[熱剥離型粘着シート]
 本発明の熱剥離型粘着シートの構成を、必� ��に応じて図面を参照しつつ説明する。図1は 本発明の熱剥離型粘着シートの一例を部分的 に示す概略断面図である。図1中、11は基材、 12はゴム状有機弾性層、13は熱剥離性粘着剤� �、14は剥離層である。なお、ゴム状有機弾性 層12及び剥離層14は必要に応じて設けられる� �であり、本発明の熱剥離型粘着シートに必� �の要素ではない。また、本発明の熱剥離型� �着シートは、基材11の両面に粘着剤層を設け た両面タイプの粘着シートとすることもでき る。その際は、粘着剤層のうちいずれか一方 が熱剥離性粘着剤層であればよく、他方の粘 着剤層は熱剥離性粘着剤又は熱剥離性を有し ない(熱膨張性微小球を含まない)粘着剤のい� ��れにより構成されていてもよい。

[熱剥離性粘着剤層]
 熱剥離性粘着剤層13は、熱膨張性微小球及� �層状珪酸塩を含有する熱剥離性粘着剤によ� �構成する。粘着剤層中に加熱により発泡及� �/又は膨張する熱膨張性微小球などの発泡剤� ��含むことにより、加熱処理時は熱膨張性微� ��球の発泡及び/又は膨張により粘着剤層と被 着体との接着面積を減少させて粘着シートを 被着体から剥離させることができる。

[熱膨張性微小球]
 上記熱膨張性微小球としては例えば、イソ� ��タン、プロパン、ペンタンなどの容易にガ� ��化して膨張性を示す適宜な物質をコアセル� ��ーション法や界面重合法等で殻形成物質内� ��内包させた熱膨張性微小球を使用すること� ��できる。殻形成物質としては、熱溶融性を� ��す物質や、熱膨張で破壊する物質を使用で� ��、例えば、塩化ビニリデン・アクリロニト� ��ル共重合体、ポリビニルアルコール、ポリ� ��ニルブチラール、ポリメチルメタクリレー� ��、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニリ� ��ン、ポリスルホンなどが挙げられる。熱膨� ��性微小球は、良好な熱剥離性を発現するた� ��に、体積膨張倍率が例えば、5倍以上、好ま しくは7倍以上、特に好ましくは10倍以上であ るものを使用するのがよい。

 熱膨張性微小球の配合量は、熱剥離性粘� ��剤層13を膨張(発泡)させる程度や接着力を低 下させる程度に応じて適宜選択することがで き特に制限されない。例えば、後述する熱剥 離性粘着剤層を構成するベースポリマー100重 量部に対して1~150重量部、好ましくは25~100重� ��部の範囲から選択することができる。

[層状珪酸塩]
 上記層状珪酸塩は、主に二次元構造を有す� ��粘土層が積み重なることによって結晶構造� ��なしている粘土鉱物であって、溶媒中に加� ��ることにより膨潤し各層間距離が広がる特� ��を有する他、層構造を保持したまま、層間� ��イオンや分子を取り込むことができる。本� ��明に用いる層状珪酸塩としては、後述の熱� ��離性粘着剤層13を構成するベースポリマー� �に分散可能であれば特に制限されない。具� �的には例えば、スメクタイト、サポナイト� �ソーコナイト、スチブンサイト、ヘクトラ� �ト、マーガライト、タルク、金雲母、クリ� �タイル、緑泥岩、バーミキュライト、カオ� �ナイト、白雲母、ザンソフィライト、ディ� �カイト、ナクライト、パイロフィライト、� �ンモリロナイト、バイデライト、ノントロ� �イト、テトラシリリックマイカ、ナトリウ� �テニオライト、アンチゴライト、ハロイサ� �トなどを例示できる。これらの層状珪酸塩� �、天然の層状珪酸塩、合成層状珪酸塩のい� �れをも好適に使用することができる。層状� �酸塩の粒子の平均長さとしては、好ましく� �0.01~100μm、特に好ましくは0.05~10μmであるも� �を使用でき、アスペクト比としては好まし� �は20~500、特に50~200であるものを好適に使用� �きる。層状珪酸塩は、1種又は2種以上を選択 して使用することができる。

 層状珪酸塩の含有量は、後述する熱剥離� ��粘着剤層13を構成するベースポリマー100重� �部に対し、1~300重量部の範囲から選択するこ とができる。層状珪酸塩を配合することによ り、粘着剤層の凝集力が高まり圧力に対して 変形しにくくなる、耐熱性が向上し、特に、 高温雰囲気下での粘着力が高まり、予定の剥 離温度に達するまでは被着体にしっかりと接 着するなどの効果が得られるが、配合量が多 すぎると粘着力が低下する。従って、粘着力 や耐熱性、耐圧性等の各特性が所望の範囲内 となるように、適宜選択すればよいが、含有 量が1重量部以下では、上記効果が得られに� �く、また、300重量部以上では、ベースポリ� �ー中に分散させることが困難であり、現実� �ではない。良好な粘着特性を維持するため� �は、層状珪酸塩の含有量は、ベースポリマ� �100重量部に対して1~200重量部とするのがよく 、好ましくは5~200重量部、更に好ましくは5~10 0重量部、特に好ましくは10~60重量部の範囲か ら選択することができる。

[ベースポリマー]
 熱剥離性粘着剤層13を構成する熱剥離性粘� �剤は、上記熱膨張性微小球、層状珪酸塩及� �ベースポリマーとからなる。ベースポリマ� �としては、加熱時に熱膨張性微小球の発泡� �び/又は膨張を許容するものであれば特に制� ��されず、公知乃至慣用の感圧性粘着剤のベ� ��スポリマーのなかから適宜選択することが� ��きる。好ましくは、熱膨張性微小球の発泡� ��び/又は膨張を可及的に拘束しないようなも のが用いられる。例えば、天然ゴム、各種合 成ゴム、アクリル系、ビニルアルキルエーテ ル系やシリコーン系、ポリエステル系やポリ アミド系、ウレタン系やスチレン・ジエンブ ロック共重合体系などのポリマーを例示でき る。また、これらのポリマーに融点が約200℃ 以下の熱溶融性樹脂を配合してクリープ特性 を改良したものを使用することもできる。

 これらの中で、アクリル系共重合体を特� ��好適に使用できる。アクリル系共重合体の� ��モノマー成分としては、炭素数20以下のア� �キル基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエ ステルを用いるのが好ましい。炭素数20以下� ��アルキル基としては、例えば、メチル基、� ��チル基、プロピル基、ブチル基、アミル基� ��ヘキシル基、ヘプチル基、2-エチルヘキシ� �基、イソオクチル基、イソデシル基、ドデ� �ル基、ラウリル基、トリデシル基、ペンタ� �シル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基� �オクタデシル基、ノナデシル基、エイコシ� �基などが挙げられる。(メタ)アクリル酸アル キルエステルは、1種又は2種以上を選択して� ��モノマー成分として使用することができる� ��なお、これらの(メタ)アクリル酸アルキル� �ステルは粘着剤のベースポリマー中通常50重 量%以上含まれる。

 アクリル系共重合体は、上記(メタ)アク� �ル酸アルキルエステルに加えて、必要に応� �て凝集力や耐熱性等の改質などを目的に適� �な共重合性モノマーが含まれていてもよい� �上記共重合性モノマーとしては、例えば、� �クリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチ� �アクリレート、カルボキシペンチルアクリ� �ート、イタコン酸、マレイン酸、フマール� �、クロトン酸などのカルボキシル基含有モ� �マー;無水マレイン酸、無水イタコン酸など� ��酸無水物;(メタ)アクリル酸ヒドロキシエチ� ��、(メタ)アクリル酸ヒドロキシプロピル、(� ��タ)アクリル酸ヒドロキシブチル、(メタ)ア� ��リル酸ヒドロキシヘキシル、(メタ)アクリ� �酸ヒドロキシオクチル、(メタ)アクリル酸ヒ ドロキシデシル、(メタ)アクリル酸ヒドロキ� ��ラウリル、(4-ヒドロキシメチルシクロヘキ� ��ル)メチル(メタ)アクリレートなどのヒドロ� ��シル基含有モノマー;スチレンスルホン酸、 アリルスルホン酸、2-(メタ)アクリルアミド-2 -メチルプロパンスルホン酸、(メタ)アクリル アミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル (メタ)アクリレート、(メタ)アクリロイルオ� �シナフタレンスルホン酸などのスルホン酸� �含有モノマー;(メタ)アクリルアミドやN,N-ジ� ��チル(メタ)アクリルアミド、N-ブチル(メタ)� ��クリルアミド、N-メチロール(メタ)アクリル アミド、N-メチロールプロパン(メタ)アクリ� �アミドなどの(N-置換)アミド系モノマー;(メ� �)アクリル酸アミノエチル、(メタ)アクリル� �N,N-ジメチルアミノエチル、(メタ)アクリル� �t-ブチルアミノエチルなどの(メタ)アクリル� ��アルキルアミノ系モノマー;(メタ)アクリル� ��メトキシエチル、(メタ)アクリル酸エトキ� �エチルなどの(メタ)アクリル酸アルコキシア ルキル系モノマー;N-シクロヘキシルマレイミ ド、N-イソプロピルマレイミド、N-ラウリル� �レイミド、N-フェニルマレイミドなどのマレ イミド系モノマー;N-メチルイタコンイミド、 N-エチルイタコンイミド、N-ブチルイタコン� �ミド、N-オクチルイタコンイミド、N-2-エチ� �ヘキシルイタコンイミド、N-シクロヘキシル イタコンイミド、N-ラウリルイタコンイミド� ��どのイタコンイミド系モノマー;N-(メタ)ア� �リロイルオキシメチレンスクシンイミド、N- (メタ)アクリロイル-6-オキシヘキサメチレン� ��クシンイミド、N-(メタ)アクリロイル-8-オキ シオクタメチレンスクシンイミドなどのスク シンイミド系モノマー;酢酸ビニル、プロピ� �ン酸ビニル、N-ビニルピロリドン、メチルビ ニルピロリドン、ビニルピリジン、ビニルピ ペリドン、ビニルピリミジン、ビニルピペラ ジン、ビニルピラジン、ビニルピロール、ビ ニルイミダゾール、ビニルオキサゾール、ビ ニルモルホリン、N-ビニルカルボン酸アミド� ��、スチレン、α-メチルスチレン、N-ビニル� �プロラクタムなどのビニル系モノマー;アク� ��ロニトリル、メタクリロニトリルなどのシ� ��ノアクリレートモノマー;(メタ)アクリル酸� ��リシジルなどのエポキシ基含有アクリル系� ��ノマー;(メタ)アクリル酸ポリエチレングリ� ��ールや(メタ)アクリル酸ポリプロピレング� �コール、(メタ)アクリル酸メトキシエチレン グリコール、(メタ)アクリル酸メトキシポリ� ��ロピレングリコールなどのグリコール系ア� ��リルエステルモノマー;(メタ)アクリル酸テ� ��ラヒドロフルフリル、フッ素(メタ)アクリ� �ート、シリコーン(メタ)アクリレート、2-メ� ��キシエチルアクリレートなどのアクリル酸� ��ステル系モノマー;ヘキサンジオールジ(メ� �)アクリレート、(ポリ)エチレングリコール� �(メタ)アクリレート、(ポリ)プロピレングリ� ��ールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチル� �リコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリ スリトールジ(メタ)アクリレート、トリメチ� ��ールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペ� �タエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、 ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリ� ��ート、エポキシアクリレート、ポリエステ� ��アクリレート、ウレタンアクリレートなど� ��多官能モノマー;イソプレン、ブタジエン、 イソブチレン、ビニルエーテルなどが挙げら れる。これらの共重合性モノマーは、1種又� �2種以上を選択して用いることができる。

 上述したモノマーを重合に付すことによ� ��、熱剥離性粘着剤層13を構成するベースポ� �マーを製造することができる。重合方法は� �に制限されず、重合開始剤を添加して溶液� �合方法、塊状重合方法、乳化重合方法等通� �用いられる公知の重合方法から適宜選択で� �る。

 熱剥離性粘着剤層13を構成する粘着剤は� �必要に応じて各種添加剤が添加されていて� �よい。このような添加剤としては、例えば� �公知乃至慣用の粘着付与樹脂(例えば、ロジ� ��系樹脂、テルペン系樹脂、石油樹脂、クマ� ��ン・インデン樹脂、スチレン系樹脂など)、 架橋剤(例えば、エポキシ系架橋剤、イソシ� �ネート系架橋剤、多官能アクリレート系架� �剤など)、充填剤、着色剤(顔料や染料など)� �酸化防止剤、紫外線吸収剤、界面活性剤な� �の公知の各種添加剤が挙げられる。これら� �添加剤の使用量は、いずれも粘着剤に適用� �れる通常の量でよい。

 熱剥離性粘着剤層13の厚みは、例えば、5~ 300μmの範囲から選択することができる。熱剥 離性粘着剤層の厚みが、含有する熱膨張性微 小球の最大粒径よりも薄いと、熱膨張性微小 球の凹凸により熱剥離性粘着剤層表面の平滑 性が損なわれ加熱前接着力が低下する。また 、熱剥離性粘着剤層が必要以上に厚いと、加 熱剥離時に熱膨張性微小球の発泡により凝集 破壊が起こり、被着体に糊残りが生じるなど 熱剥離性が低下する場合がある。熱剥離性粘 着剤層の厚みは、粘着力や剥離性が所望の範 囲内になるよう適宜選択すればよいが、熱剥 離型粘着シートをグリーンシート切断工程用 粘着シートとする場合であれば、好ましくは 5~50μm、特に好ましくは15~35μmの範囲から選択 することができる。また、熱剥離型粘着シー トを、積層、加圧プレス工程用粘着シートと する場合や、外部電極塗布工程用粘着シート とする場合であれば、好ましくは20~150μm、特 に好ましくは20~100μmの範囲から選択すること ができる。

[基材]
 基材11としては、適宜な薄葉体をいずれも� �用することができ、特に制限されない。例� �ば、紙、布、不織布、金属箔、あるいはそ� �らのプラスチックラミネート体、プラスチ� �ク同士の積層体などが例示できる。基材11の 厚さは5~250μm程度が一般的であるが特に制限� ��れない。

[ゴム状有機弾性層]
 本発明の熱剥離型粘着シートには、ゴム状� ��機弾性層12を設けることができる。ゴム状� �機弾性層12は、粘着シートを被着体に接着す る際にその表面が被着体の表面形状に良好に 追従して大きい接着面積を提供する働きと、 粘着シートより被着体を剥離するために熱剥 離性粘着剤層13を加熱して発泡及び/又は膨張 させる際に粘着シートの面方向における発泡 及び/又は膨張の高速を少なくして熱剥離性� �着剤層13が三次元的構造変化することによる うねり構造形成を助長する働きをするもので ある。なお、ゴム状有機弾性層12は必要に応� ��て設けられる層であり、必ずしも設けられ� ��いなくてもよい。

 ゴム状有機弾性層12は、例えば、ASTM D-224 0に基づくD型シュアーD型硬度50以下、特に40� �下の天然ゴム、合成ゴム又はゴム弾性を有� �る合成樹脂により形成することが好ましい� �前記合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹� �としては、例えば、ニトリル系、ジエン系� �アクリル系などの合成ゴム;ポリオレフィン� ��、ポリエステル系などの熱可塑性エラスト� ��ー;エチレン-酢酸ビニル共重合体、ポリウ� �タン、ポリブタジエン、軟質ポリ塩化ビニ� �などのゴム弾性を有する合成樹脂などが挙� �られる。なお、ポリ塩化ビニルなどのよう� �本質的には硬質のポリマーであって、可塑� �や柔軟剤等の配合剤との組み合わせにより� �ム弾性を発現させたものなども使用できる� �ゴム状有機弾性層は、上述の熱剥離性粘着� �層13を構成する粘着剤のベースポリマーと同 様のものを使用してもよい。

 ゴム状有機弾性層12の厚さは、例えば、5~ 300μm好ましくは20~150μm、さらに好ましくは20~ 100μm程度である。ゴム状有機弾性層12の厚さ� ��薄すぎると、加熱発泡後の三次元的構造変� ��を形成することができず、良好な剥離性が� ��られない場合がある。ゴム状有機弾性層12� �、単層であってもよく、2以上の層で構成し� ��もよい。

[剥離層]
 剥離層14は、熱剥離性粘着剤層13の表面を保 護するために設けられる層であり、熱剥離性 粘着剤層13を被着体に貼り付ける際には剥離� ��れる。剥離層14は適宜な剥離紙などにより� �成される。具体的には例えば、シリコーン� �、長鎖アルキル系、フッ素系、硫化モリブ� �ン等の剥離剤により表面処理されたプラス� �ックフィルムや紙等の剥離層を有する基材;� ��リテトラフルオロエチレン、ポリクロロト� ��フルオロエチレン、ポリフッ化ビニル、ポ� ��フッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレ� ��・ヘキサフルオロプロピレン共重合体、ク� ��ロフルオロエチレン・フッ化ビニリデン共� ��合体等のフッ素系ポリマーからなる低接着� ��基材;オレフィン系樹脂(例えば、ポリエチ� �ン、ポリプロピレンなど)等の無極性ポリマ� ��からなる低接着性基材などを用いることが� ��きる。なお、剥離層14は必要に応じて設け� �れる層であり、設けられていなくてもよい� �

 基材11上に熱剥離性粘着剤層13を設ける方 法は特に制限されないが、例えば、溶媒(例� �ば、トルエンなど。)中に上述の熱膨張性微� ��球、層状珪酸塩及びベースポリマー等を均� ��に混合・溶解して塗工液を調製し、該塗工� ��を基剤上に塗布し、乾燥する方法が挙げら� ��る。又は、剥離層14を構成する剥離紙等に� �塗工液を塗布し、熱剥離性粘着剤層13を形成 した後、粘着剤層表面に基材11を貼り合わせ� ��もよい。

[熱剥離処理]
 本発明の熱剥離型粘着シートは、被着体に� ��付後、接着目的達成後には、加熱処理を行� ��ことにより被着体から容易に剥離すること� ��できる。加熱処理は、例えば、ホットプレ� ��ト、熱風乾燥機、近赤外ランプなどの適宜� ��加熱手段を利用して行うことができる。加� ��温度は、熱剥離性粘着剤層中の熱膨張性微� ��球の発泡開始温度以上であればよいが、加� ��処理の条件は、被着体の表面状態や熱膨張� ��微小球の種類等による接着面積の減少性、� ��剤や被着体の耐熱性、加熱方法(熱容量、加 熱手段等)などにより適宜設定できる。一般� �な加熱処理条件としては、100~250℃で1~90秒間 (ホットプレートなど)、又は5~15分間(熱風乾� �機など)である。なお、加熱処理は、使用目� ��に応じて適宜な段階で行うことができる。� ��た、加熱源としては、赤外線ランプや加熱� ��を用いることができる場合もある。

[電子部品の製造方法]
 本発明の粘着シートは、種々の被着体の仮� ��定用又は保管用、運搬用粘着シートとして� ��用でき、その用途は特に制限されないが、� ��子部品の加工時の仮固定材等としての使用� ��特に適している。本発明の熱剥離型粘着シ� ��トを使用して、例えば、積層セラミックコ� ��デンサや積層セラミックバリスタ等のチッ� ��状電子部品の製造を好適に行うことができ� ��。以下に本発明の熱剥離型粘着シートを使� ��した電子部品の製造方法について説明する� ��本発明のチップ状電子部品は、(i)電極印刷� ��程、(ii)積層・プレス工程、(iii)切断工程、( iv)焼成工程、(v)外部電極塗布工程のうち、い ずれか一又は二以上を含む工程により製造さ れる。本発明の熱剥離型粘着シートは、主と して、上記(ii)積層・プレス工程、(iii)切断工 程及び(v)外部電極塗布工程での使用に適して おり、本発明の熱剥離型粘着シートを該工程 に使用することにより、作業精度や作業効率 の向上等に顕著な効果を示す。

(i)電極印刷工程においては、グリーンシー ト(セラミックグリーンシート)の片面に、所� ��パターンの内部電極を、導電性ペーストな� ��により印刷し、電極を印刷したグリーンシ� ��トを得る。

(ii)積層・プレス工程では、(i)で得られた電� �を印刷したグリーンシートを、電極が印刷� �れている面と、印刷されていない面とが交� �になるように必要枚数積層し、加圧プレス� �て積層セラミックシートを得る。通常加圧� �レスは、電極を印刷したグリーンシートを� �枚積層するごとに行われるため、必要枚数� �グリーンシートを積層し、積層セラミック� �ートが得られるまでには、複数回(例えば、2 ~50回程度)のプレスが行われる。
図2に、(ii)積層・プレス工程における、積層� ��リーンシートの製造過程を表す概略断面図� ��示す。図2中、21は本発明の熱剥離型粘着シ� ��トを示し、22はセラミックシートを23は内部 電極をそれぞれ示す。図2に示すように、本� �明の熱剥離型粘着シート21上(熱剥離性粘着� �層の粘着面上)に電極を印刷したグリーンシ� ��トを積層し、プレスすることを繰り返すこ� ��により積層グリーンシートを得られる。本� ��明の熱剥離型粘着シート21は、熱剥離性粘� �剤層が層状珪酸塩を含有しているために変� �しにくい。従って、繰り返し加圧プレスを� �っても、粘着剤にズレ(糊はみ出し)が生じに くく、高い精度で積層及びプレスを行うこと ができる。必要数の積層・プレス終了後は加 熱により熱剥離型粘着シートを剥離して積層 セラミックシートを得てもよく、また、加熱 剥離を行わずにそのまま次工程((iii)切断工程 )に供することもできる。

 (iii)切断工程では、本発明の熱剥離型粘� �シートに上記(ii)積層・プレス工程で得られ� ��積層セラミックシートを貼り合わせて固定� ��、部品単位のサイズのチップ状になるよう� ��切断(特に、押切加工)し、チップ状電子部� �とする。切断は、グリーンシートを柔らか� �して切断精度を向上するために高温雰囲気� �(本発明の熱剥離型粘着シートの熱剥離処理� ��度未満、例えば、60~100℃)で行われることが 多いが、本発明の熱剥離型粘着シートは耐熱 性及び凝集力に優れているため、このような 高温雰囲気下においても十分な粘着力及び保 持力を発現し、加工中のチップ剥れやそれに 伴う歩留まり低下を防止し、高い切断精度で チップ状電子部品を製造することができる。 切断終了後は、加熱剥離処理によりチップ状 電子部品を容易に熱剥離型粘着シートから剥 離することができる。

 チップ状に切断された積層グリーンシー� ��は、(iv)焼成工程を経た後、必要に応じて(v) 外部電極塗布工程に付される。図3を参照し� �本発明の熱剥離型粘着シートを使用して外� �電極を設ける工程を説明する。図3(a)~(e)は、 本発明の熱剥離型粘着シートを使用してチッ プ状電子部品に外部電極を設ける工程を経時 的に示す概略断面図である。図3(a)~(e)におい� ��31は第1の熱剥離型粘着シートを、32はチッ� �状電子部品を、33は外部電極を、34は本発明� ��熱剥離型粘着シートをそれぞれ示す。図3(a) は第一の熱剥離型粘着シート31の粘着面上に� ��ップ状電子部品32を並べ、チップ状電子部� �32を固定した様子を示している。第一の熱剥 離型粘着シート31としては、公知乃至慣用の� ��剥離型粘着シートをいずれも使用でき特に� ��限されない。例えば、本発明の熱剥離型粘� ��シートと同様のものであって、熱剥離性粘� ��剤層に層状珪酸塩を含まないものなどを使� ��してもよく、あるいは本発明の熱剥離型粘� ��シートを第一の熱剥離型粘着シート31とし� �使用してもよい。図3(b)は、チップ状電子部� ��32の片面(粘着シートとは反対側の面)に外部 電極33を設けた様子を示す。次いで、図3(c)に 示すように、第2の粘着シートとして、本発� �の熱剥離型粘着シート34を外部電極33形成面� ��貼り合わせた後、第1の熱剥離型粘着シート 31を加熱して剥離する。この際、従来の熱剥� ��型粘着シートを第2の粘着シートとして使用 した場合は、第1の熱剥離型粘着シート31に加 えた熱が第2の粘着シートに伝わり、これに� �り第2の粘着シートの粘着力までもが低減し� ��片面に外部電極33を設けたチップ状電子部� �32をしっかりと接着保持することができない 場合があった。しかし、本発明の熱剥離型粘 着シート34を第2の熱剥離型粘着シートとして 使用した場合は、耐熱性や高温雰囲気下での 粘着特性に優れているため、第1の熱剥離型� �着シート31の剥離処理の前後を通してしっか りと被着体を接着保持することができ、図3(d )に示すように、チップ状電子部品32の片側に 設けた外部電極33を接着して固定したまま、� ��1の熱剥離型粘着シート31を剥離して、チッ� ��状電子部品32の外部電極33を設けていない面 を露出させることができる。次いで、図3(e)� �示すようにチップ状電子部品32の第1の熱剥� �型粘着シート31を貼り合わせていた面に外部 電極33を設けて、両端に外部電極33を有する� �ップ状電子部品を製造することができる。