| JP2001153747 | SIMPLE EXCHANGE TYPE VACUUM SENSOR |
| JP2006084190 | VACUUM GAUGE |
| JP3452913 | VACUUM GAGE USING PELTIER ELEMENT |
DUNIN VON PRZYCHOWSKI, Michael (Jägerstrasse 1, Wertheim, 97877, DE)
GITMANS, Frank (Wietze-Aue 71, Wedemark, 30900, DE)
LACHENMANN, Rudolf (Caspar-Merian-Strasse 10, Wertheim, 97877, DE)
DIRSCHERL, Jürgen (Kaffelsteinweg 2c, Kreuzwertheim, 97892, DE)
DUNIN VON PRZYCHOWSKI, Michael (Jägerstrasse 1, Wertheim, 97877, DE)
GITMANS, Frank (Wietze-Aue 71, Wedemark, 30900, DE)
LACHENMANN, Rudolf (Caspar-Merian-Strasse 10, Wertheim, 97877, DE)
Patentansprüche:
1. Wärmeleitungs-Gasdruckmeßanordnung mit einer Meßkammer (5) , in der sich das Gas befindet, dessen Gasdruck gemessen werden soll, und mit ei- nem elektrisch leitenden Heizelement und einem elektrischen Meßelement oder einem kombinierten elektrischen Heiz-/Meßelement (1) in der Meßkammer (5), dadurch gekennzeichnet, daß das elektrisch leitende Heizelement und das elektrische Meßeiement bzw. das kombinierte elektrische Heiz-/Meßelement (1) mit einer gasdichten Schutzschicht oder -hülle (6) aus einem elektrisch isolierenden Werkstoff mit hoher Wärmeleitfähigkeit derart vollständig umhüllt sind bzw. ist, daß es mit dem Gas nicht in Kontakt kommt.
2. Meßanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Werkstoff der Schutzschicht oder -hülle (6) ein Lack, ein Kunststoff, Glas oder ein Keramikmaterial ist.
3. Meßanordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht oder -hülle (6) derart mechanisch belastbar ausgeführt und/oder mechanisch belastbar an einem strukturgebenden Bauteil (3) der Meßanordnung angebracht ist, daß sie gleichzeitig die alleinige mechanische Halterung des Heizelementes und des Meßelementes bzw. des kombinierten elektrischen Heiz-/Meßelementes (1) bildet.
4. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das kombinierte elektrische Heiz-/Meßelement (1) als Metalldraht und die Schutzschicht oder -hülle (6) als den Metalldraht umhüllendes Röhrchen aus einem Keramikmaterial ausgeführt ist.
5. Meßanordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das die Schutzschicht oder -hülle (6) bildende Röhrchen aus einem Keramikmaterial mit einem vorzugsweise keramischen, thermisch leitfähigen Ver- gußmaterial gasdicht verschlossen ist.
6. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeich- net, daß der das Heiz-/Meßelement (1) bildende Metalldraht auf einem Träger (7) aufgewickelt ist.
7. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3 und ggf. Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Heizelement und das vom Heizelement getrennte Meßelement gemeinsam von der Schutzschicht oder -hülle umgeben sind, wobei die Schutzschicht oder -hülle vorzugsweise als Röhrchen aus einem Keramikmaterial ausgeführt und, weiters vorzugsweise, mit einem vorzugsweise keramischen, thermisch leitfähigen Vergußmaterial gasdicht verschlossen ist.
8. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, gekennzeichnet durch einen oder mehrere andere Sensoren zur Erweiterung des Meßbereichs der Gesamtanordnung. |
Wärmeleitungs-Gasdruckmeßanordnung
Die Erfindung betrifft eine Wärmeleitungs-Gasdruckmeßanordnung mit den Merkmalen des Oberbegriffs von Anspruch 1.
Gasdruckmeßanordnungen, häufig auch als Vakuummeßgeräte bezeichnet, die nach dem Wärmeleitungsprinzip (Pirani-Prinzip) arbeiten, sind seit langem bekannt. Eine ausführliche Darstellung der physikalischen Umstände bei einer solchen Wärmeleitungs-Gasdruckmeßanordnung findet sich in der DE 698 03 147 T2, auf deren Offenbarungsgehalt zu Erläuterungszwecken hier insgesamt verwiesen werden darf.
Bei einer Wärmeleitungs-Gasdruckmeßanordnung der in Rede stehenden Art heizt grundsätzlich ein Heizelement ein Meßelement auf, das in thermischem Kontakt mit dem zu messenden Gas steht. Ist die Temperatur des Meßelementes höher als die Umgebungstemperatur in dem zu messenden Gas, so hängt die benötigte Heizleistung für eine vorgegebene Temperatur bzw. hängt die Temperatur am Meßelement für eine vorgegebene Heizleistung von der Wärmeableitung über das Gas ab. Bei geringem Druck, insbesondere im Bereich des Feinvakuums, ist diese Wärmeableitung stark vom Gasdruck abhängig. Damit kann man aus der benötigten Heizleistung bzw. aus der Temperatur des Meßelements auf den Umgebungsdruck schließen.
üblicherweise sind das Heizelement und das Meßelement thermisch verbunden.
Häufig ist das Heizelement ein elektrischer Widerstand z. B. in Form eines dünnen Drahtes oder in Form einer dünnen leitfähigen Schicht. Um die benötigten Heizströme und damit die Wärmeverluste in den elektrischen Zuleitungen sowie den Schaltungsaufwand möglichst gering zu halten, ist der Widerstand des Heizelements meist recht hoch gewählt. Der Querschnitt des metallischen Leiters, der das Heizelement bildet, ist dementsprechend sehr klein. Oft handelt es sich um einen dünnen, filigranen Heizfaden (Durchmesser in
der Größenordnung von 0,01 mm, Länge des Heizfadens in der Größenordnung von mehreren Millimetern bis zu Zentimetern). Häufig handelt es sich auch um eine leitfähige Schicht mit entsprechend geringen Querschnitten.
Eine bekannte mögliche Anordnung der in Rede stehenden Art besteht aus einem Heizelement in Form eines dünnen Metalldrahtes und einem in unmittelbarer Nachbarschaft oder direkt daran angebrachten Meßelement in Form eines Thermoelements. Entsprechende Anordnungen gibt es auch mit in Mikro- strukturtechnik erzeugten Schichten (DE-A-44 14 349).
Bei der bekannten, eingangs erläuterten Wärmeleitungs-Gasdruckmeßanord- nung (DE 698 03 147 T2) ist das Meßelement gleichzeitig Heizelement. Es handelt sich um ein Widerstands-Meßelement, das in einer Wheatstone- Brückenschaltung in einem der Zweige angeordnet ist. Das Widerstands- Meßelement weist einen temperaturabhängigen Widerstand mit positivem oder negativem Temperaturkoeffizienten auf. Deshalb kann als Meßgröße der Widerstand des Widerstands-Meßelementes herangezogen werden.
Die Wheatstone-Brückenschaltung ist an eine Versorgungsspannung ange- schlössen. Mißt man die Wärmeableitung bei konstanter Versorgungsspannung anhand des Widerstands, so spricht man von einer ungeregelten Brük- kenschaltung. Hält man hingegen den Widerstand des Widerstands-Meßelementes konstant, so muß man die Versorgungsspannung nachregeln. Dann spricht man von einer geregelten Brückenschaltung. Eine ungeregelte Brük- kenschaltung hat den Nachteil, daß das Widerstands-Meßelement je nach dem Ausmaß der Wärmeableitung seine Temperatur ändert. Bei sehr niedrigen Drücken ist die Wärmeableitung gering und die Temperatur des Meßelementes ist hoch. Dadurch ergeben sich hohe Verluste durch Wärmestrahlung, die vom Druck des Gases unabhängig ist. Dadurch wird der Meßbereich bei niedrigen Drücken eingeschränkt.
Fig. 2 zeigt den grundsätzlichen Aufbau einer klassischen Wärmeleitungs- Gasdruckmeßanordnung. Ein kombiniertes elektrisches Heiz-/Meßelement 1, in der erläuterten Weise üblicherweise ein dünner Heizfaden bzw. Heizdraht, wird mit Hilfe von elektrisch leitenden, meist aus Metall bestehenden Haltern 2 aufgespannt und gehalten. Die Halter 2 finden sich an einem mechanisch
stabilen, strukturgebenden Bauteil 3, in Fig. 2 einer Grundplatte, das Teil beispielsweise eines Gehäuses 4 ist. Das Gehäuse 4 bildet eine umlaufende Wand in näherungsweise konstantem Abstand zum kombinierten Heiz-/Meßelement 1. Das Gas, dessen Druck gemessen werden soll, befindet sich im Bereich zwischen dem kombinierten Heiz-/Meßelement 1 und der vom Gehäuse 4 gebildeten Wand. Die Wärmeabfuhr durch die Halter 2 in die Grundplatte 3 begrenzt die Auflösung dieser Meßanordnung im unteren Druckbereich. Zur Kompensation von Temperaturschwankungen kann im Bereich der vom Gehäuse 4 gebildeten Wand oder im Bereich der Grundplatte 3 ein Temperatur- sensor angebracht sein. Der Temperatursensor kann selbst wieder ein temperaturabhängiger Widerstand sein. Typischerweise wird eine solche Anordnung in eine Wheatstone'sche Brückenschaltung integriert.
Von einer Anordnung der zuvor erläuterten Art geht die vorliegende Erfin- düng aus (WO-A-2006/010884).
Die nachfolgend gemachten Angaben gelten in ähnlicher Weise, wenn ein Heizelement und ein davon getrenntes Meßelement vorgesehen sind und somit die Temperatur separat durch das Meßelement bestimmt wird. Wenn im übrigen nachfolgend der Begriff "Heizfaden" verwendet wird, so steht dies für das elektrisch leitende Heizelement unabhängig davon, ob es als hauchdünner Metalldraht oder als dünne leitende Schicht ausgeführt ist.
Beim Einsatz von Wärmeleitungs-Gasdruckmeßanordnungen der beschriebe- nen Art in aggressiven Gasen oder Dämpfen kann es zu einer änderung der Eigenschaften des Heizfadens kommen. Häufig wird der Faden selbst angegriffen, wodurch dieser dünner wird und sein Widerstand zunimmt. Dadurch wird die Kennlinie geändert und das System zeigt falsche Werte an.
Beim Einsatz in Dämpfen kann es zu einer Ablagerung von Substanzen auf dem Heizfaden kommen. Dies tritt besonders häufig in thermisch instabilen Dämpfen auf, bei denen sich Spaltungsprodukte der (z. B. organischen) Dampfmoleküle auf dem heißen Draht ablagern. Bei leitfähigen Ablagerungen kann sich der Widerstand des Heizfadens ändern. Der Temperaturkoeffizient ergibt sich dabei aus dem Mittel desjenigen des Heizfadens und der Be- schichtung. Zugleich wird die Wärmeabgabe an das umgebende Gas verän-
dert. Beides kann die Kennlinie verschieben oder verändern und es kommt zu Falschanzeigen des Gasdruckes. Der relative Einfluß von Ablagerungen kann grob aus dem Verhältnis der Dicke der Ablagerung zum Heizfadendurchmesser abgeschätzt werden. Da der Heizfadendurchmesser bei diesen Anordnun- gen häufig sehr klein ist (s. o., Größenordnung 0,01 mm), ist der Meßfehler schon bei geringfügigen Ablagerungen groß.
Im Feinvakuum, dem bevorzugten Einsatzbereich solcher Wärmeleitungs- Gasdruckmeßanordnungen, sind die absoluten Konzentrationen solcher Gase und Dämpfe eher gering, so daß änderungen durch ätzen oder Beschichtung nur langsam ablaufen. Daher fokussierte sich die Weiterentwicklung dieses Meßprinzips besonders auf Miniaturisierung, eine Erweiterung des Meßbereichs und die Verbesserung der Meßgenauigkeit, besonders im Hinblick auf die Kompensation des Einflusses der Außen- bzw. Wandtemperatur, weniger auf Robustheit und chemische Beständigkeit.
Zur Erweiterung des Meßbereichs gibt die DE-698 03 147 T2 einen umfassenden überblick über den Stand der Technik. Der Einfluß der Wandtemperatur wird u. a. in der WO-A-99/15869 ausführlich dargestellt und mit der Mi- niaturisierung beschäftigt sich z. B. die DE-A-44 14 349.
Laufen in derselben Vakuumanlage auch Prozesse im Grobvakuum, so muß die Gasdruckmeßanordnung vor hohen Konzentrationen von nicht-inerten Gasen und Dämpfen geschützt werden, oder sie muß vorher von der Anlage ent- fernt werden. Dies ist jedoch häufig nicht möglich oder nicht praktikabel. Die DE-A- 199 03 010 schlägt deshalb vor, mehrere Heizfäden zu verwenden und bei Kontamination auf den jeweils nächsten Faden umzuschalten.
Bei der bekannten Wärmeleitungs-Gasdruckmeßanordnung, von der die Er- findung ausgeht (WO-A-2006/010884), ist die chemische Beständigkeit gegenüber aggressiven Medien durch eine geeignete Werkstoffauswahl erhöht worden. Diese Veröffentlichung gibt Ausführungsbeispiele für verschiedene Materialien und Materialkombinationen. So wird eine Goldbeschichtung eines Wolfram-Fadens häufig verwendet, um die chemische Beständigkeit zu erhö- hen, diese wird jedoch von Fluorgas angegriffen. Fäden aus Platin-Rhodium- Legierungen zeigen hohe Resistenz gegenüber Chemikalien, die bei der Halb-
leiterherstellung verwendet werden, sind jedoch sehr spröde und können leicht mechanisch zerstört werden. Die WO-A-2006/010884 schlägt daher eine Legierung aus Platin/Iridium vor. Alle diese beschichteten Drähte oder Drähte aus Sondermaterialien sind aufwendig, teuer und häufig mechanisch sehr empfindlich.
Durch die zuvor beschriebene Materialwahl für den Heizfaden lassen sich im übrigen Ablagerungen auf dem Heizfaden meist nicht vermeiden.
Generell sind alle bekannten Wärmeleitungs-Gasdruckmeßanordnungen mit entsprechenden Heizfäden gegenüber raschen Druckänderungen sehr empfindlich. Ein Druckstoß in der Umgebungsatmospäre oder eine stärkere Gasströmung wie sie bei einem schnellen Belüften einer Vakuumapparatur ohne weiteres auftreten kann, kann zum Reißen des Heizfadens führen. Ein Reißen des Heizfadens kann ebenfalls bei Vibrationen auftreten.
Der Lehre der Erfindung liegt daher das Problem zugrunde, die bekannte Wärmeleitungs-Gasdruckmeßanordnung hinsichtlich ihrer Lebensdauer zu verbessern.
Das zuvor aufgezeigte Problem ist bei einer Wärmeleitungs-Gasdruckmeßan- ordnung mit den Merkmalen des Oberbegriffs von Anspruch 1 durch die Merkmale des kennzeichnenden Teils von Anspruch 1 gelöst. Bevorzugte Ausgestaltungen und Weiterbildungen sind Gegenstand der Unteransprüche.
Im folgenden wird zur Vereinfachung stets nur von einem kombinierten elektrischen Heiz-/Meßelement oder auch lediglich vom Heiz-/Meßelement gesprochen. Das deckt auch Konstruktionen ab, bei denen das Heizelement und das Meßelement voneinander getrennte Bauteile sind.
Mit der erfindungsgemäß aufgebauten Wärmeleitungs-Gasdruckmeßanord- nung erreicht man auch unter ungünstigen chemischen Umgebungsbedingungen eine hohe Lebensdauer. Eine nur geringe Verfälschung des Meßsignals ist sichergestellt. Gleichzeitig ergibt sich eine hohe zeitliche Dynamik und ein großer Meßbereich. Weder aggressive Gase noch Dämpfe, die zu leitfähigem Kondensat oder Ablagerungen auf einem metallischen Heizelement führen
können, sind für die erfindungsgemäße Wärmeleitungs-Gasdruckmeßanord- nung ein Problem. Zudem hat die erfindungsgemäße Wärmeleitungs-Gas- druckmeßanordnung eine hohe mechanische Stabilität, so daß das Heiz-/Meß- element auch mechanische Belastungen und Belastungen durch starke Gas- Strömungen aushalten kann.
Die erfindungsgemäß vorgesehene gasdichte Schutzschicht oder -hülle erfüllt mehrere Funktionen:
Sie schützt das Heiz-/Meßelement im Inneren vor ggf. aggressiven Gasen und Dämpfen in der Meßkammer. Elektrisch isolierende Werkstoffe mit hoher Chemikalienbeständigkeit wie Glas, Keramik oder Kunststoffe sind bekannt. Aus den bekannten elektrisch isolierenden Werkstoffen können solche mit ausreichend hoher Wärmeleitfähigkeit für diese Anwendung selektiert wer- den.
Weiterhin stellt die Schutzschicht oder -hülle bei geeigneter Materialwahl eine chemisch inerte Oberfläche dar und verringert dadurch die Möglichkeit zur Bildung von Ablagerungen. Falls sich doch Ablagerungen bilden, so haben sie keinen Einfluß auf den Widerstand und den Temperaturkoeffizienten des Heiz-/Meßelements, da mögliche elektrisch leitfähige Ablagerungen durch die isolierende Schutzschicht oder -hülle vom Heiz-/Meßelement elektrisch getrennt sind. Auch der Wärmeübergang in das Gas wird durch eventuelle Ablagerungen sehr viel geringer beeinflußt als bei bekannten Anordnungen nach dem Stand der Technik, da der typische Durchmesser der Gesamtanordnung sehr viel größer (typisch Faktor 5 bis 100) als der typische Durchmesser des Heiz-/Meßelements ist. Damit ist auch der relative Einfluß von Ablagerungen geringer.
Zudem kann die elektrisch isolierende Schutzschicht oder -hülle mechanisch so stabil ausgebildet werden, daß das Heiz-/Meßelement abgestützt wird. Dies verbessert die mechanische Stabilität des Gesamtsystems aus HeizVMeßele- ment und Schutzschicht oder -hülle beispielsweise gegenüber Vibrationen erheblich. Bevorzugt ist die mechanische Stabilität des Gesamtsystems so hoch, daß auf eine weitere Abstützung des Heiz-/Meßelements auf der von den elektrischen Anschlüssen abgewandten Seite verzichtet werden kann. Zudem ist
das filigrane Heiz-/Meßelement nicht mehr direkt dem umgebenden Gas und dessen Strömung ausgesetzt, so daß die Gesamtanordnung deutlich stabiler gegenüber schnellen Gasströmungen o. ä. wird.
Für die Schutzschicht oder -hülle kommen verschiedene Werkstoffe wie beispielsweise Glas, Keramik, Lack oder Kunststoffe in Frage. So kann eine beliebige Anordnung aus Heiz- und Meßelement (auch kombiniert, wie beispielsweise eine Drahtwendel) beispielsweise in Glas eingeschmolzen oder in Lack eingetaucht werden. Auch ein Eingießen in einen thermoplastischen Kunststoff oder ein Einsintern in einen sinterbaren Werkstoff wie PTFE ist denkbar.
Bei allen Ausführungen ist es wichtig, daß die thermischen Ausdehnungskoeffizienten von Heiz-/Meßelement und Schutzschicht oder -hülle so aufeinander abgestimmt sind, daß beim Heizen keine mechanischen Spannungen entstehen, die das Gesamtelement schädigen können. Gleichzeitig darf die Schutzschicht oder -hülle nicht zu dick und deren Wärmeleitfähigkeit nicht zu klein sein, um das Gesamtsystem nicht zu träge werden zu lassen. Die genauen Anforderungen an die Schutzschicht oder -hülle ergeben sich aus den jeweiligen Anforderungen an die Zeitkonstante des Meßsystems.
Besonders bevorzugt ist eine Konstruktion, bei der vorgesehen ist, daß das kombinierte elektrische Heiz-/Meßelement als Metalldraht und die Schutzschicht oder -hülle als den Metalldraht umhüllendes Röhrchen aus einem Ke- ramikmaterial ausgeführt ist. Die mechanische Steifigkeit der Gesamtanordnung wird dabei dann besonders positiv beeinflußt, wenn der das Heiz-/Meß- element bildende Metalldraht auf einem Träger aufgewickelt ist. Dabei kann man bevorzugterweise vorsehen, daß das die Schutzschicht oder -hülle bildende Röhrchen aus einem Keramikmaterial mit einem vorzugsweise kerami- sehen Vergußmaterial gasdicht verschlossen ist. In jedem Fall ist eine ausreichend hohe Wärmeleitfähigkeit des Keramikmaterials und des keramischen Vergußmaterials gefordert.
Ist das Heizelement vom Meßelement getrennt, so sollte die Schutzschicht oder -hülle beide gemeinsam umhüllen, bei einem Röhrchen aus einem Keramikmaterial wäre dieses dann um beide herum angeordnet.
Eine Ausführung des Heiz-/Meßelementes aus Platin oder Nickel oder einer Legierung eines oder beider Metalle hat sich in der Praxis besonders bewährt.
Im übrigen gelten für die schaltungstechnische Gesamtanordnung die Vorschläge zu Wheatstone-Brückenschaltungen etc., die sich aus dem Stand der Technik ergeben (WO-A-2006/010884; WO-A-99/15869).
Eine besonders interessante Schaltungsanordnung, die meßtechnisch erhebli- che Vorteile hat, ist Gegenstand einer zeitgleich eingereichten parallelen Patentanmeldung der vorliegenden Anmelderin.
Es hat sich gezeigt, daß die erfindungsgemäße Wärmeleitungs-Gasdruckmeß- anordnung chemisch und mechanisch sehr stabil ist und gleichzeitig - bei ge- eigneter Dimensionierung der Komponenten - das Meßsystem eine hohe Dynamik (Ansprechzeitkonstante der Größenordnung 0,1 - 1,0 s) und einen großen nutzbaren Meßbereich (typischerweise von < 0,001 mbar bis ca. 1000 mbar) aufweist.
Im einzelnen wird die Erfindung nachfolgend anhand einer lediglich ein Ausführungsbeispiel darstellenden Zeichnung näher erläutert. In der Zeichnung zeigt
Fig. 1 ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Wärmelei- tungs-Gasdruckmeßanordnung und
Fig. 2 ein Beispiel einer Wärmeleitungs-Gasdruckmeßanordnung gemäß dem Stand der Technik.
Die in Fig. 1 dargestellte erfindungsgemäße Wärmeleitungs-Gasdruckmeßan- ordnung zeigt ein kombiniertes elektrisches Heiz-/Meßelement 1. Dieses ist an einer ein strukturgebendes Bauteil 3 bildenden Grundplatte befestigt, die im dargestellten Ausführungsbeispiel Teil eines Gehäuses 4 ist, das eine Meßkammer 5 bildet, in der der Gasdruck des darin befindlichen Gases zu messen ist und in der sich das Heiz-/Meßelement 1 befindet.
Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist nun vorgesehen, daß das kombinierte elektrische Heiz-/Meßelement 1 mit einer gasdichten Schutzschicht oder -hülle 6 aus einem elektrisch isolierenden Werkstoff mit hoher Wärmeleitfähigkeit derart vollständig umhüllt ist, daß es mit dem Gas in der Meßkammer 5 nicht in Kontakt kommt. Im dargestellten und bevorzugten Ausführungsbeispiel erstreckt sich die Schutzschicht oder -hülle 6 bis zum strukturgebenden Bauteil 3 und ist daran befestigt. Dort treten zwei Anschlußleitungen 1' aus, die möglichst dünn sind, so daß wenig Wärme abgeführt wird.
Im dargestellten und bevorzugten Ausführungsbeispiel ist der Werkstoff mit hoher Wärmeleitfähigkeit der Schutzschicht oder -hülle 6 ein Keramikmaterial. Bei diesem Werkstoff kann es sich aber auch um Glas oder auch um einen entsprechend temperaturbeständigen Kunststoff oder um Lack handeln.
Das dargestellte und bevorzugte Ausführungsbeispiel zeigt dabei, daß die Schutzschicht oder -hülle 6 derart mechanisch belastbar ausgeführt und/oder mechanisch belastbar an einem strukturgebenden Bauteil 3 der Meßanordnung angebracht ist, daß sie gleichzeitig die alleinige mechanische Halterung des Heizelementes und des Meßelementes bzw. des kombinierten elektrischen Heiz-/Meßelementes 1 bildet.
Bei dem hier vorgestellten Ausführungsbeispiel ist vorgesehen, daß das kombinierte elektrische Heiz-/Meßelement 1 als Metalldraht und die Schutzschicht oder -hülle 6 als den Metalldraht umhüllendes Röhrchen aus einem Keramik- material ausgeführt ist. Man erkennt dabei in Fig. 1 ferner, daß hier der das Heiz-/Meßelement 1 bildende Metalldraht auf einem Träger 7 aufgewickelt ist.
Zur Herstellung dieser Anordnungen wird der das kombinierte Heiz- /Meßelement 1 bildende filigrane Metalldraht auf den stabartigen, vorzugsweise auch aus keramischem Material bestehenden Träger 7 aufgewickelt. Dieser Wickel wird in ein größeres, dünnwandiges Röhrchen aus Keramikmaterial geschoben, das in diesem Fall die Schutzhülle 6 bildet. Diese Anordnung wird dann mit einem thermisch leitfähigen keramischen Vergußmaterial, beispielsweise einem Zement, gasdicht verschlossen.
Die zuvor erläuterte Einheit ist auf der das strukturgebende Bauteil 3 bildenden Grundplatte des Gehäuses 4 angebracht. Die mechanische Befestigung der Schutzhülle 6 kann im dargestellten Ausführungsbeispiel durch ein wärmeisolierendes Kunststoffmaterial erfolgen. Aufgrund einer langsameren Auf- heizrate und der insgesamt gegebenen größeren thermischen Trägheit des aufgrund der vorzugsweise aus Keramikmaterial bestehenden Schutzhülle 6 massiveren Heiz-/Meßelementes 1 würde eine ungeregelte Wheatstone-Brücken- schaltung zu einer zu hohen Trägheit bei der Messung führen. Bevorzugt ist daher für die vorliegende Wärmeleitungs-Gasdruckmeßanordnung die Einbin- düng in eine geregelte Wheatstone-Brückenschaltung (s. den weiter oben erläuterten Stand der Technik). Auch Impulsverfahren wie in der DE-A-101 15 715 sind möglich.
In einer geregelten Wheatstone-Brückenschaltung kann ein auf Basis einer Platinverbindung ausgeführtes Heiz-/Meßelement 1 zur Temperaturkompensation mit einem weiteren Platin-Element zusammen eingesetzt werden. Platin-Temperaturfühler sind Standardprodukte (beispielsweise PT 100 - Temperaturfühler), die kostengünstig erhältlich sind.
Eine erfindungsgemäße Wärmeleitungs-Gasdruckmeßanordnung kann man in Verbindung mit einem oder mehreren anderen Sensoren einsetzen, um den Meßbereich einer Gesamtanordnung zu erweitern. Aufgrund deren hohen chemischen Beständigkeit ist insbesondere eine Kombination mit keramischen Druckaufnehmern für den absoluten Druck vorteilhaft, wenn man hochpräzise Messungen im Grobvakuumbereich oder bei noch höheren Drücken durchfuhren möchte.