einem faseroptischen Aufteilungselement, das einen dem Aufteilungselement über eine Eingangsfaser zugeführten Laserpuls auf wenigstens zwei Faserarme aufteilt, und

- einem faseroptischen Kombinationselement, das die dem

Kombinationselement über die wenigstens zwei Faserarme zugeführten Laserpulse in einer Ausgangsfaser in einem Burst überlagert,

wobei die wenigstens zwei Faserarme einen Längenunterschied aufweisen, so dass die Laserpulse durch das faseroptische Kombinationselement in der Ausgangsfaser mit zeitlichem Versatz überlagert werden.

Außerdem betrifft die Erfindung eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Erzeugung von Laserpulsen in einem Burstbetrieb.

Kurzpulslaser haben sich in den letzten Jahren als vielfältig einsetzbares Werkzeug in der hochpräzisen Materialbearbeitung etabliert. Dabei zeigen ultrakurze Laserpulse (mit einer Pulsdauer < 10 ps) Vorteile gegenüber längeren Laserpulsen (mit einer Pulsdauer im Bereich ns) aufgrund eines geringeren Wärmeeintrages in das Werkstück (so genannte kalte Ablation). Die Geschwindigkeit der Bearbeitung ist bestimmt durch die Pulsrepetitionsrate des Kurzpulslasers. Um eine kosteneffiziente Bearbeitung zu erlauben, wurden in den letzten Jahren hochrepetierende Lasersysteme entwickelt. Bei gegebener Pulsenergie bedeutet dies eine ebenso gesteigerte mittlere Leistung. Es konnte gezeigt werden, dass bei steigender mittlerer Leistung ein Wärmeeintrag in das Werkstück auch bei kürzesten Pulsdauern (Femtosekundenpulse) und damit verbunden eine Schädigung des Werkstücks und eine Reduktion der Bearbeitungsqualität nicht zu vermeiden sind, da sich die eingetragene Wärme akkumuliert.

Um einen solchen Schädigungseffekt bei hoher mittlerer Leistung des Laserpulszuges zu reduzieren, wurde vorgeschlagen, anstatt eines äquidistanten Pulsabstandes (mit einer typischen Pulsrepetitionsrate im Bereich von 10 kHz bis 10 MHz, entsprechend einem zeitlichen Pulsabstand von 10ms bis 10 s) einen sog. Burstbetneb zu verwenden. Das bedeutet, dass eine Sequenz aus einer gewissen Anzahl von Laserpulsen mit geringem zeitlichen Abstand (sog. Mikropulsrepetitionsrate) < 10 ns, idealerweise < 200 ps ein Pulspaket (Burst) bilden und weitere Pulspakete in einem größeren zeitlichen Abstand (z.B. demjenigen des ursprünglichen Pulszuges, d.h. mit der sog. Makropulsrate) folgen (wiederum im Bereich ms bis ps).

Begründet ist dieser Ansatz durch die zeitlich begrenzte Ausbreitungsgeschwindigkeit der eingebrachten Wärme in das Werkstück. Ist der Pulsabstand derart gering, dass erwärmtes Material durch den schnell nachfolgenden Puls abgetragen wird, kann der Wärmeeintrag in das Werkstück signifikant reduziert werden, wodurch auch bei höchsten mittleren Leistung exzellente Bearbeitungsergebnisse erwartet werden.

Als Wunschspezifikationen an ein im Burstbetrieb arbeitendes Lasersystem zur hochpräzisen Materialbearbeitung lassen sich daher folgende Parameter ableiten: · Pulsdauer < 300 fs (oder kürzer);

• Pulsenergie im Bereich 1 -10 μϋ Pulsenergie (oder mehr);

• Mikropulsrepetitionsrate mindestens 1 GHz, idealerweise > 5GHz; • Pulsanzahl im Burst > 50 (oder mehr);

• Makropulsrate > 1 kHz (oder mehr);

Die Pulsenergieverteilung im Burst sollte idealerweise flexibel (programmierbar) sein. Aus dem Stand der Technik ist es bekannt, einen aus Pulsbursts bestehenden Laserpulszug durch Amplitudenmodulation der Strahlung eines hochrepetierenden (modengekoppelten) Ultrakurzpulslasers zu erzeugen. Die Amplitudenmodulation erfolgt zum Beispiel durch einen akusto-optischen Modulator (AOM) oder einen elektro-optischen Modulator (EOM) (vgl. P. Elahi, S. Yilmaz, Y. B. Eldeniz, and F. Ö. Ilday, "Generation of picosecond pulses directly from a 100 W, burst-mode, doping-managed Yb-doped fiber amplifier," Opt. Lett. 39, 236-239, 2014, sowie Sven Breitkopf, Arno Klenke, Thomas Gottschall, Hans- Jürgen Otto, Cesar Jauregui, Jens Limpert, and Andreas Tünnermann, "58 mJ burst comprising ultrashort pulses with homogenous energy level from an Yb- doped fiber amplifier," Opt. Lett. 37, 5169-5171 , 2012) Herausforderungen dieses Ansatzes ergeben sich hinsichtlich der Erzeugung von Femtosekundenpulsen mit einer Repetitionsrate im Bereich von 1 GHz und darüber. Modengekoppelte Ultrakurzpulslaser bieten typischerweise nur eine Repetitionsrate von 10 MHz bis 250 MHz. Ein anderer bekannter Ansatz basiert auf der Pulsaufteilung. Diese Methode wird z.B. in Laserverstärkern eingesetzt, um die Pulsspitzenleistung zu reduzieren und ist bekannt als„Divided Pulse Amplification" (DPA). Eine bekannte Methode der Pulsaufteilung beruht auf der Verwendung von doppelbrechenden Kristallen und der Ausnutzung verschiedener Laufzeiten senkrecht aufeinander stehender Polarisationen. Eine Sequenz von Kristallen verschiedener Länge ermöglicht die Aufspaltung eines Einzelpulses in eine Vielzahl von Pulsen. Typischerweise wird die Pulsfolge nach der Verstärkung kohärent zu einem Einzelpuls überlagert (vgl. Shian Zhou, Frank W. Wise, and Dimitre G. Ouzounov, "Divided-pulse amplification of ultrashort pulses," Opt. Lett. 32, 871 -873, 2007). Mit diesem Ansatz lässt sich ein sehr kurzer Pulsabstand und damit eine hohe Mikropulsrepetitionsrate erzeugen, allerdings in einem volumenoptischen Aufbau mit Freistrahlpropagation, welcher störanfällig ist.

Schließlich ist es auch bekannt, einen hochrepetierenden Burst faseroptisch durch Verwendung einer Kaskadierung von faseroptischen Strahlteilern zu erzeugen (vgl. A. Haboucha, W. Zhang T. Li, M. Lours, A. N. Luiten, Y. Le Coq, and G. Santarelli, „Optical-fiber pulse rate multiplier for ultralow phase-noise Signal generation, Opt. Lett. 36, 201 1 ). Hierbei wird allerdings die Dispersion in den unterschiedlichen Propagationspfaden nicht ausgeglichen, was zu einer für die Anwendung schädlichen Variation der Pulsdauer entlang des Bursts führt. Vor diesem Hintergrund ist es Aufgabe der Erfindung, eine Möglichkeit zur Erzeugung von Laserpulsen im Burstbetrieb mit hoher Qualität basierend auf dem Prinzip der Pulsaufteilung aufzuzeigen, die kompakt und robust und möglichst komplett faseroptisch realisierbar ist. Auf diese Weise soll einfach die Integration in faseroptische Verstärker ermöglicht werden. Diese Aufgabe löst die Erfindung ausgehend von einer optischen Komponente der eingangs angegebenen Art dadurch, dass die Faserarme durch optische Fasern gebildet sind, die unterschiedliche Dispersion aufweisen.

Ais faseroptische Aufteilungs- und Kombinationselemente können handelsübliche optische Fasersplitter Verwendung finden. Der vorgeschlagene Aufbau ähnelt einem Mach-Zehnder-Interferometer. Beginnend mit dem faseroptischen Aufteilungselement wird der diesem über die Eingangsfaser zugeführte Laserpuls auf mindestens zwei Faserarme aufgespalten, wobei die Laserpulse in den beiden Faserarmen zeitlich verzögert werden und somit am faseroptischen Kombinationselement nicht interferometrisch überlagern, sondern lediglich zeitlich verzögert in die Ausgangsfaser eingespeist werden, wodurch sich ein aus mindestens zwei (entsprechend der Zahl der Faserarme) Pulsen bestehender Burst ergibt. Zur Erzielung einer für praktische Anwendungen hinreichenden Mikropulsrepetitionsrate sollte der durch den Längenunterschied der Faserarme erzeugte zeitliche Versatz weniger als 4 ns, vorzugsweise weniger als 1 ns, weiter bevorzugt weniger als 250 ps betragen. Idealerweise haben alle Pulse des Bursts eine nahezu identische Pulsdauer. Daher ist es essenziell, dass trotz der Laufzeitunterschiede in beiden Faserarmen, hervorgerufen durch verschiedene Faserlängen, nur minimale Unterschiede in der Dispersion in den beiden Faserarmen auftreten. Dies wird erfindungsgemäß ermöglicht durch den Einsatz von optischen Fasern unterschiedlicher Dispersion in den Faserarmen, so dass die Summen der in den Faserarmen jeweils akkumulierten Phasenterme höherer Ordnung nahezu identisch sind, d.h.

<PU _rml O) « Ψί,Αττη2 {ω für / > 2.

Ψί,Αττηΐ { ^ω ist hierbei die spektrale Phase /-ter Ordnung (in Abhängigkeit von der Frequenz ω) für den ersten Faserarm und φί, _Α ττη2 ( ^ω für den zweiten Faserarm. Je nach spektraler Bandbreite und Pulsdauer funktioniert der vorgeschlagene Ansatz natürlich auch, wenn die Phasenordnungen nur teilweise, beispielsweise nur die 2. Ordnung, kompensiert werden.

In einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung sind die optischen Fasern der Faserarme hinsichtlich Dispersion und Länge in der Weise aufeinander abgestimmt, dass sich die dem Kombinationselement über die Faserarme zugeführten Laserpulse hinsichtlich des durch die jeweilige Dispersion erzeugten Chirps um weniger als 4 fs/nm, vorzugsweise weniger als 1 fs/nm der Laserpulse normiert auf einen Meter Längenunterschied der Faserarme voneinander unterscheiden. Daraus resultiert eine hinreichend gleich lange Pulsdauer der Laserpulse eines Bursts.

In einer möglichen Ausgestaltung kann vorgesehen sein, dass der längere Faserarm wenigstens einen Abschnitt einer optischen Faser mit einer Dispersion aufweist, die im Spektralbereich der Laserpulse geringer ist als die Dispersion der optische Faser des kürzeren Faserarms. Alternativ kann vorgesehen sein, dass der kürzere Faserarm wenigstens einen Abschnitt einer optischen Faser mit einer Dispersion aufweist, die im Spektralbereich der Laserpulse höher ist als die Dispersion der optische Faser des längeren Faserarms. Die Faserarme können aus nur einem Abschnitt einer optischen Faser einer bestimmten Dispersion bestehen. Denkbar ist ebenso, dass die Faserarme jeweils aus in Propagationsrichtung hintereinander angeordneten Abschnitten unterschiedlicher Dispersion zusammengesetzt sind, um die gewünschte Angleichung der in den unterschiedlich langen Faserarmen insgesamt erzeugten spektralen Phasen zu erzielen. In einer bevorzugten Ausgestaltung kann der längere Faserarm einen Abschnitt einer optischen Faser aufweisen, deren Dispersion weniger als 4 ps/km/nm, vorzugsweise weniger als 2 ps/km/nm, weiter bevorzugt weniger als 1 ps/km/nm im Spektralbereich des Bursts beträgt. In dieser Ausgestaltung kann die Kompensation der Dispersion durch Verwendung eines Abschnitts einer nahezu dispersionsfreien Faser (z.B. in Form einer speziellen mikrostrukturierte Faser) in dem längeren Faserarm realisiert werden. Verwendet werden kann z.B. eine Faser mit einer (betragsmäßigen) Dispersion von < 2 ps/km/nm über eine Bandbreite von 10 nm um 1030 nm Wellenlänge. Für eine Verzögerung von 200 ps (entsprechend 5 GHz Mikropulsrepetitionsrate) wäre ein Längenunterschied der beiden Faserarme von ca. 4 cm erforderlich (unter der Annahme von Quarzglas als Fasermaterial). Bei 10 nm spektraler Bandbreite (ein typischer Wert bei einer Pulsdauer der Laserpulse von 100 fs) und der genannten Dispersion ergibt sich ein Pulsdauerunterschied von weniger als einer 1 fs, was für die eingangs erwähnten Applikationen in der Materialbearbeitung als vernachlässigbar anzusehen ist.

Zur Erzielung eines möglichst robusten Aufbaus der erfindungsgemäßen optischen Komponente sollten die Eingangsfaser, die Ausgangsfaser und/oder die Faserarme durch polarisationserhaltende optische Fasern gebildet sein.

Ein Abschnitt der erwähnten dispersionsfreien (mikrostrukturierten) Fasern in wenigstens einem der Faserarme wird ggf. Spleißverluste hervorrufen, welche zur Folge haben, dass die Amplitude der Laserpulse im Burst nicht konstant ist. Dies lässt sich einfach durch das Einfügen eines identischen Faserabschnitts (allerdings unterschiedlicher Länge) in den jeweils anderen Faserarm oder durch Verwendung eines Aufteilungselementes mit einem von 50:50 abweichenden Aufteilungsverhältnis leicht kompensieren.

Gegenstand der Erfindung ist außerdem eine Vorrichtung zur Erzeugung von Laserpulsen in einem Burstbetrieb, mit einer Pulslichtquelle, die einen Laserpulszug erzeugt, der aus einer Abfolge von einzelnen zeitlich äquidistanten Laserpulsen besteht, und in eine optische Faser einkoppelt, und mit einer seriellen Anordnung zweier oder mehrerer optischer Komponenten der zuvor beschriebenen Art, wobei sich die Längenunterschiede der Faserarme zweier jeweils seriell aufeinander folgender optischer Komponenten voneinander unterscheiden, wobei die erste der optischen Komponenten in der seriellen Anordnung eingangsseitig mit der Pulslichtquelle verbunden ist.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung verwendet zur Erhöhung der Anzahl der Laserpulse im Burst die oben beschriebene optische Komponente in einer seriellen Anordnung mehrfach. Dabei müssen sich die Längenunterschiede der Faserarme zweier jeweils seriell aufeinander folgender optischer Komponenten voneinander unterscheiden. Idealerweise unterscheiden sich die Längenunterschiede der Faserarme zweier jeweils seriell aufeinander folgender optischer Komponenten im Wesentlichen um den Faktor zwei voneinander. Dadurch werden Bursts mit zeitlich nahezu äquidistanten Laserpulsen im Burst erzeugt. Zwei Aufteilungen ergeben vier Laserpulse im Burst, drei Aufteilungen ergeben acht Laserpulse, wobei der Längenunterschied der Faserarme in der dritten optischen Komponente der Serienanordnung idealerweise viermal so groß ist wie in der ersten optischen Komponente. Die Sequenz kann beliebig fortgesetzt werden, wobei die entstehenden Verluste einfach durch faseroptische Verstärker kompensiert werden können. Um einen Burst von 2 ^N Laserpulsen zu erzeugen, müssen N Aufteilungen in Serie verwendet werden, und der Längenunterschied der Faserarme in der A/-ten optischen Komponente muss 2 ^AM -mal größer sein als in der ersten optischen Komponente. Selbst in einer extremen Konfiguration mit einer sehr großen Anzahl (> 50) von Laserpulsen im Burst wäre der Pulsdauerunterschied der Laserpulse für Anwendungen in der Materialbearbeitung tolerabel. Die erfindungsgemäße optische Komponente kann Bestandteil eines Laserverstärkersystems sein. In einer bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist entsprechend ein optischer Verstärker vorgesehen, der den aus Bursts bestehenden Laserpulszug verstärkt, wobei sich die serielle Anordnung der optischen Komponenten in Propagationsrichtung des Laserpulszuges vor dem optischen Verstärker befindet. Die Bursterzeugung erfolgt demnach mit Vorteil vor der Verstärkung. Die erfindungsgemäßen optischen Komponenten müssen folglich nur für Laserpulse geringer Leistung ausgelegt sein. Eine bekannte Technik zur Erzeugung sehr leistungsstarker Laserpulse ist das sog. CPA-Verfahren („Chirped Pulse Amplification"). Dabei werden die Laserpulse zunächst bei vergleichsweise geringer Pulsleistung erzeugt. Die so erzeugten Laserpulse werden mittels geeigneter dispersiver optischer Elemente (z.B. Gitter) zeitlich gestreckt. Die zeitlich gestreckten Lichtpulse werden in einem optischen Verstärker verstärkt. Schließlich werden die verstärkten Lichtpulse, wiederum mittels geeigneter dispersiver optischer Elemente, rekomprimiert. Das Ergebnis sind für die Materialbearbeitung geeignete, sehr leistungsstarke kurze bis ultrakurze Laserpulse. Durch die zeitliche Streckung wird die Pulsspitzenleistung herabgesetzt. Dadurch wird gewährleistet, dass die optische Verstärkung erfolgen kann, ohne das optisch gepumpte Verstärkermedium zu schädigen und ohne dass nicht-lineare Effekte im optischen Verstärkermedium auftreten. Durch die Rekompression der Lichtpulse werden die einzelnen Lichtpulse zeitlich verkürzt, dabei wächst die Pulsspitzenleistung entsprechend an. Gemäß dem CPA-Konzept weist die erfindungsgemäße Vorrichtung in einer möglichen Ausgestaltung entsprechend einen Pulsstrecker auf, der die Laserpulse des aus Bursts bestehenden Laserpulszuges zeitlich streckt, wobei der optische Verstärker dem Pulsstrecker nachgeschaltet ist, und einen Pulskompressor, der die Laserpulse nach der Verstärkung zeitlich komprimiert. Dabei ist die serielle Anordnung der optischen Komponenten zweckmäßig dem Pulsstrecker in Propagationsrichtung des aus Bursts bestehenden Laserpulszuges nachgeschaltet.

In einerweiteren bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist ein Amplitudenmodulator vorgesehen, der in Propagationsrichtung des aus Bursts bestehenden Laserpulszuges der seriellen Anordnung der optischen Komponenten nach- und dem optischen Verstärker vorgeschaltet ist. Der Amplitudenmodulator hat z.B. den Zweck, in dem optischen Verstärker auftretende Sättigungseffekte zu kompensieren. Hierzu kann eine Steuereinrichtung vorgesehen sein, die den Amplitudenmodulator ansteuert und geeignet ist, den aus Bursts bestehenden Laserpulszug hinsichtlich der Amplitude der einzelnen Laserpulse zu modulieren. Die Modulation kann dabei so erfolgen, dass die Laserpulse im Burst nach der Verstärkung eine im Wesentlichen konstante Pulsenergie aufweisen. Bei einer weiter bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist eine nichtlineare Kompressionsstufe vorgesehen, die eine spektrale Verbreiterung und eine zeitliche Kompression der Laserpulse bewirkt, wobei die nichtlineare Kompressionsstufe in Propagationsrichtung des Bursts der seriellen Anordnung der optischen Komponenten nachgeschaltet ist. Dadurch wird eine weitere Maximierung der Pulsspitzenleistung erzielt.

Gegenstand der Erfindung ist des Weiteren ein Verfahren zur Erzeugung von Laserpulsen in einem Burstbetrieb, mit den Verfahrensschritten:

Erzeugen eines Laserpulszuges, d.h. einer Abfolge von zeitlich äquidistanten einzelnen Laserpulsen,

- Einkoppeln des Laserpulszuges in eine optische Faser, und

Umwandeln des Laserpulszuges in einen Abfolge von Pulsbursts, wobei der Laserpulszug eine mit der optischen Faser verbundene serielle Anordnung zweier oder mehrerer optischer Komponenten der oben beschriebenen Art durchläuft, wobei sich die Längenunterschiede der Faserarme zweier jeweils seriell aufeinander folgender optischer Komponenten voneinander unterscheiden.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden im Folgenden anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Figur 1 schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen optischen Komponente zur Erzeugung von Laserpulsen mit zeitlichem Versatz; Figur 2: schematische Darstellung einer erfindungs- gemäßen Vorrichtung zur Erzeugung von Laserpulsen in einem Burstbetrieb;

Figur 3: Illustration der Einbindung der erfindungsgemäßen Vorrichtung in einen optischen Verstärker.

Die Figur 1 zeigt schematisch eine erfindungsgemäße optische Komponente zur Erzeugung von Laserpulsen mit zeitlichem Versatz. Der vorgeschlagene Aufbau ähnelt einem Mach-Zehnder-Interferometer. Beginnend mit einem faseroptischen Aufteilungselement 3 wird der diesem über eine Eingangsfaser zugeführte Laserpuls 1 auf mindestens zwei Faserarme 5, 6 aufgespalten, wobei die Laserpulse in den beiden Faserarmen 5, 6 zeitlich unterschiedlich verzögert werden und somit an einem faseroptischen Kombinationselement 4 nicht zeitlich koinzidieren und interferometrisch überlagern, sondern zeitlich verzögert in die Ausgangsfaser eingespeist werden, wodurch sich ein aus mindestens zwei (entsprechend der Zahl der Faserarme) Laserpulsen bestehender Pulsburst 2 ergibt. Erfindungsgemäß treten trotz der Laufzeitunterschiede in beiden Faserarmen 5, 6, hervorgerufen durch verschiedene Faserlängen, nur minimale Unterschiede in der Dispersion in den beiden Faserarmen 5, 6 auf, so dass die Laserpulse des Pulsbursts 2 eine nahezu identische Pulsdauer aufweisen. Hierzu werden optische Fasern unterschiedlicher Dispersion in den Faserarmen 5, 6 eingesetzt, so dass die Summen der in den Faserarmen jeweils akkumulierten Phasenterme höherer Ordnung nahezu identisch sind. Die optischen Fasern der Faserarme 5, 6 sind hinsichtlich Dispersion und Länge in der Weise aufeinander abgestimmt, dass sich die dem Kombinationselement 4 über die Faserarme 5, 6 zugeführten Laserpulse hinsichtlich des durch die jeweilige Dispersion erzeugten Chirps um weniger als 4 fs/nm (vorzugsweise 1 fs/nm) der Laserpulse, normiert auf einen Meter Längenunterschied der Faserarme, voneinander unterscheiden.

Die Figur 2 zeigt eine erfindungsgemäße Vorrichtung zur Erzeugung von Laserpulsen im Burstbetrieb. Das dargestellte Lasersystem verwendet zur Erhöhung der Anzahl der Laserpulse im Burst die oben beschriebene optische Komponente in einer seriellen Anordnung mehrfach, wie in Figur 2 dargestellt. Die erste der optischen Komponenten in der seriellen Anordnung ist eingangsseitig mit der Pulslichtquelle P, einem kommerziellen (modengekoppelten) Kurzpulslaser, der Femtosekunden-Laserpulse bei einer Repetitionsrate im Bereich von beispielsweise 10 MHz erzeugt. Die Längenunterschiede der Faserarme 6, 7, 9 zweier jeweils seriell aufeinander folgender optischer Komponenten unterscheiden sich voneinander, und zwar um den Faktor zwei. Dadurch werden Bursts mit zeitlich nahezu äquidistanten Laserpulsen im Burst erzeugt. Zwei Aufteilungen ergeben vier Laserpulse im Burst 8, drei Aufteilungen ergeben acht Laserpulse im Burst 10 usw., wobei der Längenunterschied der Faserarme in der dritten optischen Komponente der Serienanordnung viermal so groß ist wie in der ersten optischen Komponente. Die Sequenz kann beliebig fortgesetzt werden.

Die Figur 3 illustriert die erfindungsgemäße Kombination der Bursterzeugung durch Pulsaufteilung mit einem optischen Verstärker. Die serielle Anordnung der Aufteilungskomponenten gemäß Figur 2 wird vor dem optischen Leistungsverstärker 14 platziert. Um auftretende Sättigungseffekte in dem Leistungsverstärker 14 zu kompensieren, ist ein Amplitudenmodulator 12 (z.B. ein AOM, vorzugsweise ein EOM) vorgesehen, der den mit der in Figur 2 dargestellten Vorrichtung erzeugten Burst 1 1 vorformt, so dass nach der Verstärkung ein Burst 15 mit nahezu identischer Pulsenergie der einzelnen Laserpulse entsteht. Elektrooptische Modulatoren (EOMs) mit einer Bandbreite von einigen GHz ermöglichen eine pulsgenaue Steuerung der Amplituden der Laserpulse. Wie im unteren Diagramm in Figur 3 dargestellt, können einzelne Laserpulse entfernt werden, die dann in den Bursts 16, 17 fehlen, oder es kann die Einhüllende der Bursts 16, 17 beliebig geformt werden. Die Pulsdauer des Laserverstärkersystems ist im Wesentlichen durch die Verstärkungsbande des verwendeten optisch gepumpten Verstärkungsmediums begrenzt. Verlangen Applikationen eine kürzere Pulsdauer als durch die Verstärkungsbandbreite unterstützt, bietet es sich an, ergänzend eine nichtlineare Pulskompressionsmethode zur Pulsverkürzung einzusetzen. Hierbei durchlaufen die Laserpulse nach der Verstärkung ein nichtlineares Medium (z.B. einen zusätzlichen Wellenleiter, nicht dargestellt), akkumulieren dabei eine nichtlineare Phase, welche zu einer spektralen Verbreiterung der Laserpulse führt, was wiederum eine Pulsverkürzung durch dispersive Elemente erlaubt. Im nichtlinearen Medium bestimmt die Pulsspitzenleistung die spektrale Verbreiterung. Soll nun ein Burstpulszug, wie oben beschrieben, dieser Pulsverkürzungsmethode unterzogen werden, ist es essenziell, dass alle Laserpulse des Pulszuges eine annähernd identische Pulsdauer aufweisen. Die Möglichkeit der Erzeugung eines Burstpulszuges mit annähernd identischer Pulsdauer der Laserpulse durch Kompensation der Dispersionsunterschiede in den Faserarmen der Pulsaufteilung ist dabei ein wichtiger Vorteil der Erfindung.