神代 恭 (())
YAMAMOTO, Kazunori (())
山本 和徳 (())
YOKOZAWA, Shunya (())
横澤 舜哉 (())
EJIRI, Yoshinori (())
江尻 芳則 (())
MACHII, Youichi (())
町井 洋一 (())
WADA, Masashi (())
和田 仁 (())
日立化成工業株式会社 (〒49 東京都新宿区西新宿二丁目1番1号 Tokyo, 1630449, JP)
FUKUDA METAL FOIL & POWDER CO., LTD. (176 Nakanono-cho, Matsubara-dori Muromachi Nishi-iru Shimogyo-ku, Kyoto-sh, Kyoto 35, 6008435, JP)
福田金属箔粉工業株式会社 (〒35 京都府京都市下京区松原通室町西入中野之町176番 Kyoto, 6008435, JP)
KYOTO UNIVERSITY (36-1, Yoshida-Honmachi Sakyo-ku, Kyoto-sh, Kyoto 01, 6068501, JP)
国立大学法人京都大学 (〒01 京都府京都市左京区吉田本町36番地1 Kyoto, 6068501, JP)
KUMASHIRO, Yasushi (())
神代 恭 (())
YAMAMOTO, Kazunori (())
山本 和徳 (())
YOKOZAWA, Shunya (())
横澤 舜哉 (())
EJIRI, Yoshinori (())
江尻 芳則 (())
MACHII, Youichi (())
| 還元性を示さない有機溶剤中に金属化合物を分散させる工程と、その後に、有機溶剤中の前記金属化合物にレーザー光を照射する工程とを含む、中心部が金属で表皮部が金属酸化物であるコア/シェル構造を有する金属微粒子の製造方法。 |
| 金属化合物として金属酸化物、金属硫化物、金属窒化物または金属塩を用いることを特徴とする請求項1に記載の金属微粒子の製造方法。 |
| 金属化合物として遷移金属化合物を用いることを特徴とする請求項1に記載の金属微粒子の製造方法。 |
| 遷移金属化合物が遷移金属酸化物、遷移金属硫化物、遷移金属窒化物または遷移金属塩であることを特徴とする請求項3に記載の金属微粒子の製造方法。 |
| 金属化合物が粉体であることを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の金属微粒子の製造方法。 |
| 還元作用を示さない有機溶剤がケトン系有機溶剤であることを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載の金属微粒子の製造方法。 |
| 平均粒径が1nm乃至500nmの範囲であって、有機溶剤中で安定的に分散されることを特徴とする請求項1~6のいずれか1項に記載の金属微粒子の製造方法。 |
| 有機溶剤中に金属化合物を分散させる工程と、その後に、有機溶剤中の前記金属化合物にレーザー光を照射する工程とを含む、中心部が金属で表皮部が金属酸化物であるコア/シェル構造を有する金属微粒子分散液の製造方法。 |
| 金属化合物として金属酸化物、金属硫化物、金属窒化物または金属塩を用いることを特徴とする請求項8に記載の金属微粒子分散液の製造方法。 |
| 金属化合物として遷移金属化合物を用いることを特徴とする請求項8に記載の金属微粒子分散液の製造方法。 |
| 遷移金属化合物が遷移金属酸化物、遷移金属硫化物、遷移金属窒化物または遷移金属塩であることを特徴とする請求項10に記載の金属微粒子分散液の製造方法。 |
| 金属化合物が粉体であることを特徴とする請求項8~11のいずれかに記載の金属微粒子分散液の製造方法。 |
| 有機溶剤が還元作用を示さない有機溶剤であることを特徴とする請求項8~12のいずれかに記載の金属微粒子分散液の製造方法。 |
| 還元作用を示さない有機溶剤がケトン系有機溶剤であることを特徴とする請求項13に記載の金属微粒子分散液の製造方法。 |
| 金属微粒子の平均粒径が1nm乃至500nmの範囲であって、有機溶剤中で安定的に分散されていることを特徴とする請求項8~14のいずれかに記載の金属微粒子分散液の製造方法。 |
| 有機溶剤中に金属化合物を分散させる工程と、その後に、有機溶剤中の前記金属化合物にレーザー光を照射する工程により製造される、中心部が金属で表皮部が金属酸化物であるコア/シェル構造を有する金属微粒子。 |
| 有機溶剤中に金属化合物を分散させる工程と、その後に、有機溶剤中の前記金属化合物にレーザー光を照射する工程により製造される、中心部が金属で表皮部が金属酸化物であるコア/シェル構造を有する金属微粒子分散液。 |
本発明は、金属微粒子及びその製造方法 並びに金属微粒子分散液及びその製造方法 関する。
レーザー光を照射することによりナノサ ズの金属微粒子やその分散液を得る方法と て、次の非特許文献及び特許文献が報告さ ている。例えば、非特許文献1には、還元作 用を示す有機溶剤であるイソプロピルアルコ ール(2-プロパノール)中に酸化銅(CuO)粉末を分 散させ、レーザー光を照射させてナノサイズ の銅微粒子コロイドを得る方法が記されてい る。
また、非特許文献2には、界面活性剤を含 む水溶液中に配置した金プレートにレーザー 光を照射させてナノサイズの金微粒子を得る 方法が記されている。
特許文献1には、水・アルコール混合溶剤中
に原料となる銅箔片を分散させ、レーザー光
を照射させてナノサイズの銅微粒子を得る方
法が記されている。
非特許文献1に記されている、還元作用を 示す有機溶剤であるイソプロピルアルコール (2-プロパノール)中に酸化銅(CuO)粉末を分散さ せて、レーザー光を照射させる方法では、生 成したナノサイズの銅微粒子が凝集したため 、有機溶剤中で安定な銅微粒子を得ることが できなかった。
また、非特許文献2に記されている、界面 活性剤を含む水溶液中に配置した金プレート にレーザー光を照射させる方法では、個々の 金微粒子の表面を界面活性剤が被覆するため に、金成分として利用する応用面では、被覆 された界面活性剤の除去に高温で処理するな どの多大なエネルギーをかける必要があった 。また、レーザー光を照射する際には集光す ることによりエネルギー密度を高くする必要 があった。
特許文献1に記されている、水・アルコー ル混合溶剤中に原料となる銅箔片を分散させ 、レーザー光を照射させる方法では、銅箔片 を原料に用いるため、ナノサイズの銅微粒子 の生成効率が低かった。
本発明は、界面活性剤等を含まずに長期 有機溶剤中に分散されるナノサイズの金属 粒子及びその分散液、並びにそれらを簡便 設備を使用し、高い効率で製造する方法を 供することを課題とする。
本発明は、還元性を示さない有機溶剤中 金属化合物を分散させる工程と、その後に 有機溶剤中の前記金属化合物にレーザー光 照射する工程とを含む、中心部が金属で表 部が金属酸化物であるコア/シェル構造を有 する金属微粒子の製造方法および金属微粒子 分散液の製造方法である。原料となる金属化 合物の種類としては、金属酸化物、金属硫化 物、金属窒化物、金属塩を用いることが好ま しく、また、金属としては、遷移金属を用い ることが好ましい。
本発明に係る金属微粒子は、原料となる 属化合物と還元作用を示さない有機溶剤と レーザー光を透過させる容器に取り、有機 剤中に分散させた金属化合物にレーザー光 攪拌下で照射することにより製造される。 のとき得られた金属微粒子は有機溶剤中に 散された状態であり、金属微粒子が分散さ た状態の分散液となるが、この製造に用い 有機溶剤の一部または全部を他の有機溶剤 水などで置換したり、あるいは他の有機溶 や水などを添加したりするなどして、製造 に使用した有機溶剤とは異なる分散媒に分 されている金属微粒子分散液を調製するこ もできる。
原料である金属化合物は、レーザー光の ネルギーを吸収し、原子レベルに粉砕され と同時に、還元作用を示さない有機溶剤で 却されて、ナノサイズの金属微粒子となる
本発明に係る金属微粒子は、レーザー光 照射するだけの簡便な設備を使用して製造 ることができる。このようにして得られた ノサイズの金属微粒子は、中心部が金属で 皮部が金属酸化物からなるコア/シェル構造 を有しているため、金属原子同士が直接接し て金属結合することを妨げるので、界面活性 剤等を添加することなく有機溶剤中でも凝集 が抑制され、金属微粒子分散液は優れた安定 性を示す。そのため応用面では、被覆された 界面活性剤の除去に高温で処理するなどの多 大なエネルギーをかける必要がなく、電子回 路装置の導体形成用インクをはじめ、様々な 用途への適用が期待される。
本発明の金属微粒子は、還元作用を示さ い有機溶剤中に分散させた金属化合物にレ ザー光を攪拌下で照射して製造され、中心 が金属で表皮部が金属酸化物のコア/シェル 構造を有することを特徴とする。得られる金 属微粒子の特性は、金属化合物の種類、金属 化合物の粒径、金属化合物の量、有機溶剤の 種類、レーザー光の波長、レーザー光の出力 、レーザー光の照射時間、温度、金属化合物 の攪拌状態、有機溶剤中に導入する気体バブ リングガスの種類、バブリングガスの量、添 加物などの諸条件を適宜選択することによっ て制御できる。
金属微粒子の原料である金属化合物とし は、金属酸化物、金属硫化物、金属窒化物 金属塩が挙げられる。これらを単独で用い も、複数種用いてもよい。金属化合物の量 特に制限されない。原料である金属化合物 分散させる有機溶剤には還元性を示さない 機溶剤であるアセトン等のケトン系溶剤を いることが好ましい。レーザーの波長に制 はないが、金属微粒子の生成効率が高くな 波長を用いるのが好ましく、その波長は原 の金属化合物の種類により異なる。金属微 子の生成効率を考慮すると、レーザーの出 は高い方が好ましく、3600J以下(200mJ/pulse以 、パルス幅10ns、10Hz、ビーム径10mm、30分間) レーザー光を照射しても金属微粒子を得る とができない。8000J以上(440mJ/pulse以上、パル ス幅10ns、10Hz、ビーム径10mm、30分間)のレーザ ー光を照射する場合、レーザーの照射時間に 制限はないが、照射時間が長いほど金属微粒 子の生成量は多くなる。金属化合物を分散さ せた有機溶剤の温度は特に制限されない。こ の分散液はレーザー光照射中攪拌されている ことが好ましい。攪拌方法はマグネチックス ターラーや攪拌羽根等の一般的な方法が用い られる。また、必要であれば気泡を発生させ て攪拌してもよい。さらに、分散液を循環さ せることにより、原料である金属化合物が繰 り返しレーザー光の照射を受けることもでき る。そして、金属微粒子の平均粒径や粒子形 状等を制御するための添加物を用いてもよい 。その種類、量は特に制限されず、金属微粒 子の種類、目的とする金属微粒子の平均粒径 や形状等に合致させるように適宜選択される 。
次に、本発明に係る金属微粒子の製造方 について説明する。はじめに、本発明を実 するために重要な条件である、原料、レー ー光及び還元作用を示さない有機溶剤につ て一般的な説明を加える。
A.原料
原料は金属化合物であって、例えば、金属
化物、金属硫化物、金属窒化物、金属塩を
いることができる。金属化合物の中でも、
移金属化合物が好ましく、例えば、遷移金
酸化物、遷移金属硫化物、遷移金属窒化物
遷移金属塩が好適に用いられる。
具体的には、酸化銅・亜酸化銅・酸化銀・
化ニッケル・酸化コバルト・酸化ネオジウ
・酸化タンタル・酸化モリブデン・硫化銀
硫化銅・硫化コバルト・硫化タンタル・オ
チル酸銅・オクチル酸銀・塩化銅・塩化銀
塩化ロジウム、酸化ルテニウム、塩化パラ
ウム、窒化タンタル、その他の金属化合物
用いることができる。
金属化合物は、形状面からは粉体である とが好ましい。既述のように、例えば箔状 あるとナノサイズの粒子の生成効率が低く るためである。
本発明において、原料の大きさは重要で る。同じエネルギー密度のレーザー光を照 する場合でも、原料の金属化合物粉体の粒 が小さいほど粒径の小さな金属微粒子が効 よく得られる。金属化合物の大きさは、用 る金属化合物の種類によって一概にはいえ いが、一般に、1~30μm程度の大きさであるこ とが、分散性の点からも好ましい。
B.レーザー光
次に重要なものはレーザー光である。レー
ー光の波長は金属化合物の吸収係数がなる
く大きくなるような波長とすることが好ま
いが、ナノサイズの金属微粒子の結晶成長
抑制するためには、熱線としての効果が低
短波長のレーザー光を使用することが好ま
い。
例えば、レーザー光は、Nd:YAGレーザー、 キシマレーザー、半導体レーザー、色素レ ザーなどを用いることができる。また、高 ネルギーのレーザーを同じ条件で多くの金 化合物に照射するためにはパルス照射が好 しい。
C.有機溶剤 (分散媒)
有機溶剤は金属化合物を分散させるための
散媒であるが、本発明においては還元性を
さない有機溶剤を用いることから、中心部
金属で表皮部が金属酸化物のコア/シェル構
造を有する金属微粒子を得ることができるた
め、分散媒中で凝集させることが少ない。ま
た、応用面では、金属微粒子に特別な保護層
を設ける必要がないので、電子回路装置等に
利用する際に容易に分離できるために好まし
い。
金属化合物の分散媒に用いる有機溶剤とし
は、アセトン、メチルエチルケトン、γ-ブ
ロラクトン、シクロヘキサノンなどのケト
系溶剤を使用することがナノサイズの金属
粒子を得る際には好ましいが、ジメチルア
トアミド、N-メチルピロリドン、プロピレ
グリコールモノエチルエーテルなどの極性
剤やトルエン、テトラデカンなどの炭化水
系溶剤を用いることができる。還元性を示
有機溶剤を用いると金属微粒子の表層シェ
を形成する酸化皮膜を還元し、金属が露出
ることにより、凝集体を形成するために、
属微粒子の分散安定性を損なうことになる
なお、有機溶剤は、一種を単独で用いても
2種以上を混合して用いてもよい。
以上のような原料および装置を用いて、 発明の金属微粒子および金属微粒子分散液 、次のようにして製造される。
まず、還元作用を示さない有機溶剤である
トン系溶剤中に原料となる金属化合物の粉
を分散させる。次に、この有機溶剤中の金
化合物に攪拌下でレーザー光を照射する。
属化合物がレーザー光のエネルギーを効率
く吸収し、原子レベルに粉砕されると同時
、ケトン系溶剤で冷却されてナノサイズ(平
均粒径が1nm乃至500nmの範囲)の金属微粒子が生
成し、生成した金属微粒子がケトン系溶剤中
に安定的に分散される。得られる金属微粒子
は、中心部が金属で表皮部が金属酸化物から
なるコア/シェル構造を有し、界面活性剤等
金属微粒子の保護層を形成するための添加
を配合することなく、凝集・沈降が認めら
ない。また、原子レベルに粉砕された金属
分が冷却される前に結合すると、サブミク
ンサイズの高い結晶性を示す金属微粒子が
成し、ケトン系溶剤中に分散されずに沈降
分として回収される。
なお、本発明において、平均粒径とは、ベ
クマンコールター社製サブミクロン粒子ア
ライザーN5型(商品名)を用いて25℃で測定し
得られた強度分布から求められるものをい
。
[実施例1]
金属化合物として、和光純薬工業(株)製酸
銅試薬を用い、還元作用を示さない有機溶
には和光純薬工業(株)製アセトン特級試薬を
用いた。100mlのアセトンに対して1gの酸化銅
、マグネチックスターラーを備えた内容量50
0mlのガラス製ビーカーに秤量した。レーザー
照射装置として、Spectra-Physics社製Quanta-Ray PRO
-230 Nd:YAGレーザーを使用し、波長1064nm、パル
ス幅10ns、パルス周波数10Hz、1パルス当たりの
照射エネルギー1100mJのレーザー光を30分間照
した。レーザー光照射後、トミー精工製高
冷却遠心分離器Suprema23を使用して、ガラス
ビーカー内の内容物を毎分4000回転で5分間
心分離することにより、沈降物と銅微粒子
散液を分離した。
アセトン中に分散されている銅微粒子の 散粒径は、Beckman-Coalter社製サブミクロン粒 アナライザーN5で測定した結果、平均粒径80 nmであった。また、分散液中の銅微粒子の割 は、0.3mass%であった。分散安定性を調べる めに、銅微粒子平均粒径の経時変化を測定 た。結果を図1に示す。図1によれば、70日後 あっても平均粒径は約80nmで、変化が少なく 安定していた。同様に、沈降せずにアセトン 中に分散している銅微粒子固形分の割合につ いて、初期の銅微粒子固形分の濃度を1とし 場合の分散液中の銅微粒子濃度を指数とし 表した結果を図2に示すが、70日後であって 約1.2と変化が少なく安定していた。
また、室温で1時間乃至1週間放置した銅 粒子分散液の一部を採取してアセトンで希 し、得られた希薄分散液の可視吸光スペク ルを浜松ホトニクス製PMA-11分光光度計で測 した。結果を図3に示す。比較のために、完 な球形を有する銅微粒子を含むアセトン分 液の理論的な吸光スペクトル(吸収と散乱の 寄与を含む)をMie理論に基づいて計算し、図4 示す。図4は、アセトン中に分散した銅微粒 子の総質量を一定に保って、粒子の粒径(直 )を4nmから100nmまで変化させたときの理論的 吸光スペクトルの変化を示したものである 銅微粒子のスペクトルは、580nm付近に現れる 表面プラズモン吸収(および散乱)ピークと、7 00nm付近から短波長に向かって次第に増加す バンド間吸収の重なりから成る。散乱の寄 は比較的大きな粒子のみにおいて重要で、 に長波長域のテールを上昇させる(例えば粒 100nmのスペクトル参照)。表面プラズモンと ンド間遷移の相対的な寄与、表面プラズモ の強度、およびそのピーク位置は銅微粒子 粒径により比較的大きく変化するため、こ ような吸光スペクトルの実測によって逆に 微粒子の粒径を近似的に見積もることもで る。
図3及び図4から、実施例1で得られた銅微 子の平均的な粒径は、50nm以下と推定できる 。図3で遠心分離直後から1時間の放置でスペ トルの強度が全体に低下しているのは、遠 分離で沈降をまぬがれた比較的大きな粒子 ゆっくりと重力沈降したことによる。その の1週間にわたる変化は非常に小さく、表面 プラズモン吸収ピークの強度に殆ど変化は見 られない。この結果は、銅微粒子分散液にお いて、銅微粒子間の凝集(図4から予想される うにスペクトルを大きく変化させる)のみな らず、銅微粒子の酸化進行(バンド間遷移と 面プラズモン吸収を共に顕著に減少させる) 強く抑制されるという、銅微粒子分散液の なる安定性を裏付けている。
得られた銅微粒子の構造解析には、(株) ガク製X線回折装置ATX-G(XRD)、島津/Kratos製X線 電子分光分析装置AXIS-165(XPS)及び(株)日立製 所製透過型電子顕微鏡H-9000NAR(TEM)を使用し 。XRDの測定条件は、X線源:Cu、電圧:40kV、電 :20mAで行った。XPSの測定条件は、検出角度:90 °、測定面積:0.3mm×0.7mm、定性スペクトルPE=160 eV、定量スペクトルPE=10eV、深さ方向分析:Arエ ッチングで行った。TEMの測定条件は、加速電 圧300kVで行った。測定結果を図5~9に示した。
図5に示すXRD測定結果から銅(Cu)と亜酸化銅(C u 2 O)が混在することが明らかとなった。また、 6に示す分級沈降物のXRD測定結果によると、 この分級沈降物と分散液中の銅微粒子とは異 なるものであることがわかる。一方、図7に すXPS測定結果にサテライトピークが認めら ないことから、2価の銅(CuO)が存在しないこ が明らかとなった。さらに、図8の(1)及び図8 の(2)に示すナノサイズの銅微粒子を深さ方向 にArエッチングした際のオージェスペクトル ら、表皮部のシェルに亜酸化銅(Cu 2 O)が存在し、内部のコアに銅(Cu)が存在するこ とが明らかとなった。そして、図9に示すTEM 察写真から表皮部のシェルの厚さは2~4nmであ ることが分かった。
次に、ディスペンサを用いてガラス基板 に銅微粒子による5μm厚の配線層を形成し、 窒素雰囲気下および3%の水素を含む窒素雰囲 下で100℃のホットプレート上に配置して厚 1μmの導電層を形成し、(株)ダイアインスツ メンツ製抵抗率計ロレスタGP MCP-T610を用い 表面抵抗を測定した結果、0.1ω/□を示した
[実施例2]
実施例1の金属化合物として、和光純薬工業
(株)製酸化銅試薬に代えて、それぞれ、日本
学産業(株)製酸化銅、和光純薬工業(株)製亜
酸化銅試薬、和光純薬工業(株)製酸化銀特級
薬、和光純薬工業(株)製酸化タンタル(V)試
、和光純薬工業(株)製酸化ネオジウム試薬、
和光純薬工業(株)製酸化ニッケル(II)試薬、シ
ーアイ化成(株)酸化コバルトNonotek、和光純薬
工業(株)製酸化モリブデン(IV)一級試薬、和光
純薬工業(株)製窒化タンタル一級試薬、Strem
Chemicals,Inc.製硫化タンタル(IV)、ケミライト工
業(株)製高純度酸化銅を使用した。その結果
いずれも対応する金属微粒子を得ることが
きた。
[実施例3]
実施例1の還元作用を示さない有機溶剤とし
て、アセトンに代えてγ-ブチロラクトン、シ
クロヘキサノンを使用した。その結果、いず
れも分散安定性に優れるナノサイズ(いずれ
、平均粒径が80nm)の銅微粒子を得ることがで
きた。
[実施例4]
実施例1で、有機溶剤としてアセトンを100ml
10mlのγ-ブチロラクトンを用い、金属微粒子
を生成させた後、分散媒であるアセトンを約
90ml留去することにより濃縮し、その後イソ
ロピルアルコールを添加して、固形分量が0.
3mass%の銅微粒子分散液を調製した。その結果
、分散安定性に優れるナノサイズの銅微粒子
を得ることができた。
本発明に係る金属微粒子は、電子回路装 の導体形成用インク等に適用することが期 される。また、レーザー光照射設備と金属 合物を有機溶剤中に分散させるための容器 けで基本的に構成される簡便な設備を使用 て、上記金属微粒子を高い効率で製造する とができる。
以上のように、本発明は工業的に大きな 及効果が期待でき、その産業上の利用可能 は極めて大きい。
