Verschiedene Ausführungsformen betreffen einen Gittersensor, ein Gittersensorsystem, eine Auswertevorrichtung und ein Computerprogrammprodukt, die jeweils geeignet sind zum Korrigieren eines Störeinflusses von ein oder mehreren Fluiden auf den Gittersensor, das Gittersensorsystem, Messdaten einer Auswertevorrichtung und Messdaten des Computerprogrammprodukts.

Im Allgemeinen können Gittersensoren verwendet werden, um mehrere Anteile (z.B. Phasenanteile und/oder Fluidanteile) in einem Fluidstrom zu untersuchen, wobei sich die mehreren Anteile des Fluidstroms in zumindest einer elektrischen Eigenschaft unterscheiden.

Beispielsweise kann zu einer Untersuchung des Fluidstroms ein kapazitiver Gittersensor verwendet werden. Der kapazitive Gittersensor kann bei kleinen Sensorflächen (z.B. weniger als 10 cm ² ) sowie bei einem Fluidstrom, der nur Anteile mit geringen Leitfähigkeiten aufweist (z.B. in Deionat), verwendet werden.

Beispielsweise können mittels Sendedrähten und Empfangsdrähten eines Gittersensors kapazitive Verschiebeströme gemessen werden. Durch eine zusätzliche elektrisch-nichtisolierte Drahtebene können alle Anteile des leitfähigen Fluids mit einem Massepotential verbunden werden, wodurch diese Anteile signalseitig auf das Massepotential (z.B. 0 V) gesetzt werden können.

Bereits bei Fluiden, die zumindest einen leitfähigen Anteil (z.B. einen leitfähigen Phasenanteil und/odereinen leitfähigen Flüssigkeitsanteil) aufweisen, der eine höheren Leitfähigkeit als die eines Deionats (z.B. Leitungswasser) aufweist können herkömmliche Gittersensoren ungeeignet sein. Beispielsweise können durch die leitfähigen Anteile Nichtlinearitäten auftreten, durch die ein Signalverlust entlang der Empfängerdrähte entstehen kann, z.B. infolge einer Energiedissipation. Die Signalverluste können proportional steigen mit der Zusammensetzung des Fluidstroms (z.B. der Leitfähigkeit des leitfähigen Anteils des Fluidstroms, und/oder der gesamten Leitfähigkeit des Fluidstroms) und/oder mit einer Beschaffenheit der Sendedrähte und Empfangsdrähte (z.B. mit einer Länge der Drähte, einer Anzahl der Drähte, einer Drahtdichte, und/oder einer Anzahl von Kreuzungspunkten der Drähte). Die Verluste können abhängig sein von der jeweiligen Benetzung von Kreuzungspunkten der Sendedrähte und Empfangsdrähte mit dem leitfähigen Anteil des Fluidstroms. Da sich die Benetzung der Kreuzungspunkte stetig ändern kann, können sich auch die Verluste stetig ändern. Im Allgemeinen können die Verluste zu Nichtlinearitäten und einer Unterschätzung der Messwerte an allen Empfangsdrähten führen, die mit dem leitfähigen Fluid in Kontakt stehen. Auch bei einer höheren Anzahl von Sendedrähten und/oder Empfangsdrähten (z.B. jeweils mehr als 10), und/oder größeren Geometrien (z.B. einer Sensorfläche von mehr als 20 cm ² ) können herkömmliche Gittersensoren die Phasenanteile bzw. die Flüssigkeitsanteile nur ungenau oder nicht quantifizieren. Beispielsweise kann eine genaue Kalibrierung von allen Sensorelementen insbesondere bei der höheren Anzahl von Sendedrähten und/oder Empfangsdrähten nur sehr umständlich realisiert werden. Herkömmliche Gittersensoren können ungeeignet sein, um Phasenanteile bzw. Flüssigkeitsanteile zu quantifizieren, solange die leitfähige Phase die kontinuierliche Phase ist.

Gemäß verschiedener Aspekte wird eine Vorrichtung und ein Verfahren bereitgestellt, die eine Messung eines Fluidstroms, der mehrere Phasenanteile und/oder mehrere Fluidanteile aufweisen kann, ermöglichen. Zumindest ein Phasenanteil der mehreren Phasenanteile bzw. ein Fluidanteil der mehreren Fluidanteile kann (hoch)leitfähig sein.

Gemäß verschiedener Aspekte wird eine Vorrichtung und ein Verfahren bereitgestellt, das Verluste und Nichtlinearitäten an Sendeelektroden und/oder Empfangselektroden aufgrund einer Benetzung mit einem leitfähigen Anteil des Fluidstroms kompensieren kann.

Gemäß verschiedener Aspekte wird ein Verfahren bereitgestellt, das die Verluste und Nichtlinearitäten inhärent quantifizieren kann.

Gemäß verschiedener Aspekte wird ein Verfahren bereitgestellt, das aus ein oder mehreren gemessenen (z.B. verlustbehafteten) Werten der einzelnen Kreuzungspunkte von den Sendeelektroden und den Empfangselektroden im Fluidstrom und ein oder mehreren Referenzwerten ein oder mehrere korrigierte bzw. verlustbefreite Messwerte bestimmt. Die ein oder mehreren korrigierten bzw. verlustbefreiten Messwerte können den realen Messwerten an den Kreuzungspunkten entsprechen.

Gemäß verschiedener Aspekte werden eine Vorrichtung und ein Verfahren bereitgestellt, mit denen es ermöglicht wird einen kapazitiven Gittersensor auch für einen Fluidstrom einzusetzen, der zumindest einen hochleitfähigen Phasenanteil bzw. Fluidanteil aufweist.

Gemäß verschiedener Aspekte wird eine Vorrichtung bereitgestellt, die verwendet werden kann, die Energieverluste in Empfangsdrähten eines Gittersensors zu korrigieren. Beispielsweise kann dadurch eine Messung von leitfähigen und/oder hochleitfähigen Flüssigkeiten ermöglicht werden. Gemäß verschiedener Aspekte wird eine Vorrichtung bereitgestellt, die verwendet werden kann zum Messen von mehrphasigen Gemischen, bei denen mindestens eine der Phasen leitfähig und/oder hochleitfähig ist.

Gemäß verschiedener Aspekte wird ein Verfahren bereitgestellt, das Abschätzung und Kompensation von Energieverlusten in Gittersensoren ermöglicht, wenn der Gittersensor zur Messung von leitfähigen und/oder hochleitfähigen Fluiden (z.B. Gasen und/oder Flüssigkeiten) verwendet wird.

Gemäß verschiedener Aspekte wird ein Verfahren bereitgestellt, das die Korrektur von Nichtlinearitäten bei Messungen ermöglicht. Somit kann beispielsweise die Genauigkeit eines Gittersensors bei der Ermittlung von durchflussabhängigen Parametern erhöht werden, z.B. bei der Ermittlung eines Fraktionsanteils (z.B. einem prozentualen Anteil einer Phase und/oder einer Flüssigkeit am gesamten Fluidstrom) und/oder einer jeweiligen Fließgeschwindgeit von ein oder mehreren Phasen des Fluidstroms, und/oder einer Phasengeschwindigkeit und/oder von ein oder mehreren Konzentrationsverhältnissen (z.B. von voneinander verschiedenen Anteilen innerhalb des Fluids, z.B. im Rahmen einer sogenannten Tracermessung).

Gemäß verschiedenen Aspekten kann ein Gittersensor bereitgestellt werden aufweisend: einen Fluidführungsbereich; mehrere Gittersensoreinheiten, wobei jede der mehreren Gittersensoreinheiten aufweist: eine Gruppe von Sensorelementen eingerichtet zum Erzeugen von Messsignalen, welche ein oder mehrere Eigenschaften eines in dem Fluidführungsbereich geführten Fluids repräsentieren; eine Elektrode, wobei die Sensorelemente der Gruppe von Sensorelementen mit der Elektrode verbunden sind zum Betreiben der Sensorelemente der Gruppe von Sensorelementen; ein Referenzelement, welches der Elektrode zugeordnet ist, mit der Elektrode verbunden ist, und eingerichtet ist, ein Referenzsignal, welches einen Störeinfluss des in dem Fluidführungsbereich geführten Fluids auf eine elektrische Charakteristik der Elektrode repräsentiert, bereitzustellen.

Somit wird anschaulich in verschiedenen Aspekten eine Vorrichtung bereitgestellt, die Verluste und Nichtlinearitäten inhärent quantifizieren kann. Durch das Referenzelement, das nicht durch den Fluidstrom beeinflusst wird, kann ein Referenzwert bereitgestellt werden, der ein Signal einer Elektrode repräsentieren kann. Da sowohl eine Geometrie als auch die Materialien nicht verändert werden, können messbare, eintretende Änderungen des Referenzwerts auf eine Veränderung des Signals (z.B. einem Signalverlust oder einem Signalgewinn) entlang einer jeweiligen Elektrode (z.B. Sendeelektrode und/oder Empfangselektrode) zurückgeführt werden. Gemäß verschiedener Aspekte kann die Referenzelektrode in einer Basisplatte des Gittersensors angeordnet sein. Beispielsweise kann die Referenzelektrode einen Referenzwert (z.B. eine Kapazität, eine Temperatur, eine Induktivität) mittels eines Trägermaterials (z.B. einer Leiterplatte) ermitteln (z.B. Messen).

Gemäß verschiedener Aspekte kann ein Gittersensorsystem bereitgestellt werden, das aufweist: einen Gittersensor gemäß einem der Patentansprüche 1 bis 8, eine Ermittlungsvorrichtung, die eingerichtet ist zum Ermitteln des Referenzsignals und zum Ermitteln der Messsignale, und wobei jeweils ein Messsignal der Messsignale einem Sensorelement der Gruppe von Sensorelementen zugeordnet ist.

Gemäß verschiedener Aspekte kann ein Gittersensorsystem aufweisen: einen Fluidführungsbereich zum Führen eines Fluids; eine Elektrode, die in dem Fluidführungsbereich angeordnet ist, eine Referenzsignalquelle (z.B. die Referenz-Sendeelektrode angeregt von einer Spannungsquelle, welche eine Referenz-Anregungsspannung bereitstellt) zum Erzeugen eines Referenzsignals (z.B. eines Referenzstroms oder einer Referenzspannung) in der Elektrode; einen Referenzsignalempfänger zum Empfangen des Referenzsignals (z.B. als Strom oder Spannung); und eine Signalauswerteeinheit zum Auswerten des empfangenen Referenzsignals, wobei das empfangene Referenzsignal einen Störeinfluss des in dem Fluidführungsbereich strömenden Fluids auf eine elektrische Charakteristik der Elektrode repräsentiert. Es versteht sich, dass ein Referenzsignal in Form einer Spannung einem Strom zugeordnet werden kann und umgekehrt, beispielsweise mittels eines Widerstands.

Gemäß verschiedener Aspekte kann eine Auswertevorrichtung (z.B. Messvorrichtung) aufweisen: eine Eingabeschnittstelle, die eingerichtet ist zum Empfangen von Messdaten und Referenzdaten von einem Gittersensor gemäß einem der Patentansprüche 1 bis 8, wobei der Gittersensor zumindest teilweise von ein oder mehreren Fluiden umströmt werden kann, wobei die Messdaten zumindest eine Eigenschaft der ein oder mehreren Fluide repräsentieren und einen Störeinfluss der ein oder mehreren Fluide auf den Gittersensor aufweisen, und wobei die Referenzdaten den Störeinfluss der ein oder mehreren Fluide auf den Gittersensor repräsentieren; ein oder mehrere Prozessoren, die eingerichtet sind, eine Messwertkorrektur zum Erstellen von korrigierten Messdaten basierend auf den Messdaten und den Referenzdaten durchzuführen, wobei die Messwertkorrektur den Störeinfluss der ein oder mehreren Fluide auf den Gittersensor korrigiert; und eine Ausgabeschnittstelle zum Ausgeben der korrigierten Messdaten, die zumindest eine Eigenschaft der ein oder mehreren Fluide repräsentieren und unabhängig von dem Störeinfluss der ein oder mehreren Fluide auf den Gittersensor sind.

Gemäß verschiedener Aspekte kann ein Computerprogrammprodukt Instruktionen aufweisen, die ein oder mehrere Prozessoren veranlassen, Folgendes auszuführen: Laden eines Datensatzes, der einen Kalibrierwert, eine erste Gruppe von Messwerten und einen ersten Referenzwert aufweist, wobei der Kalibrierwert einen Kalibrier-Störeinfluss von genau einem Fluid von ein oder mehreren Fluiden auf eine Gruppe von Sensoren repräsentiert, wobei der erste Referenzwert einen ersten Störeinfluss auf die Gruppe von Sensoren durch die ein oder mehreren Fluide repräsentiert, wobei jeder Messwert der ersten Gruppe von Messwerten eine Eigenschaft der ein oder mehreren Fluiden und den ersten Störeinfluss auf die Gruppe von Sensoren repräsentiert, und wobei jeder Messwert der ersten Gruppe von Messwerten einem Sensor von einer Gruppe von Sensoren zugeordnet ist; Ermitteln eines Korrekturwerts aus dem Kalibrierwert und dem ersten Referenzwert; und Korrigieren jedes Messwerts der ersten Gruppe von Messwerten mittels des Korrekturwerts. Beispielsweise kann ein Einfluss von lediglich Luft auf die Elektrode als störeinflussfrei verstanden werden, da hierdurch kein substanzieller Stromabfluss aus der Elektrode (z.B. weniger als 0,1% des gesamten Abflusses) verursacht wird. Beispielsweise kann unter dieser Betrachtung der Kalibrierwert störeinflussfrei gemessen werden, sofern die Elektrode lediglich Luft ausgesetzt ist. Je nach Messaufbau können auch andere Bedingungen einen entsprechenden Kalibrierwert als störeinflussfrei definieren, z.B. jeweils eine von mehreren zu messenden Fluiden, welches den geringeren Störeinfluss hat.

Ausführungsformen sind in den Figuren dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert.

Es zeigen Figuren 1 A bis 1C jeweils eine schematische Darstellung von ein oder mehreren Gruppen von Sensorelementen eines Gittersensors gemäß verschiedener Aspekte;

Figuren 2 bis 3B schematische Darstellungen verschiedener Gittersensoren gemäß verschiedener Aspekte;

Figuren 4 bis 6 jeweils ein Verfahren zum Korrigieren eines oder mehrerer Messwerte eines Gittersensors gemäß verschiedener Aspekte;

Figur 7 schematische Darstellung verschiedener Elektrodensegmente eines

Gittersensors gemäß verschiedener Aspekte; und

Figuren 8 und 9 schematische Darstellungen verschiedener Gittersensoren gemäß verschiedener Aspekte.

In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann.

Gemäß verschiedener Aspekte können Fluide, Anteile eines Fluids (z.B. Phasenanteile und/oder Fluidanteile) und/oder Bauteile als elektrisch leitend (oder kurz als leitend) bezeichnet werden. Als leitend werden Medien bezeichnet, die eine Leitfähigkeit von mehr als 0,1 pS/cm (z.B. mehr als 1 pS/cm, 100 pS/cm, 400 pS/cm) aufweisen. Als elektrisch hochleitend (oder kurz hochleitend) können elektrisch leitende Medien bezeichnet werden, die eine (elektrische) Leitfähigkeit von mehr als 500 pS/cm (z.B. mehr als 1000 pS/cm, 10000 pS/cm, 50000 pS/cm) aufweisen.

Gemäß verschiedener Aspekte können ein oder mehrere Fluide durch ein oder mehrere Bauteile hindurch, bzw. an ein oder mehreren Bauteilen entlang bzw. vorbei strömen. Jedes der ein oder mehreren Fluide kann eine Fließgeschwindigkeit aufweisen und als Fluidstrom oder strömendes Fluid bezeichnet werden. Es sei angemerkt, dass mit jedem Fluid auch ein Fluidstrom gemeint sein kann. Ferner sei angemerkt, dass im Folgenden mit „einem Fluid“ auch „ein oder mehrere Fluide“ (z.B. eine Mischung aus ein oder mehreren Fluiden) gemeint sein können, wenn nicht explizit anders gesagt oder sich dies aus dem Kontext ergibt. Gemäß verschiedener Aspekte kann jedes Fluid von ein oder mehreren Fluiden ein oder mehrere Anteile (z.B. ein oder mehrere Bestandteile, und/oder mehrere Anteile, die in zumindest einer Eigenschaft voneinander unterschiedlich sind (z.B. einer Temperatur, einer Dichte)) aufweisen. Ein Anteil kann auch als Phase bezeichnet werden. Ein Anteil eines Fluids kann beispielsweise ein Aggregatzustand eines Anteils des Fluids sein (z.B. fest, flüssig und/oder gasförmig). Ein Fluid kann eine Flüssigkeit, und/oder ein Gas und/oder ein fluidisierter Feststoff sein. Beispielsweise können ein oder mehrere Fluide ein oder mehrere Flüssigkeiten aufweisen. Beispielsweise können ein oder mehrere Fluide ein oder mehrere Gase aufweisen. Beispielsweise können ein oder mehrere Fluide ein oder mehrere Gase und ein oder mehrere Flüssigkeiten aufweisen. Beispielsweise können ein oder mehrere voneinander verschiedene Fluide zumindest eine voneinander verschiedene Eigenschaft aufweisen. Jedes der ein oder mehrere Fluide kann ein oder mehrere der folgenden Eigenschaften aufweisen: eine Temperatur, ein Druck, eine Viskosität, eine elektrische Eigenschaft (z.B. eine elektrische Leitfähigkeit, eine Impedanz, eine relative Permeabilität, eine elektrische Ladung), eine magnetische Eigenschaft, ein Aggregatzustand, eine Kernladungszahl, eine chemische Zusammensetzung, und/oder eine Geschwindigkeit (z.B. eine Strömungsgeschwindigkeit). Beispielsweise kann das Fluid auch ein oder mehrere Feststoffe, z.B. in Form von Feststoffpartikeln (z.B. mit einem Durchmesser kleiner als 0,5 cm, 0,1 cm oder kleiner als 0,01 cm) aufweisen, sofern die Gesamteigenschaften derartiger Stoffe oder Stoffgemische (z.B. Emulsionen, z.B. Sand, oder ähnliches) einen fluiden Charakter haben.

Beispielsweise kann ein prozentualer Anteil eines Fluids bzw. eines Fluidstroms eine Masse (oder ein Volumen) eines Anteils bezogen auf die gesamte Masse (bzw. das gesamte Volumen) des Fluids sein. Beispielsweise können sich alle prozentualen Anteile zu 100% aufsummieren. Gemäß verschiedener Aspekte werden Signale prozessiert, z.B. gesendet, empfangen, verarbeitet, verändert etc. Ein Signal, das mittels einer Elektrode (z.B. einer Sendeelektrode) gesendet wird, kann als Sendesignal oder gesendetes Signal bezeichnet werden. Ein Signal, dass mittels einer Elektrode (z.B. einer Empfangselektrode) empfangen wird, kann als Empfangssignal, empfangenes Signal, oder Messsignal bezeichnet werden. Zwischen dem Senden des Signals von einem Signalursprung über die Sendeelektrode und dem Empfangen des Signals an einem Signalzielort, kann das Signal durch ein oder mehrere Wechselwirkungen, z.B. mit den ein oder mehreren Fluiden und/oder mit Bauelementen des Gittersensors, verändert werden, bevor es empfangen werden kann. Ohne eine Wechselwirkung kann das empfangene Signal gleich dem gesendeten Signal sein (d.h. es tritt kein Unterschied auf). Beispielsweise kann die Elektrode drahtförmig (z.B. ein Draht) sein. Beispielsweise kann die Elektrode schwertförmig sein. Beispielsweise kann die Elektrode plattenförmig sein. Beispielsweise kann die Elektrode eine Leiterbahn auf einer Leiterplatte sein. Beispielsweise kann eine Elektrode in Halbeabschnitten gehalten werden (z.B. auf einem Substrat (z.B. einer Leiterplatte)). Beispielsweise kann zwischen zwei (z.B. benachbarten) Halteabschnitten die Elektrode freiliegen. Beispielsweise kann zwischen zwei (z.B. benachbarten) Halteabschnitten die Elektrode abschnittsweise keinen Kontakt zu festem Material (z.B. dem Substrat, z.B. der Leiterplatte) haben. Somit kann ein zu messendes Fluid in einen Bereich der Elektrode gelangen.

Die Wechselwirkungen können zumindest einen Unterschied zwischen dem gesendeten und dem empfangenen Signal erzeugen. Der Unterschied kann beispielsweise zumindest eine Eigenschaft der ein oder mehreren Fluide und/oder von zumindest einem der Bauelemente des Gittersensors repräsentieren. Der Unterschied kann beispielsweise zusätzlich (oder gänzlich) ein oder mehrere Störeinflüsse repräsentieren. Jeder der Störeinflüsse kann beispielsweise den Unterschied vergrößern oder verkleinern. Beispielsweise können sich verschiedene Störeinflüsse der ein oder mehreren Störeinflüsse gegenseitig kompensieren. Störeinflüsse können ungewollt sein und möglicherweise Messergebnisse eines Sensors unbrauchbar machen.

Gemäß verschiedener Aspekte können Referenzelemente verwendet werden, um Störeinflüsse zu ermitteln. Beispielsweise kann ein Referenzelement ein Bauteil sein, das ein in Abhängigkeit von einem Eingangssignal (einem sogenannten Anregungssignal) konstantes und/oder vorbestimmtes bzw. vordefiniertes Ausgangssignal ausgibt. Beispielsweise kann das Referenzelement das Ausgangssignal erzeugen. Beispielsweise kann das Referenzelement ein passives Bauteil sein, das eine bekannte Übertragungsfunktion zwischen einer ersten und einer zweiten Elektrode aufweist. Anschaulich kann durch das Referenzelement das Eingangssignal, das durch eine erste Elektrode am Referenzelement bereitgestellt werden kann, mit einer bekannten Übertragungsfunktion (die beispielsweise zu einer bekannten Veränderung führen kann) als das Ausgangssignal des Referenzelements vom Referenzelement ausgegeben werden, z.B. an eine zweite Elektrode. Es versteht sich, dass das Referenzelement derart gestaltet sein kann, dass das Ausgangssignal gleich dem Eingangssignal ist. Beispielsweise kann das Eingangssignal innerhalb des Referenzelements in einer vorbestimmten Weise verändert werden und mit der vorbestimmten Änderung als Ausgangssignal ausgegeben werden. Durch Störeinflüsse kann das Ausgangssignal des Referenzelements verändert werden und als ein Referenzsignal empfangen werden. Beispielsweise kann das Ausgangssignal ein oder mehrere vorbestimmte bzw. vordefinierte der folgenden Eigenschaften aufweisen: eine Stromstärke, eine Spannung, ein Widerstand, eine Frequenz, eine Wellenlänge, eine Intensität, eine Dauer, eine Temperatur etc. Das vom Referenzelement ausgegebene Signal kann als ein Referenzsignal empfangen werden. Das Referenzsignal kann beispielsweise durch die zuvor beschriebenen Wechselwirkungen verglichen mit dem Ausgangssignal verändert sein. Anschaulich kann das Referenzsignal als das Ausgangssignal unter dem Einfluss der Störeinflüsse verstanden werden. Beispielsweise können mittels eines Vergleichs des Ausgangssignals und des Referenzsignals ein oder mehrere Störeinflüsse abgeschätzt werden. Beispielsweise können mehrere (z.B. voneinander verschiedene) Referenzelemente verwendet werden zum Ermitteln verschiedener Störeinflüsse. Beispielsweise kann ein Referenzsignal, das unter einem vorbestimmten Zustand (z.B. einem Füllzustand) ermittelt wird, als ein Kalibriersignal bezeichnet werden. Beispielsweise können aus einem Referenzsignal ein oder mehrere Referenzwerte abgeleitet werden. Beispielsweise können aus einem Kalibriersignal ein oder mehrere Kalibrierwerte abgeleitet werden.

Gemäß verschiedener Aspekte kann ein Gittersensor ein oder mehrere Sensorelemente aufweisen. Beispielsweise kann ein Sensorelement mit einer ersten Elektrode und einer zweiten Elektrode gekoppelt sein. Beispielsweise kann ein Sendesignal von der ersten Elektrode innerhalb des Sensorelements auf die zweite Elektrode übertragen werden. Ein Sensorelement kann beispielsweise eine kapazitive Kopplung, und/oder eine ohmsche Kopplung zwischen der ersten und zweiten Elektrode bereitstellen. Beispielsweise kann das Sensorelement ein oder mehrere der folgenden Bauteile aufweisen oder daraus bestehen: ein Widerstand, ein Kondensator, eine Spule, ein Temperatursensor, eine Lichtquelle, ein Photodetektor, und/oder ein Drucksensor oder eine Kombination davon. Das Referenzelement kann ein oder mehrere Sensorelemente aufweisen oder sein.

Fig.lA ist eine schematische Darstellung einer Gittersensoreinheit eines Gittersensors. Der Gittersensor kann aufweisen: einen Fluidführungsbereich 130, eine Gruppe von Sensorelementen 120, eine Elektrode 110 und ein Referenzelement 140. Der Fluidführungsbereich 130 kann geeignet sein zum Führen eines Fluids bzw. eines Fluidstroms. Beispielsweise kann die Gruppe von Sensorelementen 120 zum Ermitteln von ein oder mehreren Eigenschaften des Fluids (bzw. des Fluidstroms) geeignet sein, wenn das Fluid durch den Fluidführungsbereich 130 geführt wird bzw. strömt. Die Sensorelemente der Gruppe von Sensorelementen 120 können mit der Elektrode 110 verbunden sein zum Betreiben der Sensorelemente der Gruppe von Sensorelementen 120. Als Betreiben kann ein Auslesen, ein Versorgen (z.B. mit Energie), und/oder das Durchführen einer Messung mittels des jeweiligen Sensorelements verstanden werden. Das Referenzelement 140 kann der Elektrode 110 zugeordnet sein. Beispielsweise kann das Referenzelement 140 eingerichtet sein zum Bereitstellen eines Referenzsignals zum Ermitteln von Korrekturdaten, welches einen Störeinfluss des Fluids auf eine elektrische Charakteristik (z.B. einen Widerstand, eine Impedanz, eine Kapazität, und/oder eine Induktivität) der Elektrode 110 repräsentieren können, wenn das Fluid in dem Fluidführungsbereich 130 geführt wird. Das Referenzelement 140 kann beispielsweise außerhalb des Strömungsbereichs 130 angeordnet sein. Beispielsweise kann das Referenzelement 140 derart eingerichtet sein, dass ein vordefiniertes (bzw. vorbestimmtes und/oder bekanntes) Ausgangssignal, das von dem Referenzelement 140 ausgegeben (z.B. gesendet) und/oder erzeugt wird, innerhalb des Referenzelements 140 nicht durch ein in dem Strömungsbereich strömendes Fluid beeinflusst wird. Anschaulich bedeutet das, dass das vordefinierte Ausgangssignal, das von dem Referenzelement ausgegeben wird, unabhängig von dem in dem Fluidführungsbereich geführten Fluid ist. Beispielsweise kann das Referenzelement 140 mit einer Schutzschicht zumindest teilweise umhüllt sein. Beispielsweise kann die Schutzschicht das Referenzelement vor ein oder mehreren Einflüssen des in dem Strömungsbereich strömenden Fluids abschirmen. Nach der Ausgabe des vordefinierten Ausgangssignals aus dem Referenzelement 140 kann das vordefinierte Ausgangssignal durch die Einflüsse des in dem Strömungsbereich strömenden Fluids verändert werden. Das veränderte Ausgangssignal kann als das Referenzsignal empfangen werden.

Fig.lB ist eine schematische Darstellung einer Gittersensoreinheit eines Gittersensors. Im Vergleich zum Gittersensor gemäß Fig.lA weist der Gittersensor gemäß Fig.l B mehrere weitere Elektroden 150 und eine Referenzelektrode 151 auf. Die mehreren weiteren Elektroden 150 können in einer anderen Ebene verglichen zu der Elektrode 110 liegen. Beispielsweise können die Elektrode und die mehreren weiteren Elektroden voneinander elektrisch isoliert werden/sein.

In einer Projektionsansicht des Gittersensors können sich die Elektrode 110 und die mehreren weiteren Elektroden 150 in zumindest einem Punkt schneiden. An dem Schnittpunkt kann beispielsweise ein Sensorelement angeordnet sein. Beispielsweise kann durch den Schnittpunkt auch das Sensorelement gebildet werden. Der Schnittwinkel kann beliebig zwischen 0° und 180° gewählt werden. Im Folgenden werden häufig Projektionen mit Schnittwinkeln von 90° gezeigt. Die mehreren weiteren Elektroden 150 können mehrere erste weitere Elektroden 150a aufweisen, die beispielsweise parallel zueinander angeordnet sein können. Die mehreren weiteren Elektroden 150 können beispielsweise zumindest eine zweite weitere Elektrode 150b aufweisen. Die zweite weitere Elektrode 150b kann beispielsweise nicht parallel zu den Elektroden der ersten Art 150b angeordnet sein. Es versteht sich, dass die weiteren Elektroden 150 im Allgemeinen beliebig zueinander und zu der Elektrode 110 angeordnet sein können. Um eine optimale Funktionsweise des Gittersensors zu ermöglichen, sollten jedoch Elektroden, die sich nicht gegenseitig beeinflussen sollen, voneinander elektrisch abgeschirmt sein, z.B. mittels einer geeigneten Anordnung der Elektroden und/oder durch isolierende Materialien. Es versteht sich, dass die Elektroden über das in dem Strömungsbereich geführte Fluid miteinander elektrisch verbunden sein können.

Das Referenzelement 140 kann mit der Elektrode 110 verbunden sein. Das Referenzelement 140 kann mit einer Referenzelektrode 151 verbunden sein. Die Referenzelektrode 151 kann beispielsweise derart angeordnet sein, dass sie nicht durch ein Fluid im Fluidführungsbereich beeinflusst wird. Beispielsweise kann die Referenzelektrode 151 außerhalb des Fluidführungsbereichs 130 angeordnet sein. Beispielsweise kann die Referenzelektrode 151 derart (zumindest teilweise) umhüllt sein, dass sie vom Fluid nicht beeinflusst wird. Anschaulich kann die Elektrode 110, das Referenzelement 140 und die Referenzelektrode 151 so eingerichtet sein, dass ein Referenzsignal nur durch einen Einfluss des Fluids auf die Elektrode 110 verändert werden kann. Beispielsweise kann die Referenzelektrode 151 eine der mehreren weiteren Elektroden 150 sein. Beispielweise kann die Referenzelektrode 151 innerhalb des Fluidführungsbereichs 130 angeordnet sein.

Jedes Sensorelement der Gruppe von Sensorelementen 120 kann sowohl mit der Elektrode 110 als auch mit einer der mehreren weiteren Elektroden 150 verbunden sein. Anschaulich kann jedes Sensorelement eine Verbindung mit der Elektrode und mit jeweils einer Elektrode der mehreren weiteren Elektroden 150 aufweisen.

Beispielsweise kann die Elektrode 110 eingerichtet sein ein Signal zu senden (d.h. als eine Sendeelektrode eingerichtet sein). Beispielsweise können die Referenzelektrode 151 und/oder die mehreren weiteren Elektroden 150 jeweils eingerichtet sein jeweils ein Signal zu empfangen (d.h. als Empfangselektroden).

Zum Ermitteln eines korrigierten Messsignals kann der Gittersensor beispielsweise eingerichtet sein, ein vorbestimmtes Sendesignal mittels der Elektrode 110 an das Referenzelement 140 zu Senden. Mittels des Referenzelements 140 kann das vorbestimmte Signal als das Referenzsignal an die Referenzelektrode 151 übertragen (anschaulich im Wesentlichen unverändert weitergeleitet werden) werden. Beispielsweise kann das Referenzelement 140 durch das vorbestimmte Signal ein Ausgangssignal des Referenzelements 140 an die Referenzelektrode 151 übertragen. Das Ausgangssignal kann durch den Einfluss eines in dem Fluidbereich geführten Fluids verändert werden (z.B. verstärkt oder geschwächt). Das durch die Referenzelektrode 151 empfangene Signal kann das durch den Einfluss des in dem Fluidbereich 130 geführten Fluids veränderte Ausgangssignal sein. Beispielsweise kann die Elektrode 110 eingerichtet sein, ein Signal zu senden (d.h. ein Sendesignal). Die mehreren weiteren Elektroden 150 können derart eingerichtet sein, dass immer nur eine der mehreren weiteren Elektroden 150 das Sendesignal über das jeweilige Sensorelement empfangen kann. Die mehreren weiteren Elektroden 150 können derart eingerichtet sein, dass alle der ein der mehreren weiteren Elektroden 150 das Sendesignal über das jeweilige Sensorelement empfangen können, z.B. zeitgleich oder innerhalb von 1 s nachdem eine erste der mehreren weiteren Elektroden 150 das Sendesignal empfangen hat. Beispielsweise können die mehreren weiteren Elektroden derart eingerichtet sein, dass, nachdem eine erste Elektrode ein erstes Messsignal empfangen hat, eine zweite Elektrode ein zweites Messsignal empfangen kann. Beispielsweise kann ein solches Wechseln der jeweiligen empfangenden Elektroden durchgeführt werden, bis eine vorbestimmte Anzahl oder eine vorbestimmte Menge an Elektroden jeweils ein Messsignal empfangen hat.

Beispielsweise kann die Elektrode 110 eingerichtet sein ein Signal zu empfangen (d.h. als eine Empfangselektrode eingerichtet sein). Beispielsweise können die Referenzelektrode 151 und die mehreren weiteren Elektroden 150 jeweils eingerichtet sein jeweils ein Signal zu senden (d.h. als Sendeelektroden).

Zum Ermitteln eines korrigierten Messsignals kann der Gittersensor beispielsweise eingerichtet sein, ein Referenz-Sendesignal mittels der Referenzelektrode 151 an das Referenzelement zu Senden. Innerhalb des Referenzelements 140 kann das Signal als das Referenzsignal an die Elektrode 110 übertragen werden. Beispielsweise können die ersten weiteren Elektroden 150a eingerichtet sein ein erstes Sendesignal der ein oder mehreren Sendesignale zu senden. Beispielsweise kann die zweite Elektrode eingerichtet sein, ein zweites Sendesignal zu senden. Beispielsweise können das erste und das zweite Sendesignal in allen Signaleigenschaften gleich sein. Beispielsweise können das erste und das zweite Sendesignal sich in zumindest einer Signaleigenschaft unterscheiden. Eine Signaleigenschaft kann beispielsweise sein eine Dauer, eine Intensität, eine Wellenlänge, eine Frequenz, eine An-Zeit, und/oder ein Intensitätsverlauf.

Beispielsweise kann eine der ersten weiteren Elektroden 150a das erste Sendesignal senden. Nach einem vorbestimmten ersten Zeitintervall kann eine zweite der ersten weiteren Elektroden 150a das erste Sendesignal senden. Nach einem vorbestimmten zweiten Zeitintervall kann die zweite weitere Elektrode 150b das zweite Sendesignal senden. Anschaulich können das erste und zweite Zeitintervall als erste bzw. zweite Pausen bezeichnet werden. Beispielsweise können das erste und das zweite Zeitintervall gleich lang oder verschieden lang voneinander sein. Beispielsweise kann man eine Abfolge von mehreren Signalen und/oder mehreren Pausen als eine Signalabfolge bezeichnen. Beispielsweise kann eine Anzahl von Signalabfolgen pro Sekunde als eine Signalabfolgen-Frequenz bezeichnet werden. Die Elektrode 110 kann eingerichtet sein, ein jeweiliges gesendetes Signal als ein Messsignal über ein jeweiliges Sensorelement zu empfangen. Ein solches Vorgehen kann analog fortgesetzt werden, bis eine vorbestimmte Anzahl der mehreren weiteren Elektroden 150 ein Signal gesendet hat.

Sowohl wenn die Elektrode als eine Empfangselektrode als auch als eine Sendeelektrode eingerichtet ist, können die jeweiligen ermittelten Messwerte mittels des Referenzsignals korrigiert werden. Es versteht sich, dass ein Ermitteln eines Messsignals auch abwechselnd mit dem Ermitteln des Referenzwerts stattfinden kann. Natürlich ist es auch möglich mehrere oder alle Messwerte zu ermitteln und davor oder danach den Referenzwert zu ermitteln.

Wie aus den vorherigen Ausführungsbeispielen deutlich wird, kann das Referenzelement sowohl an Sendeelektroden als auch an Empfangselektroden verwendet werden. Außerdem ist es möglich mehrere Elektroden über verschiedene Sensorelemente miteinander zu koppeln. Die Sensorelemente sind vorzugsweise in einer Matrixanordnung angeordnet, d.h. mit gleichmäßigen Abständen zueinander. Es ist jedoch auch möglich, die Sensorelemente in einer beliebigen Ordnung anzuordnen. Da eine Matrixanordnung für eine systematische Auswertung geeigneter scheint, wird eine spezifische Ausgestaltung im Folgenden gezeigt:

Fig.lC ist eine schematische Darstellung mehrerer Gittersensoreinheiten eines Gittersensors gemäß verschiedener Aspekte, wobei jede Gittersensoreinheit einer Elektrode 110 zugeordnet werden kann. Jede Gittersensoreinheit kann zumindest ein Referenzelement 140 aufweisen. Das Referenzelement 140 der jeweiligen Gittersensoreinheit kann der jeweiligen Elektrode 110 der Gittersensoreinheit zugeordnet sein. Die Referenzelemente 140 der mehreren Gittersensoreinheiten können mit einer Referenzelektrode 151 verbunden werden/sein. Es versteht sich, dass jedes Referenzelement 140 mit einer Referenzelektrode 151 verbunden sein kann, die keine Verbindung zu den Referenzelementen 140 der anderen Gittersensoreinheiten aufweist. Jede Gittersensoreinheit des Gittersensors kann eine Gruppe von Sensorelementen 120 aufweisen. Jede Gruppe von Sensorelementen 120 kann einer jeweiligen Elektrode 110 des Gittersensors zugeordnet werden. Der Gittersensor kann mehrere weitere Elektroden 150 aufweisen. Die mehreren weiteren Elektroden 150 können jeweils ein Sensorelement von mehreren Gittersensorelementen miteinander verbinden. Jede der mehreren weiteren Elektroden 150 kann somit jeweils eine weitere Gruppe von Sensorelementen 125 bilden. Anschaulich kann jedes Sensorelement 120 des Gittersensors einer Gruppe von Sensorelementen 120 und einerweiteren Gruppe von Sensorelementen 125 zugeordnet werden. Beispielsweise können einem Sensorelement so genau eine Sendeelektrode und eine Empfangselektrode zugeordnet werden. Die Zuordnung zu der Gruppe von Sensorelementen 120 über die (z.B. gemeinsame) Elektrode 110 kann auch als eine Zuordnung zu einer Gittersensoreinheit verstanden werden.

Fig.2 ist eine erweiterte schematische Darstellung des Gittersensors gemäß Fig.lC. Der Gittersensor kann mehrere Gittersensoreinheiten aufweisen. Jede Gittersensoreinheit kann eine Elektrode 110, eine Gruppe von Sensorelementen 120, ein oder mehrere Referenzelektroden und ein oder mehrere Referenzelemente 140 aufweisen. Ferner kann der Gittersensor eine Mehrzahl von weiteren Elektroden 150 aufweisen, wobei jede der mehreren weiteren Elektroden 150 jeweils ein Sensorelement von voneinander verschiedenen Gittersensoreinheiten der mehreren Gittersensoreinheiten miteinander verbinden kann. Sensoreinheiten, die mittels einer der weiteren Elektroden 150 miteinander verbunden werden, können einer Gruppe von weiteren Sensoreinheiten 125 zugeordnet werden. Aufgrund der Mehrzahl von weiteren Elektroden 150 können somit mehrere Gruppen von weiteren Sensoreinheiten 125 gebildet werden. Beispielsweise kann jede der vier beispielhaft dargestellten Elektroden 110 jeweils mit einem ersten Referenzelement 140a und einem zweiten Referenzelement 140b verbunden sein. Das jeweilige erste und das zweite Referenzelement 140a, 140b können mit jeweils voneinander unabhängigen Referenzempfangs-Elektroden 151 von mehreren Referenzempfangs-Elektroden 151 gekoppelt sein. Beispielsweise kann jede der vier beispielhaft dargestellten weiteren Elektroden 150 der mehreren weiteren Elektroden mit jeweils einem dritten Referenzelement 140c und einem vierten Referenzelement 140d verbunden werden/sein. Das dritte und das vierte Referenzelement können mit jeweils einer voneinander unabhängigen Referenzsende-Elektrode 111 von mehreren Referenzsende-Elektroden 111 gekoppelt werden/sein.

Beispielsweise kann jede der mehreren Gittersensoreinheiten, z.B. mittels der jeweiligen Elektroden 110 und der jeweiligen Referenzsende-Elektroden 111, jeweils mit einem Sendeschaltkreis 210 gekoppelt sein. Der Sendeschaltkreis 210 kann eingerichtet sein, ein oder mehrere Signale über die jeweiligen Elektroden 110 und/oder die jeweiligen Referenzsende-Elektroden 111 zu senden. Beispielsweise kann der Gittersensor mit einer Spannungsquelle 220, z.B. einer Wechselspannungsquelle, verbunden sein oder diese aufweisen.

Beispielsweise können die mehreren Gittersensoreinheiten, z.B. mittels der weiteren Elektroden 150 und der Referenzempfangs-Elektroden 151, jeweils mit einem Empfangsschaltkreis gekoppelt werden/sein. Der Empfangsschaltkreis kann beispielsweise ein oder mehrere Signalverstärker 230 zum Verstärken eines empfangenen (z.B. einlaufenden) Signals aufweisen. Der Empfangsschaltkreis kann beispielsweise ein oder mehrere Log-Amp-Schaltkreise 240 aufweisen zum Umwandeln eines jeweiligen empfangenen Signals in ein logarithmisch skaliertes Signal. Der Empfangsschaltkreis kann eingerichtet sein, ein oder mehrere Signale mittels der mehreren weiteren Elektroden 150 und/oder der mehreren Referenzempfangs-Elektroden 151 zu empfangen. Der Empfangsschaltkreis kann eingerichtet sein, empfangene Signale an eine Ermittlungsvorrichtung 250 weiterzuleiten.

Die Ermittlungsvorrichtung 250 kann beispielsweise eingerichtet sein, empfangene Messsignale zu speichern. Beispielsweise kann der Gittersensor eine Berechnungsvorrichtung aufweisen, die eingerichtet ist unter Verwendung von Referenzsignalen die Messsignale zu korrigieren.

Fig.3A zeigt zwei schematische Schnittansichten eines Gittersensors. Beispielsweise kann in Fig.3A erkannt werden, dass die Elektrode 110 und die weiteren Elektroden 150 in unterschiedlichen Ebenen angeordnet sein können. Die obere Ansicht von Fig.3A zeigt eine erste Schnittansicht entlang einer Leiterplatte 310, in der beispielsweise ein oder mehrere elektronische Schaltkreise ausgestaltet sein können. Die untere Ansicht, zeigt eine zweite Schnittansicht durch den Fluidführungsbereich 130.

Fig.3B zeigt einen dreidimensionalen schematischen Messaufbau eines Gittersensors und ein Ersatzschaltbild 350. Der Gittersensor ist schematisch mit einem Schnitt durch einen Fluidführungsbereich 130 (z.B. in Form eines Rohrs) dargestellt. Das Ersatzschaltbild 350 veranschaulicht eine Schaltung, die beispielsweise durch ein einzelnes Sensorelement realisiert wird. Zwischen einer Elektrode 110 und einer weiteren Elektrode 150 kann innerhalb des Sensorelements eine Verbindung hergestellt werden, z.B. über das Fluid, das eine Impedanz Zx aufweisen kann. Die Impedanz Zx kann jedoch auch von einem realen Bauteil zwischen der Elektrode 110 und der weiteren Elektrode 150 realisiert werden.

Der Gittersensor kann ferner eine Steuervorrichtung 320 aufweisen, die eingerichtet ist, eine Signalabfolge über die Elektroden 110 zu senden und mittels der weiteren Elektroden 150 zu empfangen.

Fehler in den Messsignalen bzw. Messwerten, die in Form von Energieverlusten detektiert werden können, können beispielsweise mittels des folgenden Verfahrens korrigiert werden.

Energieverluste von Gittersensor-Elektroden können mit Hilfe von Referenzwerten (z.B. Referenzimpedanzen, Referenzkapazitäten) abgeschätzt werden, die mittels Referenzelementen ermittelt werden können, die sich außerhalb des Erfassungsbereichs des Gittersensors befinden. Jede Elektrode kann mit einem Referenzelement verbunden sein/werden. Ein Referenzelement kann beispielsweise als Kupferleiterbahn in einem Leiterplatten-Layout gebildet werden. Beispielsweise kann ein Referenzelement ein diskretes Bauteil wie ein Widerstand, ein Kondensator, eine Induktivität, ein Temperatursensor, und/oder ein Halbleiter, oder Kombinationen aus den Vorgenannten sein. Eine erste Messung (z.B. eine erste Kalibriermessung) kann bei einem vollständig mit Luft gefüllten Sensor durchgeführt werden. Das Ausgangssignal des Referenzelements kann gespeichert werden. Für den Fall eines geringen Energieverlustes (z.B. weniger als 5%, 2%, 1%, 0,5%, 0,1% oder weniger als 0,01%) von ein oder mehreren Elektroden (z.B. der Sendeelektroden und/oder der Empfangselektroden) kann ein empfangenes Referenzsignal gleich dem Ausgangssignal des Referenzelements sein. In einem solchen Fall (geringer Energieverlust) würde das Referenzsignal repräsentieren, dass die ein oder mehreren Elektroden (nahezu) keinem Störeinfluss (z.B., wenn der Fluidführungsbereich vollständig mit Luft oder einem ähnlichen (d.h. mit einer relativen elektrischen Dielektrizitätskonstante zwischen 0,1 und 5) Gas oder Gasgemisch gefüllt ist, oder darin Vakuum herrscht) unterliegen. Alle Kalibriersignale, inklusive dem Referenzsignal, das keinen Störeinfluss repräsentiert, können gespeichert werden. Mit einem geeigneten Algorithmus können die Energieverluste der ein oder mehreren Elektroden unter Berücksichtigung der Kalibriersignale (z.B. des Referenzsignals oder z.B. der Referenzsignale) geschätzt und korrigiert werden. Dies geschieht beispielsweise, indem die Referenzsignale, z.B. eines Störeinfluss-freien Sensors, mit neuen Referenzsignalen, die einen Sensor mit einem Störeinfluss repräsentieren können, in Beziehung gesetzt werden können. Die neuen Referenzsignale können während einer bestimmten Messung ermittelt werden. Somit kann beispielsweise ein Verfahren bereitgestellt werden, das für eine zeitaufgelöste und/oder bildaufgelöste (d.h. Frame für Frame) Messung (z.B. Ermittlung von Störeinflüssen) verwendet werden kann.

Beispielsweise kann ein Messwert einer Messwertkorrektur mit linearer Demodulation unterzogen werden, wie im Folgenden beschrieben.

Die Matrix der gemessenen Ausgangsspannungen U ist ein Maß, das die Ausgangsspannung jedes Kreuzungspunktes des Fluidströmungsquerschnitts des Fluids x repräsentieren kann. Sie kann dargestellt werden als wobei u ₀ ^ldeal,x eine ideale Messung innerhalb des Fluids x, d.h. ohne einen Verlust, ist und z ein oder mehrere Verluste jeder Elektrode i repräsentiert. Die Indizes i und j repräsentieren die Elektroden (z.B. Empfangselektroden und Senderelektroden), und k ist eine laufende Nummer einer Messung. Beispielsweise kann k für eine korrekte Zuordnung der verschiedenen Messungen verwendet werden (z.B. als Mess-Identifizierung). Beispielsweise kann die Nummer k verwendet werden, um eine zeitaufgelöstes und/oder bildaufgelöstes (d.h. Frame für Frame) korrigiertes Messergebnis auszugeben verwendet werden. Unter der Annahme, dass die Verluste der Elektroden vernachlässigbar sind, wenn der Sensor vollständig mit Luft gefüllt ist, kann die ideale Ausgangsspannungen u _o ^ldeal ' ^Llt näherungsweise mittels einer Messung der Ausgangsspannung in einem Kalibriermedium (z.B. in Luft kann z « 1 sein) u™ ^{ess Luft} folgt abgeschätzt werden:

Basierend auf dieser Eigenschaft können die Signale der externen Referenzen für jeden Empfänger i vor einem bestimmten Experiment gesammelt werden. Beispielsweise wenn keine Störungen auftreten (z.B., wenn der Sensor luftgefüllt ist). Dann können gespeicherte Daten U™ ^eas,x (i, 0, k ) von Referenzelementen bei j = 0 verwendet werden, um die Energieverluste ^(t, /c) für jedes weitere Experiment wie folgt abzuschätzen (z.B. in Echtzeit): wobei z eine Abschätzung eines realen Verlustes z ist und der Index j = 0 ein oder mehrere Referenzelemente kennzeichnet (z.B. Kreuzungspunkte der Elektroden außerhalb des Fluidführungsbereichs des Gittersensors). Da die Referenzelemente eine konstante Impedanz aufweisen können, sind sie nur von den Verlusten betroffen, die durch die elektrisch leitfähigen Anteile des Fluidstroms in dem Fluidführungsbereichs verursacht werden. Die korrigierte gemessene Ausgangsspannungen

U ^X korrigiert ^{kann SOmit} 9 ^e 9 ^{eben Sein durch:}

Die Messwertkorrektur mit linearer Demodulation kann auf eine Messwertkorrektur mit Log-Amp Demodulation übertragen werden.

Beispielsweise kann die Matrix der logarithmischen gemessenen Ausgangsspannungen U ^x _log für einen idealen (d.h. störungsfreien) Zustand unter Berücksichtigung der obigen Beziehungen wie folgt berechnet werden: wobei v _a und v _b Konstanten der Log-Amp-Schaltung sind.

Unter der Annahme, dass die Ausgangsspannungen durch Störungen verändert werden können, ergibt sich für diese:

Wie bei der linearen Demodulation kann angenommen werden, dass ein Verlust durch eine Störung in einem luftgefüllten Gittersensor vernachlässigbar ist, wodurch sich ergibt, dass

Der Verlust durch die Störung kann mittels einer externen Referenz berechnet werden: wobei j=0 die Position der Referenz repräsentiert.

Somit kann die gesamte Messwertkorrektur der Ausgangsspannungen innerhalb des Fluids x an den Positionen i,j und der Messung k gegeben sein durch:

In den Figuren 4 bis 6 werden verschiedene exemplarische Ausgestaltungen der Verfahren zur Messwertkorrektur beschrieben.

Fig.4 zeigt schematisch ein Verfahren zum Kalibrieren eines Gittersensors.

In einem ersten Schritt kann ein Kalibrierwert sowie ein oder mehrere Kalibriermesswerte unter einem Einfluss eines ersten Fluids ermittelt werden (S410). Beispielswese können der Kalibrierwert und die Kalibriermesswerte einen Zustand des Gittersensors repräsentieren, in dem ein erstes Fluid den Fluidführungsbereich des Gittersensors gänzlich ausfüllt. Das erste Fluid kann beispielsweise ein Gas oder eine Flüssigkeit sein.

Dann kann ein weiterer Kalibrierwert sowie ein oder mehrere weitere Kalibrier-Messwerte unter Einfluss eines zweiten Fluids ermittelt werden (S420). Beispielsweise können der weitere Kalibrierwert und die ein oder mehreren weiteren Kalibrier-Messwerte einen Zustand des Gittersensors repräsentieren, in dem ein zweites Fluid den Fluidführungsbereich des Gittersensors gänzlich ausfüllt. Das zweite Fluid kann beispielsweise eine höhere relative Permeabilität aufweisen als das erste Fluid. Beispielsweise kann das zweite Fluid eine Flüssigkeit sein.

Dann kann ein Korrekturwert unter Verwendung des Kalibrierwerts und des weiteren Kalibrierwerts berechnet werden (S430).

In einem letzten Korrekturschritt können die ein oder mehreren Kalibriermesswerte und/oder die ein oder mehreren weiteren Kalibriermesswerte korrigiert werden (S440). Auf Basis der ein oder mehreren Kalibriermesswerte und des Korrekturwerts können ein oder mehrere korrigierte Kalibriermesswerte ermittelt (z.B. berechnet) werden. Auf Basis der ein oder mehreren weiteren Kalibriermesswerte und des Korrekturwerts können ein oder mehrere weitere korrigierte Kalibriermesswerte ermittelt (z.B. berechnet) werden.

Die ein oder mehreren korrigierten Kalibriermesswerte bzw. die ein oder mehreren weiteren korrigierten Kalibriermesswerte können mit gängigen Verfahren weiter ausgewertet werden, um elektrische Eigenschaften des zu untersuchenden Fluids zu ermitteln.

Beispielsweise kann mittels des beschriebenen Verfahrens eine Größenordnung eines Störeinflusses abgeschätzt werden. Beispielsweise kann das beschriebene Verfahren verwendet werden, um Messwerte zu skalieren.

Fig.5 zeigt schematisch ein Verfahren zum Korrigieren von ein oder mehreren Messwerten, z.B. von einem Referenzelement und einer Messung von mehreren Sensorelementen, die mit diesem Referenzelement verbunden sind.

Es können ein Kalibrierwert und ein oder mehrere erste Kalibriermesswerte unter Einfluss eines ersten Fluids ermittelt werden (S510). Beispielswese können der Kalibrierwert und die Kalibriermesswerte einen Zustand des Gittersensors repräsentieren, in dem ein erstes Fluid den Fluidführungsbereich des Gittersensors gänzlich ausfüllt.

Im Anschluss kann ein erster Referenzwert unter einem Einfluss des ersten Fluids und eines zweiten Fluids ermittelt werden (S520). Beispielsweise kann der erste Referenzwert einen Zustand des Gittersensors repräsentieren, in dem sich zumindest ein zweites Fluid zusätzlich zu dem ersten Fluid in dem Fluidführungsbereich des Gittersensors befindet. Dieser Schritt kann beispielsweise den Beginn einer Messung darstellen.

Dann können ein oder mehrere erste Messwerte unter Einfluss des ersten Fluids und eines zweiten Fluids ermittelt werden (S530). Beispielsweise können die ein oder mehreren ersten Messwerte einen Zustand des Gittersensors repräsentieren, in dem sich zumindest ein zweites Fluid zusätzlich zu dem ersten Fluid in dem Fluidführungsbereich des Gittersensors befindet. Dieser Schritt kann beispielsweise eine Messung des Fluids in dem Fluidführungsbereich repräsentieren.

Ausgehend von den ermittelten Werten kann ein Korrekturwert auf Basis des Kalibrierwerts und des ersten Referenzwerts berechnet werden (S540). Im letzten Schritt können ein oder mehrere erste korrigierte Messwerte unter Verwendung des Korrekturwerts und der ein oder mehreren ersten Messwerte berechnet werden (S550).

Die korrigierten Messwerte können beispielsweise mit gängigen Verfahren weiter ausgewertet werden, um Eigenschaften des Fluids zu ermitteln. Ist die Messung noch nicht abgeschlossen, kann das Verfahren ab der Ermittlung des ersten Referenzwerts wiederholt werden (S560).

Fig.6 zeigt schematisch ein weiteres Verfahren zum Korrigieren von einem Messwert, ähnlich dem aus Fig.5. Im Unterschied zu dem Verfahren gemäß Fig.5 wird in diesem Verfahren zwischen jeder Ermittlung eines Messwerts ein neuer Referenzwert ermittelt. Damit kann, wenn beispielsweise eine sehr schnelle Messelektronik vorhanden ist, eine höhere Genauigkeit erzielt werden. Beispielsweise können der Messwert und der Referenzwert zeitgleich, oder innerhalb von weniger als 50 ms (z.B. weniger als 10 ms, 1 ms oder weniger als 0,1 ms) ermittelt werden. Beispielsweise können nur die Sendeelektroden sequenziell geschaltet werden. Somit können sich immer neue Referenz und Messwerte ergeben, die in einer gemeinsamen Auswertung ausgewertet werden können.

Beispielsweise kann ein Energieverlust an der Sendelektrode auftreten, wenn das Material einer Elektrode ein schlechter Leiter ist (z.B. Edelstahl) und eine der im Strömungsbereich vorhandenen Phasen hochleitfähig ist. In dem Falle kommt es zu einem hohen Stromfluss auf der Sendelektrode, welcher zunächst einen nicht vernachlässigbaren Spannungsabfall über die Elektrode bewirkt.

Der Energieverlust an der Sendelektrode kann geschätzt werden, indem das Messsystem als Ersatzschaltbild dargestellt wird, wie in Fig.7 dargestellt.

In Fig.7 repräsentiert R _x (x=1, 2, 3, ..., n+1) den Widerstand eines Elektrodensegments, der durch berechnet wird, wobei L _x die Länge eines Segments der Sendelektrode ist, s die elektrische Leitfähigkeit der Elektrode ist und A _cr die Querschnittsfläche der Elektrode ist. Z _x ist die Impedanz des Fluids, die dem Kreuzungspunkt x zugeordnet ist, was wiederum theoretisch geschätzt werden kann als wobei s _c und e _c die elektrische Leitfähigkeit bzw. die relative Permittivität des Fluids sind, w die Kreisfrequenz und ^t _c ,ί _h und U _{Tx out} sind die Referenzspannungen. Sie können durch zwei Ansätze erhalten werden.

Im ersten Ansatz werden U _{Tx in} und U _{Tx out} analog zu dem Verfahren zur Korrektur der Energieverluste der Empfängerdrähte aus externen Referenzen 810 erhalten (Fig.8).

Im zweiten Ansatz ist U _{Tx in} gleich der Spannungsquelle (die a priori bekannt ist), und U _{Tx out} wird einzeln von einem Operationsverstärker gemessen (Fig.9).

Die Energieverluste entlang der Elektrode werden basierend auf dem ohmschen Gesetz und dem Kirchhoffschen Gesetz formuliert:

Der Einfachheit halber kann es in Matrixform wie folgt dargestellt werden wobei,

Die Matrixform der Energieverluste entlang der Elektrode zeigt ein lineares System vom Typ Ax = b, wobei der Energieverlust durch Lösen des linearen Systems als x = A ^~1 b erhalten wird. Die Matrixform der Energieverluste entlang der Elektrode hat eine einzige Lösung und kann direkt verwendet werden, um das Anregungssignal des jeweiligen Kreuzungspunkts zu korrigieren.

Vorteil vom zweiten Ansatz gegenüber dem ersten Ansatz ist, dass es nicht zu einer Summation der Ströme an der Referenzelektrode kommt. Unter der Annahme, dass alle nicht angeregten Sendedrähte komplett auf Masse liegen und somit keinerlei Beitrag zum gemessenen Signal an der Referenzelektrode liefern, wäre der erste Ansatz ausreichend. Jedoch kommt es bei hohen Leitfähigkeiten und langen Drähten auch zu einem nicht vernachlässigbaren Spannungseintrag auf nicht-angeregte Sendedrähte, welcher mit dem zweiten Ansatz jedoch korrekt ermittelt werden kann. Allerdings ist der zweite Ansatz mit einem erhöhten schaltungstechnischen Aufwand verbunden. Gemäß verschiedener Aspekte wird ein Gittersensor bereitgestellt, der geeignet ist zum Ermitteln von Phasenverteilungen in mehrphasigen Fluidströmungen. Insbesondere in Fluidströmungen mit elektrisch (hoch)leitfähigen Phasenanteilen, z.B. zur Untersuchung von Mehrphasenströmungen in der Erdölindustrie.

Bei herkömmlichen kapazitiven Gittersensoren können bei Vorhandensein elektrisch leitfähiger Phasen Messabweichungen beispielsweise in Form von Nichtlinearitäten auftreten. Dadurch können Signalverluste an den Empfangselektroden infolge von einer Energiedissipation hervorgerufen werden. Die Signalverluste können abhängig von einer jeweiligen Benetzung der einzelnen Elektroden und/oder Sensorelemente mit der leitfähigen Phase sein und somit während des Messverlaufs variieren.

Die zuvor beschriebenen beispielhaften Ausgestaltungen von Gittersensoren und die zuvor beschriebenen Verfahren können es ermöglichen, die Signalverluste zu quantifizieren und somit zu korrigieren. Somit kann eine Genauigkeit und eine Aussagekraft einer Messung mittels des Gittersensors verbessert werden. Insbesondere kann eine Quantifizierung der Phasenanteile auch bei einem Vorhandensein von elektrisch (hoch)leitfähigen Phasen ermöglicht sein.

Im Folgenden werden einige Beispiele beschrieben, die sich auf das hierin Beschriebene und in den Figuren Dargestellte beziehen.

Beispiel 1 ist ein Gittersensor der aufweisen kann: einen Fluidführungsbereich; ein oder mehrere Gittersensoreinheiten, wobei jede der ein oder mehreren Gittersensoreinheiten aufweisen kann: eine Gruppe von Sensorelementen eingerichtet zum Erzeugen von Messsignalen, welche ein oder mehrere Eigenschaften eines in dem Fluidführungsbereich geführten Fluids repräsentieren können; eine Elektrode, wobei die Sensorelemente der Gruppe von Sensorelementen mit der Elektrode verbunden sein können zum Betreiben (z.B. Versorgen und/oder Auslesen) der Sensorelemente der Gruppe von Sensorelementen; ein Referenzelement, welches der Elektrode zugeordnet sein kann und eingerichtet sein kann, ein Referenzsignal, welches einen Störeinfluss des in dem Fluidführungsbereich geführten Fluids auf eine elektrische Charakteristik der Elektrode repräsentiert, bereitzustellen.

Beispielsweise kann das Referenzelement, welches der Elektrode zugeordnet ist, mit der Elektrode verbunden sein.

Beispielsweise können ein Sensorelement der Gruppe von Sensorelementen, mehrere Sensorelemente der Gruppe von Sensorelementen oder alle Sensorelemente der Gruppe von Sensorelementen mit der Elektrode verbunden sein. Beispielsweise kann die Elektrode eingerichtet sein, die Sensorelemente der Gruppe auszulesen und/oder ein oder mehrere Messsignale von der Gruppe der Sensorelemente zu empfangen. Beispielsweise kann die Elektrode eingerichtet sein, die Sensorelemente der Gruppe zu versorgen, z.B. mit Energie, und/oder einem Strom, und/oder einer Spannung. Beispielsweise kann die Elektrode eingerichtet sein, ein oder mehrere Sendesignale über die Gruppe der Sensorelemente zu senden.

Ein Störeinfluss kann beispielsweise eine Wechselwirkung eines in der Elektrode geführten Signals mit dem in dem Fluidführungsbereich geführten Fluid sein. Beispielsweise kann ein Störeinfluss ein Stromabfluss über die in dem Fluidführungsbereich geführte Fluid sein.

Beispiel 2 ist ein Gittersensor, gemäß Beispiel 1, wobei die ein oder mehreren Eigenschaften des Fluids ein oder mehrere der folgenden Eigenschaften aufweisen bzw. sein können: eine elektrische Leitfähigkeit, und/oder eine Temperatur, und/oder ein Druck.

Beispiel 3 ist ein Gittersensor gemäß Beispiel 1 oder 2, wobei die Sensorelemente ein oder mehrere Temperatursensoren, und/oder ein oder mehrere Spannungssensoren, und/oder ein oder mehrere Drucksensoren, und/oder ein oder mehrere Stromstärkesensoren, und/oder ein oder mehrere Induktivitätssensoren, und/oder ein oder mehrere Kapazitäts-Sensoren, und/oder ein oder mehrere Magnetfeldstärke-Sensoren, und/oder ein oder mehrere Lichtstärke-Sensoren aufweisen oder sein können. Beispiel 4 ist ein Gittersensor gemäß einem der Beispiele 1 bis 3, wobei das Referenzsignal ein oder mehrere der folgenden Werte repräsentieren bzw. beinhalten kann: eine Referenztemperatur, und/oder eine Referenzspannung, und/oder ein Referenzdruck, und/oder eine Referenzstromstärke, und/oder eine Referenzinduktivität, und/oder eine Referenzkapazität, und/oder eine Referenzmagnetfeldstärke, und/oder eine Referenzlichtstärke, und/oder einen Referenzwiderstand.

Beispiel 5 ist ein Gittersensor gemäß einem der Beispiele 1 bis 4, wobei das Referenzelement derart angeordnet und/oder eingerichtet sein kann, dass ein vordefiniertes Ausgangssignal von dem Referenzelement ausgegeben wird, auf dessen Basis das Referenzsignal erzeugt wird. Das vordefiniertes Ausgangssignal kann unabhängig von einem in dem Fluidführungsbereich geführten Fluid sein.

Beispielsweise kann das vordefinierte Ausgangssignal unabhängig von einem in dem Fluidführungsbereich geführten Fluid sein, und das Referenzsignal kann das veränderte vordefinierte Ausgangssignal sein, welches durch den Störeinfluss (z.B. einen störenden Einfluss) des in dem Fluidführungsbereich geführten Fluids auf eine elektrische Charakteristik der Elektrode verändert (z.B. beeinflusst) wurde. Beispiel 6 ist ein Gittersensor gemäß Beispiel 5, wobei das Referenzelement außerhalb des Fluidführungsbereichs angeordnet sein kann, um einen Einfluss des in dem Fluidführungsbereich geführten Fluids auf das von dem Referenzelement ausgegebene vordefinierte Ausgangssignal zu vermeiden.

Beispiel 7 ist ein Gittersensor gemäß Beispiel 5 oder 6, wobei das Referenzelement mittels einer Abschirmung von einem in dem Fluidführungsbereich geführten Fluid abgeschirmt ist. Beispielsweise kann das Referenzelement innerhalb des Fluidführungsbereichs angeordnet sein.

Beispiel 8 ist ein Gittersensor gemäß Beispiel 7, wobei die Abschirmung eingerichtet sein kann, das Referenzelement vor ein oder mehreren Einflüssen des (bzw. Wechselwirkungen mit dem) in dem Fluidführungsbereich geführten Fluids abzuschirmen: einer Erwärmung, und/odereiner Abkühlung, und/oder einer chemischen Reaktion, und/oder einer elektrischen Kopplung, und/oder einem Druck, und/oder einer elektromagnetischen Strahlung, und/oder einer ionisierenden Strahlung. Beispielsweise kann die elektrische Kopplung mit dem Fluid eine ohmsche, induktive, oder kapazitive Kopplung sein. Beispielsweise kann die Abschirmung ein elektrischer Isolator und/oder ein thermischer Isolator sein oder diesen bzw. diese aufweisen.

Beispiel 9 ist ein Gittersensor, gemäß einem der Beispiele 1 bis 8, wobei das Referenzelement auf einer Leiterplatte angeordnet sein kann. Beispielsweise kann weder die Leiterplatte noch das Referenzelement einen direkten Kontakt zu dem in dem Fluidführungsbereich geführten Fluid haben.

Beispiel 10 ist ein Gittersensor gemäß einem der Beispiele 1 bis 9 optional ferner aufweisend: eine zweite Elektrode, die mit einem Sensorelement der Gruppe von Sensorelementen verbunden sein kann zum Betreiben des einen Sensorelements.

Beispiel 11 ist ein Gittersensor gemäß Beispiel 10, wobei die Elektrode eingerichtet ist, ein Signal (z.B. ein Sendesignal) über jeweils eins der Sensorelemente der Gruppe von Sensorelementen zu senden; wobei die zweite Elektrode eingerichtet ist ein Messsignal, das auf dem Signal und ein oder mehreren Eigenschaften des in dem Fluidführungsbereich geführten Fluids basiert, von dem jeweiligen Sensorelement zu empfangen. Beispielsweise kann das Signal von der Elektrode (z.B. gleichzeitig) über alle Sensorelemente gesendet werden, und die zweite Elektrode kann eingerichtet sein ein Messsignal von einem vorbestimmten Sensorelement der Gruppe von Sensorelementen zu empfangen. Beispielsweise können die beschriebenen Funktionsweisen der Elektrode und der zweiten Elektrode auch miteinander vertauscht sein. Beispiel 12 ist ein Gittersensor gemäß einem der Beispiele 1 bis 11, wobei der Gittersensor derart eingerichtet sein kann, dass das Referenzsignal einem vordefinierten Ausgangssignal des Referenzelements entsprechen kann, wenn kein Störeinfluss des Fluids auf die elektrische Charakteristik der Elektrode vorliegt (d.h. dass anschaulich das unveränderte Ausgangssignal vorliegen kann), und dass das Referenzsignal einer Überlagerung des vordefinierten Ausgangssignals des Referenzelements mit ein oder mehreren Störsignalen entsprechen kann, wenn ein oder mehrere Störeinflüsse auf die elektrische Charakteristik der Elektrode vorliegen.

Beispiel 13 ist ein Gittersensor gemäß einem der Beispiele 1 bis 12, wobei der Gittersensor optional ferner aufweisen kann ein oder mehrere weitere Gruppen von Sensorelementen, die zum Ermitteln von ein oder mehreren Eigenschaften des in dem Fluidführungsbereich geführten Fluids eingerichtet sein können; ein oder mehrere weitere Elektroden, wobei jeweils eine der ein oder mehreren weiteren Elektroden einer der ein oder mehreren weiteren Gruppen von Sensorelementen zugeordnet sein können (z.B. zum Betreiben der Sensorelemente der jeweils zugeordneten Gruppe); und ein oder mehrere weitere Referenzelemente, wobei jeweils eines der ein oder mehreren weiteren Referenzelemente einer der ein oder mehreren weiteren Elektroden zugeordnet sein kann und eingerichtet sein kann, ein jeweiliges (anschaulich zugeordnet zu der jeweiligen Gruppe, Elektrode, Referenzelement) Referenzsignal, welches einen Störeinfluss des in dem Fluidführungsbereich geführten Fluids auf eine elektrische Charakteristik der jeweils zugeordneten Elektrode repräsentieren kann, bereitzustellen.

Beispiel 14 ist ein Gittersensor gemäß einem der Beispiele 1 bis 13, wobei die ein oder mehreren Eigenschaften des in dem Fluidführungsbereich geführten Fluids eine Temperatur des Fluids aufweisen. Beispielsweise kann die eine Gruppe von Sensorelementen, die eingerichtet ist zum Erzeugen von Messsignalen, eingerichtet sein, temperaturabhängige Signale zu erzeugen. Beispielsweise kann ein temperaturabhängiges Signal durch einen jeweiligen elektrischen Widerstand der Sensorelemente der Gruppe von Sensorelementen repräsentiert werden. Beispielsweise können die Sensorelemente derart ausgestaltet sein, dass sich ihr jeweiliger elektrischer Widerstand verändert, wenn sich die Temperatur des Fluids verändert. Beispielsweise kann eine Gruppe von Sensorelementen für einen jeweiligen Temperaturbereich angepasst sein.

Beispiel 15 ist ein Gittersensor gemäß Beispiel 14, wobei das Referenzelement derart eingerichtet sein kann, dass das von ihm bereitgestellte Referenzsignal nicht von der Temperatur des Fluids abhängig ist. Beispielsweise kann das Referenzsignal durch einen elektrischen Widerstand des Referenzelements repräsentiert werden. Beispielsweise kann das Referenzelement derart ausgestaltet sein, dass sich sein elektrischer Widerstand weniger ändert (z.B. nicht verändert) als die jeweiligen elektrischen Widerstände der Gruppe von Sensorelementen, wenn sich die Temperatur des Fluids ändert. Beispielsweise kann die Änderung des elektrischen Widerstands des Referenzelements kleiner als 10% (z.B. vorzugsweise kleiner als 5%, weiter vorzugsweise kleiner als 0,1%) von der Veränderung jedes elektrischen Widerstands der Gruppe von Sensorelementen sein. Beispielsweise kann durch eine sehr geringe Änderung des Widerstands des Referenzelements eine höhere Genauigkeit in einer nachfolgenden Korrektur erreicht werden.

Beispiel 16 ist ein Gittersensorsystem, das aufweisen kann: einen Gittersensor gemäß einem der Beispiele 1 bis 15, eine Ermittlungsvorrichtung, die eingerichtet sein kann zum Ermitteln (z.B. Empfangen, Auslesen, etc.) des Referenzsignals vom Gittersensor und zum Ermitteln der Messsignale, und wobei jeweils ein Messsignal der Messsignale einem Sensorelement der Gruppe von Sensorelementen zugeordnet sein kann. Beispielsweise kann die Ermittlungsvorrichtung und/oder die Berechnungsvorrichtung einen nichtflüchtigen Speicher aufweisen.

Beispiel 16 ist ein Gittersensorsystem, gemäß Beispiel 16, wobei die Ermittlungsvorrichtung eingerichtet sein kann, in einer Kalibriermessung einen Kalibrierwert zu ermitteln basierend auf dem Referenzsignal, wobei der Kalibrierwert einen Zustand des Gittersensors repräsentieren kann, in dem ein erstes Fluid den Fluidführungsbereich des Gittersensors gänzlich ausfüllen kann.

Beispiel 18 ist ein Gittersensorsystem, gemäß Beispiel 17, wobei die Ermittlungsvorrichtung eingerichtet sein kann, in einer ersten Messung, einen ersten Referenzwert basierend auf dem Referenzsignal und erste Messwerte basierend auf den Messsignalen zu ermitteln, wobei der erste Referenzwert und die ersten Messwerte einen Zustand des Gittersensors repräsentieren können, in dem sich zumindest ein zweites Fluid zusätzlich zu dem ersten Fluid in dem Fluidführungsbereich des Gittersensors befindet, und wobei sich das erste Fluid und das zweite Fluid in zumindest einer der ein oder mehreren Eigenschaften voneinander um mehr als 1% unterscheiden, z.B. um mehr als 5%, 10%, 50%, 100%, 200%, 500% oder um mehr als 1000% unterscheiden.

Beispielsweise kann der Fluidführungsbereich zu mehr als 1% mit dem ersten Fluid gefüllt sein, z.B. zu mehr als 2%, 3%, 4%, 5%, 10%, 20%, 30%, 40%, 50%, 60%, 70%, 80%, 90%, 95%, oder zu mehr als 99%. Beispielsweise kann der Fluidführungsbereich zu mehr als 1% mit dem zweiten Fluid gefüllt sein, z.B. zu mehr als 2%, 3%, 4%, 5%, 10%, 20%, 30%, 40%, 50%, 60%, 70%, 80%, 90%, 95%, oder zu mehr als 99%.

Beispiel 19 ist ein Gittersensorsystem, gemäß Beispiel 17, wobei die Ermittlungsvorrichtung eingerichtet sein kann, in einer ersten Messung, einen ersten Referenzwert basierend auf dem Referenzsignal und erste Messwerte basierend auf den Messsignalen zu ermitteln, wobei der erste Referenzwert und die ersten Messwerte einen Zustand des Gittersensors repräsentieren können, in dem ein zweites Fluid den Fluidführungsbereich des Gittersensors gänzlich ausfüllt, wobei sich das erste Fluid und das zweite Fluid in zumindest einer der ein oder mehreren Eigenschaften voneinander um mehr als 1% unterscheiden, z.B. um mehr als 5%, 10%, 50%, 100%, 200%, 500% oder um mehr als 1000% unterscheiden. Beispielsweise kann die Messung gemäß diesem Beispiel auch als eine zweite Kalibriermessung verstanden werden, z.B. um ein mögliches maximales Intervall der Störgrößen abzuschätzen.

Es versteht sich, dass beispielsweise gemäß den Beispielen 18 und 19 zeitaufgelöste Messungen ermöglicht werden können. Beispielsweise kann nach der ersten Messung eine weitere erste Messung durchgeführt werden (eine sogenannte zweite Messung), deren Messwerte und deren Referenzwert einen weiteren Zustand repräsentieren. Beispielsweise kann der weitere Zustand gleich oder unterschiedlich verglichen mit dem Zustand gemäß der Beispiele 18 bzw. 19 sein. Beispielsweise können eine erste und eine zweite Messung mit einem vorbestimmten zeitlichen Abstand voneinander durchgeführt werden. Somit kann beispielsweise eine Zeitabhängigkeit der Zustände des Gittersensors ermittelt werden. Es versteht sich, dass die Messungen beliebig oft wiederholt werden können, um beliebig viele Zustände des Gittersensors darzustellen. Die mehreren Gruppen können beispielsweise mittels des folgenden Beispiels in Echtzeit ausgewertet werden. Beispielsweise können die mehreren Gruppen auch für eine Auswertung gespeichert werden.

Beispiel 20 ist ein Gittersensorsystem gemäß Beispiel 18 oder 19, wobei das zweite Fluid eine größere relative Permittivität aufweisen kann als das erste Fluid. Beispielsweise kann die relative Permittivität des zweiten Fluids um mehr als 10% größer sein als die relative Permittivität des ersten Fluids (z.B. um mehr als 50%, 100%, 200%, 500% oder um mehr als 1000% größer).

Beispiel 21 ist ein Gittersensorsystem gemäß einem der Beispiele 18 bis 20, wobei das zweite Fluid eine Flüssigkeit (z.B. Wasser, Öl etc.) sein kann und das erste Fluid ein Gas (z.B. Luft, Sauerstoff, Stickstoff, etc.) sein kann. Beispielsweise kann alternativ das erste Fluid eine Flüssigkeit sein und das zweite Fluid eine andere Flüssigkeit sein. Beispielsweise kann alternativ das erste Fluid ein Gas sein und das zweite Fluid ein anderes Gas sein. Beispielsweise kann das erste Fluid eine erste Phase eines Stoffes und das zweite Fluid eine zweite Phase des Stoffes sein. Beispielsweise kann das erste Fluid flüssiges Wasser und das zweite Fluid kann gasförmiges Wasser bzw. Wasserdampf sein.

Beispiel 22 ist ein Gittersensorsystem gemäß einem der Beispiele 18 bis 21 optional ferner aufweisend eine Berechnungsvorrichtung, die eingerichtet sein kann zum Berechnen eines Korrekturwerts zum Korrigieren des Störeinflusses basierend auf dem Kalibrierwert und dem ersten Referenzwert, und zum Berechnen von korrigierten ersten Messwerten basierend auf den ersten Messwerten und dem Korrekturwert.

Beispielsweise kann die Berechnungsvorrichtung in die Ermittlungsvorrichtung integriert sein. Beispielsweise kann die Berechnungsvorrichtung einen nichtflüchtigen Speicher aufweisen. Auf dem nichtflüchtigen Speicher können beispielsweise Messwerte, Referenzwerte, Korrekturwerte und/oder andere Werte, die in dieser Beschreibung genannt werden, gespeichert werden.

Beispielsweise kann der Korrekturwert ein Quotient aus dem ersten Referenzkalibrierwert und dem Referenzwert der Elektrode sein. Beispielsweise kann jeder der korrigierten ersten Messwerte ein Produkt des jeweiligen ersten Messwerts und des Korrekturwerts sein. Die Berechnung des jeweiligen korrigierten ersten Messwerts kann beispielsweise in Echtzeit und/oder auf Basis zuvor gespeicherter Daten stattfinden.

Es versteht sich, dass die genannten Beispiele auf jede Gittersensoreinheit der ein oder mehreren Gittersensoreinheiten übertragen werden können. Beispielsweise kann eine der ein oder mehreren Gittersensoreinheiten gemäß einem ersten Beispiel ausgestaltet und eine weitere der ein oder mehreren Gittersensoreinheiten gemäß einem zweiten Beispiel ausgestaltet sein. Beispielsweise können das erste und zweite Beispiel gleich oder verschieden voneinander sein. Beispielsweise können mehrere oder alle der ein oder mehreren Gittersensoreinheiten baugleich sein. Beispielsweise kann zumindest eine der ein oder mehreren Gittersensoreinheiten verschieden von einer anderen der ein oder mehreren Gittersensoreinheiten sein.

Beispiel 23 ist ein Gittersensorsystem gemäß einem der Beispiele 16 bis 22, der optional ferner aufweisen kann: eine Speichervorrichtung zum Speichern von ein oder mehreren Messdaten, die mittels der Gruppe von Sensorelementen gemessen wurden, und des Referenzsignals. Es versteht sich, dass bei einer Gruppe von Sensorelementen, und/oder mehreren Gittersensoreinheiten, und/oder mehreren Messungen die jeweiligen (d.h. der Gittersensoreinheit jeweils zugeordneten, dem Sensorelement der Gruppe von Sensorelement jeweils zugeordneten und/oder der Messung jeweils zugeordneten) Referenzsignale und/oder die jeweiligen Messsignale (bzw. daraus abgeleitete Werte) derart gespeichert werden, dass eine jeweilige Zuordnung (z.B. zu dem Sensorelement, zu der Gittersensoreinheit, zu der Messung) möglich ist. Somit kann eine Rekonstruktion der gemessenen Zustände auch noch nach einer Messung durchgeführt werden.

Beispiel 24 ist ein Gittersensorsystem gemäß Beispiel 23, wobei die Speichervorrichtung eine Schnittstelle für einen externen Speicher aufweist. Beispielsweise kann die Schnittstelle eine kontaktlose Schnittstelle (z.B. WLAN, Sendevorrichtung für einen RFID-Chip, Bluetooth, Infrarot, NFC-Schnittstelle, etc.) oder eine Schnittstelle mit einem Kontakt sein (z.B. eine kabelgebundene Schnittstelle (z.B. eine USB-Schnittstelle, eine RJ-Schnittstelle), ein Drucker, einen Disc-Schreiber (z.B. für CD, DVD, BD, HD) etc.).

Beispiel 25 ist ein Gittersensorsystem gemäß Beispiel 23 oder 24, wobei die Speichervorrichtung ein oder mehrere nichtflüchtige Speicher aufweist (z.B. HDD, SSD, USB-Sticks, Flashdrives, Memory-Sticks, Floppy- Disk). Beispielsweise können die ein oder mehreren nichtflüchtigen Speicher reversibel oder irreversibel beschreibbar sein.

Beispiel 26 ist eine Auswertevorrichtung (z.B. eine Messvorrichtung), die aufweisen kann: eine Eingabeschnittstelle, die eingerichtet sein kann zum Empfangen von Messdaten und Referenzdaten einer Sensormatrix (z.B. eines Gittersensors (z.B. eines Gittersensor gemäß verschiedenen Aspekten)), die zumindest teilweise von ein oder mehreren Fluiden umströmt werden kann, wobei die Messdaten zumindest eine Eigenschaft der ein oder mehreren Fluid repräsentieren können und einen Störeinfluss der ein oder mehreren Fluide auf die Sensormatrix aufweisen können, und wobei die Referenzdaten den Störeinfluss der ein oder mehreren Fluide auf die Sensormatrix repräsentieren können; ein oder mehrere Prozessoren, die eingerichtet sein können, eine Messwertkorrektur zum Erstellen von korrigierten Messdaten basierend auf den Messdaten und den Referenzdaten durchzuführen, wobei die Messwertkorrektur den Störeinfluss der ein oder mehreren Fluide auf die Sensormatrix korrigieren können; und eine Ausgabeschnittstelle zum Ausgeben der korrigierten Messdaten, die zumindest eine Eigenschaft der ein oder mehreren Fluide repräsentieren können und unabhängig von dem Störeinfluss der ein oder mehreren Fluide auf die Sensormatrix sind. Der Kalibrierwert kann einen Kal i brier-Störei nfl uss von genau einem der ein oder mehreren Fluide auf die Sensormatrix repräsentieren.

Beispiel 27 ist eine Auswertevorrichtung gemäß Beispiel 26, wobei die Sensormatrix ein oder mehreren Gittersensoreinheiten sein können. Beispielsweise kann die Sensormatrix ein Gittersensor gemäß der Beispiele 1 bis 15 sein. Beispielsweise kann die Auswertevorrichtung mit einem Gittersensorsystem gemäß einem der Beispiele 15 bis 25 gekoppelt sein.

Beispiel 28 ist eine Auswertevorrichtung gemäß Beispiel 26 oder 27, wobei zumindest eine Eigenschaft des Fluids eine Eigenschaft der Folgenden sein kann: eine Temperatur, ein Druck, eine Viskosität, eine elektrische Leitfähigkeit, eine Impedanz, eine relative Permeabilität, eine elektrische Ladung, eine magnetische Eigenschaft, eine Nahordnung der Atome bzw. Moleküle des Fluids, ein Aggregatzustand, eine Kernladungszahl, eine chemische Zusammensetzung, und/oder eine Geschwindigkeit des Fluids. Beispielsweise können die Messdaten und die korrigierten Messdaten mehrere Eigenschaften von jedem der ein oder mehreren Fluide repräsentieren. In diesem Fall können die mehreren Eigenschaften von ein oder mehrere der zuvor genannten Eigenschaften aufweisen oder sein.

Beispiel 29 ist eine Auswertevorrichtung gemäß einem der Beispiele 26 bis 28, wobei die ein oder mehreren Prozessoren in zumindest einem Computer angeordnet sein können. Beispielsweise kann der Computer mit der Auswertevorrichtung gekoppelt sein oder in die Auswertevorrichtung integriert sein. Beispielsweise kann der Computer eine Vorrichtung oder ein Zusammenschluss von Vorrichtungen sein, die jeweils ein oder mehrere Prozessoren aufweisen kann, z.B. ein Laptop, ein Mac, ein PC, ein Tablet, oder ein Smartphone. Beispielsweise können die ein oder mehreren Prozessoren ein oder mehrere der folgenden integrierten Schaltkreise aufweisen oder sein: ASIC, ASSP, DSP, FPGA, Mikrocontroller und/oder SOC.

Beispiel 30 ist eine Auswertevorrichtung gemäß einem der Beispiele 26 bis 29, wobei die Referenzdaten ein oder mehrere Referenzwerte und zumindest einen Kalibrierwert aufweisen können, wobei die Messdaten ein oder mehrere Messwerte aufweisen können, wobei jedem der ein oder mehreren Messwerte und wobei die korrigierten Messdaten ein oder mehrere korrigierte Messwerte aufweisen können. Beispielsweise kann jedem der ein oder mehreren korrigierten Messwerte genau einer der ein oder mehreren Messwerte zugeordnet werden/sein. Beispielsweise kann jedem der ein oder mehreren Messwerte genau einer der ein oder mehreren korrigierten Messwerte zugeordnet werden/sein. Beispielsweise kann der Kalibrierwert einen Kalibrier-Störeinfluss von genau einem Fluid von ein oder mehreren Fluiden auf eine Gruppe von Sensoren repräsentiert,

Beispiel 31 ist eine Auswertevorrichtung gemäß Beispiel 30, wobei jedem der ein oder mehreren Messwerte jeweils zumindest einer der ein oder mehreren Referenzwerte zugeordnet werden kann.

Beispiel 32 ist eine Auswertevorrichtung gemäß Beispiel 31, wobei die Messwertkorrektur aufweisen kann: Ermitteln des jeweiligen Korrekturwerts für jeden der ein oder mehreren Messwerte basierend auf dem Kalibrierwert und dem zumindest einen Referenzwert, der dem jeweiligen Messwert zugeordnet ist; und Ermitteln der ein oder mehreren korrigierten Messwerte, wobei jeder der ein oder mehreren korrigierten Messwerte basierend auf dem Korrekturwert und dem jeweiligen zugeordneten Messwert der ein oder mehreren Messwerte berechnet wird. Beispielsweise kann der jeweilige Korrekturwert ein Quotient sein, der aus dem Kalibrierwert und dem zumindest einen Referenzwert, der dem jeweiligen Messwert zugeordnet ist, berechnet wird. Beispielsweise kann der jeweilige korrigierte Messwert ein Produkt sein, das auf dem jeweiligen Messwert und dem jeweiligen Korrekturwert basiert. Beispielsweise kann der jeweilige korrigierte Messwert eine Summe sein, die auf dem jeweiligen Messwert und einem Logarithmus des jeweiligen Korrekturwerts basiert. Es versteht sich, dass die Messwertkorrektur um Berechnungen basierend auf Sensormatrix-spezifischen Parametern erweitert werden kann.

Beispiel 33 ist ein Computerprogrammprodukt, das Instruktionen aufweisen kann, die ein oder mehrere Prozessoren veranlassen können Folgendes auszuführen: Laden eines Datensatzes, der einen Kalibrierwert, eine erste Gruppe von Messwerten und einen ersten Referenzwert aufweisen kann, wobei der Kalibrierwert einen Kalibrier-Störeinfluss von genau einem Fluid von ein oder mehreren Fluiden auf eine Gruppe von Sensoren repräsentieren kann, wobei der erste Referenzwert einen ersten Störeinfluss auf die Gruppe von Sensoren durch die ein oder mehreren Fluide repräsentieren kann, wobei jeder Messwert der ersten Gruppe von Messwerten eine Eigenschaft der ein oder mehreren Fluiden und den ersten Störeinfluss auf die Gruppe von Sensoren repräsentieren kann, und wobei jeder Messwert der ersten Gruppe von Messwerten einem Sensor von einer Gruppe von Sensoren zugeordnet sein kann; Ermitteln eines Korrekturwerts aus dem Kalibrierwert und dem ersten Referenzwert; und Korrigieren jedes Messwerts der ersten Gruppe von Messwerten mittels des Korrekturwerts.

Beispiel 34 ist ein Computerprogrammprodukt gemäß Beispiel 33, wobei das Ermitteln eines Korrekturwerts aus dem Kalibrierwert und dem ersten Referenzwert aufweisen kann: Bilden eines Quotienten basierend auf dem Kalibrierwert und dem ersten Referenzwert. Beispielsweise kann der Quotient noch logarithmiert werden. Beispielsweise können weitere vorbestimmte Kalibrier- Parameter mit in das Ermitteln des Kalibrierwerts einbezogen werden. Kalibrier-Parameter können beispielsweise Parameter sein, die durch das Messsystem, mit dem die Daten aufgenommen wurden, vorgegeben sind.

Beispiel 35 ist ein Computerprogrammprodukt gemäß Beispiel 33 oder 34, wobei das Korrigieren jedes Messwerts der ersten Gruppe von Messwerten mittels des Korrekturwerts aufweisen kann: Bilden eines Produkts oder einer Summe basierend auf dem Korrekturwert und jedem der Messwerte der ersten Gruppe von Messwerten. Beispielsweise können weitere vorbestimmte Korrektur-Parameter mit in das Ermitteln des Kalibrierwerts einbezogen werden. Korrektur-Parameter können beispielsweise Parameter sein, die durch das Messsystem, mit dem die Daten aufgenommen wurden, vorgegeben sind.

Beispiel 36 ist ein Gittersensor, der aufweisen kann einen Fluidführungsbereich zum Führen eines Fluids; mehrere Sensorelemente zum Erzeugen von Messsignalen, welche ein oder mehrere Eigenschaften des in dem Fluidführungsbereich geführten Fluids repräsentieren, wobei die mehreren Sensorelemente in einer Matrix-Anordnung angeordnet sein können; mehrere erste Elektroden und mehrere zweite Elektroden, wobei jedes Sensorelement der mehreren Sensorelemente jeweils mit einer der ersten Elektroden und mit jeweils einer der zweiten Elektroden verbunden ist zum Betreiben des Sensorelements; mehrere Referenzelemente, wobei jedes Referenzelement jeweils einer der ersten Elektroden zugeordnet ist zum Bereitstellen eines jeweiligen der ersten Elektrode zugeordneten Referenzsignals, welches einen Störeinfluss des in dem Fluidführungsbereich geführten Fluids auf eine elektrische Charakteristik der Elektrode repräsentieren kann.

Beispiel 37 ist ein Gittersensor, der ein Sensorgitter aus Sendeelektroden und Empfangselektroden aufweisen kann. Die Sendeelektroden und Empfangselektroden können derart angeordnet sein, dass das Sensorgitter innerhalb des Strömungsquerschnitts einer zu charakterisierenden Strömung (z.B. einer Fluidströmung) angeordnete Kreuzungspunkte, sogenannte Mess-Kreuzungspunkte, (z.B. mit jeweils einem Sensorelement) und außerhalb des Strömungsquerschnitts angeordnete Kreuzungspunkte, sog. Referenz- Kreuzungspunkte, (mit jeweils einem Referenzelement) aufweisen kann. Die Referenz-Kreuzungspunkte können von den Kreuzungen der durch den Strömungsquerschnitt verlaufenden Empfangselektroden mit vollständig außerhalb des Strömungsquerschnitts verlaufenden

Sendeelektroden gebildet werden. Mittels der an den Referenz-Kreuzungspunkten erfassten Messwerten können die an den Mess-

Kreuzungspunkten auftretenden Signalverluste ermittelt und kompensiert werden. Die Referenzelektroden können z.B. in einer Basisplatine eines eigentlichen Gittersensorelements angeordnet sein, alternativ können anstatt der Referenzelektroden auch Impedanzen vorgesehen sein.

Es versteht sich, das vorhergehende Beispiele, die auf Gittersensoren bezogen sind, auch auf die Beispiele 36 und 37 bezogen werden können.

Beispiel 38 ist ein Gittersensorsystem, das aufweisen kann einen Fluidführungsbereich zum Führen eines Fluids; eine Elektrode, die in dem Fluidführungsbereich angeordnet ist, eine Referenzsignalquelle zum Erzeugen eines Referenzsignals (z.B. eines Stroms, und/oder einer Spannung) in der Elektrode; einen Referenzsignalempfänger zum Empfangen des Referenzsignals (z.B. als ein Strom oder einer Spannung), eine Signalauswerteeinheit zum Auswerten des empfangenen Referenzsignals, wobei das empfangene Referenzsignal einen Störeinfluss des in dem Fluidführungsbereich strömenden Fluids auf eine elektrische Charakteristik der Elektrode repräsentieren kann. Es versteht sich, dass ein Referenzsignal in Form einer Spannung einem Strom zugeordnet werden kann und umgekehrt, beispielsweise mittels eines Widerstands.

Es versteht sich, das vorhergehende Beispiele, die auf Gittersensorsysteme bezogen sind, auch auf das Beispiel 38 bezogen werden können. Ferner können auch Ausgestaltungen von Gittersensoren gemäß einem der vorstehenden Beispiele auf das Beispiel 38 übertragen werden. Es versteht sich ferner, dass ein hierin beschriebener Gittersensor, ein hierin beschriebenes Gittersensorsystem, eine hierin beschriebene Auswertevorrichtung und ein hierin beschriebenes Computerprogrammprodukt in analoger Weise zum Korrigieren eines Störeinflusses eines Bauteils auf den jeweiligen Gittersensor, das jeweiliges Gittersensorsystem, die jeweilige Auswertevorrichtung oder das jeweilige Computerprogrammprodukt eingerichtet sein kann. In einem derartigen Fall, wäre der Fluidführungsbereich ein Bauteilaufnahmebereich zum Aufnehmen eines zu untersuchenden Bauteils oder der jeweilige Gittersensor kann an dem Bauteil befestigt (z.B. montiert) werden. Ein zugehöriger Gittersensor wird beispielhaft im Folgenden Beispiel 39 und 40 beschrieben. Es versteht sich ferner, dass die hierin beschriebenen Aspekte, insbesondere die in den Beispielen 1 bis 38 beschriebenen Aspekte, in analoger Weise auf den Gittersensor des Beispiels 39 und 40 übertragen werden können. Somit kann beispielsweise eine Kalibrierung des Gittersensors vereinfacht werden, da nur die Referenzelemente kalibriert werden müssen und eine bauteilspezifische Kalibrierung nur noch in einem geringen Umfang (z.B. nicht mehr) nötig ist. Die fehlende bauteilspezifische Kalibrierung kann beispielsweise in diesem Fall als ein Störeinfluss des Bauteils verstanden werden.

Beispiel 39 ist ein Gittersensor der aufweisen kann: einen Bauteilaufnahmebereich zum Aufnehmen eines zu untersuchenden Bauteils; ein oder mehrere Gittersensoreinheiten, wobei jede der ein oder mehreren Gittersensoreinheiten aufweisen kann: eine Gruppe von Sensorelementen eingerichtet zum Erzeugen von Messsignalen, welche ein oder mehrere Eigenschaften eines in dem Bauteilaufnahmebereich aufgenommenen Bauteils repräsentieren können; eine Elektrode, wobei die Sensorelemente der Gruppe von Sensorelementen mit der Elektrode verbunden sein können zum Betreiben (z.B. Versorgen und/oder Auslesen) der Sensorelemente der Gruppe von Sensorelementen; ein Referenzelement, welches der Elektrode zugeordnet sein kann und eingerichtet sein kann, ein Referenzsignal, welches einen Störeinfluss eines in dem Bauteilaufnahmebereich aufgenommenen Bauteils auf eine elektrische Charakteristik der Elektrode repräsentiert, bereitzustellen.

Beispiel 40 ist ein Gittersensor zum Befestigen (z.B. zum Montieren) an einem Bauteil, der Gittersensor aufweisend: ein oder mehrere Gittersensoreinheiten, wobei jede der ein oder mehreren Gittersensoreinheiten aufweisen kann: eine Gruppe von Sensorelementen eingerichtet zum Erzeugen von Messsignalen, welche ein oder mehrere Eigenschaften eines Bauteils repräsentieren können; eine Elektrode, wobei die Sensorelemente der Gruppe von Sensorelementen mit der Elektrode verbunden sein können zum Betreiben (z.B. Versorgen und/oder Auslesen) der Sensorelemente der Gruppe von Sensorelementen; ein Referenzelement, welches der Elektrode zugeordnet sein kann und eingerichtet sein kann, ein Referenzsignal, welches einen Störeinfluss eines Bauteils auf eine elektrische Charakteristik der Elektrode repräsentiert, bereitzustellen.