《構造》
 本実施例の液材塗布装置は、図1に示すよう に、ワークが載置されるテーブル12を有する� ��の字形状の架台1と、架台1の短手方向(X方向 )を横断するフレーム3とを備える。図1中、符 号101はテーブル移動方向であり、符号102は塗 布ヘッド移動方向である。以下では、説明の 便宜上、図1の扉31側を前方または正面といい 、テーブル12側を後方または背面という場合� ��ある。

 フレーム3の前方の面には、ヘッドスライダ ベース4が配設されており、ヘッドスライダ� �ース4にはヘッドスライダ5を介して複数の作 業ヘッド6がX方向に移動自在に取り付けられ� ��いる。
 作業ヘッド6は、液体を吐出するノズルを有 する塗布ヘッドである。作業ヘッド6は、図� �しない公知の駆動手段により、Z方向に移動� ��在に構成されている。各作業ヘッド6は、そ れぞれ独立して移動することが可能である。
 テーブル12は、通路10と平行に設けられたY� �ライダベース8によりY方向に移動自在に構成 されている。なお、テーブル12に、ワークを� �軸方向に移動させて所定の角度に位置決め� �るためのθ回転手段を設けてもよい。

 X方向およびY方向のスライダベースとし� �は、リニアモータ用マグネットおよび直動� �イドを備える構成が例示されるが、この構� �に限定されず、例えば、スライダベースに� �ータとモータに連動して回転するボールね� �を備え、スライダーにボールねじの回転に� �動して直進移動するナットを備える構成と� �てもよい。

 本実施例の架台1は、その前方にメンテナン ス用の空間である通路10を備えている。通路1 0は、架台1の長手方向の略中央位置まで延出� ��れており、作業ヘッド6の直下まで形成され ている。メンテナンス作業者は、扉31を開き� ��路10に進入することで、フレーム3に対して� ��前方または下方からメンテナンス作業を行� ��ことが可能である。通路10の下面には、補� �のための梁が渡される場合があるが、作業� �の進入を阻害するものではない。
 架台1の下方部には、図示しない通信用ソケ ットが設けられており、ネットワークケーブ ルを介してPC等の外部端末と接続することに� ��り、装置の遠隔操作を可能としている。携� ��型の専用端末をネットワーク接続して遠隔� ��作を行ってもよいし、無線LAN等の通信手段� ��搭載して無線により遠隔操作できるように� ��てもよい。
 また、架台1は、上方から見ると格子状に構 成されており、上方に設置されたファンから のダウンフローにより、パーティクル等が除 去されやすい構造になっている。

 通路10の終端部には、秤量器13が複数台設け られている。秤量器13の台数は、作業ヘッド6 の数やコスト等の要素によって決まる設計事 項であるが、作業ヘッド6と同数設けられて� �ることが好ましい。
 秤量器13は、架台1と別途に設けられた秤量� ��用の架台11に配設されており、秤量器用の� �台11は架台1と分離して床面に設置される(図2 参照)。秤量器13は、作業時においてはテーブ ル12の下方に位置するが、図1に示すようにメ ンテナンス時においてはテーブル12が後方へ� ��動することにより、露出された状態となる� ��
 なお、秤量器13には、テーブル12と干渉しな いように、予め小型の皿やカップ等を配置し ておくことが好ましい。

≪作動≫
 ロボット等の自動搬送機により、背面から� ��ークが搬入され、テーブル12上にワークが� �置される。この際、作業ヘッド6は、Z方向移 動手段によって上昇した位置(待避位置)に移� ��しており、ワークの搬入を妨げないように� ��っている。
 テーブル12上へのワーク載置が完了すると� �図示しない主制御部が、図示しないYスライ� ��ベース8を可動してテーブル12を移動し、ヘ� ��ドスライダ5を可動して作業ヘッド6をワー� �と対向する所望位置に配置し、作業ヘッド6� ��備えるZ方向移動手段により作業ヘッド6を� �降させ、ワークと作業ヘッド6を相対移動さ� ��てワークへの液材塗布を行う。
 塗布作業終了後、ワークの搬出を妨げない� ��うに作業ヘッド6は再び待避位置に移動する 。作業ヘッド6の移動完了後、背面から自動� �送機がワークを搬出する。

 作業ヘッド6に対するメンテナンス作業は 、扉31を開いて通路10内に作業者が進入する� �とにより行う。このとき、テーブル12は、作 業ヘッド6と対向しない位置まで後方に移動� �ている。通路10の上方は、空間となっている ため、作業者は立って作業を行うことも可能 である。

 本実施例の液材塗布装置は、カバー30およ� �ヘッドカバー70を有する点で、実施例1の液� �塗布装置と相違する。以下では、説明の便� �上、図3の扉31側を前方または正面といい、� �ーブル12側を後方または背面という場合があ る。
 図3は、フレーム3にヘッドカバー70が装着さ れた、本実施例の液材塗布装置の斜視図であ る。ヘッドカバー70の上端はカバー30の天井� �傍に位置しており、ヘッドカバー70の前方の 面が、フレーム3の背面側のエリア(クリーン� ��持エリア)へのパーティクルの侵入を防ぐ内 壁としての役割をする。
 ヘッドカバー70の上面は、頂上から後方側� �向かう斜面になっている。上から下への空� �の流れ(ダウンフロー)を大きく変えることが 無いようにするための形状である。上面を斜 面形状とすることで、途中で渦が発生したり 、下まで流れが到達しないなどの問題を防ぐ ことができる。
 ヘッドカバー70の背面は平面となっており� �クリーン保持エリアへのパーティクルの進� �を防いでいる。また、ヘッドカバー70と架台 1とのクリアランスはテーブル12の移動を妨げ ない距離となっている。ヘッドカバー70の上� ��とカバー30の天井との距離およびヘッドカ� �ー70の下端と架台1との距離をどの程度にす� �かは設計事項であり、フレーム3自体の形状� ��工夫してもよい。
 ヘッドカバー70の前面および側面の作業ヘ� �ド6が位置する空間は、その3方向が板状の透 明部材で覆われている。前面の中央部には、 ヘッド用扉71が3つのヒンジ72を介して配設さ� ��ており、上方に跳ね上げて開くことが可能� ��ある。なお、本実施例では側面の透明部材� ��開閉することができないが、側面の透明部� ��を開閉可能とするかは、設計事項である。

 本実施例の液材塗布装置は、図4~図8に示す� ��うに、方形状のカバー30内に配置される。
 カバー30は、ゴミやほこりがワークに付着� �るのを防ぐための閉空間であり、背面には� �ークを搬入出するための開口部34が、正面に は観音開きする一対の扉32と、通路10内に進� �するための扉31が設けられている。
 また、カバー30の正面には、非常停止ボタ� �37と図示しない主制御部を操作するための操 作パネル38が設けられており、カバー30を構� �する各パネルのうち、一対の取手が設けら� �ているものは開閉することができる。

 図9は本実施例の液材塗布装置の平面図であ り、図10は図9のA-A’断面図、図11は図9のB-B’ 断面図、図12は図9のC-C’断面図である。通路 10は、A-A’線の手前まで延出されており、図1 1を見ると分かるように、断面がU字形状とな� ��よう構成されている。通路10が設けられて� �ない架台1のC-C’線の部分は、架台1の構造強 度を高める役割をしている。
 図9では、テーブル12が後方位置に位置して� ��るが、作業時にはテーブル12を前方に移動� �ることができ、図13の位置まで移動可能であ る。

 本実施例では、フレーム3より背面側に図示 しないファン機構を設け、上部から下部に向 かってクリーンなエアーを常流させている。 これによりほこり等の不要物がカバー30の下� ��から外部に排出されるため、カバー30内に� �要物が残留せず、常にクリーンな環境下で� �布作業が行うことができる。この際、空気� �浄機を併用すること、或いは、HEPA(High Effici ency Particulate Air Filter)等のフィルターを介� �て外気を作業エリアに取り込むことが好ま� �い。
 また、フレーム3より背面側のエリア(クリ� �ン保持エリア)をフレーム70より正面側のエ� �アと比べ陽圧とすることにより、前者のエ� �アから後者のエリアへ向かうエアの流れを� �成することができる。この流れが、メンテ� �ンス時に発生したパーティクルがテーブル� �位置するフレーム3よりクリーン保持エリア� ��進入することを防ぐ役割をする。

 また、カバー30の好ましい態様としては� �SUS(ステンレス)やアルミフレーム等による金 属枠に金属製の壁または透過性の樹脂等の壁 で構成されるものが例示される。樹脂製の壁 は、クリア(無色透明)、黄、濃茶、赤、ダー� ��グレー、スモーク(灰色)の場合など様々で� �るが、使用する液材の用途(例えば、紫外線� ��嫌う場合等)に応じて最適なものを選択して 利用することができる。図14のハッチングし� ��部分が透明ないしは半透明の箇所である。

 実施例1同様に、架台1の下方部には、図� �しない通信用ソケットが設けられており、� �隔操作が可能である。操作パネル38より操作 を行うこともできるが、正面または側面の扉 やパネルを開いてのメンテナンス作業中に、 操作パネル38を操作することは困難であるた� ��、遠隔操作が効果的である。

≪作動≫
 ロボット等の自動搬送機により、背面の開� ��部34からワークが搬入され、テーブル12上に ワークが載置される。この際、作業ヘッド6� �、Z方向移動手段によって上昇した位置(待避 位置)に移動しており、ワークの搬入を妨げ� �いようになっている。
 テーブル12上へのワーク載置が完了すると� �図示しない主制御部が、図示しないYスライ� ��ベース8を可動してテーブル12を移動し、ヘ� ��ドスライダ5を可動して作業ヘッド6をワー� �と対向する所望位置に配置し、作業ヘッド6� ��備えるZ方向移動手段により作業ヘッド6を� �降させ、ワークと作業ヘッド6を相対移動さ� ��てワークへの液材塗布を行う。
 塗布作業終了後、ワークの搬出を妨げない� ��うに作業ヘッド6は再び待避位置に移動する 。作業ヘッド6の移動完了後、開口部34より自 動搬送機がワークを搬出する。

 作業ヘッド6に対するメンテナンス作業は、 扉31を開いて通路10内に作業者が進入するこ� �により行う。このとき、テーブル12は、作業 ヘッド6と対向しない位置まで後方に移動し� �いる。通路10の上方は、空間となっているた め、作業者は立って作業を行うことも可能で ある。必要に応じてヘッド用扉71を開くこと� ��、より容易に作業を行うことが可能である� ��
 通路10に進入することにより、作業ヘッド6� ��容易に届く範囲に位置されるため、消耗品� ��換等のメンテナンス作業を容易に行なうこ� ��が可能となる。
 メンテナンス作業を終えたら、ヘッド用扉7 1を閉め、通路10から退出し、扉31を閉じる。� ��ンテナンス作業によりパーティクルの発生� ��ることが想定されるため、一定の待機時間� ��経過後に作業を再開するのが好ましい。
 なお、この待機時間に作業ヘッド6から吐出 される液体材料の量精度調整を行うことで、 時間を効率的に利用することができる。メン テナンス作業時は、テーブル12が後方に移動� ��ており、秤量器13が露わになっているため� �量精度調整の作業に好適である。