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Title:
FLUID CONTROL DEVICE AND JOINT FOR FLUID CONTROL DEVICE
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2019/112512
Kind Code:
A1
Abstract:
The present invention relates to a fluid control device and a joint for the fluid control device. The joint comprises a first unit and a second unit for forming a joint of a specific shape. The first unit has an upper surface and a lower surface. The upper surface comprises: at least one fluid inlet; at least one fluid outlet; and at least one connection passage connecting the fluid inlet and the fluid outlet and extending in a 7K horizontal direction. The second unit is disposed under the first unit, and comprises a positioning block protruding from a portion of the lower surface of the first unit and a first recess part adjacent to another portion of the lower surface and the positioning block.

Inventors:
CHAN, Chee Wei (30 Kallang Place, #01-23/24 Kallang Basin Industrial Estate, Singapore 9, 339159, SG)
Application Number:
SG2017/050596
Publication Date:
June 13, 2019
Filing Date:
December 05, 2017
Export Citation:
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Assignee:
SIW ENGINEERING PTE. LTD. (30 Kallang Place #01-23/24, Singapore 9, 339159, SG)
International Classes:
F16K27/00; F16L23/00; F17D1/02
Domestic Patent References:
WO2000003169A22000-01-20
Foreign References:
US20100326554A12010-12-30
JP2016223534A2016-12-28
US20060027274A12006-02-09
US20150075660A12015-03-19
CN201496772U2010-06-02
Attorney, Agent or Firm:
TAN, Seng Ngee (P.O Box 0399PSA Building, Singapore 4, 911144, SG)
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Claims:
\¥0 2019/112512 卩(:17802017/050596

【申請專利範圍】

1 . 一種用於流體控制裝置之接頭 , 包括 :

一第一單元 , 具有一上表面 、 一與該上表面相對之 下表面 、 一設置於該上表面之第一流體流通孔 、 一設置 於該上表面之第二流體流通孔以及一連通該第一流體 流通孔與該第二流體流通孔且貫穿於設置該第一單元 之中的第一通道 ; 以及

一第二單元 , 設置於該第一單元之下 , 包括一 自 該 第一單元的該下表面之一部分突 出 的定位塊以及一相 鄰於該下表面之另一部分與該定位塊的第一凹陷部 。

2 . 如申請專利範圍第 1 項所述之接頭 , 其中 , 該第一通道 具有一鏡面表面 。

3 . 如申請專利範圍第 1 項所述之接頭 ,其中該第一單元具 有至少一縱向貫穿該上表面與該下表面的上固定孔,該 第二單元具有至少一縱向貫穿該第二單元的一上表面 的下固定孔 。

4. 如申請專利範圍第 1 項所述之接頭 ,其中還包括一延伸 單元 , 該延伸單元係 自 該第一單元的一侧端朝外突出 , 該延伸單元包括一第三流體流通孔,且該第三流體流通 孔和該第二流體流通孔之間設置有一第二通道以連通 該第二流體流通孔與該第三流體流通孔 。

5 . 一種用於流體控制裝置之接頭 , 包括 :

一第一單元 , 具有一上表面 、 一與該上表面相對之 下表面 、 一設置於該上表面之第一流體流通孔 、 一設置 於該上表面之第二流體流通孔、以及一設置於該上表面 \¥0 2019/112512 卩(:17802017/050596

之第四流體流通孔,該第一流體流通孔與該第四流體流 通孔之間設置有一第一通道以連通該第一流體流通孔 與該第四流體流通孔 ;

一延伸單元,該延伸單元係 自 該第一單元的一侧端朝 外突出 , 該延伸單元包括一第三流體流通孔 , 且該第三 流體流通孔和該第二流體流通孔之間設置有一第二通 道以連通該第二流體流通孔與該第三流體流通孔; 以及 一第二單元 , 設置於該第一單元之下 , 包括一 自 該 第一單元的該下表面之一部分突 出 的定位塊以及一相 鄰於該下表面之另一部分與該定位塊的第一凹陷部 。

6 . 如申請專利範圍第 5 項所述之接頭 , 其中 , 該第一通道 與該第二通道之間彼此獨立 。

7 . 如申請專利範圍第 5 項所述之接頭 ,其中該第一單元具 有至少一縱向貫穿該上表面與該下表面的上固定孔,該 第二單元具有至少一縱向貫穿該第二單元的一上表面 的下固定孔 。

8 . 一種用於流體控制裝置之接頭 , 包括 :

一第一單元 , 具有一上表面 、 一與該上表面相對之 下表面 、 一設置於該上表面之第一流體流通孔 、 一設置 於該上表面之第二流體流通孔、一設置於該上表面之第 四流體流通孔、一設置於該上表面之第五流體流通孔以 及一設置於該上表面之第六流體流通孔 , 其中 , 該第一 流體流通孔與該第五流體流通孔之間設置有一第一通 道以連通該第一流體流通孔與該第五流體流通孔,該第 二流體流通孔與該第六流體流通孔之間設置有一第二 \¥0 2019/112512 卩(:17802017/050596

通道以連通該第二流體流通孔與該第六流體流通孔 ; 一延伸單元,該延伸單元係 自 該第一單元的一侧端朝 外突出 , 該延伸單元包括一第三流體流通孔 , 且該第三 流體流通孔與該第 四流體流通孔之間設置有一第三通 道以連通該第三流體流通孔與該第四流體流通孔; 以及 一第二單元 , 設置於該第一單元之下 , 包括一 自 該 第一單元的該下表面之一部分突 出 的定位塊以及一相 鄰於該下表面之另一部分與該定位塊的第一凹陷部 。

9 . 如申請專利範圍 第 8 項所述之接頭 , 其中 , 該第一通 道 、 該第二通道 、 以及該第三通道之間彼此獨立 。

1 0 . 如申請專利範圍第 8 項所述之接頭 ,其中該第一單元具 有至少一縱向貫穿該上表面與該下表面的上固定孔,該 第二單元具有至少一縱向貫穿該第二單元的一上表面 的下固定孔 。

1 1 . 一種用於流體控制裝置之接頭模組 , 包括 :

複數個連接塊 , 該連接塊係沿一轴向排列 , 該連接塊 各包括一上半部以及一下半部 ,該上半部包括至少一流 體入口 、 至少一流體出 口 、 以及至少一連通該流體入 口 和該流體出 口之間且朝一水平方向延伸的連接通道,該 下半部具有一凹陷部及一遠離該凹陷部並沿該軸向延 伸突出 的舌部 , 其中 , 該連接通道係高於該舌部的一上 表面 ;

其中 ,相鄰的該連接塊係透過該舌部容設於該凹陷部 內 而彼此連接 。

1 2. 如申請專利範圍第 1 1 項所述之接頭模組, 其中 , 其中 , \¥0 2019/112512 卩(:17802017/050596

該上半部具有一縱向貫穿的上固定孔,該下半部具有一 縱向貫穿該舌部且和該上固定孔對應的下固定孔,相鄰 的該連接塊透過至少一 固 定件穿設於該上固定孔以及 該下固定孔而彼此固定 。

1 3. 如申請專利範圍第 1 1 項所述之接頭模組 , 其中 , 該流 體入口 、該流體出 口以及該連接通道係形成一貫設於單 一該連接塊內的 II形通道 。

1 4. 一種用於流體控制裝置之接頭模組 , 包括 :

複數個連接塊 , 該連接塊係沿一軸向排列 , 該連接塊 各包括至少一流體入口 、 至少一流體出 口 、 以及至少一 連通該流體入口和該流體出 口之間且朝一水平方向延 伸而和該連接塊之一底面相距一高度的連接通道 , 其 中 , 該連接塊的一端形成一突出 的第一舌部 , 另一端形 成一凹陷部 ,相鄰的該連接塊係透過該第一舌部容設於 該凹陷部內 而彼此連接 。

1 5. 如申請專利範圍第 1 4 項所述之接頭模組 , 其中 , 該第 一舌部具有一縱向貫穿的第一固定孔,該連接塊的該另 一端還形成一突出 的第二舌部 ,且該第二舌部具有一縱 向貫穿的第二固定孔,相鄰的該連接塊係透過一固定件 穿設於該第一固定孔以及該第二固定孔而彼此固定 。

1 6. 如申請專利範圍第 1 4 項所述之接頭模組 , 其中 , 該流 體入口 、該流體出 口以及該連接通道係形成一貫設於單 一該連接塊內的 II形通道 。

1 7. 一種流體控制裝置 , 包括 :

一基座 ; \¥0 2019/112512 卩(:17802017/050596

一設置於該基座上之接頭模組 , 並包括 :

一第一接頭 , 包括 :

一第一單元 , 具有一第一上表面 、 一與該第一上 表面相對之第一下表面、一設置於該第一上表面之第一 流體流通孔、一設置於該第一上表面之第二流體流通孔 以及一連通該第一流體流通孔與該第二流體流通孔且 貫穿於該第一單元之中的第一通道 ; 以及

一第二單元 , 設置於該第一單元之下 , 包括一 自 該第一單元的該第一下表面之一部分突出 的第一定位 塊以及一相鄰於該第一下表面之另 一部分與該第一定 位塊的第一凹陷部 ; 以及

一第二接頭 , 包括 :

一第三單元 , 具有一第二上表面 、 一與該第二上 表面相對之第二下表面、一設置於該第二上表面之第三 流體流通孔、一設置於該第二上表面之第四流體流通孔 以及一連通該第三流體流通孔與該第 四流體流通孔且 貫穿於該第三單元之中的第二通道 ; 以及

一第四單元 , 設置於該第三單元之下 , 包括一 自 該第三單元的該第二下表面之一部分突出 的第二定位 塊、一相鄰於該第二下表面之另一部分與該二定位塊的 第二凹陷部以及一遠離該第二凹陷部延伸的舌部 , 其 中 ,該第一接頭藉由該第二單元的該第一凹陷部容設該 第四單元的該舌部而和該第二接頭彼此相鄰靠接; 以及 一流體控制件,係透過該接頭模组而 緊固於該基座 之上 ’ 且該流體控制件跨接於該第一接頭和該第二接 \¥0 2019/112512 卩(:17802017/050596

頭 。

1 8. 如申請專利範圍第 1 7 項所述之流體控制裝置 , 其中 , 該流體控制件係選自 由減壓閥 、 壓力計 、 質量流量控制 器 、 過濾器 、 手動閥 、 2 璋截止閥 、 3 埠截止閥 、 高潔 淨調壓閥 、 壓力傳感器及其組合所組成之群組 。

1 9. 如申請專利範圍第 1 7 項所述之流體控制裝置 , 其中該 第一單元具有至少一縱向貫穿該上表面與該下表面的 上固定孔,該第四單元具有至少一縱向貫穿該第二單元 的一上表面的下固定孔,該第一接頭和該第二接頭之間 透過至少一 固 定件穿設於該第一單元的該上固 定孔以 及該第四單元的該下固定孔而彼此固定 。

20 . 一種流體控制裝置 , 包括 :

一沿一轴向延伸的基座 ;

一設置於該基座上方的流體控制件,該流體控制件具 有一出 口 以及一入口 ;

一設置於該流體控制件和該基座之間的接頭模組’ 包 括 :

複數個連接塊 , 該連接塊係沿該轴向排列 , 該連接 塊各包括 :

一流體通道, 包括設置於該連接塊的一上表面的 一流體入口及一流體出 口 、以及一連通該流體入口和該 流體出 口 的 II形連接通道 ;

一上舌部 , 係突出形成於該連接塊的一端 , 該上 舌部具有一貫穿該上舌部的一底面的第一固定孔; 以及 一下舌部 , 係突出形成於該連接塊的另一端 , 該 \¥0 2019/112512 卩(:17802017/050596

下舌部具有一貫穿該下舌部的一頂面的第二固定孔; 以 及

一固定件, 穿設於該連接塊的該上舌部的該第一 固 定孔以及相鄰的該連接塊的該下舌部的該第二固定 孔 ;

其中 , 該流體控制件跨接於兩相鄰的該連接塊 , 且該 流體控制件的該出 口與其 中一連接塊的該流體入口連 接,該流體控制件的該入口與另一連接塊的該流體出 口 連接 。

2 1 . —種流體控制裝置 , 包括 :

一沿一軸向延伸的基座 ;

一設置於該基座上方的流體控制件,該流體控制件具有 一 出 口以及一入口 ;

一設置於該流體控制件和該基座之間的接頭模組 , 包 括 :

複數個連接塊 , 該連接塊係沿該軸向排列 , 該連接塊各 包括 :

一流體通道, 包括設置於該連接塊的一上表面的一流 體入口及一流體出 口 、以及一連通該流體入口和該流體 出 口 的 II形連接通道 ;

一上舌部 , 係突出形成於該連接塊的一端 , 該上舌部 具有一貫穿該上舌部的一底面的第一固定孔 ; 以及

一下舌部 , 係突出形成於該連接塊的另一端 , 該下舌 部具有一貫穿該下舌部的一頂面的第二固 定孔以及一 貫穿該下舌部的一底面的第三固定孔 ; 以及 \¥0 2019/112512 卩(:17802017/050596

一上固定件, 穿設於該連接塊的該上舌部的該第一固 定孔以及相 鄰 的該連接塊的該下舌部的該 第 二 固 定 孔 ; 以及

一下固定件, 穿設於該連接塊的該下舌部的該第三固 定孔以及該基座 ;

其中 , 該流體控制件跨接於兩相鄰的該連接塊 , 且該 流體控制件的該出 口與其 中一連接塊的該流體入口連 接,該流體控制件的該入口與另一連接塊的該流體出 口 連接 。

\¥0 2019/112512 卩(:17802017/050596 经修改的权利要求

国际局收到日 : 2018年 10月 29日(29.10.2018)

【申請專利範圍】

1 . (已修改)一種用於流體控制裝置之接頭 , 包括 :

一第一單元, 包括一第一定位塊、 以及一相鄰該定位 塊設置並與該第一定位塊一體相連的第一舌部,該第一 單元具有一上表面 、 一與該上表面相對之下表面 、 一設 置於該上表面之第一流體流通孔、一設置於該上表面之 第二流體流通孔以及一連通該第一流體流通孔與該第 二流體流通孔且貫穿於設置該第一單元之中的第一通 道 ; 以及

一第二單元, 設置於該第一單元之下 , 包括一 自 該第 一定位塊的該下表面突出 的第二定位塊、一向該第一舌 部的該下表面凹陷的第一凹陷部以及一 自 該第二定位 塊朝遠離該第一凹陷部方向延伸的第二舌部 ;

其中 , 該第一單元的該第一舌部具有複數設置於該 上表面並貫穿該第一舌部的第一定位銷孔、複數設置在 該上表面且並未貫穿該第一舌部的第一螺紋孔、複數設 置在該下表面且並未貫穿該第一舌部的下螺紋孔、複數 設置於該上表面並貫穿該第一舌部的螺栓孔 ;

其中 , 該第二單元的該第二舌部具有複數貫穿該第 二舌部的第二定位銷孔、複數貫穿該第二舌部的第二螺 紋孔 、 複數貫穿該第二舌部的貫孔 。

2. 如申請專利範圍第 1 項所述之接頭 , 其中 , 該第一通道 具有一鏡面表面 。

3. (已刪除)

4. 如申請專利範圍第 1 項所述之接頭,其中還包括一延伸

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單元 , 該延伸單元係 自 該第一單元的一側端朝外突出 , 該延伸單元包括一第三流體流通孔,且該第三流體流通 孔和該第二流體流通孔之間設置有一第二通道以連通 該第二流體流通孔與該第三流體流通孔 。

5. (已修改)一種用於流體控制裝置之接頭 , 包括 :

一第一單元, 包括一第一定位塊、 以及一相鄰該定位 塊設置並與該第一定位塊一體相連的第一舌部,該第一 單元具有一上表面 、 一與該上表面相對之下表面 、 一設 置於該上表面之第一流體流通孔、一設置於該上表面之 第二流體流通孔、以及一設置於該上表面之第四流體流 通孔,該第一流體流通孔與該第四流體流通孔之間設置 有一第一通道以連通該第一流體流通孔與該第四流體 流通孔 ;

一延伸單元,該延伸單元係 自 該第一單元的一側端朝 外突出 , 該延伸單元包括一第三流體流通孔 , 且該第三 流體流通孔和該第二流體流通孔之間設置有一第二通 道以連通該第二流體流通孔與該第三流體流通孔; 以及 一第二單元, 設置於該第一單元之下 , 包括一 自 該第 一定位塊的該下表面突出 的第二定位塊、一向該第一舌 部的該下表面凹陷的第一凹陷部以及一 自 該第二定位 塊朝遠離該第一凹陷部方向一體延伸的第二舌部 ;

其中 , 該第一單元的該第一舌部具有複數設置於該 上表面並貫穿該第一舌部的第一定位銷孔、複數設置在 該上表面且並未貫穿該第一舌部的第一螺紋孔、複數設 置在該下表面且並未貫穿該第一舌部的下螺紋孔、複數

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修改页 (条约第 19条) \¥0 2019/112512 卩(:17802017/050596

設置於該上表面並貫穿該第一舌部的螺栓孔 ;

其中 , 該第二單元的該第二舌部具有複數貫穿該第 二舌部的第二定位銷孔、複數貫穿該第二舌部的第二螺 紋孔 、 複數貫穿該第二舌部的貫孔 。

6. 如申請專利範圍第 5 項所述之接頭 , 其中 , 該第一通道 與該第二通道之間彼此獨立 。

7. (已刪除)

8. (已修改)一種用於流體控制裝置之接頭 , 包括 :

一第一單元, 包括一第一定位塊、 以及一相鄰該定位 塊設置並與該第一定位塊一體相連的第一舌部,該第一 單元具有一上表面 、 一與該上表面相對之下表面 、 一設 置於該上表面之第一流體流通孔、一設置於該上表面之 第二流體流通孔、 一設置於該上表面之第四流體流通孔、 一設置於該上表面之第五流體流通孔以及一設置於該 上表面之第六流體流通孔 , 其中 , 該第一流體流通孔與 該第五流體流通孔之間設置有一第一通道以連通該第 一流體流通孔與該第五流體流通孔,該第二流體流通孔 與該第六流體流通孔之間設置有一第二通道以連通該 第二流體流通孔與該第六流體流通孔 ;

一延伸單元,該延伸單元係 自 該第一單元的一側端朝 外突出 , 該延伸單元包括一第三流體流通孔 , 且該第三 流體流通孔與該第四流體流通孔之間設置有一第三通 道以連通該第三流體流通孔與該第四流體流通孔; 以及 一第二單元, 設置於該第一單元之下 , 包括一 自 該第 一定位塊的該下表面突出 的第二定位塊、一向該第一舌

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部的該下表面凹陷的第一凹陷部以及一 自 該第二定位 塊朝遠離該第一凹陷部方向一體延伸的第二舌部 ;

其中 , 該第一單元的該第一舌部具有複數設置於該 上表面並貫穿該第一舌部的第一定位銷孔、複數設置在 該上表面且並未貫穿該第一舌部的第一螺紋孔、複數設 置在該下表面且並未貫穿該第一舌部的下螺紋孔、複數 設置於該上表面並貫穿該第一舌部的螺栓孔 ;

其中 , 該第二單元的該第二舌部具有複數貫穿該第 二舌部的第二定位銷孔、複數貫穿該第二舌部的第二螺 紋孔 、 複數貫穿該第二舌部的貫孔 。

9. 如申請專利範圍第 8項所述之接頭,其中,該第一通道、 該第二通道 、 以及該第三通道之間彼此獨立 。

1 0 . (已刪除)

1 1 . (已修改)一種用於流體控制裝置之接頭模組 , 包括 : 複數個連接塊 , 該連接塊係沿一軸向排列 , 該連接塊 各包括一上半部以及一下半部,該上半部包括至少一流 體入 口 、 至少一流體 出 口 、 以及至少一連通該流體入 口 和該流體出 口 之間且朝一水平方向延伸的連接通道,該 下半部具有一凹陷部及一遠離該凹陷部並沿該軸向延 伸突出 的舌部 , 其中 , 該連接通道係高於該舌部的一上 表面 ;

其中 , 該上半部具有複數上固定孔 , 該些上固定孔包 含複數縱向貫穿的第一定位銷孔、複數設置在該上半部 的一上表面且並未貫穿的第一螺紋孔、複數設置在該上 半部的一下表面且並未貫穿的下螺紋孔、複數縱向貫穿

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該上半部的螺栓孔 ;

其中 , 該下半部具有複數下固定孔 , 該些下固定孔包 含複數縱向貫穿該舌部且分別和每一該第一定位銷孔 對應的第二定位銷孔、複數縱向貫穿該舌部且分別和每 一該下螺紋孔對應的貫孔、以及複數縱向貫穿該舌部且 和分別和每一該螺栓孔對應的第二螺紋孔 ;

其中 ,相鄰的該連接塊透過複數固定件分別對應穿設 於每一該上固定孔以及每一該下固定孔而彼此固定; 以 及

其中 ,相鄰的該連接塊係透過該舌部容設於該凹陷部 內 而彼此連接 。

1 2. (已刪除)

1 3. 如申請專利範圍第 1 1 項所述之接頭模組 , 其中 , 該流 體入口 、該流體出 口以及該連接通道係形成一貫設於單 一該連接塊內的 II形通道 。

1 4. (已修改)一種用於流體控制裝置之接頭模組 , 包括 : 複數個連接塊 , 該連接塊係沿一軸向排列 , 該連接塊 各包括至少一流體入口 、 至少一流體出 口 、 以及至少一 連通該流體入口和該流體出 口之間且朝一水平方向延 伸而和該連接塊之一底面相距一高度的連接通道, 其中 , 該連接塊的一端形成一突出 的第一舌部, 另一端形成一 凹陷部,相鄰的該連接塊係透過該第一舌部容設於該凹 陷部內 而彼此連接,該連接塊的該另一端還形成一突出 的第二舌部 ;

其中 , 該第一舌部複數第一固定孔 , 該些第一固定孔

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包含複數縱向貫穿的第一定位銷孔、複數設置在該第一 舌部的一上表面且並未貫穿的第一螺紋孔、複數設置在 該第一舌部的一下表面且並未貫穿的下螺紋孔、複數縱 向貫穿該第一舌部的螺栓孔 ;

其中 , 該第二舌部具有複數第二固定孔 , 該些第二固 定孔包含複數縱向貫穿該第二舌部且分別和每一該第 一定位銷孔對應的第二定位銷孔、複數縱向貫穿該第二 舌部且分別和每一該下螺紋孔對應的貫孔、以及複數縱 向貫穿該第二舌部且和分別和每一該螺栓孔對應的第 二螺紋孔 ; 以及

其中 ,相鄰的該連接塊透過複數固定件分別對應穿設 於每一該第一 固定孔以及每一該第二固定孔而彼此固 定 。

1 5. (已刪除)

1 6. 如申請專利範圍第 1 4 項所述之接頭模組 , 其中 , 該流 體入口 、該流體出 口以及該連接通道係形成一貫設於單 一該連接塊內的 II形通道 。

1 7. (已修改)一種流體控制裝置 , 包括 :

一基座 ;

一設置於該基座上之接頭模組 , 並包括 :

一第一接頭 , 包括 :

一第一單元 , 包括一第一定位塊 、 以及一相鄰該 定位塊設置並與該第一定位塊一體相連的第一舌部,該 第一單元具有一第一上表面、一與該第一上表面相對之 第一下表面 、 一設置於該第一上表面之第一流體流通孔、

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修改页 (条约第 19条) \¥0 2019/112512 卩(:17802017/050596

一設置於該第一上表面之第二流體流通孔以及一連通 該第一流體流通孔與該第二流體流通孔且貫穿於該第 一單元之中的第一通道 ; 以及

一第二單元 , 設置於該第一單元之下 , 包括一 自 該第一定位塊的該第一下表面突出 的第二定位塊、一向 該第一舌部的該下表面凹陷的第一凹陷部 ; 以及

一第二接頭 , 包括 :

一第三單元 , 包括一第三定位塊 、 以及一相鄰該 定位塊設置並與該第三定位塊一體相連的第二舌部,該 第三單元具有一第二上表面、一與該第二上表面相對之 第二下表面 、 一設置於該第二上表面之第三流體流通孔、 一設置於該第二上表面之第四流體流通孔以及一連通 該第三流體流通孔與該第四流體流通孔且貫穿於該第 三單元之中的第二通道 ; 以及

一第四單元 , 設置於該第三單元之下 , 包括一 自 該第三定位塊的該第二下表面突出 的第三定位塊、一面 向該第二舌部的該下表面凹陷的第二凹陷部以及一 自 該第三定位塊朝遠離該第二凹陷部方向延伸的第三舌 部 , 其中 , 該第一接頭藉由該第二單元的該第一凹陷部 容設該第四單元的該舌部而和該第二接頭彼此相鄰靠 接 ; 以及

一流體控制件,係透過該接頭模組而 緊固於該基 座之上,且該流體控制件跨接於該第一接頭和該第二接 頭 ;

其中 , 該第一單元的該第一舌部具有複數上固定孔 ,

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修改页 (条约第 19条) \¥0 2019/112512 卩(:17802017/050596

該些上固定孔包含複數縱向貫穿的第一定位銷孔、複數 設置在該第一舌部的一上表面且並未貫穿的第一螺紋 孔、複數設置在該第一舌部的一下表面且並未貫穿的下 螺紋孔 、複數縱向貫穿該第一舌部的螺栓孔 ; 該第四單 元的該第三舌部具有複數下固定孔,該些下固定孔包含 複數縱向貫穿該第三舌部且分別和每一該第一定位銷 孔對應的第二定位銷孔、複數縱向貫穿該第三舌部且分 別和每一該下螺紋孔對應的貫孔、以及複數縱向貫穿該 第三舌部且和分別和每一該螺栓孔對應的第二螺紋孔 ; 且該第一接頭和該第二接頭之間透過複數固定件穿設 於該第一單元的每一該上固定孔以及該第四單元的每 一該下固定孔而彼此固定 。

1 8. 如申請專利範圍第 1 7 項所述之流體控制裝置 , 其中 , 該流體控制件係選自 由減壓閥 、 壓力計 、 質量流量控制 器 、 過濾器 、 手動閥 、 2 埠截止閥 、 3 埠截止閥 、 高潔 淨調壓閥 、 壓力傳感器及其組合所組成之群組 。

1 9. (已修改)如申請專利範圍第 1 7 項所述之流體控制裝置 , 其中該,該第一接頭和該第二接頭之間透過至少一固定 件穿設於該第一單元的該上固定孔以及該第四單元的 該下固定孔而彼此固定 。

20 . (已修改)一種流體控制裝置 , 包括 :

一沿一軸向延伸的基座 ;

一設置於該基座上方的流體控制件,該流體控制件具 有一出 口以及一入口 ;

一設置於該流體控制件和該基座之間的接頭模組’ 包

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括 :

複數個連接塊 , 該連接塊係沿該軸向排列 , 該連接 塊各包括 :

一流體通道, 包括設置於該連接塊的一上表面的 一流體入口及一流體出 口 、以及一連通該流體入口和該 流體出 口的 II形連接通道 ;

一上舌部 , 係突出形成於該連接塊的一端 , 該上 舌部具有複數第一固定孔,該些第一固定孔包含複數縱 向貫穿的第一定位銷孔、複數設置在該上舌部的一下表 面且並未貫穿的下螺紋孔、複數縱向貫穿該上舌部的螺 栓孔 ; 以及

一下舌部 , 係突出形成於該連接塊的另一端 , 該 下舌部複數第二固定孔,該些第二固定孔包含複數縱向 貫穿該下舌部且分別和每一該第一定位銷孔對應的第 二定位銷孔、複數縱向貫穿該下舌部且分別和每一該下 螺紋孔對應的貫孔、以及複數縱向貫穿該下舌部且和分 別和每一該螺栓孔對應的第二螺紋孔 ; 以及

複數固定件,分別對應穿設於該連接塊的該上舌 部的每一該第一 固定孔以及相鄰的該連接塊的每一該 下舌部的該第二固定孔 ;

其中 , 該流體控制件跨接於兩相鄰的該連接塊 , 且該 流體控制件的該出 口與其中一連接塊的該流體入口連 接,該流體控制件的該入口與另一連接塊的該流體出 口 連接 。

2 1 . (已修改)一種流體控制裝置 , 包括 :

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一沿一軸向延伸的基座 , 該基座包含有複數定位槽 ; 一設置於該基座上方的流體控制件’該流體控制件具有 一 出 口 以及一入 口 ;

一設置於該流體控制件和該基座之間的接頭模組, 包括 : 複數個連接塊 , 該連接塊係沿該軸向排列 , 該連接塊各 包括 :

一流體通道, 包括設置於該連接塊的一上表面的一流 體入 口及一流體 出 口 、 以及一連通該流體入 口 和該流體 出 口 的 II形連接通道 ;

一上舌部 , 係突出形成於該連接塊的一端 , 該上舌部 具有複數第一固定孔,該些第一固定孔包含複數縱向貫 穿的第一定位銷孔、複數設置在該上舌部的一下表面且 並未貫穿的下螺紋孔、複數縱向貫穿該上舌部的螺栓孔 ; 以及

一下舌部 , 係突出形成於該連接塊的另一端 , 該下舌 部具有複數第二固定孔與複數設置於該下舌部一下表 面且分別和每一該下螺紋孔對應的第三固定孔,該些第 二固定孔包含複數縱向貫穿該下舌部且分別和每一該 第一定位銷孔對應的第二定位銷孔、以及複數縱向貫穿 該下舌部且和分別和每一該螺栓孔對應的第二螺紋孔 ; 以及

複數上固定件,分別對應穿設於該連接塊的該上舌部 的每一該第一 固定孔以及相鄰的該連接塊的該下舌部 的每一該第二固定孔 ; 以及

複數下固定件,分別對應穿設於該連接塊的該下舌部

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修改页 (条约第 19条) \¥0 2019/112512 卩(:17802017/050596 的每一該第三固定孔以及該基座的每一定位槽 ;

其中 , 該流體控制件跨接於兩相鄰的該連接塊 , 且該 流體控制件的該出 口與其中一連接塊的該流體入口連 接,該流體控制件的該入口與另一連接塊的該流體出 口 連接 。

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Description:
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【發明名稱】

流體控制裝置及用於流體控制裝置之接頭

【發明所屬技術領域】

本發明為有 關一種流體控制裝置及其接頭 , 尤指一種 可簡 易拆解和組裝 , 以及彈性化模組與高密封性的流體控 制裝置 。

【先前技術】

流體控制裝置為半導體產業 中 常使用 的一種裝置 , 其 目 的在於供給半導體製造過程中 , 包括擴散 、 蝕刻 、 濺射 等過程所需的氣體 。 目 前流體控制裝置主要包括複數種設 備 , 譬如減壓閥 、 壓力計 、 質量流量控制器 、 氣體過濾器 、 手動閥 、 第一截止閥 、 第二截止閥等 , 並包括用於連接該 些流體控制設備之各式接頭 , 以構成通路使流體得以順利 流通 。

即便流體控制裝置已廣泛地應用於半導體產業 , 然仍 有缺陷待改善 。 舉例來說 , 由於流體控制裝置中 包括多種 設備 , 故在流體控制裝置的拆卸及組裝難易度即為一 待改 善之議題 , 目 前已提出 的解決方案包括減少流體控制裝置 中所使用 的元件數量 , 進而達到組裝容易 的效果 。

譬如 , 美國專利公開號 20 1 5 0 75 6 60 的流體控制裝置 亦提出 组裝問題的改善方法 。 其裝置中 包括將複數個流體 控制機器 串 列配置成一列的上層 以及用 來連接上層之複數 個流體控制機器的通路塊的下層 , 該些相鄰的通路塊之間 彼此藉由倒 II 字型配管連接 , 不僅容易併用複數列用通路 \¥0 2019/112512 卩(:17802017/050596

塊及單列用通路塊 , 也容易進行行列數的增減 。

除此之外 , 流經流體控制裝置的流體之中有些帶有腐 蝕性 , 是以 , 除了 需改善流體控制裝置之元件抗腐蝕性外 、 亦得考量清潔維護之難易 。 再者 , 流體在流體控制裝置中 流動時也常出現洩漏的問題 , 特別當流動的氣體帶有危險 或人體危害的時候 , 更是需要仔細避免流體外洩問題 。

有鑑於此 , 亟需開發出 一種可改善上述缺陷的新穎性 流體控制裝置 , 以滿足產業之需求 。

【發明 內容】

本發明 主要 目 的 , 在於解決習知流體控制裝置不 易拆 解或組裝的問題 。

本發明另一 目 的 , 在於改善習知用於流體控制裝置的 接頭中 , 氣體通道容易有顆粒殘留且清洗不 易 的缺點 。

本發明又一 目 的 , 在於降低氣體在流體控制裝置流動 的過程中泡漏的風險 。

為 了達到上述 目 的 , 本發明一實施例 中提供一種包括 至少 兩個流體流通孔之用 於流體控制裝置之接頭 , 其 包 括 : 一第一單元 , 具有一上表面 、 一與該上表面相對之下 表面 、 一設置於該上表面之第一流體流通孔 、 一設置於該 上表面之第二流體流通孔以及一連通該第一流 體流通孔與 該第二流體流通孔且貫穿於設置該第一單元之 中的第一通 道 ; 以及一第二單元 , 設置於該第一單元之下 , 包括一 自 該第一單元的該下表面之一部分突出 的定位塊以及一相鄰 於該下表面之另一部分與該定位塊的第一凹陷 部 。 \¥0 2019/112512 卩(:17802017/050596

為 了達到上述 目 的 , 本發明另一實施例 中提供一種包 括至少三個流體流通孔之用於流體控制裝置之 接頭 , 其包 括 : 一第一單元 , 具有一上表面 、 一與該上表面相對之下 表面 、 一設置於該上表面之第一流體流通孔 、 一設置於該 上表面之第二流體流通孔 、 以及一設置於該上表面之第四 流體流通孔 , 該第一流體流通孔與該第四流體流通孔之間 設置有一第一通道以連通該第一流體流通孔與 該第四流體 流通孔 ; 一延伸單元 , 該延伸單元係 自 該第一單元的一侧 端朝外突出 , 該延伸單元包括一第三流體流通孔 , 且該第 三流體流通孔和該第二流體流通孔之間設置有 一第二通道 以連通該第二流體流通孔與該第三流體流通孔 ; 以及一第 二單元 , 設置於該第一單元之下 , 包括一 自 該第一單元的 該下表面之一部分突出 的定位塊以及一相鄰於該下表面之 另一部分與該定位塊的第一凹陷部 。

本發明又一實施例提供一種至少 包括四個流體流通孔 之接頭 , 包括 : 一第一單元 , 具有一上表面 、 一與該上表 面相對之下表面 、 一設置於該上表面之第一流體流通孔 、 一設置於該上表面之第二流體流通孔 、 一設置於該上表面 之第四流體流通孔 、 一設置於該上表面之第五流體流通孔 以及一設置於該上表面之第六流體流通孔 , 其中 , 該第一 流體流通孔與該第五流體流通孔之間設置有一 第一通道以 連通該第一流體流通孔與該第五流體流通孔 , 該第二流體 流通孔與該第六流體流通孔之間設置有一第二 通道以連通 該第二流體流通孔與該第六流體流通孔 ; 一延伸單元 , 該 \¥0 2019/112512 卩(:17802017/050596

延伸單元係 自 該第一單元的一侧端朝外突出 , 該延伸單元 包括一第三流體流通孔 , 且該第三流體流通孔與該第四流 體流通孔之間設置有一第三通道以連通該第三 流體流通孔 與該第四流體流通孔 ; 以及 一第二單元 , 設置於該第一 單元之下 , 包括一 自 該第一單元的該下表面之一部分突出 的定位塊以及一相鄰於該下表面之另 一部分與該定位塊的 第一凹陷部 。

本發明再一實施例提供一種至少 包括六個流體流通孔 之接頭 , 包括 : 一第一單元 , 具有一上表面 、 一與該上表 面相對之下表面 、 一設置於該上表面之第一流體流通孔 、 一設置於該上表面之第二流體流通孔 、 一設置於該上表面 之第四流體流通孔 、 一設置於該上表面之第五流體流通孔 以及一設置於該上表面之第六流體流通孔 , 其中 , 該第一 流體流通孔與該第五流體流通孔之間設置有一 第一通道以 連通該第一流體流通孔與該第五流體流通孔 , 該第二流體 流通孔與該第六流體流通孔之間設置有一第二 通道以連通 該第二流體流通孔與該第六流體流通孔 ; 一延伸單元 , 該 延伸單元係 自 該第一單元的一侧端朝外突出 , 該延伸單元 包括一第三流體流通孔 , 且該第三流體流通孔與該第四流 體流通孔之間設置有一第三通道以連通該第三 流體流通孔 與該第四流體流通孔 ; 以及 一第二單元 , 設置於該第一 單元之下 , 包括一 自 該第一單元的該下表面之一部分突出 的定位塊以及一相鄰於該下表面之另 一部分與該定位塊的 第一凹陷部 。 \¥0 2019/112512 卩(:17802017/050596

本發明還提供一種用於流體控制裝置之接頭 模組 , 包 括 : 複數個連接塊 , 該連接塊係沿一轴向排列 , 該連接塊 各包括一上半部以及一下半部 , 該上半部包括至少一流體 入口 、 至少一流體出 口 、 以及至少一連通該流體入口和該 流體出 口之間且朝一水平方向延伸的連接通道 , 該下半部 具有一凹陷部及一遠離該凹陷部並沿該轴向延 伸突出 的舌 部 , 其中 , 該連接通道係高於該舌部的一上表面 ; 其中 , 相鄰的該連接塊係透過該舌部容設於該凹陷部 內 而彼此連 接 。

本發明還提供一種用於流體控制裝置之接頭模 組 , 包 括 : 複數個連接塊 , 該連接塊係沿一轴向排列 , 該連接塊 各包括至少一流體入口 、 至少一流體出 口 、 以及至少一連 通該流體入口和該流體出 口之間且朝一水平方向延伸而和 該連接塊之一底面相距一高度的連接通道 , 其中 , 該連接 塊的一端形成一突出 的第一舌部 , 另 一端形成一凹陷部 , 相鄰的該連接塊係透過該第一舌部容設於該凹 陷部內 而彼 此連接 。

本發明還提供一種流體控制裝置 , 包括 :

一基座 ;

一設置於該基座上之接頭模組 , 並包括 :

一第一接頭 , 包括 :

一第一單元 , 具有一第一上表面 、 一與該第一上表面 相對之第一下表面 、 一設置於該第一上表面之第一流體流 通孔 、 一設置於該第一上表面之第二流體流通孔以及 一連 \¥0 2019/112512 卩(:17802017/050596

通該第一流體流通孔與該第二流體流通孔且 貫穿於該第一 單元之中的第一通道 ; 以及

一第二單元 , 設置於該第一單元之下 , 包括一 自 該第 一單元的該第一下表面之一部分突出 的第一定位塊以及一 相鄰於該第一下表面之另一部分與該第一定位 塊的第一凹 陷部 ; 以及

一第二接頭 ’ 包括 :

一第三單元 , 具有一第二上表面 、 一與該第二上表面 相對之第二下表面 、 一設置於該第二上表面之第三流體流 通孔 、 一設置於該第二上表面之第四流體流通孔以及 一連 通該第三流體流通孔與該第四流體流通孔且貫 穿於該第三 單元之中的第二通道 ; 以及

一第四單元 , 設置於該第三單元之下 , 包括一 自 該第 三單元的該第二下表面之一部分突出 的第二定位塊 、 一相 鄰於該第二下表面之另 一部分與該二定位塊的第二凹陷部 以及一遠離該第二凹陷部延伸的舌部 , 其中 , 該第一接頭 藉由該第二單元的該第一凹陷部容設該第四單 元的該舌部 而和該第二接頭彼此相鄰靠接 ; 以及

一流體控制件 , 係透過該接頭模組而 緊固於該基座之 上 , 且該流體控制件跨接於該第一接頭和該第二接 頭 。

本發明還提供一種流體控制裝置 , 包括 :

一沿一軸向延伸的基座 ;

一設置於該基座上方的流體控制件 , 該流體控制件具 有 一 出 口 以及一入 口 ; \¥0 2019/112512 卩(:17802017/050596

一設置於該流體控制件和該基座之間的接頭 模組 ’ 包 括 :

複數個連接塊 , 該連接塊係沿該軸向排列 , 該連接塊 各包括 :

一流體通道 , 包括設置於該連接塊的一上表面的一流 體入口及一流體出 口 、 以及一連通該流體入口和該流體出 口的 II形連接通道 ;

一上舌部 , 係突出形成於該連接塊的一端 , 該上舌部 具有一貫穿該上舌部的一底面的第一固定孔 ; 以及

一下舌部 , 係突出形成於該連接塊的另一端 , 該下舌 部具有一貫穿該下舌部的一頂面的第二固定孔 ; 以及

一固定件 , 穿設於該連接塊的該上舌部的該第一 固定 孔以及相鄰的該連接塊的該下舌部的該第二固 定孔 ;

其中 , 該流體控制件跨接於兩相鄰的該連接塊 , 且該 流體控制件的該出 口與其中一連接塊的該流體入口連接 , 該流體控制件的該入口與另一連接塊的該流體 出 口連接 。

本發明還提供一種流體控制裝置 , 包括 :

一沿一轴向延伸的基座 ;

一設置於該基座上方的流體控制件 , 該流體控制件具 有 一 出 口 以及一入 口 ;

一設置於該流體控制件和該基座之間的接頭模 組 ’ 包 括 :

複數個連接塊 , 該連接塊係沿該軸向排列 , 該連接塊 各包括 : \¥0 2019/112512 卩(:17802017/050596

一流體通道 , 包括設置於該連接塊的一上表面的一流 體入口及一流體出 口 、 以及一連通該流體入口和該流體出 口的 II形連接通道 ;

一上舌部 , 係突出形成於該連接塊的一端 , 該上舌部 具有一貫穿該上舌部的一底面的第一固定孔 ; 以及

一下舌部 , 係突出形成於該連接塊的另一端 , 該下舌 部具有一貫穿該下舌部的一頂面的第二固定孔 以及一貫穿 該下舌部的一底面的第三固定孔 ; 以及

一上固定件 , 穿設於該連接塊的該上舌部的該第一固 定孔以及相鄰的該連接塊的該下舌部的該第二 固定孔 ; 以 及

一下固定件 , 穿設於該連接塊的該下舌部的該第三固 定孔以及該基座 ;

其中 , 該流體控制件跨接於兩相鄰的該連接塊 , 且該 流體控制件的該出 口與其中一連接塊的該流體入口連接 , 該流體控制件的該入口與另一連接塊的該流體 出 口連接 。

是以 , 本發明相較於習知技術所能達到的功效在於 :

( 1 ) 本發明的流體控制裝置透過具有特定形狀之接 頭 連結 , 該接頭可簡單地與相鄰接頭彼此疊合而具有簡 易拆 卸或組裝的優點 , 進而解決習知流體控制裝置不 易拆解或 組裝的問題 ; 且基於上述接頭 , 可以讓該流體控制裝置的 組態具有模組化的優點 , 利用 不 同接頭的排列組合 , 彈性 地和眾多流體控制件的組合 。

( 2 ) 本發明的接頭設計 , 係使得當流體從一流體控制 \¥0 2019/112512 卩(:17802017/050596

件經過該接頭流動至相鄰的流體控制件時 , 該流體僅經過 單一的接頭 中的流體通道 , 而非複數個次通道彼此相接所 組成的流體通道 ; 換言之 , 相鄰接頭之間的組裝 , 並無設 計流體通道的接合 , 據此降低流體通道的介面 , 減少流體 外洩的可能而擁有 良好的密封性 。

( 3 ) 本發明之流體流通孔及 /或該些流體流通孔之間 的通道具有一鏡面之表面 , 可有效改善流體流經時顆粒殘 留問題 。

【實施方式】

有關本發明的詳細說明及技術內容 , 現就配合圖 式說 明如下 : 本發明的流體控制裝置中 包括有複數個排成一列的流 體控制件 、 以及複數個對應該些流體控制件之接頭 , 且每 一流體控制件與其接頭連接使流體得以在連通 的該流體控 制件及在接頭之間流動 。

本發明之流體控制裝置所包括的流體控制件並 無特別 之限制 , 可視需求任意選用 。 於一具體實施例 中 , 該流體 控制件係選自 由減壓閥 、 壓力計 、 質量流量控制器 、 過濾 器 、 手動閥 、 2 埠截止閥 、 3 埠截止閥 、 高潔淨調壓閥 、 壓 力傳感 器及其組合所組成之群組 。 更具體地 , 可包括 : 手 動閥 、 2 埠截止閥 、 3 埠截止閥 、 高潔淨調壓閥 、 壓力傳感 器 、 過濾器 、 2 埠截止閥 、 質量流量控制器 、 3 埠截止閥 、 以及 2 埠截止閥 。

而關於用於本發明流體控制裝置的接頭 , 依據其所具 \¥02019/112512 卩(:17802017/050596

有的氣路流通口數量可分為 2 埠接頭 、 3 埠接頭 、 4埠以上 接頭 、 以及連接件 , 下文中將就該些接頭進行說明 。 此外 , 在這些接頭 中 , 係包括有複數個單元 , 該單元各包括有上 表面 、 下表面 、 第一側表面 、 第二侧表面 、 第三侧表面 、 及第四側表面等 , 為敘述上之方便 , 係將同一方位的表面 以相同名稱描述 , 但冠以不同的標號 , 藉此區隔 。

2 埠接頭

本發明之 2 埠接頭係指一接頭上有兩個流體流通孔 , 其中一為流體入口 , 另一為流體出 口 。

『 圖 1人』至『 圖 ^』係本發明 2 埠接頭之第一態樣 1&。

單元 11 以及一第二單元 12 , 該第一單元 11 設置於該第二 單元 12上 。

該第一單元 11 包括一第一定位塊 11^以及一第一舌部 11(3, 且該第一單元 11 還具有一上表面 111、 一與該上表面 111 相對之下表面 112、 以及分別與該上表面 111 及該下表 面 112連接之一第一侧表面 113、 一第二側表面 114、 一第 三侧表面 115、 及一第四侧表面 116 , 該第一侧表面 113與 該第三侧表面 115 對應設置 , 而該第二側表面 114 與該第 四侧表面 116 對應設置 。 該第二單元 12 包括一第二定位塊 128 以及一第二凹陷部 121), 該第二定位塊 128 自 該第一單 元 11 的該下表面 112 之一部分突出 , 該第一單元 11 的該

凹成該第二凹陷部 121),該第二凹陷部 121)相鄰於該下表面 \¥02019/112512 卩(:17802017/050596

112 之另一部分與該第二定位塊 123 之間 , 如 『 圖 』 所 示 。 其中該第二單元 12 具有一下表面 122 以及分別連接該 下表面 122之一第一侧表面 123、 一第二侧表面 124、 一第 三侧表面 125、 及一第四侧表面 126 , 該第一侧表面 123與 該第三侧表面 125 對應設置 , 而該第二側表面 124 與該第 四侧表面 126 對應設置 。

該第一單元 11 與該第二單元 12 具有相 同之寬度 1,該 第一單元 11 之長度 1 ^ 1 則大於該第二單元 12之長度 1 ^ 2,該 第一單元 11 與該第二單元 12 為一體成形之結構 , 該第一 單元 11 的該第三侧表面 115 與該第二單元 12 的該第三侧 表面 125 切齊且成為一體成形之一面 。 同樣地 , 該第一單 元 11 的該第二侧表面 114 與該第二單元 12 的該第二側表 面 124 為一體成形之一面 、該第一單元 11 的該第四侧表面 116 與該第二單元 12 的該第四侧表面 126 亦為一體成形之 一面 。

11 包括一第一定位銷孔 11113、 一第二定位銷孔 111113、 一 第一流體流通孔 11123、 一第二流體流通孔 11121)、 一第一 螺紋孔 111 11131)、一第三螺紋孔 1113〇 ' 一第四螺紋孔 1113(1、 一第一下螺紋孔 11213、 一第二下螺 紋孔 11211) 、 一 第 一 螺栓孔 11148 以及一 第 二螺栓孔 111413 。 其中 , 該第一定位銷孔 11118 及該第二定位銷孔 111113設置於該上表面 111 靠近該第一側表面 113 之一侧, 且為一貫穿該上表面 111 以及該下表面 112之貫孔 。 \¥02019/112512 卩(:17802017/050596

該第一流體流通孔 11123 及該第二流體流通孔 1112 則分別設置於該上表面 111 靠近該第一側表面 113 以及該 第三侧表面 115 之一侧 , 其中 , 該第一流體流通孔 11123 係設置於該第一定位銷孔 11118 及第二定位銷孔 11111) 之 間 、 該第二流體流通孔 1112 則設置在第三螺紋孔 1113〇 及第四螺紋孔 1113(1之間 。 請參 『 圖 1£』, 於該第一流體流 通孔 1112& 及第二流體流通孔 11121) 之間設置有一第一通 道 11158 以連通該第一流體流通孔 11128 及第二流體流通 孔 11121), 本實施例中 , 該第一通道 11153係自該第一單元 11靠近該第二定位塊 123的一端延伸至該第一單元 11靠近 該第二凹陷部 121)的一端 , 亦可視為 自該第一單元 11 靠近 該第三侧表面 115的一端延伸至該第一單元 11 靠近該第一 側表面 113 的一端 。 為了避免流體流經該第一通道 11158 時殘存其中 , 可對該第一通道 11153 進行處理使之具有一 鏡面表面 。 上述之 「處理」, 舉例來說 , 可先在該第一侧表 面 113 上設置一連通該第一通道 11158 之開 口並對該第一 通道 11158 進行一拋光處理使之具有一鏡面表面之後 , 再 以焊接方式將該開口封堵起來 。

該第一螺紋孔 11133、 該第二螺紋孔 11131)、 該第三螺 紋孔 111 、該第四螺紋孔 1113(1、該第一下螺紋孔 11218 ' 以及該第二下螺紋孔 112^ 均為具有螺紋之盲孔 , 即非貫 穿的孔洞 , 其中 , 該第一螺紋孔 11138 及該第二螺紋孔 111313設置在該上表面 111 靠近該第一側表面 113之一侧, 該第一螺紋孔 11133鄰近該第一定位銷孔 1111 3 ,該第二螺 \¥02019/112512 卩(:17802017/050596

紋孔 1113 鄰近該第二定位銷孔 111^ ; 而該第三螺紋孔 1113(:及該第四螺紋孔 11134設置在該上表面 111靠近該第 三侧表面 115 之一侧 , 且該第三螺紋孔 1113〇 靠近該第二 側表面 114、 該第四螺紋孔 1113(1靠近該第四侧表面 116 ; 該第一下螺紋孔 11218 及該第二下螺紋孔 11211) 設置在該 下表面 112,且靠近該第一螺栓孔 11143以及該第二螺栓孔 11141)。

請參閱 『 圖 1å』, 本發明之一實施例中 , 該第二流體流 通孔 11121) 包括一擴大部 11121、一台階面 11122 以及一通 道部 11123 , 該擴大部 11121 的內徑大於該通道部 11123 , 該台階面 11122 連接於該擴大部 11121 和該通道部 11123 之間並為一拋光鏡面 , 藉此使該第二流體流通孔 111213 與 其他流體控制件連通時 , 可以達到密封的效果 。 其餘實施 例與態樣中的流體流通孔 , 結構同上 , 以下將不贅述 。

該第一螺栓孔 1114 以及該第二螺栓孔 1114 則分別 設置於該上表面 111 靠近該第二侧表面 114 之一側以及靠 近該第四侧表面 116 之一侧 。 更具體地 , 該第一螺栓孔 11143 設置在靠近該第一螺紋孔 11138 與該第三螺紋孔 1113。之間; 而該第二螺栓孔 111413設置在靠近該第二螺紋 孔 11131)及該第四螺紋孔 1113(1之間。該第一螺栓孔 11143 以及該第二螺检孔 11141) 均為一貫通該上表面 111 以及該 下表面 112 之貫孔 , 且該第一螺栓孔 11148 以及該第二螺 栓孔 1114 之該貫孔中均設有一凸出部 , 使該第一螺栓孔 11143 以及該第二螺栓孔 1114 之該貫孔具有不同之直徑 \¥02019/112512 卩(:17802017/050596

, 靠近該上表面 111 之直徑為 、 而靠近該 下表面 112之直徑為 2, 且 尺1 大於 2, 如 『圖 1?』所示 。

本發明 2 埠接頭之 , 如 『圖 2』 所示 , 該 2 埠接頭 除了其第三螺紋孔 1113〇 與第四螺紋孔 1113(1 之間的距 離 ,相較第一態樣 13 中第三螺紋孔 1113〇 以及第四螺紋孔 1113(1之間的距離更短以外,其餘配置和結構 上述之第一 態樣 18相同 。

『 圖 3人』至『圖 3å』為本發明 2 埠接頭之第三態樣 1〇。 該 2埠接頭 1〇具有一第一單元 11 以及一第二單元 12 , 該 第一單元 11 包括一第一定位塊 118 ' 一第一凹陷部 111)以 及一第一舌部 11(3,且該第一單元 11 還具有一上表面 111、 一與該上表面 111 相對之下表面 112、以及分別與該上表面 111 及該下表面 112連接之一第一侧表面 113、 一第二侧表 面 114、 一第三側表面 115、 及一第四侧表面 116 , 該第一 側表面 113 與該第三側表面 115 對應設置 , 而該第二侧表 面 114與該第四侧表面 116對應設置 ; 而該第二單元 12 包 括一第二定位塊 128、 一第二凹陷部 1213 以及一第二舌部 12(: , 該第二定位塊 128 自該第一單元 11 的該下表面 112 之一部分突出 , 該第一單元 11 的該下表面 112之另一部分 則 因該第二定位塊 128 的設置而 內 凹成該第 二凹 陷部 121), 該第二凹陷部 121)相鄰於該下表面 112之另一部分與 該第二定位塊 128之間 , 如 『 圖 所示 。 而該第二舌部 12〇 自該第二定位塊 128朝遠離該第二凹陷部 121)的一側延 伸且突出於該第一單元 11 , 該第二單元 12 具有一上表面 \¥02019/112512 卩(:17802017/050596

121 ' 一與該上表面 121 相對之下表面 122、 以及分別與該 上表面 121 及該下表面 122連接之一第一側表面 123、一第 二侧表面 124、 一第三侧表面 125 、 及一第四侧表面 126 , 該第一侧表面 123 與該第三侧表面 125 對應設置 , 而該第 二侧表面 124與該第四側表面 126對應設置 。

本實施例中 , 該第一單元 11 與該第二單元 12 為一體 成形之結構 。 詳細來說 , 該第一單元 11 與該第二單元 12

該第二單元 12 的該第二侧表面 124切齊形成一 å形平面 、 該第一單元 11 的該第四侧表面 116 與該第二單元 12 的該 第四側表面 126 亦切齊形成一 å形平面 。

請參 『圖 3(:』、『圖 30』, 該第一單元 11 還包括一第一 定位銷孔 11113 ' 一第二定位銷孔 11111)、 一第一流體流通 孔 111 、一第二流體流通孔 111213、一第一螺紋孔 11138 ' 一第二螺紋孔 11131)、 一第三螺紋孔 1113〇、 一第四螺紋孔 1113(1 ' 一第一下螺紋孔 11218 ' 一第二下螺紋孔 11211)、 一第一螺栓孔 11143以及一第二螺栓孔 111413。

該第一定位銷孔 1111 & 和該第二定位銷孔 11111) 均為 貫穿該上表面 111 與該下表面 112 的貫孔 , 該第一定位銷 孔 11118 介於該第一螺紋孔 11133與該第一侧表面 113 之 間 , 該第二定位銷孔 1111 介於該第二螺紋孔 1113¾> 與該 第一側表面 113 之間 。 該第一流體流通孔 11128 及該第二 流體流通孔 11121) 分別設置於該上表面 111 靠近該第一侧 表面 113 以及該第三側表面 115 之一侧 。 該第一流體流通 \¥02019/112512 卩(:17802017/050596

孔 11123 及該第二流體流通孔 11121) 之間設置有一第一通 道 11153 連通該第一流體流通孔 111

孔 111213, 本實施例中 , 該第一通道 111

11 靠近該第二定位塊 12 的一端延伸至該第一單元 11 靠近 該第二凹陷部 125 的一端 。 為 了避免流體流經該第一通道 11158 時殘存其中 ,可如前文所述地對該通道進行拋光處理 而使其具有一鏡面表面 。

該第一螺紋孔 11133、 該第二螺紋孔 11131)、 該第三螺 紋孔 111 、該第四螺紋孔 1113(1、該第一下螺紋孔 11218 ' 以及該第二下螺紋孔 112^ 均為具有螺紋之盲孔 , 其中 , 該第一螺紋孔 111 11131) 設置在該第一 單元 11 之該上表面 111 靠近該第一侧表面 113 之一側 ; 該 第三螺紋孔 1113(: 設置在該上表面 111 靠近該第二侧表面 114 之一侧 , 而該第四螺紋孔 1113(1 則靠近該第四侧表面 116,本態樣中 ,該第一螺紋孔 111 、該第二螺紋孔 11131)、 以及該第二流體流通孔 1112 之排列略呈一等腰三角形之 頂點 ; 該第一下螺紋孔 11213 及該第二下螺紋孔 112113 設 置在該下表面 112,且靠近該第一螺栓孔 111

螺栓孔 11141)。

該第一螺栓孔 11143 以及該第二螺栓孔 11141) 均為貫 通該上表面 111 以及該下表面 112 之貫孔 , 該貫孔中均設 有一凸 出部 , 使該第一螺栓孔 11143 以及該第二螺栓孔 111413之該貫孔具有不同之直徑 1?1及 1^2:靠近該上表面 111 之直徑為 、 而靠近該下表面 112 之直徑為 1?2 , 且 大 \¥02019/112512 卩(:17802017/050596

於 1?2(該螺栓孔之結構請參考 『圖 III』 ) 。 本態樣中 , 該第 一螺栓孔 11143 係設置於該第一螺紋孔 1113 及該第三螺 紋孔 1113(: 之間 , 該第二螺栓孔 11141» 則設置於該第二螺 紋孔 11131)及該第四螺紋孔 1113(1之間 。

該第二單元 12 還包括一第一定位銷孔 12113 ' 一第二 定位銷孔 121113、 一第一貫孔 12168、 一第二貫孔 12161)、 一第五螺紋孔 12136以及一第六螺紋孔 1213!。

該第一定位銷孔 1211 及該第二定位銷孔 12111) 設置 於該第二單元 12 之該上表面 121 靠近該第一單元 11 之一 侧 , 且均為貫穿該上表面 121 以及該下表面 122 之貫孔 。 該第五螺紋孔 12136 以及第六螺紋孔 1213 則是設置在該 第二單元 12 之該上表面 121 遠離該第一單元 11 之一側 , 本態樣中 , 該第五螺紋孔 12136 以及第六螺紋孔 1213 為 貫穿該上表面 121 以及該下表面 122 之貫孔 , 該第一貫孔 12163 及該第二貫孔 1216 則分別設置於該第一定位銷孔 12113 與該第五螺紋孔 12136 之間 、 以及該第二定位銷孔 121113與該第六螺紋孔 1213 !之間 。

本發明 2埠接頭之第四態樣 1(1, 如 『圖 4』 所示 。 該 2 埠接頭 1 和該 2埠接頭 1 <3之間的差異為 , 該 2 埠接頭 1(1 不具有該第一定位銷孔 11118、 該第二定位銷孔 11111)、 該 第一下螺紋孔 11213以及該第二下螺紋孔 1121 b,且該第一 螺紋孔 11138 及該第三螺紋孔 11131) 彼此較靠近 , 且相對 於該第一流體流通孔 11123 相互對稱設置 , 此外 , 該第一 螺紋孔 111 、該第三螺紋孔 111313以及該第一流體流通孔 \¥02019/112512 卩(:17802017/050596

11123排列於一虛擬直線上。其餘配置和結構 上述之第三 態樣 1(:相同 。

3埠接頭

本發明之 3 埠接頭係指一接頭上有三個可作為流體入 口或流體出 口之流通孔 , 舉例來說 , 實際使用 時可為一流 體入口及兩流體出 口 、 兩流體入口及一流體出 口 、 或者僅 使用其中兩個流通孔作為一流體入口及一流體 出 口 。

『圖 5人』至『圖 5 』為本發明 3 埠接頭之第一態樣 2&,

延伸單元 13, 該第一單元 11 包括一第一定位塊 118 ' 一第 一凹陷部 111)以及一第一舌部 11〇 , 該第一單元 11 具有一 上表面 111 、 一與該上表面 111 相對之下表面 112、 以及分 別與該上表面 111 及該下表面 112 連接之一第一側表面 113、 一第二侧表面 114、 一第三侧表面 115、 及一第四侧 表面 116 , 該第一侧表面 113 與該第三側表面 115 對應設 置 , 而該第二側表面 114與該第四侧表面 116對應設置 。

該第二單元 12 包括一第二定位塊 12&、 一第二凹陷部 121)以及一第二舌部 12〇, 該第二定位塊 123 自該第一單元 11 的該下表面 112之一部分突出 ,該第一單元 11 的該下表 面 112 之另一部分則因該第二定位塊 123 的設置而內凹成 該第二凹陷部 121), 該第二凹陷部 121)相鄰於該下表面 112

該第二舌部 12〇 自該第二定位塊 12 朝遠離該第二凹陷部 121)的一侧延伸而突出該第一單元 11 , 該第二單元 12 亦具 \¥02019/112512 卩(:17802017/050596

有一上表面 121 、 一與該上表面 121 相對之下表面 122、 以 及分別與該上表面 121 及該下表面 122 連接之一第一侧表 面 123、 一第二側表面 124、 一第三侧表面 125、 及一第四 側表面 126,該第一側表面 123與該第三侧表面 125對應設 置 , 而該第二側表面 124與該第四侧表面 126對應設置 。

該延伸單元 13係自該第一單元 11 和該第二單元 12靠 近該第二側表面 114、 124的一端朝外突出 , 該延伸單元 13 包括一上表面 131 、 一與該上表面 131 相對之下表面 132、 以及分別與該上表面 131 及該下表面 132 連接之一第一侧 表面 133、 一第二側表面 134及一第三侧表面 135, 該第一 側表面 133與該第三侧表面 135對應設置 , 該延伸單元 13

『圖 5人』所示。該延伸單元 13 的該第一侧表面 133和第一 單元 11 的該第二側表面 114 之間形成一弧狀的第一凹部 21 ; 該延伸單元 13 的該第三侧表面 135 和該第二單元 12 的該第二側表面 124之間亦形成一弧狀的第二凹部 22 , 該 擋牆 137 和該第三侧表面 115 之間形成一弧狀的第三凹部 23 °

本實施例中 ,該第一單元 11、該第二單元 12與該延伸 單元 13 為一體成形之結構 , 即 , 該第一單元 11 與該第二 單元 12具有相同之寬度 。

該第一單元 11 還包括一第一定位銷孔 11118 ' 一第二 定位銷孔 11111)、 一第一流體流通孔 11128、 一第二流體流 通孔 111213、 一第一螺紋孔 11133 ' 一第二螺紋孔 11131)、 \¥02019/112512 卩(:17802017/050596

一第三螺紋孔 1113〇、 一第四螺紋孔 1113(1、 一第一下螺紋 孔 1121 、 一第二下螺紋孔 1121 ¾>、 一第一螺栓孔 11148以 及一第二螺栓孔 111413。 該延伸單元 13 還包括一第三流體 流通孔 1312 、 一第五螺紋孔 13138 以及一第 六螺紋孔 131315。

其中 , 該第一定位銷孔 11118 以及該第二定位銷孔 11111) 均設置於該上表面 111 靠近該第一侧表面 113 之一 侧 , 且為一貫穿該上表面 111 以及該下表面 122之貫孔 。

該 第 一 流體流通孔 11128 以及該第 二流體流通孔 1112 分別設置於該上表面 111靠近該第一側表面 113以及 該第三侧表面 115之一側 , 該第三流體流通孔 1312設置於 該上表面 131 靠近該第二側表面 134 之一侧 。 於該第一流 體流通孔 11123 及該第二流體流通孔 1112¾) 之間設置有一 第一通道 11153 以令該第一流體流通孔 11123 及該第二流 體流通孔 1112 之間得以連通 ; 並且 , 於該第二流體流通 孔 11121)與該第三流體流通孔 1312之間還設置有一第二通 道 111513 以令該第二流體流通孔 11121) 及該第三流體流通 孔 1312之間得以連通 , 其中 , 該第一通道 11153與該第二 通道 111513彼此相接連通且延伸之方向彼此垂直。換 言之, 該第一流體流通孔 11123 透過該第一通道 11158 與該第二 通道 11155 而和該第二流體流通孔 11121) 與該第三流體流 通孔 1312連通 。 為了避免流體流經該些通道時殘存其中 , 於本態樣中 , 該些通道均經處理而具有一鏡面表面 。

該第一螺紋孔 11133、 該第二螺紋孔 1113¾>、 該第三螺 \¥02019/112512 卩(:17802017/050596

紋孔 111 1113(1、 該第五螺紋孔 13138 ' 該第六螺紋孔 131313、該第一下螺紋孔 11213及該第二下螺 紋孔 112^ 均為具有螺紋之盲孔 。 其中 , 該第一螺紋孔 11133及該第二螺紋孔 11131)設置在該第一單元 11 之該上 表面 111 靠近該第一側表面 113 之一侧 , 且該第一定位銷 孔 11113以及該第二定位銷孔 11111)亦設置在該上表面 111 靠近該第一侧表面 113 之一侧 ; 該第三螺紋孔 1113(: 設置 在該上表面 111 靠近該第二侧表面 114 之一側 , 而該第四 螺紋孔 1113(1則設置在該上表面 111 靠近該第四侧表面 116

在該延伸單元 13 的該上表面 131 上靠近該第二側表面 134 之一側 , 且該第三流體流通孔 1312 設置在該第五螺紋孔 13133及該第六螺紋孔 131313之間 。該第一下螺紋孔 11213 及該第二下螺紋孔 112113設置在該下表面 112,且靠近該第 一螺栓孔 11143以及一第二螺栓孔 11141)。

該第一螺栓孔 11143 以及該第二螺栓孔 11141) 均為貫 通該上表面 111 以及該下表面 112 之貫孔 。 與前述之該螺 栓孔結構相同(請搭配參考 『 圖 III』 ) , 該貫孔中均設有一 凸出部 , 使該第一螺栓孔 11143 以及該第二螺栓孔 111 之該貫孔具有不同之直徑 及 1^2:靠近該上表面 111 之直 112之直徑為 尺2,且 大於 2。 本態樣中 , 該第一螺栓孔 11143 之設置係設置於該第一螺 紋孔 11133 及該第三螺紋孔 1113〇 之間 , 該第二螺栓孔 111413則設置於該第二螺紋孔 11131)及該第四螺紋孔 1113(1 \¥02019/112512 卩(:17802017/050596

之間 。

該第二單元 12 還包括一第三定位銷孔 1211(:、 一第四 定位銷孔 1211(1 ' 一第一貫孔 12168 ' 一第二貫孔 121613、

該第三定位銷孔 1211〇 及該第四定位銷孔 1211(1 設置 於該第二單元 12 之該上表面 121 靠近該第一單元 11 之一 側 , 且均為貫穿該上表面 121 以及該下表面 122 之貫孔 。 該第七螺紋孔 1213^ 以及該第八螺紋孔 1213 則是設置在 該第二單元 12之該上表面 121 遠離該第一單元 11 之一侧, 本態樣中 , 該第七螺紋孔 1213 以及該第八螺紋孔 12131: 亦為貫穿該上表面 121 以及該下表面 122 之貫孔 。 而該第 一貫孔 12163 及該第二貫孔 12161) 則分別設置於靠近該第 三定位銷孔 1211(:與該第七螺紋孔 、以及靠近該第四 定位銷孔 1211(1與該第八螺紋孔 1213 。

本發明 3埠接頭之第二態樣 , 如 『圖 6』 所示 。 該 3 埠接頭 21),除了該第一單元 11 的該上表面 111 與第一態樣 不同之外 , 其餘配置和結構均相同 。 於該 3庳接頭 213 中 , 其第一單元 11 之該上表面 111 不 包括該第一定位銷孔 11113 以及該第二定位銷孔 11111) , 且該第一螺紋孔 11133 及該第二螺紋孔 11135 的位置移動使兩者和該第一流體流 通孔 11128排列於一虛擬直線上 。

4埠及 4埠以上接頭

本發明所稱之「 4埠及 4埠以上接頭」係指一接頭上有 四個或四個以上的流體流通孔 , 作為流體入口 或流體出 \¥02019/112512 卩(:17802017/050596

口 , 然並無特定之方向 。

『 圖 7人』 至 『 圖 7(:』 為本發明 4埠以上接頭之第一態 11 更包括一第四流體流通孔 1112〇 之外 , 其餘結構與前述之該 3 埠接頭 28相 同 , 故下文中僅 針對其流體流通孔之結構進行說明 而不再多 贅述其他結 構 。

第二流體流通孔 11121) 分別設置於該上表面 111 靠近該第 一侧表面 113 以及該第三侧表面 115 之一侧 , 該第四流體 流通孔 1112(3 則設置於該第一流體流通孔 11123 與該第二 流體流通孔 11121)之間並靠近該第二流體流通孔 11121),於 一實施例中 , 該第一流體流通孔 111

111213、 以及該第四流體流通孔 1112(:於該上表面 111 排列 在一虛擬直線上 。 該第三流體流通孔 1312設置於該延伸單 元 13 的該上表面 131 上靠近該第二侧表面 134之一側 , 且 該第三流體流通孔 1312設置在該第五螺紋孔 13138及該第 六螺紋孔 131313之間 。

該第一流體流通孔 11128 及該第四流體流通孔 1112〇 之間設置有一第一通道 11158 以連通該第一流體流通孔 11123 及該第四流體流通孔 111 於該第二流體流通孔 1112 與該第三流體流通孔 1312 之間亦設置有一第二通道 11155 以連通該第二流體流通孔 1112 及該第三流體流通 孔 1312 。 不 同於 3 埠接頭之通道設計 , 本態樣中 , 該第一 通道 11158 與該第二通道 111513 彼此不連通 , 故形成 4 璋 \¥02019/112512 卩(:17802017/050596

的結構 , 此外 , 該第一通道 11153 與該第二通道 11151) 延 伸之方向彼此垂直 。 為 了避免流體流經該些通道時殘存其 中 , 於本態樣中 , 該些通道均經處理而具有一鏡面表面 。

本發明 4埠以上接頭之第二態樣 31), 如 『圖 8』 所示 。 在該 4 埠以上接頭 31) 中 , 除了該第一單元 11 的該上表面 111 與第一態樣不同之外 , 其餘配置和結構均相同 。於第二 態樣中 ,在其第一單元 11 之該上表面 111 不設置該第一定 位銷孔 11118以及該第二定位銷孔 11111),且該第一螺紋孔 11133 及該第二螺紋孔 1113 的位置移動使兩者和該第一 流體流通孔 11128排列於一虛擬直線上 。

本發明 ,如『圖 9 』至『圖 9 』 所示 。於該 4埠以上接頭 3。 中具有一第一單元 11 、 一 第二單元 12 以及一延伸單元 13。 該第一單元 11 具有一上 表面 111 、 一與該上表面 111 相對之下表面 112、 以及分別 與該上表面 111 及該下表面 112連接之一第一側表面 113、 一第二側表面 114、 一第三侧表面 115 、 及一第四側表面 116, 該第一侧表面 113與該第三侧表面 115對應設置 , 而 該第二侧表面 114 與該第四侧表面 116 對應設置 。 本態樣 中 , 該第二單元 12 包括一第二定位塊 128以及一第二凹陷 部 121),該第二定位塊 128 自該第一單元 11 的該下表面 112 之一部分突出 , 該第一單元 11 的該下表面 112之另一部分 則 因該第二定位塊 128 的設置而 內 凹成該第 二凹 陷部 121), 該第二凹陷部 121)相鄰於該下表面 112之另一部分與 \¥02019/112512 卩(:17802017/050596

元 12 具有一下表面 122 、 以及與該下表面 122連接之一第 一侧表面 123、 一第二侧表面 124、 一第三侧表面 125、 及 一第四侧表面 126, 該第一侧表面 123與該第三侧表面 125 對應設置 , 而該第二侧表面 124 與該第四侧表面 126 對應 設置 。

該延伸單元 13係自該第一單元 11 和該第二單元 12靠 近該第二側表面 114、 124 的一側端朝外突出 , 於本實施例 中 , 該侧端係和該第一定位塊 11 該第二定位塊 128 突出 的端部相異 , 該延伸單元 13 包括一上表面 131 、 一與該上 表面 131 相對之下表面 132、以及分別與該上表面 131 及該 下表面 132 連接之一第一側表面 133、 一第二侧表面 134 及一第三側表面 135 , 該第一侧表面 133 與該第三侧表面 135對應設置 。 該延伸單元 13 的該第一侧表面 133和該第 一單元 11 的該第二侧表面 114之間形成一弧狀的第一凹部 21 ; 該延伸單元 13 的該第三侧表面 135 和該第一單元 11 的該第二侧表面 114 之間形成亦形成一弧狀的第二凹部 22,該第三側表面 135和該第二單元 12的該第二侧表面 124 之間形成一弧狀的第三凹部 23。

本實施例中 ,該第一單元 11、該第二單元 12與該延伸 單元 13 為一體成形之結構 。 本實施例中 , 該第二單元 12 之面積小於該第一單元 11,使該第一單元 11 的該第三侧表 面 115與該第二單元 12的該第三侧表面 125切齊成為一平 坦面 。

該第一單元 11 還包括一第一定位銷孔 11113 ' 一第二 \¥02019/112512 卩(:17802017/050596

定位銷孔 11111)、 一第一流體流通孔 11123、 一第二流體流 通孔 111213、 一第四流體流通孔 1112〇、 一第五流體流通孔 1112(1、 一第六流體流通孔 1112 、 一第一螺紋孔 11138 ' 一第二螺紋孔 11131)、 一第三螺紋孔 1113〇、 一第四螺紋孔 1113(1、 一第七螺紋孔 11136、 一第八螺紋孔 1113 、 一第 九螺紋孔 111 一第十螺紋孔 1113 、 一第一下螺紋孔 11213 ' 一第二下螺紋孔 11211)、 一第一螺栓孔 11143 以及 一第二螺栓孔 111 。 該延伸單元 13 還包括一第三流體流 通孔 1312、一第五螺紋孔 13133 以及一第六螺紋孔 13131)。 其中 , 該第一定位銷孔 11118 以及該第二定位銷孔 1111 b 均設置於該上表面 111 靠近該第一側表面 113 之一侧 , 且 為一貫穿該上表面 111 以及該下表面 112之貫孔 。

該第一流體流通孔 1112 、 該第二流體流通孔 11125 分別設置於該上表面 111 靠近該第一侧表面 113 以及該第 三侧表面之一側 , 該第三流體流通孔 1312設置在該延伸單 元 13 的該上表面 131 上靠近該第二侧表面 134之一側 , 該 第四流體流通孔 1112〇 則設置於該第一流體流通孔 11123 與該第二流體流通孔 11121)之間,該第五流體流通孔 1112(1 則設置於該第一流體流通孔 11128 與該第四流體流通孔 111 ,該第六流體流通孔 11126則設置於該第四流體 流通孔 1112(3 與該第二流體流通孔 11121) 之間 , 使得該第 一流體流通孔 11123、 該第二流體流通孔 11121)、 該第四流 體流通孔 111 1112(1、 以及該第六流 體流通孔 11126排列在一虛擬直線上 。 \¥02019/112512 卩(:17802017/050596

於該第一流體流通孔 11123 及第五流體流通孔 1112(1 之間設置有一第一通道 11153 以連通該第一流體流通孔 11128 及該第五流體流通孔 1112(1 ; 於該第二流體流通孔 11125 與該第六流體流通孔 11126 之間設置有一第二通道 11155 以連通該第二流體流通孔 1112 及該第六流體流通 孔 1112 6 ; 此外 , 該第三流體流通孔 1312 與該第四流體流 通孔 111 1115〇 以連通該第三流 體流通孔 1312 及該第四流體流通孔 1112(3。 本態樣中 , 該 第一通道 11153、該第二通道 11151)、以及該第三通道 1115〇 彼此不連通 , 故形成 6埠的結構 , 此外 , 該第一通道 11158 與該第二通道 1115 延伸之方向彼此平行 , 而該第一通道 11153與該第三通道 1115〇延伸之方向彼此垂直。且為了避 免流體流經該些通道時殘存其中 , 於本態樣中 , 該些通道 均經處理而具有一鏡面表面 。

該第一螺紋孔 11133、 該第二螺紋孔 11131)、 該第三螺 紋孔 1113〇 ' 該第四螺紋孔 1113(1 ' 該第五螺紋孔 13138 ' 該第六螺紋孔 131313、 該第七螺紋孔 11136、 該第八螺紋孔 1113 、 該第九螺紋孔 1113 、 該第十螺紋孔 1113 、 該第 一下螺紋孔 11213及該第二下螺紋孔 112^ 均為具有螺紋 之盲孔 。

其中 , 該第一螺紋孔 111 11131) 設 置在該第一單元 11 之該上表面 111 靠近該第一側表面 113 之一側 , 且該第一螺紋孔 11138 及該第二螺紋孔 11131) 與 該上表面 111 靠近該第一側表面 113 之一侧之間分別設置 \¥02019/112512 卩(:17802017/050596

該第一定位銷孔 11118 以及該第二定位銷孔 111113。

該第三螺紋孔 1113(: 以及該第九螺紋孔 11138 均設置 在該上表面 111 靠近該第二侧表面 114 之一侧 , 該第五螺

該上表面 131 上靠近該第二侧表面 134 之處 。 更具體地 , 該第三螺紋孔 1113〇 設置在靠近該第一凹部 21 、 該第九螺 紋孔 1113 則是設置靠近該第二凹部 22 。 且該第三流體流 通孔 1312 設置在該第五螺紋孔 13138 及該第六螺紋孔 13135之間 。

該第七螺紋孔 11136 以及該第八螺紋孔 1113f 設置在 該第一單元 11 靠近該第三侧表面 115 之一側 , 使該第二流 體流通孔 11121) 設置於該第七螺紋孔 11136 以及該第八螺 紋孔 1113 ! 之間 。

而該第四螺紋孔 1113(1 以及該第十螺紋孔 1113}1 則靠 近該第四側表面 116,且設置於該第二螺紋孔 11131) 以及該 第八螺紋孔 111 , 其中 , 該第四螺紋孔 1113(1 靠近 該第二螺紋孔 111313 設置 , 而該第十螺紋孔 1113 靠近該 第八螺紋孔 111 。 該第一下螺紋孔 1121& 及該第二 下螺紋孔 11211)設置在該下表面 112,且靠近該第一螺栓孔 11143 以及一第二螺栓孔 11141)。

該第一螺栓孔 11143 以及該第二螺栓孔 11141) 均為貫 通該上表面 111 以及該下表面 112 之貫孔 , 該貫孔中均設 有一凸 出部 , 使該第一螺栓孔 11143 以及該第二螺栓孔 111413之該貫孔具有不同之直徑 及 1^2:靠近該上表面 111 \¥02019/112512 卩(:17802017/050596

之直徑為 而靠近該下表面 112 之直徑為 1?2 , 且 大 於 2(請參考圖 III)。 本態樣中 , 該第一螺栓孔 11143之設 置係設置於該第一螺紋孔 111 1113(: 之 間 , 該第二螺栓孔 11141) 則設置於該第二螺紋孔 11131) 及 該第四螺紋孔 1113(1之間 。

連接件

連接件作為連接上述 2埠、 3埠及 4埠以上接頭接頭以 及管體之用途 ,於本發明 中 , 係以以下兩種態樣舉例說明 。

請搭配 『圖 10八』 至 『 圖 10(:』, 係為本發明連接件之 第一態樣 48, 該連接件 48 具有一第一單元以及一第二單 元 。

該第一單元具有一上表面 111、一與該上表面 111 相對 之下表面(圖未示) 、 以及分別與該上表面 111 及該下表面 連接之一第一侧表面 113、 一第二侧表面 114、 一第三侧表 面 115、及一第四侧表面(圖未示),該第一侧表 面 113與該 第三側表面 115 對應設置 , 而該第二侧表面 114 與該第四 侧表面(圖未示)對應設置 。

該第一單元之該上表面 111 包括一第一貫孔 11168' - 第二貫孔 111613、 以及一第一流體流通孔 11128 其中 , 該 第一流體流通孔 11128 設置於該第一貫孔 11168 與該第二 貫孔 1116b之間 。

本態樣中 , 該第一貫孔 11168 以及該第二貫孔 1116 分別貫穿該上表面 111 以及該下表面(圖未示) , 而該第一 流體流通孔 1112 ¾ 則是具有一位於該第二侧表面 114 之開 \¥02019/112512 卩(:17802017/050596

口端 1141 。

該第二單元則為一具中空管狀結構之元件 , 包括一內 表面 127 以及一外表面 128’且該第二單元之一端連通該第 一流體流通孔 11123之該開口端 1141 。

本發明連接件之第二態樣 41),如『 圖 11人』至『圖 1;^』 所示 。 該連接件 4 中僅包括一第一單元 , 該第一單元具有 一上表面 111 、 一與該上表面 111 相對之下表面 112。 於該 第一單元 11 之該上表面 111 包括一第一貫孔 11168 ' 一第 二貫孔 11161)、 以及一凹槽 1117 , 該凹槽 1117設置於該第 一貫孔 11168與該第二貫孔 1116b之間 。

本態樣中 , 該第一貫孔 11168 以及該第二貫孔 1116 分別為貫穿該上表面 111 以及該下表面 112 之貫孔 , 而該 凹槽 1117 則具有一凸出使該凹槽 1117 具有不同之直徑 : 靠近該上表面 111 之直徑大於靠近該下表面 112之直徑 。

流體控制裝置

以本發明來說 , 該流體控制裝置主要包括一基座 、 複 數個連接塊以及複數個流體控制件,該連接塊 係自 前述之 2 埠接頭 、 3 埠接頭 、 4埠以上接頭至少選擇兩者彼此鄰接 。 接下來 , 將透過具體實施例說明如何將該些接頭與設備 結 合而組成本發明的流體控制裝置。 惟先說明的是, 前述之 2 埠接頭 、 3埠接頭 、 4埠以上接頭 、 以及連接件彼此之間的 組合並沒有特定的順序 , 本領域人士可依照實際需求從中 選用適當的組合 。

舉例來說 , 欲將一過濾器經由該些接頭組裝於本發明 \¥0 2019/112512 卩(:17802017/050596

之流體控制裝置時 , 可將該過濾器與兩種相 同或不 同 態樣 的 2 埠接頭連接、亦可選擇使該過濾器與一 2 璋接頭及一 3 埠接頭連接 ; 另一實施例 中 , 如欲將一 2 埠截止閥經由該 些接頭組裝於本發明之流體控制裝置時 , 則兩接頭的其中 一者可選用該 2 埠接頭 、 另一者可為 2 埠接頭 、 3 埠接頭 、 4 璋以上接頭 、 或者是連接件 ; 又一實施例 中 , 如欲將一 3 埠截止閥經由該些接頭組裝於本發明之流體控 制裝置時 , 則兩接頭的其中一者可選用該 3 埠接頭 、 另一者可為 2 埠 接頭 、 3 埠接頭 、 4 埠以上接頭 、 或者是連接件 。 或於一實 施例中 , 該 2 埠接頭之第四態樣 1 (1係適合用在複數個接頭 中的端部 , 即該 2 埠接頭之第四態樣 1 (1 的一側與另一個接 頭連接 , 但另一侧則無 。

請參閱 『 圖 1 2人』 至 『 圖 1 2 (:』 , 係本發明的流體控制 裝置一實施例 , 該流體控制裝置包括一基座 20 、 複數個連 接塊以及複數個流體控制件 , 該連接塊包括一 2 埠接頭 1 (1、 一 2 埠接頭 1〇 以及一 4 埠以上接頭 33, 該流體控制件 包括一進氣件 1〇3 、 一手動閥 1 04 以及一第一 2 璋截止閥 1 0 5 , 該連接塊設置於該基座 2 0 上 , 該連接塊彼此疊接橫 向組裝 , 而該流體控制件設置於該連接塊上 , 此外 , 該流 體控制裝置還包括複數個密封板 30 ,該密封板 3 0 放置於該 流體控制件和該連接塊之間 , 該密封板 30 具有複數個流體 通過孔 3 1 、 複數個定位孔 32 以及設置於該流體通過孔 3 1 的墊片 33 。

該基座 20 之材質可為金屬 , 包括複數個定位槽 2 1。 有 \¥02019/112512 卩(:17802017/050596

關該連接塊的組裝 , 請參閱 『 圖 12(:』, 並以該 2 埠接頭 和該 2 璋接頭 1(1 來說明 , 該 2 埠接頭 1(: 的該第二單元 12 的該第二舌部 12(: 設置於 2 埠接頭 1(1 的該第二單元 12 的 該第二凹陷部 121),使將 2 埠接頭 1(1 的該第二單元 12 的該 第三側表面 125 抵頂於該 2 埠接頭 1〇 的該第二單元 12 的 該第一侧表面 123 。 該 2 璋接頭 1(1 的該第一定位銷孔 12113 、 該第二定位銷孔 12111) 、 該第一貫孔

二貫孔 12161) 、 該第五螺紋孔 12136 以及該第六螺紋孔 1213[ 分別對準該 2 埠接頭 11118 ' 該第二定位銷孔 11111)、 該第一下螺紋孔 11213、 該第二下 螺紋孔 11211) 、 該第 一螺栓孔 11148 以及該第二螺栓孔 111413。

其中 , 兩第一固定件 4()3 係分別貫穿該第一定位銷孔 12118和該第一定位銷孔 11118之間,以及該第二定位銷孔 121113 和該第二定位銷孔 1111 之間 , 而使該 2 埠接頭 1(1 和該 2 埠接頭 1〇彼此定位 ; 兩第二固定件 401)分別從該基 座 20 的該定位槽 21, 而穿設於該第一貫孔 12163和該第一 下螺紋孔 1121 & 之間 , 以及該第二貫孔 12161) 和該第二下 螺紋孔 11211) 之間 , 使該 2 埠接頭 2 埠接頭 1(1和 該基座 20 彼此固定 ; 兩第三固定件 40〇 分別貫穿該第一螺 栓孔 111 12136 之間 , 以及該第二螺栓 孔 1114 和該第六螺紋孔 1213! 之間 , 使該 2 埠接頭 該 2 埠接頭 1 彼此鎖固 。 四個第四固定件 40(1 穿過該手動 閥 104 的穿孔 、 該密封板 30 的該定位孔 32 而鎖固於該 2 \¥02019/112512 卩(:17802017/050596

埠接頭 1〇 的該第三螺紋孔 1113〇 ' 該第四螺紋孔 1113 以 及該 2璋接頭 1 的該第三螺紋孔 1113(: 以及該第四螺紋孔 1113(1。 於本實施例 中 , 該第一固定件 4(^係一插銷 , 而該 第二固定件 401)、 該第三固定件 40〇 ' 該第四固定件 40(1係 一螺栓 。 此外 , 複數個第五固定件 406 穿過該進氣件 103 的穿孔而鎖固於該 2璋接頭 1(1的該第一螺紋孔 111

該第二螺紋孔 11131)。

請續參照 『 圖 13』, 為本發明一實施例之流體控制裝置 示意圖 。

該流體控制裝置包括一基座 20 、 一接頭模組 1 、 以及 一流體控制件模組 100。該流體控制件模組 100 包括複數個 流體控制件 , 本實施例 中欲設置於該流體控制裝置之流體 控制件 , 由一氣體進入的方向往該氣體離開的方向 , 依序 為 : 一進氣件 103、一手動閥 104、一第一 2 淳截止閥 105 、 一第一 3 埠截止閥 1063 、 一高潔淨調壓閥 107 、 一壓力傳 感器 108、 一過濾器 109、 一第二 2 埠截止閥 1051)、 一質量 流量控制器 110 ' 一第二 3 库截止閥 10613 、 以及一第三 2 埠截止閥 105〇 。

參 『 圖 13』, 該接頭模組 1 包括複數個連接塊 , 該連接 塊係沿一軸向排列 , 該連接塊各包括一上半部 II 以及一下 半部 [ , 該上半部 11 包括至少一流體入口 、 至少一流體出 口 、 以及至少一連通該流體入口和該流體出 口之間且朝一 水平方向延伸的連接通道 (:,該下半部

遠離該凹陷部並沿該轴向延伸突出 的舌部 , 本實施例 中 , \¥0 2019/112512 卩(:17802017/050596

該連接通道 0係高於該舌部的一上表面 ?, 且該連接通道 0 和該連接塊之一底面相距一高度 , 相鄰的該連接塊係透過 該舌部容設於該凹陷部內 而彼此連接 。 該上半部 11 具有一

且和該上固定孔對應的下固定孔 , 相鄰的該連接塊透過至 少 一 固 定件穿設於該上固 定孔以及該下 固 定孔而彼此固 定 , 例如 『 圖 1 2(:』 中 , 該第三固定件 40(: 分別貫穿該第一 螺栓孔 1 1 1 43和該第五螺紋孔 1 2 1 36之間。於本實施例中 , 該流體入口 、 該流體出 口 以及該連接通道 0 係形成一貫設 於單一該連接塊內的 II形通道 。

或者 , 該接頭模組 1 包括複數個連接塊 , 該連接塊係 沿一軸向排列 , 該連接塊各包括至少一流體入口 、 至少一 流體出 口 、 以及至少一連通該流體入口和該流體出 口之間 且朝一水平方向延伸而和該連接塊之一底面相 距一高度的 連接通道 , 其中 , 該連接塊的一端形成一突出 的第一舌部 , 另一端形成一凹陷部 , 相鄰的該連接塊係透過該第一舌部 容設於該凹陷部內 而彼此連接 , 於本實施例 中 , 該舌部的 突出 方向平行於該軸向 。 該第一舌部具有一縱向貫穿的第 一 固 定孔 , 該連接塊的該另 一端還形成一 突 出 的 第二舌 部 , 且該第二舌部具有一縱向貫穿的第二固定孔 , 相鄰的 該連接塊係透過一 固定件穿設於該第一 固定孔以及該第二 固定孔而彼此固定 。 於本實施例 中 ’ 該流體入口 、 該流體 出 口以及該連接通道 0 係形成一貫設於單一該連接塊內的 II形通道 。 該流體控制件設置於該基座 20 和該接頭模組 1 \¥0 2019/112512 卩(:17802017/050596

上方 , 該流體控制件具有一 出 口 0 以及一入口 I , 該出 口 0 以及該入口 I 分別連接至該連接塊的該流體入口 以及相鄰 的該連接塊的該流體出 口 。

有關該固定孔 、 該固定件 、 該流體入口 、 該流體出 口 、 該凹陷部以及該舌部等結構特徵 , 請參 『 圖 1八』 至 『 圖 9 ?』 所示 。

該接頭模組 1 使該流體控制件得以 緊固於該基座 2 0 上 , 其包括複數個接頭 。『 圖 1 2』 所使用 的接頭 , 由一氣體 進入的方向往該氣體離開的方向 ,依序為 :該 2 埠接頭 1 (1、 該 2 埠接頭 1 <3、 該 4埠以上接頭 38、 該 2 埠接頭 1 、 該 2 埠接頭 1 (1 、 該 2 埠接頭 1 (1、 該 2 埠接頭 1 (1、 該 2 埠接頭 1 8、 該 2 埠接頭 1 8、 該 4 埠以上接頭 3 、 以及該 4埠以上 接頭 313 , 於本發明 中 , 該些接頭透過其第一單元與相鄰接 頭之第二單元而彼此疊合 , 達到簡單組裝及拆卸的 目 的 。 除此之外 , 氣體能夠在該些接頭及流體控制件之間流動 , 從而降低氣體外洩之風險 。

以上已將本發明做一詳細說明 , 惟以上所述者 , 僅爲 本發明的一較佳實施例而 已 , 當不能限定本發明實施的範 圍 。 即凡依本發明 申請範圍所作的均等變化與修飾等 , 皆 應仍屬本發明的專利涵蓋範圍 內 。

【圖式簡單說明】 指定代表圖為 : 圖 1 3 。

『 圖 1人』 , 為本發明 2 埠接頭之第一態樣之立體圖 。

『 圖 』, 為本發明 2 埠接頭之第一態樣之左侧視圖 。

『 圖 1 (:』 , 為本發明 2 埠接頭之第一態樣之仰視圖 。 \¥0 2019/112512 卩(:17802017/050596

『圖 1 0』, 為本發明 2埠接頭之第一態樣之俯視圖 。

『圖 1 』, 為 『 圖 1人』 之 1^-13剖視圖 。

『圖 2』, 為本發明 2埠接頭之第二態樣之立體圖 。

『圖 3人』, 為本發明 2埠接頭之第三態樣之立體圖 。 『圖 38』, 為本發明 2埠接頭之第三態樣之左侧視圖 。 『圖 3(:』, 為本發明 2埠接頭之第三態樣之仰視圖 。 『圖 31)』, 為本發明 2埠接頭之第三態樣之俯視圖 。 『圖 3£』, 為 『 圖 3人』 之 0(:剖視圖 。

『圖 4』, 為本發明 2埠接頭之第四態樣之立體圖 。

『圖 5人』, 為本發明 3埠接頭之第一態樣之立體圖 。 『圖 56』,為本發明 3埠接頭之第一態樣之另一視角立 體圖 。

『 圖 5(:』, 本發明 3 埠接頭之第一態樣之左側視圖 。 『 圖 5 I) 』, 為本發明 3埠接頭之第一態樣之仰視圖 。 『 圖 5å』, 為本發明 3埠接頭之第一態樣之俯視圖 。

『 圖 6』, 為本發明 3埠接頭之第二態樣之立體圖 。

『 圖 7 』, 為本發明 4 埠以上接頭之第一態樣之立體 圖 。

『 圖 8』,為本發明 4璋以上接頭之第二態樣之立體圖。 \¥02019/112512 卩(:17802017/050596

『圖 9 』, 為本發明 4 埠以上接頭之第三態樣之立體 圖 。

『圖 96』,為本發明 4埠以上接頭之第三態樣之左侧視 圖 。

『 圖 9(:』, 為本發明 4 埠以上接頭之第三態樣之仰視 圖 。

『 圖 90』, 為本發明 4 庳以上接頭之第三態樣之俯視 圖 。

『 圖 9å』, 為 『 圖 9人』 之 11-11剖視圖 。

『 圖 9F』, 為 『 圖 9人』 之 I - 1 剖視圖 。

『 圖 10八』, 為本發明連接件之第一態樣之立體圖 。

『 圖 10(:』, 為 『圖 10 』 之 ](-]{剖面圖 。

『 圖 11人』, 為本發明連接件之第二態樣之立體圖 。

『 圖 11:8』, 為 『圖 11 』 之 1 ^ -:1剖面圖 。

『 圖 12人』, 為本發明一實施例之流體控制裝置之立體 圖 。

『 圖 126』, 為本發明一實施例之流體控制裝置另一視 角之立體圖 。

『 圖 12(:』, 為本發明一實施例之流體控制裝置之分解 圖 。

『 圖 13』, 為本發明另一實施例之流體控制裝置示意 圖 。