィルム状光導波路を提供することを目的 とする。

本発明者は、上記課題を解決するために鋭 意検討した結果、下部クラッド層と、コア部 分と、中間クラッド層と、上部クラッド層と を含み、前記下部クラッド層、中間クラッド 層、及び上部クラッド層が、特定の成分組成 を有する光硬化性樹脂組成物の硬化物からな るフィルム状光導波路によれば、本発明の上 記目的を達成することができることを見出し 、本発明を完成した。 

すなわち、本発明は以下の[1]~[4]を提供す ものである。[1] 下部クラッド層と、コア部 分と、中間クラッド層と、上部クラッド層と を含むフィルム状光導波路であって、前記下 部クラッド層及び上部クラッド層が、下記成 分(A)~(C)を含む光硬化性樹脂組成物の硬化物 らなり、(A)ウレタン(メタ)アクリレートオリ ゴマー 30~80質量%(B)反応性希釈モノマー 15~69 質量%(C)光重合開始剤 0.1~10質量%(ただし、光 化性樹脂組成物の固形分の全量を100質量%と する。) 前記中間クラッド層が、下記成分(a) ~(d)を含む光硬化性樹脂組成物の硬化物から ることを特徴とするフィルム状光導波路。(a )ウレタン(メタ)アクリレートオリゴマー 5~80 質量%(b)反応性希釈モノマー 1~40質量%(c)光重 開始剤 0.1~10質量%(d)エチレン性不飽和基を するビニル系重合体 15~75質量%(ただし、光 化性樹脂組成物の固形分の全量を100質量%と する。)[2] 成分(A)が、(A-1)ポリオール化合物 (A-2)ポリイソシアネート化合物、及び(A-3)水 酸基含有(メタ)アクリレートの反応生成物で るウレタン(メタ)アクリレートオリゴマー 含む上記[1]に記載のフィルム状光導波路。[3 ] (A-1)ポリオール化合物が、脂肪族ポリエー ルポリオール、芳香族ポリエーテルポリオ ル、ポリエステルポリオール、及びポリカ ボネートポリオールからなる群より選ばれ 1種以上である上記[2]に記載のフィルム状光 導波路。[4] 下部クラッド層及び上部クラッ 層を形成する光硬化性樹脂組成物が、エチ ン性不飽和基を有するビニル系重合体を含 ないか、または、光硬化性樹脂組成物の固 分の全量を100質量%とした場合に10質量%以下 の配合量で含む上記[1]~[3]のいずれか1つに記 のフィルム状光導波路。

本発明のフィルム状光導波路は、特定の成 分組成を有する光硬化性樹脂組成物からなる 下部クラッド層、中間クラッド層及び上部ク ラッド層を備えているため、繰り返しの屈曲 に対しても破断やクラックを生じることがな く、良好な伝送特性を維持することができる 。 また、本発明のフィルム状光導波路は、 定の成分組成を有する光硬化性樹脂組成物 らなるクラッド層が高い透明性を有するた 、フィルム状光導波路と発光素子等の他の 材とを固着させる際に、フィルム状光導波 を透視して、容易かつ正確に位置合わせを なうことができる。

本発明のフィルム状光導波路は、下部クラ ッド層と、コア部分と、中間クラッド層と、 上部クラッド層とを含み、前記下部クラッド 層及び上部クラッド層が、特定の成分組成を 有する光硬化性樹脂組成物(クラッド層用光 化性樹脂組成物ともいう。)の硬化物からな 、かつ、前記中間クラッド層が、前記クラ ド層用光硬化性樹脂組成物とは異なる、特 の成分組成を有する光硬化性樹脂組成物(中 間層用光硬化性樹脂組成物ともいう。)の硬 物からなるものである。 まず、クラッド層 用光硬化性樹脂組成物について説明する。 

クラッド層用光硬化性樹脂組成物は、成分 (A)~(C)、及び必要に応じて配合される他の成 を含む。以下、各成分ごとに詳述する。[成 (A)] 成分(A)は、ウレタン(メタ)アクリレー オリゴマーである。 成分(A)として用いられ るウレタン(メタ)アクリレートオリゴマーは 例えば、(A-1)ポリオール化合物、(A-2)ポリイ ソシアネート化合物、及び(A-3)水酸基含有(メ タ)アクリレートを反応させることにより製 される。具体的には、以下の製法1~製法4の ずれかの方法で製造される。製法1:ポリオー ル化合物、ポリイソシアネート化合物及び水 酸基含有(メタ)アクリレートを一括して仕込 で反応させる方法。製法2:ポリオール化合 及びポリイソシアネート化合物を反応させ 次いで水酸基含有(メタ)アクリレートを反応 させる方法。製法3:ポリイソシアネート化合 及び水酸基含有(メタ)アクリレートを反応 せ、次いでポリオール化合物を反応させる 法。製法4:ポリイソシアネート化合物及び水 酸基含有(メタ)アクリレートを反応させ、次 でポリオール化合物を反応させ、最後にま 水酸基含有(メタ)アクリレート化合物を反 させる方法。 

以下、ウレタン(メタ)アクリレートオリゴ ーの製造に用いられる(A-1)ポリオール化合 、(A-2)ポリイソシアネート化合物、(A-3)水酸 含有(メタ)アクリレートについて詳しく説 する。[(A-1)ポリオール化合物] (A-1)ポリオー ル化合物としては、脂肪族ポリエーテルポリ オール、脂環族ポリエーテルポリオール、芳 香族ポリエーテルポリオール、ポリエステル ポリオール、ポリカーボネートポリオール、 ポリカプロラクトンポリオール等が挙げられ る。 脂肪族ポリエーテルポリオールとして 、例えば、エチレンオキサイド、プロピレ オキサイド、ブチレンオキサイド、テトラ ドロフラン、2-メチルテトラヒドロフラン 3-メチルテトラヒドロフラン、置換テトラヒ ドロフラン、オキセタン、置換オキセタン、 テトラヒドロピラン及びオキセバンから選ば れる少なくとも1種の化合物を開環(共)重合す ることにより得られるもの等が挙げられる。 これらの具体例としては、ポリエチレングリ コール、1,2-ポリプロピレングリコール、1,3- リプロピレングリコール、ポリテトラメチ ングリコール、1,2-ポリブチレングリコール 、ポリイソブチレングリコール、プロピレン オキサイドとテトラヒドロフランの共重合体 ポリオール、エチレンオキサイドとテトラヒ ドロフランの共重合体ポリオール、エチレン オキサイドとプロピレンオキサイドの共重合 体ポリオール、テトラヒドロフランと3-メチ テトラヒドロフランの共重合体ポリオール エチレンオキサイドと1,2-ブチレンオキサイ ドの共重合体ポリオール等が挙げられる。  環族ポリエーテルポリオールとしては、例 ば、水添ビスフェノールAのエチレンオキサ イド付加ジオール、水添ビスフェノールAの ロピレンオキサイド付加ジオール、水添ビ フェノールAのブチレンオキサイド付加ジオ ル、水添ビスフェノールFのエチレンオキサ イド付加ジオール、水添ビスフェノールFの ロピレンオキサイド付加ジオール、水添ビ フェノールFのブチレンオキサイド付加ジオ ル、ジシクロペンタジエンのジメチロール 合物、トリシクロデカンジメタノール等が げられる。 

脂肪族ポリエーテルポリオール及び脂環族ポ リエーテルポリオールの市販品としては、ユ ニセーフDC1100、ユニセーフDC1800、ユニセーフ DCB1100、ユニセーフDCB1800(以上、日本油脂社製 );PPTG4000、PPTG2000、PPTG1000、PTG2000、PTG30
00、PTG650、PTGL2000、PTGL1000(以上、保土谷化学 製);EXENOL4020、EXENOL3020、EXENOL2020、EXENOL1020(以 、旭硝子社製);PBG3000、PBG2000、PBG1000、Z3001( 上、第一工業製薬社製);ACCLAIM 2200、3201、4200 、6300、8200(以上、住化バイエルウレタン社製 );NPML-2002、3002、4002、8002(以上、旭硝子社製) が挙げられる。 

芳香族ポリエーテルポリオールとしては、 例えば、ビスフェノールAのエチレンオキサ ド付加ジオール、ビスフェノールAのプロピ ンオキサイド付加ジオール、ビスフェノー Aのブチレンオキサイド付加ジオール、ビス フェノールFのエチレンオキサイド付加ジオ ル、ビスフェノールFのプロピレンオキサイ 付加ジオール、ビスフェノールFのブチレン オキサイド付加ジオール、ハイドロキノンの アルキレンオキサイド付加ジオール、ナフト キノンのアルキレンオキサイド付加ジオール 等が挙げられる。芳香族ポリエーテルポリオ ールの市販品としては、ユニオールDA400、DA70 0、DA1000(以上、日本油脂社製)等が挙げられる 。 ポリエステルポリオールとしては、例え 、エチレングリコール、ポリエチレングリ ール、プロピレングリコール、ポリプロピ ングリコール、テトラメチレングリコール ポリテトラメチレングリコール、1,6-ヘキサ ンジオール、ネオペンチルグリコール、1,4- クロヘキサンジメタノール、3-メチル-1,5-ペ タンジオール、1,9-ノナンジオール、2-メチ -1,8-オクタンジオール等の多価アルコール 、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸 マレイン酸、フマール酸、アジピン酸、セ シン酸等の多塩基酸を反応して得られるポ エステルポリオール等が挙げられる。市販 としては、クラポールP-2030、P-1030、P-2010、P- 5010、P-2050、F-2010、P-2011、PMIPA、PKA-A、PKA-A2、P NA-2000(以上、クラレ社製)等が挙げられる。 

ポリカーボネートポリオールとしては、例 えば、1,6-ヘキサンジオールポリカーボネー 、1,6-ヘキサンジオールと1,5-ペンタンジオー ルとの共重合ポリカーボネートジオール、3- チル-1,5-ペンタンジオールと1,6-ヘキサンジ ールとの共重合ポリカーボネートジオール 1,3-プロパンジオールと1,4-ブタンジオール の共重合ポリカーボネートジオール等が挙 られる。市販品としてはPCDL T5652、G3452、G345 0J(旭化成社製);DN-980、981、982、983(以上、日本 ポリウレタン社製);クラレポリオールC-590、C1 050、C-1090、C-2050、C-2090、C-3090、C-5090、C-1065N C-2065N、C-1015N、C-2015N(以上、クラレ社製);PLACC EL-CD205、CD-983、CD220(以上、ダイセル化学工業 製);PC-8000(米国PPG社製)等が挙げられる。 ポ リカプロラクトンポリオールとしては、ε-カ プロラクトンと、エチレングリコール、ポリ エチレングリコール、プロピレングリコール 、ポリプロピレングリコール、テトラメチレ ングリコール、ポリテトラメチレングリコー ル、1,2-ポリブチレングリコール、1,6-ヘキサ ジオール、ネオペンチルグリコール、1,4-シ クロヘキサンジメタノール、1,4-ブタンジオ ル等のジオールとを反応させて得られるポ カプロラクトンジオール等が挙げられる。 販品としては、PLACCCEL205、205AL、212、212AL、22 0、220AL(以上、ダイセル化学工業社製)等が挙 られる。 本発明で使用しうる他のポリオ ル化合物としては、エチレングリコール、 ロピレングリコール、1,4-ブタンジオール、1 ,5-ペンタンジオール、1,6-ヘキサンジオール ネオペンチルグリコール、1,4-シクロヘキサ ジメタノール、ポリβ-メチル-δ-バレロラク トン、ヒドロキシ末端ポリブタジエン、ヒド ロキシ末端水添ポリブタジエン、ひまし油変 性ポリオール、ポリジメチルシロキサンの末 端ジオール化合物、ポリジメチルシロキサン カルビトール変性ポリオール等が挙げられる 。 中でも、脂肪族ポリエーテルポリオール 芳香族ポリエーテルポリオール、ポリエス ルポリオール、ポリカーボネートポリオー が好ましく、ポリエステルポリオール、ポ カーボネートポリオールがより好ましい。 (A-1)ポリオール化合物は、単独で使用しても 2種以上を併用してもよい。 (A-1)ポリオール 合物は、脂肪族ポリエーテルポリオール、 香族ポリエーテルポリオール、ポリエステ ポリオール、及びポリカーボネートポリオ ルからなる群より選ばれる1種以上であるこ とが好ましく、ポリエステルポリオール及び /又はポリカーボネートポリオールであるこ がより好ましい。 

(A-1)ポリオール化合物の数平均分子量は、 ましくは100~15,000、さらに好ましくは1,000~14, 000、最も好ましくは1,500~12,000である。(A-1)ポ オール化合物の数平均分子量が100未満であ と、組成物を硬化させてなるクラッド層(下 部クラッド層及び上部クラッド層)の常温及 低温におけるヤング率が上昇して、十分な 曲耐久性を有するフィルム状光導波路を得 ことができない。一方、数平均分子量が15,00 0を超えると、組成物の粘度が上昇し、塗布 が悪化することがある。 

[(A-2)ポリイソシアネート化合物] (A-2)ポリ ソシアネート化合物としては、例えば、2,4- トリレンジイソシアネート、2,6-トリレンジ ソシアネート、1,3-キシリレンジイソシアネ ト、1,4-キシリレンジイソシアネート、1,5- フタレンジイソシアネート、m-フェニレンジ イソシアネート、p-フェニレンジイソシアネ ト、3,3’-ジメチル-4,4’-ジフェニルメタン イソシアネート、4,4’-ジフェニルメタンジ イソシアネート、3,3’-ジメチルフェニレン イソシアネート、4,4’-ビフェニレンジイソ アネート、1,6-ヘキサンジイソシアネート、 イソホロンジイソシアネート、2,4-トリレン イソシアネート、メチレンビス(4-シクロヘ シルイソシアネート)、2,2,4-トリメチルヘキ メチレンジイソシアネート、1,4-ヘキサメチ レンジイソシアネート、ビス(2-イソシアネー トエチル)フマレート、6-イソプロピル-1,3-フ ニルジイソシアネート、4-ジフェニルプロ ンジイソシアネート、リジンジイソシアネ ト、水添ジフェニルメタンジイソシアネー 、水添キシリレンジイソシアネート、テト メチルキシリレンジイソシアネート等のポ イソシアネート化合物が挙げられる。中で 、水添キシリレンジイソシアネート、イソ ロンジイソシアネート、2,4-トリレンジイソ アネート、2,2,4-トリメチルヘキサメチレン イソシアネート等が好ましい。(A-2)ポリイ シアネート化合物は、単独で使用しても2種 上を併用してもよい。 

[(A-3)水酸基含有(メタ)アクリレート] (A-3) 酸基含有(メタ)アクリレート化合物としては 、例えば、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリ ート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレ ト、2-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート 、2-ヒドロキシ-3-フェニルオキシプロピル(メ タ)アクリレート、1,4-ブタンジオールモノ(メ タ)アクリレート、2-ヒドロキシアルキル(メ )アクリロイルホスフェート、4-ヒドロキシ クロヘキシル(メタ)アクリレート、1,6-ヘキ ンジオールモノ(メタ)アクリレート、ネオペ ンチルグリコールモノ(メタ)アクリレート、 リメチロールプロパンジ(メタ)アクリレー 、トリメチロールエタンジ(メタ)アクリレー ト、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリ ート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ )アクリレート等が挙げられる。さらにアル ルグリシジルエーテル、アリルグリシジル ーテル、グリシジル(メタ)アクリレート等の グリシジル基含有化合物と(メタ)アクリル酸 の付加反応により得られる化合物が挙げら る。中でも、2-ヒドロキシエチル(メタ)アク リレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アク レート等は、好ましく用いられる。 (A-3)水 基含有(メタ)アクリレートは、単独で使用 ても2種以上を併用してもよい。 

(A)ウレタン(メタ)アクリレートオリゴマー 構成する各原料の配合割合は、例えば、(A-3 )水酸基含有(メタ)アクリレート1モルに対し 、(A-1)ポリオール化合物0.5~2モル、(A-2)ポリ ソシアネート化合物1~2.5モルである。 

また、成分(A)として、ポリイソシアネート 化合物と水酸基含有(メタ)アクリレートとの 応物であるウレタン(メタ)アクリレートオ ゴマーを用いることもできる。この場合、 リイソシアネート化合物、水酸基含有(メタ) アクリレートの例としては、それぞれ、上記 (A-2)ポリイソシアネート化合物、(A-3)水酸基 有(メタ)アクリレートと同様のものが挙げら れる。 

成分(A)としては、ウレタン(メタ)アクリレ トオリゴマーを1種単独で用いても2種以上 併用してもよい。 成分(A)は、屈曲耐久性の 観点から、(A-1)ポリオール化合物と(A-2)ポリ ソシアネート化合物と(A-3)水酸基含有(メタ) クリレートとの反応生成物であるウレタン( メタ)アクリレートオリゴマーを含むことが ましい。 成分(A)中の、(A-1)ポリオール化合 と(A-2)ポリイソシアネート化合物と(A-3)水酸 基含有(メタ)アクリレートとの反応生成物で るウレタン(メタ)アクリレートオリゴマー 割合は、成分(A)を100質量%としたときに、好 しくは50質量%以上、より好ましくは60質量% 上である。 成分(A)の数平均分子量は、好 しくは100~15,000、より好ましくは300~12,000であ る。該値が100未満では、組成物の粘度が小さ くなり過ぎて、塗布性が劣ることがある。一 方、該値が15,000を超えると、粘度が高くなり 、取り扱いが難しくなる。 クラッド層用光 化性樹脂組成物中、成分(A)の配合割合は、 ラッド層用光硬化性樹脂組成物の固形分の 量を100質量%として、好ましくは30~80質量%、 より好ましくは35~75質量%、特に好ましくは40~ 70質量%である。上記配合割合が30質量%未満で は、組成物を硬化させてなるクラッド層(下 クラッド層及び上部クラッド層)のヤング率 上昇し、十分な屈曲耐久性を有するフィル 状光導波路を形成することが困難となる。 方、上記配合割合が80質量%を超えると、組 物の粘度が大きくなり、均一な厚みを有す クラッド層を形成することが困難となる。

[成分(B)] 成分(B)は、反応性希釈モノマーで る。本明細書において、反応性希釈モノマ とは、光重合可能な他の反応性の成分に対 て希釈剤として(粘度を低下させる)作用する モノマーをいう。 反応性希釈モノマーとし は、分子内にエチレン性不飽和基を1つ有す るモノマー(以下、単官能モノマーともいう )、及び分子内にエチレン性不飽和基を2つ以 上有するモノマー(以下、多官能モノマーと いう。)が挙げられる。上記エチレン性不飽 基としては、(メタ)アクリロイル基、ビニ 基等が挙げられるが、(メタ)アクリロイル基 がより好ましい。 上記単官能モノマーとし は、例えば、アクリロイルモルフォリン、 メチルアクリルアミド、ジエチルアクリル ミド、ジイソプロピルアクリルアミド、イ ボルニル(メタ)アクリレート、ジシクロペ テニルアクリレート、ジシクロペンタニル( タ)アクリレート、イソデシル(メタ)アクリ ート、ラウリル(メタ)アクリレート、ジシ ロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレー ト、メチル(メタ)アクリレート、エチ
ル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ )アクリレート、ジシクロペンタジエニル(メ )アクリレート、トリシクロデカニル(メタ) クリレート、ジアセトンアクリルアミド、 ソブトキシメチル(メタ)アクリルアミド、N- ビニルピロリドン、N-ビニルカプロラクタム 3-ヒドロキシシクロヘキシル(メタ)アクリレ ート、2-アクリロイルシクロヘキシルコハク 、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、 リブロモフェノールエトキシ(メタ)アクリレ ート、フェノールのエチレンオキサイドの付 加体であるアルコールの(メタ)アクリレート p-クミルフェノールのエチレンオキサイド 付加体であるアルコールの(メタ)アクリレー ト、4-(1-メチル-1-フェニルエチル)フェノキシ エチル(メタ)アクリレート、ノニルフェノー のエチレンオキサイドの付加体であるアル ールの(メタ)アクリレート、o-フェニルフェ ノールグリシジルエーテル(メタ)アクリレー 、ヒドロキシエチル化o-フェニルフェノー アクリレート、2-メタクリロイロキシエチル フタル酸、メトキシポリエチレングリコール (メタ)アクリレート等を挙げることができる  これらの中でも、アクリロイルモルフォ ン、ジメチルアクリルアミド、N-ビニルピロ リドン及びN-ビニルカプロラクタム等のN-ビ ル化合物、及び炭素数10以上の脂肪族炭化水 素基を有する単官能性(メタ)アクリレートが ましい。ここで炭素数10以上の脂肪族炭化 素基としては、直鎖、分岐鎖および脂環式 いずれも含まれる。炭素数10以上の脂肪族炭 化水素基を有する単官能性(メタ)アクリレー の好適な例としては、イソボルニル(メタ) クリレート、イソデシル(メタ)アクリレート 、ラウリル(メタ)アクリレートが挙げられる  単官能モノマーの市販品としてはACMO、DMAA (以上、興人社製);ニューフロンティアIBA(第 工業製薬社製);IBXA、IBXMA、ADMA(大阪有機化学 製);FA511A、FA512A、FA513A(以上、日立化成社製) ;ライトエステルM、E、BH、IB-X、HO-MS、HO-HH、L PO、S、TD、ライトアクリレートL-A、S-A、EC-A MTG-A、130A、PO-A、P-200A、NP-4EA、THF-A、IB-XA、HO A-MS、HOA-MPL、HOA-MPE、(以上、共栄社化学社製); アロニックス M150、M156、M5300、TO1315、TO1316( 上、東亞合成社製);FA544A、512M、512MT、513M(以 、日立化成社製)、NKエステル A-CMP-1E、A-LEN- 10、M-450G、S、S-1800M、S-1800A、PHE-1G、NPA-8E、NPA- 5P、NPA-10G、M-90G、LMA、LA、IB、CB-26、CB-23、CB-1 AMP-60G、AM-30G、A-SA、A-IB、702A(新中村化学工 社製)等が挙げられる。 

上記多官能モノマーのうち、分子内にエチ レン性不飽和基を2つ有するモノマー(2官能性 モノマー)としては、例えば、エチレングリ ールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレン グリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチ ングリコールジ(メタ)アクリレート、1,4-ブ ンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6-へキ ンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9-ノナ ジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペン ルグリコールジ(メタ)アクリレート、2,2-ビ -4(2-ヒドロキシ-3-アクリロキシプロピルフェ ニル)プロパン、トリス(2-ヒドロキシエチル) ソシアヌレート、9,9-ビス[4-(2-アクリロキシ エトキシ)フェニル]フルオレン、エチレンオ サイド付加ビスフェノールA型ジ(メタ)アク レート、エチレンオキサイド付加テトラブ モビスフェノールA型ジ(メタ)アクリレート プロピレンオキサイド付加ビスフェノールA 型ジ(メタ)アクリレート、プロピレンオキサ ド付加テトラブロモビスフェノールA型ジ( タ)アクリレート、ビスフェノールAジグリシ ジルエーテルと(メタ)アクリル酸とのエポキ 開環反応で得られるビスフェノールA型エポ キシジ(メタ)アクリレート、テトラブロモビ フェノールAジグリシジルエーテルと(メタ) クリル酸とのエポキシ開環反応で得られる トラブロモビスフェノールA型エポキシジ( タ)アクリレート、ビスフェノールFジグリシ ジルエーテルと(メタ)アクリル酸とのエポキ 開環反応で得られるビスフェノールF型エポ キシジ(メタ)アクリレート、テトラブロモビ フェノールFジグリシジルエーテルと(メタ) クリル酸とのエポキシ開環反応で得られる トラブロモビスフェノールF型エポキシジ( タ)アクリレート等が挙げられる。 中でも 1,6-へキサンジオールジ(メタ)アクリレート 1,9-ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、2, 2-ビス-4(2-ヒドロキシ-3-アクリロキシプロピ フェニル)プロパン、9,9-ビス[4-(2-アクリロキ シエトキシ)フェニル]フルオレン、エチレン キサイド付加ビスフェノールA型ジ(メタ)ア リレート、エチレンオキサイド付加テトラ ロモビスフェノールA型ジ(メタ)アクリレー 、ビスフェノールAジグリシジルエーテルと (メタ)アクリル酸とのエポキシ開環反応で得 れるビスフェノールA型エポキシジ(メタ)ア リレート、テトラブロモビスフェノールA型 エポキシジ(メタ)アクリレート等は特に好ま く用いられる。 

2官能モノマーの市販品としては、例えば ビスコート#700、#540(以上、大阪有機化学工 社製);アロニックスM-208、M-210(以上、東亞合 社製);NKエステルBPE-100、BPE-200、BPE-500、A-BPE- 4、A-BPEF(以上、新中村化学社製);ライトアク レート1,6-HX-A、ライトエステルBP-4EA、BP-4PA、 エポキシエステル3002M、3002A、3000M、3000A(以上 、共栄社化学社製);KAYARADR-551、R-712(以上、日 化薬社製);BPE-4、BPE-10、BR-42M(以上、第一工 製薬社製);リポキシVR-77、VR-60、VR-90、SP-1506 SP-1506、SP-1507、SP-1509、SP-1563(以上、昭和高分 子社製);ネオポールV779、ネオポールV779MA(日 ユピカ社製)等が挙げられる。 

また、上記多官能モノマーのうち、エチレ ン性不飽和基を3個以上有するモノマー(3官能 以上のモノマー)としては、例えば、トリス(2 -ヒドロキシエチル)イソシアヌレートトリ(メ タ)アクリレート、カプロラクトン変性トリ (2-ヒドロキシエチル)イソシアヌレートトリ( メタ)アクリレート、トリメチロールプロパ トリ(メタ)アクリレート、エチレンオキシド (以下「EO」という。)変性トリメチロールプ パントリ(メタ)アクリレート、プロピレンオ キシド(以下「PO」という。)変性トリメチロ ルプロパントリ(メタ)アクリレート、ジトリ メチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレー 、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリ ート、2,2,2-トリス(メタ)アクリロイロキシメ チルエチルフタル酸、2,2,2-トリス(メタ)アク ロイロキシメチルエチルコハク酸、EO変性 リス(アクリロキシ)イソシアヌレート、カプ ロラクトン変性トリス-(2-アクリロキシエチ )イソシアヌレート、トリス(アクリロキシ) ソシアヌレート、ペンタエリスリトールテ ラ(メタ)アクリレート、PO変性ペンタエリス トールテトラ(メタ)アクリレート、ジペン エリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、 ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリ ート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ )アクリレート、EO変性ジペンタエリスリトー ルヘキサ(メタ)アクリレート、PO変性ジペン エリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、 カプロラクトン変性ジペンタエリスリトール ヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン 性ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)ア リレート、ジトリメチロールプロパンテト (メタ)アクリレート、トリアクリロイルオキ シエチルホスフェート等が挙げられる。 中 も、EO変性トリメチロールプロパントリ(メ )アクリレート、トリス(アクリロキシ)イソ アヌレート、ジペンタエリスリトールヘキ (メタ)アクリレートが好ましい。 

3官能モノマーの市販品としては、例えば アロニックスM-315、M-325、M-327、TO-756、TO-1382( 東亞合成社製)、NKエステルTM-4EL、CBX-O、CBX-1N A-DPH-6H、A-9300、A-DPH、A-9300-1CL、TMPT、TMPT-9EO ATM-4P、ATM-4E、ATM-35E、AD-TMP、A-TMPT、A-TMPT-3EO、 A-TMPT-3PO、A-TMMT、A-TMM-3LMN(新中村化学工業社製 )、ライトエステルTMP、ライトアクリレートTM P-A、TMP-6EO-3A、PE-3A、PE-4A、DPE-6A、BA-134、TMP-3EO -A(共栄社化学製)、ビスコート295、360、3PA、40 0(大阪有機化学工業社製)、KAYARAD PET-30、DPHA( 本化薬社製)等が挙げられる。 

成分(B)としては、上記単官能モノマー及び 上記多官能モノマーのいずれかを単独で使用 してもよいし、併用して用いることもできる 。好ましくは、成分(B)は多官能モノマーを含 む。 クラッド層用光硬化性樹脂組成物中、 分(B)の配合割合は、クラッド層用光硬化性 成物の固形分の全量を100質量%として、15~69 量%、好ましくは20~66質量%、より好ましくは 25~60質量%である。上記配合割合が15質量%未満 では、硬化物の耐湿熱性が低下し、フィルム 状光導波路を高温高湿雰囲気中で使用した場 合に、伝送特性、屈曲耐久性を良好に維持す ることが困難となる。一方、上記配合割合が 、69質量%を超えると、組成物の光硬化性が低 下し、十分な機械的特性を有する硬化物(下 クラッド層、上部クラッド層)を形成するこ が困難となる。 

[成分(C)] 成分(C)は、成分(A)及び成分(B)を 合しうる活性種(ラジカル)を光によって発生 することのできる光重合開始剤である。 こ で光とは、例えば赤外線、可視光線、紫外 、及びX線、電子線、α線、β線、γ線のよう な電離放射線を意味する。 光重合開始剤と ては、例えばアセトフェノン、アセトフェ ンベンジルケタール、1-ヒドロキシシクロ キシルフェニルケトン、2,2-ジメトキシ-2-フ ニルアセトフェノン、キサントン、フルオ ノン、ベンズアルデヒド、フルオレン、ア トラキノン、トリフェニルアミン、カルバ ール、3-メチルアセトフェノン、4-クロロベ ンゾフェノン、4,4’-ジメトキシベンゾフェ ン、4,4’-ジアミノベンゾフェノン、ミヒラ ケトン、ベンゾインプロピルエーテル、ベ ゾインエチルエーテル、ベンジルジメチル タール、1-(4-イソプロピルフェニル)-2-ヒド キシ-2-メチルプロパン-1-オン、2-ヒドロキ -2-メチル-1-フェニルプロパン-1-オン、チオ サントン、ジエチルチオキサントン、2-イソ プロピルチオキサントン、2-クロロチオキサ トン、2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2 -モルホリノ-プロパン-1-オン、2,4,6-トリメチ ベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサ ド、ビス(2,6-ジメトキシベンゾイル)-2,4,4-ト リメチルペンチルフォスフィンオキシド等が 挙げられる。中でも1-ヒドロキシシクロヘキ ルフェニルケトン等は、重合速度、溶液安 性の観点から好ましく用いられる。 

成分(C)の市販品としては、例えば、Irgacure184 369、379、651、500、819、907、784、2959、CGI-1700 -1750、-1850、CG24-61、Darocur 1116、1173(以上、 バ・スペシャリ
テイ・ケミカルズ社製);Lucirin TPO、LR8893、LR89 70(以上、BASF社製);ユベクリルP36(UCB社製)等が げられる。光ラジカル重合開始剤は、1種を 単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用 られる。 本発明においては、光重合開始剤 と共に光増感剤を用いることができる。光増 感剤としては、例えば、トリエチルアミン、 ジエチルアミン、N-メチルジエタノールアミ 、エタノールアミン、4-ジメチルアミノ安 香酸、4-ジメチルアミノ安息香酸メチル、4- メチルアミノ安息香酸エチル、4-ジメチル ミノ安息香酸イソアミル等が挙げられる。 増感剤の市販品としては、例えば、ユベク ルP102、103、104、105(以上、UCB社製)等が挙げ れる。 

クラッド層用光硬化性組成物中、成分(C)の 配合割合は、クラッド層用光硬化性組成物の 固形分の全量を100質量%として、0.1~10質量%、 ましくは0.2~7質量%、より好ましくは0.5~5質 %である。上記配合割合が0.1質量%未満では、 硬化が十分に進行せず、十分な機械的特性を 有する硬化物(下部クラッド層、上部クラッ 層)を形成することが困難となることがある また、上記配合割合が10質量%を超えると、 重合開始剤が、フィルム状光導波路の長期 特性に悪影響を及ぼす可能性がある。 

[任意成分] クラッド層用光硬化性樹脂組 物には、必要に応じて有機溶媒(成分(D))を配 合することができる。有機溶媒を配合するこ とにより、適当な粘度を付与して、均一な厚 さを有するクラッド層を形成することができ る。 有機溶媒の種類は、本発明の目的、効 を損なわない範囲で適宜選択することがで るが、大気圧下での沸点が50~200℃の範囲内 値を有し、かつ、各構成成分を均一に溶解 せるものが好ましい。 有機溶媒の好まし 例としては、アルコール類、エーテル類、 ステル類、及びケトン類が挙げられる。有 溶媒の好ましい化合物名としては、プロピ ングリコールモノメチルエーテルアセテー 、プロピレングリコールモノメチルエーテ 、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメ ルエーテル、メチルイソブチルケトン、メ ルアミルケトン、トルエン、キシレン、及 メタノールからなる群より選択される少な とも1つの溶剤が挙げられる。 有機溶媒の 合量は、クラッド層用光硬化性樹脂組成物 固形分の全量100質量部に対し、好ましくは5~ 500質量部、より好ましくは10~300質量部、特に 好ましくは20~200質量部である。上記配合量が 5質量部未満では、光硬化性樹脂組成物の粘 の調整が困難となることがある。上記配合 が500質量部を超えると、十分な厚さを有す 硬化物(下部クラッド層、上部クラッド層)を 形成することが困難なことがある。 

また、クラッド層用光硬化性樹脂組成物は 、エチレン性不飽和基を有するビニル系重合 体(成分(E))を実質的に含まないことが好まし 。 なお、成分(E)は、高重合体(ポリマー)で あり、低重合体(オリゴマー)ではない。 ク ッド層用光硬化性樹脂組成物中、エチレン 不飽和基を有するビニル系重合体の配合割 は、クラッド層用光硬化性樹脂組成物の固 分の全量を100質量%として、好ましくは10質 %以下、より好ましくは5質量%以下、さらに ましくは2質量%以下であり、特に好ましくは 0質量%である。上記配合割合が10質量%を超え と、屈曲耐久性が低下する場合がある。  お、エチレン性不飽和基を有するビニル系 合体とは、ビニル基含有単量体及び/又は(メ タ)アクリロイル基含有単量体に由来する構 単位を含み、かつ、分子内にエチレン性不 和基を1つ以上有するものである。エチレン 不飽和基としては、ビニル基、(メタ)アク ロイル基等が挙げられるが、好ましくは(メ )アクリロイル基である。 このようなビニ 系重合体の具体例としては、2-ヒドロキシ チル(メタ)アクリレートと、ジシクロペンタ ニル(メタ)アクリレート、メチル(メタ)アク レート、n-ブチル(メタ)アクリレート、スチ ン、α-メチルスチレン等とを、溶媒中でラ カル重合用の触媒存在下でラジカル重合し 後、得られた共重合体の側鎖の水酸基に対 て、2-メタクリロキシエチルイソシアネー を付加させて得られたものが挙げられる。 

また、クラッド層用光硬化性樹脂組成物に は、前記成分以外に、必要に応じて本発明の 樹脂組成物の特性を損なわない範囲で、例え ば、成分(A)~(D)以外の重合性反応基を有する 合物や、高分子樹脂(例えば、エポキシ樹脂 アクリル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミ イミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリブタ エン樹脂、ポリクロロプレン樹脂、ポリエ テル樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン-ブ タジエンブロック共重合体、石油樹脂、キシ レン樹脂、ケトン樹脂、セルロース樹脂、フ ッ素系ポリマー、シリコーン系ポリマー)等 配合することができる。 

さらにまた、クラッド層用光硬化性樹脂組 成物には、必要に応じて各種添加剤として、 例えば酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤 、シランカップリング剤、塗面改良剤、熱重 合禁止剤、レベリング剤、界面活性剤、着色 剤、保存安定剤、可塑剤、滑剤、フィラー、 無機粒子、老化防止剤、濡れ性改良剤、帯電 防止剤等を配合することができる。 クラッ 層用光硬化性樹脂組成物を調製するには、 法にしたがって前記の各成分を混合撹拌す ばよい。 

次に、中間層用光硬化性樹脂組成物につい て説明する。 中間層用光硬化性樹脂組成物 、(a)ウレタン(メタ)アクリレートオリゴマ 、(b)反応性希釈モノマー、(c)光重合開始剤 (e)エチレン性不飽和基を有するビニル系重 体、及び必要に応じて配合される他の任意 分を含む。 以下、各成分ごとに説明する。  

[成分(a)] 成分(a)は、ウレタン(メタ)アクリ レートオリゴマーである。 上記ウレタン(メ タ)アクリレートオリゴマーとしては、上述 クラッド層用光硬化性組成物の成分(A)と同 のものが挙げられる。なお、成分(a)のウレ ン(メタ)アクリレートオリゴマーとしては、 経済上及び製造管理上、成分(A)と同一のウレ タン(メタ)アクリレートオリゴマーを用いる とが好ましい。 中間層用光硬化性樹脂組 物中、成分(a)の配合割合は、中間層用光硬 性樹脂組成物の固形分の全量を100質量%とし 、好ましくは5~80質量%、より好ましくは10~75 質量%、特に好ましくは10~70質量%である。上 配合割合が5質量%未満では、組成物を硬化さ せてなる中間クラッド層のヤング率が上昇し 、十分な屈曲耐久性を有するフィルム状光導 波路を形成することが困難となる。一方、該 配合割合が80質量部を超えると、組成物の粘 が小さくなり、均一な厚みを有する硬化物( 中間クラッド層)を形成することが困難とな 。 

[成分(b)] 成分(b)は、反応性希釈モノマー ある。 上記反応性希釈モノマーとしては、 上述のクラッド層用光硬化性組成物の成分(B) と同様のものが挙げられる。なお、成分(b)の 反応性希釈モノマーとしては、経済上及び製 造管理上、成分(B)と同一の反応性希釈モノマ ーを用いることが好ましい。 中間層用光硬 性樹脂組成物中、成分(b)の配合割合は、中 層用光硬化性樹脂組成物の固形分の全量を1 00質量%として、好ましくは1~40質量%、より好 しくは3~30質量%、特に好ましくは5~25質量%で ある。成分(b)の配合割合を上記範囲内とする ことにより、屈曲耐久性等をより優れたもの とすることができる。成分(b)の配合割合が40 量%を超えると、組成物の粘度が小さくなり 、均一な厚みを有する硬化物(中間クラッド )を形成することが困難となる。 

[成分(c)] 成分(c)は、光重合開始剤である  上記光重合開始剤としては、上述のクラッ ド層用光硬化性組成物の成分(C)と同様のもの が挙げられる。 中間層用光硬化性樹脂組成 中、成分(c)の配合割合は、中間層用光硬化 樹脂組成物の固形分の全量を100質量%として 、好ましくは0.1~10質量%、より好ましくは0.2~5 質量%である。上記配合割合が0.1質量%未満で 、硬化が十分に進行せず、光導波路の伝送 性に問題が生じることがある。一方、上記 合割合が10質量%を超えると、光重合開始剤 長期の伝送特性に悪影響を及ぼす可能性が る。 

[成分(e)] 成分(e)は、エチレン性不飽和基 有するビニル系重合体である。成分(e)(エチ ン性不飽和基を有するビニル系重合体)は、 上記成分(a)、成分(b)と重合可能なものであり 、該成分(e)を配合することにより、中間層用 光硬化性樹脂組成物に適度な粘度を付与して 塗布性を良好にすることができる。 なお、 分(e)は、高重合体(ポリマー)であり、低重 体(オリゴマー)ではない。 上記エチレン性 飽和基を有するビニル系重合体(以下、単に ビニル系重合体ともいう。)は、ビニル基含 単量体及び/又は(メタ)アクリロイル基含有 量体に由来する構造単位を含み、かつ、分 内にエチレン性不飽和基を1つ以上有するも である。エチレン性不飽和基としては、ビ ル基、(メタ)アクリロイル基等が挙げられ が、好ましくは(メタ)アクリロイル基である 。 

上記ビニル系重合体の具体例としては、下記 一般式(1)で表される繰り返し単位と、下記一 般式(2)で表される繰り返し単位とを含む重合 体(例えば、ランダム共重合体)が挙げられる   
(式中、R 1 及びR 2 は各々独立して水素原子またはメチル基であ り、R 3 は(メタ)アクリロイル基であり、Xは2価の有 基であり、Yは重合性を有しない有機基であ 。) 

一般式(1)で表される繰り返し単位の好適な例 としては、下記の一般式(3)で表される繰り返 し単位が挙げられる。  
(式中、R 1 は水素原子またはメチル基であり、R 3 は(メタ)アクリロイル基であり、W及びZは各 独立して単結合または2価の有機基である。)  

ここで、一般式(3)中のW(2価の有機基)の例と ては、下記一般式(4)で表される構造や、フ ニレン基等が挙げられる。  
(式中、R 4 はメチレンまたは炭素数2~8のアルキレン基で ある。) 一般式(3)中のZ(2価の有機基)の例と ては、-(CH 2 ) n -O-(式中、nは1~8の整数である。)等が挙げられ る。 

一般式(2)中のYの例としては、下記一般式(5) 表される構造、フェニル基、環状アミド基 ピリジル基等が挙げられる。  
(式中、R 5 は炭素数1~20の直鎖状、分岐状または環状の 素鎖を有する基である。) 

上記ビニル系重合体のポリスチレン換算の 重量平均分子量は、好ましくは5,000~100,000、 り好ましくは8,000~70,000、特に好ましくは10,00 0~50,000である。該値が5,000未満では、組成物 粘度が小さくなり、所望の膜厚が得られな なる等の欠点があり、該値が100,000を超える 、組成物の粘度が大きくなり、塗工性が悪 なる等の欠点がある。 上記ビニル系重合 の製造方法としては、例えば、(e-1)水酸基を 有するラジカル重合性化合物、及び(e-2)成分( 一般式(2)に対応するラジカル重合性化合物) 、溶媒中でラジカル重合した後、得られた 重合体の側鎖の水酸基に対して、(e-3)(メタ) クリロイル基を有するイソシアネートを付 させる方法が挙げられる。 この方法で用 られる化合物(e-1)~(e-3)について説明する。 

化合物(e-1)(水酸基を有するラジカル重合性 化合物)は、該化合物中の水酸基と化合物(e-3) 中のイソシアネート基(-N=C=O)とを反応させて ウレタン結合(-NH-COO-)及び化合物(e-3)に由来 る(メタ)アクリロイル基を含む側鎖部分を する構成単位を、成分(e)中に導入するため 用いられる。 化合物(e-1)の例としては、2- ドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒド キシプロピル(メタ)アクリレート、4-ヒドロ キシブチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシ チル(メタ)アクリレート、4-ヒドロキシシク ロヘキシル(メタ)アクリレート等が挙げられ 。 化合物(e-1)は、1種を単独でもしくは2種 上を組み合わせて用いられる。 ビニル系 合体中の化合物(e-1)に由来する構造単位の含 有率は、好ましくは3~80質量%、より好ましく 7~60質量%、特に好ましくは10~40質量%である  該含有率が3質量%未満であると、硬化が不 分となりやすい。該含有率が80質量%を超え と、屈折率の調整が困難となる場合がある  

化合物(e-2)(一般式(2)の構造に対応する化合 物)は、主として、不飽和基含有(メタ)アクリ ルポリマーの機械的特性や屈折率を適度にコ ントロールするために用いられる。 化合物( e-2)の例としては、メチル(メタ)アクリレート 、エチル(メタ)アクリレート、イソプロピル( メタ)アクリレート、n-ブチル(メタ)アクリレ ト、sec-ブチル(メタ)アクリレート、t-ブチ (メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸ア キルエステル類;ジシクロペンタニル(メタ) クリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリ ート等の(メタ)アクリル酸と環状炭化水素化 合物とのエステル類;フェニル(メタ)アクリレ ート、ベンジル(メタ)アクリレート、o-フェ ルフェノールグリシジルエーテル(メタ)アク リレート、4-(1-メチル-1-フェニルエチル)フェ ノキシエチルアクリレート、p-クミルフェノ シエチレングリコール(メタ)アクリレート の(メタ)アクリル酸アリールエステル類;ト ブロモフェノールエトキシ(メタ)アクリレー ト、2,2,2-トリフルオロメチル(メタ)アクリレ ト、2,2,3,3-テトラフルオロプロピル(メタ)ア クリレート、1H,1H,5H-オクタフルオロペンチル (メタ)アクリレート、パーフルオロオクチル チル(メタ)アクリレート等のハロゲン化(メ )アクリル酸エステル類;スチレン、α-メチ スチレン、m-メチルスチレン、p-メチルスチ ン、ビニルトルエン、p-メトキシスチレン の芳香族ビニル類;1,3-ブタジエン、イソプレ ン、1,4-ジメチルブタジエン等の共役ジオレ ィン類;アクリロニトリル、メタクリロニト ル等のニトリル基含有重合性化合物;アクリ ルアミド、メタクリルアミド等のアミド結合 含有重合性化合物;酢酸ビニル等の脂肪酸ビ ル類等が挙げられる。 中でも、ジシクロペ ンタニル(メタ)アクリレート、メチル(メタ) クリレート、n-ブチル(メタ)アクリレート、 チレン、4-(1-メチル-1-フェニルエチル)フェ キシエチルアクリレート、α-メチルスチレ 等が好ましく用いられる。 化合物(e-2)は、 1種を単独でもしくは2種以上を組み合わせて いられる。 不飽和基含有(メタ)アクリルポ リマー中の化合物(e-2)に由来する構造単位の 有率は、好ましくは15~92質量%、より好まし は25~84質量%、特に好ましくは35~78質量%であ 。 該含有率が15質量%未満であると、屈折 の調整が困難となる場合がある。該含有率 92質量%を超えると、硬化が不十分となりや い。 

化合物(e-3)((メタ)アクリロイル基を有する ソシアネート)の例としては、2-メタクリロ シエチルイソシアネート、N-メタクリロイ イソシアネート、メタクリロキシメチルイ シアネート、2-アクリロキシエチルイソシア ネート、N-アクリロイルイソシアネート、ア リロキシメチルイソシアネート等が挙げら る。 ビニル系重合体中の化合物(e-3)に由来 する構造単位の含有率は、好ましくは5~80質 %、より好ましくは9~60質量%、特に好ましく 12~45質量%である。 該含有率が5質量%未満で ると、硬化が不十分となりやすい。該含有 が80質量%を超えると、屈折率の調整が困難 なる場合がある。 

ビニル系重合体には、一般式(1)、(2)で表さ れる構成単位以外の構成単位を含めることも できる。このような構成単位を導入するため の化合物(以下、化合物(e-4)という。)の例と ては、マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエ ル、イタコン酸ジエチル等のジカルボン酸 エステル類;塩化ビニル、塩化ビニリデン等 塩素含有重合性化合物等が挙げられる。ビ ル系重合体中の化合物(e-4)に由来する構造 位の含有率は、好ましくは0~20質量%、より好 ましくは0~10質量%である。 ビニル系重合体 製造過程において、化合物(e-3)の付加反応の 際に、熱重合禁止剤、保存安定剤、硬化触媒 等の各種添加剤を添加することができる。  重合禁止剤は、熱による重合反応を抑える めに配合される。熱重合禁止剤の例として 、ピロガロール、ベンゾキノン、ヒドロキ ン、メチレンブルー、tert-ブチルカテコー 、モノベンジルエーテル、メトキシフェノ ル、アミルキノン、アミロキシヒドロキノ 、n-ブチルフェノール、フェノール、ヒドロ キノンモノプロピルエーテル等が挙げられる 。 保存安定剤の例としては、2,6-ジ-t-ブチル -p-クレゾール、ベンゾキノン、p-トルキノン p-キシロキノン、フェニル-α-ナフチルアミ 等が挙げられる。 硬化触媒の例としては ジラウリル酸ジブチル錫、ジラウリル酸ジ クチル錫、ジオレイン酸ジブチル錫、二酢 ジブチル錫、テトラメトキシチタン、テト エトキシチタン等が挙げられる。 これらの 各種添加剤の合計の配合量は、化合物(e-1)~(e- 3)の合計量100質量部に対して通常、10質量部 下、好ましくは5質量部以下である。 

ビニル系重合体の製造における、化合物(e- 1)、及び、必要に応じて使用される化合物(e-2 )、化合物(e-4)のラジカル重合に使用できる溶 媒としては、例えばメタノール、エタノール 、エチレングリコール、ジエチレングリコー ル、プロピレングリコール等のアルコール類 ;テトラヒドロフラン、ジオキサン等の環状 ーテル類;エチレングリコールモノメチルエ テル、エチレングリコールモノエチルエー ル、エチレングリコールジメチルエーテル エチレングリコールジエチルエーテル、ジ チレングリコールモノメチルエーテル、ジ チレングリコールモノエチルエーテル、ジ チレングリコールジメチルエーテル、ジエ レングリコールジエチルエーテル、ジエチ ングリコールエチルメチルエーテル、プロ レングリコールモノメチルエーテル、プロ レングリコールモノエチルエーテル等の多 アルコールのアルキルエーテル類;エチレン グリコールエチルエーテルアセテート、ジエ チレングリコールエチルエーテルアセテート 、プロピレングリコールエチルエーテルアセ テート、プロピレングリコールモノメチルエ ーテルアセテート等の多価アルコールのアル キルエーテルアセテート類;トルエン、キシ ン等の芳香族炭化水素類;アセトン、メチル チルケトン、メチルイソブチルケトン、シ ロヘキサノン、4-ヒドロキシ-4-メチル-2-ペ タノン、ジアセトンアルコール等のケトン ;酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エチル、2- ドロキシプロピオン酸エチル、2-ヒドロキシ -2-メチルプロピオン酸エチル、2-ヒドロキシ- 2-メチルプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸 チル、ヒドロキシ酢酸エチル、2-ヒドロキ -3-メチルブタン酸メチル、3-メトキシプロピ オン酸メチル、3-メトキシプロピオン酸エチ 、3-エトキシプロピオン酸エチル、3-エトキ シプロピオン酸メチル等のエステル類が挙げ られる。 中でも、環状エーテル類、多価ア コールのアルキルエーテル類、多価アルコ ルのアルキルエーテルアセテート類、ケト 類、エステル類等が好ましい。 

ビニル系重合体のガラス転移温度は、20℃ 上150℃以下であることが好ましい。この際 ガラス転移温度は、通常行われている示差 査熱量計(DSC)を用いた測定による値として 義される。該温度が20℃未満であると、硬化 物(中間クラッド層)を形成することが困難と ったり、あるいは、べたつきが生じてドラ フィルムを積層する際の作業性が悪くなる の不都合がある。逆に該温度が150℃を超え と、硬化物(中間クラッド層)が硬くなった 、脆さが生じたりして、屈曲耐久性が低下 ることがある。 

中間層用光硬化性樹脂組成物中、成分(e)の 配合割合は、中間層用光硬化性樹脂組成物の 固形分を100質量%として、15~75質量%、好まし は20~70質量%、特に好ましくは30~70質量%であ 。上記配合割合が15質量%未満では、組成物 粘度が小さくなり、塗布性が劣ることがあ 。一方、上記配合割合が75質量%を超えると 硬化物(中間クラッド層)が硬くなったり、脆 さが生じたりして、屈曲耐久性が低下するこ とがある。 

[任意成分] 中間層用光硬化性樹脂組成物 は、必要に応じて有機溶媒(成分(d))を配合す ることができる。有機溶媒を配合することに より、適当な粘度を付与して、均一な厚さを 有する中間クラッド層を形成することができ る。有機溶媒としては、上述のクラッド層用 光硬化性組成物の成分(D)と同様のものが挙げ られる。 有機溶媒の配合量は、中間層用光 化性樹脂組成物の固形分100質量部に対し、 ましくは5~500質量部、より好ましくは10~300 量部、特に好ましくは20~200質量部である。 記配合量が5質量部未満では、光硬化性樹脂 成物の粘度の調整が困難となることがある 上記配合量が500質量部を超えると、十分な さを有する中間クラッド層を形成すること 困難なことがある。 

また、中間層用光硬化性樹脂組成物には、 上記成分(d)(有機溶媒)以外にも、必要に応じ 、上記成分(a)、(b)、(d)以外の重合性反応基 有する化合物、高分子樹脂、各種添加剤等 配合することができる。上記高分子樹脂、 加剤の具体例としては、上述のクラッド層 光硬化性樹脂組成物の任意成分として例示 れたものと同様のものが挙げられる。 中 層用光硬化性樹脂組成物を調製するには、 法にしたがって前記の各成分を混合撹拌す ばよい。 

次に、本発明のフィルム状光導波路のコア 部分の形成に用いられる光硬化性樹脂組成物 (以下、コア用光硬化性樹脂組成物ともいう )について説明する。 コア用光硬化性樹脂 成物の好適な例としては、(イ)エチレン性不 飽和基を有するビニル系重合体、(ロ)ウレタ (メタ)アクリレートオリゴマー、(ハ)反応性 希釈モノマー、及び(ニ)光重合開始剤を含む 硬化性組成物が挙げられる。 

[成分(イ)] 成分(
イ)は、エチレン性不飽和基を有するビニル 重合体である。 上記エチレン性不飽和基を 有するビニル系重合体としては、上述の中間 層用光硬化性樹脂組成物の成分(e)と同様のも のが挙げられる。 

[成分(ロ)] (ロ)成分は、ウレタン(メタ)ア リレートオリゴマーである。 上記ウレタン (メタ)アクリレートオリゴマーとしては、上 のクラッド層用光硬化性樹脂組成物の成分( A)と同様のものが挙げられる。 コア用光硬 性樹脂組成物中、成分(ロ)の配合量は、成分 (イ)100質量部に対して、好ましくは10~100質量 、より好ましくは20~80質量部、特に好まし は35~70質量部である。上記配合量が10質量部 満であると、光硬化性組成物層の硬化物(コ ア部分)について十分な屈曲抵抗性が得られ いことがある。一方、上記配合量が100質量 を超えると、成分(イ)との相溶性が悪くなり 、コア部分の表面に膜荒れを生じたり、十分 な透明性が得られないことがある。 

[成分(ハ)] 成分(ハ)は、反応性希釈モノマ である。 上記反応性希釈モノマーとして 、上述のクラッド層用光硬化性組成物の成 (B)と同様のものが挙げられる。 コア用光硬 化性樹脂組成物中、成分(ハ)の配合量は、成 (イ)100質量部に対して、好ましくは5~100質量 部、より好ましくは10~70質量部、特に好まし は20~50質量部である。上記配合量が5質量部 満であると、フィルム状光導波路を形成す 際、目的とする導波路の形状の精度が劣る とがある。一方、上記配合量が100質量部を えると、成分(イ)との相溶性が悪くなり、 硬化性樹脂組成物の硬化物(コア部分)の表面 に膜荒れを生じることがある。 

[成分(ニ)] 成分(ニ)は、光重合開始剤であ 。 上記光重合開始剤としては、上述のク ッド層用光硬化性組成物の成分(C)と同様の のが挙げられる。 コア用光硬化性樹脂組成 物中、成分(ニ)の配合割合は、コア用光硬化 樹脂組成物の全量を100質量%として、好まし くは0.1~10質量%、より好ましくは0.2~5質量%で る。上記配合割合が0.1質量%未満では、硬化 十分に進行せず、フィルム状光導波路の伝 特性に問題が生じることがある。一方、上 配合割合が10質量%を超えると、光重合開始 が長期の伝送特性に悪影響を及ぼす可能性 ある。 

[任意成分] コア用光硬化性樹脂組成物は 必要に応じて有機溶媒(成分(ホ))を含有する とができる。有機溶媒を配合することによ 、適当な粘度を付与することができる。有 溶媒としては、上述のクラッド層用光硬化 組成物の成分(D)と同様のものが挙げられる  コア用光硬化性樹脂組成物中、成分(ホ)( 機溶媒)の配合割合は、コア用光硬化性樹脂 成物の全量を100質量%として、好ましくは5~8 0質量%、より好ましくは10~60質量%、特に好ま くは15~55質量%である。上記配合割合が5質量 %未満では、光硬化性樹脂組成物の粘度の調 が困難となることがある。一方、上記配合 合が80質量%を超えると、十分な厚さを有す フィルム状光導波路等を形成することが困 なことがある。 

また、コア用光硬化性樹脂組成物は、必要 に応じて各種添加剤として、例えば酸化防止 剤、紫外線吸収剤、光安定剤、シランカップ リング剤、塗面改良剤、熱重合禁止剤、レベ リング剤、界面活性剤、着色剤、保存安定剤 、可塑剤、滑剤、フィラー、無機粒子、老化 防止剤、濡れ性改良剤、帯電防止剤等を含む ことができる。 コア用光硬化性樹脂組成物 調製するには、常法にしたがって前記の各 分を混合撹拌すればよい。 

次に、図面を参照しつつ、本発明のフィル ム状光導波路及びその製造方法の一例を説明 する。 図1は、本発明のフィルム状光導波路 の一例を模式的に示す断面図である。 図4は 、本発明のフィルム状光導波路の製造方法の 一例を示すフロー図である。 

[フィルム状光導波路の構造] 図1中、フィ ム状光導波路1は、下部クラッド層15と、下 クラッド層15の上に形成されたコア部分22と 、下部クラッド層15の上であってかつコア部 22の側方に、コア部分22と概同じ厚さを有す るように形成された中間クラッド層36と、コ 部分22及び中間クラッド層36の上に形成され た上部クラッド層33とからなる光導波路本体 、該光導波路本体の上下面に設けられた支 フィルム2,3とを含む。 光導波路本体は、 部クラッド層15からなる下層と、コア部分22 び中間クラッド層36からなる中間層と、上 クラッド層33からなる上層の3層構造を有す 。 下部クラッド層15は、支持フィルム2の上 面に積層して形成されており、この下部クラ ッド層15の上面には、特定の幅を有するコア 分22と、中間クラッド層36とが形成されてい る。コア部分22及び中間クラッド層36の上面 は、上部クラッド層33が積層して形成されて おり、上部クラッド層33の上面には、支持フ ルム3が設けられている。なお、コア部分22 、光導波路本体の外形を形成する下部クラ ド層15、中間クラッド層36、及び上部クラッ ド層33の中に埋設されている。中間クラッド 36は、下部クラッド層15の上面(ただし、コ 部分22が形成された領域を除く)に積層して 成されており、コア部分22と概同じ高さを有 するものである。 フィルム状光導波路にお る下部クラッド層15、コア部22、中間クラッ ド層36、及び上部クラッド層33の厚さは、特 限定されないが、例えば、下部クラッド層15 の厚さが1~200μm、コア部分22の厚さが3~200μm、 中間クラッド層の厚さが3~200μm、上部クラッ 層33の厚さが1~200μmとなるように定められる 。コア部の幅は、特に限定されないが、例え ば、1~200μmである。 下部クラッド層15及び上 部クラッド層33は、上述のクラッド層用光硬 性樹脂組成物の硬化物からなる。中間クラ ド層36は、上述の中間層用光硬化性樹脂組 物の硬化物からなる。コア部分22は、上述の コア用光硬化性樹脂組成物の硬化物からなる ことが好ましい。 また、下部クラッド層15 コア部分22、中間クラッド層36、及び上部ク ッド層33のうち少なくとも1つは、後述する ライフィルムを用いて形成される。すなわ 、これら各部の少なくとも1つは、ドライフ ィルム中の未硬化の光硬化性樹脂組成物から なる層を硬化させることにより形成される。 特に好ましくは、少なくとも中間クラッド層 36は、ドライフィルムを用いて形成される。

コア部分22の屈折率は、下部クラッド層15、 間クラッド層36、及び上部クラッド層33のい れの屈折率よりも大きいものであることが 要である。例えば、波長400~1,600nmの光に対 て、コア部分22の屈折率が1.420~1.650、下部ク ッド層15、中間クラッド層36、及び上部クラ ッド層33の屈折率が1.400~1.648であり、かつ、 ア部分22の屈折率が、3つのクラッド層14,33,36 のいずれの屈折率よりも少なくとも0.1%大き 値であることが好ましい。 下部クラッド層 15、中間クラッド層36、上部クラッド層33の各 部とコア部分22との比屈折率差δは、1%以上で あることが好適である。比屈折率差δは、下 式で表される。  δ=(n 1 -n 2 )/n 1    ここで、n 1 はコア部分22の屈折率、n 2 はクラッド層(下部クラッド層15、中間クラッ ド層36、上部クラッド層33)の屈折率である。 このようにすることによって、コア部22内に 光を閉じ込めることができるために、良好な 光導波路を作成することが可能となる。 

クラッド層(下部クラッド層15、中間クラッ ド層36、及び上部クラッド層33)は、高い透明 を有する。具体的には、クラッド層は、10μ mの厚みを有する場合に、405nmの波長の光に対 して、80%以上、好ましくは90%以上の透過率を 有する。 クラッド層が高い透明性を有する とによって、フィルム状光導波路の下面に 面発光レーザ等の発光素子や、フォトダイ ード等の受光素子を接合して、電気/光信号 を変換するインターフェースを形成するとき に、フィルム状光導波路を上方から透視して 、発光素子や受光素子の位置と、フィルム状 光導波路中のコア部分の位置とを正確に合わ せることができる。 また、クラッド層が高 透明性を有することによって、光信号に使 される波長領域の光に対して高い透過率を 現することができ、発光素子からの光信号 クラッド層を通過してコア部分に到達する の、光の損失、及び、コア部分からの光信 がクラッド層を通過して受光素子に到達す 際の、光の損失を極めて小さくすることが きる。 

[ドライフィルム] 次に、本発明のフィル 状光導波路の製造に用いるドライフィルム ついて説明する。 本明細書中、「ドライフ ィルム」は、少なくとも、未硬化の光硬化性 樹脂組成物からなる層(液状ではないもの;例 ば、乾燥物等)と、該光硬化性樹脂組成物か らなる層を支持するためのベースフィルムと を備えたものとして定義される。すなわち、 上記ドライフィルムは、未硬化の光硬化性樹 脂組成物からなる層と、該層を支持するため のベースフィルムとを備えていればよく、(i) ベースフィルムと、光硬化性樹脂組成物から なる層(未硬化層)との積層体であってもよい 、あるいは、(ii)ベースフィルムと、光硬化 性樹脂組成物の硬化物からなる層(硬化物層) 、光硬化性樹脂組成物からなる層(未硬化層 )との積層体であってもよい。 上記ドライフ ィルムの具体例を以下に示す。 上記(i)のド イフィルムの例としては、(a)ベースフィル と、下部クラッド層用の光硬化性樹脂組成 からなる層(未硬化層)との積層体、(b)ベー フィルムと、コア部用の光硬化性樹脂組成 からなる層(未硬化層)との積層体、(c)ベース フィルムと、中間クラッド層用の光硬化性樹 脂組成物からなる層(未硬化層)との積層体、( d)ベースフィルムと、上部クラッド層用の光 化性樹脂組成物からなる層(未硬化層)との 層体、が挙げられる。上記(ii)のドライフィ ムの例としては、例えば、(e)ベースフィル と、下部クラッド層(下部クラッド層用の光 硬化性樹脂組成物の硬化物からなる層)と、 間クラッド層用の光硬化性樹脂組成物から る層(未硬化層)との積層体、(f)ベースフィル ムと、下部クラッド層(下部クラッド層用の 硬化性樹脂組成物の硬化物からなる層)と、 ア部用の光硬化性樹脂組成物からなる層(未 硬化層)との積層体、(g)ベースフィルムと、 部クラッド層(上部クラッド層用の光硬化性 脂組成物の硬化物からなる層)と、中間クラ ッド層用の光硬化性樹脂組成物からなる層( 硬化層)との積層体、が挙げられる。また、 ライフィルムとしては、(h)前記(a)~(g)のいず れかの積層体において、未硬化の光硬化性樹 脂組成物からなる層上に、カバーフィルムを 積層させてなる積層体も用いることができる 。 本発明のフィルム状光導波路の製造方法 おいては、上述のとおり、少なくとも中間 ラッド層36が、ドライフィルムを用いて形 されることが好ましい。中間クラッド層は 上記(c)の積層体を用いて形成することもで るが、好ましくは上記(g)の積層体を用いて 成される。 

[フィルム状光導波路の製造方法] フィル 状光導波路1の製造方法は、中間クラッド層3 6及び上部クラッド層33形成用のドライフィル ム30を用意する工程と、下部クラッド層15を 成する工程と、コア部分22を形成する工程と 、ドライフィルム30を用いて中間クラッド層3 6及び上部クラッド層33を形成する工程と、を 含む。 なお、フィルム状光導波路を構成す 下部クラッド層15、コア部分22、中間クラッ ド層36、及び上部クラッド層33の各部を形成 るための組成物は、各々、便宜上、下層用 成物、コア用組成物、中間層用組成物、及 上層用組成物と称する。 

(1)材料の調製 下層用組成物、コア用組成物 中間層用組成物、及び上層用組成物
の各々の成分組成は、下部クラッド層15、コ 部分22、中間クラッド層36、及び上部クラッ ド層33の各部の屈折率の関係が、フィルム状 導波路に要求される条件を満足するように められる。具体的には、屈折率の差が適宜 大きさとなるような三種または四種の光硬 性組成物を調製し、このうち、最も高い屈 率の硬化膜を与える光硬化性組成物をコア 組成物とし、他の光硬化性組成物を下層用 成物、中間層用組成物、及び上層用組成物 して用いる。なお、下層用組成物と上層用 成物は、同一の光硬化性組成物(上述のクラ ッド層用光硬化性樹脂組成物)であることが 経済上および製造管理上、好ましい。 

(2)中間クラッド層及び上部クラッド層形成 用のドライフィルムを用意する工程 ベース ィルム31と、上部クラッド層33(上層用組成 の硬化物からなる層)と、未硬化の中層用組 物からなる層34との積層体であるドライフ ルム30を用意する工程である。 ベースフィ ム31としては、可撓性を有しており、また 硬化性樹脂組成物の硬化に用いる光に対し 高い透過性を有するものが好ましい。この うなベースフィルムとしては、ポリエチレ テレフタレートフィルム、ポリエチレンナ タレートフィルム等が挙げられる。ベース ィルムの厚さは、特に限定されないが、例 ば、10~200μmである。このようなこのような ースフィルムを用いることによって、後述 る工程(5)において、ベースフィルム31の側か ら光を照射して未硬化の中層用組成物からな る層34の硬化を行うことができ、また、ベー フィルム31を、そのまま、フィルム状光導 路の支持フィルム3とすることができる。  お、ドライフィルム30においては、必要に応 じて、中層用組成物からなる層34の上面にカ ーフィルム35を設けることができる。カバ フィルムとしては、ポリエチレンフィルム ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンテ フタレートフィルム等が挙げられる。カバ フィルムの厚さは、特に限定されないが、 えば、5~100μmである。 

ドライフィルム30は、例えば、以下のよう して得られる。 まず、ベースフィルム31の 上面に上層用組成物を塗布し、必要に応じて 乾燥またはプリベークして、上層用薄膜32を 成する(図3中の(a))。次いで、この上層用薄 32に光を照射して硬化させ、硬化体である 部クラッド層33を形成する(図3中の(b))。次に 、上部クラッド層33の上面に、中層用組成物 塗布し、乾燥またはプリベークして溶剤を 散させることにより、未硬化の中層用組成 からなる層34を形成させる(図3中の(c))。必 に応じて、未硬化の中層用組成物からなる 34の上面にカバーフィルム35を設けることに り、ドライフィルム30を得る(図3中の(d))。  光硬化性樹脂組成物(上層用組成物、中層用 成物)を塗布する方法としては、スピンコー 法、ディッピング法、スプレー法、バーコ ト法、ロールコート法、カーテンコート法 グラビア印刷法、シルクスクリーン法、又 インクジェット法等が挙げられる。 

上層用組成物を乾燥又はプリベークする際の 温度は、例えば、50~200℃である。 上部クラ ド層を形成する際の光の照射量については 特に制限されるものでは無いが、波長200~450 nm、照度1~500mW/cm 2 の光を、照射量が10~5,000mJ/cm 2 となるように照射して、露光することが好ま しい。 照射する光の種類としては、可視光 紫外線、赤外線、X線、α線、β線、γ線を用 いることができるが、特に紫外線が好ましい 。光の照射装置としては、例えば、高圧水銀 ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライドラ ンプ、エキシマランプ等を用いることが好ま しい。なお、上部クラッド層の形成において は、上層用薄膜32の全面に光を照射し、その 体を硬化することが好ましい。 また、露 後に、上部クラッド層33の全面が十分硬化す るように、さらに加熱処理(ポストベーク)を うことが好ましい。この加熱条件は、光硬 性樹脂組成物の配合組成、添加剤の種類等 より変わるが、通常、加熱温度が、30~300℃ 好ましくは50~200℃で、加熱時間が5分間~72時 間である。 

中層用組成物は、有機溶剤の飛散を目的と して、乾燥又はプリベークされる。この際の 温度条件は、好ましくは30~150℃、より好まし くは50~140℃である。 中層用組成物からなる 34において、乾燥後に残留する有機溶剤の は、有機溶剤を飛散させた後の光硬化性樹 組成物を100質量%として、20質量%以下である とが好ましい。 未硬化の中層用組成物か なる層34の厚さは、通常、1~200μmである。な 、未硬化の中層用組成物からなる層34の厚 は、コア部分22の高さに対して、1~1.2倍であ ことが好ましい。未硬化の中層用組成物か なる層34の厚さをコア部分22の高さの1~1.2倍 することにより、後述する工程(5)において ドライフィルム30を用いて中間クラッド層36 を形成する際の作業性を向上させることがで き、また、最終的に得られるフィルム状光導 波路の形状精度、伝送特性等を向上させるこ とができる。 

(3)下部クラッド層の形成工程 支持フィル 2の上面に下部クラッド層15を形成する工程 ある。 具体的には、支持フィルム2の表面 下層用組成物を塗布し、必要に応じて乾燥 たはプリベークして、下層用薄膜14を形成 る(図4中の(a))。次いで、この下層用薄膜14に 光を照射して硬化させ、硬化体である下部ク ラッド層15を形成する(図4中の(b))。なお、下 クラッド層15の形成においては、薄膜の全 に光を照射し、その全体を硬化することが ましい。また、露光後に、塗膜全面が十分 化するように、さらに加熱処理(ポストベー )を行うことが好ましい。 支持フィルム2と しては、可撓性を有しており、また光硬化性 樹脂組成物の硬化に用いる光に対して高い透 過性を有するものが好ましい。このような支 持フィルムとしては、ポリエチレンテレフタ レートフィルム、ポリエチレンナフタレート 等が挙げられる。支持フィルムの厚さは、特 に限定されないが、例えば、10~200μmである。  下部クラッド層の形成工程における、組成 の塗布方法、光の照射量、種類、および光( 紫外線)の照射装置、プリベークやポストベ クの条件等は、上述の工程(2)における上部 ラッド層の形成の条件と同様である。 なお 、下部クラッド層15は、ドライフィルムを用 て形成することもできる。この場合、予め 備したドライフィルム10(ベースフィルム11 、未硬化の下層用組成物からなる層13との積 層体であるドライフィルム;図2の(b)参照)を用 い、未硬化の下層用組成物からなる層13に光 照射して硬化させることによって、下部ク ッド層15を形成する。ベースフィルム11は、 そのままフィルム状光導波路の支持フィルム 2とすることができる。 ドライフィルム10は 例えば、ベースフィルム11の上面に下層用 成物12を塗布し(図2中の(a))、乾燥又はプリベ ークすることにより有機溶剤を飛散させ、未 硬化の下層用組成物からなる層13を形成する とにより得られる(図2中の(b))。ドライフィ ム10においては、必要に応じて、未硬化の 層用組成物からなる層13の上面にカバーフィ ルムを設けることができる(図示しない。)  ースフィルム、カバーフィルムとしては、 述の工程(2)のドライフィルム30におけるベー スフィルム、カバーフィルムと同様のものが 挙げられる。下層用組成物の塗布方法、乾燥 又はプリベークの条件等は、上述の工程(2)に おける中間層用組成物についての条件と同様 である。 未硬化の下層用組成物からなる層1 3は、下層用薄膜14と同様に、必要に応じて、 乾燥又はプリベーク、露光後のポストベーク 等を行うことができる。 

(4)コア部分の形成工程 下部クラッド層15 表面に、コア部分22を形成する工程である。  具体的には、図4中の(c)に示すように、下部 クラッド層15の表面にコア用組成物を塗布し 必要に応じて乾燥又はプリベークさせてコ 用薄膜21を形成する。その後、図4中の(d)に すように、コア用薄膜21の上面に対して、 定のパターンに従って、例えば所定のライ パターンを有するフォトマスク4を介して光5 の照射(露光)を行う。これにより、コア用薄 21のうち、光が照射された箇所のみが硬化 るので、それ以外の未硬化の部分を現像処 して除去することにより、図4中の(e)に示す うに、下部クラッド層15上に、パターニン された硬化膜からなるコア部分22が形成され る。 

本工程において、所定のパターンに従って 光の照射を行う方法としては、光の透過部と 非透過部とからなるフォトマスク4を用いる 法に限られず、例えば、以下に示すa~cの方 のいずれかを採用してもよい。a.液晶表示装 置と同様の原理を利用して、所定のパターン に従って光透過領域と光不透過領域とからな るマスク像を電気光学的に形成する手段を利 用する方法。b.多数の光ファイバーを束ねて る導光部材を用い、この導光部材における 定のパターンに対応する光ファイバーを介 て光を照射する方法。c.レーザ光、あるい レンズ、ミラー等の集光性光学系により得 れる収束性の光を、走査させながら感光性 脂組成物に照射する方法。 

本工程における現像処理の詳細は、次のと おりである。 現像処理は、所定のパターン 従ってパターン露光し、選択的に硬化させ 薄膜に対して、硬化部分と未硬化部分との 解性の差異を利用して、現像液を用いて未 化部分のみの除去を行なうものである。つ り、パターン露光後、未硬化部分を除去し かつ、硬化部分を残存させて、結果的にコ 部分を形成させるものである。 現像液と ては、現像処理に用いる通常の有機溶媒、 るいは希アルカリ水溶液を用いることがで る。コア用組成物として上述のコア形成用 硬化性樹脂組成物を用いると、環境安全面 優れた希アルカリ水溶液により現像処理す ことが可能となる。希アルカリ水溶液を調 するためのアルカリ化合物の例としては、 酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナ リウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナ リウム、アンモニア、エチルアミン、n-プロ ピルアミン、ジエチルアミン、ジ-n-プロピル アミン、トリエチルアミン、メチルジエチル アミン、N-メチルピロリドン、ジメチルエタ ールアミン、トリエタノールアミン、テト メチルアンモニウムヒドロキシド、テトラ チルアンモニウムヒドロキシド、コリン、 ロール、ピペリジン、1,8-ジアザビシクロ[5. 4.0]-7-ウンデセン、1,5-ジアザビシクロ[4.3.0]-5- ノナンなどを挙げることができる。 中でも テトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMA H)、水酸化カリウム等は、好ましく用いられ 。 アルカリ水溶液中のアルカリ化合物の 度は、使用するアルカリ化合物の種類によ ても異なるが、有機アルカリの場合は、好 しくは、0.05~10質量%、より好ましくは0.1~7質 %である。例えば、テトラメチルアンモニウ ムヒドロキシド(TMAH)を用いる場合、該濃度は 、好ましくは0.5~2.5質量%である。 なお、こ ような希アルカリ水溶液に、メタノール、 タノールなどの水溶性有機溶媒や界面活性 などを適当量添加して、現像液として使用 ることも好ましい。 

また、現像時間は、通常30~600秒間であり、ま た現像方法としては液盛り法、ディッピング 法、シャワー現像法などの公知の方法を採用 することができる。その後、流水洗浄を、例 えば30~90秒間行い、圧縮空気や圧縮窒素等で 乾させることによって表面上の水分を除去 ることにより、パターン状の硬化体が形成 れる。次いで、ホットプレートやオーブン どの加熱装置により、例えば30~300℃の温度 5~600分間ポストベーク処理することにより 十分に硬化したコア部22を形成することがで きる。 コア部分の形成工程における組成物 塗布方法、光の照射量、種類、および光(紫 外線
)の照射装置等の条件は、上述の工程(2)にお る上部クラッド層の形成の条件と同様であ 。 

なお、コア部分22は、ドライフィルムを用 て形成することができる。この場合、予め 備したドライフィルム(ベースフィルムと、 未硬化のコア用組成物からなる層と、必要に 応じてカバーフィルムとを含むドライフィル ム)を用い、下部クラッド層15の上面に、カバ ーフィルムを剥離したドライフィルムを、未 硬化のコア用組成物からなる層が対峙するよ うに積層する。次いで、前記コア用組成物か らなる層に対して、所定のパターンに従って 光の照射を行い、未硬化の部分を現像処理し て除去することにより、下部クラッド層15上 、パターニングされた硬化膜からなるコア 分22を形成する。 ベースフィルム、カバー フィルムとしては、上述の工程(2)のドライフ ィルム30におけるベースフィルム、カバーフ ルムと同様のものが挙げられる。 未硬化 コア用組成物からなる層は、コア用薄膜21と 同様に、必要に応じて、乾燥又はプリベーク 、露光後のポストベーク等を行うことができ る。 

(5)中間クラッド層及び上部クラッド層の形 成工程 上述の工程(2)で用意したドライフィ ム30(ベースフィルム31と、上部クラッド層33 と、未硬化の中間層用組成物からなる層34と 積層体)を用いて、中間クラッド層36及び上 クラッド層33を形成する工程である。 具体 的には、下部クラッド層15及びコア部分22の 面に、ドライフィルム30を、未硬化の中間層 用組成物からなる層34が対峙するように積層 (図4中の(f))、コア部分22と上部クラッド層33 とが接触するように貼りあわせる(図4中の(g)) 。次いで、中間層用組成物からなる層34に光 照射することにより硬化させて中間クラッ 層36とし(図4中の(h))、フィルム状光導波路1 得る。 ドライフィルム30がカバーフィルム 35を有する場合には、カバーフィルム35を剥 してから、下部クラッド層15及びコア部分22 上面に、ドライフィルム30を積層する。ま 、ベースフィルム31は、そのまま剥離せずに 、フィルム状光導波路1の支持フィルム3とす ことができる。 

ドライフィルム30を、下部クラッド層15及 コア部分22の上面に積層、貼合をする際、未 硬化の中間層用組成物からなる層34は、下部 ラッド層15上からはみ出る可能性があるが このはみ出た部分は除去する。 中間クラッ ド層36の形成における、光の照射量、種類、 よび光(紫外線)の照射装置、プリベークや ストベークの条件等は、上述の工程(2)にお る上部クラッド層の形成の条件と同様であ 。 上述のようにしてドライフィルム30を積 、貼合することにより、未硬化の中間層用 成物からなる層34は、硬化体であるコア部 22をスペーサーとして、下部クラッド層15及 上部クラッド層33の間に挟まれることとな 。この状態で中間層用組成物からなる層34を 光照射して硬化させることにより、均一な厚 みを有する中間クラッド層36を形成すること できる。これにより、コア部分22の周囲の ラッド層(下部クラッド層15、中間クラッド 36、上部クラッド層33)の厚みを均一にするこ とができるため、コア部22を伝播する光の光 特性を良化することが可能となる。 なお フィルム状光導波路は、支持フィルム2,3を 離して用いることもできる。

以下、本発明を実施例により具体的に説明 する。[1.光硬化性樹脂組成物の各成分の用意 ] ウレタン(メタ)アクリレートオリゴマー、 応性希釈モノマー、光重合開始剤、有機溶 、エチレン性不飽和基を有するビニル系重 体、他の添加材として、以下の材料を用意 た。[ウレタン(メタ)アクリレートオリゴマ ;クラッド層用光硬化性樹脂組成物の成分(A) 、中間層用光硬化性樹脂組成物の成分(a)、コ ア用光硬化性樹脂組成物の成分(ロ)] 攪拌機 備えた反応容器に、イソホロンジイソシア ート16.6質量部、数平均分子量が2,000のポリ ロピレングリコール74.7質量部、2,6-ジ-t-ブ ル-p-クレゾール0.01質量部を仕込み、5~10℃に 冷却した。撹拌しながらジラウリル酸ジ-n-ブ チル錫0.05質量部を加え、温度が30℃以下に保 たれるように調整しながら2時間撹拌した後 50℃まで昇温しさらに2時間撹拌した。続い 、2-ヒドロキシエチルアクリレート8.7質量部 (以上の合計量100質量部)を滴下し、滴下終了 、50℃で1時間反応させ、さらに65℃まで昇 し2時間反応させた。残留イソシアネートが0 .1質量%以下になった時を反応終了とし、A-1を 得た。 同様の方法にてA-2~A-9を得た。 A-1~A-9 の製造に用いた原料名及び配合量を、表1に す。 

[反応性希釈モノマー;クラッド層用光硬化 樹脂組成物の成分(B)、中間層用光硬化性樹 組成物の成分(b)、コア用光硬化性樹脂組成 の成分(ハ)](1)N-ビニル-2-ピロリドン;ISP社製 V-PYROL(2)N-ビニルカプロラクタム;ISP社製、V-C AP(3)イソボルニルアクリレート;大阪有機化学 工業社製、IBXA(4)ビスフェノールA EO付加物ジ アクリレート;大阪有機化学工業社製、ビス ート700(5)2,2-ビス‐4(2‐ヒドロキシ‐3‐アク リロキシプロピルフェニル)プロパン;昭和高 子社製、VR-77(6)1,9-ノナンジオールジアクリ ート;大阪有機化学工業社製、ビスコート260 (7)9,9-ビス[4-(2-アクリロキシエトキシ)フェニ ]フルオレン;新中村化学工業社製、NKエステ ル A-BPEF(8)1,6-ヘキサンジオールジアクリレー ト;共栄社化学社製、ライトアクリレート1,6-H X-A(9)EO変性トリメチロールプロパントリアク レート;大阪有機化学工業社製、ビスコート 360(10)トリス(アクリロキシ)イソシアヌレート ;東亞合成社製、アロニックスM-315(11)ジペン エリスリトールヘキサアクリレート;日本化 社製、KAYARAD DPHA[重合開始剤;クラッド層用 硬化性樹脂組成物の成分(C)、中間層用光硬 性樹脂組成物の成分(c)、コア用光硬化性樹 組成物の成分(ニ)](1)Irgacure369;2-ベンジル-2- メチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)ブ ン-1-オン、チバ・スペシャルティ・ケミカ ズ社製(2)Irgacure184;1-ヒドロキシシクロヘキ ルフェニルケトン、チバ・スペシャルティ ケミカルズ社製[有機溶媒;クラッド層用光硬 化性樹脂組成物の成分(D)、中間層用光硬化性 樹脂組成物の成分(d)、コア用光硬化性樹脂組 成物の成分(ホ)](1)メトキシプロピルアセテー ト 

[エチレン性不飽和基を有するビニル系重 体;クラッド層用光硬化性樹脂組成物の成分( E)、中間層用光硬化性樹脂組成物の成分(e)、 ア用光硬化性樹脂組成物の成分(イ)]調製例1  ドライアイス/メタノール還流器の付いたフ ラスコを窒素置換した後、重合開始剤として 2,2’-アゾビス(2,4-ジメチルバレロニトリル)1. 5g、有機溶剤としてメチルイソブチルケトン9 0gを仕込み、重合開始剤が溶解するまで攪拌 た。引き続いて、2-ヒドロキシエチルメタ リレート20g、ジシクロペンタニルアクリレ ト25g、メチルメタクリレート40g、及びn-ブチ ルアクリレート15gを仕込んだ後、緩やかに攪 拌を始めた。その後、溶液の温度を70℃に上 させ、この温度で6時間重合を行った。その 後、得られた溶液にジラウリル酸ジ-n-ブチル 錫0.12g、2,6-ジ-t-ブチル-p-クレゾール0.05gを仕 み、攪拌しながら2-メタクリロキシエチル ソシアネート23.7gを温度が60℃以下に保たれ ように滴下した。滴下終了後、60℃で5時間 応させ、側鎖にメタクリル基を有するポリ ー溶液を得た。その後、反応生成物を多量 ヘキサンに滴下して反応生成物を凝固させ 。さらに、この凝固物と同質量のテトラヒ ロフランに再溶解し、多量のヘキサンで再 凝固させた。この再溶解-凝固操作を計3回 った後、得られた凝固物を40℃で48時間真空 燥して、目的とする共重合体E-1を得た。 

調製例2 ドライアイス/メタノール還流器 付いたフラスコを窒素置換した後、重合開 剤として2,2’-アゾビスイソブチロニトリル3 g、有機溶剤としてメチルイソブチルケトン10 0gを仕込み、重合開始剤が溶解するまで攪拌 た。引き続いて、2-ヒドロキシエチルメタ リレート20g、メタクリル酸10g、ジシクロペ タニルアクリレート10g、スチレン25g、及びn- ブチルアクリレート35gを仕込んだ後、緩やか に攪拌を始めた。その後、溶液の温度を80℃ 上昇させ、この温度で6時間重合を行った。 その後、得られた溶液にジラウリル酸ジ-n-ブ チル錫0.13g、2,6-ジ-t-ブチル-p-クレゾール0.05g 仕込み、攪拌しながら2-メタクリロキシエ ルイソシアネート23.7gを温度が60℃以下に保 れるように滴下した。滴下終了後、60℃で5 間反応させ、側鎖にメタクリル基を有する リマー溶液を得た。その後、反応生成物を 量のヘキサンに滴下して反応生成物を凝固 せた。さらに、この凝固物と同質量のテト ヒドロフランに再溶解し、多量のヘキサン 再度凝固させた。この再溶解-凝固操作を計 3回行った後、得られた凝固物を40℃で48時間 空乾燥して、目的とする共重合体E-2を得た  

調製例3 ドライアイス/メタノール還流器 付いたフラスコを窒素置換した後、重合開 剤として2,2’-アゾビスイソブチロニトリル3 g、有機溶剤としてメチルイソブチルケトン10 0gを仕込み、重合開始剤が溶解するまで攪拌 た。引き続いて、2-ヒドロキシエチルメタ リレート20g、メタクリル酸10g、スチレン20g 4-(1-メチル-1-フェニルエチル)フェノキシエ ルアクリレート40g、及びn-ブチルアクリレー ト10gを仕込んだ後、緩やかに攪拌を始めた。 その後、溶液の温度を80℃に上昇させ、この 度で6時間重合を行った。その後、得られた 溶液にジラウリル酸ジ-n-ブチル錫0.13g、2,6-ジ -t-ブチル-p-クレゾール0.05gを仕込み、攪拌し がら2-メタクリロキシエチルイソシアネー 23.7gを温度が60℃以下に保たれるように滴下 た。滴下終了後、60℃で5時間反応させ、側 にメタクリル基を有するポリマー溶液を得 。その後、反応生成物を多量のヘキサンに 下して反応生成物を凝固させた。さらに、 の凝固物と同質量のテトラヒドロフランに 溶解し、多量のヘキサンで再度凝固させた この再溶解-凝固操作を計3回行った後、得 れた凝固物を40℃で48時間真空乾燥して、目 とする共重合体E-3を得た。 共重合体E-1~E-3 製造に用いた前記の原料名及び配合量を、 2に示す。 

表3に示す配合割合で、上述の成分を均一 混合して、下部クラッド層、上部クラッド 、中間クラッド層用の光硬化性樹脂組成物J- 1~J-13、コア用の光硬化性樹脂組成物K-1~K-2を た。 

[2.フィルム状光導波路の形成][実施例1](1)中 クラッド層及び上部クラッド層形成用のド イフィルムの用意 まず、光硬化性樹脂組成 物J-1をポリエチレンテレフタレート(PET)製の ースフィルムの上面に、スピンコータで塗 し、光硬化性樹脂組成物J-1からなる塗膜を 成した。次いで、該塗膜に、波長365nm、照 20mW/cm 2 の紫外線を100秒間照射して、光硬化させ、厚 さ10μmの上部クラッド層を形成した。続いて 上部クラッド層の上面に、光硬化性樹脂組 物J-11をスピンコータで塗布した後、ホット プレートを用いて100℃、10分間の条件でプリ ークして未硬化の光硬化性樹脂組成物J-11か らなる層を形成することにより、ベースフィ ルムと、上部クラッド層(光硬化性樹脂組成 J-1の硬化物)と、未硬化の光硬化性樹脂組成 J-11からなる層とが積層してなるドライフィ ルムを得た。(2)下部クラッド層の形成 まず 光硬化性樹脂組成物J-1を、ポリエチレンテ フタレート(PET)製の支持フィルム(厚さ100μm) の上面にスピンコータで塗布し、光硬化性樹 脂組成物J-1からなる塗膜を形成した。次いで 、該塗膜に、波長365nm、照度20mW/cm 2 の紫外線を100秒間照射して、光硬化させ、厚 さ10μmの下部クラッド層を形成した。(3)コア 分の形成 次に、コア用の光硬化性樹脂組 物K-2を、下部クラッド層上にスピンコータ 塗布し、100℃、10分間の条件でプリベークし て、塗膜を形成した。次いで、該塗膜に、幅 50μmのライン状パターンを有するフォトマス を介して、波長365nm、照度20mW/cm 2 の紫外線を75秒間照射して、光硬化させた。 して、硬化させた塗膜を有する基板をアセ ンからなる現像液中に浸漬して、塗膜の未 光部を溶解させた。その後、150℃、1時間の 条件で、ポストベークをすることにより、幅 50μmのライン状パターンを有するコア部分(厚 さ50μm)を形成した。(4)中間クラッド層及び上 部クラッド層の形成 続いて、下部クラッド 及びコア部分の上面に、上記ドライフィル を、未硬化の光硬化性樹脂組成物J-11からな る層が対峙するよう積層し、コア部分とドラ イフィルム中の上部クラッド層とが接触する よう貼り合せた。その後、未硬化の光硬化性 樹脂組成物J-11からなる層に対し、波長365nm、 照度20mW/cm 2 の紫外線を100秒間照射して硬化させ、厚さ50 mの中間クラッド層を形成し、支持フィルム 下部クラッド層、コア部分、中間クラッド 、上部クラッド層、及び支持フィルムから る積層体を得た。(5)基板の剥離 上記(1)~(4) 工程で形成した硬化物を、支持フィルムか 剥離し、下部クラッド層、コア部、及び中 クラッド、上部クラッド層をこの順に積層 てなるフィルム状光導波路を得た。 

[実施例2~8、比較例1~4] クラッド層(下部ク ッド層、上部クラッド層、中間クラッド層) を形成するための光硬化性樹脂組成物、及び 、コア部分を形成するための光硬化性樹脂組 成物を表4のように変えたこと以外は、実施 1と同様にしてフィルム状光導波路を形成し 。 

[フィルム状光導波路の評価] フィルム状 導波路(実施例1~8、比較例1~4)を次のようにし て評価した。[1.屈曲耐久性] 作製したフィル ム状光導波路(幅5mm、長さ10cm、厚み70μm)に対 て、温度23℃、湿度50%の環境下で屈曲試験 行った。試験条件は、温度23℃、湿度50%の環 境下で屈曲試験を行った。試験条件は、屈曲 角度±135°、屈曲速度100回/分、荷重100gで、屈 曲半径を1mmとした。なお、屈曲回数は、はじ めの0度の位置(フィルム状光導波路が水平の 態)から、+135度の位置へ屈曲し、さらに再 0度の位置を経由して-135度の位置へ屈曲した 後、0度の位置へ戻ってくる動作を1回とする フィルム状光導波路に破断が生じるまでの 数を測定し、屈曲回数が10万回を超えても 断やクラックが発生しない場合を「○」、 曲回数が10万回以内で破断やクラックが発生 する場合を「×」とした。[2.導波路損失] 作 したフィルム状光導波路について、波長850n mの光を一端から入射させた。そして、他端 ら出射する光量を測定することにより、単 長さ当たりの導波路損失をカットバック法 より求めた。導波路損失が0.5dB/cm以下の場合 を「○」とし、0.5dB/cmを超える場合を「×」 した。以上の結果を表4に示す。 

表4から、本発明のフィルム状光導波路(実 例1~8)は、屈曲耐久性に優れることがわかる 。一方、ウレタン(メタ)アクリレートオリゴ ーを含まない光硬化性樹脂組成物を下部ク ッド層、上部クラッド層、及び中間クラッ 層の材料として用いた比較例1では、屈曲耐 久性が劣ることがわかる。また、ウレタン( タ)アクリレートオリゴマーと反応性希釈モ マーのいずれか1つまたは両方の配合量が本 発明の範囲外である光硬化性樹脂組成物を下 部クラッド層、上部クラッド層、及び中間ク ラッド層の材料として用いた比較例2~4では、 屈曲耐久性が劣ることがわかる。

本発明のフィルム状光導波路の一例を 式的に示す断面図である。 下部クラッド層形成用のドライフィル の製造方法の一例を示すフロー図である。 中間クラッド層及び上部クラッド層形 用のドライフィルムの製造方法の一例を示 フロー図である。 本発明のフィルム状光導波路の製造方 の一例を示すフロー図である。

符号の説明

1  フィルム状光導波路 2  支持フィルム  3  支持フィルム 4  フォトマスク 5  光  10  下部クラッド層形成用のドライフィル  11  ベースフィルム 12  下層用組成物 1 3  未硬化の下層用組成物からなる層 14   層用薄膜 15  下部クラッド層 21  コア用 膜 22  コア部分 30  中間クラッド層及び 上部クラッド層形成用のドライフィルム 31   ベースフィルム 32  上層用薄膜 33  上部 クラッド層 34  未硬化の中間層用組成物か なる層 35  カバーフィルム 36  中間クラ ッド層