Strömungsgenerator, Abscheidevorrichtung und Verfahren zum

Abscheiden eines Materials

Die Erfindung betrifft einen Strömungsgenerator, eine Abschei devorrichtung sowie ein Verfahren zum Abscheiden eines Materi als auf einer Oberfläche eines Objekts.

Die Anforderungen an Schichtdickenverteilung und Schichtquali tät von auf Objekten abgeschiedenen Schichten steigen stetig, vor allem im Hinblick auf die zu erreichende Homogenität. Dies gilt insbesondere für galvanisch abgeschiedene Schichten auf Bauelementen, welche beispielweise in der Radio- oder Hochfre quenztechnik zum Einsatz kommen.

Da in der Radio- und Hochfrequenztechnik oftmals hohe Ströme verwendet werden, ist der ohmsche Widerstand bzw. die Impedanz eines Bauelements, der/die von maßgeblich von der Schichtdicke abhängig ist, eine wichtige physikalische Größe des Bauele ments. Weist das Bauelement eine inhomogene Schichtdicke auf, kann dies unerwünschte Auswirkungen auf die elektrischen Ei genschaften des Bauelements haben.

Bislang erfolgt die Anströmung zu beschichtender Objekte mit einem Elektrolyten über Verteilerrohre, Eduktoren, Venturi-Dü- sen oder dergleichen. Eine Anströmung dieser Art führt zu ei ner chaotischen und unkontrollierbaren Verwirbelung des Elekt rolyten in unmittelbarer Nähe der Objekte. Die Produkte sind dadurch in der Qualität limitiert. Durch die chaotische An strömung, geringen Kontaktpunkte und nicht gerichteten elek trischen Feldlinien kann erfahrungsgemäß keine homogene

Schichtdickenverteilung garantiert werden. Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Strömungsgenerator, eine Abscheidevorrichtung und ein Verfah ren zum Abscheiden eines Materials bereitzustellen, mittels welchen verbesserte Schichten, insbesondere homogenere Schich ten, abgeschieden werden können.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch die Gegen stände der unabhängigen Patentansprüche.

Bevorzugte Weiterbildungen der Erfindung sind jeweils Gegen stand abhängiger Patentansprüche. Der erfindungsgemäße Strö mungsgenerator oder die erfindungsgemäße Abscheidevorrichtung können vorteilhaft bei dem erfindungsgemäßen Verfahren einge setzt werden.

Die Erfindung ermöglicht eine homogenere Anströmung eines zu beschichtenden Objekts mit einem Elektrolyten. Dadurch erlaubt es die Erfindung, den steigenden Anforderungen an Schichtdi ckenverteilung und Schichtqualität, insbesondere im Hinblick auf die zu erreichende Homogenität, gerecht zu werden. Folg lich lassen sich mit der Erfindung bessere, leistungsfähigere Bauteile, insbesondere Halbleiterbauteile oder -elemente, mit engeren Spezifikationen hersteilen.

Die Erfindung ist u.a. vorteilhaft verwendbar beim elektroche mischen Beschichten (Galvanisieren) von Objekten, wie zum Bei spiel von Substraten, vorwiegend mit Kupfer, aber auch mit Ni ckel, Gold, Silber und/oder Zinn. Beispielweise kann die Er findung vorteilhaft eingesetzt werden bei galvanischen oder elektrochemischen Abscheidungen auf Keramiksubstraten für ak tive oder passive Bauelemente, insbesondere solche Bauelemen te, die in der Hochfrequenztechnik und Radiofrequenztechnik eingesetzt werden, und darüber hinaus bei Abscheidungen auf Halbleitern, insbesondere Halbleitersubstraten, und Leiter platten .

Der erfindungsgemäße Strömungsgenerator weist eine Elektrolyt- zuführvorrichtung zur Zuführung eines Elektrolyten sowie eine Elektrolytverteilungsvorrichtung auf .

Im Sinne der Erfindung ist unter einem Elektrolyt eine Flüs sigkeit zu verstehen, die Ionen enthält, die sich unter Ein fluss eines elektrischen Feldes gerichtet bewegen können. Bei der vorliegenden Erfindung handelt sich es bei den Ionen vor zugsweise um Metallionen.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung weist die Elektrolytverteilungsvorrichtung wenigstens eine erste Vertei lerplatte auf.

Ferner ist es vorteilhaft, wenn die Elektrolytverteilungsvor richtung wenigstens eine weitere Verteilerplatte aufweist, welche gegenüber der ersten Verteilerplatte in einer Strö mungsrichtung des Elektrolyten stromabwärts angeordnet ist. Vorteilhafterweise sind die erste und die weitere Verteiler platte parallel zueinander angeordnet.

Durch die Verwendung zweier Verteilerplatten lässt sich eine zweistufige Homogenisierung einer Elektrolyt _S trömung realisie ren. Mithilfe der ersten Verteilerplatte kann eine Vorhomoge nisierung der Elektrolyt _S trömung erzielt werden. Mithilfe der weiteren Verteilerplatte kann dann eine Feinhomogenisierung der vorhomogenisierten Elektrolyt _S trömung erzielt werden.

Wenigstens eine der genannten Verteilerplatten, insbesondere jede der genannten Verteilerplatten, kann zum Beispiel eine mit von dem Elektrolyten durchströmbaren Öffnungen versehene Platte, vorzugsweise eine Lochplatte, sein.

Zusätzlich oder alternativ zu der weiteren Verteilerplatte kann die Elektrolytverteilungsvorrichtung wenigstens ein Ver teilerrohr aufweisen, welches gegenüber der ersten Verteiler platte in Strömungsrichtung des Elektrolyten stromaufwärts an geordnet ist. Dieses ist vorteilhafterweise mit der Elektro lytzuführvorrichtung des Strömungsgenerators verbunden.

Bei der Ausführungsvariante, bei der die Elektrolytvertei lungsvorrichtung das Verteilerrohr aufweist, kann das Verteil errohr für eine Vorhomogenisierung einer Elektrolyt _S trömung genutzt werden. Die erste Verteilerplatte und die gegebenen falls vorhandene weitere Verteilerplatte können in diesem Fall für eine weitere Homogenisierung der mithilfe des Verteiler rohrs vorhomogenisierten Elektrolyt _S trömung genutzt werden.

Außerdem ist es bevorzugt, wenn das Verteilerrohr an seiner der ersten Verteilerplatte abgewandten Seite Austrittsöffnun gen aufweist. An seiner der ersten Verteilerplatte zugewandten Seite weist das Verteilerrohr hingegen vorzugsweise keine Aus trittsöffnungen auf.

Die erfindungsgemäße Abscheidevorrichtung zum Abscheiden eines Materials auf einer Oberfläche eines Objekts weist einen er findungsgemäßen Strömungsgenerator und einen Objekthalter auf.

Eine bevorzugte Verwendung der Abscheidevorrichtung ist deren Verwendung zur galvanischen Abscheidung einer Metallschicht auf einem zu beschichtenden Objekt.

Vorteilhafterweise ist das Objekt, auf dem das Material abge schieden werden soll, lösbar an dem Objekthalter befestigbar. Der Objekthalter kann zum Beispiel als Rahmen mit einer zur Aufnahme des Objekts vorgesehenen Öffnung ausgebildet sein.

Die Abmessungen dieser Öffnung entsprechen vorzugsweise den Abmessungen des zu beschichtenden Objekts.

Des Weiteren ist es vorteilhaft, wenn der Objekthalter paral lel zu der Verteilerplatte bzw. zu den Verteilerplatten der Elektrolytverteilungsvorrichtung angeordnet ist.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung umfasst der Strömungsgenerator ein einseitig offenes Gehäuse mit einer dem Objekthalter zugewandten Ausströmöffnung. Vorteilhafter weise bildet das Gehäuse einen „Anströmkasten", der dazu dient, eine Elektrolyt _S trömung zum Objekthalter bzw., falls am Objekthalter das zu beschichtende Objekt befestigt ist, zum Objekt zu führen. Mithilfe des Gehäuses lässt sich insbeson dere eine senkrechte Anströmung des zu beschichtenden Objekts mit dem Elektrolyten erreichen.

Weiter ist es zweckmäßig, wenn das Gehäuse mit der Elektrolyt- zuführvorrichtung verbunden ist, sodass der Elektrolyt über die Elektrolytzuführvorrichtung in das Gehäuse einleitbar ist. Besagte Elektrolytverteilungsvorrichtung ist vorzugsweise in dem Gehäuse angeordnet. Vorteilhafterweise bildet ein Bereich des Gehäuses, der sich in Strömungsrichtung des Elektrolyten stromabwärts der Elektrolytverteilungsvorrichtung befindet, einen Strömungskanal, durch den eine im Gehäuse ausgebildete Elektrolyt _S trömung zum Objekthalter bzw. zum zu beschichtenden Objekt geführt wird.

In bevorzugter Weise ist das Gehäuse mit einem Abstand zum Ob jekthalter angeordnet. Dadurch kann erreicht werden, dass zwi schen den Gehäuse und dem Objekthalter ein Spalt gebildet wird, über welchen die im Gehäuse ausgebildete Elektrolyt _S trö mung nach einer Umlenkung auf einer Oberfläche des zu be schichtenden Objekts abfließen, insbesondere zu allen Seiten abfließen, kann.

Vorteilhaft ist, wenn der Abstand höchstens 2 cm, vorzugsweise höchstens 1,5 cm, besonders bevorzugt höchstens 1 cm, beträgt. Dadurch kann vermieden werden, dass es vor dem Auftreffen der Elektrolyt _S trömung auf das zu beschichtende Objekt zu einer signifikanten Aufweitung der Elektrolyt _S trömung kommt. Als be sonders vorteilhaft hat sich als Abstand ein Wert von 3 bis 5 mm herausgestellt.

Vorteilhafterweise ist die Ausströmöffnung des Gehäuses hin sichtlich ihrer Höhe und/oder Breite auf die Höhe und/oder Breite der zur Aufnahme des Objekts vorgesehenen Öffnung des Objekthalters abgestimmt ist. Dadurch lässt sich vermeiden, dass sich Strömungslinien zwischen dem Gehäuse und dem Objekt halter ausbreiten oder zusammenschnüren.

Es ist beispielsweise bevorzugt, wenn die Ausströmöffnung des Gehäuses so bemessen ist, dass deren Breite mindestens 80%, insbesondere mindestens 90%, der Breite der zur Aufnahme des Objekts vorgesehenen Öffnung des Objekthalters entspricht und/oder deren Höhe mindestens 80%, insbesondere mindestens 90%, der Höhe der zur Aufnahme des Objekts vorgesehenen Öff nung des Objekthalters entspricht. Außerdem kann vorgesehen sein, dass die Ausströmöffnung des Gehäuses so bemessen ist, dass deren Breite höchstens 120%, insbesondere höchstens 110%, der Breite der zur Aufnahme des Objekts vorgesehenen Öffnung des Objekthalters entspricht und/oder deren Höhe höchstens 120%, insbesondere höchstens 110%, der Höhe der zur Aufnahme des Objekts vorgesehenen Öffnung des Objekthalters entspricht. In bevorzugter Weise ist die Breite der Ausströmöffnung des Gehäuses gleich der Breite der zur Aufnahme des Objekts vorge sehenen Öffnung des Objekthalters und/oder ist die Höhe der Ausströmöffnung des Gehäuses gleich der Höhe der zur Aufnahme des Objekts vorgesehenen Öffnung des Objekthalters.

Ferner ist es vorteilhaft, wenn die Abscheidevorrichtung eine von dem Elektrolyten durchströmbare Anode umfasst. Diese kann zum Beispiel zwischen der Elektrolytverteilungsvorrichtung und dem Objekthalter angeordnet sein.

Die Anode kann beispielweise eine gitterförmige, insbesondere aus einem Streckmetall ausgebildete Anode. Vorzugsweise ist die Anode im Gehäuse des Strömungsgenerators angeordnet.

Vorteilhafterweise ist die Anode parallel zu der Verteiler platte bzw. zu den Verteilerplatten der Elektrolytverteilungs vorrichtung angeordnet.

Des Weiteren ist es vorteilhaft, wenn die Anode hinsichtlich ihrer Höhe und/oder Breite auf die Höhe und/oder Breite der zur Aufnahme des Objekts vorgesehenen Öffnung des Objekthal ters abgestimmt ist. Dadurch kann vermieden werden, dass sich elektrische Feldlinien zwischen der Anode und dem Objekthalter ausbreiten oder zusammenschnüren.

Es ist beispielsweise bevorzugt, wenn die Anode so bemessen ist, dass deren Breite mindestens 80%, insbesondere mindestens 90%, der Breite der zur Aufnahme des Objekts vorgesehenen Öff nung des Objekthalters entspricht und/oder deren Höhe mindes tens 80%, insbesondere mindestens 90%, der Höhe der zur Auf nahme des Objekts vorgesehenen Öffnung des Objekthalters ent spricht. Ferner kann vorgesehen sein, dass die Anode so bemes sen ist, dass deren Breite höchstens 120%, insbesondere höchs- tens 110%, der Breite der zur Aufnahme des Objekts vorgesehe nen Öffnung des Objekthalters entspricht und/oder deren Höhe höchstens 120%, insbesondere höchstens 110%, der Höhe der zur Aufnahme des Objekts vorgesehenen Öffnung des Objekthalters entspricht. In bevorzugter Weise ist die Breite der Anode gleich der Breite der zur Aufnahme des Objekts vorgesehenen Öffnung des Objekthalters und/oder ist die Höhe der Anode gleich der Höhe der zur Aufnahme des Objekts vorgesehenen Öff nung des Objekthalters.

Bei der Anode handelt es sich vorzugsweise um eine unlösliche Anode, also um eine Anode, die sich in dem Elektrolyten nicht auflöst. Als Anodenmaterial kann dabei zum Beispiel Titan oder platiniertes Titan verwendet werden. In dem Fall, dass die Anode eine unlösliche Anode ist, kann eine Metallzuführung in den Elektrolyten über eine Nachdosierung von metallhaltigen Stoffen, wie zum Beispiel von Kupferoxid oder Fe2+/Fe3+, er folgen .

Optional kann der Strömungsgenerator eine Strömungsblende zur teilweisen Abschirmung einer Elektrolyt _S trömung und/oder zur teilweisen Abschirmung von der Anode ausgehender elektrischer Feldlinien aufweisen. Vorzugweise ist die Strömungsblende zwi schen der Anode und dem Objekthalter angeordnet. Die Strö mungsblende ermöglicht es, Besonderheiten des Objektlayouts auszugleichen, um eine homogene Schichtdickenverteilung auf dem Objekt zu erreichen.

Des Weiteren ist es vorteilhaft, wenn der Objekthalter eine Mehrzahl von Kontaktierungspunkten zur elektrischen Kontaktie rung des Objekts, insbesondere zur elektrischen Kontaktierung eines Rands des Objekts, aufweist. Die Kontaktierungspunkte sind in bevorzugter Weise äquidistant über einen Rand einer zur Aufnahme des Objekts vorgesehenen Öffnung des Objekthal ters verteilt angeordnet. Dadurch lässt sich am Objekthalter bzw. an einem an dem Objekthalter befestigten Objekt ein homo gener Verlauf elektrischer Feldlinien erreichen, was wiederum eine homogene Beaufschlagung des Objekts mit einem elektri schen Strom der im Elektrolyt enthaltenen Ionen ermöglicht.

Grundsätzlich kann vorgesehen sein, dass der Objekthalter nur an einer seiner beiden Seiten die Kontaktierungspunkte auf weist. Vorzugsweise ist der Objekthalter an jeder seiner bei den Seiten mit Kontaktierungspunkten ausgestattet. Insbeson dere kann an beiden Seiten des Objekthalters die gleiche An zahl von Kontaktierungspunkten vorgesehen sein, zum Beispiel jeweils acht Kontaktierungspunkte pro Seite.

Die Abscheidevorrichtung kann ferner ein Überlaufbecken mit einem Überlaufwehr aufweisen. In bevorzugter Weise ist der Strömungsgenerator im Überlaufbecken angeordnet. Das Überlauf becken kann mit einem Elektrolyten gefüllt sein, insbesondere bis zum Rand des Überlaufwehrs .

Des Weiteren kann die Abscheidevorrichtung ein Abflussrohr, insbesondere ein mit Löchern versehenes Abflussrohr, zum Ab führen des Elektrolyten aus dem Überlaufbecken aufweisen. Vor teilhafterweise ist das Abflussrohr unter dem Objekthalter an geordnet. Die Längserstreckung des Abflussrohrs verläuft vor zugsweise in horizontaler Richtung. Ferner ist es bevorzugt, wenn das Abflussrohr und der Objekthalter so angeordnet sind, dass sie eine gemeinsame Symmetrieebene haben.

Mithilfe des Überlaufbeckens und des Abflussrohrs kann eine homogene, insbesondere allseitige Abströmung des Elektrolyten von dem Objekt realisiert werden, was wiederum homogenes, zum Objekt gerichtetes Nachströmen des Elektrolyten ermöglicht. Bei einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung ist vorgese hen, dass die Abscheidevorrichtung ein Auffangbecken umfasst, in welchem zumindest ein Teil des Überlaufbeckens angeordnet ist. Das Auffangbecken kann dazu genutzt werden, aus dem Über laufbecken ausgetretenen Elektrolyt aufzufangen, um diesen er neut verwenden zu können.

Zusätzlich zu dem Auffangbecken kann die Abscheidevorrichtung eine erste, mit dem Auffangbecken verbundene Pumpe zum Abpum pen des Elektrolyten aus dem Auffangbecken sowie zum Fördern des aus dem Auffangbecken abgepumpten Elektrolyten zu der Elektrolytzuführvorrichtung des Strömungsgenerators aufweisen.

Außerdem kann die Abscheidevorrichtung eine zweite, mit dem Abflussrohr verbundene Pumpe zum Abpumpen des Elektrolyten aus dem Abflussrohr sowie zum Fördern des aus dem Abflussrohr ab gepumpten Elektrolyten in das Auffangbecken aufweisen.

Anstatt besagte zweite Pumpe zum Abführen des Elektrolyten aus dem Abflussrohr zu verwenden, sieht eine alternative Ausfüh rungsvariante vor, den Elektrolyten ohne Pumpe mithilfe der Schwerkraft über eine Fluidleitung aus dem Abflussrohr abzu führen und gegebenenfalls in das Auffangbecken zu leiten. Zum Einstellen des Volumenstroms der über das Abflussrohr abge führten Elektrolyt _S trömung kann in diesem Fall beispielsweise ein Ventil, insbesondere ein Regelventil, verwendet werden.

Optional kann die Abscheidevorrichtung zwei seitlich neben dem Objekthalter angeordnete Abflussrohre zum Abführen des Elekt rolyten aus dem Überlaufbecken umfassen. Die Längserstreckung dieser beiden Abflussrohre verläuft vorzugsweise in vertikaler Richtung. Die Abscheidevorrichtung kann für diese beiden Ab flussrohre eine gemeinsame, mit diesen beiden Abflussrohren verbundene Pumpe oder jeweils eine eigene Pumpe, welche mit dem jeweiligen dieser beiden Abflussrohre verbunden ist, auf weisen .

Vorteilhafterweise umfasst die Abscheidevorrichtung für we nigstens eine ihrer Pumpen, vorzugweise für jede ihrer Pumpen, einen Durchflusssensor zum Messen eines Volumenstroms einer die jeweilige Pumpe durchströmenden Elektrolyt _S trömung .

Bei einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung weist die Abscheidevorrichtung einen weiteren Strömungsgenerator auf, der vorzugsweise baugleich zu dem erstgenannten Strömungsgene rator ausgebildet ist. Vorteilhafterweise ist der Objekthalter zwischen den beiden Strömungsgeneratoren angeordnet. Besonders bevorzugt ist es, wenn die beiden Strömungsgeneratoren spie gelsymmetrisch bezüglich des Objekthalters angeordnet sind. Durch die Verwendung zweier Strömungsgeneratoren ist es mög lich, das Objekt zeitgleich von beiden Seiten zu beschichten.

Des Weiteren kann die Abscheidevorrichtung mindestens eine Spannungsquelle, insbesondere mindestens eine Gleichspannungs quelle, umfassen. Vorzugsweise umfasst die Abscheidevorrich tung für jeden ihrer Strömungsgeneratoren eine eigene Span nungsquelle .

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zum Abscheiden eines Mate rials auf einer Oberfläche eines Objekts wird ein Elektrolyt an die Oberfläche des Objekts herangeführt.

Vorteilhafterweise wird das erfindungsgemäße Verfahren mit hilfe der erfindungsgemäßen Abscheidevorrichtung durchgeführt.

Das Objekt ist vorzugsweise ein scheibenförmiges Objekt, ins besondere mit quadratischer Form. Besonders bevorzugt ist es, wenn das Objekt während der Durchführung des Verfahrens verti kal ausgerichtet, zum Beispiel mithilfe des zuvor erwähnten Objekthalters .

Beispielsweise kann das Objekt ein Substrat, insbesondere ein Keramiksubstrat, sein oder umfassen. In bevorzugter Weise ist oder umfasst das Objekt ein Substrat mit darauf angeordneten aktiven oder passiven Elementen, insbesondere Halbleiterbau elementen. Zweckmäßigerweise werden die Elemente nach der Ab scheidung vereinzelt.

Das Material, das bei dem Verfahren auf besagter Oberfläche des Objekts abgeschieden wird, kann insbesondere ein metalli sches Material sein. Des Weiteren kann das Objekt eine elek trisch leitfähige Grundschicht, insbesondere metallische

Grundschicht, aufweisen, auf welche das Material abgeschieden wird. Die Grundschicht kann zum Beispiel Kupfer-, Nickel-, Gold-, Silber- und/oder Zinn enthalten.

Bei einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist vor gesehen, dass eine parallel oder im Wesentlichen parallel zu einer Flächennormalen der Oberfläche des Objekts ausgerichtete Strömung des Elektrolyten ausgebildet wird. In bevorzugter Weise wird diese Strömung mithilfe des erfindungsgemäßen Strö mungsgenerators ausgebildet.

Die Formulierung „parallel oder im Wesentlichen parallel zu einer Flächennormalen" im voranstehenden Absatz kann im Sinne der Erfindung insbesondere so verstanden werden, dass die ge nannte Strömung des Elektrolyten in einem Winkel von höchstens 10°, vorzugsweise höchstens 5°, zu der Flächennormalen ausge richtet ist. Der Elektrolyt wird vorzugsweise mittels der genannten Strö mung des Elektrolyten der Elektrolyt an die Oberfläche des Ob jekts herangeführt.

Es ist vorteilhaft, wenn die genannte Strömung des Elektroly ten an der Oberfläche des Objekts umgelenkt und entlang der Oberfläche von dem Objekt weggeführt wird, vorzugsweise paral lel oder im Wesentlichen parallel zu der Oberfläche des Ob jekts. Bevorzugt wird die umgelenkte Strömung zu allen Seiten von dem Objekt weggeführt.

Analog zu der obigen Definition kann die Formulierung „paral lel oder im Wesentlichen parallel zu der Oberfläche des Ob jekts" im Sinne der Erfindung insbesondere so verstanden wer den, dass die genannte Strömung des Elektrolyten nach der Um lenkung in einem Winkel von höchstens 10°, vorzugsweise höchs tens 5°, zu der Oberfläche ausgerichtet ist.

Weiter ist es vorteilhaft, wenn ein Teil der genannten Strö mung des Elektrolyten nach oben umgelenkt wird und eine nach oben gerichtete Teilströmung bildet und ein weiterer Teil der genannten Strömung des Elektrolyten nach unten umgelenkt wird und eine nach unten gerichtete Teilströmung bildet.

Der Volumenstrom der nach unten gerichteten Teilströmung wird vorzugsweise so eingestellt, dass der Volumenstrom der nach unten gerichteten Teilströmung gleich oder im Wesentlichen gleich dem Volumenstrom der nach oben gerichteten Teilströmung ist .

Im Sinne der Erfindung kann die Formulierung „gleich oder im Wesentlichen gleich" insbesondere so verstanden werden, dass zwischen den miteinander verglichenen Größen ein Unterschied von höchstens 10%, vorzugsweise höchstens 5%, besteht. Der Volumenstrom der nach unten gerichteten Teilströmung kann beispielsweise mithilfe der zuvor erwähnten ersten Pumpe ein gestellt werden, insbesondere durch Einstellen der Förderleis tung der Pumpe.

Außerdem ist es vorteilhaft, wenn ein Teil der genannten Strö mung des Elektrolyten seitlich umgelenkt wird und eine - in Frontalansicht auf besagte Oberfläche des Objekts betrachtet - nach links gerichtete Teilströmung bildet und ein weiterer Teil der genannten Strömung des Elektrolyten seitlich umge lenkt und eine - in Frontalansicht auf besagte Oberfläche des Objekts betrachtet - nach rechts gerichtete Teilströmung bil det .

Vorzugsweise werden der Volumenstrom der nach links gerichte ten Teilströmung und der Volumenstrom der nach rechts gerich teten Teilströmung, insbesondere mithilfe von Pumpen, so ein gestellt, dass sie gleich oder im Wesentlichen gleich dem Vo lumenstrom der nach oben gerichteten Teilströmung sind.

Bei einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung ist vorgese hen, dass das Objekt sowohl an seiner Vorderseite als auch an seiner Rückseite von einer zum Objekt ausgerichteten Elektro lytströmung angeströmt wird. Dadurch kann erreicht werden, dass das Objekt beidseitig beschichtet wird, was insbesondere dann vorteilhaft ist, wenn das Objekt sowohl an seiner Vorder seite als auch an seiner Rückseite zu beschichtende Bauele mente enthält .

Vorteilhafterweise werden der Volumenstrom der vorderseitigen Elektrolyt _S trömung und der Volumenstrom der rückseitigen

Elektrolyt _S trömung so eingestellt, dass diese beiden Volumen ströme gleich oder im Wesentlichen gleich sind. Hierdurch kann erreicht werden, dass das Objekt beidseitig mit dem gleichen Druck beaufschlagt wird. So kann selbst im Falle von hohen Vo lumenströmen vermieden werden, dass es aufgrund von Druckun terschieden zwischen der Vorder- und der Rückseite zu einer Beschädigung, beispielsweise einem Bruch, des Objekts kommt.

Weiter kann vorgesehen sein, dass die Vorderseite des Objekts mit einer anderen elektrischen Stromstärke beaufschlagt wird als die Rückseite des Objekts, zum Beispiel indem zwischen der Anode des erstgenannten Strömungsgenerators und dem Objekthal ter eine andere Spannung angelegt wird als zwischen der Anode des weiteren Strömungsgenerators und dem Objekthalter. Dies kann insbesondere dann vorteilhaft sein, wenn die Vorderseite und die Rückseite des Objekts unterschiedlich ausgestaltet sind und daher auch unterschiedlich beschichtet werden sollen.

In bevorzugter Weise handelt es sich bei dem Verfahren um ein galvanisches Beschichtungsverfahren, bei dem eine Metall schicht, insbesondere eine Kupfer-, Nickel-, Gold-, Silber und/oder Zinnschicht, auf dem Objekt abgeschieden wird.

Im Weiteren wird die Erfindung anhand von Figuren näher erläu tert. Soweit zweckdienlich, sind hierbei gleiche oder gleich wirkende Elemente mit gleichen Bezugszeichen versehen. Die Er findung ist nicht auf die in den Figuren dargestellten Ausfüh rungen beschränkt - auch nicht in Bezug auf funktionale Merk male. Die bisherige Beschreibung und die nachfolgende Figuren beschreibung enthalten zahlreiche Merkmale, die in den abhän gigen Ansprüchen teilweise zu mehreren zusammengefasst wieder gegeben sind. Diese Merkmale wird der Fachmann jedoch auch einzeln betrachten und zu sinnvollen weiteren Kombinationen zusammenfügen. Insbesondere sind diese Merkmale jeweils ein zeln und in beliebiger geeigneter Kombination mit dem erfin dungsgemäßen Strömungsgenerator und/oder der erfindungsgemäßen Abscheidevorrichtung und/oder dem erfindungsgemäßen Verfahren kombinierbar .

Es zeigen:

Figur 1 eine schematische Darstellung einer Abscheidevorrich tung gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der Er findung;

Figur 2 eine Frontalansicht eines Objekthalters der Abschei devorrichtung und eines zu beschichtenden Objekts, welches lösbar am Objekthalter befestigt ist;

Figur 3 eine schematische Darstellung einer Abscheidevorrich tung gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der Er findung;

Figur 4 eine schematische Darstellung einer Abscheidevorrich tung gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel der Er findung .

Figur 1 zeigt eine Abscheidevorrichtung 1 in einer schemati schen Darstellung. Die Abscheidevorrichtung 1 dient zum Ab scheiden eines Materials, insbesondere zum galvanischen Ab scheiden einer Metallschicht, auf einer Oberfläche eines Ob jekts .

Die Abscheidevorrichtung 1 umfasst zwei baugleich zueinander ausgebildete Strömungsgeneratoren 2a, 2b sowie einen vertikal aufgehängten Objekthalter 3, an dem ein zu beschichtendes Ob jekt 4 lösbar befestigt ist. Wie aus Figur 1 ersichtlich ist, sind die beiden Strömungsgeneratoren 2a, 2b spiegelsymmetrisch bezüglich des Objekthalters 3 angeordnet. Nachfolgend werden die beiden Strömungsgeneratoren 2a, 2b zur begrifflichen Un terscheidung zum Teil als erster Strömungsgenerator 2a und zweiter Strömungsgenerator 2b bezeichnet.

Bei dem zu beschichtenden Objekt 4 handelt sich im vorliegen den Ausführungsbeispiel um ein Substrat, insbesondere um ein Keramiksubstrat, mit darauf angeordneten Elementen, wie zum Beispiel aktiven oder passiven Halbleiterbauelementen, und ei ner dünnen, das Substrat umgebenden metallischen Grundschicht. Das zu beschichtende Objekt hat eine quadratische Form und weist eine Kantenlänge von circa 200 mm sowie eine Dicke zwi schen 200 pm und 1000 pm auf. Besagte metallische Grundschicht (in Fachkreisen teilweise auch als „Saat _S chicht" bezeichnet) umgibt das Substrat vollflächig, auch über die Substratkanten hinweg .

Vorliegend handelt es sich bei der metallischen Grundschicht um eine Kupferschicht, insbesondere um eine maskierte und strukturierte Kupferschicht. Die metallische Grundschicht wird mithilfe der Abscheidevorrichtung 1 in einem galvanischen Ab scheideprozess verstärkt. Das heißt, im vorliegenden Ausfüh rungsbeispiel wird mithilfe der Abscheidevorrichtung 1 Kupfer auf die bestehende Kupferschicht, welche die metallische

Grundschicht bildet, abgeschieden.

Es versteht sich von selbst, dass die zuvor genannten Merkmale des Objekts 4 lediglich als exemplarisch anzusehen sind und die Abscheidevorrichtung 1 grundsätzlich zur Beschichtung an derer Arten von Objekten geeignet ist.

Zusätzlich zu den beiden Strömungsgeneratoren 2a, 2b umfasst die Abscheidevorrichtung 1 ein Überlaufbecken 5 mit einem Überlaufwehr 6. Beide Strömungsgeneratoren 2a, 2b sind im Überlaufbecken 5 angeordnet. Figur 1 zeigt die Abscheidevor richtung 1 in einem Zustand, in dem das Überlaufbecken 5 bis zum Rand seines Überlaufwehrs 6 mit einem Elektrolyten 7 ge füllt ist .

Weiter umfasst die Abscheidevorrichtung 1 ein Auffangbecken 8, in welchem das Überlaufbecken 5 angeordnet ist. Darüber hinaus umfasst die Abscheidevorrichtung 1 ein mit Löchern versehenes Abflussrohr 9, dessen Längserstreckung in horizontaler Rich tung verläuft und das derart unter dem Objekthalter 3 angeord net ist, dass das Abflussrohr 9 und der Objekthalter 3 eine gemeinsame Symmetrieebene aufweisen.

Die beiden Strömungsgeneratoren 2a, 2b der Abscheidevorrich tung 1 umfassen jeweils ein beabstandet zum Objekthalter 3 an geordnetes, einseitig offenes Gehäuse 10 mit einer dem zu be schichtenden Objekt 4 zugewandten Ausströmöffnung 11. Außerdem umfassen die beiden Strömungsgeneratoren 2a, 2b jeweils eine Elektrolytzuführvorrichtung 12 sowie eine Elektrolyt _V ertei lungsvorrichtung 13.

Die Elektrolytverteilungsvorrichtung 13 des jeweiligen Strö mungsgenerators 2a, 2b umfasst eine erste Verteilerplatte 14 und eine weitere Verteilerplatte 15, wobei die beiden Vertei lerplatten 14, 15 parallel zueinander sowie parallel zum Ob jekthalter 3 angeordnet sind und als Lochplatten mit vom

Elektrolyten 7 durchströmbaren Öffnungen ausgebildet sind.

Wie aus Figur 1 ersichtlich ist, sind die beiden Verteiler platten 14, 15 des jeweiligen Strömungsgenerators 2a, 2b in dessen Gehäuse 10 angeordnet. Die beiden Verteilerplatten 14, 15 des jeweiligen Strömungsgenerators 2a, 2b unterteilen des sen Gehäuse 10 in eine erste Kammer 16, eine zweite Kammer 17 sowie einen Strömungskanal 18, wobei sich die erste Kammer 16 von einer parallel zur Ausströmöffnung 11 angeordneten Seiten wand 19 des Gehäuses 10 bis zur ersten Verteilerplatte 14 er streckt, sich die zweite Kammer 17 von der ersten Verteiler platte 14 bis zur zweiten Verteilerplatte 15 erstreckt und sich der Strömungskanal 18 ab der zweiten Verteilerplatte 15 über den restlichen Teil des Gehäuses 10 erstreckt.

Die Abscheidevorrichtung 1 weist außerdem in jedem der beiden Gehäuse 10 eine von dem Elektrolyten 7 durchströmbare, gitter förmige Anode 20 auf, die zwischen der Elektrolytverteilungs vorrichtung 13 des jeweiligen Strömungsgenerators 2a, 2b und dem Objekthalter 3 angeordnet ist.

Sowohl die jeweilige Anode 20 als auch die Ausströmöffnung 11 des jeweiligen Gehäuses 10 sind so bemessen, dass deren Breite und Höhe in etwa der Breite und Höhe des zu beschichteten Ob jekts 4 entsprechen. Der Begriff „Breite" bezieht sich vorlie gend auf eine Erstreckung senkrecht zur Zeichenebene der Fi gur 1.

Ferner umfasst die Abscheidevorrichtung 1 eine erste Pumpe 21 zum Abpumpen des Elektrolyten 7 aus dem Auffangbecken 8 sowie zum Fördern des aus dem Auffangbecken 8 abgepumpten Elektroly ten 7 zu der Elektrolytzuführvorrichtung 12 des jeweiligen Strömungsgenerators 2a, 2b. Darüber hinaus umfasst die Ab scheidevorrichtung 1 eine zweite Pumpe 22 zum Abpumpen des Elektrolyten 7 aus dem Abflussrohr 9 sowie zum Fördern des aus dem Abflussrohr 9 abgepumpten Elektrolyten 7 in das Auffangbe cken 8. Die erste Pumpe 21 ist über eine Fluidleitung 23 mit dem Auffangbecken 8 und über eine weitere Fluidleitung 23 mit den Elektrolytzuführvorrichtungen 12 der beiden Strömungsgene ratoren 2a, 2b verbunden, während die zweite Pumpe 22 über eine Fluidleitung 23 mit dem Abflussrohr 9 und über eine wei tere Fluidleitung 23 mit dem Auffangbecken 8 verbunden ist. Des Weiteren umfasst die Abscheidevorrichtung 1 für jede ihrer Pumpen 21, 22 einen Durchflusssensor 24 zum Messen eines Volu menstroms einer die jeweilige Pumpe 21, 22 durchströmenden Elektrolyt _S trömung .

Außerdem umfasst die Abscheidevorrichtung 1 für jeden ihrer Strömungsgeneratoren 2a, 2b eine Gleichspannungsquelle 25. Die jeweilige Gleichspannungsquelle 25 ist, wie aus Figur 1 er sichtlich ist, über elektrische Leitungen 26 mit der im zuge hörigen Strömungsgenerator 2a, 2b angeordneten Anode 20 sowie mit dem Objekthalter 3 verbunden.

Weiterhin weist der jeweilige Strömungsgenerator 2a, 2b in seinem Gehäuse 10 eine Strömungsblende 27 auf, welche zwischen der im Gehäuse 10 des jeweiligen Strömungsgenerators 2a, 2b angeordneten Anode 20 und dem Objekthalter 3 angeordnet ist und zur teilweisen Abschirmung einer Elektrolyt _S trömung und zur teilweisen Abschirmung von der Anode 20 ausgehender elek trischer Feldlinien dient.

Figur 2 zeigt den zuvor erwähnten Objekthalter 3 sowie das zu beschichtende Objekt 4, das lösbar am Objekthalter 3 befestigt ist, in einer Frontalansicht.

Der Objekthalter 3 ist als Rahmen ausgebildet und weist eine zur Aufnahme des Objekts 4 vorgesehene Öffnung auf, welche in Figur 2 jedoch nicht sichtbar ist, weil darin das zu beschich tende Objekt 4 angeordnet ist.

In Figur 2 ist eine Seite des Objekthalters 3 sichtbar (nach folgend als Vorderseite des Objekthalters 3 bezeichnet), wäh rend die andere Seite des Objekthalters 3 dem Betrachter abge wandt ist. Folglich ist in Figur 2 auch nur eine Seite des zu beschichtenden Objekts 4 (nachfolgend als Vorderseite des Ob jekts 4 bezeichnet) und deren zu beschichtende Oberfläche 28 sichtbar .

Der Objekthalter 3 weist an seiner Vorderseite mehrere Kontak tierungspunkte 29, im vorliegenden Fall acht Kontaktierungs punkte 29, zur elektrischen Kontaktierung des Objekts 4 auf, welche an der Vorderseite des Objekts 4 mit dessen Rand 30 in elektrischem Kontakt sind. An seiner in Figur 2 nicht sichtba ren Rückseite weist der Objekthalter 3 die gleiche Anzahl von Kontaktierungspunkten 29 zur elektrischen Kontaktierung des Objekts 3 auf, welche an der Rückseite des Objekts 4 mit des sen Rand 30 in elektrischem Kontakt sind. Die vorderseitigen Kontaktierungspunkte 29 sind mit einer der beiden Gleichspan nungsquellen 25 elektrisch verbunden, während die rückseitigen Kontaktierungspunkte 29 mit der anderen der beiden Gleichspan nungsquellen 25 elektrisch verbunden sind.

Sowohl an der Vorderseite als auch an der Rückseite des Ob jekthalters 3 sind die Kontaktierungspunkte 29 äquidistant über den Rand der zur Aufnahme des Objekts 4 vorgesehenen Öff nung des Objekthalters 3 und somit auch äquidistant über den Rand 30 des Objekts 4 verteilt angeordnet.

Unter Bezugnahme auf Figur 1 wird nachfolgend die Arbeitsweise der Abscheidevorrichtung 1 beschrieben. Da, wie zuvor erwähnt, die beiden Strömungsgeneratoren 2a, 2b baugleich zueinander ausgebildet sind, wird die Arbeitsweise der Abscheidevorrich tung 1 der Einfachheit halber exemplarisch anhand eines der beiden Strömungsgeneratoren 2a, 2b, genauer gesagt anhand des ersten Strömungsgenerators 2a, beschrieben. Die nachfolgenden Ausführungen gelten analog für den zweiten Strömungsgenerator 2b. Das heißt, es werden beide Strömungsgeneratoren 2a, 2b ge nutzt, um das zu beschichtende Objekt 4 mit dem Elektrolyten 7 anzuströmen, sodass das Objekt 4 beidseitig homogen beschich tet wird.

Mithilfe der ersten Pumpe 21 wird über die Elektrolytzuführ- vorrichtung 12 des ersten Strömungsgenerators 2a der Elektro lyt 7 in das Gehäuse 10 des ersten Strömungsgenerators 2a, ge nauer gesagt in die erste Kammer 16 des Gehäuses 10, eingelei tet. In der ersten Kammer 16 bildet sich eine Elektrolyt _S trö mung 31, welche die erste Verteilerplatte 14 durchströmt und dabei durch die erste Verteilerplatte 14 vorhomogenisiert wird. Die vorhomogenisierte Elektrolyt _S trömung 31 durchströmt dann die zweite Kammer 17 des Gehäuses 10 sowie die weitere Verteilerplatte 15, wobei die Elektrolyt _S trömung 31 beim

Durchströmen der weiteren Verteilerplatte 15 weiter homogeni siert wird. Aus dem Strömungskanal 18 des Gehäuses 10 strömt die homogenisierte Elektrolyt _S trömung 31 dann über die Aus strömöffnung 11 des Gehäuses 10 senkrecht oder im Wesentlichen senkrecht auf das zu beschichtende Objekt 4.

An der zu beschichtenden Oberfläche 28 des Objekts 4 wird die Elektrolyt _S trömung 31 umgelenkt und parallel oder im Wesentli chen parallel zu besagter Oberfläche 28 vom Objekt 4 wegge führt. Ein Teil der Elektrolyt _S trömung 31 wird nach oben umge lenkt und bildet eine nach oben gerichtete Teilströmung 32a. Ein weiterer Teil der Elektrolyt _S trömung 31 wird nach unten umgelenkt und bildet eine nach unten gerichtete Teilströmung 32b. Besagte Teilströmungen 32a, 32b fließen über einen Spalt zwischen dem Objekthalter 3 und dem Gehäuse 10 des ersten Strömungsgenerators 2a ab.

Der Volumenstrom der nach unten gerichteten Teilströmung 32b wird so eingestellt, dass der Volumenstrom der nach unten ge richteten Teilströmung 32b gleich dem Volumenstrom der nach oben gerichteten Teilströmung 32a ist. Dies kann beispiels weise dadurch erreicht werden, dass die Förderleistungen der beiden Pumpen 21, 22 so eingestellt werden, dass die beiden Durchflusssensoren 24 den gleichen Volumenstrom messen.

Die nach unten gerichtete Teilströmung 32b fließt über die Lö cher des Abflussrohres 9 in das Abflussrohr 9 hinein, während die nach oben gerichtete Teilströmung 32a über das Überlauf wehr 6 aus dem Überlaufbecken 5 herausfließt. Mithilfe der zweiten Pumpe 22 wird der Elektrolyt 7 aus dem Abflussrohr 9 abgepumpt und in das Auffangbecken 8 gefördert. Mithilfe der ersten Pumpe 21 wird der im Auffangbecken 8 befindliche Elekt rolyt 7 aus dem Auffangbecken 8 abgepumpt und zur Elektrolyt- zuführvorrichtung 12 des ersten Strömungsgenerators 2a geför dert .

Zwischen der im Gehäuse 10 des ersten Strömungsgenerators 2a angeordneten Anode 20 und dem Objekthalter 3 liegt eine elekt rische Spannung an. Da das Objekt 4 über die Kontaktierungs punkte 29 mit dem Objekthalter 3 in elektrischem Kontakt steht, liegt dieselbe Spannung auch zwischen besagter Anode 20 und dem Objekt 4 an. Folglich gibt es zwischen besagter Anode 20 und dem Objekthalter 3 ein elektrisches Feld, durch welches im Elektrolyten 7 enthaltene Ionen zum zu beschichtenden Ob jekt 4 geführt werden. Aufgrund der zuvor beschriebenen Ausge staltung der Anode 20 und des Objekthalters 3 weist dieses elektrische Feld homogene elektrische Feldlinien auf, sodass das Objekt 4 mit einem homogenen Ionenstrom beaufschlagt wird.

Die Beschreibung der nachfolgenden Ausführungsbeispiele be schränkt sich primär auf die Unterschiede zum vorhergehenden Ausführungsbeispiel, auf das bezüglich gleicher Merkmale und Funktionen verwiesen wird. Merkmale des vorhergehenden Ausfüh rungsbeispiels sind in den nachfolgenden Ausführungsbeispielen übernommen, ohne dass sie erneut beschrieben werden.

Figur 3 zeigt in einer schematischen Darstellung eine zweite Abscheidevorrichtung 33 zum Abscheiden eines Materials, insbe sondere zum galvanischen Abscheiden einer Metallschicht, auf einer Oberfläche eines Objekts.

Auch diese Abscheidevorrichtung 33 weist einen ersten und ei nen zweiten Strömungsgenerator 2a, 2b auf, wobei die beiden Strömungsgeneratoren 2a, 2b baugleich zueinander ausgebildet sind .

Im vorliegenden Ausführungsbeispiel weist die Elektrolytver teilungsvorrichtung 13 des jeweiligen Strömungsgenerators 2a, 2b nicht zwei Verteilerplatten, sondern nur eine einzige Ver teilerplatte 14 auf. Zusätzlich zu ihrer Verteilerplatte 14 weist die Elektrolytverteilungsvorrichtung 13 des jeweiligen Strömungsgenerators 2a, 2b ein Verteilerrohr 34 auf, welches zwischen der Verteilerplatte 14 und der parallel zur Aus strömöffnung 11 angeordneten Seitenwand 19 des Gehäuses 10 an geordnet ist und auf ihrer der Verteilerplatte 14 abgewandten Seite bzw. der Seitenwand 19 zugewandten Seite mehrere Aus trittsöffnungen aufweist. Das Verteilerrohr 34 des jeweiligen Strömungsgenerators 2a, 2b ist mit dessen Elektrolytzuführvor- richtung 12 verbunden.

Da die beiden Strömungsgeneratoren 2a, 2b der Abscheidevor richtung 33 baugleich zueinander ausgebildet sind, wird die Arbeitsweise der Abscheidevorrichtung 33 der Einfachheit hal ber exemplarisch anhand eines der beiden Strömungsgeneratoren 2a, 2b, genauer gesagt anhand des ersten Strömungsgenerators 2a, beschrieben. Die nachfolgenden Ausführungen gelten analog für den zweiten Strömungsgenerator 2b.

Mithilfe der ersten Pumpe 21 der Abscheidevorrichtung 33 wird über die Elektrolytzuführvorrichtung 12 des ersten Strömungs generators 2a der Elektrolyt 7 in das Verteilerrohr 34 des ersten Strömungsgenerators 2a eingeleitet. Der Elektrolyt 7 tritt über die Austrittsöffnungen des Verteilerrohrs 34 aus dem Verteilerrohr 34 aus, wobei eine vorhomogenisiert Elektro lytströmung 31 ausgebildet wird. Diese vorhomogenisiert Elekt rolytströmung 31 trifft auf die Seitenwand 19 des Gehäuses 10 des ersten Strömungsgenerators 2a, wird an dieser umgelenkt und strömt von der Seitenwand 19 weiter zur Verteilerplatte 14. Die Elektrolyt _S trömung 31 durchströmt dann die Verteiler platte 14, wobei die Elektrolyt _S trömung 31 beim Durchströmen der Verteilerplatte 14 weiter homogenisiert wird. Hinter der Verteilerplatte 14 strömt die homogenisierte Elektrolyt _S trö mung 31 dann über die Ausströmöffnung 11 des Gehäuses 10 senk recht oder im Wesentlichen senkrecht auf das zu beschichtende Objekt 4. Im Übrigen entspricht die Arbeitsweise der Abschei devorrichtung aus Figur 3 der Abscheidevorrichtung aus Fi gur 1.

Figur 4 zeigt in einer schematischen Darstellung eine dritte Abscheidevorrichtung 35 zum Abscheiden eines Materials, insbe sondere zum galvanischen Abscheiden einer Metallschicht, auf einer Oberfläche eines Objekts.

Auch diese Abscheidevorrichtung 35 weist ein Überlaufbecken 5 sowie ein Auffangbecken 8 auf, wobei im vorliegenden Ausfüh rungsbeispiel nur ein Teil des Überlaufbeckens 5, genauer ge sagt nur der obere Teil des Überlaufbeckens 5, innerhalb des Auffangbeckens 8 angeordnet ist. Die Abscheidevorrichtung 35 aus Figur 4 weist nicht zwei Pum pen, sondern nur eine einzige Pumpe 21 auf. Zusätzlich weist die Abscheidevorrichtung 35 einen Speicher 36 und ein Ventil 37 auf.

Besagte Pumpe 21 ist eingangsseitig über eine Fluidleitung 23 mit dem Speicher 36 und ausgangsseitig über eine weitere Flu idleitung 23 mit den Elektrolytzuführvorrichtungen 12 der bei den Strömungsgeneratoren 2a, 2b verbunden. Der Speicher 36 ist eingangsseitig über eine Fluidleitung 23 mit dem Auffangbecken 8 und über eine weitere Fluidleitung 23, an welche ein Durch flusssensor 38 angeschlossen ist, mit dem Abflussrohr 9 ver bunden .

Im vorliegenden Ausführungsbeispiel werden der im Auffangbe cken 8 befindliche Elektrolyt 7 sowie der im Abflussrohr 9 be findliche Elektrolyt 7 mithilfe der Schwerkraft aus dem Auf fangbecken 8 bzw. aus dem Abflussrohr 9 abgeführt. Mithilfe des besagten Ventils 37, genauer gesagt durch eine entspre chende Einstellung der Ventilstellung, lässt sich erreichen, dass der Volumenstrom einer das Überlaufbecken 5 über das Ab flussrohr 9 verlassenden Teilströmung des Elektrolyten 7 gleich dem Volumenstrom einer das Überlaufbecken 5 über das Überlaufwehr 6 verlassenden Teilströmung des Elektrolyten 7 ist .

Ob der Volumenstrom der das Überlaufbecken 5 über das Abfluss rohr 9 verlassenden Teilströmung gleich dem Volumenstrom der das Überlaufbecken 5 über das Überlaufwehr 6 verlassenden Teilströmung ist, lässt sich mittels der beiden Durchfluss sensoren 24, 38 der Abscheidevorrichtung 35 feststellen. Misst der Durchflusssensor 38, der an die Fluidleitung 23 zwischen dem Speicher 36 und dem Abflussrohr 9 angeschlossen ist, einen halb so großen Wert wie der andere Durchflusssensor 24, der an die Fluidleitung 23 zwischen der Pumpe 21 und den Elektrolyt- zuführvorrichtungen 12 der beiden Strömungsgeneratoren 2a, 2b angeschlossen ist, so ist der Volumenstrom der das Überlaufbe cken 5 über das Abflussrohr 9 verlassenden Teilströmung gleich dem Volumenstrom der das Überlaufbecken 5 über das Überlauf wehr 6 verlassenden Teilströmung.

Mithilfe der Pumpe 21 wird der Elektrolyt 7 aus dem Speicher 36 abgepumpt und zu den Elektrolytzuführvorrichtungen 12 der beiden Strömungsgeneratoren 2a, 2b gefördert.

Die Erfindung wurde anhand der dargestellten Ausführungsbei spiele detailliert beschrieben. Dennoch ist die Erfindung nicht auf oder durch die offenbarten Beispiele beschränkt. An- dere Varianten können vom Fachmann aus diesen Ausführungsbei spielen abgeleitet werden, ohne von den der Erfindung zugrunde liegenden Gedanken abzuweichen.

Bezugs zeichenliste

1 AbscheideVorrichtung

2a Strömungsgenerator

2b Strömungsgenerator

3 Objekthalter

4 Objekt

5 Überlaufbecken

6 Überlaufwehr

7 Elektrolyt

8 Auffangbecken

9 Abflussrohr

10 Gehäuse

11 Ausströmöffnung

12 Elektrolyt zuführvorrichtung

13 ElektrolytverteilungsVorrichtung

14 Verteilerplatte

15 Verteilerplatte

16 Kammer

17 Kammer

18 Strömungskanal

19 Seitenwand

20 Anode

21 Pumpe

22 Pumpe

23 Fluidleitung

24 Durchflusssensor

25 Gleichspannungsquelle

26 elektrische Leitung

27 Strömungsblende

28 Oberfläche

29 Kontaktierungspunkt

30 Rand

31 Elektrolytströmung 32a TeilStrömung

32b TeilStrömung

33 AbscheideVorrichtung

34 VerteHerrohr

35 AbscheideVorrichtung

36 Speicher

37 Ventil

38 Durchflusssensor