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Patent Searching and Data


Title:
FLUIDIZED BED REACTOR
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2020/175800
Kind Code:
A1
Abstract:
The present invention relates to a fluidized bed reactor for preparing carbon nanotubes, comprising: a reactor main body having a longitudinally empty shape; a distribution plate, which has a plate shape, is mounted in the reactor main body so as to transversely divide the inside thereof, and has a plurality of perforated holes through which a reaction gas passes; a nozzle unit mounted on one surface of the distribution plate so as to receive an inert gas from the outside and spray same, thereby crushing a deposit deposited on the distribution plate; a sensing unit for sensing the deposition condition of the deposit deposited on the distribution plate; and a control unit for controlling the operation of the nozzle unit according to the information sensed by the sensing unit. The present invention having the aforementioned technical features can detect the deposit in the reactor main body by means of the sensing unit and crush the deposit by means of the nozzle unit, and thus can further improve the production efficiency of carbon nanotubes.

Inventors:
PARK HYUN WOO (KR)
KIM SE HYUN (KR)
YOON KWANG WOO (KR)
KIM OG SIN (KR)
Application Number:
PCT/KR2020/000929
Publication Date:
September 03, 2020
Filing Date:
January 20, 2020
Export Citation:
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Assignee:
LG CHEMICAL LTD (KR)
International Classes:
C01B32/16; B01J8/24
Foreign References:
KR20150120613A2015-10-28
KR19980064781A1998-10-07
KR20160057254A2016-05-23
KR20100073149A2010-07-01
JP2012236727A2012-12-06
Attorney, Agent or Firm:
BAE, KIM & LEE IP GROUP (KR)
Download PDF:
Claims:
2020/175800 1»(:1/10公020/000929

9

청구범위

[청구항 1] 탄소나노튜브를제조하기위한유동층반응기에 있어서,

길이방향을따라속이빈모양을갖는반응기본체;

판모양을갖고내부를횡방향으로구획하도록상기반응기본체내에 장착되며 ,반응기체가통과하는복수개의타공홀들이형성된분산판; 상기분산판의일면에장착되어상기분산판에퇴적된퇴적물을 파쇄하도록외부에서불활성가스를공급받아분사하는노즐부;

상기분산판에퇴적된퇴적물의퇴적상태를센싱하는센싱부;및 상기센싱부에서센싱된정보에따라노즐부의작동을제어하는 제어부;를포함하는것을특징으로하는유동층반응기 .

[청구항 2] 제 1항에 있어서,

상기분산판은원판모양을가지며,상기노즐부는복수개가분산판의 둘레를따라서서로이격되어배치된것을특징으로하는유동층반응기. [청구항 3] 제 2항에 있어서,

상기노즐부는,

퇴적물이쌓이는상기분산판의일면에고정되는하우징; 외부에서상기하우징으로불활성가스를공급하는공급라인;및 상기하우징에구비되어불활성가스를분사하는분사부;를포함하는 것을특징으로하는유동층반응기 .

[청구항 4] 제 3항에 있어서,

상기하우징에는서로다른각각의방향으로불활성가스를분사하도록 두개이상의분사부들이구비되는것을특징으로하는유동층반응기. [청구항 5] 제 4항에 있어서,

상기하우징에구비된분사부중적어도어느하나는이웃하는하우징을 향하여불활성가스를분사하도록배치된것을특징으로하는유동층 반응기.

[청구항 6] 제 1항내지제 5항중어느한항에 있어서 ,

상기센싱부는퇴적물이쌓이는상기분산판의일면에서일정거리를 두고배치되는온도계;를포함하고,상기제어부에서온도변화에따라 퇴적량을추정하는것을특징으로하는유동층반응기 .

[청구항 7] 제 6항에 있어서,

상기온도계는복수개가분산판의둘레를따라서서로이격되어배치된 것을특징으로하는유동층반응기 .

[청구항 8] 제 6항에 있어서,

상기온도계는복수개가장착되되 ,상기분산판과의거리가다르게 형성되도록배치된것을특징으로하는유동층반응기.

[청구항 9] 제 6항에 있어서, 2020/175800 1»(:1^1{2020/000929

10 상기온도계는퇴적물의직접접촉을통해온도를측정하는접촉식 온도계인것을특징으로하는유동층반응기 .

[청구항 10] 제 6항에있어서 ,

상기온도계는퇴적물와접촉하지않는위치에배치되어상기 퇴적물에서방출되는빛에너지를감지하여온도를측정하는비접촉식 온도계인것을특징으로하는유동층반응기.

Description:
2020/175800 1»(:1^1{2020/000929 명세서

발명의 명칭:유동층반응기

기술분야

[1] 본출원은 2019년 2월 28일자한국특허출원제 10-2019-0024231호에기초한 우선권의이익을주장하며,해당한국특허출원 문헌에개시된모든내용은본 명세서의일부로서포함된다.

[2] 본발명은탄소나노튜브를제조하는유동층반응 기에관한것으로써 ,더욱 상세하게는센싱부를구비하여분산판에퇴적된 퇴적물의상태를파악할수 있고상기분산판에는노즐부가구비되어불활성 가스의분사를통해상기 퇴적물을파쇄할수있는유동층반응기에관한것 이다.

[3]

배경기

[4] 탄소나 이웃하는 3개의탄소원자가 육각형의벌집구조로결합되어탄소평면을형성 하고,상기탄소평면이 원통형으로말려서튜브의형상을가지는소재이 다.탄소나노튜브는다양한 기술분야에서광범위하게응용되는신소재로각 광받고있다.가령,상기 탄소나노튜브는이차전지,연료전지등과같은 기화학적저장장치의 전극은물론,전자파차폐장치,디스플레이장치, 또는기체센서등에적용되고 있다.

[5] 상기탄소나노튜브의제조방법으로써아크방전 법,레이저증발법 ,

화학기상성장법등이공개된바있다.

[6] 이중,화학기상성장법에서는통상적으로고온 유동층반응기안에서금속성 촉매입자와탄화수소계열의반응기체를반응시 켜탄소나노튜브를생성한다.

[7] 종래의유동층반응기의구성이개략적으로도시 된모습으로써왼쪽은

반응기본체의외부모습이도시되고오른쪽은 (일정거리를두고윗쪽에서 아래로내려다봤을때)상기반응기본체 (1)내부가투시되어분산판 (2)이장착된 모습이도시된도 1을참조하면,상기유동층반응기는길이방향을 라내부가 빈원통형파이프모양을갖는반응기본체 (1)를갖되,상기상기반응기본체 (1)의 뾰족한)모양을가지며,입구 (1幻로 투입된반응기체는내부의분산판 (2)에타공된타공홀들 (2 을거쳐출구 (내)로 배출되는구조를갖는다.

[8] 상기반응기본체 (1)는고온으로가열될수있도록가열기 (미도시)와

선택적으로결합될수있으며,반응기체가이동 는동안반응기본체 (1)내에 제공된촉매금속은상기반응기체와합성이이뤄 져서 0^의제조가이뤄진다.

[9] 이때,상기분산판 (2)은반응기본체 (1)내에서반응기체를균일하게분산시켜 통과시키되촉매금속및반응에의해생성된분체 가아랫쪽으로낙하하는것을 2020/175800 1»(:1^1{2020/000929

2 방지한다.

[1이 즉,상기유동층반응기에서는분산판 (2)위에금속촉매를올려놓고

분산판 (2)에 형성된타공홀 (2 을통해반응기체를아랫쪽에서부터윗쪽으로 공급하면상기금속촉매가분산판 (2)의상측유동하면서 반응이발생된다.

[11] 합성중반응기본체 (1)내부의모습이나타난도내에도시된 , 합성중촉매금속입자에서성장한 2차입자들은서로 응집하여 한덩어리를이루며시간이 길어질수록더욱단단하게경화가이뤄져 퇴적물을생성한다.

[12] 이러한퇴적물의 생성은반응기본체 (1)내에서 여러가지문제를발생시킨다. 가령,도내에서 퇴적물이 생성된영역에서는상기 퇴적물이분산판 (2)의 타공홀들 (2 을폐쇄시킴으로써 반응기체의유동을방해하고이에

합성에 악영향을미치며 ,퇴적물들은반응기본체 (1)내에서 덩어리로뭉쳐져 고장을일으키거나여러가지 센서 및장치의오류를발생시켰다.

[13] 이러한문제를해소하기위하여종래에는반응기 본체 (1)내부또는외부에 바이브레이터를설치하여진동을가하거나상기 반응기본체 (1)내부에회전하는 임펠라를설치하여퇴적물을분쇄시키기도하였 다.

[14] 하지만, CNT의 합성은 600내지 1000도의고온에서 이뤄지고반응기체는 에틸렌,메탄등의가연성 가스가사용되므로바이브레이터에의한진동및 임펠라의 회전에의한물리적타격은화재위험성을동반하 는위험요소가되는 문제가있었고,이러한종래의 방법은퇴적물의 완전한파쇄가어려운문제점이 있었다.

[15]

발명의상세한설명

기술적과제

[16] 이에따라,본발명은분산판위에발생하는퇴적 의 생성을감지하고생성된 퇴적물을효율적으로파쇄하여 제거할수있는유동층반응기를제공하는것에 주목적이 있다.

[17]

과제해결수단

[18] 전술한바와같은목적을달성하기위한본발명은 ,탄소나노튜브를제조하기 위한유동층반응기에 있어서,길이방향을따라속이 빈모양을갖는

반응기본체 ;판모양을갖고내부를횡방향으로구획하도록 기반응기본체 내에장착되며 ,반응기체가통과하는복수개의 타공홀들이 형성된분산판;상기 분산판의 일면에장착되어상기분산판에 퇴적된퇴적물을파쇄하도록 외부에서불활성가스를공급받아분사하는노즐 부;상기분산판에 퇴적된 퇴적물의 퇴적상태를센싱하는센싱부;및상기 센싱부에서 센싱된정보에 따라 노즐부의 작동을제어하는제어부;를포함하는것을특징 로한다. 2020/175800 1»(:1^1{2020/000929

[19] 상기분산판은원판모양을가지며,상기노즐부 복수개가분산판의둘레를 따라서서로이격되어 배치된다.

[2이 본발명에 따른상기 노즐부는,퇴적물이쌓이는상기분산판의 일면에

고정되는하우징;외부에서상기하우징으로불 성가스를공급하는공급라인; 및상기하우징에구비되어불활성가스를분사하 는분사부;를포함한다.

[21] 상기하우징에는서로다른각각의방향으로불활 성가스를분사하도록두개 이상의분사부들이구비된다.그리고,상기하우 에구비된분사부중적어도 어느하나는이웃하는하우징을향하여불활성가 스를분사하도록배치된다.

[22] 상기 센싱부는퇴적물이쌓이는상기분산판의 일면에서 일정거리를두고 배치되는온도계;를포함하고,상기 제어부는온도변화에 따라퇴적량을 추정하도록구성된다.

[23] 상기온도계는복수개가분산판의둘레를따라서 서로이격되어 배치된다. 바람직하게는상기온도계는복수개가장착되되 ,상기분산판과의 거리가 다르게 형성되도록배치된다.

[24] 상기온도계는퇴적물의직접접촉을통해온도를 측정하는접촉식온도계가 사용되거나,퇴적물와접촉하지 않는위치에 배치되어상기퇴적물에서 방출되는빛에너지를감지하여온도를측정하는 비접촉식온도계가사용될수 있다.다만,상기 반응기본체내부는고온이므로고장발생가능성 ,측정신뢰도 및내구성에따라접촉식온도계가사용되는것이 바람직하다.

[25]

발명의효과

[26] 상기와같은기술적특징을갖는본발명은,센싱 를통해반응기본체내의 퇴적물을감지하고노즐부를통해상기 퇴적물을파쇄할수있으므로, 탄소나노튜브의 생산효율을더욱증대시킬수있다.

[27] 상기노즐부는복수개가분산판의둘레를따라서 서로이격되어 배치되므로 불활성가스가도달하지못하는음영구간이최소 화되거나억제되어퇴적물 파쇄가더욱효율적으로이뤄질수있다.

[28] 그리고,상기노즐부는하우징마다두개 이상의분사부들이구비되어

불활성가스를더다양한방향으로분사시킬수있 다.

[29] 아울러 ,센싱부를구성하는온도계는복수개가장착되 각지점의온도차에 따라퇴적물의발생상태를효율적으로센싱할수 있다.

[3이

도면의간단한설명

[31] 도 는종래의유동층반응기의구성이 개략적으로도시된모습으로써

왼쪽은반응기본체의외부모습이도시되고오른 쪽은상기반응기본체내부가 투시되어분산판이장착된모습이나타난도면.

[32] 도내는 0^의합성중도 에도시된반응기본체내부의모습이 나타난 2020/175800 1»(:1^1{2020/000929

4 단면도.

[33] 도 2는본발명에따른유동층반응기의 내부구성이 개략적으로도시된

모습으로써 왼쪽은반응기본체의 외부모습이도시되고오른쪽은상기

반응기본체내부가투시되어온도계와노즐부를 구비하는분산판이장착된 모습이 나타난도면.

[34] 서노즐부가장착된부분을확대하여도시한것으 로서상기 나타난도면.

[35] 된모양의 노즐부가투시되어 나타난도면.

[36] 실시예 1에따라반응기본체에서동일한높이로네곳에

온도계가배치된모습(좌:윗쪽에서 아랫쪽을투시하여 바라본모습,우:

외부에서 정면으로바라본모습)이도시된도면.

[37] 도 는본발명의실시예 2에 따라반응기본체에서서로다른높이로세곳에 온도계가배치된모습(좌:윗쪽에서 아랫쪽을투시하여 바라본모습,우:

외부에서 정면으로바라본모습)이도시된도면.

[38] 도 는본발명의실시예 3에따라링모양의온도계들이서로다른높이로

반응기본체내부에장착된모습을투시하여도시 한도면.

[39] 도 5는종래의유동층반응기내에 퇴적물이쌓인상태를단순화하여도시한 모습知)과본발명에따른유동층반응기내에서 퇴적물이파쇄된상태를 단순화하여도시한모습(비이나타난도면.

[4이

발명의실시를위한형태

[41] 이하,첨부된도면에 의거하여본발명에 대하여본발명이속하는기술

분야에서통상의지식을가진자가용이하게실시 할수있도록상세히설명한다. 그러나본발명은여러가지상이한형태로구현될 수있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.

[42] 본발명을명확하게설명하기 위해서설명과관계없는부분은생략하였으며, 명세서 전체를통하여동일또는유사한구성요소에 대해서는동일한참조 부호를붙이도록한다.

[43] 또한,본명세서 및특허청구범위에사용된용어나단어는통상적 이거나

사전적인의미로한정하여 해석되어서는안되며,발명자는그자신의 발명을 가장최선의방법으로설명하기위해용어의 개념을적절하게정의할수있다는 원칙에 입각하여본발명의기술적사상에부합하는의미 와개념으로

해석되어야만한다.

[44] 본발명은탄소나노튜브를제조하기 위한유동층반응기에관한것으로써 , 이하여기에 첨부된도면들을참조하여본발명을더욱상세히 설명한다.

[45] 본발명에 따른유동층반응기의내부구성이 개략적으로도시된모습으로써 왼쪽은반응기본체의외부모습이도시되고오른 쪽은상기반응기본체내부가 2020/175800 1»(:1^1{2020/000929

5 투시되어온도계와노즐부를구비하는분산판이 장착된모습이나타난도 2및 상기분산판에장착된노즐부의모습이투시되어 나타난도 와도걔를 참조하면,본발명에따른유동층반응기는길이 향을따라속이빈원통 파이프모양을갖는반응기본체 (10)내에원판형분산판 (20)이장착되는구조를 갖는다·

[46] 상기분산판 (20)은반응기본체 (10)내부를횡방향으로구획하도록장착되며 , 상기반응기본체 (10)의입구 (10 에서출구 (1아5)로유동하는반응기체가통과할 수있도록복수개의타공홀들 (21)이고르게분포하도록구성된다.

[47] 그리고,상기분산판 (20)에서탄소나노튜브가합성되는일면 (즉,퇴적물이 형성되는면)에는노즐부 (30)와센싱부가장착되며 ,상기노즐부 (30)와센싱부는 제어부와전기적으로또는무선으로연결되어통 신가능하게구성된다.상기 제어부는노즐부 (30)로불활성가스를공급하는공급장치를포함

외부장치들과도연결되어상기센신부에서제공 된정보를토대로상기 노즐부 (30)의작동을제어하도록구성된다.상기제어부 유동층반응기를 제어하는소프트웨어또는하드웨어에통합될수 있으며아니면별도의 장치로써추가될수있다.

[48] 상기노즐부 (30)는외부에서공급되는불활성가스 (가령,질소등)를공급받아 상기분산판 (20)에서퇴적된퇴적물로적절한압력조건으로 사하여 파쇄하도록구성된다.

[49] 상기노즐부 (30: 30 30비는,퇴적물이쌓이는상기분산판 (20)의일면에

고정되는하우징 (3 을구비한다.상기하우징 (3 은도 와도걔에도시된 바와같이원통형또는각형모양을가질수있되촉 매금속및반응기체의 유동과합성에간섭을발생시키지않는범위내에 서크기와모양이한정되지 않으며분산판 (20)에고정되도록배치된다.참고적으로,도 에도시된각진 모양의하우징 (31)보다도 에도시된원통형모양의하우징 (31)이가스및 촉매금속의유동시유동저항을덜발생시킬수도 있을것이나하우징의모양과 크기는함께장착되는후술될온도계 (40)의배치구조및반응기본체 (10)내부 디자인에따라다면체,원통형,원뿔형등과같이 양한형태로결정될수있을 것이다.

[5이 상기하우징 (31)은반응기본체 (10)외부로연결되어외부의불활성가스

저장장치 (미도시)로부터불활성가스를공급하는공급라 (32)의끝단이 연결된다.상기공급라인 (32)은외부저장장치에서적절한압력으로공급 는 불활성가스를하우징 (31)으로공급하며,도 2에도시된바와같이공급라인 (32) 하나당하나의하우징 (31)과연결되도록구성될수도있고,공급라인 (32)하나가 복수개의하우징 (31)으로연결되도록구성될수도있다.

[51] 상기공급라인 (32)의끝단에서하우징 (31)내부에는불활성가스의분출

단면적을축소시킴으로써압력에너지가속도에 너지로변환되어분사되도록 분사부 (33)가상기하우징 (31)에장착또는형성된다.상기분사부 (33)는 2020/175800 1»(:1^1{2020/000929

6 불활성가스가이동하는유로면적이공급라인 (32)의유로면적보다축소된 구조를가지며,퇴적물의파쇄가가능할정도의 분한압력과속도로

불활성가스를분사한다.

[52] 도 3 걔에도시된바와같이본발명에서상기분사부 (33)는하우징 (31)

하나당하나씩구비될수도있으나,하우징 (31)하나당서로다른각각의 방향으로불활성가스를분사하도록두개씩구비 되는것이바람직하다 (이때, 분사구는두개를초과하여여러방향으로분사되 도록구비될수도있으나,이 경우에는불활성가스의공급시충분히더높은압 력이가해져야할것이다).

[53] 그리고,도 2에도시된바와같이 ,상기노즐부 (30)는원판형분산판 (20)의

테두리근방에서둘레를따라일정간격을두고복 수개가규칙적으로배치된다. 그리고,상기하우징 (31)에구비된분사부 (33)중적어도어느하나는이웃하는 하우징 (31)을향하여분산판 (20)의둘레를따라불활성가스가분사되도록 배치된다.이는종래의유동층반응기내에퇴적 이쌓인상태를단순화하여 도시한모습知)과본발명에따른유동층반응기 에서퇴적물이파쇄된상태를 단순화하여도시한모습 (비이나타난도 5에도시된바와같이,분산판 (20)과 상기반응기본체 (10)가맞닿는테두리부분에더많이쌓이게되는 적물을더 효율적으로분쇄시키기위함이다.

[54] 또한,본발명에서분산판 (20)에퇴적된퇴적물의퇴적상태를센싱하는

센싱부는온도계 (40)로구성된다.

[55] 상기온도계 (40)는퇴적물에서방출되는빛에너지를감지하 온도를

측정하는비접촉식온도계가사용될수도있으나 ,상기반응기본체 (10)내부는 600도이상의고온이므로고장발생가능성,신뢰 를고려하여퇴적물의 직접접촉을통해온도를측정하는접촉식온도계 가사용되는것이바람직하다.

[56] 상기온도계 (40)는 (노즐부와마찬가지로)복수개가분산판 (20)의둘레를

따라서서로이격되어배치되며,온도정보는제 부로전달된다.상기제어부는 반응과정동안온도계 (40)에서측정된온도편차에따라퇴적물의생성 예측 및검출할수있다.

[57] 즉,어느특정부분에서퇴적물이발생하면반응 체가그지점을통과하지 못하게되고이에따라합성이제대로이뤄지지못 해그지점과가장가까운 곳의온도계는다른온도계보다온도가낮게계측 될것이므로,이를토대로 제어부는퇴적물의생성위치와생성량등을추정 하고노즐부 (30)의작동을 제어하여퇴적물을파쇄시킬수있다.

[58] 아울러,본발명에따른온도계 (40)는막대또는링모양을갖되일부분은

반응기본체 (10)내부에위치하여내부온도를실시간으로계 하며,일부분은 반응기외부에위치하여제어부로데이터를송신 하도록구성된다.

[59] 한편,본발명에서는온도계 (40)의배치구성에따라세개의실시예들을

제공한다.

[6이 본발명의실시예 1에따라반응기본체 (10)에서동일한높이로네곳에 2020/175800 1»(:1^1{2020/000929

7 온도계가배치된모습 (좌:윗쪽에서아랫쪽을투시하여바라본모습,우 :

외부에서정면으로바라본모습)이도시된도 4&를참조하면 (참고적으로,도 내지 40에서는도면에서선이중첩되는것을방지하기 하여노즐부는 생략하고온도계만도시한것임),실시예 1에따른온도계 (40)의배치는동일한 모양을같은온도계가반응기본체 (10)에서동일한높이로배치된다.

[61] 이때,상기온도계 (40)는막대형모양을갖되,온도계 (40)하나당여러지점에서 온도를측정하도록구성될수있다.예를들면,반 기본체 (10)의내주면과 상대적으로가까운지점,상대적으로먼지점,그 이의지점으로삼분할하고, 삼분할된영역에서독립적으로온도를측정하는 온도센서를각각배치하여 , 하나의온도계 (40)당세지점에서온도를개별적으로계측하도 구성할수 있다.따라서,도 4a와같이네개의온도계 (40)가장착되는경우라면,열두곳의 지점각각에서개별적으로온도측정이가능하다 .물론,각온도계 (40)당 온도센서가더많이부착된다면더많은지점에서 더상세하게온도측정이 가능하다.

[62] 그리고,본발명의실시예 2에따라반응기본체에서서로다른높이로세곳 온도계 (40)가배치된모습 (좌:윗쪽에서아랫쪽을투시하여바라본모습,우 : 외부에서정면으로바라본모습)이도시된도 를참조하면,실시예 2에따른 온도계의배치는동일한모양을같는온도계 (40)가반응기본체 (10)에서서로 다른높이로배치된다.

[63] 이실시예에서도상기온도계 (40)는막대형모양을갖되,온도계 (40)하나당 여러지점에서온도를측정하도록구성될수있다 .또한,이와같이높이차가 발생하는배치는퇴적물의높이 (퇴적물의양)측정을가능하게할수있다.즉, 상대적으로높은위치에놓인쇼지점온도계가계 측한온도는정상이고, 0 지점과: 8지점의온도계가계측한온도가비정상이라면 정상정도에따라 퇴적물의높이를추정할수있다.

[64] 본발명의실시예 3에따라링모양의온도계 (40)가서로다른높이로

반응기본체 (10)내부에장착된모습을투시하여도시한도 를참조하면,이와 같은링모양의온도계 (40)에서는복수개의온도센서를방사형으로배 할수 있으므로,퇴적물이어느쪽에쌓였는지와어느 이까지쌓였는지를더 효율적으로검출할수있는장점을가질것이다. 지만,탄소나노튜브의합성 시촉매금속및반응기체의유동에간섭이발생할 가능성이있으므로그크기와 모양이제한될수있다.

[65] 상기와같은기술적특징을갖는본발명의유동층 반응기는센싱부를통해 반응기본체 (10)내의퇴적물을감지하고노즐부 (30)를통해상기퇴적물을 효율적으로파쇄할수있으므로탄소나노튜브의 생산효율을더욱증대시킬수 있다.

[66] 상기노즐부 (30)는복수개가분산판 (20)의둘레를따라서서로이격되어

배치되므로불활성가스가도달하지못하는음영 구간이최소화되거나억제되어 2020/175800 1»(:1^1{2020/000929

8 퇴적물파쇄가더욱효율적으로이뤄질수있다.

[67] 그리고,상기노즐부 (30)는하우징 (31)마다두개이상의분사부들 (33)이 구비되어불활성가스를더다양한방향으로분사 시킬수있다.

[68] 아울러 ,센싱부를구성하는온도계 (40)는복수개가장착되어각지점의 온도차에따라퇴적물의발생상태를효율적으로 센싱할수있다.

[69] 이상에서본발명은비록한정된실시예와도면에 의해설명되었으나,본 발명은이것에의해한정되지않으며,본발명이 하는기술분야에서통상의 지식을가진자에의해본발명의기술사상과아래 에기재될특허청구범위의 균등범위내에서다양한실시가가능하다.