| JP11094668 | COMBINATION TYPE FLUID PRESSURE AND TEMPERATURE SENSOR DEVICE |
| JP62288543 | DIFFERENTIAL PRESSURE TRANSMITTER |
| JP08159904 | PRESSURE CONVERTER |
Wingsch, Volker (Moltkestr. 53 Reutlingen, 72762, DE)
Stand der Technik Hochdrucksensoren werden in zahlreichen Anwendungs- bereichen der Automobilindustrie eingesetzt. Sie kommen zum Beispiel bei Einspritzsystemen, Anti- blockiersystemen, Fahrdynamikregelungen und vielem anderen zum Einsatz.
Herkömmliche Hochdrucksensoren bestehen aus einem Verformungskörper, auch Substrat genannt, auf dem in Dünnschichttechnologie ein Schichtsystem, beste- hend aus einer Isolation, zum Beispiel aus einem Siliciumoxid, einer strukturierten Funktion- schicht, zum Beispiel aus Poly-Si oder NiCr, eine Kontaktierung sowie eine Passivierung aufgebracht ist. Über die Funktionsschicht wird eine mechani- sche Deformation einer Membran des Verformungskör- pers in ein elektrisches Signal umgewandelt.
Der aus Verformungskörper und aufgebrachter Dünn- schicht bestehende Sensor wird anschließend mit ei- nem Druckstutzen und einem Spritzgußgehäuse zusam- mengebaut, mit Kontaktierungen versehen und gegebe- nenfalls mit einer Auswerteelektronik ausgestattet, um einen kompletten Hochdrucksensor zu bilden.
Ein kritischer Schritt bei der Herstellung des Hochdrucksensors ist das Zusammenfügen von Druck- stutzen und Verformungskörper. Diese Verbindung muß zum einen absolut dicht sein, damit nicht das über den Druckstutzen an den Verformungskörper herange- führte Druckmedium an einer Undichtigkeit der Schweißnaht entweicht. Weiterhin soll die Verbin- dung möglichst spannungsfrei sein, damit nicht durch den Schweißvorgang verursachte interne Span- nungen des Verformungskörpers dessen Meßsignal ver- fälschen und/oder zu einer nichtkontrollierbaren Streuung der Empfindlichkeit und des Ansprechver- haltens von in Serie gefertigten Drucksensoren füh- ren.
Gegenwärtig wird zum Verschweißen von Druckstutzen und Verformungskörper im wesentlichen das Verfahren des Elektronenstrahlschweißens angewendet. Dieses Verfahren ist relativ aufwendig, da es im Vakuum ausgeführt werden muß, und es erfordert viel Bear- beitungszeit, weil bei jedem einzelnen Hochdruck- sensor der Elektronenstrahl um dessen ganzen Umfang herumgeführt werden muß, um eine geschlossene Schweißnaht zu bilden. Dabei ergibt sich ferner das Problem, daß infolge der unterschiedlichen thermi- schen Bedingungen zu Beginn und Ende eines Schweiß- vorgangs Spannungen nicht gleichmäßig über den Um-
fang der Schweißnaht verteilt sind. Außerdem führt das Elektronenstrahlschweißen zur Erzeugung von Ab- brand, der zeit-und kostenaufwendig entfernt wer- den muß.
Eine einfache und kostengünstige Alternative zum Elektronenstrahlschweißen könnte das Widerstands- schweißen sein. Dieses Verfahren hat jedoch den Nachteil, daß zum Einprägen des Schweißstroms in das Werkstück eine Kontaktfläche erforderlich ist, über die Druck auf den zu schweißenden Gegenstand ausgeübt wird und deren Oberfläche nicht zu klein sein darf, um eine übermäßige Erhitzung des Kon- taktbereichs durch den eingespeisten Schweißstrom zu verhindern. Um eine solche Kontaktfläche in aus- reichender Größe zu schaffen, wäre es erforderlich, die Verformungskörper seitlich zu vergrößern, was dazu führen würde, daß die Ausbeute an Verformungs- körpern, die aus einem Wafer gegebener Größe ange- fertigt werden kann, abnimmt. Auch die Zahl der Verformungskörper, die jeweils gemeinsam in einem Beschichtungsprozeß weiterverarbeitet werden könn- ten, würde dadurch geringer, so daß die Kostenredu- zierung, die beim Zusammenbau durch ein einfacheres Schweißverfahren erreichbar wären, durch. Mehrauf- wand bei der Herstellung der Verformungskörper mehr als zunichte gemacht werden.
Vorteile der Erfindung Durch die vorliegende Erfindung werden ein Hoch- drucksensor, ein Verfahren sowie ein Werkzeug zu seiner Herstellung geschaffen, die ein preiswertes Widerstandsschweißen der Verbindung zwischen Ver-
formungskörper und Druckstutzen bei geringem Ver- brauch an Waferfläche erlauben. Insbesondere soll nicht mehr Waferfläche benötigt werden als bei dem herkömmlichen Elektronenstrahlschweißen, bezei- hungsweise weniger als beim Widerstandsschweißen über einen 1 mm breite umlaufenden Bund.
Dieser Vorteil wird zum einen bei einem Hochdruck- sensor mit einem Verformungskörper und einem mit dem Verformungskörper durch eine Schweißnaht ver- bundene Stutzen dadurch erreicht, daß der Verfor- mungskörper einen kegelstumpfförmigen Umfangsab- schnitt aufweist, über den ein Schweißstrom in den Verformungskörper eingeleitet werden kann.
Ein solcher kegelstumpfförmiger Umfangsabschnitt kann vom Druckstutzen fort konvergieren, so daß ei- ne komplementär zu dem Umfangsabschnitt geformte Elektrode zum Einleiten des Schweißstroms direkt auf den kegelstumpfförmigen Umfangsabschnitt aufge- setzt werden kann.
Besonders bevorzugt ist, daß der kegelstumpfförmige Umfangsabschnitt zum Druckstutzen hin konvergiert.
Dies erlaubt zwar kein direktes Aufsetzen der Elek- trode auf den Verformungskörper, statt dessen kann der Strom aber von der Elektrode zunächst in einen Kontaktring und von diesem über den den Kontaktring berührenden kegelstumpfförmigen Umfangsabschnitt in den Verformungskörper weitergeleitet werden. Der Kontaktring kann je nach Ausgestaltung des Hoch- drucksensors an diesem verbleiben oder nach Beendi- gung des Schweißvorgangs entfernt werden.
Der Verformungskörper weist vorteilhafterweise ei- nen umlaufenden Bund auf, der die Handhabung des Verformungskörpers im Laufe von dessen Herstellung vereinfacht. In einem solchen Fall ist der'kegel- stumpfförmige Umfangsabschnitt vorzugsweise platz- sparend zwischen dem Bund und der Schweißnaht ange- ordnet. Die Breite des Bundes beträgt vorteilhaf- terweise zwischen 0,25 und 0,4 mm. Dieser Bund dient allein der Handhabung, zum Einprägen des Schweißstromes sollte er nicht verwendet werden.
Um eine übermäßige Erwärmung und gegebenenfalls ei- ne ungewollte Verschweißung des Kontaktrings an dem Verformungskörper zu vermeiden, ist die Oberfläche des kegelstumpfförmigen Umfangsabschnitts vorteil- hafterweise größer als die Querschnittsfläche der Schweißnaht.
Der Kontaktring ist an dem kegelstumpfförmigen Ab- schnitt vorzugsweise ohne eine direkte leitfähige Verbindung zu dem Druckstutzen angeordnet, so daß ein über den Kontaktring eingespeister Schweißstrom vollständig durch einen Kontaktbereich zwischen dem Verformungskörper und dem Druckstutzen fließen muß, an dem die Schweißnaht gebildet werden soll.
Das Schmelzen von Material an der Schweißnaht führt dazu, daß der Verformungskörper und der Kontaktring beim Schweißen nach unten verschoben werden. Um bei dieser Verschiebung einen definierten Gegendruck zum Druck der Elektrode auf den Kontaktring auszu- üben, ist vorzugsweise ein Federring an der der Schweißnaht zugewandten Seite des Kontaktrings an- geordnet. Dieser Federring besteht vorzugsweise aus
einem elektrisch nichtleitenden, elastischen Mate- rial wie etwa einem Hartgummi.
Bei der Herstellung eines Hochdrucksensors wie oben beschrieben werden der Verformungskörper und der Stutzen gegeneinander gedrückt, und ein elektri- scher Schweißstrom wird von dem Kontaktring aus durch den Verformungskörper in den Stutzen gelei- tet, um die Schweißnaht zwischen Verformungskörper und Stutzen zu bilden. Auf diese Weise entsteht die Schweißnaht auf dem gesamten Umfang des Stutzens beziehungsweise des Verformungskörpers gleichzei- tig, das heißt die thermischen Bedingungen bei ih- rer Entstehung sind auf dem gesamten Umfang gleich.
Die nach dem Schweißen verbleibenden Restspannungen zwischen dem Stutzen und dem Verformungskörper kön- nen daher im Vergleich zum Elektronenstrahlschwei- ßen gering gehalten werden, was die Genauigkeit der nach dem Verfahren hergestellten Sensoren verbes- sert und die Streuung. ihrer Eigenschaften redu- ziert.
Dabei wird vorzugsweise die Schweißelektrode ohne Kontakt zum Verformungskörper auf den Kontakten aufgesetzt, um den Schweißstrom in den Kontaktring einzuspeisen. Die Schweißelektrode kann daher einen großen Druck auf den Kontaktring ausüben und so den elektrischen Ubergangswiderstand zwischen der Elek- trode und dem Kontaktring gering halten, ohne daß dies zur Gefahr einer Beschädigung des Verformungs- körpers durch den ausgeübten Druck führt.
Um einen indirekten Stromfluß zwischen der Elektro- de und dem Verformungskörper sicher auszuschließen,
wird vorzugsweise vor dem Einspeisen des Schweiß- stroms eine isolierende Schürze, zwischen dem äuße- ren Umfang des Verformungskörpers und der ihn ring- förmig umgreifenden Schweißelektrode eingeführt.
Um den für die Schweißung notwendigen Druck des Verformungskörpers gegen den Stutzen auszuüben, ist zweckmäßigerweise ein nichtleitender Einsatz der Schweißelektrode vorgesehen. Um das empfindliche Dünnschichtsystem des Verformungskörpers zu scho- nen, übt dieser Einsatz die Kraft auf einem radial äußeren Bereich des Verformungskörpers, vorzugswei- se dessen Bund, aus.
Vorzugsweise ist dieser Einsatz federbelastet.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Aus- führungsbeispiels mit Bezug auf die beigefügte Fi- guren.
Figuren Es zeigen : Figur 1 einen Drucksensor im Schnitt vor dem Ver- schweißen von Verformungskörper und Druckstutzen ; und Figur 2 den Hochdrucksensor aus Figur l beim Ver- schweißen.
Beschreibung des Ausführungsbeispiels
Der in Figur 1 als Beispiel dargestellte Hochdruck- sensor umfaßt einen Druckstutzen 2, der an seinem in der Figur gezeigten Ende mehrere umlaufende Rip- pen 3 trägt. Mit Hilfe der Rippen 3 ist der Druck- stutzen 2 in einem angespritzten Gehäuse 4 veran- kert.
Das Gehäuse 4 weist an seiner von dem Druckstutzen 2 abgewandten, in der Figur oben liegenden Rücksei- te eine Vertiefung 5 auf. Am Boden dieser Vertie- fung 5 ist ein Federring 6 aus Hartgummi angeord- net. Auf dem Federring 6 liegt ein Kontaktring 7 aus einem weichen, elektrisch gut leitenden Metall.
Der Ring 7 kann zum Beispiel aus Kupfer, vorzugs- weise weichgeglühtem Kupfer, Aluminium, Zinn, Blei oder dergleichen gegebenenfalls mit einer den elek- trischen kontaktverbessernden Edelmetallbeschich- tung, bestehen. Der Kontaktring 7 weist eine kegel- stumpfförmige innere Umfangsfläche auf, die einen komplementär geformten kegelstumpfförmigen Umfangs- abschnitt 8 eines Verformungskörpers 1 berührt.
Der Verformungskörper 1 hat die Form eines umge- kehrten Bechers oder Tiegels mit einem dünnwandigen Boden 9, der unter der Einwirkung eines bei dem fertigen Hochdrucksensor über den Druckstutzen 2 zuzuführenden Drucks formbar ist, und einer umlau- fenden Wand 10. Die Stärke der Wand 10 ist groß im Vergleich zu der des Bodens 9, da in ihr eine (in der Figur nicht dargestellte) Nut untergebracht ist, die als Verdrehsicherung des Verformungskör- pers 1 dienen soll.
Der kegelstumpfförmige Umfangsabschnitt 8 ist an der Seitenwand 10 zwischen einem umlaufenden Bund 11 und dem stumpf an den Druckstutzen 2 anstoßenden unteren Rand 12 des Verformungskörpers l angeord- net. Die Breite des Bundes in radialer Richtung be- trägt ca. 0,5 mm. Der Öffnungswinkel a des'Kegels beträgt ca. 10°.
Der Boden 9 des Verformungskörpers trägt ein (in der Figur nicht dargestelltes) Schichtsystem, das in Dünnschichttechnik erzeugt ist und eine Isolati- onsschicht, eine strukturierte Funktionsschicht, deren elektrische Eigenschaften durch eine Verfor- mung des Bodens 9 veränderbar sind, eine Passive- rungsschicht und Kontaktierungsfelder umfaßt.
Das Gehäuse 4 weist einen einteilig angeformten Steckverbinder 13 mit Kontaktstiften 14 auf, die auf einem Teil ihrer Länge durch die Kunststoffma- sse des Gehäuses 4 umspritzt sind und mit einem En- de 15 in die Vertiefung 5 münden, um dort in einem späteren Schritt der Herstellung mit den Kontaktie- rungsfeldern der Funktionsschicht verbunden zu wer- den.
Oberhalb der Vertiefung 5 ist eine Elektrode 16 ge- zeigt, mit deren Hilfe eine Schweißnaht zwischen dem Verformungskörper l und dem Druckstutzen 2 im Bereich des Randes 12 gebildet werden kann. Diese Elektrode hat im wesentlichen die Form eines Be- chers 20 mit einem an den (hier kegelförmig zulau- fenden) Boden des Bechers anschließenden Schaft aus einem elektrisch gut leitenden Metall und einem im- Innern des Bechers 20 angeordneten, elektrisch iso-
lierenden Einsatz 17. Eine Schraube 18 erstreckt sich durch eine Bohrung des Einsatzes 17 und ist mit einer Gewindebohrung 19 im Bodenbereich des Be- chers 20 der Elektrode 16 im Eingriff. Eine um die Schraube 18 herum angeordnete kräftige Spiralfeder 24 übt auf den Einsatz 17 eine Kraft nach unten aus und hält ihn so zwischen sich und dem Kopf der Schraube 18 eingespannt.
Der Einsatz 17 umfaßt im wesentlichen eine kräftige Grundplatte 21, einen an deren äußerem Umfang ange- formten ringförmigen Abschnitt 22 sowie eine den ringförmigen Abschnitt nach unten verlängernde dünnwandige Schürze 23.
Figur 2 zeigt die Elektrode 16 im'Eingriff in der Vertiefung 5 des Gehäuses 4¢ Der Außendurchmesser des Bechers der Elektrode 16 entspricht mit gerin- gem Spiel dem Innendurchmesser der Vertiefung 5, so daß die Elektrode 16 in die Vertiefung 5 einführbar ist. Beim Absenken der Elektrode 16 aus der Figur 1 gezeigten Stellung kommt zunächst der untere Rand des ringförmigen Abschnitts 22 auf dem Bund 11 zu liegen, wobei die Schürze 23 den Bund 11 rings um- gibt. So wird ein elektrisch leitfähiger Kontakt zwischen der Elektrode 16 und dem Verformungskörper l durch die Schürze 23 verhindert.
Im Laufe der weiteren Absenkung der Elektrode 16 in die in Figur 2 gezeigt Stellung wird die Spiralfe- der 24 zusammengedrückt, und ihre Kraft überträgt sich über den Einsatz 17 auf den Bund 11 und von dort auf den kegelstumpfförmigen Umfangsabschnitt 8, der den Kontaktring 7 berührt. Wenn schließlich
der untere Rand des Bechers 20 der Elektrode 16 den Kontaktring 7 berührt, kann ein Schweißstrom von der Elektrode 16 durch den Kontaktring 7 und die Seitenwand 10 des Verformungskörpers 1 in den Druckstutzen 2 fließen.
Der Durchmesser des Kontaktrings 7 bzw. sein Kon- taktquerschnitt zur Elektrode 16 kann großzügig be- messen werden, und ein Verschweißen der Elektrode 16 am Kontaktring oder ein Abbrand der Elektrode können so sicher vermieden werden, ohne daß dies zu nennenswerten Mehrkosten bei der Herstellung, des erfindungsgemäßen Hochdrucksensors führt. Wenn stattdessen der Schweißstrom direkt von der Elek- trode in den Verformungskörper l eingespeist werden müßte, so würde dies eine Vergrößerung von dessen Querschnittsfläche erfordern, die Zahl der Verfor- mungskörper, die aus einem einzelnen Substrat ge- fertigt werden könnten bzw. die in einem einzelnen Dünnschichtprozeß mit Sensorschichtsystemen verse- hen werden könnten, würde abnehmen, was die Her- stellung der einzelnen Verformungskörper entspre- chend verteuern würde.
Genauso wie die Berührungsfläche zwischen der Elek- trode 16 und dem Kontaktring 7 kann bei dem erfin- dungsgemäßen Hochdrucksensor auch die Berührungs- fläche zwischen Kontaktring 7 und Verformungskörper 1 im Bereich des kegelstumpfförmigen Umfangsab- schnitts 8 ohne Schwierigkeiten groß genug gemacht werden, um ein Verschweißen zwischen beiden Teilen sicher zu verhindern. So ist sichergestellt, daß die Leistung des Schweißstroms im wesentlichen am Übergang zwischen dem Verformungskörper 1 und dem
Druckstutzen 2 abfällt, dessen Querschnitt deutlich kleiner ist als die Berührungsflächen zwischen der Elektrode 16 und dem Kontaktring 7 bzw. zwischen dem Kontaktring 7 und dem Verformungskörper l.
Die Kraft, mit der die Elektrode 16 angedrückt wird, ist so bemessen, daß durch die Kraft der kom- primierten Feder 24 der Verformungskörper 1 sicher gegen den Kontaktring 7 drückt und gegebenenfalls unter geringfügiger Verformung des Federrings 6 der untere Rand 12 des Verformungskörpers gegen den Druckstutzen 2 drückt. Die vom Rand des Bechers 20 der Elektrode 16 direkt auf den Kontaktring 7 über- tragene Kraft ist dem gegenüber klein, so daß sie keine weitere Kompression des Federrings 6 bewirkt, die den Kontakt zwischen den kegelstumpfförmigen Flächen von Kontaktring 7 und Verformungskörper 1 beeinträchtigen könnte. Wenn anschließend der Schweißstrom durch den Verformungskörper geleitet wird und diesen im Bereich des unteren Randes 12 zum Schmelzen bringt, so ermöglicht dies der Feder 24, den Verformungskörper 1 im Bereich der entste- henden Schweißnaht geringfügig zu stauchen und sich dadurch zu entspannen. Die dadurch bewirkte Setzbe- wegung des Verformungskörpers 1 unter gleichzeiti- ger weiterer Kompression des Federrings 6 beendet den leitenden Kontakt zwischen dem Becher 20 der Elektrode 16 und dem Kontaktring 7, so daß der Schweißstrom nach erfolgtem Aufschmelzen selbsttä- tig abbricht.
Bei einer alternativen Ausgestaltung kann auch eine Elektrode mit einem starr verbundenen nichtleiten- den Einsatz verwendet werden. In diesem Fall sind
allerdings strenge Anforderungen an die Maßhaltig- keit des Einsatzes und des Verformungskörpers 1 zu stellen, um zu gewährleisten, daß der Einsatz nicht zu früh auf den Verformungskörper 1 trifft und so einen elektrischen Kontakt zwischen dem Becher der Elektrode und dem Kontaktring 7 verhindert bzw. daß nicht ein vorzeitiger Kontakt zwischen dem Becher der Elektrode und dem Kontaktring 7 eine Stauchung des Federringes 6 und damit möglicherweise eine Be- einträchtigung des Kontakts zwischen dem Kontak- tring 7 und dem kegelstumpfförmigen Umfangsab- schnitt 8 bewirkt.
Patentansprüche 1. Hochdrucksensor mit einem Verformungskörper (1) und einem mit dem Verformungskörper (1) durch eine Schweißnaht verbundenen Stutzen (2), dadurch gekennzeichnet, daß der Verfor- mungskörper (1) einen kegelstumpfförmigen Um- fangsabschnitt (8) aufweist.
2. Hochdrucksensor nach Anspruch 1, dadurch ge- kennzeichnet, daß der kegelstumpfförmige Um- fangsabschnitt (8) zum Druckstutzen (2) hin konvergiert.
3. Hochdrucksensor nach Anspruch 1 oder 2, da- durch gekennzeichnet, daß der kegelstumpfför- mige Umfangsabschnitt einen Offnungswinkel (a) von 5 bis 20°, vorzugsweise ca. 10°, hat.
4. Hochdrucksensor nach Anspruch 1, 2 oder 3, da- durch gekennzeichnet, daß der Verformungskör- per (1) einen umlaufenden Bund (11) aufweist, und daß der kegelstumpfförmige Umfangsab- schnitt (8) zwischen dem Bund (11) und der Schweißnaht angeordnet ist.
5. Hochdrucksensor nach Anspruch 4, dadurch ge- kennzeichnet, daß der Bund (11) eine Breite zwischen 0,25 und 0, 75 mm, vorzugsweise zwi- schen 0, 4 und 0,6 mm, aufweist.
6. Hochdrucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche des kegelstumpfförmigen Umfangsab- schnitts (8) größer als die Querschnittsfläche der Schweißnaht ist.
7. Hochdrucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein elektrisch leitfähiger Kontaktring (7) an dem kegelstumpfförmigen Umfangsabschnitt (8) ohne eine direkte leitfähige Verbindung zu dem Druckstutzen (2) angeordnet ist.
8. Hochdrucksensor nach Anspruch 7, dadurch ge- kennzeichnet, daß ein Federring (6) an der der Schweißnaht zugewandten Seite des Kontaktrings (7) angeordnet ist.
9. Hochdrucksensor nach Anspruch 8, dadurch ge- kennzeichnet, daß der Federring (6) aus einem elastischen nichtleitenden Material gebildet ist.
10. Verfahren zur Herstellung eines Hochdrucksen- sors nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Verformungs- körper (1) und der Stutzen (2) gegeneinander gedrückt und ein elektrischer Schweißstrom von dem Kontaktring (7) durch den Verformungskör- per (1) in den Stutzen (2) geleitet wird, um die Schweißnaht zu bilden.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekenn- zeichnet, daß eine Schweißelektrode (16) ohne
leitenden Kontakt zum Verformungskörper (1) auf den Kontaktring (7) aufgesetzt wird, um den Schweißstrom in den Kontaktring (7) einzu- speisen.
12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekenn- zeichnet, daß vor dem Einspeisen des Schweiß- ströms eine isolierende Schürze (23) zwischen dem äußeren Umfang des Verformungskörpers (1) und der Schweißelektrode (16) eingeführt wird.
13. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß ein federbelasteter nicht- leitender Einsatz (17) der Schweißelektrode (16) die Kraft zum Gegeneinanderdrücken von Verformungskörper (1) und Stutzen (2) ausübt.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekenn- zeichnet, daß der Einsatz (17) die Kraft auf einen radial äußeren Bereich des Verformungs- körpers (1), vorzugsweise den Bund (11), aus- übt.
15. Schweißelektrode zur Herstellung eines Hoch- drucksensors nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß sie in Form eines Bechers (20) ausgebildet ist, und daß im Inne- ren des Bechers (20) ein nichtleitender Ein- satz (17) axial verlagerbar ist.
16. Schweißelektrode, dadurch gekennzeichnet, daß der Einsatz (17) federbelastet ist.
17. Schweißelektrode nach Anspruch 15 oder 16, da- durch gekennzeichnet, daß der nichtleitende Einsatz (17) einen ringförmigen Abschnitt (22) zum Berühren des Verformungskörpers (1) nur in dessen Randbereich aufweist.
18. Schweißelektrode nach Anspruch 17, dadurch ge- kennzeichnet, daß der ringförmige Abschnitt durch eine Schürze (23) verlängert ist, deren freier Innendurchmesser größer als der des ringförmigen Abschnitts (22) ist.
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