Die vorliegende Erfindung betrifft einen Galvanometerantrieb, mit einem Sta- tor, der eine Spule umfasst, mit einem drehbaren Rotor, der zumindest in ei nem Abschnitt durch einen Permanentmagneten ausgebildet ist, und mit ei nem in Radialrichtung des elektrischen Antriebs zwischen dem Stator und dem Rotor angeordneten Spalt, so dass der Rotor gegenüber dem Stator drehbar ist.

Aus der DE 102007037 183 A1 ist ein Galvanometerantrieb für Laserbear beitungsvorrichtungen bekannt.

Insbesondere bei der Durchführung von Laserapplikationen - wie z.B. La- sermarkieren, generative Fertigung, Laserschweißen oder Laserschneiden - werden Galvanometerantriebe verwendet, um optische Elemente, wie z.B. Spiegel, zur Ablenkung eines Bearbeitungslaserstrahls zu positionieren. Da bei handelt es sich um Rotationsmotoren mit begrenztem Winkelbereich, die bei der heute gängigen Ausführung als „moving-magnet“ Galvanometeran- trieb im Wesentlichen eine Spule und einen bewegbaren Permanentmagne ten umfassen. Der Permanentmagnet des Galvanometerantriebs dreht sich bei einem Betrieb des Galvanometerantriebs in einem externen Magnetfeld, das durch einen die Spule aufweisenden Stator erzeugt wird. Insbesondere bei modernen digitalen Regelungen, die auf Pulsweitenmodulation beruhen, wird die zur Ansteuerung benötigte Spannung durch eine schnelle Abfolge von Spannungspulsen unterschiedlicher Breite erzeugt, aber mit wenigen diskreten Höhenstufen nachgebildet, welche im Mittel die gewünschte Span nung ergeben. Die Abfolgerate dieser Pulse liegt dabei im kHz-MHz Bereich. Die Anstiegsgeschwindigkeit der Spannung ist am Beginn und Ende eines Pulses sehr hoch, wodurch eine elektrische Gleichtaktstörung erzeugt wer den kann. Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es somit, einen Galvanometerantrieb bereitzustellen, bei dem die Störungen vermindert sind.

Die Aufgabe wird gelöst durch einen Galvanometerantrieb und ein Abschirm element mit den Merkmalen der unabhängigen Patentansprüche.

Vorgeschlagen wird ein Galvanometerantrieb, mittels dem beispielsweise Winkeleinstellungen vorgenommen werden können. Derartige Galvanome terantriebe können beispielsweise für eine Laserbearbeitungsvorrichtung vorgesehen sein, um beispielsweise Ablenkspiegel für einen Bearbeitungsla ser drehen zu können.

Der Galvanometerantrieb umfasst einen Stator, der eine Spule umfasst. Mit tels des Stators bzw. der Spule kann ein Magnetfeld ausgebildet werden, um eine Drehung auszubilden. Die Spule wird dabei von einem Spulenstrom durchflossen, der das Magnetfeld ausbildet. Mittels einer Steuerung des Spu lenstroms kann der Galvanometerantrieb gesteuert werden. Infolgedessen kann mittels der Steuerung des Spulenstroms der Ablenkspiegel entspre chend gedreht werden.

Ferner umfasst der Galvanometerantrieb einen drehbaren Rotor, der in zu mindest einem Abschnitt durch einen Permanentmagneten ausgebildet ist. Der Permanentmagnet wechselwirkt mit dem durch den Stator bzw. die Spu le erzeugten Magnetfeld, so dass der Rotor in Drehung versetzt wird.

Außerdem umfasst der Galvanometerantrieb einen in Radialrichtung des Galvanometerantriebs zwischen dem Stator und dem Rotor angeordneten Spalt, so dass der Rotor gegenüber dem Stator drehbar ist. Der Stator und der Rotor sind somit voneinander beabstandet, so dass der Rotor frei gegen über dem Stator drehen kann. Lediglich magnetische Kräfte wirken zwischen dem Rotor und dem Stator bzw. über den Spalt hinweg. Unter dem Begriff „Spalt“ ist somit ein Freiraum zu verstehen, dessen radial innere Wand durch den Rotor und dessen radial äußere Wand durch den Stator ausgebildet ist. Der Rotor und der Stator sind im Bereich des Spalts in Radialrichtung ge genüberliegend angeordnet. In einer seitlichen Draufsicht überlappen sich diese demnach im Bereich des Spalts.

Erfindungsgemäß ist im Spalt ein zumindest teilweise elektrisch leitfähiges Abschirmelement angeordnet. Mittels des Abschirmelements kann der Rotor vom Stator elektrisch abgeschirmt werden. Dadurch kann der Rotor vom Sta tor kapazitiv entkoppelt werden. Dadurch kann verhindert werden, dass sich beim Schalten des durch die Spule führenden elektrischen Spulenstroms ei ne elektrische Störung über die kapazitive Kopplung in den Rotor einkoppelt und hier zu Problemen führt. Derartige Probleme sind beispielsweise Ströme durch Lager des Galvanometerantriebs, die über den Rotor, das Lager, ein Gehäuse usw. fließen können, welche während der Drehung zu Funkenbil dung und damit zu Lagerschäden führen können. Außerdem kann es zu Be einflussungen von Positionssensoren kommen, die zur Überwachung vor handen sein können. Durch elektrische Felder der kapazitiven Kopplung und die magnetischen Felder von Ableitströmen können die Positionssensoren beeinflusst werden. Ferner können elektromagnetische Abstrahlungen aus gebildet werden, welche zu Fehlfunktionen umliegender Baugruppen führen können.

Von Vorteil ist es, wenn der Stator in Radialrichtung um den Rotor angeord net ist. Der Stator ist somit außen und der Rotor ist innen angeordnet. Alter nativ kann aber auch der Rotor in Radialrichtung um den Stator angeordnet sein. Dann ist der Rotor außen und der Stator innen angeordnet.

Vorteilhaft ist es, wenn das Abschirmelement in einer Umfangsrichtung des elektrischen Antriebs geschlossen ist. Dadurch kann die Abschirmung ver bessert werden. Von Vorteil ist es, wenn das Abschirmelement zylinderförmig ausgebildet ist. Dadurch ist es rotationssymmetrisch. Zusätzlich oder alternativ ist es um den Rotor oder den Stator angeordnet. Je nachdem, ob der Rotor oder der Stator innen angeordnet ist, ist das Abschirmelement um den Rotor oder den Stator angeordnet.

Vorteilhaft ist es, wenn das Abschirmelement am Stator oder am Rotor an geordnet ist. Dadurch ist ein einfacher Aufbau des Galvanometerantriebs ge geben. Wenn das Abschirmelement am Stator angeordnet ist, dreht es sich, wie der Galvanometerantrieb, nicht mit, so dass der Aufbau des Galvanome terantriebs besonders einfach wird. Alternativ kann das Abschirmelement vom Stator und vom Rotor beabstandet sein.

Von Vorteil ist es, wenn das Abschirmelement in einer Axialrichtung des Gal vanometerantriebs zumindest in einem Überdeckungsabschnitt angeordnet ist, in dem sich der Stator und der Rotor, insbesondere in einer Seitenan sicht, überdecken. Das Abschirmelement kann somit zwischen dem Rotor und Stator angeordnet sein. Wenn das Abschirmelement im Überdeckungs abschnitt angeordnet ist, kann es die Störungen effektiv abschirmen, da im Überdeckungsabschnitt der Rotor und Stator den geringsten Abstand zuei nander aufweisen. Die Übertragung der Störungen ist hier am stärksten, so dass das Abschirmelement im Überdeckungsabschnitt seine größte Wirkung entfalten kann. Im Überdeckungsabschnitt werden die Störungen am stärks ten übertragen, da hier auch die kapazitive Kopplung am stärksten ist.

Von Vorteil ist es, wenn ein erster Abstand zwischen dem Abschirmelement und dem Rotor und/oder ein zweiter Abstand zwischen dem Abschirmele ment und dem Stator vorzugsweise in Umfangsrichtung und/oder in einer Axialrichtung des elektrischen Antriebs konstant ist.

Vorteilhaft ist es, wenn das Abschirmelement in Radialrichtung mittig zwi schen dem Rotor und dem Stator angeordnet ist. Von Vorteil ist es, wenn sich das Abschirmelement in einer Axialrichtung des Galvanometerantriebs aus dem Spalt hinauserstreckt. Dadurch reicht auch die abschirmende Wirkung des Abschirmelements über den Spalt hinaus, so dass die Abschirmung verbessert wird.

Vorteilhaft ist es, wenn das Abschirmelement in Axialrichtung über ein erstes Rotorende hinausragt. Zusätzlich oder alternativ kann das Abschirmelement in Axialrichtung auch über ein erstes Statorende hinausragen.

Zusätzlich oder alternativ ist es vorteilhaft, wenn das Abschirmelement in Axialrichtung über ein zum ersten Rotorende in Axialrichtung gegenüberlie gendes zweites Rotorende hinausragt. Zusätzlich oder alternativ kann das Abschirmelement in Axialrichtung auch über ein zum ersten Statorende in Axialrichtung gegenüberliegendes zweites Statorende hinausragen. Dadurch reicht das Abschirmelement über die jeweiligen Enden des Rotors und/oder des Stators hinaus, so dass auch dort die Abschirmung entsprechend wirken kann.

Von Vorteil ist es, wenn das erste Rotorende und das erste Statorende in Axialrichtung des Galvanometerantriebs zueinander bündig sind. Zusätzlich oder alternativ kann auch das zweite Rotorende und das zweite Statorende in Axialrichtung des Galvanometerantriebs zueinander bündig sein.

Vorteilhaft ist es, wenn das Abschirmelement zumindest eine elektrische Lei terschicht aufweist. Beispielsweise kann die elektrische Leiterschicht eine Metallfolie sein, so dass das Abschirmelement auf einfache Weise ausgebil det ist. Dabei kann das derart ausgebildete Abschirmelement elektrisch iso liert auf dem Stator und/oder auf dem Rotor angeordnet sein. Beispielsweise kann die elektrische Leiterschicht auf dem Stator und/oder dem Rotor aufge klebt sein. Dadurch kann das Abschirmelement einfach und/oder kosten günstig ausgebildet werden. Von Vorteil ist es, wenn das Abschirmelement zumindest eine elektrisch iso lierende Trägerschicht aufweist. Auf der elektrisch isolierenden Trägerschicht kann die elektrische Leiterschicht angeordnet sein. Ferner kann auch die Lei terschicht zwischen zwei elektrisch isolierenden Trägerschichten angeordnet sein. Zusätzlich oder alternativ kann das Abschirmelement auch mehrere übereinander angeordnete elektrisch isolierende Trägerschichten und Leiter schichten aufweisen. Dadurch wird die Abschirmung verbessert. Ferner kann dadurch das Abschirmelement auf einfache Weise ausgebildet werden.

Vorteilhaft ist es, wenn die mehreren übereinander angeordneten Träger schichten und Leiterschichten derart angeordnet sind, dass in Radialrichtung über isolierenden Bereichen leitende Bereiche angeordnet sind. Zusätzlich oder alternativ können die mehreren übereinander angeordneten Träger schichten und Leiterschichten derart angeordnet sein, dass in Radialrichtung über leitenden Bereichen isolierende Bereiche angeordnet sind. Dadurch werden auch Bereiche von isolierenden Bereichen mittels leitenden Berei chen geschlossen. Dadurch wird ein durchgehendes Abschirmelement er reicht. Dadurch wird ein durchgehend elektrisch leitfähiges Abschirmelement erreicht.

Von Vorteil ist es, wenn die elektrische Leiterschicht auf der dem Rotor oder dem Stator zugewandten Seite der Trägerschicht angeordnet ist oder dass auf beiden Seiten der Trägerschicht eine elektrische Leiterschicht angeord net ist.

Vorteilhaft ist es, wenn die Leiterschicht zumindest eine Kammstruktur auf weist, die einen sich in Umfangsrichtung erstreckenden Kammrücken und vom Kammrücken mehrere in Axialrichtung orientierte und in Umfangsrich- tung voneinander beabstandete Kammzinken aufweist. Durch die voneinan der beabstandeten Kammzinken kann verhindert werden, dass sich Wirbel ströme im Abschirmelement ausbilden, welche den Rotor bei der Drehung bremsen würden. Über den Kammrücken können die Kammzinken jedoch elektrisch miteinander verbunden sein, so dass Potentialunterschiede zwi schen den Kammzinken ausgeglichen werden.

Von Vorteil ist es, wenn das Abschirmelement zwei Kammstrukturen auf weist. Die beiden Kammstrukturen können voneinander elektrisch isoliert sein. Zusätzlich oder alternativ können die beiden Kammstrukturen in Axial richtung voneinander beabstandet sein. Zusätzlich oder alternativ können die beiden Kammstrukturen gegeneinander orientiert sein. Mit Hilfe der beiden Kammstrukturen kann die Ausbildung der Wirbelströme weiter unterdrückt werden.

Vorteilhaft ist es, wenn zwischen jeweils zwei in Umfangsrichtung benachbar ten Kammzinken ein Isolierspalt und/oder ein Isoliermaterial angeordnet ist. Zusätzlich oder alternativ kann auch zwischen den Kammstrukturen ein Iso lierspalt und/oder ein Isoliermaterial angeordnet sein. Dadurch sind die bei den Kammstrukturen voneinander elektrisch isoliert, so dass nur sehr gerin ge Wirbelströme ausgebildet werden können.

Von Vorteil ist es, wenn sich die beiden Kammstrukturen bis in einen Mittel bereich des Abschirmelements erstrecken.

Vorteilhaft ist es, wenn die Kammzinken untereinander eine gleiche und/oder eine unterschiedliche Zinkenlänge aufweisen. Dabei können alle die gleiche Zinkenlänge aufweisen oder zumindest einige können die gleiche und einige können eine unterschiedliche Zinkenlänge aufweisen. Alternativ können auch alle Kammzinken untereinander unterschiedliche Zinkenlängen aufweisen.

Zusätzlich oder alternativ können die Kammzinken untereinander eine glei che und/oder eine unterschiedliche Zinkenbreite aufweisen. Dabei können alle die gleiche Zinkenbreite aufweisen oder zumindest einige können die gleiche und einige können eine unterschiedliche Zinkenbreite aufweisen. AI- ternativ können auch alle Kammzinken untereinander unterschiedliche Zin kenbreiten aufweisen.

Von Vorteil ist es zusätzlich oder alternativ, wenn eine Kammzinke der eine Kammstruktur und eine entsprechende in Axialrichtung beabstandete Kammzinke der anderen Kammstruktur ein Kammzinkenpaar bilden, wobei bei zumindest einigen Kammzinkenpaaren die beiden Kammzinken zueinan der unterschiedliche Zinkenlängen aufweisen. Das heißt, dass die beiden Kammzinken eines Kammzinkenpaares unterschiedliche Zinkenlängen auf weisen. Ein zwischen diesen beiden Kammzinken angeordneter Isolierspalt ist somit nicht mittig zwischen den Kammstrukturen angeordnet, sondern ne ben der Mitte bzw. neben dem Mittelbereich angeordnet. Ferner können die Gesamtlängen der beiden Kammzinken von zumindest einigen Kammzin kenpaaren, insbesondere von allen Kammzinkenpaaren, zueinander gleich und/oder unterschiedlich sein.

Vorteilhaft ist es, wenn bei zumindest einigen Kammzinkenpaaren eine Kammzinke an einem dem Kammrücken gegenüberliegenden Kammzinken ende einen Ausschnitt aufweist und die dazugehörige andere Kammzinke des Kammzinkenpaares einen zum Ausschnitt geformten Fortsatz aufweist, welcher in den Ausschnitt der entsprechenden Kammzinke eingreift. Infolge dessen greifen die beiden Kammzinken eines Kammzinkenpaares ineinander ein, so dass die Abschirmung verbessert wird. Der Ausschnitt kann dabei kreisförmig, elliptisch, eckig und/oder V-förmig ausgebildet sein, wobei der entsprechende Fortsatz eine dazu entsprechende Form aufweist. Dabei kön nen auch die Ausschnitte und die Fortsätze der jeweiligen Kammzinkenpaare zueinander unterschiedlich sein.

Von Vorteil ist es, wenn die Kammzinken rechteckig, trapezförmig und/oder wellenförmig ausgebildet sind. Beispielsweise können einige Kammzinken rechteckig, einige trapezförmig und einige wellenförmig ausgebildet sein. Dadurch kann die Abschirmung verbessert werden. Vorteilhaft ist es, wenn der Kammrücken der zumindest einen Kammstruktur, insbesondere vollständig, in Axialrichtung außerhalb des Spalts angeordnet ist. Vorzugsweise können auch beide Kammrücken der beiden Kammstruktu ren außerhalb des Spalts angeordnet sein. Infolgedessen ist der zumindest eine Kammrücken in Axialrichtung neben dem Rotor und/oder Stator ange ordnet. Der zumindest eine Kammrücken ist somit in einem Bereich ange ordnet, in dem das Magnetfeld des Stators und/oder des Rotors geringer ist. Zusätzlich oder alternativ können die Kammzinken, insbesondere vollständig, innerhalb des Spalts angeordnet sein. Die Kammzinken sind somit im Be reich zwischen Rotor und Stator angeordnet. Dort weist das Magnetfeld die größte Stärke auf, so dass mittels der Kammzinken die Abschirmung verbes sert ist.

Von Vorteil ist es, wenn das Abschirmelement zumindest ein elektrisch leitfä higes Verbindungselement aufweist, das das Abschirmelement, insbesonde re die zumindest eine Kammstruktur, mit einem Gehäuse des elektrischen Antriebs elektrisch verbindet. Dadurch kann das Abschirmelement geerdet werden. Insbesondere kann dadurch zwischen dem Abschirmelement und dem Gehäuse ein Potentialausgleich geschaffen werden.

Vorteilhaft ist es, wenn das Abschirmelement als flexible Leiterplatte ausge bildet ist, die zylinderförmig aufgerollt ist, wobei die Leiterschicht vorzugswei se gedruckt, gestanzt und/oder geätzt ist. Dadurch kann das Abschirmele ment auf einfache Weise ausgebildet werden. Die Isolierschicht kann ferner beispielsweise als ausgehärteter Lack ausgebildet sein. Die Isolierschicht kann zusätzlich oder alternativ als eine Folie, insbesondere Kunststofffolie, ausgebildet sein, welche mit der Leiterschicht verbunden ist.

Von Vorteil ist es, wenn das Abschirmelement in Radialrichtung eine Dicke von weniger als 1 mm aufweist. Dadurch kann der Galvanometerantrieb kompakt ausgebildet werden. Des Weiteren wird ein Abschirmelement für einen Galvanometerantrieb vor geschlagen. Der Galvanometerantrieb ist gemäß einem oder mehreren Merkmalen der vorangegangenen und/oder nachfolgenden Beschreibung ausgebildet. Das Abschirmelement ist ferner derart ausgebildet, dass es für den Galvanometerantrieb gemäß einem oder mehreren Merkmalen der vo rangegangenen und/oder nachfolgenden Beschreibung verwendet werden kann. Weitere Vorteile der Erfindung sind in den nachfolgenden Ausführungsbei spielen beschrieben. Es zeigen:

Figur 1 eine seitliche Querschnittsansicht eines Galvanometerantriebs mit Abschirmelement,

Figur 2a eine Draufsicht auf das Abschirmelement,

Figur 2b eine Draufsicht auf das Abschirmelement mit Kammzinken mit unterschiedlichen Zinkenlängen,

Figur 2c eine Draufsicht auf das Abschirmelement mit trapezförmigen Kammzinken,

Figur 2d eine Draufsicht auf das Abschirmelement mit Kammzinken mit Fortsätzen und Ausschnitten,

Figur 3 eine Schnittansicht durch den Stator und das Abschirmelement und Figur 4 eine Schnittansicht durch das Abschirmelement mit Leiter schicht und elektrisch isolierender Trägerschicht. Figur 1 zeigt eine seitliche Querschnittsansicht eines Galvanometerantriebs 1 mit einem Abschirmelement 5.

Der Galvanometerantrieb 1 umfasst einen Stator 2, der eine Spule 20 um fasst. Die Spule 20 wird mit einem Spulenstrom beaufschlagt, so dass der Stator 2 ein Magnetfeld erzeugt. Der Stator 2 umfasst ferner gemäß dem vor liegenden Ausführungsbeispiel einen magnetischen Rückschluss 21 , um das Magnetfeld zu verstärken.

Des Weiteren umfasst der Galvanometerantrieb 1 einen drehbaren Rotor 3, der in zumindest einem Abschnitt durch einen Permanentmagneten 22 aus gebildet ist. Der Rotor 3 kann dabei in zumindest einem Längsabschnitt bzw. einem Abschnitt in Axialrichtung A mittels dem Permanentmagneten 22 aus gebildet sein. Mit Hilfe des Permanentmagneten 22 wird ein permanentes Magnetfeld ausgebildet. Das vom Rotor 3 und das vom Stator 2 erzeugte Magnetfeld wechselwirken miteinander, so dass mittels Steuerns des Spu lenstroms durch den Stator 2 der Rotor 3 gedreht werden kann. Des Weite ren umfasst der Galvanometerantrieb 1 eine Welle 18, an der beispielsweise ein Ablenkspiegel angeordnet sein kann, um zur Laserbearbeitung einen La serstrahl ablenken und führen zu können.

Gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist der Rotor 3 innenliegend und der Stator 2 außen um den Rotor 3 angeordnet.

In einer Radialrichtung R des Galvanometerantriebs 1 ist zwischen Rotor 3 und Stator 2 ein Spalt 4 angeordnet. Durch den Spalt 4 ist der Rotor 3 vom Stator 2 beabstandet, so dass der Rotor 3 berührungslos zum Stator 2 dre hen kann.

Um eine Übertragung von Störungen zwischen dem Stator 2 und dem Rotor 3 zu verhindern oder zumindest zu verringern, ist im Spalt 4 das zumindest teilweise elektrisch leitfähige Abschirmelement 5 angeordnet. Derartige Stö- rungen treten insbesondere beim Schalten des Spulenstroms auf und kön nen, beispielsweise durch kapazitive Kopplung, auf den Rotor 3 übertragen werden. Dort kann es zu elektrischen Strömen kommen, welche beispiels weise über die hier gezeigten Lager 19a, 19b, mittels der der Rotor 3 bzw. die Welle 18 in einem Gehäuse 16 gelagert ist, abgeführt werden. Dadurch können die Lager 19a, 19b, beispielsweise durch Funkenbildung, beschädigt werden. Zusätzlich oder alternativ kann auch ein hier nicht gezeigter Positi onssensor zum Messen der Position bzw. der Orientierung des Rotors 3 be einflusst werden, so dass falsche Messergebnisse ausgegeben werden. Wei terhin zusätzlich oder alternativ können auch elektromagnetische Abstrah lungen auftreten, welche umliegende Elektronikgeräte stören können.

Mit Hilfe des Abschirmelements 5, welches zumindest teilweise elektrisch leitfähig ist, kann der Rotor 3 kapazitiv vom Stator 2 kapazitiv geschirmt wer den, sodass die genannten Störungen vermindert bzw. verhindert werden.

Das Abschirmelement 5 ist zumindest vom Rotor 3 beabstandet, so dass sich der Rotor 3 berührungslos gegenüber dem Abschirmelement 5 drehen kann.

Der Stator 2 weist ferner eine dem Rotor 3 zugewandte Statorinnenseite 23 auf. Vorzugsweise ist das Abschirmelement 5 an der Statorinnenseite 23 an geordnet, wie es beispielsweise in der folgenden Figur 3 gezeigt ist.

Des Weiteren weist der Rotor 3 ein erstes Rotorende 6 und davon ein in Axi alrichtung A beabstandetes zweites Rotorende 8 auf. Weiterhin weist der Stator 2 ein erstes Statorende 7 und davon ein in Axialrichtung A beabstan detes zweites Statorende 9 auf. Wie gemäß dem hier gezeigten Ausfüh rungsbeispiel gezeigt ist, sind das erste Rotorende 6 und das erste Statoren de 7 zueinander bündig. Zusätzlich oder alternativ können auch das zweiten Rotorende 8 und das zweite Statorende 9 zueinander bündig sein. Außerdem weist das Abschirmelement 5 des vorliegenden Ausführungsbei spiels zumindest ein Verbindungselement 15a, 15b auf, mittels dem eine elektrische Verbindung zum Gehäuse 16 ausgebildet werden kann. Mit Hilfe des zumindest einen Verbindungselements 15a, 15b kann somit ein Potential zwischen Abschirmelement 5 und Gehäuse 16 ausgeglichen werden. Insbe sondere kann mittels des zumindest einen Verbindungselements 15a, 15b das Abschirmelement 5 geerdet werden. Gemäß dem vorliegenden Ausfüh rungsbeispiel weist das Abschirmelement 5 zwei Verbindungselemente 15a, 15b auf, welche hier in Axialrichtung A voneinander beabstandet mit dem Gehäuse 16 elektrisch leitend verbunden sind.

Gemäß dem hier gezeigten Ausführungsbeispiel erstreckt sich das Abschir melement 5, insbesondere zylinderförmig, um den Rotor 3 herum. Das Ab schirmelement 5 umschließt somit den Rotor 3 in einer Umfangsrichtung U im Wesentlichen vollständig, so dass die Abschirmung lückenlos ist. Das Ab schirmelement 5 des hier gezeigten Ausführungsbeispiels ist somit im We sentlichen zylindrisch, was daran begründet ist, dass der Rotor 3 und die dem Rotor 3 zugewandte Statorinnenseite 23 ebenfalls zylindrisch ist.

In anderen Ausführungsbeispielen kann der Rotor auch eine nicht zylindrische Form haben.

Des Weiteren ist das Abschirmelement 5 in Axialrichtung A des Galvanome terantriebs 1 zumindest in einem Überdeckungsabschnitt 30 angeordnet, in dem sich der Stator 2 und der Rotor 3, insbesondere in einer Seitenansicht, überdecken. Der Überdeckungsabschnitt 30 kann sich gemäß dem vorlie genden Ausführungsbeispiel in Axialrichtung A vom ersten Rotorende 6 bis zum zweiten Rotorende 8 erstrecken. Zusätzlich oder alternativ kann sich gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel der Überdeckungsabschnitt 30 vom ersten Statorende 7 bis zum zweiten Statorende 9 erstrecken. Insbe sondere kann das Abschirmungselement 5 zumindest im Überdeckungsab schnitt 30 angeordnet sein. Im Überdeckungsabschnitt 30 kann das Ab- schirmelement 5 seine größte Wirkung entfalten und die Störungen am effek tivsten abschirmen, da im Überdeckungsabschnitt ein Abstand zwischen Sta tor 2 und Rotor 3 am geringsten ist.

Das Abschirmelement 5 ist gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel in Radialrichtung R zwischen Rotor 3 und Stator 2 angeordnet.

Das Abschirmelement 5 kann sich gemäß dem vorliegenden Ausführungs beispiel in Axialrichtung A zumindest vom ersten Rotorende 6 bis zum zwei ten Rotorende 8 erstrecken. Zusätzlich oder alternativ kann sich das Ab schirmelement 5 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel in Axialrich tung A zumindest vom ersten Statorende 7 bis zum zweiten Statorende 9 er strecken.

Im Überdeckungsabschnitt werden die Störungen am stärksten bzw. am ef fektivsten übertragen. Somit ist es vorteilhaft, wenn das Abschirmelement 5 in diesem Bereich, also im Überdeckungsabschnitt 30, angeordnet ist, da es dort die größte abschirmende Wirkung aufweist.

Weiterhin erstreckt sich das Abschirmelement 5 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel in Axialrichtung A aus dem Spalt 4 hinaus. Des Weite ren erstreckt sich das Abschirmelement 5 gemäß dem vorliegenden Ausfüh rungsbeispiel in Axialrichtung A über das erste Rotorende 6, über das erste Statorende 7, über das zweite Rotorende 8 und/oder über das zweite Stator ende 9 hinaus.

Figur 2 zeigt eine Draufsicht auf das Abschirmelement 5.

Merkmale, welche bereits in der zumindest einen vorgegangenen Figur be schrieben sind, werden der Einfachheit halber nicht nochmals erklärt. Ferner können Merkmale auch erst in dieser oder in zumindest einer der nachfol genden Figuren beschrieben werden. Des Weiteren werden der Einfachheit halber für gleiche Merkmal gleiche Bezugszeichen verwendet. Außerdem können der Übersichtlichkeit halber nicht mehr alle Merkmale in den folgen den Figuren gezeigt und/oder mit einem Bezugszeichen versehen sein. Es können jedoch in einer oder mehreren der vorangegangenen Figuren gezeig te Merkmale auch in dieser oder in einer oder mehreren der nachfolgenden Figuren vorhanden sein. Ferner können der Übersichtlichkeit halber Merkma le auch erst in dieser oder in einer oder mehreren der nachfolgenden Figuren gezeigt und/oder mit einem Bezugszeichen versehen sein. Nichtsdestotrotz können Merkmale, welche erst in einer oder mehreren der nachfolgenden Figuren gezeigt sind, auch bereits in einer vorangegangenen Figur vorhan den sein.

Figur 2a zeigt ferner das Abschirmelement 5 flächig. Beispielsweise ist eine Mantelfläche des Abschirmelements 5 oder das Abschirmelement 5 in einem abgewickelten Zustand gezeigt. Das hier gezeigte Abschirmelement 5 um fasst zumindest eine Kammstruktur 12a, 12b. Hier weist das Abschirmele ment 5 zwei Kammstrukturen 12a, 12b auf. Die zumindest eine Kammstruk tur 12a, 12b bzw. die hier gezeigten beiden Kammstrukturen 12a, 12b wei sen einen Kammrücken 13a, 13b und daran angeordnete Kammzinken 14 auf. Gemäß dem hier gezeigten Ausführungsbeispiel ist der Übersichtlichkeit halber lediglich ein Kammzinken 14 mit einem Bezugszeichen versehen.

Die Kammzinken 14 erstrecken sich in Axialrichtung A vom Kammrücken 13, 13b bzw. von den Kammrücken 13, 13b weg. Die Kammzinken 14 erstrecken sich bis in einen Mittelbereich M des Abschirmelements 5.

Ferner sind die Kammstrukturen 12a, 12b elektrisch leitfähig, so dass diese die Abschirmung bilden. Beispielsweise sind die Kammstrukturen 12a, 12b aus einer elektrisch leitfähigen Leiterschicht 11 ausgebildet. Diese Leiter schicht 11 ist gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel auf einer elektrisch isolierenden Trägerschicht 10 angeordnet. Durch die Trägerschicht 10 und die Leiterschicht 11 kann das Abschirmelement 5 entsprechend dünn ausgebildet werden. Beispielsweise kann die Leiterschicht 11 auf die Träger schicht 10 aufgedruckt werden. Ferner kann die Leiterschicht 11 ausgestanzt und auf die Trägerschicht 10 aufgeklebt sein. Auch kann die Leiterschicht 11 herausgeätzt werden.

Außerdem sind die Kammzinken 14 untereinander voneinander beabstandet, so dass Wirbelströme beim Betrieb des Galvanometerantriebs 1 verhindert bzw. verringert werden. Außerdem sind die beiden Kammstrukturen 12a, 12b voneinander elektrisch isoliert. Zwischen den Kammstrukturen 12a, 12b so wie zwischen den Kammzinken 14 ist jeweils ein Isolierspalt 17 angeordnet, welcher beispielsweise mit einem Isoliermaterial gefüllt sein kann.

Mittels den Kammrücken 13a, 13b sind die Kammzinken 14 jedoch elektrisch leitfähig verbunden.

Des Weiteren sind hier die Verbindungselemente 15 gezeigt, wobei der Übersichtlichkeit halber lediglich ein Verbindungselement 15 mit einem Be zugszeichen versehen ist. Die Verbindungselemente 15 erstrecken sich hier in Axialrichtung A von den Kammstrukturen 12a, 12b, insbesondere von den Kammrücken 13a, 13b, weg. Die Verbindungselemente 15 können umge knickt werden, so dass diese gemäß Figur 1 mit dem Gehäuse 16 verbunden werden können.

Weiterhin weisen die Kammzinken 14 eine Zinkenlänge 24 und eine Zinken breite 25 auf. Gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel weisen die Kammzinken 14 einer Kammstruktur 12a, 12b die gleiche Zinkenlänge 24 und die gleiche Zinkenbreite 25 auf. Hier weisen alle Kammzinken 14 der beiden Kammstrukturen 12a, 12b die gleiche Zinkenlänge 24 und die gleiche Zinkenbreite 25 auf.

Figur 2b zeigt eine Draufsicht auf das Abschirmelement 5 mit Kammzinken 14 mit unterschiedlichen Zinkenlängen 24a, 24b. Die Zinkenbreiten 25 der Kammzinken 14 ist hier untereinander gleich. In einem hier nicht gezeigten Ausführungsbeispiel können auch die Zinkenbreiten 25 unterschiedlich sein.

Des Weiteren können jeweils zwei in Axialrichtung A voneinander beabstan- dete bzw. zwei in Axialrichtung A zueinander zugeordnete Kammzinken 14 der beiden Kammstrukturen 12a, 12b ein Kammzinkenpaar 26 bilden. Die Zinkenlängen 24a, 24b der beiden Kammzinken 14 des Kammzinkenpaares 26 weisen eine Gesamtlänge auf. Die Gesamtlängen aller Kammzinkenpaare 26 kann ferner untereinander gleich sein.

Ferner sind, wie hier gezeigt ist, die Kammzinken 14 einer Kammstruktur 12a, 12b in Umfangsrichtung U abwechselnd lang und kurz. Die Kammstruk turen 12a, 12b bzw. die Kammzinken 14 greifen hier ineinander ein. Der zwi schen den Kammstrukturen 12a, 12b angeordnete Isolierspalt 17 ist hier mä anderförmig.

Figur 2c zeigt eine weitere Ausgestaltung der Kammzinken 14. Die Kamm zinken 14 sind hier trapezförmig ausgebildet. Die Zinkenbreite 25 der Kamm zinken 14 der beiden Kammstrukturen 12a, 12b nimmt hier in Richtung des Mittelbereichs M zu. In Richtung der Kammrücken 13a, 13b verschmälern sich die Kammzinken 14 bzw. ist die Zinkenbreite 25 am geringsten.

Figur 2d zeigt eine weitere Ausgestaltung der Kammzinken 14. Eine Kamm zinke 14 weist einen Ausschnitt 28a auf. Die in Axialrichtung A zugeordnete Kammzinke 14 weist einen entsprechenden Fortsatz 29a auf, welcher in den Ausschnitt 28a eingreift. Der Ausschnitt 28a und der dazu zugeordnete Fort satz 29a sind hier dreieckig. In diesem Ausführungsbeispiel ist bei einerwei teren Kammzinke 14 ein weiterer Ausschnitt 28b gezeigt. Die in Axialrichtung A entsprechend zugeordnete Kammzinke 14 weist einen entsprechenden Fortsatz 29b auf. Der Ausschnitt 28b und der dazu zugeordnete Fortsatz 29b sind hier rechteckig. Insbesondere weisen die Ausschnitte 28 und die Forts ätze 29 eines Kammzinkenpaares 26 eine zueinander entsprechende Form auf. Beispielsweise können diese Formen dreieckig, rechteckig, kreisförmig sein. Im hier gezeigten Ausführungsbeispiel sind lediglich an zwei Kammzin ken 14 zwei verschiedene Ausschnitte 28a, 28b und an zwei entsprechenden Kammzinken 14 zwei verschiedene entsprechende Fortsätze 29a, 29b ge zeigt. Es können auch alle Kammzinken 14 Ausschnitte 28 und entsprechend geformte Fortsätze 29 aufweisen, die untereinander die gleiche Form und/oder eine unterschiedliche Form aufweisen. Zusätzlich oder alternativ können lediglich einige Ausschnitte 28 und Fortsätze 29 eine unterschiedli che Form aufweisen.

Mit Hilfe der Ausschnitte 28 und der Fortsätze 29 kann die Abschirmung ver bessert werden.

Figur 3 zeigt eine Schnittansicht durch den Stator 2 und das Abschirmele ment 5. Das Abschirmelement 5 ist hier wieder zylinderförmig dargestellt.

Das Abschirmelement 5 weist hier beispielsweise die Ausgestaltung der Fi gur 2a auf. Der Rotor 3 ist hier der Übersichtlichkeit halber nicht gezeigt.

Zwischen den Kammzinken 14 und/oder den Kammstrukturen 12a, 12b ist der Isolierspalt 17 angeordnet, um die Kammzinken 14 und/oder die Kammstrukturen 12a, 12b voneinander elektrisch zu isolieren. Gemäß der hier gezeigten Schnittansicht ist der Isolierspalt 17 mit einem Isoliermaterial 27 ausgefüllt.

Gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist ein Übergang zwischen dem Kamm rücken 13a zu den Kammzinken 14 mit dem ersten Rotorenden 6 und/oder dem ersten Statorende 7 bündig. Zusätzlich oder alternativ ist auch der Übergang zwischen dem Kammrücken 13b zu den Kammzinken 14 mit dem zweiten Rotorende 8 und/oder dem zweiten Statorende 9 bündig. Die Kammzinken 14 sind in Axialrichtung A im Bereich des Stators 2 und/oder Rotors 3 angeordnet. Die Kammrücken 13a, 13b sind in Axialrichtung zum Stator 2 und/oder zum Rotor 3 benachbart. Der Rotor 3 ist hier nicht gezeigt. Wenn der Rotor 3 mit gezeigt wäre, wäre zwischen diesen beiden der Spalt 4 angeordnet. Gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel sind somit die Kammzinken 14 im Spalt 4 und/oder die Kammrücken 13a, 13b sind in Axial richtung A neben bzw. zum Spalt 4 benachbart angeordnet. Die Kammrü- cken 13a, 13b sind hier außerhalb des Spalts 4 angeordnet.

Figur 4 zeigt eine Schnittansicht durch das Abschirmelement 5 mit Leiter schicht 11 und elektrisch isolierender Trägerschicht 10. Das Abschirmele ment 5 kann beispielsweise schichtweise aufgebaut sein.

Beispielsweise kann die Trägerschicht 10 als Folie, beispielsweise als Kunst stofffolie, vorliegen und die Leiterschicht 11 kann zumindest teilweise auf die Trägerschicht 10 gedruckt oder abgeschieden werden. Die Leiterschicht 11 bzw. die zumindest eine Kammstruktur 12a, 12b kann ferner auch herausge- ätzt werden. Die beiden Verbindungselemente 15a, 15b können ferner eben falls angeordnet werden. Alternativ können diese auch durch die Träger schicht 10 und die Leiterschicht 11 ausgebildet sein. Diese können umge knickt werden, um die Verbindungselemente 15a, 15b mit dem Gehäuse 16 zu verbinden.

Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die dargestellten und beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt. Abwandlungen im Rahmen der Patentan sprüche sind ebenso möglich wie eine Kombination der Merkmale, auch wenn diese in unterschiedlichen Ausführungsbeispielen dargestellt und be- schrieben sind. Bezuqszeichenliste

1 Galvanometerantrieb

2 Stator 3 Rotor

4 Spalt

5 Abschirmelement

6 erstes Rotorende 7 erstes Statorende 8 zweites Rotorende

9 zweites Statorende

10 Trägerschicht 11 Leiterschicht 12 Kammstruktur 13 Kamm rücken

14 Kammzinken

15 Verbindungselement

16 Gehäuse 17 Isolierspalt 18 Welle

19 Lager

20 Spule 21 magnetischer Rückschluss 22 Permanentmagnet 23 Statorinnenseite

24 Zinkenlänge

25 Zinkenbreite

26 Kammzinkenpaar 27 Isoliermaterial 28 Ausschnitt

29 Fortsatz

30 Überdeckungsabschnitt M Mittelbereich

A Axialrichtung

R Radialrichtung U Umfangsrichtung