Fixiervorrichtung

Die Erfindung betrifft eine Fixiervorrichtung für zu bearbeitende

Werkstücke, beispielsweise optische Linsen, um diese schleifen bzw. polieren zu können.

Fixiervorrichtungen zum Einspannen von optischen Werkstücken sind im Stand der Technik bereits bekannt. Diese dienen der Halterung eines optischen Werkstücks innerhalb einer Bearbeitungsmaschine, mittels der das optische Werkstück beispielsweise mechanisch bearbeitet wird. Die mechanische Bearbeitung kann beispielsweise ein Schleifprozess oder ein Polierprozess sein. Optische Werkstücke müssen häufig mehrfach fixiert werden, um unterschiedliche Prozessschritte an diesen zu vollziehen. So muss eine optische Linse häufig an den beiden gegenüberliegenden Seiten bearbeitet werden, um die gewünschten optischen Eigenschaften zu erreichen. Problematisch dabei ist, dass durch das mehrfache

Einspannen des optischen Werkstücks Fertigungsungenauigkeiten entstehen, die die optischen Eigenschaften des Werkstücks

beeinträchtigen können.

Die Patentschrift DE 101 39 805 C1 offenbart eine Linsenfassung. Die Linsenfassung umfasst mehrere tragende Elemente, die in eine

umfangsseitig in der Linse vorgesehene Nut eingreifen, um die Linse im Fassungsring zu fixieren.

Die europäische Patentanmeldung EP 2 163 345 A1 offenbart ein

Spannsystem mit einem Gestell und einer Spanneinrichtung. Die

Spanneinrichtung ist dabei drehbar am Gestell gelagert. Ausgehend hiervon ist es Aufgabe der Erfindung, eine Fixiervorrichtung, insbesondere eine Linsen- bzw. Linsenrohling-Fixiervorrichtung

anzugeben, die aufgrund einer hohen Wechselgenauigkeit eine

hochpräzise Fertigung von optischen Werkstücken ermöglicht.

Die Aufgabe wird durch die Merkmale des unabhängigen Patentanspruchs 1 gelöst. Bevorzugte Ausführungsformen sind Gegenstand der

Unteransprüche. Ein Verfahren zum Fixieren von zu bearbeitenden optischen Werkstücken ist Gegenstand des nebengeordneten

Patentanspruchs 21 .

Gemäß einem ersten Aspekt bezieht sich die Erfindung auf eine

Fixiervorrichtung zum lagegenauen Fixieren von zu bearbeitenden

Werkstücken, die insbesondere optische Werkstücke sein können. Die Fixiervorrichtung umfasst eine Werkstückfassung, die zumindest ein erstes, radial außenliegendes Werkstückfassungselement aufweist. Die Werkstückfassung ist ringartig ausgebildet, umschließt das Werkstück umfangsseitig, so dass das Werkstück in einem

Werkstückfassungsinnenbereich fixierbar ist.

Die Fixiervorrichtung umfasst des Weiteren eine Fassungshalterung, die einen Aufnahmebereich zum Einspannen der Werkstückfassung aufweist. Das erste Werkstückfassungselement ist in Bezug auf eine lotrecht zur Werkstückfassungsmittelachse verlaufende Querebene, die insbesondere eine Mittelquerebene des ersten Werkstückfassungselements ist, symmetrisch aufgebaut, und zwar derart, dass die Werkstückfassung über das erste Werkstückfassungselement in einer ersten Einbaulage und in einer zur ersten Einbaulage um eine in der Querebene verlaufenden Querachse um 180° gedrehten, zweiten Einbaulage in die

Fassungshalterung einspannbar ist. Der wesentliche Vorteil der erfindungsgemäßen Fixiervorrichtung besteht darin, dass das Werkstück, nachdem es in der Werkstückfassung fixiert wurde, in dieser Werkstückfassung verbleiben kann, bis sämtliche

Bearbeitungsschritte (z.B. Schleifen, Polieren etc.) an dem Werkstück vollzogen wurden. Durch die symmetrische Ausbildung des ersten

Werkstückfassungselements kann die Werkstückfassung in zwei unterschiedlichen Einbaulagen, in denen das Werkstück an den

gegenüberliegenden Oberflächenseiten bearbeitbar ist, in der

Fassungshalterung fixiert werden. Dadurch kann eine hohe Wiederhol- und Wechselgenauigkeit und damit eine verbesserte

Bearbeitungsgenauigkeit des Werkstücks erreicht werden.

Gemäß einem Ausführungsbeispiel weist das erste

Werkstückfassungselement umfangsseitig an in Bezug auf die Querebene gegenüberliegenden Seiten angeordnete Konusflächen, insbesondere ringartige Konusflächen auf. In anderen Worten steht bei einer

horizontalen Ausrichtung der Querebene eine erste Konusfläche oberseitig und eine zweite Konusfläche unterseitig von der Querebene ab. Durch diese Konusflächen, von denen jeweils eine abhängig von der Einbaulage vorzugsweise mit zumindest einer invers ausgebildeten

Konusfläche der Fassungshalterung korrespondiert, wird ein hochgenaues zentriertes Einbringen der Werkstückfassung in die Fassungshalterung erreicht. Gemäß einem Ausführungsbeispiel sind die Konusflächen des ersten Werkstückfassungselements gegenläufig ausgebildet, und zwar derart, dass sich der Umfang des ersten Werkstückfassungselements zu der oberen und unteren Seitenfläche des ersten Werkstückfassungselements hin verkleinert. In anderen Worten ist das erste Werkstückfassungsele- ment doppelkonisch ausgebildet, wobei sich die Konusflächen derart verjüngen, dass sich der Durchmesser des ersten Werkstückfassungselements von einem im Bereich der Querebene gemessenen ersten Durchmesser zu einem im Bereich der Seitenfläche gemessenen zweiten Durchmesser hin verkleinert. Gemäß einem Ausführungsbeispiel sind die Konusflächen des ersten Werkstückfassungselements ringartig oder ringsegmentartig ausgebildet. Dadurch kann eine hochgenaue Zentrierung der Werkstückfassung in der Fassungshalterung erreicht werden, und zwar in jeder der beiden

Einbaulagen derart, dass das Werkstück in Bezug auf eine

Referenzposition exakt zentriert ausgerichtet ist.

Gemäß einem Ausführungsbeispiel weist der Aufnahmebereich der Fassungshalterung innenumfangsseitig zumindest eine ringartig oder ringsegmentartig ausgebildete Konusfläche auf. Die Konusfläche kann beispielsweise als durchgehender Ring ausgebildet sein oder durch mehrere umfangsseitig verteilt angeordnete Konusring-Segmente gebildet werden. Diese Konusfläche wirkt dabei - je nach Einbaulage - jeweils mit einer der außenumfangsseitig an der Werkstückfassung vorgesehenen Konusflächen zusammen, so dass dadurch eine hochgenaue, zentrierte Aufnahme der Werkstückfassung in die Fassungshalterung erreicht wird.

Gemäß einem Ausführungsbeispiel weist das erste

Werkstückfassungselement umfangsseitig, insbesondere

außenumfangsseitig eine durchgehend umlaufende Nut oder

umfangsseitig, insbesondere außenumfangsseitig verteilt angeordnete Nutsegmente auf. In diese Nut oder Nutsegmente können Spannmittel eingreifen, um die Werkstückfassung innerhalb der Fassungshalterung zu fixieren. Insbesondere können die Spannmittel dazu ausgebildet sein, formschlüssig in die Nut bzw. die Nutsegmente einzugreifen. Durch die Spannmittel kann insbesondere ein in Richtung der Auflagefläche bzw. der Schnittstelle, die zur Anbindung an eine Bearbeitungsmaschine vorgesehen ist, gerichteter Druck auf die Werkstückfassung ausgeübt werden, so dass die Werkstückfassung an zur Planpositionierung der Werkstückfassung vorgesehene Anlageflächen angepresst wird. Gemäß einem Ausführungsbeispiel weist das erste

Werkstückfassungselement an der oberen und unteren Seitenfläche zumindest eine Nut, zumindest eine Einkerbung und/oder zumindest einen jeweils von der Seitenfläche abstehenden Vorsprung auf, die/der mit zumindest einem entsprechenden Vorsprung, zumindest einer Nut oder zumindest einer Einkerbung im Aufnahmebereich der Fassungshalterung formschlüssig zusammenwirken. Insbesondere wird durch die miteinander zusammenwirkenden Nuten, Einkerbungen bzw. von den Seitenflächen abstehenden Vorsprünge ein Formschluss zwischen der

Werkstückfassung und der Fassungshalterung erreicht, um die

Werkstückfassung samt dem darin gehaltenen Werkstück in einer definierten Drehposition in die Fassungshalterung einzubringen. Um eine eindeutige Drehposition sicherzustellen, in der die Werkstückfassung in der Fassungshalterung eingebracht wird, können die Vorsprünge, Nuten bzw. Einkerbungen derart angeordnet sein, dass die Werkstückfassung lediglich in exakt einer einzigen Drehposition in die Fassungshalterung einbringbar ist. Dies kann insbesondere durch eine Art örtliche bzw.

räumliche Kodierung der Vorsprünge, Nuten bzw. Einkerbungen erfolgen. Dabei sind die Vorsprünge, Nuten bzw. Einkerbungen an den beiden gegenüberliegenden Seitenflächen der Werkstückfassung derart vorgesehen, dass unabhängig von der Einbaulage der Werkstückfassung das Werkstück stets in der gleichen Drehposition in die

Fassungshalterung einbringbar ist.

Gemäß einem Ausführungsbeispiel ist die Werkstückfassung zur

Aufnahme eines das Werkstück umfangsseitig umschließenden

Werkstückverbindungsstücks ausgebildet. Dieses Werkstückverbindungsstück kann stoffschlüssig, beispielsweise durch eine Klebeverbindung, mit dem Werkstück verbunden sein. Alternativ ist es möglich, die Verbindung zwischen Werkstück und

Werkstückverbindungsstück formschlüssig und/oder kraftschlüssig zu gestalten, beispielsweise durch Aufschrumpfen eines

Werkstückverbindungsstücks (z.B. Schrumpfmuffe). Dieses

Werkstückverbindungsstück dient dabei nicht nur zur Kopplung des Werkstücks mit der Werkstückfassung, sondern verbleibt vorzugsweise auch nach der Bearbeitung des Werkstücks an diesem und dient anschließend als Kopplungsschnittstelle des Werkstücks in der

bestimmungsgemäßen Einbausituation, beispielsweise in einem optischen System. Dadurch erfolgt das Fixieren des Werkstücks bereits bei dessen Bearbeitung basierend auf dem Werkstückverbindungsstück, das auch später in der bestimmungsgemäßen Einbausituation als

Kopplungsschnittstelle Verwendung findet, so dass die relative Lage des Werkstücks sowohl bei der Bearbeitung des Werkstücks als auch in der späteren bestimmungsgemäßen Einbausituation die selbe ist.

Gemäß einem Ausführungsbeispiel ist die Werkstückfassung mehrteilig ausgebildet und ist zwischen dem ersten Werkstückfassungselement und dem Werkstückverbindungsstück zumindest ein zweites

Werkstückfassungselement vorgesehen. Dadurch wird erreicht, dass das erste Werkstückfassungselement separat hochgenau gefertigt werden kann. Dieses erste Werkstückfassungselement dient als Schnittstelle zu der Fassungshalterung und weist hochgenau gefertigte Flächen auf, die gegenüber der Fassungshalterung anliegen. Das zweite

Werkstückfassungselement verbindet das Werkstückverbindungsstück mit dem ersten Werkstückfassungselement. Vorzugsweise umfasst das zweite Werkstückfassungselement einen oberen und einen unteren Werkstückfassungselementteil. Der obere und der untere

Werkstückfassungselementteil weisen Anlageflächen für das erste Werkstückfassungselement und für das Werkstückverbindungsstück auf, wobei diese zwischen dem oberen und dem unteren

Werkstückfassungselementteil klemmend fixierbar sind. Durch die mehrteilige Ausbildung der Werkstückfassung werden eine hochgenaue Fixierung des Werkstücks in dieser Werkstückfassung und eine

hochgenaue Aufnahme dieser Werkstückfassung in der

Fassungshalterung erreicht.

Gemäß einem Ausführungsbeispiel sind an dem Aufnahmebereich der Fassungshalterung eine umlaufende oder mehrere verteilt angeordnete Anlageflächen zur Planpositionierung der Werkstückfassung vorgesehen. Diese Anlageflächen werden beispielsweise durch nach oben hin vorstehende Flächen gebildet, die beispielsweise durch Schleifen hochgenau gefertigt sind, so dass eine plane Positionierung der

Werkstückfassung in der Fassungshalterung erreicht wird.

Gemäß einem Ausführungsbeispiel weist die Fassungshalterung

Spannmittel zum Einspannen der Werkstückfassung im Aufnahmebereich auf. Diese Spannmittel sind insbesondere derart ausgebildet, dass die Werkstückfassung an eine in der Fassungshalterung vorgesehene

Konusfläche angedrückt wird. Die Spannmittel können durch automatische Antriebsmittel aktiv bewegbare oder manuell zu betätigende bzw.

aktivierbare Spannmittel sein. Durch diese Spannmittel kann die

Werkstückfassung fest und lagegenau aber lösbar im Aufnahmebereich fixiert werden.

Gemäß einem Ausführungsbeispiel werden die Spannmittel durch

Spannbolzen gebildet, die in radialer Richtung auf die Werkstückfassung zustellbar ausgebildet sind. Alternativ oder zusätzlich sind die Spannmittel dazu ausgebildet, die Werkstückfassung in einer senkrecht zur radialen Richtung verlaufenden Richtung (d.h. beispielsweise auf die Anlageflächen zur Planpositionierung hin gerichtet) in dem

Aufnahmebereich einzuspannen. Dazu können die Spannmittel durch einen Spannring gebildet werden, der neben einer Abdichtung von

Freiräumen bzw. Ausnehmungen ein auf die Anlageflächen zur

Planpositionierung der Werkstückfassung hin gerichtetes Einspannen der Werkstückfassung in der Fassungshalterung bewirkt. Dadurch wird eine hochgenaue, lösbare Fixierung der Werkstückfassung in der

Fassungshalterung erreicht. Gemäß einem Ausführungsbeispiel sind die Spannmittel dazu ausgebildet, einen zumindest partiellen umfangsseitigen, insbesondere

außenumfangsseitigen Formschluss an der Werkstückfassung zu bewirken. Insbesondere weisen die Spannmittel einen Vorsprung auf, der in eine außenumfangsseitig an der Werkstückfassung, insbesondere dem ersten Werkstückfassungselement vorgesehenen Nut eingreift. Dadurch bewirken die Spannmittel eine besonders vorteilhafte lagegenaue

Fixierung der Werkstückfassung in der Fassungshalterung.

Gemäß einem Ausführungsbeispiel sind die Spannmittel als

selbsthemmende Spannmechanik ausgebildet. Mehr im Detail werden die Spannmittel durch federbelastete Spannbolzen gebildet, die durch

Federkraft in eine vorgeschobene Stellung gedrückt werden. In dieser vorgeschobenen Stellung wirken die freien Enden der Spannbolzen auf die Werkstückfassung und fixieren diese klemmend. Die Spannbolzen können über geeignete automatische oder manuelle Antriebsmittel in eine zurückgezogene Stellung gebracht werden, so dass die Klemmung der Werkstückfassung aufgehoben und damit die Werkstückfassung

freigegeben wird. Gemäß einem Ausführungsbeispiel sind die Spannmittel durch Unterdruck oder durch ein unter Druck stehendes Fluid deaktivierbar, so dass die Klemmung der Werkstückfassung aufgehoben wird. Hierzu können in der Fassungshalterung Kanäle vorgesehen sein, um das die Spannmittel betätigende Fluid bzw. den Unterdruck an die Spannmittel zu übertragen. Gemäß einem Ausführungsbeispiel ist die Fassungshalterung mehrteilig ausgebildet und weist zumindest einen unteren und einen oberen

Fassungshalterungsteil auf. Der untere Fassungshalterungsteil kann beispielsweise im unteren Bereich eine Schnittstelle zu einer

Bearbeitungsmaschine bilden und geeignete Mittel, beispielsweise

Befestigungsbohrungen und/oder eine Königsbohrung aufweisen, über die das untere Fassungshalterungsteil an der Bearbeitungsmaschine festlegbar ist. Alternativ kann die Schnittstelle zu der

Bearbeitungsmaschine durch einen zylindrischen Befestigungsdorn oder einen Polygonschaftkegel gebildet werden, über die das untere

Fassungshalterungsteil an der Bearbeitungsmaschine festlegbar ist.

Zudem kann der untere Fassungshalterungsteil den Boden des

Aufnahmebereichs ausbilden und eine oder mehrere bodenseitige

Anlageflächen für die Werkstückfassung ausbilden. Der obere

Fassungshalterungsteil kann beispielsweise ringartig ausgebildet sein und den Aufnahmebereich radial nach außen begrenzen. Zudem können an dem oberen Fassungshalterungsteil die Spannmittel festlegbar oder in diesem integriert ausgebildet sein.

Gemäß einem Ausführungsbeispiel weist die Fassungshalterung unterhalb des Aufnahmebereichs einen Flüssigkeitsaufnahmeraum auf, der mit einem Fluid befüllbar ist, um das zu bearbeitende Werkstück bodenseitig zu stützen. Hierzu können in der Fassungshalterung ein oder mehrere Kanäle vorgesehen sein, um den Flüssigkeitsaufnahmeraum mit einem Fluid, insbesondere einer Flüssigkeit zu füllen. Ebenso können Dichtmittel vorgesehen sein, um den Aufnahmebereich zur Werkstückfassung hin abzudichten. Der Flüssigkeitsaufnahmeraum kann direkt und unmittelbar in dem Aufnahmeraum der Fassungshalterung ausgebildet sein, d.h. das Fluid kann direkt in den Flüssigkeitsaufnahmeraum eingefüllt werden und es ist kein weiteres Element (expandierende Wandung, Membran etc.) vorgesehen, welches das Fluid und das zu bearbeitende Werkstück voneinander trennt. Alternativ kann der Flüssigkeitsaufnahmeraum auch durch eine ballonartige Struktur, eine expandierende Wandung oder eine Membran gebildet werden, die im Aufnahmeraum vorgesehen ist und in der bzw. unter der das Fluid eingebracht wird. Durch das Befüllen der Fassungshalterung bzw. des Flüssigkeitsaufnahmeraums mit dem Fluid wird das zu bearbeitende Werkstück an der der zu bearbeitenden

Werkstückseite gegenüberliegenden weiteren Werkstückseite gestützt, so dass eine Verformung des Werkstücks durch dessen Eigengewicht bzw. beim Andrücken eines Bearbeitungswerkzeugs an die zu bearbeitende Werkstückseite verhindert oder zumindest wesentlich minimiert wird.

Gemäß einem Ausführungsbeispiel sind Mittel zur Veränderung des Drucks im Flüssigkeitsaufnahmeraum vorgesehen. Diese Mittel können durch jegliche Aktoreinheit gebildet werden, mittels der sich eine

Druckänderung erreichen lässt, insbesondere solche Mittel, die über eine Volumenänderung des Flüssigkeitsaufnahmeraums eine Erhöhung bzw. Absenkung des Drucks ermöglichen. Die Aktoreinheit kann eine

Stelleinheit umfassen, die manuell oder automatisch steuerbar ist. Die Stelleinheit kann beispielsweise durch eine Mikrometerschraube oder einen elektrisch, pneumatisch oder hydraulisch ansteuerbaren Aktor gebildet sein. Insbesondere kann die Stelleinheit auch ein Piezo-Aktor sein. Die Aktoreinheit kann zudem einen Kolben oder ein

Festkörpergelenk o.ä. umfassen, auf den/das die Stelleinheit einwirkt und über den/das die Volumenänderung des Flüssigkeitsaufnahmeraums bewirkt wird. Gemäß einem Ausführungsbeispiel ist zumindest ein Sensor zur

Erfassung des Drucks im Flüssigkeitsaufnahmeraum vorgesehen. Über diesen Sensor kann eine Druckveränderung über der Zeit detektiert werden. Das von dem Sensor bereitgestellte Signal kann insbesondere dazu verwendet werden, den Druck im Flüssigkeitsaufnahmeraum zu regeln, und zwar dadurch, dass basierend auf dem von dem Sensor bereitgestellten Messsignal eine Ansteuerung der Stelleinheit erfolgt.

Gemäß einem weiteren Aspekt betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Fixieren von zu bearbeitenden Werkstücken, insbesondere optischen

Werkstücken in einer Fixiervorrichtung. Die Fixiervorrichtung umfasst eine ringartige Werkstückfassung und eine Fassungshalterung, die einen Aufnahmebereich zum Einspannen der Werkstückfassung aufweist. Das Verfahren umfasst dabei die folgenden Schritte:

- Umfangsseitiges Fixieren des zu bearbeitenden optischen

Werkstücks in der ringartigen Werkstückfassung;

- Einspannen der Werkstückfassung in die Fassungshalterung, um das Werkstück an einer ersten Werkstückseite zu bearbeiten;

- Vorzugsweise nach der Bearbeitung der ersten Werkstückseite,

Ausspannen der Werkstückfassung aus der Fassungshalterung und Wenden der Werkstückfassung samt darin

aufgenommenem Werkstück;

- Einspannen der Werkstückfassung in die Fassungshalterung in der gewendeten Position, um das Werkstück an einer der ersten Werkstückseite gegenüberliegenden zweiten Werkstückseite zu bearbeiten.

Unter„hochpräzise bzw. hochgenau" im Sinne der vorliegenden Erfindung wird eine Fixiervorrichtung verstanden, die eine wiederholbare

Positioniergenauigkeit bzw. Spannsituation des Werkstückhalters in derselben Fassungshalterung bei mehrfachem Ein- und Ausspannen, insbesondere auch bei einem vorher beschriebenen Wenden der

Fassungshalterung um 180°, im Bereich von beispielsweise 5μηη bis Ο,Οδμηη, insbesondere 1 μηη bis 0,1 m ermöglicht.

Unter„Fluid" im Sinne der vorliegenden Erfindung werden sowohl flüssige als auch gasförmige Medien verstanden.

Die Ausdrücke„näherungsweise",„im Wesentlichen" oder„etwa" bedeuten im Sinne der Erfindung Abweichungen vom jeweils exakten Wert um +/- 10%, bevorzugt um +/- 5% und/oder Abweichungen in Form von für die Funktion unbedeutenden Änderungen.

Weiterbildungen, Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der Erfindung ergeben sich auch aus der nachfolgenden Beschreibung von

Ausführungsbeispielen und aus den Figuren. Dabei sind alle

beschriebenen und/oder bildlich dargestellten Merkmale für sich oder in beliebiger Kombination grundsätzlich Gegenstand der Erfindung, unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Ansprüchen oder deren Rückbeziehung. Auch wird der Inhalt der Ansprüche zu einem Bestandteil der Beschreibung gemacht.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand der Figuren an

Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 beispielhaft eine Ausführungsform einer Fixiervorrichtung in einer Explosionsdarstellung;

Fig. 2 beispielhaft die Fixiervorrichtung gemäß Fig. 1 in einer

Draufsichtdarstellung; Fig. 3 beispielhaft eine Schnittdarstellung der in Fig. 1 gezeigten

Fixiervorrichtung entlang der in Fig. 2 gezeigten Schnittlinie A-A;

Fig. 4 beispielhaft eine Schnittdarstellung der in Fig. 1 gezeigten

Fixiervorrichtung entlang der in Fig. 2 gezeigten Schnittlinie B-B;

Fig. 5 beispielhaft eine Schnittdarstellung der in Fig. 1 gezeigten

Fixiervorrichtung entlang der in Fig. 2 gezeigten Schnittlinie C-C; Fig. 6 beispielhaft eine Schnittdarstellung der in Fig. 1 gezeigten

Fixiervorrichtung entlang der in Fig. 2 gezeigten Schnittlinie D-D;

Fig. 7 beispielhaft eine kuchenstuckartige Schnittdarstellung der in Fig. 1 gezeigten Fixiervorrichtung in einer perspektivischen Ansicht;

Fig. 8 beispielhaft eine teilweise Explosionsdarstellung der

Fixiervorrichtung, bei der die Werkstückfassung losgelöst von der Fassungshalterung dargestellt ist; Fig. 9 beispielhaft eine Schnittdarstellung einer Fixiervorrichtung mit einer Aktoreinheit zur Einstellung des Drucks im

Flüssigkeitsaufnahmeraum;

Fig. 10 beispielhaft eine Ausschnittdarstellung der in Fig. 9 gezeigten Aktoreinheit in einem höheren Detaillierungsgrad;

Fig. 1 1 beispielhaft eine Schnittdarstellung einer Fixiervorrichtung mit einer Aktoreinheit zur Einstellung des Drucks und einem

Drucksensor zur Messung des Drucks im

Flüssigkeitsaufnahmeraum; Fig. 12 beispielhaft eine Ausschnittdarstellung der in Fig. 1 1 gezeigten Aktoreinheit in einem höheren Detaillierungsgrad; und

Fig. 13 beispielhaft eine Ausschnittdarstellung des in Fig. 1 1 gezeigten Drucksensors in einem höheren Detaillierungsgrad.

Figur 1 zeigt eine Explosionsdarstellung einer erfindungsgemäßen

Fixiervorrichtung 1 . Die Fixiervorrichtung 1 umfasst eine

Werkstückfassung 3, die das zu bearbeitende Werkstück 2 aufnimmt. Unter Werkstück wird ein zu bearbeitendes Teil jeglicher Art und gebildet aus jedwedem Material verstanden, welches in der erfindungsgemäßen Fixiervorrichtung 1 spannbar bzw. bearbeitbar ist. Insbesondere kann dies eine optische Linse bzw. ein Linsenrohling sein. Die Erfindung betrifft damit insbesondere eine Linsen-Fixiervorrichtung. Die Fixiervorrichtung 1 umfasst des Weiteren eine Fassungshalterung 4, die einen

Aufnahmebereich 4a ausbildet, in den die Werkstückfassung 3 einsetzbar ist.

Die Fassungshalterung 4 dient vorzugsweise zudem als Schnittstelle zur Bearbeitungsmaschine, mittels der das Werkstück 2 bearbeitet wird.

Insbesondere weist die Fassungshalterung 4 eine Schnittstellenfläche 4b auf, mittels der die Fixiervorrichtung 1 gegenüber einem Bearbeitungstisch der Bearbeitungsmaschine anliegt. Die Schnittstelle der Fixiervorrichtung 1 kann an die Bearbeitungsmaschine angepasst sein und kann

insbesondere Bohrungen bzw. Öffnungen zur Fixierung der

Fixiervorrichtung 1 an der Bearbeitungsmaschine und/oder Mittel zur Zentrierung bzw. Ausrichtung der Fixiervorrichtung 1 gegenüber dieser Bearbeitungsmaschine, beispielsweise in Form einer Königsbohrung, eines zylindrischen Befestigungsdorns, eines Polygonschaftkegels etc. aufweisen. Der detaillierte Aufbau der Fixiervorrichtung 1 sowie deren Funktionsweise wird nachfolgend anhand der Figuren 2 bis 7 näher beschrieben.

Zur Halterung des Werkstücks 2 in der Werkstückfassung 3 ist an dem Werkstück 2 ein Werkstückverbindungsstück 2.1 angebracht. Das

Werkstückverbindungsstück 2.1 ist vorzugsweise ringartig ausgebildet, d.h. umschließt das Werkstück 2 umfangsseitig vollständig. Das

Werkstückverbindungsstück 2.1 kann beispielsweise durch einen

Metallring, beispielsweise aus Aluminium, Messing oder einem ähnlichen Material gebildet sein. Das Werkstückverbindungsstück 2.1 kann über stoffschlüssige Verbindungsmittel, beispielsweise durch einen Kleber, vorzugsweise unlösbar mit dem Werkstück 2 verbunden sein. Alternativ kann das Werkstückverbindungsstück 2.1 form- und/oder kraftschlüssig mit dem Werkstück 2 verbunden sein, beispielsweise durch

Aufschrumpfen. Dieses Werkstückverbindungsstück 2.1 verbleibt vorzugsweise nach der Bearbeitung des Werkstücks 2 an diesem und dient beispielsweise auch in der späteren Einbausituation des Werkstücks 2 zur Fixierung in einer entsprechenden Aufnahme. Die Werkstückfassung 3 selbst ist im gezeigten Ausführungsbeispiel mehrteilig ausgebildet und umfasst ein erstes Werkstückfassungselement 3.1 , das vorzugsweise den radial außenliegenden Teil der

Werkstückfassung 3 bildet. Zur Verbindung des Werkstücks 2

insbesondere des am Werkstück 2 vorgesehenen

Werkstückverbindungsstücks 2.1 mit dem ersten

Werkstückfassungselement 3.1 ist zumindest ein zweites

Werkstückfassungselement 3.2 vorgesehen. Im gezeigten

Ausführungsbeispiel umfasst das zweite Werkstückfassungselement 3.2 einen unteren und einen oberen Werkstückfassungselementteil 3.2.1 , 3.2.2, die beispielsweise ringartig ausgebildet sind. Der untere

Werkstückfassungselementteil 3.2.1 weist radial innenliegend eine Aufnahme für das Werkstückverbindungsstück 2.1 auf. Insbesondere kann diese Aufnahme eine untere Anlagefläche und eine radial das

Werkstückverbindungsstück 2.1 umschließende Anlagefläche für das Werkstückverbindungsstück 2.1 ausbilden. Die das

Werkstückverbindungsstück 2.1 radial umschließende Anlagefläche kann an den Außendurchmesser des Werkstückverbindungsstücks 2.1 passgenau angepasst sein oder die Anlagefläche kann ein Innengewinde aufweisen, in das ein entsprechendes Außengewinde des

Werkstückverbindungsstücks 2.1 einschraubbar ist.

Im radial außenliegenden Bereich kann das untere

Werkstückfassungselementteil 3.2.1 eine Aufnahme für das erste

Werkstückfassungselement 3.1 , insbesondere eine untere Anlagefläche und eine radiale Anlagefläche für das erste Werkstückfassungselement 3.1 ausbilden. Die radiale Anlagefläche kann wiederum beispielsweise passgenau an die Innenform bzw. den Innendurchmesser des ersten Werkstückfassungselements 3.1 angepasst sein oder ein Außengewinde aufweisen, auf das ein entsprechendes Innengewinde des ersten

Werkstückfassungselements 3.1 aufschraubbar ist.

Die beiden Werkstückfassungselementteile 3.2.1 , 3.2.2 können

vorzugsweise relativ zueinander in axialer Richtung entlang einer

Werkstückfassungsmittelachse WMA, d.h. in einer senkrecht oder im Wesentlichen senkrecht zur Werkstückfassungsoberseite verlaufenden Richtung gegeneinander verspannt werden. Dieses Verspannen bewirkt vorzugsweise eine Klemmung des oberen Werkstückfassungselementteils 3.2.2 relativ zum unteren Werkstückfassungselementteil 3.2.1 , so dass über das zweite Werkstückfassungselement 3.2 das

Werkstückverbindungsstück 2.1 mit dem ersten

Werkstückfassungselement 3.1 fest verbunden ist. Das erste Werkstückfassungselement 3.1 ist vorzugsweise ebenfalls ringartig ausgebildet. Es dient der in Bezug auf die Drehlage und die räumliche Position lagegenauen und replizierbaren Aufnahme der

Werkstückfassung 3 in der Fassungshalterung 4. Das erste

Werkstückfassungselement 3.1 ist in Bezug auf eine in Figur 1

angedeutete Querebene QE, die lotrecht zu der

Werkstückfassungsmittelachse WMA verläuft, symmetrisch, insbesondere spiegelsymmetrisch ausgebildet. Dadurch kann die Werkstückfassung 3 in zwei unterschiedlichen Einbaulagen in die Fassungshalterung 4 eingebaut werden, und zwar in einer ersten Einbaulage, in der die beispielsweise in Figur 1 obenliegende Seite des Werkstücks 2 auf die der

Schnittstellenfläche 4b der Fassungshalterung 4 gegenüberliegende Seite zeigt und in einer zweiten Einbaulage, in der das Werkstück 2 um 180° um die in der Querebene QE verlaufende Querachse QA gewendet in die Fassungshalterung 4 aufgenommen ist, so dass die in der ersten

Einbaulage oben liegende Seite nunmehr der Schnittstellenfläche 4b der Fassungshalterung 4 zugewandt angeordnet ist. Dies hat den

entscheidenden Vorteil, dass das Werkstück 2 über die Werkstückfassung 3, die an dem Werkstück 2 verbleibt, positionsgenau umgespannt werden kann, so dass eine Bearbeitung beider Werkstückseiten ermöglicht wird, und zwar mit einem festen Ortsbezug zueinander (vgl. Fig. 8).

Zum Erreichen einer hohen Positioniergenauigkeit weist das erste

Werkstückfassungselement 3.1 außenumfangsseitig Konusflächen 3.1 .1 , 3.1 .1 ' auf, wobei eine erste Konusfläche 3.1 .1 oberhalb der Querebene QE und eine zweite Konusfläche 3.1 .1 ' unterhalb der Querebene QE vorgesehen ist. Die Konusflächen 3.1 .1 , 3.1 .1 ' können ringförmig, insbesondere kreisringförmig oder ringsegmentartig ausgebildet sein. Die Konusflächen 3.1 .1 , 3.1 .1 ' sind insbesondere derart angeordnet, dass diese das erste Werkstückfassungselement 3.1 zu gegenüberliegenden Seiten hin verjüngen, d.h. der Umfang des Werkstückfassungselements 3.1 nimmt von einem Mittelbereich in Richtung der oberen und unteren Seitenflächen 3.1 .2, 3.1 .3 hin ab.

Je nach Einbaulage wirkt jeweils eine Konusfläche 3.1 .1 , 3.1 .1 ' mit einer korrespondierenden Konusfläche 4.1 der Fassungshalterung 4

zusammen, um eine räumlich zentrierte Einbringung der

Werkstückfassung 3 in die Fassungshalterung 4 zu ermöglichen. Die Konusfläche 4.1 ist dabei beispielsweise, wie in Figur 3 gezeigt, umfangsseitig den Aufnahmebereich 4a der Werkstückfassung 3 umgebend vorgesehen. Die Konusfläche 4.1 ist dabei derart an die Konusfläche 3.1 .1 , 3.1 .1 ' des ersten Werkstückfassungselements 3.1 angepasst (beispielsweise mittels einer inversen Neigung der

Konusfläche), dass dieses bei der entlang der

Werkstückfassungsmittelachse WMA verlaufenden Einsetzbewegung in der Fassungshalterung 4 zentriert wird.

Des Weiteren weist die Werkstückfassung 3, insbesondere das erste Werkstückfassungselement 3.1 , eine zumindest teilweise, vorzugsweise vollumfangsseitig umlaufende Nut 3.1 .4 auf. In diese Nut 3.1 .4 können Spannmittel 5, wie nachfolgend näher beschrieben, eingreifen, um eine Sicherung der Werkstückfassung 3 in der Fassungshalterung 4 bzw. ein in Richtung der Werkstückfassungsmittelachse WMA gerichtetes Andrücken an die Fassungshalterung 4 zu gewährleisten. Die obere und untere Seitenfläche 3.1 .2, 3.1 .3 des ersten

Werkstückfassungselements 3.1 sind vorzugsweise plan geschliffen und dienen als Anlageflächen gegenüber korrespondierenden Anlageflächen

4.2 der Fassungshalterung 4. Im gezeigten Ausführungsbeispiel sind in den Seitenflächen 3.1 .2, 3.1 .3 Nuten 3.1 .5 bzw. Einkerbungen

vorgesehen, die mit invers ausgebildeten Vorsprüngen 4.3 der

Fassungshalterung 4 zusammenwirken. Insbesondere sind die Nuten 3.1 .5 bzw. Einkerbungen und die Vorsprünge 4.3 aufeinander

formangepasst, so dass die Vorsprünge 4.3 formschlüssig in die Nuten 3.1 .5 bzw. Einkerbungen eingreifen und damit eine in Bezug auf die Drehposition lagegenaue Einbringung der Werkstückfassung 3 in die Fassungshalterung 4 ermöglichen.

Um die Werkstückfassung 3 in beiden Einbaulagen in derselben

Drehposition in der Fassungshalterung 4 einzubringen, kann eine die Drehlage kennzeichnende Markierung an der Werkstückfassung 3 vorgesehen sein, die mit einer entsprechenden Markierung an der

Fassungshalterung 4 zusammenwirkt. Alternativ oder zusätzlich können die Nuten 3.1 .5 bzw. Einkerbungen und die Vorsprünge 4.3 eine spezielle, kodierte Anordnung aufweisen, so dass die Anordnung der

Werkstückfassung 3 in der Fassungshalterung 4 lediglich in einer einzigen Drehlage möglich ist.

Nachfolgend wird die Fassungshalterung 4 eingehender beschrieben. Die Fassungshalterung 4 ist, wie insbesondere in den Figuren 3 bis 6 erkennbar, napfartig oder im Wesentlichen napfartig ausgebildet. Dadurch können auch Werkstücke 2 mit einem konvex gewölbten

Oberflächenbereich beidseitig bearbeitet werden. Im gezeigten

Ausführungsbeispiel ist die Fassungshalterung 4 mehrteilig ausgebildet und besteht im Wesentlichen aus einem unteren und einem oberen Fassungshalterungsteil 4A, 4B. Diese mehrteilige Ausbildung ist aus fertigungstechnischen Gründen vorteilhaft. Jedoch kann die

Fassungshalterung 4 ebenfalls aus einem einzigen

Fassungshalterungsteil gebildet sein.

Der untere Fassungshalterungsteil 4A umfasst die Schnittstellenfläche 4b sowie einen oberseitig von der Schnittstellenfläche 4b abstehenden ringartigen Abschnitt 4.5, an dem oberseitig die vorzugsweise umfangsseitig verteilten Anlageflächen 4.2 sowie die in die Nuten 3.1 .5 eingreifenden Vorsprünge 4.3 vorgesehen sind.

Der obere Fassungshalterungsteil 4B ist dazu ausgebildet, auf den unteren Fassungshalterungsteil 4A oberseitig aufgesetzt und an diesem fixiert zu werden. Die Fixierung der Fassungshalterungsteile 4A, 4B gegeneinander kann durch jegliche Verbindungsmittel erfolgen, insbesondere durch Verschraubungen oder aber durch ein am ringartigen Abschnitt 4.5 umfangsseitig vorgesehenes Außengewinde, das mit einem entsprechenden innenumfangsseitig vorgesehenen Innengewinde des oberen Fassungshalterungsteils 4B zusammenwirkt.

Der obere Fassungshalterungsteil 4B ist beispielsweise ringartig ausgebildet und weist innenumfangsseitig die Konusfläche 4.1 auf, die je nach Einbaulage mit einer der Konusflächen 3.1 .1 , 3.1 .1 ' des ersten Werkstückfassungselements 3.1 zusammenwirkt.

Wie zuvor bereits ausgeführt, sind an der Fassungshalterung 4

Spannmittel 5 vorgesehen, mittels denen eine Sicherung der

Werkstückfassung 3 in der Fassungshalterung 4 bewirkt wird. Wie insbesondere in den Figuren 6 und 7 erkennbar, werden die Spannmittel 5 im gezeigten Ausführungsbeispiel durch Spannbolzen 5.1 gebildet, die radial nach innen, d.h. in Richtung der Werkstückfassungsmittelachse WMA zustellbar sind, um dadurch die Werkstückfassung 3 zu fixieren. In anderen Worten sind die Spannbolzen 5.1 in radialer Richtung

verschiebbar in der Fassungshalterung 4, insbesondere im oberen Fassungshalterungsteil 4B geführt. Im gezeigten Ausführungsbeispiel sind umfangsseitig verteilt mehrere derartige Spannbolzen 5.1 vorgesehen. Die Spannmittel 5 sind im gezeigten Ausführungsbeispiel selbsthemmend ausgebildet, d.h. ohne Anlegen äußerer Kräfte werden die Spannmittel 5 in der Sicherungsposition gehalten, d.h. diese fixieren auch ohne von außen anliegende Kräfte die Werkstückfassung 3 innerhalb der

Fassungshalterung 4. Dazu werden die Spannbolzen 5.1 durch elastische Elemente, insbesondere durch Federelemente 5.2 in einer

vorgeschobenen Position gehalten. An dem der Werkstückfassung 3 zugewandten freien Ende weisen die Spannbolzen 5.1 jeweils einen Vorsprung 5.1 .1 auf, der an die an dem ersten Werkstückfassungselement 3.1 vorgesehene außenumfangsseitige Nut 3.1 .4 formangepasst und zum Eingreifen in diese Nut 3.1 .4 ausgebildet ist. Durch die Spannmittel 5, insbesondere die Spannbolzen 5.1 wird beispielsweise sichergestellt, dass die Werkstückfassung 3 zentriert in der Fassungshalterung 4 gehalten und dabei an die Anlageflächen 4.2 derselben angepresst wird.

Das Deaktivieren der Spannmittel 5, insbesondere der Spannbolzen 5.1 kann manuell erfolgen. Im gezeigten Ausführungsbeispiel sind Mittel zum automatisierten Deaktivieren der Spannmittel 5 bzw. der Spannbolzen 5.1 vorgesehen. Hierbei können die Spannbolzen 5.1 durch eine

Beaufschlagung mit einem Vakuum oder alternativ einem unter Druck stehenden Fluid von der vorgeschobenen Stellung in eine

zurückgezogene Stellung positioniert werden, so dass der Vorsprung 5.1 .1 der Spannbolzen 5.1 nicht mehr in die Nut 3.1 .4 der Werkstückfassung 3 eingreift und damit die Werkstückfassung 3 aus der Fassungshalterung 4 entnommen werden kann. Zum Zuführen des Vakuums bzw. des unter Druck stehenden Fluids an die Spannbolzen 5.1 sind in der Fassungshalterung 4 Gaskanäle 6 eingebracht. Wie insbesondere in Figur 4 erkennbar, ist am unteren Fassungshalterungsteil 4A ein Gasanschluss 6.1 vorgesehen, der über Gaskanalabschnitte 6.2 mit einem Ringkanal 6.3 fluidisch verbunden ist. Dieser Ringkanal 6.3 verläuft vorzugsweise außenumfangsseitig um den ringartig ausgebildeten Abschnitt 4.5 herum. Der auf den unteren Fassungshalterungsteil 4A aufgesetzte obere Fassungshalterungsteil 4B weist ebenfalls Gaskanalabschnitte 6.4 auf, die mit dem Ringkanal 6.3 fluidisch verbunden sind und über die eine Zuführung des Vakuums bzw. des unter Druck stehenden Fluids an die Spannbolzen 5.1 erfolgt.

Im Übergangsbereich zwischen der Werkstückfassung 3 und der

Fassungshalterung 4 ist ein ringartiges Abdeckelement 7 vorgesehen. Dieses ringartige Abdeckelement 7 ist im gezeigten Ausführungsbeispiel dazu ausgebildet, eine Verschmutzung der Fixiervorrichtung 1 im Bereich zwischen der Werkstückfassung 3 und der Fassungshalterung 4 zu verhindern. Hierzu weist das Abdeckelement 7 vorzugsweise

Dichtelemente auf, die zur Anlage gegenüber der Werkstückfassung 3 und der Fassungshalterung 4 gelangen und damit den Übergangsbereich staub- und insbesondere auch fluiddicht abdichten, um dadurch ein Eindringen von bei der Werkstückbearbeitung entstehenden Partikeln bzw. bei der Bearbeitung verwendeten Fluiden zu verhindern.

Zusätzlich zu dieser Abdeckwirkung kann das Abdeckelement 7 auch als Spannmittel 5 verwendet werden, insbesondere um die Werkstückfassung 3 gegenüber den Anlageflächen 4.2 der Fassungshalterung 4

anzudrücken.

Wie insbesondere in den Figuren 3 und 5 zu erkennen, weist die

Fassungshalterung 4 der Fixiervorrichtung 1 einen

Flüssigkeitsaufnahmeraum 4.4 auf. Dieser Flüssigkeitsaufnahmeraum 4.4 ist beispielsweise durch eine beckenartige Ausnehmung 8 am unteren Fassungshalterungsteil 4A gebildet. In diesen Flüssigkeitsaufnahmeraum 4.4 kann ein Fluid, insbesondere eine Flüssigkeit, beispielsweise Wasser, eingeleitet werden, um den Flüssigkeitsaufnahmeraum 4.4 bis zu dem zu bearbeitenden Werkstück 2 mit dem Fluid anzufüllen. Dadurch kann das zu bearbeitende Werkstück 2 bodenseitig, d.h. an der dem unteren Fassungshalterungsteil 4A zugewandten Seite unterstützt werden, so dass eine Deformierung des Werkstücks 2 durch ein durch das

Eigengewicht des Werkstücks verursachtes Durchhängen bzw. durch eine oberseitige Krafteinwirkung bei dem Bearbeitungsprozess zumindest weitestgehend vermieden wird.

Zum Anfüllen des Flüssigkeitsaufnahmeraums 4.4 mit dem Fluid ist im unteren Fassungshalterungsteil 4A ein Fluidzuführungskanal 8.1 vorgesehen. Über diesen Fluidzuführungskanal 8.1 kann ein Fluid, insbesondere eine Flüssigkeit in den Flüssigkeitsaufnahmeraum 4.4 eingeleitet werden. Zudem kann im unteren Fassungshalterungsteil 4A ein Entlüftungskanal 8.2 vorgesehen sein, über den im

Flüssigkeitsaufnahmeraum 4.4 enthaltene Luft beim Einleiten des Fluids entweichen kann.

Vorzugsweise wird bei dem Befüllen des Flüssigkeitsaufnahmeraums 4.4 die Fixiervorrichtung 1 derart positioniert, dass die mit dem

Entlüftungskanal 8.2 verbundene Öffnung im Flüssigkeitsaufnahmeraum 4.4 den höchsten Punkt des Flüssigkeitsaufnahmeraums 4.4 bildet, so dass nach dem Entweichen der Luft aus dem Flüssigkeitsaufnahmeraum 4.4 der gesamte Bereich unterhalb des Werkstücks 2 mit dem Fluid gefüllt und dadurch eine hinreichende Unterstützung des Werkstücks 2 bei der Werkstückbearbeitung gegeben ist. Zur Abdichtung des Flüssigkeitsaufnahmeraums 4.4 in Richtung der

Werkstückfassung 3 kann ein ringartiges Dichtelement 9 vorgesehen sein. Dieses verläuft vorzugsweise umfangsseitig im Bereich zwischen dem unteren Fassungshalterungsteil 4A und dem zweiten

Werkstückfassungselement 3.2 und verhindert damit ein Eindringen des Fluids bzw. der Flüssigkeit in Bereiche zwischen der Werkstückfassung 3 und der Fassungshalterung 4. Fig. 9 zeigt eine Ausführungsform der Fixiervorrichtung 1 , die Mittel zur Veränderung und Einstellung des Drucks im Flüssigkeitsaufnahmeraum 4.4 aufweist. Durch diese Mittel zur Veränderung und Einstellung des Drucks ist es möglich, den von unten auf das zu bearbeitende Werkstück 2 wirkenden Druck zu variieren und damit beispielsweise ein

schwerkraftbedingtes Durchhängen des Werkstücks 2 zu verhindern.

Die Mittel zur Veränderung und Einstellung des Drucks im

Flüssigkeitsaufnahmeraum 4.4 können durch jegliche Aktoreinheit 10 bewirkt werden, über die eine Volumenänderung des

Flüssigkeitsaufnahmeraums 4.4 bewirkbar ist.

Fig. 10 zeigt die Mittel zur Veränderung und Einstellung des Drucks im Flüssigkeitsaufnahmeraum 4.4 des in Fig. 9 gezeigten

Ausführungsbeispiels mehr im Detail. Die Volumenänderung wird hier durch eine Aktoreinheit 10 bewirkt, die eine einschraubbare bzw.

herausschraubbare Stelleinheit 10.1 , insbesondere ein

Einschraubmikrometer, und einen Kolben 10.2 umfasst.

Durch das Einschrauben bzw. Herausschrauben der Stelleinheit 10.1 wird der Kolben 10.2 bewegt. Durch diese Bewegung des Kolbens 10.2 kann eine Volumenänderung im Flüssigkeitsaufnahmeraum 4.4 bewirkt werden. Durch diese Volumenänderung wird der Druck auf die im

Flüssigkeitsaufnahmeraum 4.4 befindliche Flüssigkeit verändert. Über diese Druckveränderung lässt sich die schwerkraftbedingte Verformung des Werkstücks 2 ausgleichen. Hierbei ist es vorteilhaft, wenn eine inkompressible Flüssigkeit, beispielsweise Wasser oder Öl in dem

Flüssigkeitsaufnahmeraum 4.4 verwendet wird. Wie in Fig. 10 zu erkennen ist, ist der Kolben 10.2 abgedichtet in einer Bohrung der Fassungshalterung 4 geführt. Vorzugsweise ist der Kolben 10.2 federbelastet und wird durch eine Feder 10.3 in eine vom

Flüssigkeitsaufnahmeraum 4.4 beabstandete Position vorgespannt. Durch die Stelleinheit 10.1 kann dieser entgegen der Federkraft bewegt bzw. verschoben werden.

Die Stelleinheit 10.1 kann eine Stellgenauigkeit im Sub-Mikrometerbereich aufweisen, beispielsweise eine Stellgenauigkeit kleiner als 0,5 μιτι, insbesondere 0,1 μιτι oder kleiner.

Die Einstellung des Drucks im Flüssigkeitsaufnahmeraum 4.4 mittels der Stelleinheit 10.1 kann über ein optisches Messverfahren, insbesondere eine Interferometernnessung erfolgen. Durch das optische Messverfahren kann ermittelt werden, wann eine schwerkraftbedingte Verformung des Werkstücks 2 ausgeglichen ist und wie stark bzw. in welche Richtung die Stelleinheit 10.1 verstellt werden muss.

Ggf. kann auch ein Drucksensor vorgesehen sein, der den Druck im Flüssigkeitsaufnahmeraum 4.4 misst, um beispielsweise dynamische Änderungen des Drucks im Flüssigkeitsaufnahmeraum 4.4 erfassen zu können.

Fig. 1 1 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der Fixiervorrichtung 1 , welches Mittel zur Veränderung und Einstellung des Drucks im

Flüssigkeitsaufnahmeraum 4.4 aufweist. Die Aktoreinheit 10 wird in diesem Ausführungsbeispiel durch eine Stelleinheit 10.1 gebildet, die auf ein Festkörpergelenk einwirkt. Die Stelleinheit 10.1 kann insbesondere eine automatisch betätigbare Stelleinheit sein und beispielsweise durch einen Piezo-Aktor gebildet werden. Jedoch sind auch andere Aktoren denkbar, beispielsweise, elektrisch, hydraulisch oder pneumatisch betätigte Aktoren. Die Stelleinheit 10.1 kann beispielsweise eine

Verstellgenauigkeit kleiner als 10 nm, insbesondere kleiner als 1 nm aufweisen. Wie in Fig. 1 1 ersichtlich, wirkt die Stelleinheit 10.1 auf ein

Festkörpergelenk 10.4, das einstückig an der Fassungshalterung 4, insbesondere an einer Wandung des Flüssigkeitsaufnahmeraums 4.4 vorgesehen ist. Das Festkörpergelenk 10.4 kann beispielsweise dadurch gebildet sein, dass die Wandung des Flüssigkeitsaufnahmeraums 4.4 reduziert ist und ggf. durch Einkerbungen 10.4.1 , Prägungen o.ä. eine zusätzliche Flexibilität erfährt, beispielsweise ähnlich einer Membran, so dass der mit der Stelleinheit 10.1 zusammenwirkende Wandungsbereich durch die Stelleinheit 10.1 verformbar ist, um dadurch das Volumen des Flüssigkeitsaufnahmeraums 4.4 variieren zu können.

Vorzugsweise wirkt die Stelleinheit 10.1 über ein Übertragungselement 10.4.2 auf das Festkörpergelenk 10.4. Das Übertragungselement 10.4.2 kann dabei beispielsweise halbkugelartig ausgebildet sein, um eine punktuelle oder kleinflächige Anlage gegenüber dem Festkörpergelenk 10.4 zu erreichen.

Des Weiteren ist ein Drucksensor 1 1 vorgesehen, über den der Druck im Flüssigkeitsaufnahmeraum 4.4 erfassbar ist. Dadurch kann ein zeitlich sich ändernder Druck, beispielsweise aufgrund einer Leckstelle im Flüssigkeitsaufnahmeraum 4.4, erkannt werden. Darüber hinaus kann ein sich dynamisch ändernder Druck erkannt werden, beispielsweise durch ein auf das Werkstück 2 einwirkendes Bearbeitungswerkzeug.

Vorzugsweise sind die Aktoreinheit 10 und der Drucksensor 1 1 derart ausgebildet, dass eine dynamische Regelung des Drucks im

Flüssigkeitsaufnahmeraum 4.4 ermöglicht wird. So kann beispielsweise bei einem Einwirken eines Bearbeitungswerkzeugs auf das Werkstück 2 und nach dem Erfassen eines daraus resultierenden Druckanstiegs in dem Flüssigkeitsaufnahmeraum 4.4 die Aktoreinheit 10 derart angesteuert werden, dass sich ein gewisser Solldruck in dem

Flüssigkeitsaufnahmeraum 4.4 einstellt.

Die Erfindung wurde voranstehend an Ausführungsbeispielen

beschrieben. Es versteht sich, dass zahlreiche Änderungen sowie

Abwandlungen möglich sind, ohne dass dadurch der durch die

Patentansprüche definierte Schutzbereich verlassen wird.

Bezugszeichenliste

1 Fixiervorrichtung

2 Werkstück

2.1 Werkstücksverbindungsstück

3 Werkstückfassung

3a Werkstückfassungsinnenbereich

3.1 erstes Werkstückfassungselement

3.1 .1 , 3.1 .1 ' Konusfläche

3.1 .2 obere Seitenfläche

3.1 .3 untere Seitenfläche

3.1 .4 Nut

3.1 .5 Nut

3.2 zweites Werkstückfassungselement

3.2.1 unteres Werkstückfassungselementteil

3.2.2 oberes Werkstückfassungselementteil

4 Fassungshalterung

4a Aufnahmebereich

4b Schnittstellenfläche

4A unteres Fassungshalterungsteil

4B oberes Fassungshalterungsteil

4.1 Konusfläche

4.2 Anlagefläche

4.3 Vorsprung

4.4 Flüssigkeitsaufnahmeraum

4.5 Abschnitt

5 Spannmittel

5.1 Spannbolzen

5.1 .1 Vorsprung

5.2 Federelement Gaskanal

.1 Gasanschluss

.2 Gaskanalabschnitt

6.3 Ringkanal

6.4 Gaskanalabschnitt

7 Abdeckelement

8 Ausnehmung

8.1 Fluidzuführungskanal

8.2 Entlüftungskanal

9 Dichtelement

10 Aktoreinheit

10.1 Stelleinheit

10.2 Kolben

10.3 Feder

10.4 Festkörpergelenk (Membran)

10.4.1 Einkerbung

10.4.2 Übertragungselement

1 1 Drucksensor

QA Querachse

QE Querebene

WMA Werkstückfassungsmittelachse