技术领域

本发明涉及材料合成技术， 尤其涉及一种石墨坩埚、 一种加热炉、 以及 一种碲化镉的制备方法。 背景技术

碲化镉是一种化合物半导体， 其能隙宽度最适合于光电能量转化。 用这 种半导体做成的太阳能电池是一种将光能直接 转化为电能的器件， 有很高的 理论光电转换效率。 碲化镉用气相沉积法可制成大面积的碲化镉薄 膜， 而且 沉积率也高。 所以碲化镉薄膜太阳能电池制造成本低， 并具有较高的转换效 率， 适合大规模商业化生产应用， 是新一代太阳能电池的重要接替者。

迄今为止， 关于高纯碲化镉的研究出现了一些很有成效的 努力， 主要为 真空制备法， 比如将碲和镉按一定比例混合放入石英管中， 抽真空后密封； 然后放入加热设备中按程序升温合成。 如中国专利 201010571424. 5 公开了 一种高纯碲化镉的制备方法， 其特点是将 5N碲和 5N镉按摩尔比 1 : 1 的配 比混合均匀， 装入石英管支后抽真空密封， 再将密封好的石英管放入马弗炉 中按程序升温及降温，制成碲化镉。但是此技 术反应温度在碲化镉熔点以上， 整个过程将会产生较大的蒸汽压， 镉对石英管有较强的腐蚀性。 因此， 在这 个工艺中存在不足之处： （1 ) 石英管为一次性用品， 每生产一次需耗费一 根石英管， 增大了成本。 （2 ) 抽真空密封时需做好， 且碲和镉在反应中对 石英管有腐蚀， 使得石英管容易爆裂， 因此生产时有安全及环境污染隐患。

由此需要对碲化镉的合成装置以及制备方法进 行改进。 。 发明内容

鉴于现有技术的问题， 本发明的目的在于提供一种石墨坩埚、 一种 加热炉、 以及一种碲化镉的制备方法， 其能用于实现成本节约、 操作安 全且环境友好。

为了实现本发明的目的， 在第一方面， 本发明提供一种石墨坩埚包 括：

坩埚主体； 以及坩埚盖， 与坩埚主体配合； 套环， 与坩埚主体固定 连接且包括沿周向设置的套环槽。 其中， 坩埚盖包括： 凸缘， 沿周向且 沿与坩埚主体配合的方向突出延伸， 以在所述石墨坩埚装配后凸缘容纳 在套环的套环槽中。

为了实现本发明的目的， 在第二方面， 本发明提供一种加热炉， 包 括：

炉体， 设有用于与对炉体进行抽真空的真空装置连接 的真空用接口、 用于与对炉体内的空气进行惰性气体置换的惰 性气体供给装置连接的惰 性气体置换用接口、 用于与对炉体进行冷却的冷却装置连接的冷却 用接 口、 用于排放炉体内气体的气体排放口； 根据本发明第一方面所述的石 墨坩埚， 放入炉体内； 以及石墨加热器， 用于对石墨坩埚进行加热且置 于炉体内。

为了实现本发明的目的， 在第三方面， 本发明提供一种碲化镉的制 备方法包括步骤： 将镉和碲且镉相对于碲过量的摩尔比进行混合 ； 将混 合好的镉和碲的混合物装入到依据本发明第一 方面所述的石墨坩埚的坩 埚主体中； 将受热熔化材料放置在与坩埚主体固定连接且 沿周向设置的 套环的套环槽中； 将坩埚盖盖在坩埚主体上， 以使坩埚盖的沿周向且沿 与坩埚主体配合的方向突出延伸的凸缘容纳在 套环的套环槽中； 在惰性 气体环境下， 利用惰性气体将石墨坩埚内的气体置换排空； 将石墨坩埚 放入到加热炉内并将加热炉合紧； 将加热炉进行抽真空和惰性气体冲入， 以清洗加热炉； 对清洗后的加热炉冲入惰性气体， 以使加热炉内压力达 到规定压力； 使加热炉加热， 其中加热方式为阶梯式， 以使镉和碲进行 合成反应； 合成反应之后， 使加热炉降温至规定温度； 之后， 将加热炉 排气并清洗； 以及打开加热炉， 取出石墨坩埚， 取出合成的碲化镉晶体。 本发明的有益效果如下： 基于本发明的石墨坩埚， 通过本发明所述的加热炉和所述的碲化镉 备方法， 可以实现成本节约、 操作安全且环境友好。 说明

图 1 是根据本发明的石墨坩埚的剖视分解图；

图 2 是根据本发明的石墨坩埚的套环的俯视图；

图 3 是根据本发明的石墨坩埚的剖视组装图；

图 4 至图 7 是根据本发明的石墨坩埚的套环的替代结构图 ； 图 8 是根据本发明的加热炉的示意剖视结构图。

其中， 附图标记说明如下：

1 石墨坩埚 2 石墨加热器 3 炉体

4 旋转支撑件 5 石墨外坩埚 6 保温件

7 真空装置 8 惰性气体供给装 9 冷却装置

11 坩埚主体 12 坩埚盖 13 套环

13A 第一套环部 13B 第二套环部 31 真空用接口

33 惰性气体置换用接口 35 冷却用接口 37 气体排放口

111 内腔壁 115 坩埚主体螺纹 121 凸缘

131 套环槽 133 通道 135 套环螺纹

VI、 V2、 V3 控制阀

具体实肺式

下面结合附图说明根据本发明的石墨坩埚、 加热炉、 以及碲化镉的 制备方法。 首先说明根据本发明第一方面的石墨坩埚。

如图 1 至图 3 所示， 根据本发明的石墨坩埚 1 包括： 坩埚主体 11 ; 坩埚盖 12， 与坩埚主体 11 配合； 套环 13， 与坩埚主体 11 固定连接且 包括沿周向设置的套环槽 131。 其中， 坩埚盖 12 包括： 凸缘 121， 沿周 向且沿与坩埚主体 11 配合的方向突出延伸， 以在石墨坩埚 1 装配后凸 缘 121 容纳在套环的套环槽 131 中。 在根据本发明的石墨坩埚 1 中， 所述固定连接可以为一体式连接或 螺接。 在采用螺接时， 套环 13在与坩埚主体 11 连接的部位设置有套环 螺纹 135 ; 对应地， 坩埚主体 11 在与套环 13 连接的部位设置有坩埚主 体螺纹 115 ; 套环螺纹 135 与坩埚主体螺纹 115 螺纹配合， 从而实现套 环 13 与坩埚主体 11之间的螺接。

在根据本发明的石墨坩埚 1 中， 当套环 13 与坩埚主体 11 螺接时， 优选地， 如图 4 至图 7 所示， 套环 13 还可包括： 通道 133， 与套环槽 131 连通并通向套环 13 与坩埚主体 11 螺纹连接处。 更优选地， 套环 13 的套环槽 131和通道 133 由独立的分别与坩埚主体 11 螺接的第一套 环部 13A 和第二套环部 13B 形成。

在根据本发明的石墨坩埚 1中， 石墨坩埚 1的坩埚主体 11、 坩埚盖 12、 5以及套环 13可均由高纯石墨制成， 且在使用前高温淬水烘干， 再 放入高压炉中抽真空空烧， 以除去石墨中所含挥发物。

在根据本发明的石墨坩埚 1中， 套环槽 131用于容纳受热熔化材料， 所述受热熔化材料的材料将在石墨坩埚 1装配后通过熔化而将坩埚盖 12 的凸缘 121 和套环 13 的套环槽 131 之间的间隙密封。 所述受热熔化材 料可以为低熔点、 高沸点、 不挥发的固体密封剂， 其中固体密封剂的熔 点应在石墨坩埚 1 在工作时的最高温度以下 （优选低于镉的沸点） ， 而 固体密封剂的沸点高于石墨坩埚 1 在工作时的最高温度。 所述固体密封 剂例如可采用三氧化二硼。

其次说明根据本发明第二方面的加热炉。

如图 8 所示， 根据本发明的加热炉包括： 炉体 3， 设有用于与对炉 体 3进行抽真空的真空装置 7连接的真空用接口 31、 用于与对炉体 3内 的空气进行惰性气体置换的惰性气体供给装置 8 连接的惰性气体置换用 接口 33、 用于与对炉体 3进行冷却的冷却装置 9连接的冷却用接口 35、 用于排放炉体 3内气体的气体排放口 37 ; 根据本发明第一方面所述的石 墨坩埚 1， 放入炉体 3内； 以及石墨加热器 2， 用于对石墨坩埚 1进行加 热且置于炉体 3 内。 在根据本发明所述的加热炉中，如图 8所示，炉体 3与真空装置 7的 连接可为受控连接， 例如通过控制阀 VI 来进行； 炉体 3 与惰性气体供 给装置 8 连接可为受控连接， 例如通过控制阀 V2 来进行； 炉体 3 与冷 却装置 9 的连接可为受控连接， 例如通过控制阀 V3 连接。

在在根据本发明所述的加热炉中， 如图 8 所示， 气体排放口 37 可 以与真空用接口 31 进行管道连接， 并分别受控制阀 V3 和 VI 控制， 从 而可以简化结构。

在根据本发明所述的加热炉中， 优选地， 所述加热炉还可包括： 旋 转支撑件 4， 连接并能够带动石墨坩埚 1旋转。 更优选地， 旋转支撑杆 4 还可升降， 以调节石墨坩埚 1 的竖向位置。

在根据本发明所述的加热炉中， 优选地， 所述加热炉还可包括： 石 墨外坩埚 5， 用于容纳石墨坩埚 1。 此时相应地， 旋转支撑件 4连接于石 墨外坩埚 5。 当旋转支撑件 4旋转和 /或升降时， 可带动石墨外坩埚 5旋 转和 /或升降， 从而带动石墨外坩埚 5 内容纳的石墨坩埚 1 旋转和 /或升 降。

在根据本发明所述的加热炉中， 优选地， 所述加热炉还包括： 保温 件 6， 设置成包围石墨加热器 2。 更优选地， 保温件 6为石墨套和石墨碳 毡形成的夹层结构。

第三说明根据本发明第三方面的碲化镉的制备 方法。

根据本发明的碲化镉的制备方法， 包括步骤： 将镉和碲且镉相对于 碲过量的摩尔比进行混合； 将混合好的镉和碲的混合物装入到根据本发 明第一方面的石墨坩埚 1 的坩埚主体 11 中， 将受热熔化材料放置在与 坩埚主体 11 固定连接且沿周向设置的套环 13 的套环槽 131 中； 将坩 埚盖 12 盖在坩埚主体 11上， 以使坩埚盖 12 的沿周向且沿与坩埚主体 11 配合的方向突出延伸的凸缘 121 容纳在套环 13 的套环槽 131 中； 在惰性气体环境下， 利用惰性气体将石墨坩埚内的气体置换排空； 将石 墨坩埚 1 放入到根据本发明第二方面的加热炉内中； 并将加热炉合紧； 将加热炉进行抽真空和惰性气体冲入， 以清洗加热炉； 对清洗后的加热 炉冲入惰性气体， 以使加热炉内压力达到规定压力； 使加热炉加热， 其 中加热方式为阶梯式， 以使镉和碲进行合成反应； 合成反应之后， 使加 热炉降温至规定温度； 之后， 将加热炉排气并清洗； 以及打开加热炉， 取出石墨坩埚 1， 取出合成的碲化镉晶体。

在根据本发明所述的碲化镉的制备方法中，优 选地，所述镉为 5N镉， 所述碲为 5N 碲。 优选地， 镉为锭状、 柱状或粒状， 碲为块状体。

在根据本发明所述的碲化镉的制备方法中， 优选地， 所述规定摩尔 比为碲：镉 =1 : ( 1. 14〜1. 18)。

在根据本发明所述的碲化镉的制备方法中， 优选地， 所述规定压力 为 1. 2〜1. 8MPa。

在根据本发明所述的碲化镉的制备方法中，优 选地，将石墨坩埚 1放 入到的加热炉内时首先将石墨坩埚 1 放置在连接有旋转支撑件 4 的石墨 外坩埚 5 中。

在根据本发明所述的碲化镉的制备方法中， 优选地， 所述使加热炉 阶梯式加热过程中， 在阶梯加热前段使石墨坩埚 1 同时旋转。

在根据本发明所述的碲化镉的制备方法中， 优选地， 所述阶梯式加 热方式为： l〜1. 5h从室温升温 70(T850 °C保温 10min〜lh， 同时使石墨 坩埚 1 以 10〜15 转 /min 旋转； 之后， lh 升温至 1200〜 1300 °C， 保温 0. 5〜2h。 优选地， 使加热炉降温的过程为： l〜4h 从 120(Tl300 °C降至 1000 °C， 之后加热炉从 1000 °C降温至 40 °C。其中， 加热炉从 1000 °C降温 至 40 °C可采用以 0. 5h从 1000 °C降至 500 °C， 之后程序停止运行并拉闸， 使加热炉自然降温至 40 °C _; 或者在 1000 °C时程序停止运行并拉闸， 使加 热炉自然降温至 40 °C。

在根据本发明所述的碲化镉的制备方法中， 优选地， 所述受热熔化 材料可以为低熔点、 高沸点、 不挥发的固体密封剂， 其中固体密封剂的 熔点应在石墨坩埚 1 在工作时的最高温度以下 （优选低于碲化镉的沸 点） ， 而固体密封剂的沸点高于石墨坩埚 1 在工作时的最高温度。 所述 固体密封剂例如可采用三氧化二硼。

在根据本发明所述的碲化镉的制备方法中， 所述使加热炉采用石墨 加热器 2 加热。

在根据本发明所述的碲化镉的制备方法中， 惰性气体可以采用氮气、 氩气。 优选氮气。

在根据本发明所述的碲化镉的制备方法中， 在所示将加热炉排气并 清洗的步骤中， 优选地， 将加热炉排气至 0. 4MPa。

第四， 说明根据本发明的碲化镉的制备方法的实施例 。

实施例 1

将 5N碲锭和 5N镉柱按摩尔比 1 : 1. 14 进行混合， 混合料约 6900g， 将混合料装入到石墨坩埚 1内； 将 5N三氧化二硼 90g放置在套环槽 131 中； 将坩埚盖 12 盖在坩埚主体 11 上； 在氮气气体环境下， 利用氮气气 体将石墨坩埚 1 内的气体置换排空； 将石墨坩埚 1 放入到加热炉的连接 有旋转支撑件 4的石墨外坩埚 5中， 加热采用石墨加热器 2， 保温件 6采 用石墨套和石墨碳毡形成的夹层结构， 调整石墨坩埚 1 与保温件 6上表 面距离调整埚位， 使两者间留约 lcm缝隙， 启动旋转支撑件 4旋转， 用 万用表测量石墨加热器 2 的电极导线接头与炉体 3之间的电阻， 若电阻 大于 300千欧， 则可将加热炉合紧， 若不大于 300千欧， 则需调整旋转 支撑件 4平衡以使电阻满足要求； 打开采用真空泵的真空装置 7抽真空， 先抽 30min， 再通过控制阀 V2以小流量冲入氮气洗炉约 20 min， 再抽真 空 lO min, 之后再以以上标准冲氮气洗炉， 共洗 3次， 洗好后关闭控制 阀 VI；对清洗后的加热炉清洗后的加热炉经由惰� ��气体置换用接口 33冲 入氮气气体， 先慢后快， 以使加热炉内压力 1.2MPa; 使加热炉的石墨加 热器 2 加热， 其中加热方式为阶梯式， 以使镉和碲进行合成反应； 合成 反应之后， 使加热炉降温至规定温度； 之后， 打开 V3将加热炉废气排至 约 0.4MPa， 再抽真空并清洗； 以及打开加热炉， 取出石墨坩埚 1， 拧开 或去掉石墨套环， 取出合成的碲化镉晶体。

其中， 所述阶梯式加热方式为： 1.5h从室温升温 700°C， 700°C下保 温 lh， 同时使石墨坩埚 1 旋转， 转速为 10 转 /min; lh 从 700°C升温至 1200°C， 在 1200°C下保温 2h; 其中， 加热炉降温的过程为： lh 从 1200 °C降至 1000°C; 0.5 从 1000°C降至 500°C; 之后程序停止运行并拉闸， 使其自然降温至 40°C。其中，在拉闸之前的冷却通过冷却装置 9来进行。。

实施例 2

将 5N 碲锭和 5N 镉粒按摩尔比 1:1.18 进行混合混合料约 6900g， 将混合料装入到石墨坩埚 1内； 将 5N三氧化二硼 90g放置在套环槽 131 中； 将坩埚盖 12 盖在坩埚主体 11 上； 在氮气气体环境下， 利用氮气气 体将石墨坩埚 1 内的气体置换排空； 将石墨坩埚 1 放入到加热炉的连接 有旋转支撑件 4的石墨外坩埚 5中， 加热采用石墨加热器 2， 保温件 6采 用石墨套和石墨碳毡形成的夹层结构， 调整石墨坩埚 1 与保温件 6上表 面距离调整埚位， 使两者间留约 lcm缝隙， 启动打开旋转支撑件 4旋转， 用万用表测量电极石墨加热器 2 的导线接头与炉体 3之间的电阻， 若电 阻大于 300千欧， 则可将加热炉合紧， 若不大小于 300千欧， 则需调整 旋转支撑件 4平衡以使电阻满足要求； 打开采用真空泵的真空装置 7抽 真空， 先抽 30min， 再通过控制阀 V2 以小流量冲入氮气洗炉约 20 min, 再抽真空 10 min, 之后再以以上标准冲氮气洗炉， 共洗 3 次， 洗好后关 闭控制阀 vi ; 对清洗后的加热炉清洗后的加热炉经由惰性气 体置换用接 口 33 冲入氮气气体， 先慢后快， 以使加热炉内压力 1. 6MPa; 使加热炉 的石墨加热器 2 加热， 其中加热方式为阶梯式， 以使镉和碲进行合成反 应； 合成反应之后， 使加热炉降温至规定温度； 之后， 打开 V3将加热炉 废气排至约 0. 4MPa， 再抽真空并清洗； 以及打开加热炉， 取出石墨坩埚 1， 拧开或去掉石墨套环， 取出合成的碲化镉晶体。

其中， 所述阶梯式加热方式为： lh从室温升温 800°C， 800 °C下保温 lOmin , 同时使石墨坩埚 1 旋转， 转速为 15 转 /min; lh 从 800°C 升温至 1200 °C， 在 1200°C下保温 lh。

其中， 加热炉降温的过程为： 2h 从 1200°C降至 1000 °C _; 之后程序 停止运行并拉闸， 使其自然降温至 40°C。 其中， 在拉闸之前的冷却通过 冷却装置 9 来进行。 。

实施例 3

将 5N碲锭和 5N镉粒按摩尔比 1 : 1. 16 进行混合， 混合料约 6900g， 将混合料装入到石墨坩埚 1内； 将 5N三氧化二硼 90g放置在套环槽 131 中； 将坩埚盖 12 盖在坩埚主体 11 上； 在氮气气体环境下， 利用氮气气 体将石墨坩埚 1 内的气体置换排空； 将石墨坩埚 1 放入到加热炉的连接 有旋转支撑件 4的石墨外坩埚 5中， 加热采用石墨加热器 2， 保温件 6采 用石墨套和石墨碳毡形成的夹层结构， 调整石墨坩埚 1 与保温件 6上表 面距离调整埚位， 使两者间留约 lcm缝隙， 启动旋转支撑件 4旋转， 用 万用表测量石墨加热器 2 的电极导线接头与炉体 3之间的电阻， 若电阻 大于 300千欧， 则可将加热炉合紧， 若不大于 300千欧， 则需调整旋转 支撑件 4平衡以使电阻满足要求； 打开采用真空泵的真空装置 7抽真空， 先抽 30min， 再通过控制阀 V2以小流量冲入氮气洗炉约 20 min , 再抽真 空 10 min, 之后再以以上标准冲氮气洗炉， 共洗 3次， 洗好后关闭控制 阀 VI ;对清洗后的加热炉清洗后的加热炉经由惰性� �体置换用接口 33冲 入氮气气体， 先慢后快， 以使加热炉内压力 1. 4MPa; 使加热炉的石墨加 热器 2 加热， 其中加热方式为阶梯式， 以使镉和碲进行合成反应； 合成 反应之后， 使加热炉降温至规定温度； 之后， 打开 V3将加热炉废气排至 约 0. 4MPa， 再抽真空并清洗； 以及打开加热炉， 取出石墨坩埚 1， 拧开 或去掉石墨套环， 取出合成的碲化镉晶体。

其中， 所述阶梯式加热方式为： lh从室温升温 850 °C， 850 °C下保温 lOmin , 同时使石墨坩埚 1 旋转， 转速为 15 转 /min ; lh 从 850 °C升温 至 1200 °C， 在 1200 °C下保温 0. 5h。

其中， 加热炉降温的过程为： 2h 从 1200 °C降至 1000 °C _; 之后程序 停止运行并拉闸， 使其自然降温至 40 °C。 其中， 在拉闸之前的冷却通过 冷却装置 9 来进行。 。

实施例 4

将 5N 碲锭和 5N 镉粒按摩尔比 1 : 1. 16 进行混合混合料约 6900g， 将混合料装入到石墨坩埚 1内； 将 5N三氧化二硼 90g放置在套环槽 131 中； 将坩埚盖 12 盖在坩埚主体 11 上； 在氮气气体环境下， 利用氮气气 体将石墨坩埚 1 内的气体置换排空； 将石墨坩埚 1 放入到加热炉的连接 有旋转支撑件 4的石墨外坩埚 5中， 加热采用石墨加热器 2， 保温件 6采 用石墨套和石墨碳毡形成的夹层结构， 调整石墨坩埚 1 与保温件 6上表 面距离调整埚位， 使两者间留约 lcm缝隙， 启动旋转支撑件 4旋转， 用 万用表测量石墨加热器 2 的电极导线接头与炉体 3之间的电阻， 若电阻 大于 300千欧， 则可将加热炉合紧， 若不大于 300千欧， 则需调整旋转 支撑件 4平衡以使电阻满足要求； 打开采用真空泵的真空装置 7抽真空， 先抽 30min， 再通过控制阀 V2以小流量冲入氮气洗炉约 20 min , 再抽真 空 10 min , 之后再以以上标准冲氮气洗炉， 共洗 3次， 洗好后关闭真空 装置接口 11; 对清洗后的加热炉清洗后的加热炉经由惰性气 体装置接口 5 冲入氮气气体， 先慢后快， 以使加热炉内压力 1.8MPa; 使加热炉的石 墨加热器 2 加热， 其中加热方式为阶梯式， 以使镉和碲进行合成反应； 合成反应之后， 使加热炉降温至规定温度； 之后， 打开 V3将加热炉废气 排至约 0.4MPa， 再抽真空并清洗； 以及打开加热炉， 取出石墨坩埚 1， 拧开或去掉石墨套环 （其中盖与套环粘结在一起） ， 取出合成的碲化镉 晶体。

其中， 所述阶梯式加热方式为： lh从室温升温 800°C， 800°C下保温 lOmin, 同时使石墨坩埚 1 旋转， 转速为 15 转 /min; lh 从 800°C升温 至 1300°C， 在 1300°C下保温 2h。

其中， 加热炉降温的过程为： 4h 从 1300°C降至 1000°C _; 之后程序 停止运行并拉闸， 使其自然降温至 40°C。 其中， 在拉闸之前的冷却通过 冷却装置来进行。 。

最后， 给出实施例 1-4 的测试结果。

在所制得碲化镉晶体表面敲下两块各约 10克左右大小样品， 一份用 于测量碲含量 (％)， 一份用于测量杂质含量。

表 1 为实施例 1-4 的碲含量的测量结果。 其采用重量法， 即先将样 品完全溶于浓硫酸中， 不断搅拌， 使生成 +4价碲， 再加入亚硫酸钠， 生 成单质碲沉淀， 将沉淀烘干称重， 计算得出碲含量。

表 2 为实施例 1-4 的杂质含量检测结果。 检测采用电感耦合等离子 体质谱仪 （ICP-MS) (生产厂家为 PE 公司， 型号为: DRC-II) 检测无 该设备的检测条件为： 温度为 18 °C 28 °C， 相对湿度为 30 70%, 洁净度为 1000级。 检测原理： 电感耦合等离子体质谱仪检测方式： 待测 元素经过等离子体高温电离后， 以正电荷形式进入质量分析器， 根据质 量 /电荷比的差异， 被检测器接收， 产生信号。 待测元素产生的信号和标 准物质该元素信号比值得出待测元素的含量。

表 2 实施例 1-4 的杂质含量检测结果 （单位： ppm)

Sb 0.018 0.013 0.015 0.080 小计 2.783 2.318 2.937 3.168 根据实施例 1-4， 一台加热炉一次可生产约 7kg碲化镉， 生产一次 约耗时 16小时， 可连续生产， 且其质量可以保证， 在生产过程中无废料 排出。在生产过程中石墨坩埚 1可循环使用， 只有三氧化二硼在使用 5〜6 次后需更 5 换 （坩埚盖一起更换） 。 同时， 在大批量生产时， 可多台加 热炉连续生产， 因此， 本发明是一种可投入大规模生产的碲化镉生产 工 艺， 具有成本较小， 效率较高， 对环境无污染等优点。