以下、本発明の実施例を、図を参照しつつ� ��明する。
 図1は一実施例の流路切換バルブのステータ 及びロータ部分の概略斜視図である。
 ステータ11はステンレス製であり、流路が� �続されるハウジングが一体化されたもので� �る。ステータ11のステータ摺動面13はロータ1 5のロータ摺動面17と接し、ステータ11に設け� ��れた貫通穴19がロータ15に設けられた溝21と� ��通するようになっている。ロータ15は、例� �ばPEEK等の樹脂製であり、溝21が円弧状に複� �設けられている。

 ステンレス製ステータ11のステータ摺動� �13は、摺動性を高めるため、ダイヤモンド砥 粒(粒径1~3μm)を用いて研磨(鏡面加工)するの� �好ましい。

 鏡面加工したステンレス製ステータ11の� �動面13にマグネトロンスパッタリング法によ りDLCコーティングが2μm程度の厚さに形成さ� �ている。マグネトロンスパッタリング法に� �るDLCコーティングを行なうと、ドロップレ� �トなどがコーティング表面に付着しにくく� �り、平滑な表面が得られ、摩擦係数が低減� �れて、ロータの磨耗を低減させることがで� �る。DLCコーティングは、鏡面加工されたス� �ータの摺動面との密着性がよく、且つ、技� �的に安定した形成方法である。DLCコーティ� �グ後、研磨加工を施す。ステンレス製のス� �ータ基材の加工とは異なり、よりソフトな� �工条件でよく、アルミナ砥粒(粒径1~3μm)によ り、カーボンの粒塊がなくなる程度に加工す るだけでよい。

 本発明に係る流路切換バルブにおいて、� ��テータのロータとの接触平面にDLCコーティ� ��グした後に研磨加工を行ったもののSEM画像� ��図3(a)に示す。このSEM画像(×5000倍)では、DLC� ��ーティングの表面には図4(a)で示したような 凹凸が確認されない。DLCコーティング後のア ルミナ砥粒を用いた研磨加工により、平滑な 平面が形成されていることがわかる。図3(b)� �、DLCコーティングした後、研磨加工を行っ� �ものを用いて切換バルブを組み立て、ロー� �とステータとの接触平面を200回摺動させた� �、ステータの接触平面を撮影したものであ� �。図4(b)と同じ条件であるが、ロータが磨耗� ��て生じる削れカスは、ステータの接触平面� ��全く確認されない。DLCコーティング後のア� ��ミナ砥粒を用いた研磨により、摺動する相� ��(ロータ)が樹脂であっても、樹脂の磨耗は� �減されることが確認される。

 図2は流路切換バルブの全体構造を示した 概略断面図である。ステータ11には流路接続� ��23が複数設けられており、その先端は接触� �面13の貫通穴19に通じている。ロータ15はシ� �フト25の先端に取り付けられており、シャフ ト25を回転可能に支持するボディ部27内に設� �られた弾性部材29によってステータ11方向に� ��勢されている。ボディ部27はボルト31によっ てステータ11の外周部にネジ止めされている� ��ロータ15の接触平面17には溝21が形成されて� ��り(図1を参照)、ステータ11の接触平面13の貫 通穴19を連通する。流路を切り換える際、シ� ��フト25を回転させてロータ15をステータ11に� ��して回転摺動させ、貫通穴19と溝21の接続を 切り換える。この例においては、流路接続部 23が設けられる部分(ハウジング)がステータ11 と一体に構成されている。ハウジングとステ ータを一体に構成することで、流路切換バル ブの内部での流路が短くなり流路内の容積を 小さくし、試料成分の拡散を抑制しているの であるが、一般的な流路切換バルブのように ハウジングとステータを別体に構成しても良 い。

 本発明の流路切換バルブを液体クロマト� ��ラフに用いる場合には、流路接続部23には� �移動相を送液する送液装置や試料溶液を計� �するサンプルループ、試料溶液を成分ごと� �分離するカラム等が接続される。

 実施例ではステータの接触平面の貫通穴1 9が円周上に配置され、ロータの溝21がその内 の2つを連通するようになっているが、一般� �に“マルチポジションバルブ”と呼ばれる� �路切換バルブにも同様に適用することがで� �る。マルチポジションバルブにおいては、� �テータの接触面の貫通穴として中央に共通� �ものを配置し、その周囲の円周上に複数個� �配置し、ロータの溝はステータの共通の貫� �穴を円周上のいずれかの貫通穴に選択的に� �続するように半径方向に延びた溝となる。